DE2833831A1 - Optoakustischer analysator - Google Patents
Optoakustischer analysatorInfo
- Publication number
- DE2833831A1 DE2833831A1 DE19782833831 DE2833831A DE2833831A1 DE 2833831 A1 DE2833831 A1 DE 2833831A1 DE 19782833831 DE19782833831 DE 19782833831 DE 2833831 A DE2833831 A DE 2833831A DE 2833831 A1 DE2833831 A1 DE 2833831A1
- Authority
- DE
- Germany
- Prior art keywords
- optoacoustic
- chamber
- analyzer
- detector
- analyzer according
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/17—Systems in which incident light is modified in accordance with the properties of the material investigated
- G01N21/1702—Systems in which incident light is modified in accordance with the properties of the material investigated with opto-acoustic detection, e.g. for gases or analysing solids
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/17—Systems in which incident light is modified in accordance with the properties of the material investigated
- G01N21/1702—Systems in which incident light is modified in accordance with the properties of the material investigated with opto-acoustic detection, e.g. for gases or analysing solids
- G01N2021/1704—Systems in which incident light is modified in accordance with the properties of the material investigated with opto-acoustic detection, e.g. for gases or analysing solids in gases
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Health & Medical Sciences (AREA)
- Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Biochemistry (AREA)
- General Health & Medical Sciences (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Immunology (AREA)
- Pathology (AREA)
- Investigating Or Analysing Materials By Optical Means (AREA)
- Investigating Or Analyzing Materials By The Use Of Ultrasonic Waves (AREA)
Description
HORIBA, LTD., Kyoto / Japan
Optoakustischer Analysator
Die Erfindung betrifft einen optoakustischen Analysator, der mit Laserlicht arbeitet.
Bisher wurde im typischen Fall ein erhitzter Nichromdraht als
Lichtquelle für die Infrarotabsorptionsanalyse verwandt. In der letzten Zeit haben jedoch Laseroszillatoren als leistungsfähige
Lichtquellen zum Messen von Stoffen mit extrem niedriger Konzentration Beachtung gefunden, da das Laserlicht stark
monochromatisch ist, Laseroszillatoren eine hohe Ausgangsleistung haben und eine gute Richtwirkung zeigen.
909810/0682
Bei einer bekannten Analysevorrichtung, die mit Laserlicht arbeitet, geht das von einem Gaslaserresonator ausgesandte
Laserlicht durch eine Messkammer und eine Vergleichskammer eines als Differentialmesszelle ausgebildeten lichtdurchlässigen
optoakustischen Detektors. Dieser Detektor benötigt jedoch Laserlicht mit hoher Energie, da das vom Resonator
ausgesandte Licht beim Durchgang in seiner Energie gedämpft wird. Darüberhinaus bleibt die Genauigkeit der Messung hinter
den Anforderungen zurück, da die Lichtabsorption durch die Fenster der Differentialmesszelle zu Fehlern führt.
Bei einer weiteren bekannten Analysevorrichtung dieser Art befindet sich eine Messzelle in einem Gaslaserresonator,
während der Detektor ausserhalb des Resonators angeordnet ist. Bei dieser Ausbildung kann-der Fehler aufgrund der Absorption
des Lichtes durch das Fenster der Messzelle zwar vernachlässigt werden, diese Vorrichtung ist jedoch nicht
in Form einer Differentialmesszelle ausgebildet, so dass der nachteilige Einfluss von irgendwelchen Heramungsstoffanteilen
niedriger Konzentration im Messgas schwierig auszuschalten ist. Dazu war eine kompliziertes Doppelstrahlsystem
erforderlich. Verglichen mit der Lichtmenge im Resonator beträgt darüberhinaus das den Detektor über einen Spiegel
erreichende Licht lediglich einige Prozent dieser Lichtmenge, was zu einer stark herabgesetzten Empfindlichkeit führt.
Die der Erfindung zugrundeliegende Aufgabe besteht darin, einen Analysator zu liefern, der eine stabile und genaue
Messung von Stoffen mit extrem niedriger Konzentration, beispielsweise von Verunreinigungsstoffen in der Luft, bestimmten
Bestandteilen eines festen Stoffes usw. liefern kann.
Diese Aufgabe wird erfindungsgemäss durch einen optoakustischen
Analysator gelöst, bei dem sich die Messkammer und die Vergleichskammer
eines in Form einer Differentialmesszelle ausgebildeten, lichtdurchlässigen optoakustischen Detektors in
909810/0682
einen Gaslaserresonator mit einer Laserentladeröhre und zwei Resonanzspiegeln befinden.
Bei dem erfindungsgemässen Analysator sind sowohl die Messkammer
als auch die Vergleichskammer im Resonator aufgenommen, so dass das Laserlicht, das durch diese Kammern geht, nicht
gedämpft wird und somit der erfindungsgemässe Analysator
eine hohe Empfindlichkeit hat, ohne daß Laserlicht mit hoher Energie verwandt werden muss. Dadurch, dass die Kammern
im Resonator vorgesehen sind, ergibt sich weiterhin eine höhere Messgenauigkeit, da keine Fehler aufgrund der Energieabsorption
durch die Fenster auftreten. Ein weiterer Vorteil besteht darin, dass bei dem erfindungsgemässen Analysator der Detektor in
Form einer Differentialmesszelle ausgebildet ist, so dass der nachteilige Einfluss von Hemmstoffanteilen niedriger
Konzentration in der Probe wirksam ausgeschlossen werden kann. Wenn weiterhin ein bestimmter Anteil einer Gasprobe analysiert
werden soll, indem die Gasprobe mit einem Basisgas verdünnt wird, und die Gasprobe in die Messkammer dicht eingeschlossen
wird, während in der Vergleichskammer nur das Basisgas dicht eingeschlossen wird, ist die durch das Basisgas absorbierte
Energiemenge in beiden Kammern gleich gross, so dass als Messwert die Menge der Probesubstanz erhalten werden
kann, die genau der absorbierten Energie entspricht. Messfehler aufgrund von Hemmstoffanteilen können dadurch ausgeschlossen
werden, dass in der Vergleichskammer dasjenige Gas eingeschlossen wird, das dadurch erhalten wird, dass aus
der Probe nit Hilfe eines Absorptionsrohres,eines Verbrennungsrohres usw. der Anteil entfernt wird, auf den die Messung gerichtet
ist.
Im folgenden werden anhand der zugehörigen Zeichnung bevorzugte Ausführungsbeispiele der Erfindung näher erläutert:
909810/0682
Fig. 1 zeigen schematische Darstellungen von herkömmlichen Analysevorrichtungen.
Fig. 3 zeigt ein Ausführungsbeispiel des erfindungsgemässen
Analysators.
Fig. 4 zeigt in einer grafischen Darstellung die Ergebnisse
von Versuchen unter Verwendung einer herkömmlichen Analysevorrichtung und unter Verwendung eines Ausführungsbeispiels
des-erfindungsgemässen Analysators.
Fig. 5 zeigt ein weiteres Ausführungsbeispiel des erfindungsgemässen
Analysators.
Fig. 6 zeigen den wesentlichen Teil eines weiteren Ausführungsbeispiels
des erfindungsgemässen Analysators,
In den Fig. 1 und 2 sind Analysevorrichtungen herkömmlicher Art dargestellt, die Laseroszillatoren als Lichtquelle verwenden.
Bei der in Fig. 1 dargestellten Vorrichtung geht das von einem Gaslaserresonator 1 aüsgesandte Laserlicht durch eine Messkammer
2 und eine Vergleichskammer 3 eines in Form einer Differentialmesszelle ausgebildeten, lichtdurchlässigen und
optoakustischen Detektors. Ein derartiger Detektor benötigt jedoch Laserlicht mit hoher Energie, da das vom Resonator 1
ausgesandte Licht beim Durchgang in seiner Energie gedämpft wird. Weiterhin bleibt die Messgenauigkeit hinter den Erfordernissen
zurück, da die Absorption des Lichtes durch die Fenster 4 und 5 zu einem Fehler führt. Bei der in Fig.
2 dargestellten Vorrichtung befindet sich eine Messzelle 6
im Gaslaserresonator 7, während ein Detektor 8 ausserhalb des Resonators 7 angeordnet ist. Bei einem derartigen Aufbau
kann zwar der Fehler aufgrund des Fensters 9 vernachlässigt werden, diese Vorrichtung ist jedoch nicht in Form einer
Differentialmesszelle ausgebildet, so dass der nachteilige Einfluss von Hemmstoffanteilen niedriger Konzentration in
909810/0682
der Gasprobe schwierig zu beseitigen ist. Eine Messzelle dieser Art benötigt ein kompliziertes Doppelstrahlsystem. Verglichen
mit der Lichtmenge, die im Resonator vorhanden ist, beträgt darüberhinaus das Licht, das den Detektor 8 durch einen
Spiegel 10 erreicht, nur wenige Prozent des im Resonator
vorhandenen Lichtes, was zu einer stark herabgesetzten Empfindlichkeit führt.
In Fig. 3 ist ein erstes Ausführungsbeispiel des erfindungsgemässen
Analysators, d.h. ein optoakustischer Analysator zum Messen einer niedrigen Konzentration von Methan CH. in
einer Gasprobe, beispielsweise in der Umgebungsluft dargestellt.
In einem Gaslaserresonator 11 sind eine Laserentladungsröhre 12, die mit einem Heliumneongas gefüllt ist und zwei
Resonanzspiegel 13 aufgenommen. Ein in Form einer Differentialmesszelle
ausgebildeter lichtdurchlässiger optoakustischer Detektor 14 weist eine Messkammer 15, eine Vergleichskammer
16, Fenster 17, 18 und 19 und ein Kondensatormikrofon 20 auf. Die Messkammer 15 und die Vergleichskammer 16 befinden sich
innerhalb des Laserresonators 11. Der Analysator ist weiterhin
mit Elektroden 21 und 22 einer Hochspannungsquelle 23, einem Unterbrecher 24 im Laserresonator 11, einem Synchronsignaldetektor
25, Gaszuleitungen 26 und 27, Gasableitungen 28 und 29, Ventilen 30, 31, 32 und 33, einem Vorverstärker 34,
einem Synchronverstärker 35 und einem Anzeigegerät 36 versehen.
Bei einem Analysator mit dem oben beschriebenen Aufbau wird das von der Laserentladungsröhre 12 ausgesandte Licht unter
Einhaltung der Resonanzbedingung durch die Spiegel 13 reflektiert,
so dass sich Laserlicht mit einer Wellenlänge von 3,39 μΐη ergibt.
Das Laserlicht geht durch die Messkammer 15 und die Vergleichskammer 16, die sich im Resonator 11 befinden. Das
Licht wird auch durch den Unterbrecher 24 mit einer gegebenen Frequenz unterbrochen und zur stabilisierten Verarbeitung
der Signale in ein Wechselspannungssignal umgewandelt.
909810/0682
Die Messkammer 15 des Detektors 14 wird über die Zuleitung 26 mit Aussenluft beladen, die Methan CH. in niedriger Konzentration
enthält, während die Vergleichskammer 16 über die Zuleitung
mit N2 Gas, das Laserlicht nicht absorbiert oder mit Aussenluft
beladen wird, aus der der CH.-Anteil unter Verwendung eines oxidierenden Katalysators entfernt wurde. Jede Kammer
wird dann durch das Schliessen der Ventile 30 bis 33 dicht abgeschlossen. Das Laserlicht, das die Messkammer 15 durchstrahlt,
wird durch das CH.-Gas absorbiert, das eine Absorptionsbande bei 3,39 μΐη, der Wellenlänge des Laserlichtes aufweist.
Die Temperatur der Gasprobe nimmt anschliessend proportional zur enthaltenen CH.-Konzentration zu, wodurch der Druck des
Gases ansteigt. In der Vergleichskammer 16, die kein CH. enthält, tritt jedoch keine Zunahme des Druckes auf. Das hat zur Folge,
dass sich zwischen den beiden Kammern 15 und 16 ein Druckunterschied
entwickelt, der die Membran 37 des Kondensatormikrofons bewegt. Diese Bewegung wird durch den Vorverstärker
34 verstärkt, mit einem Signal vom Synchronsignaldetektor 36 synchronisiert und gleichgerichtet, um das Anzeigegerät 36
zu betätigen.
Wie es in Fig. 4 dargestellt ist, liefert das oben beschriebene Ausführungsbeispiel des erfindungsgemässen Analysators bei der
gleichen Anregungsenergie eine Empfindlichkeit, die um mehr als 10mal grosser als die einer herkömmlichen Analysevorrichtung
ist, wie sie in Fig. 1 dargestellt ist.
In Fig. 5 ist ein zweites Ausführungsbeispiel des erfindungsgemässen
Analysator dargestellt, bei dem die Fenster 17, 18 und 19, die die Messkammer 15 und die Vergleichskammer 16
bei dem ersten Ausführungsbeispiel begrenzen, fehlen und stattdessen die Stirnwände 38, 39 der Laserentladungsröhre
12 und die Spiegel 13 dazu dienen, die beiden Kammern zu be-
- 10 -
909810/0682
grenzen. Ein Entladungsunterbrecher4 0 ersetzt den Unterbrecher 24, um die Lichtabgabe von der Laserentladungsröhre
12 zu unterbrechen und dem Synchronverstärker 34 ein Signal
zum Synchronisieren und Gleichrichten zu liefern.
Die beiden oben beschriebenen Ausführungsbeispiele des
erfindungsgemässen Analysators bezogen sich zwar auf die
Analyse von Gas, es versteht sich jedoch, dass die erfindungsgemässe
Ausbildung des Analysators auch bei der Analyse einer Flüssigkeit oder fester Stoffe(einer Emulsion oder
Suspension angewandt werden kann. Wie es in Fig. 6 dargestellt ist, wird zur Analyse eines festen Stoffes ein scheibenförmiger
Probekörper in der Messkammer 15 angeordnet, durch die das Laserlicht B geht, wie es durch eine gestrichelte
Linie dargestellt ist. Sowohl die Messkammer 15 als auch die Vergleichskammer 16 sind mit einem gasförmigen Wärmeausdehnungsmedium,
wie beispielsweise N^-Gas, gefüllt.
Wie es in Fig. 7 dargestellt ist, wird dann, wenn eine Flüssigkeit
zu analysieren ist, eine Probe 42 in ein Gefäss 43 aus einem Material eingebracht, durch das Laserlicht mit einer
bestimmten Wellenlänge hindurchgehen kann, und wird das Gefäss in der Messkammer 15 angeordnet. Sowohl die Messkammer
15 als auch die Vergleichskammer 16 werden mit einem gasförmigen Wärmeausdehnungsmedium, wie beispielsweise N^-Gas
gefüllt. In beiden Fällen wird der nachteilige Einfluss von Verunreinigungen im gasförmigen Wärmeausdehnungsmedium beseitigt.
909810/0682
Claims (10)
1. Optoakustischer Analysator, dadurch gekennzeichnet , dass sich die Messkammer (15) und die
Vergleichskammer (16) eines in Form einer Differentialmesszelle
ausgebildeten, lichtdurchlässigen optoakustischen Detektors (14) in einem Gaslaserresonator (11) mit einer Laserentladungsröhre
(12) und zwei Resonanzspiegeln (13) befinden.
2. Optoakustischer Analysator nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet , dass im Weg des Lichtstrahles
von der Laserentladungsröhre (12) ein mechanischer Unterbrecher
(24) angeordnet ist.
909810/0 682
OFiGINAL INSPEGTBD
" 2 " Z83383 ^
3. Optoakustischer Analysator nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet , dass an der Messkammer (15) und
an der Vergleichskammer (16) des Detektors (14) jeweils eine Fluidzuleitung (26, 27) und eine Fluidableitung (28, 29) vorgesehen
sind.
4. Optoakustischer Analysator nach einem der Ansprüche T
bis 3, dadurch gekennzeichnet , dass in der Messkammer (15) und/oder der Vergleichskammer (16) ein Gas
dicht eingeschlossen ist.
5. Optoakustischer Analysator nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet , dass sich in der Messkammer (15)
eine Feststoffprobe oder eine Flüssigkeitsprobe befindet.
6. Optoakustischer Analysator mit einem in Form einer Differentialmesszelle ausgebildeten, lichtdurchlässigen und
optoakustischen Detektor, dadurch gekennz eichnet, dass die Messkammer (15) des Detektors angrenzend an ein
Ende einer Laserentladungsröhre (12) angeschlossen ist, dass die Vergleichskammer (16) des Detektors angrenzend an das
andere Ende der Laserentladungsröhre (12) angeschlossen ist,
und dass Resonanzspiegel (13) jedem Ende der Laserentladungsröhre (12) gegenüber angeordnet sind, um die Messkammer
(15) und die Vergleichskammer (16) jeweils zu begrenzen.
7. Optoakustischer Analysator nach Anspruch 6, gekennzeichnet durch eine Entladungsunterbrechereinrichtung
(40), die die Lichtemission von der Laserentladungsröhre (12) unterbricht.
8. Optoakustischer Analysator nach Anspruch 6 oder 7, dadurch gekennzeichnet , dass die Messkammer (15)
und die Vergleichskammer (16) des Detektors jeweils mit einer Fluidzuleitung und einer Fluidableitung varsehen sind.
909810/068 2
;' -ν- - 3 - 283383 ■
9* Optoakustischer Analysator nach einem der Ansprüche
6 bis 8/ dadurch g e k e η Λ ζ e i c h η e t , dass in die
Messkammer (15) und/oder die Vergleichskainmer (16) ein Gas
oder eine Flüssigkeit dicht eingeschlossen ist,
10. Optoakustischer Analysator nach Anspruch 9, dadurch
g ek e η η ζ e i c h η e t , dass sich in der Messkammer
(15) eine Feststoffprobe befindet.
(15) eine Feststoffprobe befindet.
-A-
909810/0682
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP10309177A JPS5436778A (en) | 1977-08-26 | 1977-08-26 | Photosound effect type analyzer |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
DE2833831A1 true DE2833831A1 (de) | 1979-03-08 |
DE2833831C2 DE2833831C2 (de) | 1983-09-29 |
Family
ID=14344957
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
DE2833831A Expired DE2833831C2 (de) | 1977-08-26 | 1978-08-02 | Optoakustischer Analysator |
Country Status (3)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US4253770A (de) |
JP (1) | JPS5436778A (de) |
DE (1) | DE2833831C2 (de) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
FR2599505A1 (fr) * | 1986-05-27 | 1987-12-04 | Brueel & Kjaer As | Analyseur de gaz photoacoustique |
DE4225395A1 (de) * | 1992-07-29 | 1994-02-03 | Johannisthaler Forschungstechn | Anordnung zur photoakustischen Spektroskopie |
Families Citing this family (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5610230A (en) * | 1979-07-04 | 1981-02-02 | Hitachi Ltd | Optical sound spectroscopic analyzer |
JPS595939A (ja) * | 1982-07-03 | 1984-01-12 | Horiba Ltd | パ−テイキユレ−ト連続測定装置 |
US4866681A (en) * | 1988-03-09 | 1989-09-12 | Mine Safety Appliances Company | Photo-acoustic detector |
US5061065A (en) * | 1989-10-20 | 1991-10-29 | Pacific Scientific Company | Particle contamination detection in fluids through the external section of a laser |
DK163537C (da) * | 1990-03-05 | 1992-08-03 | Fls Airloq As | Fremgangsmaade og apparat til overfoersel af et akustisk signal i en fotoakustisk celle |
DE10062126A1 (de) * | 2000-12-13 | 2002-06-20 | Inficon Gmbh | Verfahren zur Feststellung eines Gases mit Hilfe eines Infrarot-Gasanlaysators sowie für die Durchführung dieser Verfahren geigneter Gasanalysator |
US8358417B2 (en) * | 2010-10-21 | 2013-01-22 | Spectrasensors, Inc. | Spectrometer with validation cell |
US8848191B2 (en) | 2012-03-14 | 2014-09-30 | Honeywell International Inc. | Photoacoustic sensor with mirror |
CA2859411A1 (en) * | 2013-08-29 | 2015-02-28 | General Electric Company | Method and system for detecting components in a fluid |
US9513261B2 (en) * | 2013-10-14 | 2016-12-06 | Infineon Technologies Ag | Photoacoustic gas sensor device and a method for analyzing gas |
JP6254638B2 (ja) | 2016-04-18 | 2017-12-27 | 株式会社 資生堂 | 液体皮膚洗浄料および液体皮膚洗浄製品 |
Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4019056A (en) * | 1975-04-28 | 1977-04-19 | Diax Corporation | Infrared laser detector employing a pressure controlled differential optoacoustic detector |
Family Cites Families (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US3893771A (en) * | 1974-08-22 | 1975-07-08 | Diax Corp | Laser absorption spectroscopy |
US3911276A (en) * | 1974-10-18 | 1975-10-07 | Diax Corp | Laser spectroscopy |
US4059356A (en) * | 1975-02-24 | 1977-11-22 | Environmental Research & Technology, Inc. | Gas detector |
US4058725A (en) * | 1975-04-04 | 1977-11-15 | Aine Harry E | Infrared absorption spectrometer employing a dual optoacoustic detector |
-
1977
- 1977-08-26 JP JP10309177A patent/JPS5436778A/ja active Granted
-
1978
- 1978-07-24 US US05/927,095 patent/US4253770A/en not_active Expired - Lifetime
- 1978-08-02 DE DE2833831A patent/DE2833831C2/de not_active Expired
Patent Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4019056A (en) * | 1975-04-28 | 1977-04-19 | Diax Corporation | Infrared laser detector employing a pressure controlled differential optoacoustic detector |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
FR2599505A1 (fr) * | 1986-05-27 | 1987-12-04 | Brueel & Kjaer As | Analyseur de gaz photoacoustique |
DE4225395A1 (de) * | 1992-07-29 | 1994-02-03 | Johannisthaler Forschungstechn | Anordnung zur photoakustischen Spektroskopie |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US4253770A (en) | 1981-03-03 |
DE2833831C2 (de) | 1983-09-29 |
JPS5436778A (en) | 1979-03-17 |
JPS577380B2 (de) | 1982-02-10 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
DE69424382T2 (de) | Messfühler und -einrichtung zur Verwendung in der Analysierung von Gasmischungen | |
DE2833831A1 (de) | Optoakustischer analysator | |
DE2553565C3 (de) | Vorrichtung zur Bestimmung der Stickoxidkonzentration in einem Gasgemisch | |
DE3932838A1 (de) | Abgleichverfahren fuer einen nichtdispersiven infrarot-gasanalysator | |
EP0263931A2 (de) | Verfahren und Einrichtung zur kontinuierlichen Messung der Konzentration eines Gasbestandteiles | |
DE2808033A1 (de) | Einrichtung zur unterdrueckung der wasserdampf-querempfindlichkeit bei einem nicht dispersiven infrarot-gasanalysator | |
CH645989A5 (de) | Verfahren und vorrichtung zur optoakustischen spektroskopie. | |
DE4443016A1 (de) | Gasanalytisches Meßgerät | |
DE2320252A1 (de) | Verfahren und vorrichtung zur quantitativen bestimmung eines gasfoermigen bestandteils | |
DE2710638C2 (de) | Vorrichtung zum berührungslosen optischen Empfang von Ultraschallwellen in der zerstörungsfreien Werkstoffprüfung | |
DE3650094T2 (de) | Absorptionsanalyseverfahren. | |
DE2508149A1 (de) | Vorrichtung zum analysieren eines probegasstroms | |
DE3707622A1 (de) | Verfahren und vorrichtung zum messen geringer gaskonzentrationen | |
DE2543011A1 (de) | Einrichtung zur roentgenstrahlen- fluoreszenzanalyse | |
DE3508027A1 (de) | Verfahren und einrichtung zum ermitteln der konzentration oder der massenanteile bestimmter gase in gasmischungen | |
DE3116344A1 (de) | Verfahren zum erhoehen der messgenauigkeit eines gasanalysators | |
DE3206427A1 (de) | Messeinrichtung fuer die optische gasanalyse | |
DE2849379A1 (de) | Opto-akustischer gas-analysator | |
DE19628310C2 (de) | Optischer Gasanalysator | |
DE102022114986A1 (de) | Auf der Technologie zur Temperaturkompensation mit phasenverschobenem Gitter basierte Wasserstoffgas-Erfassungsvorrichtung | |
EP0394870B1 (de) | Nichtdispersiver Infrarot-Gasanalysator | |
US3680960A (en) | Atomic absorption photometer | |
US3400268A (en) | System for a. c. operation of an ionization chamber | |
DE2524430A1 (de) | Betriebsphotometer mit zwei empfaengerschichten | |
DE1170680B (de) | Geraet zur Anzeige von Gaskonzentrationen |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
OAP | Request for examination filed | ||
OD | Request for examination | ||
8126 | Change of the secondary classification |
Ipc: G01D 5/18 |
|
8125 | Change of the main classification |
Ipc: G01N 21/61 |
|
D2 | Grant after examination | ||
8364 | No opposition during term of opposition | ||
8328 | Change in the person/name/address of the agent |
Free format text: POHLMANN, E., DIPL.-PHYS., PAT.-ANW., 8000 MUENCHEN |
|
8339 | Ceased/non-payment of the annual fee |