DE2801882C2 - - Google Patents
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Description
Die Erfindung betrifft ein Spiegellinsensystem für den Abbildungsmaßstab 1 : 1,
wobei Bild- und Gegenstandsfeld gegenüber der Symmetrieachse des Systems jeweils
seitlich versetzt sind, mit wenigstens einem konvexen und einem konkaven
Spiegel, die konzentrisch zu und in Längsrichtung der Symmetrieachse angeordnet
sind, mit zu der Symmetrieachse senkrechten, konjugierten Ebenen und wenigstens
zwei seitlich zur Symmetrieachse versetzt angeordneten Meniskuslinsen.
Ein solches Spiegellinsensystem ist bereits aus der SU-PS 1 26 911 bekannt geworden.
Derartige optische Systeme sind, neben dem Einsatz auf vielen anderen Gebieten
- insbesondere für die Belichtung von Halbleiterplättchen geeignet, die
mit einem Fotolack, also einem lichtempfindlichen Lack, beschichtet worden
sind; ein solcher Arbeitsgang wird bei der Herstellung von integrierten Schaltungen
zur Herstellung von sogenannten Chips benötigt.
Die vorliegende Erfindung steht in enger Beziehung zu dem ringförmigen Projektionssystem,
wie es in der US-PS 37 48 015 beschrieben ist. In dieser Patentschrift
wird ein katoptrisches System zur Erzeugung einer Abbildung eines
Objektes mit der Vergrößerung 1 und hoher Auflösung in exakten Details im
Mikromaßstab erläutert; dieses System zeichnet sich durch konvexe und konkave
sphärische Spiegel aus, deren Krümmungszentren in einem einzigen Punkt zusammenfallen.
Die Spiegel sind so angeordnet, daß sie innerhalb des Systems
wenigstens drei Reflexionen erzeugen; sie werden in einem System mit ihren konjugierten
Achspunkten an diesem Punkt eingesetzt und liefern zwei außeraxiale
konjugierte Bereiche bzw. Flächen mit der Vergrößerung 1 in einer Ebene,
welche die Krümmungsmitte enthält; die Achse des Systems ist eine Achse, die
senkrecht zu der zuletzt erwähnten Ebene und durch diesen Punkt verläuft.
Obwohl dieses optische System viele Merkmale und Vorteile hat, soll es mit
der vorliegenden Erfindung verbessert werden, wie sich aus der weiteren Beschreibung
ergibt.
Als weitere, dieses technische Gebiet betreffende Druckschriften sollen
noch genannt werden: US-PS 38 21 763 vom 28. Juni 1974; US-PS 39 51 546
vom 20. April 1976; US-Patentanmeldung SN. 5 34 465 vom 19. Dezember 1974
und eine Continuation-Anmeldung der US-Patentanmeldung SN. 3 39 860 vom
9. März 1973.
Der vorliegenden Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, ein Spiegellinsensystem
der eingangs erwähnten Art anzugeben, bei dem die Bildfeldwölbung
möglichst klein gemacht wird.
Dies wird erfindungsgemäß dadurch erreicht, daß der Krümmungsradius der
konvexen Oberfläche der jeweiligen Meniskuslinse 16, 16′; 16 a, 16 a′;
16 c, 16 c′ größer als derjenige der konkaven Oberfläche und der Dicke der
jeweiligen Meniskuslinse größer als der Unterschied der beiden Radien
ist.
Es wird hierdurch ein Spiegellinsensystem geschaffen, bei dem die in Abhängigkeit
von der Wellenlänge auftretende Bildfeldwölbung wesentlich verringert
werden kann, so daß das System insgesamt über einen verhältnismäßig
großen Spektralbereich eingesetzt werden kann. Gleichzeitig wird erreicht,
daß die Breite des korrigierten Abbildungsrings praktisch um eine Größenordnung
vergrößert wird.
Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform wird das Spiegellinsensystem derart
ausgebildet, daß auf der Symmetrieachse des Spiegellinsensystems diesem gegenüberliegend
ein weiteres Spiegellinsensystem mit Abbildungsmaßstab 1 : 1, welches
einen weiteren konvexen und einen weiteren konkaven Spiegel, die im
wesentlichen konzentrisch zu und in Längsrichtung der Symmetrieachse angeordnet
sind, und gegenüber der Symmetrieachse seitlich nach verschiedenen
Seiten in bezug auf dieses Symmetrieachse versetztes Bild- und Gegenstandsfeld
sowie zu der Symmetrieachse senkrechte, konjugierte Ebenen aufweist,
derart angeordnet ist, daß eine konjugierte Ebene des Spiegellinsensystems
mit einer konjugierten Ebene des weiteren Spiegellinsensystems zusammenfällt,
und daß jeweils eine der Meniskuslinsen in dem Strahlengang des
Spiegellinsensystems und des weiteren Spiegellinsensystems angeordnet ist.
Die kleinen Aberrationen, die dadurch auftreten können, daß der Meniskus
der jeweiligen Meniskuslinsen nicht genau konzentrisch ist, können dadurch
kompensiert werden, daß der Abstand zwischen den Krümmungsmittelpunkten des
konkaven und konvexen bzw. des weiteren konkaven und des weiteren konvexen
Spiegels kleiner als ungefähr 2% der Länge des kürzeren Radius der beiden
Spiegel ist.
Eine noch wesentlich verbesserte Ausführungsform ergibt sich dann, wenn
zwischen dem Gegenstandsfeld bzw. dem Bildfeld und dem Spiegel wenigstens
ein Korrekturlinsenelement angeordnet wird. Ein solches Korrekturlinsenelement
dient der Farbkorrektur. Gemäß einer vorzugsweisen Ausführungsform besteht
dieses Korrekturlinsenelement aus einer im wesentlichen planparallelen
Platte, die senkrecht zu der optischen Achse der Spiegel angebracht ist. Es
kann jedoch auch zweckmäßig sein, eine der Flächen der planparallelen Platte
asphärisch auszubilden, aber es kann in manchen Fällen auch zweckmäßig sein,
wenn die planparallele Platte durch ein Meniskuselement gebildet wird, das
senkrecht zu der optischen Achse der Spiegel angebracht wird.
Besteht das Spiegellinsensystem aus zwei Rücken an Rücken angeordneten Systemen
mit dem Abbildungsmaßstab 1 : 1, so kann das Korrekturlinsenelement an der
Zwischenbildstelle angeordnet werden oder es können auch Korrekturlinsenelemente
in jeder Hälfte des so gebildeten Spiegellinsensystems angebracht werden.
Wird ein aus zwei Spiegellinsensystemen zusammengesetzten System verwandt,
so kann gemäß einer bevorzugten Ausführungsform der Abstand von den beiden
Spiegelelementen jeweils zu dem Zwischenbild größer sein als der Abstand zu
der anderen, konjugierten Stelle in wenigstens einer Hälfte des Gesamtsystems.
Hierdurch werden die Stellen für das Objekt bzw. das Bild voneinander getrennt,
so daß sie im Abstand voneinander liegen. Das Gesamtsystem kann gemäß
einer anderen Ausführungsform jedoch auch so ausgebildet werden, daß der
Abstand der beiden Spiegelelemente zu dem Zwischenbild kleiner als der Abstand
zu der anderen, konjugierten Stelle in wenigstens einer Hälfte des
Systems ist, wodurch gekreuzte Objekt- und Bildebenen gebildet werden. In
diesem Falle wird bevorzugt eine optische Einrichtung mit Spiegelflächen
zwischen den Objekt- und Bildstellen angeordnet, um die letzteren physikalisch
zugänglich zu machen.
Weitere vorzugsweise Ausgestaltungen gehen aus den Unteransprüchen hervor.
Im folgenden soll die Erfindung näher anhand von in der Zeichnung dargestellten
vorzugsweisen Ausführungsbeispielen erläutert werden. In der Zeichnung
zeigt
Fig. 1 eine Darstellung eines optischen Systems, das gemäß dem Grundgedanken
der vorliegenden Erfindung aufgebaut ist,
Fig. 2 eine Darstellung eines doppelten optischen Systems, wobei
zwei optische Systeme, die dem System nach Fig. 1 ähneln, Rücken
an Rücken, also nebeneinander angebracht sind,
Fig. 3 eine Darstellung eines optischen Systems, das dem System nach
Fig. 2 ähnelt, bei dem jedoch die Forderung fallengelassen wurde, daß
jede Hälfte eines Systems symmetrisch sein muß; dabei wurde jedoch das
Gesamtsystem symmetrisch gehalten.
Fig. 4 eine Darstellung eines optischen Systems, das dem System nach
Fig. 3 ähnelt, jedoch vereinfacht wurde, indem die beiden Farbkorrekturplatten
zu einem einzigen Element mit der gleichen Form kombiniert
werden und auf die planparallelen Platten für die Knickung des Strahlengangs,
die zur Trennung des Objektes und des schließlich erhaltenen Bildes
erforderlich sind, verzichtet wurde, indem die Schnittweiten der zwei
Spiegelelemente ungleich gemacht wurden.
Fig. 5 bis 7 jeweils Darstellungen von weiteren Ausführungsformen optischer
Systeme gemäß der Erfindung.
Fig. 8 eine Darstellung eines optischen Systems, das
dem System nach Fig. 1 ähnelt, wobei jedoch eine andere
Ausführungsform der Erfindung dargestellt ist, und
Fig. 9 eine Darstellung der Änderung der Brennpunktslage
als Funktion des Abstandes von der Achse und der Wellenlänge
des zur Bilderzeugung verwendeten Lichtes.
Bei der in Fig. 1 gezeigten Ausführungsform
weist das neue und verbesserte optische System, das allgemein
bei 10 angedeutet ist, zwei sphärische Spiegel,
einen konvexen Spiegel 12 und einen konkaven Spiegel 14 auf,
die so angeordnet sind, daß sich in dem System drei Reflexionen
ergeben. Die Spiegel sind so angeordnet, daß ihre Krümmungsmittelpunkte
längs der Achse SA des Systems liegen und ihre
konjugierten Bereiche bzw. Flächen außeraxial an den Punkten
O und I zentriert sind. Die Punkte O und I haben jeweils auf
gegenüberliegenden Seiten den Abstand H von der Bezugsachse SA.
In dem optischen System, wie es in Fig. 2 der US-PS 37 48 015
dargestellt ist, erzeugt der konkave Spiegel eine
Abbildung des Objektes O in I; der konvexe Spiegel erzeugt
eine virtuelle Abbildung des Punktes I an dem Punkt O, die
wiederum durch den konkaven Spiegel I abgebildet wird. Die
Breite des korrigierten Rings, die sich mit den optischen
Systemen nach dieser Patentschrift erreichen läßt, wird durch
den Astigmatismus fünfter Ordnung begrenzt, der aufgrund der
Konstruktion dieses Systems nicht zu vermeiden ist. Der
Astigmatismus höherer Ordnung ist auf die sphärische Aberration
der Hauptstrahlen dieses Systems zurückzuführen.
Es können Linsen in Form von Meniskuselementen eingesetzt werden,
um die sphärische Aberration der Hauptstrahlen parallel zu
der optischen Achse zu verringern oder zu beseitigen. Wenn
die Meniskuselemente konzentrisch zu den Spiegeln sind, führen
sie keine Abbildungsfehler dritter Ordnung
mit Ausnahme der Bildfeldwölbung ein, wenn sich die Konjugierten
in dem gemeinsamen Krümmungsmittelpunkt befinden.
Wie sich aus Fig. 1 ergibt, sind zwei symmetrisch angeordnete
Meniskuselemente 16 vorgesehen, um die sphärische Aberration
der Hauptstrahlen zu verringern. Die Meniskuselemente würden
auch dann die sphärische Aberration der Hauptstrahlen verringern,
wenn sie direkt in der Nähe des konvexen Spiegels
12 so angeordnet werden, daß die Oberfläche des Spiegels 12
und die konvexe Oberfläche der Meniskuselemente 16 Teile
der gleichen Kugeloberfläche sind. Es läßt sich erkennen, daß
der Astigmatismus höherer Ordnung wesentlich verringert worden
ist, so daß die Breite des korrigierten Rings um eine Größenordnung
zunimmt.
Eine notwendige Bedingung für das Fehlen der Bildfeldwölbung,
das heißt, für eine flache, ebene Bildoberfläche, in dem sich
ergebenen System ist, daß die Petzval-Summe im wesentlichen null ist;
dabei wird der Brechungsindex einer reflektierenden Oberfläche
für diese Berechnung als negativ definiert. Da sich
der Brechungsindex der Meniskuselemente mit der Wellenlänge
des zur Bilderzeugung verwendeten Lichtes ändert, führt die
Einfügung dieser Elemente in das optische System zu einer
Änderung der Bildfeldkrümmung mit der Wellenlänge. Wie in
Fig. 9 dargestellt, führt dies wiederum zu einer Änderung
der Brennpunktlage als Funktion des Abstandes von der Achse
und als Funktion der Wellenlänge des zur Bilderzeugung verwendeten
Lichtes. In einem optischen System mit ringförmigem
Abbildungsbereich wird die Änderung mit dem Abstand von der
Achse effektiv dadurch beseitigt, daß das Bildfeld bzw. der
Abbildungsbereich auf einen Ring begrenzt wird, dessen Abstand
von der Achse konstant ist. Die Änderung der Bildfeldkrümmung
mit der Wellenlänge wird in einem solchen System zu
einer Änderung der Brennpunktlage mit der Wellenlänge und
kann durch die Einführung von Farbfehlern mit dem entgegengesetzten
Sinn ausgeglichen werden. Um dies zu erreichen, weicht der
Meniskus etwas von der exakten Konzentrizität ab,
indem sein konvexer Krümmungsradius so ausgelegt wird, daß
er kürzer ist als die Summe seines konkaven Radius und seiner
Dicke. Das heißt also, daß seine Dicke größer als die Differenz
zwischen den Radien seiner konvexen und konkaven Oberfläche
ist. Im folgenden soll die Funktionsweise dieser Ausführungsform
erläutert werden:
Die Änderung der Bildfeldkrümmung mit der Wellenlänge, die
durch einen nahezu konzentrischen Meniskus eingeführt wird,
dessen Brechkraft negativ ist, verläuft so, daß der hintere,
bildseitige Brennpunkt für kurze Wellenlängen größer als
für lange Wellenlängen ist. Ein konzentrischer Meniskus mit
Konjugierten in seinem Krümmungsmittelpunkt führt keine,
wie auch immer gearteten Farblängsfehler
ein. Die gleichen Überlegungen gelten im wesentlichen
für einen Meniskus mit einer Konjugierten in der Nähe
seines Krümmungsmittelpunktes. Die Hinzufügung einer positiven
Linse zu einem solchen Meniskus führt
einen Farblängsfehler in dem Sinne ein, wie
er für den Ausgleich der Änderung des Brennpunktes mit der
Wellenlänge erforderlich ist, die sich aus der Änderung der
Bildfeldwölbung mit der Wellenlänge ergibt (wozu der Meniskus
beiträgt). Dies kann erreicht werden, indem der konvexe Radius
des Meniskus kürzer als die Summe seines konkaven Radius und
seiner Dicke gemacht wird. Der Meniskus ist dann zwei Linsen
äquivalent, von denen eine eine fiktive, konzentrische
Meniskuslinse mit einem konvexen Radius, der gleich der Summe
des konkaven Radius und der Dicke ist, und die zweite eine
positive Meniskuslinse mit der Dicke null ist, deren konkaver
Radius der konvexe Radius der fiktiven Meniskus-Linse
und deren konvexer Radius der konvexe Radius des tatsächlichen
Meniskus sind. Für einen nahezu konzentrischen Meniskus mit
konkavem Radius R₁, einem konvexen Radius R₂, einer Dicke t
und einem Brechungsindex N kompensiert der Farblängsfehler
die Änderung des Brennpunktes aufgrund der Änderung der Bildfeldkrümmung
mit der Wellenlänge in einem Ring mit dem Radius H,
wenn gilt
R₂<R₁ und
t ≃R₂-R₁+(H²/2N²) (1/R₁-1/R₂) (1)
t ≃R₂-R₁+(H²/2N²) (1/R₁-1/R₂) (1)
Es wurde festgestellt, daß die Einführung von zwei Menisken,
deren Parameter im wesentlichen die Gleichung (1) erfüllen,
in ein optisches System des Typs, wie er in der obenerwähnten
US-PS 37 48 015 beschrieben wird, zusammen mit entsprechenden
Modifikationen, wie sie im folgenden im einzelnen
erläutert werden sollen, zu einer Verringerung des Astigmatismus
höheren Ordnung über einen breiten Spektralbereich führt.
Das sich ergebende System kann wesentlich verbessert werden,
indem die Menisken so modifiziert werden, daß ihre Dicken
größer sind als die durch Gleichung (1) angegebenen Werte.
Dies führt zu einer Änderung des Brennpunktes eines ringförmigen
Abbildungsbereiches bzw. Bildfeldes, deren Sinn so
ist, daß sie durch die Einführung einer planparallelen
Platte mit entsprechender Dicke kompensiert werden kann, wie
bei 18 in Fig. 1 angedeutet wird. Die zusätzlichen Freiheitsgrade,
die durch dieses zusätzliche Element geliefert werden,
machen eine wesentlich höhere Korrektur möglich.
Eine weitere Verbesserung kann erhalten werden, indem die
planparallen Platten nach einem der beiden
folgenden Verfahren modifiziert werden:
- (1) Eine der Flächen der planparallelen Platte kann asphärisch gemacht werden,
- (2) die planparallele Platte kann "gebogen" werden, so daß sich ein Meniskuselement ergibt.
Das höchste Maß an Korrektur
läßt sich mit folgendem System erreichen: Die Dicke der
Menisken ist größer als der durch die Gleichung (1) angegebene
Wert; die Farbkompensation wird erhalten, indem planparallele
Platten hinzugefügt werden, die gemäß einem der
beiden obenbeschriebenen Wege modifiziert wurden. Die kleinen
Aberrationen, die von der Abweichung
des Meniskuselementes 12 von der Konzentrizität herrühren,
werden durch die Einführung einer kleinen Abweichung des
Spiegelpaars 12 und 14 von der Konzentrizität kompensiert.
Das heißt, daß der konkave Spiegel 14 und der konvexe Spiegel
12 so gelagert werden, daß der Abstand zwischen ihren Krümmungsmittelpunkten
kleiner als ungefähr 2% der Länge des kürzeren
Radius ist.
Tabelle 1 gibt ein Beispiel mit Konstruktionsdaten für das
optische System mit ringförmigem Abbildungsbereich nach Fig. 1.
Dabei wird in üblicher Weise ein Plus-Zeichen verwendet, um
anzugeben, daß eine Oberfläche zum Objekt hin konvex ist;
dieser Abstand wird von links nach rechts gemessen; ein Minus-Zeichen
wird verwendet, um anzugeben, daß eine Oberfläche zum
Objekt hin konkav ist; dieser Abstand wird von rechts nach
links gemessen.
Tabelle II zeigt die berechnete Leistung des optischen Systems
mit ringförmigem Gesichtsfeld nach Tabelle 1 über einen erweiterten
Spektralbereich (2800 Å bis 5461 Å), ausgedrückt in
der mittleren Wellen-Aberration bei verschiedenen
Radien des Kreisrings. Die Breite des nutzbaren
Kreisrings ist die Differenz zwischen den Werten für die oberen
und unteren Radien, für welche die Leistung für den jeweiligen
Anwendungszweck geeignet ist. Ein System wird
üblicherweise "beugungsbegrenzt" oder genauer "öffnungs- bzw.
aperturbegrenzt" genannt, wenn die mittlere
Wellenaberration kleiner als 0,07 ist. Für ein Abtastsystem
kann die mittlere Wellenaberration an den Kanten des Kreisrings
bis zu 0,09 oder gar 0,1 betragen.
Wie oben erwähnt wurde, weist das optische System mit ringförmigem
Gesichtsfeld wenigstens
einen konvexen und einen konkaven Spiegel auf, die im wesentlichen
konzentrisch längs einer optischen Achse angeordnet
sind, so daß senkrecht zu dieser Achse, für welche das System
die Vergrößerung 1 hat, konjugierte Ebenen entstehen. Fig. 1
zeigt eine geeignete Anordnung der konvexen und konkaven
Spiegel; andere geeignete Anordnungen dieser Spiegel sind in
der US-PS 37 48 015 dargestellt
und beschrieben. Fig. 8 der vorliegenden Beschreibung
zeigt eine Anordnung, die einen konvexen Spiegel 12 e und
einen konkaven Spiegel 14 e enthält, die im wesentlichen konzentrisch
längs einer optischen Achse SA so angeordnet sind,
daß insgesamt fünf Reflexionen innerhalb des Systems ausgenutzt
werden; dabei erfolgen drei Reflexionen an dem konkaven
Spiegel 14 e und zwei an dem konvexen Spiegel 12 e. Bei dieser
Ausführungsform ist die algebraische Summe der Brechkräfte der
verwendeten, reflektierenden Oberflächen null, wenn der Radius
des konvexen Spiegels 12 e zwei Drittel des Radius des konkaven
Spiegels 14 e ist. Auf ähnliche Weise, wie es in Verbindung
mit der Ausführungsform nach Fig. 1 beschrieben wurde, enthält
das System nach Fig. 8 Meniskuselemente 16 e und eine
Farbkorrektur-Platte 18 e, welche die oben beschriebene Funktionsweise
haben.
Optische Systeme mit ringförmigem Abbildungsbereich des eben
beschriebenen Typs werden im allgemeinen für die Abtastung eingesetzt;
zu diesem Zweck wird angestrebt, die Orientierung
des Objektes und der Abbildung gleich zu machen, so daß ihre
Halterungen in einer festen Beziehung zueinander gehalten
werden können, während sie bei der Abtastung relativ zu dem
optischen System bewegt werden; dadurch lassen sich die Anforderungen
an die Genauigkeit der Abtastbewegung gering halten.
Bei dem optischen System nach der obenerwähnten US-PS 39 51 546
wird dies durch eine Anordnung erreicht, bei der in
dem optischen System drei flache Spiegel vorgesehen sind.
Diese Wirkung läßt sich jedoch auch auf andere Weise erreichen,
indem zwei optische Systeme 10 und 10′ eingesetzt werden,
wobei jedes optische System von dem in Fig. 1 gezeigten
Typ ist; diese optischen Systeme sind Rücken-an-Rücken angeordnet,
so daß die Objekt- und Bild-Ebenen übereinanderliegen,
wie es in Fig. 2 dargestellt ist. Das optische System 10 enthält
also zwei sphärische Spiegel 12 und 14, ein Paar Meniskuselemente
16 und eine Farbkorrekturplatte 18, während das
symmetrische optische System 10′ zwei sphärische Spiegel 12′
und 14′, ein Paar Meniskuselemente 16′ und eine Farbkorrekturplatte
18′ enthält. Der für eine praktische Anordnung erforderliche
physikalische Abstand zwischen dem Objekt und
der schließlich erhaltenen Abbildung wird erreicht, indem
Spiegel 20 und 20′ für die Knickung des Strahlengangs hinzugefügt
werden, wie in Fig. 2 durch die unterbrochenen Linien
angedeutet ist, um das tatsächliche Objekt und die Abbildung
jeweils zu den Stellen O′ bzw. I′ zu bewegen. Bei dieser
Anordnung muß die Trennung zwischen den Spiegeln für die
Knickung des Strahlengangs ausreichen, um einen Zwischenraum
für die Abtastung zu liefern. Selbstverständlich können jedoch
auch andere Ausgestaltungen von planparallelen Platten
für die Knickung des Strahlengangs verwendet
werden, welche die relative Orientierung des Objektes und der
Abbildung beibehalten.
Bei dem optischen System nach Fig. 2 ist das bei 22 angedeutete
Zwischenbild hoch korrigiert, weil es durch das
optische System 10 nach Fig. 1 erzeugt wird. Bei dieser
Anordnung ist jede Hälfte 10 und 10′ des Systems longitudinal
symmetrisch und kann deshalb umgekehrt, das heißt, in die
jeweils andere Stellung gebracht werden. Da für die meisten
Anwendungsfälle eine hohe Korrektur am Zwischenbild nicht erforderlich
ist, kann das System vereinfacht werden, indem die
Anforderungen nicht erfüllt werden, daß jede Hälfte des
Systems symmetrisch sein muß, während das System oder wenigstens
seine brechenden Elemente insgesamt symmetrisch gehalten werden;
dadurch läßt sich die Zahl der für die Kompensation erforderlichen
Menisken und Korrekturplatten auf jeweils zwei
verringern, wie bei der Ausführungsform nach Fig. 3 dargestellt
ist. Dabei weist also eine Hälfte des bei 10 a angedeuteten
optischen Systems zwei sphärische Spiegel 12 und
14, ein Meniskuselement 16 a und eine Farbkorrekturplatte 18 a
auf, die auf der Seite des Zwischenbildes 22 vorgesehen sind;
alle diese Elemente sind symmetrisch um die optische Achse SA
angeordnet. Die andere, bei 10 a′ angedeutete Hälfte des optischen
Systems weist zwei sphärische Spiegel 12′ und 14′,
ein Meniskuselement 16 a′ und eine Farbkorrekturplatte 18 a′
auf, die auf der Seite des Zwischenbildes 22 angeordnet sind;
alle diese Elemente liegen symmetrisch zu der optischen Achse
SA. Aus den gleichen, bereits oben angegebenen Gründen ist
jede Hälfte des optischen Systems mit einem Spiegel 20 und
20′ für die Knickung des Strahlengangs versehen, der in Fig. 2
mit gestrichelten Linien angedeutet ist, um das tatsächliche
Objekt und schließlich die erhaltene Abbildung jeweils zu den
Stellen O′ bzw. I′ zu verschieben.
Im folgenden wird auf Fig. 4 Bezug genommen; Systeme mit dem
bei 22 angedeuteten Zwischenbild können weiter vereinfacht
werden, indem die beiden Farbkorrekturplatten 18 a und 18 a′
der Ausführungsform nach Fig. 3 zu einem einzigen Element
der gleichen Form kombiniert werden, wie es in Fig. 4 bei
18 b angedeutet ist. Die Symmetrie wird aufrecht erhalten,
indem der einzige Farbkorrektor 18 b in dem oder nahe bei dem
Zwischenbild 22 angeordnet wird. Weiterhin kann auch auf die
Spiegel 20 und 20′ für die Knickung des Strahlengangs nach
Fig. 3 verzichtet werden, indem
die konjugierte Schnittweite wenigstens eines der Doppelspiegelelemente
12 b, 14 b und 12 b′, 14 b′ ungleich gemacht wird. Das
heißt, daß der Zwischenbildabstand von dem Zwei-Spiegel-Element
größer als der Objekt- und/oder Bildabstand gemacht wird, um
dadurch das schließlich erhaltene Bild I im Abstand von dem
Objekt O anzuordnen. Bei diesem System kann die Farbkorrekturplatte
18 b an dem Zwischenbild eine richtige bzw. wahre
parallele Ebene sein.
In einem echten afokalen System ist die Vergrößerung für alle
konjugierten bzw. zugehörigen Stellen gleich. Diese an sich
erstrebenswerte Eigenschaft läßt sich jedoch in der Praxis
nicht erreichen, weil praktische Systeme im allgemeinen nicht
für alle Stellen bzw. Lagen des Abbildungsbereichs wirklich
afokal bleiben. Bei dem System mit der Vergrößerung 1 nach
Fig. 4 ergibt sich beispielsweise folgendes: Wenn das Objekt O
und die Abbildung I zusammen longitudinal um 1 mm verschoben
werden, ändert sich die Vergrößerung eines 4 mm radialen Kreisrings
von 1 um ±0,00032. Diese Änderung, die zu einer Spur-Verschmierung
während der Abtastung führt, kann auf ±0,00001 verringert
werden, indem eine der Flächen der Farbkorrekturplatte 18 b
asphärisch gemacht wird.
Eine Modifikation des optischen Systems nach Fig. 4 ist in
Fig. 5 dargestellt; dabei werden die Korrekturmenisken von
der Seite des Zwischenbildes des Systems zu seiner Objekt/Bild-Seite
verschoben. Bei der Ausführungsform nach Fig. 5 enthält
eine Hälfte des Systems zwei sphärische Spiegel 12 b und
14 b sowie ein Meniskuselement 16 c, das auf der Objekt/Bild-Seite
und symmetrisch zu der Systemachse SA angeordnet ist;
die andere Hälfte des Systems enthält zwei sphärische Spiegel
12 b′ und 14 b′ sowie ein Meniskuselement 16 c′, das ebenfalls
auf der Objekt/Bild-Seite und symmetrisch zu der Systemachse
SA angeordnet ist. Eine einzige Farbkorrekturplatte 18 b ist
symmetrisch zu der Systemplatte in dem oder nahe bei dem
Zwischenbild 22 angeordnet. Wie bei der Ausführungsform nach
Fig. 4 ist eine der Flächen dieser Platte asphärisch. Weiterhin
sind wie bei der Ausführungform nach Fig. 4 die Abstände
des Zwischenbildes zu den Zwei-Spiegel-Elementen größer als
die Abstände Objekt und Abbildung, um für die Abtastung die
schließlich erhaltene Abbildung I im Abstand von dem Objekt O
anzuordnen.
Die folgende Tabelle III gibt ein Beispiel für die Konstruktionsdaten
eines optischen Systems mit ringförmigem Abbildungsbereich
nach Fig. 5 an.
Tabelle IV zeigt die berechnete Leistung des optischen Systems
mit ringförmigem Abbildungsbereich nach Tabelle III über einen
erweiterten Spektralbereich (2800 Å bis 5461 Å), ausgedrückt
in der mittleren Wellenabweichung bei verschiedenen Radien
des Kreisrings. Die Breite des nutzbaren Kreisrings ist die
Differenz zwischen Werten für den oberen und unteren
Radius, für welche die Leistung für die jeweilige Anwendung
geeignet ist.
Ein optisches System, bei dem die Abstände von dem Zwischenbild
22 zu den Zwei-Spiegel-Elementen 12 d-14 d und 12 d′-14 d′
kleiner als die Abstände von dem Objekt O und der schließlich
erhaltenen Abbildung I sind, ist in Fig. 6 gezeigt. Bei der
Ausführungsform nach Fig. 6 enthält eine Hälfte des Systems
zwei sphärische Spiegel 12 d und 14 d sowie ein Meniskuselement
16 a, das auf der Zwischenbildseite und symmetrisch zu der
Systemachse SA angeordnet ist; die andere Hälfte des Systems
enthält zwei sphärische Spiegel 12 d′ und 14 d′ sowie ein
Meniskuselement 16 a, das auf der Zwischenbildseite und
symmetrisch zu der Systemachse SA angeordnet ist. Eine einzige
Farbkorrekturplatte 18 b ist in oder nahe bei dem Zwischenbild
22 vorgesehen. Zwischen den gekreuzten konjugierten Stellen
O und I sind wie bei den Systemen nach den Fig. 2 und 3
parallele Planplatten für die Knickung des Strahlengangs
eingeführt, so daß sie für die Abtastung zugänglich werden.
Bei der Ausführungsform nach Fig. 6 sind jedoch die beiden
Planplatten für die Knickung des Strahlengangs die vordere
und hintere Oberfläche einer planparallelen Platte 20 d, deren
Dicke unter Berücksichtigung der mechanischen Anforderungen
bestimmt wird, im Gegensatz zu den Anordnungen nach den
Fig. 2 und 3, bei denen andere Anforderungen den Abstand
zwischen den reflektierenden Oberflächen festlegten. Bei der
Ausführungsform nach Fig. 6 dienen also die vordere und
hintere Oberfläche der Platte 20 d dazu, das Objekt O nach O′
und die schließlich erhaltene Abbildung I nach I′ abzulenken
bzw. umzulenken, wodurch sich der für die Abtastung erforderliche
Abstand zwischen ihnen ergibt.
Eine weitere Ausführungsform der Erfindung, die gekreuzte
Objekt- und Bildebenen verwendet, ist in Fig. 7 dargestellt;
dabei ist die einzige Farbkorrekturplatte 18 b nach Fig. 6
an dem Zwischenbild durch zwei im Abstand angeordnete Farbkorrekturplatten
18 e und 18 e′ auf der Objekt/Bild-Seite des
Systems ersetzt worden. Bei dieser Ausführungsform sind die
im wesentlichen planparallelen Platten "gebogen" worden, so
daß ein Meniskuselement entsteht. Der übrige Teil des Systems
nach Fig. 7 ähnelt dem des Systems nach Fig. 6. Das heißt,
daß eine Hälfte des Systems zwei sphärische Spiegel 12 d und 14 d
sowie ein Meniskuselement 16 a enthält, das auf der Zwischenbildseite
angeordnet ist, während die andere Hälfte des Systems
zwei sphärische Spiegel 12 d′ und 14 d′ sowie ein Meniskuselement
16 a′ enthält, das ebenfalls auf der Zwischenbildseite angeordnet
ist. Wie bereits oben in Verbindung mit der Ausführungsform
nach Fig. 6 beschrieben wurde, dient eine Platte 20 d
mit vorderen und hinteren Spiegeloberflächen dazu, das Objekt O
nach O′ und die schließlich erhaltene Abbildung I nach I′ zu
verschieben, wodurch sich der Abstand zwischen Objekt und
Abbildung ergibt, wie er für die Praxis erforderlich ist.
Tabelle V gibt die Konstruktionsdaten für ein Beispiel des
optischen Systems mit ringförmigem Bildfeld nach Fig. 7 an.
Tabelle VI zeigt die berechnete Leistung des optischen Systems
mit ringförmigem Abbildungsbereich nach Tabelle V über einen
erweiterten Spektralbereich (2800 Å bis 5461 Å), ausgedrückt
in der mittleren Wellenaberration bei verschiedenen Radien
des Kreisrings. Die Breite des nutzbaren Kreisrings ist die
Differenz zwischen den Werten der oberen und unteren Radien,
für welche die Leistung für den jeweiligen Anwendungszweck
geeignet ist.
Bei der Anordnung nach Fig. 7 und bei der Konstruktion nach
Fig. 5 können die brechenden oder Meniskuselemente 18 e, 18 e′,
16 c und 16 c′ als Fenster verwendet werden, so daß die Bereiche
des optischen Systems luftdicht zwischen ihnen eingeschlossen
werden.
Die vorliegende Erfindung schafft also ein neues und verbessertes
System für Anwendungsfälle, bei denen räumliche Beziehungen
mit großer Genauigkeit reproduziert werden müssen; dieses optische
System kann sowohl unter Berücksichtigung eines breiten
Kreisrings als auch für einen erweiterten Spektralbereich
korrigiert werden.
Claims (20)
1. Spiegellinsensystem für den Abbildungsmaßstab 1 : 1, wobei
Bild- und Gegenstandsfeld gegenüber der Symmetrieachse des
Systems jeweils seitlich versetzt sind, mit wenigstens
einem konvexen und einem konkaven Spiegel, die konzentrisch
zu und in Längsrichtung der Symmetrieachse angeordnet sind,
mit zu der Symmetrieachse senkrechten, konjugierten Ebenen
und wenigstens zwei seitlich zur Symmetrieachse versetzt
angeordneten Meniskuslinsen, dadurch gekennzeichnet,
daß der Krümmungsradius der konvexen Oberfläche der jeweiligen
Meniskuslinse (16, 16′; 16 a, 16 a′; 16 c, 16 c′ größer
als derjenige der konkaven Oberfläche und die Dicke der jeweiligen
Meniskuslinse größer als der Unterschied der
beiden Radien ist.
2. Spiegellinsensystem nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet,
daß die Symmetrieachse (SA) des Spiegellinsensystems (10;
10 a; 10 b; 10 c; 10 e; 10 p) diesem gegenüberliegend ein weiteres
Spiegellinsensystem (10′; 10 a′; 10 b′; 10 c′; 10 e′; 10 p′)
für den Abbildungsmaßstab 1 : 1, welches einen weiteren konvexen
und einen weiteren konkaven Spiegel (12′; 14′; 12 b′,
14 b′, 12 d′, 14 d′), die im wesentlichen konzentrisch zu und
in Längsrichtung der Symmetrieachse (SA) angeordnet sind,
und gegenüber der Symmetrieachse (SA) seitlich nach verschiedenen
Seiten in bezug auf diese Symmetrieachse (SA)
versetztes Bild- und Gegenstandsfeld sowie zu der Symmetrieachse
(SA) senkrechte, konjugierte Ebenen aufweist,
derart angeordnet ist, daß eine konjugierte Ebene des
Spiegellinsensystems (10; 10 a; 10 b; 10 c; 10 e; 10 p) mit
einer konjugierten Ebene des weiteren Spiegellinsensystems
(10′; 10 a′; 10 b′; 10 c′; 10 e′; 10 p′) zusammenfällt, und daß
jeweils eine der Meniskuslinsen (16, 16′, 16 a, 16 a′, 16 c,
16 c′) in dem Strahlengang des Spiegellinsensystems und des
weiteren Spiegellinsensystems angeordnet ist.
3. Spiegellinsensystem nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet,
daß der Abstand zwischen den Krümmungsmittelpunkten des
konkaven und konvexen bzw. des weiteren konkaven und des
weiteren konvexen Spiegels (12, 14; 12′, 14′; 12 b, 14 b;
12 b′, 14 b′; 12 d, 14 d; 12 e, 14 e) kleiner als ungefähr 2%
der Länge des kürzeren Radius der beiden Spiegel ist.
4. Spiegellinsensystem nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet,
daß die beiden Meniskuslinsen (16 a, 16 a′; 16 c, 16 c′)
symmetrisch zu den zusammenfallenden, konjugierten Ebenen
angeordnet sind.
5. Spiegellinsensystem nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet,
daß die beiden Spiegellinsensysteme (10, 10′) jeweils ein
Paar Meniskuslinsen (16, 16′) aufweisen, die in jedem
Spiegellinsensystem (10, 10′) symmetrisch zur Symmetrieachse
(SA) und paarweise symmetrisch zu den zusammenfallenden,
konjugierten Ebenen angeordnet sind.
6. Spiegellinsensystem nach einem der vorhergehenden
Ansprüche, dadurch gekennzeichnet,
daß bei einem kreisförmigen Gegenstandsfeld zwischen dessen
Radius (H) und den Parametern der Meniskuslinsen folgende
Beziehung gilt:
R₂<R₁undt R₂-R₁+(H²/2N²) · (1/R₁-1/R₂)worin bedeuten:H= der Radius des ringförmigen Feldes,R₁= der Radius der konkaven Oberfläche der Meniskuslinse,
R₂= der Radius der konvexen Oberfläche der Meniskuslinse,
t= die Dicke der Meniskuslinse,
N= der Brechungsindex der Meniskuslinse.
7. Spiegellinsensystem nach Anspruch 1 oder 5, dadurch gekennzeichnet,
daß zwischen dem Gegenstandsfeld bzw. dem Bildfeld und den
Spiegeln (12, 14; 12′, 14′) wenigstens eine Korrekturlinse
(18) angeordnet ist.
8. Spiegellinsensystem nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet,
daß jeweils eine Korrekturlinse (18 a, 18 a′; 18 e, 18 e′)
zwischen den Spiegeln (12, 14; 12′, 14′; 12 d, 14 d;
12 d′, 14 d′) und den Meniskuslinsen (16 a; 16 a′) oder
zwischen den Meniskuslinsen (16 a, 16 a′) und dem Gegenstand
bzw. Bildfeld angeordnet ist.
9. Spiegellinsensystem nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet,
daß eine einzige Korrekturlinse (18) an der Stelle (22)
angeordnet ist, an der eine konjugierte Ebene des
Spiegellinsensystems (10; 10 a; 10 b; 10 c; 10 e; 10 p) mit
einer konjugierten Ebene des weiteren Spiegellinsensystems
(10′; 10 a′; 10 b′; 10 c′; 10 e′; 10 p′) zusammenfällt.
10. Spiegellinsensystem nach einem der Ansprüche 7 bis 9,
dadurch gekennzeichnet,
daß die Korrekturlinse eine im wesentlichen planparallele
Platte ist.
11. Spiegellinsensystem nach einem der Ansprüche 7 bis 9,
dadurch gekennzeichnet,
daß die Korrekturlinse eine Platte mit einer asphärischen
Fläche ist.
12. Spiegellinsensystem nach Anspruch 7 oder 8, dadurch gekennzeichnet,
daß die Korrekturlinse ein Meniskus ist.
13. Spiegellinsensystem nach einem der Ansprüche 10 bis 12,
dadurch gekennzeichnet,
daß die Platte bzw. der Meniskus senkrecht zur Symmetrieachse
(SA) angeordnet ist.
14. Spiegellinsensystem nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet,
daß der Abstand zwischen dem Gegenstandsfeld oder dem
Bildfeld und dem zugeordneten konkaven Spiegel (14b, 14 b′;
14 d, 14 d′) in wenigstens einem der Spiegellinsensysteme
(10 b, 10 b′; 10 c, 10 c′, 10 d, 10 d′; 10 e, 10 e′) von dem
Abstand zwischen den zusammenfallenden, konjugierten
Ebenen und den konkaven Spiegeln (14 b, 14 b′; 14 d, 14 d′)
verschieden ist.
15. Spiegellinsensystem nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet,
daß der Abstand zwischen dem Gegenstandsfeld bzw. dem
Bildfeld und dem zugeordneten konkaven Spiegel (14, 14′;
14 d, 14 d′) gleich dem oder größer als der Abstand zwischen
den zusammenfallenden, konjugierten Ebenen und den konkaven
Spiegeln (14, 14′; 14 d, 14 d′) ist und daß eine
optische Einrichtung (20, 20′; 20 d) vorgesehen ist, durch
die das Bildfeld und das Gegenstandsfeld zum freien Zugang
voneinander trennbar sind.
16. Spiegellinsensystem nach Anspruch 15, dadurch gekennzeichnet,
daß die optische Einrichtung (20, 20′, 20 d) Spiegelflächen
aufweist.
17. Spiegellinsensystem nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet,
daß das und das weitere Spiegellinsensystem (10, 10′; 10 a,
10 a′; 10 b, 10 b′; 10 d, 10 d′; 10 e, 10 e′) im wesentlichen
symmetrisch zu der Ebene sind, in der mindestens jeweils
eine der konjugierten Ebenen der beiden Spiegellinsensysteme
liegt.
18. Spiegellinsensystem nach einem der vorhergehenden
Ansprüche, gekennzeichnet
durch die folgenden Konstruktionsdaten:
19. Spiegellinsensystem nach einem der Ansprüche 1 bis 17,
gekennzeichnet durch die folgenden Konstruktionsdaten:
20. Spiegellinsensystem nach einem der Ansprüche 1 bis 17,
gekennzeichnet durch die folgenden Konstruktionsdaten:
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