DE2800340A1 - Geradlinige einstellvorrichtung, insbesondere fuer optische messungen - Google Patents

Geradlinige einstellvorrichtung, insbesondere fuer optische messungen

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Description

  • Geradlinige Einstellvorrichtung,
  • insbesondere für optische Messungen Gegenstand der Erfindung ist eine geradlinige Einstellvorrichtung, insbesondere für optische Messungen.
  • Charakteristisch für den Aufbau der bekannten geradlinigen Einstellvorrichtungen ist, dass sie einen sich auf die in der Grundplatte ausgearbeitete unterschiedliche Profile aufweisende mit Gleit- oder Wälzelementen versehene Führung abstützenden Objekttisch besitzen. Zur Bewegung des Objekttisches dient die unmittelbar an diesen angeschlossene Mikrometer- bz».
  • Feineinstellschraube. - Charkteristisch für die in dieser Weise aufgebauten Einstellvorrichtungen sind das stockende Gleiten, der zufolge der Reibung auftretende Verschleiss, die Verschmutzung des Schmierstoffes der gleitenden Flächen und die mit dem Tisch direkt in Eingriff stehende, zur Bewegung dienende Mikrometer- bzw. Feineinstellschraube. Diese Konstruktionsmerkmale setzen der mit diesen Einstellvorrichtungen erreichbaren Messgenauigkeit und der reproduzierbaren Einstellgenauigkeit eine sehr strenge obere Grenze, wobei ihre Herstellung zugleich eine ausserordentliche feine Oberflächenbearbeitung höchster Präzision und wärmebehandelte Werkstoffe erfordert und deshalb kostenauSwendig ist.
  • Die Nachteile der bekannten Einstellvorrichtung sind demnach folgende: 1. infolge der für die Gleit- oder Rollführungen charakteristischen stockenden Gleitung, der Abnutzung und der Verschmutzung sind ihre Messgenauigkeiten gering, 2. die erreichbare Messgenauigkeit wird durch die Grundteilung der mit dem Objekttisch unmittelbar verbundenen zur Bewegung dienenden Mikrometerschraube bestimmt, 3. die Schmierung erfordernden Gleitflächen können unter Vakuum und bei extremen Temperaturen nicht benutzt werden, 4. ihre Herstellung erfordert eine ausserordentlich feine Oberflächenbearbeitung hoher Genauigkeit sowie wärmebehandelte Werkstoffe und ist deshalb kostenaufwendig.
  • Ziel der Erfindung ist die Schaffung einer geradlinigen Einstellvorrichtung, bei der die Führung des Objekttisches reibungs-und spielfrei ausgeführt ist. Die den Tisch bewegende Dlikrometerschraube soll mittels einer eine grosse Ubersetzung aufweisenden reibungs- und spielfreien Übersetzung indirekt mit dem Objekttisch verbunden sein, wodurch eine im Vergleich zu den bekannten Lösungen um eine Grössenordnung höhere Mess-und Reproduktionsgenauigkeit erreicht wird und zugleich keine ausserordentlich feine Oberflächenbearbeitung und keine wärmebehandelten Werkstoffe benötigt werden, so dass auch die Herstellung wirtschaftlich ist.
  • Diese Aufgabe wird erfindungsgemäss dadurch gelöst, dass zu schein der Grundplatte und dem Träger des Objekttisches ein Ausgleichsglied und zwischen dem Objekttisch und der Niktrometerschraube ein Bewegungshebel vorgesehen sind. Das Ausgleichsglied ist durch Blattfedern sowohl mit der Grundplatte als auch mit dem Träger des Objekttisches verbunden. Der Bewegungshebel hingegen, an dem sich die Miktrometerschraube abstützt, ist mittels eines Querfedergelenks an die Grundplatte und mittels eines elastischen Gelenks an den Träger des Objekttisches angeschlossen.
  • Bei einer vorteilhaften Ausführungsform der Erfindung sind auf der Grundplatte der Vorrichtung senkrecht hervorstehenden Ansätze angeordnet. Zwischen der Grundplatte sowie dem Obekttisch sind das Ausgleichsglied und der Träger des Objekttisches und zwischen dem Objekttisch und der zur Bewegung dienenden Mikrometerschraube der Bewegungshebel angeordnet. Das AusEleichsglied ist durch Blattfedern mit den Ansätzen der Grundplatte und ebenfalls durch Blattfedern mit dem Träger des Objekttisches verbunden, wobei der Träger durch eine Spiralfeder an den Ansatz der Grundplatte angeschlossen ist. Der Bewegungshebel der Vorrichtung ist mittels eines Querfedergelenks an den Ansatz der Grundplatte und mittels einer Blattfeder an den Trägern des Objekttisches angeschlossen, wobei schliesslich die zur Bewegung dienende Mikrometerschraube durch einen Ansatz der Grundplatte geführt, auf dem Bewegungshebel abgestützt ist.
  • Bei einer weiteren Ausführungsform der Erfindung besitzt die Vorrichtung auch einen zweiten rahmenförmigen Bewegungshebel, wobei der erste Bewegungshebel, auf den sich die Mikrometerschraube abstützt, das Ausgleichsglied und den Trager des Objekttisches, der zweite Bewegungshebel hingegen nur den Träger des Objekttisches einschliesst und mittels eines QuerfedergeXPkes an einen Ansatz der Grundplatte und mittels einer mit Blattfeder versehenen Druckstange an den ersten Bewegungshebel, an den Träger des Objekttisches hingegen mittels einer Blattfeder angeschlossen ist.
  • Ausführungsbeispiele von bekannten und von erfindungsgemässen geradlinigen Einstellvorrichtungen sind in Zeichnungen dargestellt. In der Zeichnung zeigen: Fig.l+la eine teilweise geschnittene bekannte, nit prismatischer Gleitführung versehene Einstellvorrichtung und deren Querschnitt, Fig. 2+2a eine andere bekannte, teilweise geschnittene Einstellvorrichtung mit einer Kugelrollbahnführung und deren Querschnitt, Fig. 3 die erfindungsgemässe geradlinige Einstellvorrichtung, Fig. 4 eine Querschnittansicht des ersten einarmigen Hebels und Fig. 5 eine Querschnittansicht des zweiten einarmigen Hebels.
  • In den Fig. 1 und la, die die bekannte mit prismatischer Gleitführung versehene Einstellvorrichtung darstellen, ist der Objekttisch 1 mittels der Führung 2 an die Grundplatte 3 angeschlossen. Die Bewegung des Objekttisches wird durch eine an der Grundplatte 3 befestigte Mikrometerschraube (Feineinstellschraube) 4 gesichert. Die zur Bewegung dienende Mikrometerschraube 4 ist in die in der Bohrung des Objekttisches 1 und der Grundplatte 3 angeordnete geschlitzte Hülse eingepasst und durch diese Hülse mittels der Feststellschraube 7 an die Grundplatte 3 befestigt. Die Antriebschraube 8 der Mikrometerschraube 4 ist mittels des Mitnehmerrings 5 mit dem Objekttisch 1 verbunden.
  • Bei der in den Fig.2 und 2a dargestellten, mit der bekannten Wälzführung versehenen Einstellvorrichtung ist der Objekttisch 11 mittels der Wälzelemente 12 an die Grundplatte 13 angeschlossen. Die Bewegung des Objekttisches 11 wird durch die Mikrometerschraube 14 gesichert. Für die mit den bekannten Gleit- bzw. Rollführungen versehenen Einstellvorrichtungen ist die stockende Bewegung charkteristisch, derzufolge sie für genauere Messungen und Positionseinstellungen nicht verwendet werden können. Die zur Bewegung dienende Miktrometerschraube 14 ist unter Zwischenfügung der geschlitzten Hülse 16 auch hier an dem Objekttisch 11 und der Grundplatte 13 mittels der Feststellschraube 17 befestigt. Die Antriebsschraube 18 der Miktrometerschraube 14 ist auf die auch in Fig. 1 dargestellte Weise mit Hilfe des Mitnehmerringes 15 mit dem Objekttisch 11 verbunden.
  • Die Fig. 3, 4 und 5 zeigen eine beispielsweise Ausführungsform der erfindungsgemässen Einstellvorrichtung. Auf der Grundplatte 21 der Vorrichtung sind senkrecht vorstehende Ansätze 35,36,37,38 und 39 vorgesehen. An den ersten Ansatz 35 und an den zweiten Ansatz 36 ist jeweils das eine Ende der beiden Blattfedern 22 befestigt, an deren beide anderen Enden das auf einer Parabelbahn sich bewegende Ausgleichsglied 23 angeschlossen ist.
  • Das eine Ende der Blattfedern 26 ist an dem Ausgleichs glied 23, das andere Ende in dem geradegeführten Träger 25 befestigt, an dem der die zu messende und positionsmässig einzustellende Einheit tragende Objekttisch 24 befestigt ist. Der Mitnehmerpunkt A ist mittels der Blattfeder 33 durch eine aus reibungs- und spielfreien querstehenden Blattfedern geeigneter geometrischer Anordnung bestehende, an dem Ansatz 38 der GrunLatte 21 an dem Querfedergelenk 31 aufgehängte, einen zweiten einarmigen Hebel 32 bildende Bewegungsstange an dem Träger 25 angeschlossen.
  • Der zweite Bewegungshebel 32 der ebenfalls rahmenförmig ausgeführt ist, umfasst mit seiner oeffnung den Träger 25.
  • Der Angriffspunkt B des zweiten Bewegungshebels 32 ist über eine mit Blatt federn versehene Druckstange 30 an den Mitnehmerpunkt C des mit einer aus reibungs- und spielfreien, querstehenden Blattfedern geeigneter geometrischer Anordnung versehen und an dem Ansatz 37 der Grundplatte 21 an das Querfedergelenk 27 aufgehängten ersten Bewegungshebels 28 angeschlossen. Die rahmenförmige oeffnung des ersten Bewegungshebels 28 umfasst den Träger 25 und das Ausgleichsglied 23. An den Angriffspunkt D des ersten Bewegungshebels 28 ist die an den zweiten Ansatz 36 der Grundplatte 21 befestigte, zur Bewegung dienende Miktrometerschraube 29 angeschlossen. Die konstante, spielfreie Verbindung zwischen dem ersten Bewegungshebel 28 und der zur Bewegung dienenden Miktrometerschraube 29 wird durch die an den fünften Ansatz 39 der Grundplatte 21 angeschlossene Spiralfeder 32 gesichert.
  • Die Arbeitsweise der erfindungsgemässen Einstellvorrichtung ist folgende: Die Grundplatte 21 wird an dem Ständer befestigt. Das im Vergleich zum Ständer zu messende bzw. einzustellende Element, z.B. ein optischer Spiegel, wird an dem Objekttisch 24 befestigt. Die momentane Position des einzustellenden bzw. zu messenden Elementes kann auf der Skala der Miktrometerschraube 29 kontinuierlich dadurch abgelesen werden, dass die abelesenen Bewegungswerte der Mikrometerschraube 29 im Verhältnis der Übersetzung des ersten Bewegungshebels 28 und des zweiten Bewegungshebels 32 vermindert werden. Ist die Übersetzung dieses Systems beispielsweise m = 10, so entspricht eine Bewegung der Mikrometerschraube 29 mit einer Grundteilung von 0,01 mm einer Bewegung des Objekttisches von 0,001 mm. Die auf die Grundplatte 21 bezogen geradlinige elastische Führung des Objekttisches 24 ist dadurch gesichert, dass auf den an dem ersten Ansatz 35 sowie dem zweiten Ansatz 36 der Grundplatte 21 befestigten Blattfedern 22 das sich auf einer parabolischen Bahn bewegende Ausgleichsglied 23 aufgehängt ist, an welches die Blattfedern 26 und an diese der Träger 25 befestigt sind.
  • Das so angeordnete Ausgleichsglied 23 und der Träger 25 bewegen sich entlang von im Vergleich zueinander um 1800 gedrehten gleichen parabolischen Bahnen. Als Resultante der beiden Bewegungen bewegt sich der Träger 25 im Vergleich zur Grundplatte 21 auf einer geradlinigen Bahn.
  • Die erfindungsgemässe Einstellvorrichtung verfügt über nachstehende vorteilhafte Eigenschaften: 1. Sie beseitigt die aus der für die Gleit- und Rollführungen charakteristischen stockenden Gleitung, ferner der Abnutzung und der Verunreinigung resultierenden Reproduktionsungenauigkeiten, so dass eine um eine Grössenordnung höhere Reproduktionsgenauigkeit erzielt werden kann.
  • 2. Die zur Einstellung verwendete Mikrometerschraube ist über eine geeignet gewählte Übersetzung indirekt an den Objekttisch angeschlossen, wodurch die Teilung der Einstellskala um eine Grössenordnung feiner gewählt werden kann.
  • 3. Da die Führungen keine Schmierung benötigen, ist der Anwendungsbereieh des Gerätes grösser, seine Wartung einfacher und das Gerät ist gegen Verschmutzung unempfindlicher, es kann beispielsweise auch in Vakuumeinrichtungen verwendet werden.
  • 4. Die Einrichtung kann mit relativ einfachen technischen Mitteln und wirtschaftlich hergestellt werden.

Claims (2)

  1. Geradlinige Einstellvorrichtung, insbesondere für optische Messungen Patentansprüche Geradlinige Einstellvorrichtung, insbesondere für optische Messungen, die eine Grundplatte, einen Objekttisch und eine Mikrometerschraube aufweist, dadurch gekennzeichnet, dass auf der Grundplatte (21) hervorstehende Ansätze (35,36,37, 38,39), zwischen der Grundplatte (21) sowie dem Objekttisch (24) ein Ausgleichsglied (23) und zwischen dem Träger (25) des Objekttisches (24)sowie dem Objekttisch (24) und der Miktrometerschraube (29) ein Bewegungshebel (28) vorgeseher.
    sind, dass das Ausgleichsglied (23) durch Blattfedern (22) an die Ansätze (35,36) der Grundplatte (21) und ebenfalls durch Blattfedern (26) an dem Träger (25) des Obje'Kttisch.e:, (24) anschliessbar ist, welcher Träger durch eine Spiralfeder .1 1 - (34) an dem Ansatz (39) der Grundplatte anschliessoar ist, dass der Bewegungshebel (28) der Vorrichtung mittels eines Querfedergelenkes (27) an dem Ansatz (37) der Grundplatte und mittels einer Blattfeder an dem Träger des Objekttisches angeschlossen ist und dass die Mikrometerschraube (29) durch den Ansatz (36) der Grundplatte (21) auf dem Bewegungshebel (28) abgestützt ist.
  2. 2. Geradlinige Einstellvorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die Vorrichtung einen zweiten rahmenförmigen Bewegungshebel (32) besitzt, dass r erste Bewegungshebel (28), auf den sich die Miktrometerschraube (28) abstützt, das Ausgleichsglied (23) und den Träger (25) des Objekttisches (7) und der zweite Bewegungshebel (32) nur den Träger (25) des Objekttisches umfasst und mittels eines Querfedergelenk3 (,-) an einen Ansatz (38) der Grundplatte (21) und mittels eine m>.t einer Blattfeder versehenen Druckstange (30) an den ersten Bewegungshebel (28) angeschlossen ist, und der Objekttisch (24) an seinem Träger (25) mittels einer Blattfeder (33) angeschlossen ist.
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