DE2747856C2 - - Google Patents
Info
- Publication number
- DE2747856C2 DE2747856C2 DE19772747856 DE2747856A DE2747856C2 DE 2747856 C2 DE2747856 C2 DE 2747856C2 DE 19772747856 DE19772747856 DE 19772747856 DE 2747856 A DE2747856 A DE 2747856A DE 2747856 C2 DE2747856 C2 DE 2747856C2
- Authority
- DE
- Germany
- Prior art keywords
- film
- light
- metal
- layer
- agcl
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 claims description 51
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims description 51
- 229910052709 silver Inorganic materials 0.000 claims description 21
- 229910021607 Silver chloride Inorganic materials 0.000 claims description 20
- HKZLPVFGJNLROG-UHFFFAOYSA-M silver monochloride Chemical compound [Cl-].[Ag+] HKZLPVFGJNLROG-UHFFFAOYSA-M 0.000 claims description 20
- 239000011521 glass Substances 0.000 claims description 15
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 14
- YKYOUMDCQGMQQO-UHFFFAOYSA-L cadmium dichloride Chemical compound Cl[Cd]Cl YKYOUMDCQGMQQO-UHFFFAOYSA-L 0.000 claims description 8
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 claims description 7
- 229910052745 lead Inorganic materials 0.000 claims description 7
- 229910052804 chromium Inorganic materials 0.000 claims description 5
- ADZWSOLPGZMUMY-UHFFFAOYSA-M silver bromide Chemical compound [Ag]Br ADZWSOLPGZMUMY-UHFFFAOYSA-M 0.000 claims description 4
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 claims description 3
- 229910021591 Copper(I) chloride Inorganic materials 0.000 claims description 2
- 229910021592 Copper(II) chloride Inorganic materials 0.000 claims description 2
- OXBLHERUFWYNTN-UHFFFAOYSA-M copper(I) chloride Chemical compound [Cu]Cl OXBLHERUFWYNTN-UHFFFAOYSA-M 0.000 claims description 2
- ORTQZVOHEJQUHG-UHFFFAOYSA-L copper(II) chloride Chemical compound Cl[Cu]Cl ORTQZVOHEJQUHG-UHFFFAOYSA-L 0.000 claims description 2
- 239000004332 silver Substances 0.000 description 15
- 239000011133 lead Substances 0.000 description 14
- 238000004061 bleaching Methods 0.000 description 11
- BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N Silver Chemical compound [Ag] BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 10
- 238000010521 absorption reaction Methods 0.000 description 8
- 239000000370 acceptor Substances 0.000 description 7
- 239000010949 copper Substances 0.000 description 6
- 230000035699 permeability Effects 0.000 description 6
- 230000010287 polarization Effects 0.000 description 6
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 description 6
- 239000003989 dielectric material Substances 0.000 description 5
- 238000003384 imaging method Methods 0.000 description 5
- 229910021645 metal ion Inorganic materials 0.000 description 5
- 238000000034 method Methods 0.000 description 5
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 5
- -1 silver halides Chemical class 0.000 description 5
- 239000011651 chromium Substances 0.000 description 4
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 4
- 230000008901 benefit Effects 0.000 description 3
- 239000000084 colloidal system Substances 0.000 description 3
- 238000004040 coloring Methods 0.000 description 3
- 238000009792 diffusion process Methods 0.000 description 3
- 238000001704 evaporation Methods 0.000 description 3
- 230000008020 evaporation Effects 0.000 description 3
- 239000004744 fabric Substances 0.000 description 3
- 230000002349 favourable effect Effects 0.000 description 3
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 3
- 239000002923 metal particle Substances 0.000 description 3
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 3
- 230000008569 process Effects 0.000 description 3
- 230000035945 sensitivity Effects 0.000 description 3
- 238000007740 vapor deposition Methods 0.000 description 3
- XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N Argon Chemical compound [Ar] XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 241001663154 Electron Species 0.000 description 2
- XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N Iron Chemical compound [Fe] XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 101100400378 Mus musculus Marveld2 gene Proteins 0.000 description 2
- PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N Nickel Chemical compound [Ni] PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 2
- 229910052793 cadmium Inorganic materials 0.000 description 2
- 238000009826 distribution Methods 0.000 description 2
- 150000004820 halides Chemical class 0.000 description 2
- 230000001678 irradiating effect Effects 0.000 description 2
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 2
- 150000002739 metals Chemical class 0.000 description 2
- 239000012071 phase Substances 0.000 description 2
- 238000001556 precipitation Methods 0.000 description 2
- 230000005855 radiation Effects 0.000 description 2
- 239000007787 solid Substances 0.000 description 2
- 238000001228 spectrum Methods 0.000 description 2
- 230000000638 stimulation Effects 0.000 description 2
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 2
- 230000007704 transition Effects 0.000 description 2
- 238000002834 transmittance Methods 0.000 description 2
- 229910052725 zinc Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000011701 zinc Substances 0.000 description 2
- VYZAMTAEIAYCRO-UHFFFAOYSA-N Chromium Chemical compound [Cr] VYZAMTAEIAYCRO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- ZOKXTWBITQBERF-UHFFFAOYSA-N Molybdenum Chemical compound [Mo] ZOKXTWBITQBERF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 206010034960 Photophobia Diseases 0.000 description 1
- 206010034972 Photosensitivity reaction Diseases 0.000 description 1
- ATJFFYVFTNAWJD-UHFFFAOYSA-N Tin Chemical compound [Sn] ATJFFYVFTNAWJD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- HCHKCACWOHOZIP-UHFFFAOYSA-N Zinc Chemical compound [Zn] HCHKCACWOHOZIP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000002745 absorbent Effects 0.000 description 1
- 239000002250 absorbent Substances 0.000 description 1
- 239000006096 absorbing agent Substances 0.000 description 1
- 230000009471 action Effects 0.000 description 1
- 239000000654 additive Substances 0.000 description 1
- 230000000996 additive effect Effects 0.000 description 1
- 229910052787 antimony Inorganic materials 0.000 description 1
- WATWJIUSRGPENY-UHFFFAOYSA-N antimony atom Chemical compound [Sb] WATWJIUSRGPENY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052786 argon Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000033228 biological regulation Effects 0.000 description 1
- 229910052797 bismuth Inorganic materials 0.000 description 1
- JCXGWMGPZLAOME-UHFFFAOYSA-N bismuth atom Chemical compound [Bi] JCXGWMGPZLAOME-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- BDOSMKKIYDKNTQ-UHFFFAOYSA-N cadmium atom Chemical compound [Cd] BDOSMKKIYDKNTQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 1
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 1
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 1
- 239000003086 colorant Substances 0.000 description 1
- 239000002131 composite material Substances 0.000 description 1
- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 description 1
- 238000013075 data extraction Methods 0.000 description 1
- 238000013500 data storage Methods 0.000 description 1
- 230000001419 dependent effect Effects 0.000 description 1
- 238000000151 deposition Methods 0.000 description 1
- 230000008021 deposition Effects 0.000 description 1
- 230000006866 deterioration Effects 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- MDEGNXJQYYHASU-UHFFFAOYSA-N dioxosilane gold Chemical compound [Au].O=[Si]=O MDEGNXJQYYHASU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000004090 dissolution Methods 0.000 description 1
- 239000002019 doping agent Substances 0.000 description 1
- 239000000839 emulsion Substances 0.000 description 1
- 239000003574 free electron Substances 0.000 description 1
- 229910052732 germanium Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000002241 glass-ceramic Substances 0.000 description 1
- 229910052737 gold Inorganic materials 0.000 description 1
- XMBWDFGMSWQBCA-UHFFFAOYSA-N hydrogen iodide Chemical compound I XMBWDFGMSWQBCA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052738 indium Inorganic materials 0.000 description 1
- APFVFJFRJDLVQX-UHFFFAOYSA-N indium atom Chemical compound [In] APFVFJFRJDLVQX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000003993 interaction Effects 0.000 description 1
- 229910052742 iron Inorganic materials 0.000 description 1
- 208000013469 light sensitivity Diseases 0.000 description 1
- 229910052753 mercury Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052750 molybdenum Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011733 molybdenum Substances 0.000 description 1
- 229910052759 nickel Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011368 organic material Substances 0.000 description 1
- 239000003973 paint Substances 0.000 description 1
- 230000036211 photosensitivity Effects 0.000 description 1
- 238000007747 plating Methods 0.000 description 1
- 230000036316 preload Effects 0.000 description 1
- 230000009467 reduction Effects 0.000 description 1
- 238000009877 rendering Methods 0.000 description 1
- 239000010944 silver (metal) Substances 0.000 description 1
- 230000003595 spectral effect Effects 0.000 description 1
- 239000011135 tin Substances 0.000 description 1
- WFKWXMTUELFFGS-UHFFFAOYSA-N tungsten Chemical compound [W] WFKWXMTUELFFGS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000007738 vacuum evaporation Methods 0.000 description 1
- 239000012808 vapor phase Substances 0.000 description 1
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03C—PHOTOSENSITIVE MATERIALS FOR PHOTOGRAPHIC PURPOSES; PHOTOGRAPHIC PROCESSES, e.g. CINE, X-RAY, COLOUR, STEREO-PHOTOGRAPHIC PROCESSES; AUXILIARY PROCESSES IN PHOTOGRAPHY
- G03C1/00—Photosensitive materials
- G03C1/705—Compositions containing chalcogenides, metals or alloys thereof, as photosensitive substances, e.g. photodope systems
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Metallurgy (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Materials Engineering (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Non-Silver Salt Photosensitive Materials And Non-Silver Salt Photography (AREA)
- Optical Record Carriers And Manufacture Thereof (AREA)
- Surface Treatment Of Glass (AREA)
Description
Die Erfindung betrifft die Verwendung lichtempfindlicher Auf
zeichnungsmaterialien zur Erzeugung mehrfarbiger oder di
chroitischer Bilder, bei Bestrahlung mit weißem oder mit
linear polarisiertem Licht.
In Silberhalogenide enthaltenden, lichtempfindlichen Filmen ent
steht das latente Bild meist durch photolytische Reduktion der
Halogenide zu metallischem Silber, oder gelegentlich auch durch
die Umkehrung dieser Umsetzung, wobei unter Licht- oder Wärme
einwirkung wieder Silberhalogenid entsteht.
Wie Cameron und Taylor bereits 1934 in Band 24, Seite 316-
330 des Journal of the Optical Society of America berichten,
können optisch oder chemisch gedunkelte, Silberhalogenid enthalten
de Emulsionen besonders mit rotem Licht relativ so weit ge
bleicht werden, daß sie für das Licht der bleichenden Wellen
länge durchlässiger werden. Dies wird als sogenannte Farban
passung bezeichnet. Polarisiertes Bleichungslicht erzeugt in
dem gedunkelten Film ein dichroitisches, doppelbrechendes Bild.
Optisch bedingter Dichroismus wurde auch in aus der Dampfphase
niedergeschlagenen polykristallinen Silberhalogenidschichten be
obachtet. Einen durch Zusätze von Silber, das aus der Dampf
phase niedergeschlagen wurde, verstärkten Dichroismus berichtet
Cherkashin, in Soviet Physics, Solid State, Band 13, Nr. 1,
S. 264-265 (1971).
Nach einer Hypothese wird das anisotrope Absorptionsverhalten
der Silberhalogenidfilme durch langgestreckte metallische Silber
kollide verursacht, was mit den beobachteten Absorptionsmerk
malen granularer (körniger) Metallfilme übereinstimmt.
Aus der US-PS 36 37 381 und der DE-OS 22 35 983 sind photo
graphische Aufzeichnungsmaterialien zur Erzeugung eines direkt
positiven Bildes bekannt, die aus einem Träger, einer Metall
schicht und einer Deckschicht mit einem strahlungsempfindlichen
Stoff bestehen. Die Metallschichten können durch Aufdampfen
von Silber, Zinn, Blei, Kupfer, Antimon, Molybdän, Wismut,
Zink, Kadmium, Eisen, Nickel, Chrom, Indium gegebenenfalls in
atomar dünnen Schichten erzeugt werden. Über diese wird eine
strahlungsempfindliche Deckschicht, z. B. aus einem Halogenid
des Ag, Cd, Pb, Bi, Tl, Zn, Cu, Hg gelegt.
J. Appl. Phys. 37, 7, S. 2775-2781, 1966 und Phys. Rev.
B, 8, 8, S. 3689-3701, 1973, beschreiben die optischen Ei
genschaften durch Aufdampfen oder Sputtern hergestellter dün
ner Metallschichten aus Au, Au-SiO₂ oder AgSiO₂, mit Insel
strukturen.
Die Erfindung hat zur Aufgabe Aufzeichnungsmaterialien anzugeben, mit denen mehrfar
bige oder dichroitische Bilder mit hoher Farbtreue und Auf
lösung in einem breiten Farbspektrum und gutem Kontrast bei
Bestrahlung mit weißem oder polarisiertem Licht aufgezeichnet
werden können.
Die Aufgabe wird gelöst durch Verwendung lichtempfindlicher
Aufzeichnungsmaterialien aus
- a) einem lichtdurchlässigen oder -reflektierenden Schicht träger,
- b) einer darauf aufgebrachten diskontinuierlichen Schicht aus Metallinseln aus Ag, Pb, Cu, Al, Cr und/oder Ge mit einer Inselbreite von 10-100 nm und einer Dicke von 1,5-15 nm und
- c) einer durchsichtigen, dielektrischen Deckschicht mit AgCl, AgBr, AgJ und/oder PbJ₂ als überwiegendem Bestandteil, zur Aufzeichnung mehrfarbiger oder dichroitischer Bilder mit weißem bzw. linear polarisiertem Licht.
Überraschenderweise wurde gefunden, daß in bestimmter Weise
aufgebaute Filme nach einer einzigen Bestrahlung mit gewöhn
lichem weißen Licht vollfarbige Bilder aufzeichnen. Bei Be
lichtung mit polarisiertem Licht entstehen optisch anisotrope
Bilder. Diese Bilder sind dichroitisch (lichtpolarisierend)
und doppelbrechend.
Die untere metallische Schicht dieses Films bedingt eine addi
tive Färbung durch Farbzentren, so daß der Film ein breites
Spektrum im sichtbaren Bereich absorbiert. Die Bildaufzeich
nung entsteht bei Belichtung mit der gewählten Wellenlänge im
Wege einer die Anordnung der metallischen Farbzentren modifi
zierenden Bleichung. Der Film wird hierbei für die belichteten
Wellenlängen, nicht dagegen für alle übrigen Wellenlängen,
durchsichtiger. Bei Belichtung mit polarisiertem Licht beschränkt
sich diese größere Durchlässigkeit im wesentlichen auf Licht,
das in der gleichen Richtung wie die bleichende Belichtung po
larisiert ist. In beiden Fällen hängt die Stärke der Bleichung
von der Belichtungsintensität und -dauer ab.
Diese lichtempfindlichen Filme zeichnen nicht nur Intensität
und Richtung der Polarisierung des einfallenden Lichts, sondern
auch dessen Färbung auf. Obwohl sie etwas weniger empfindlich
für blaues und grünes als für rotes Licht sind, ergeben sie
getreue, vollfarbige Bilder. Die Ursache für diese breite Farb
empfindlichkeit ist nicht genau bekannt, aber vermutlich in der
Mikrostruktur und dem Aufbau und der Herstellung dieser Filme
zu suchen. Ein weiterer Vorzug ist die hohe Bildauflösung von
1-10 µm, was so gut wie oder besser als die der hoch auflö
senden bekannten Filme ist.
Die erfindungsgemäßen Filme enthalten wenigstens eine, aus
zwei Komponenten zusammengesetzte Schicht (Metall-Dielektrik
umschicht), bestehend aus einer metallenen unteren Schicht und
einer Deckschicht aus durchsichtigem, dielektrischem Material.
Der Film kann auch mehrere dieser Kombinationsschichten ent
halten, je nach der gewünschten Auflösung oder Farbwiedergabe.
Zunächst wird auf einen geeigneten Träger eine dünne Schicht
aus diskontinuierlichen Metallinseln aufgebracht. Das Metall
soll eine plasmaabsorbierende Eigenschaft für Licht besitzen,
wenn es von geeigneten dielektrischen Akzeptoren umgeben ist;
dadurch wird die Spitzenwellenlänge der Absorption und die
Spitzenhalbbreite von Größe und Form der Metallinseln und vom
Brechungsindex des dielektrischen Materials abhängig. Geeigne
te Metalle sind Ag, Pb, Cu, Al, Cr, Ge. Die absorbierenden
Eigenschaften der metallischen Phase des lichtempfindlichen
Films hängen von Größe und Form der Metallpartikel ab, die
ihrerseits zwar auch von der nachfolgenden Behandlung beein
flußt werden, in erster Linie aber von der Struktur des auf
gebrachten Metallinselfilms abhängen. Für die beste Bildwieder
gabe wurde eine Größe der Metallinseln von etwa 10-100 nm
und eine Dicke der aus den Metallinseln zusammengesetzten
Schicht von etwa 1,5-15 nm als günstig befunden.
Nach der Aufbringung des diskontinuierlichen Metallinselfilms
wird eine wenigstens überwiegend aus einem geeigneten dielek
trischen Akzeptormaterial bestehende Deckschicht über die Me
tallinselschicht gelegt. Diese Schicht erfüllt zwei Funktionen:
sie soll die von dem Metall unter der Einwirkung von Licht
emittierten Elektronen von einem metallischen Farbzentrum weg
führen, und zweitens die bei der Belichtung entstehenden
positiven Metallionen von den metallischen Farbzentren hinweg
und in den dielektrischen Film leiten. Geeignete dielektrische
Akzeptoren sind beispielsweise AgCl, AgBr, AgJ und PbJ₂.
Dieses Material soll eine durchsichtige Deckschicht über dem
diskontinuierlichen Metallinselfilm bilden. Ihre Dicke beein
flußt außerdem die farbbildenden Eigenschaften des
lichtempfindlichen Films bis zu einem gewissen Grade. Als Regel wer
den zur Erzielung optimaler Ergebnisse kontinuierliche Schichten
einer Dicke von wenigstens 30 nm bevorzugt. Die maximale
Dicke dieser Schicht wird nur durch die einzuhaltende Durch
sichtigkeit begrenzt; zu beachten ist aber auch eine gewisse
Verschlechterung der Auflösung bei dickeren Filmen. Es wurden
Dicken bis zu 1 µm und mehr verwendet, obwohl keine erkenn
baren zusätzlichen Vorteile hierdurch entstanden.
In der Regel ergeben Filme mit nur einer Metall-Dielektrikum
schicht die beste Auflösung. Mitunter entsteht aber bei Verwen
dung mehrerer Kombinationsschichten, z. B. 2-6 Schichten auf
dem gleichen Träger, eine bessere Bildwiedergabe. Hierzu werden
die erläuterten Aufbringungsschritte mehrmals wiederholt, bis
die gewünschte Anzahl von Kombinationsschichten aufgebracht
ist. Zur photographischen Aufnahme eines vollfarbigen Bildes
wird das gewählte reale Bild durch geeignete Mittel, wie Lin
sen, Spiegel oder andere Fokussiermittel auf den lichtempfind
lichen Film projiziert. Möglich ist auch die Aufnahme bereits
verfügbarer Abbilder, Diapositive und dergleichen, wobei der
Film durch das aufgelegte Diapositiv hindurch belichtet wird.
Die Belichtungsdauer hängt in erster Linie von der Intensität
der Belichtung, und sekundär auch von der Filmzusammensetzung
ab. Die beste Belichtungsdauer kann in einfacher Weise dadurch
bestimmt werden, daß die Entwicklung des positiven Bildes wäh
rend der Belichtungsdauer beobachtet, und die Belichtung ab
gebrochen wird, wenn die optimale Bildwiedergabe erreicht ist.
Die Fähigkeit zur Aufnahme polarisierten Lichts gestattet die
Aufnahme dichroitischer Bilder. Sie werden durch Projektion
eines ausgewählten, u. U. auch vollfarbigen realen Bildes durch
entlang einer gewählten Achse linear polarisiertes Licht (als
sogenannte Aufnahmeachse bezeichnet) erzeugt. Diese Bilder
sind dichroitisch, d. h. sie können mit Licht beobachtet werden,
das parallel zur Aufnahmeachse polarisiert ist; für dieses
Licht, d. h. parallel zur Aufnahmeachse, zeigen sie gute Durch
lässigkeit, geringe Durchlässigkeit, niedrigen Kontrast und
Färbung dagegen für senkrecht zur Aufnahmeachse polarisiertes
Licht. Im Vergleich zu gewöhnlichen Aufnahmen haben diese di
chroitischen Bilder zwei Vorzüge. Einmal ist die Farbqualität
bei Beobachtung im linear in Richtung der Aufnahmeachse pola
risiertem, weißem Licht besser. Zweitens kann der Kontrast
durch Beobachtung des Films in einer Lage zwischen gekreuzten
Polarisatoren, welche jeweils zur Aufnahmeachse einen Winkel
von 45° bilden, wesentlich verstärkt werden. Beide Vorteile
schwächen die Intensität des durchgelassenen, zur Beobachtung
dienenden Lichts etwas, aber das ist in vielen Fällen kein
schwerwiegender Nachteil.
Die so erzeugten gewöhnlichen und dichroitischen Bilder können
soweit erforderlich durch weitere Belichtung mit Bleichungs
licht modifiziert werden. Soll die Aufnahme längere Zeit auf
bewahrt werden, muß sie vor Streulicht geschützt werden. An
sonsten ist die sehr beständig und kann praktisch unbegrenzt
gelagert werden.
Die erfindungsgemäßen Filme sind nicht nur zur Aufnahme voll
farbiger Bilder, sondern auch für andere Datenspeicherungen
günstig verwendbar, z. B. wenn die Farbe und der Polarisations
zustand des einfallenden Lichts eine Rolle spielt und aufge
zeichnet werden soll.
An Hand der Zeichnungen sei die Erfindung noch weiter erläutert.
Die Fig. 1 zeigt schematisch im Schnitt ein erfindungsgemäßes
lichtempfindliches Aufzeichnungsmaterial mit einem Glasschichtträger und einem
auf diesen aufgebrachten Film, bestehend aus einer einzelnen
Metall-Dielektrikumschicht mit den Komponenten eines diskonti
nuierlichen, unteren Metallfilms (Me) und einer Deckschicht aus
dielektrischen Akzeptoren.
Die Fig. 2 zeigt einen aus mehreren Kombinationsschichten Me
tall-Dielektrikum aufgebauten Film (fünf Schichten).
Die Fig. 3 zeigt die elektronenphotographische Aufnahme des
diskontinuierlichen Metallinselfilms aus Silber auf einem Glas
träger, wobei der weiße Strich 0,5 µm darstellt.
Die Fig. 4 zeigt als Schaubild die Lichtdurchlässigkeit durch
vier optisch gebleichte Bereiche eines mehrschichtigen Films
mit Pb als Metall und AgCl als Dielektrikum, in Abhängigkeit
von der Wellenlänge. Jeder der vier Bereiche wurde zuvor mit
einer verschiedenen Wellenlänge im sichtbaren Spektralbereich
gebleicht und erzeugt einen verschiedenen Farbeffekt im Film.
Die Durchlässigkeit im ungebleichten Zustand ist ebenfalls ge
zeigt.
Die Fig. 5 zeigt als Schaubild die Durchlässigkeit von drei
optisch gebleichten Bereichen eines mehrschichtigen Pb-AgCl
Films für polarisiertes Licht als Funktion der Wellenlänge,
sowie die Durchlässigkeit für zwei senkrecht zueinander polarisierte Licht
strahlen. Die Bereiche wurden zuvor mit Licht gebleicht, dessen
Polarisationsrichtung der des die parallelen Durchlässigkeits
kennlinien erzeugenden Lichtstrahls entsprach. Der entstehende
Dichroismus erklärt sich klar aus dem Umstand, daß die Durchlässig
keit für parallel zur Polarisationsrichtung des Bleichungs
lichts polarisiertes Licht größer ist (durchgezogene Kennlinie),
als für senkrecht hierzu polarisiertes Licht (gestrichelte Kenn
linie).
Die Ursache für die überraschende Empfindlichkeit
des erfindungsgemäßen Films über ein breites Lichtspektrum
kann die folgende Überlegung klären.
Das auf den Film fallende Licht stimuliert Elektronen in der
Metallschicht, entweder durch Zwischenbandübergänge oder durch
Energieübergänge von Plasmamoden zu Einzelelektronenzuständen.
Diese Plasmamoden entsprechen einer kollektiven Stimulierung
vieler Elektronen und sind kennzeichnend für freie oder nahezu
freie Elektronen. Übersteigt die Stimulierungshöhe die Diffe
renzenergie zwischen dem unteren Teil des Leitbandes des Di
elektrikums der Fermi-Energie des Metalls, so können die Elek
tronen aus dem Metall in den Leitzustand des Dielektrikums
entweichen. Dieser Vorgang entspricht einer Photoemission, wobei
die wirksame Arbeitsfunktion des Metalls (die zur Entfer
nung eines Elektrons aus dem Metall erforderliche Energie) in
folge der Nachbarschaft eines eine geeignete Leitbandenergie
aufweisenden Dielektrikums erniedrigt wird.
Eine Rolle hierbei spielt auch die Art der dielektrischen
Schicht, welche nicht nur das Entweichen von Elektronen über
ein Leitband ermöglicht, sondern darüber hinaus die entste
henden Metallionen in das Gitter einbaut. Die Diffusion der
Metallionen muß ziemlich rasch fortschreiten, damit das Metall
sich schnell auflöst. Wie gefunden wurde, kann die Lichtempfind
lichkeit in bestimmten Fällen, in denen das Metallion bei Zim
mertemperatur einen niedrigen Diffusionskoeffizienten besitzt,
durch Erhitzen des Films gesteigert werden.
Durch den kombinierten Vorgang der Elektronenemission des Me
talls und der Diffusion positiver Metallionen in das dielektri
sche Gitter verliert die betreffende Metallinsel ein Atom nach
dem anderen, bis die Metallinsel sich auflöst.
Es gilt dann:
worin (M)n eine Metallinsel mit n Atomen darstellt.
Bei fortdauernder Belichtung und Auflösung der Metallinseln
sinkt die Absorption und der Film wird im Belichtungsbereich
durchlässiger.
Die folgende Erwägung mag den Farbeffekt erklären. Entsteht
der stimulierte Elektronenzustand durch die Dämpfung der Plas
maoszillation, so wird die Spitzenabsorption der Plasmaabsorp
tion in kritischer Weise durch die Größe und Form des Metall
inselkolloids, sowie die optischen Metallkonstanten und den
Brechungsindex des die Metallinseln umgebenden dielektrischen
Materials bestimmt. Wird der diskontinuierliche Metallinselfilm
so aufgebracht, daß eine Verteilung der Größe und Form der
Metallinseln entsteht, dann entfernt die Belichtung des Films
mit einer bestimmten Wellenlänge im sichtbaren Bereich bevor
zugt diejenigen Metallinselkolloide, deren Größe und Form eine
der belichteten Wellenlänge entsprechende Spitzenabsorption
erzeugt. Dies macht diesen Filmteil für diese Wellenlänge durch
lässiger als für andere Wellenlängen. Es entsteht ein vollfar
biges Bild.
Ähnliche Erwägungen erklären den Dichroismus. Ist das Metall
inselkolloid unrund, dann ist seine optische Absorption auch
anisotrop. Hat der Metallpartikel beispielsweise die Form
eines prolaten Rotationsellipsoids, dann ist die Absorption
in Richtung der Hauptachse für in dieser Richtung polarisiertes
Licht größer, als für senkrecht hierzu polarisiertes Licht.
Es wird angenommen, daß unrunde Metallpartikel zunächst will
kürlich im Raum orientiert sind. Durch Belichtung mit polari
siertem Licht werden die in etwa parallel zur Polarisations
richtung des bestrahlenden Lichts ausgerichteten Metallinseln
rascher als die senkrecht zum einfallenden Licht ausgerichteten
aufgelöst, und der Film wird dichroitisch.
Es sei betont, daß es sich bei diesen Überlegungen nur um eine
nicht als Erfindungsbeschränkung aufzufassende Hypothese han
delt.
Der für den lichtempfindlichen Film zu verwendende Schichtträger ist
an sich nicht kritisch, jedes, nicht ungünstig mit dem metal
lischen und dielektrischen Material wirkende Material ist ge
eignet, beispielsweise Keramik, Glaskeramik, Glas und selbst
behandeltes Papier. Geeignet sind auch lichtreflektierende
Stoffe, bevorzugt werden aber lichtdurchlässige, möglichst
durchsichtige Träger, welche die Datenentnahme erleichtern.
Besonders bevorzugt als Träger wird Glas. In einigen Fällen
kann eine die Verträglichkeit mit dem lichtempfindlichen Film
sichernde Zusatzschicht auf den Träger günstig sein. Besteht der
Träger z. B. aus einem organischen Material wie Papier, so wird
zweckmäßig eine Grundschicht aus SiO aufgebracht. Ein Glas
träger kann z. B. mit einer Grundschicht aus einem dielektri
schen Akzeptormaterial versehen werden.
Die Aufbringung der diskontinuierlichen Metallinselschicht er
folgt vorzugsweise durch Sputtern oder Vakuumaufbringung. Mög
lich sind aber auch andere Methoden, z. B. Plattierungsverfahren
und dergleichen. Die übliche Apparatur kann eingesetzt werden,
wichtig für die abbildenden Eigenschaften des Films sind aber
die Aufbringungsbedingungen. Durch Sputtern mit Gleichstrom oder
Radiofrequenz können Ag, Pb, Cu, Cr, Ge, Al aufgetragen werden.
Die Regelung der Schichtdicke kann über die Sputterspannung,
die Trägertemperatur und die Vorspannung zwischen Träger und
Target bewirkt werden. Wichtig ist auch der Zustand des das
Material abgebenden Target. In einigen Fällen ergibt ein durch
Gebrauch teilweise oxidiertes Silbertarget bessere Ergebnisse,
als ein sauberes, unoxidiertes Target.
Günstig ist auch die Vakuumaufbringung, besonders für Ag, Ge,
Pb und Cu. Die Regelung der Schichtdicke und Inselgrößenver
teilung kann durch Veränderung der Trägertemperatur, der Auf
bringungsgeschwindigkeit, der Temperatur des abgedampften Ma
terials und des Grunddrucks des Vakuumsystems vorgenommen wer
den.
Die Tabelle I enthält als Beispiel Vakuumabdampfungsbedingungen
für einige Metalle, welche zu Metallinselschichten in Filmen
mit guten abbildenden Eigenschaften führten. Die Tabelle zeigt
den Grunddruck des Vakuumsystems, die Trägertemperatur
und die Aufbringungsgeschwindigkeit, als nicht beschränkende
Beispiele.
Unter diesen Bedingungen können bei Herstellung von Mehrschichten
filmen mehrere Metallinselschichten (abwechselnd mit dielektri
schen Schichten) aufgetragen werden.
Das dielektrische Akzeptorenmaterial wird, z. B. durch Vakuum
niederschlagung, unmittelbar auf den Metallinselfilm als Deck
schicht aufgetragen. Die abbildenden Eigenschaften der Zweikom
ponentenschicht werden durch die Abdampfungsgeschwindigkeit des
dielektrischen Stoffs, die Dicke der dielektrischen Schicht und
seine Zusammensetzung beeinflußt. Die Deckschicht soll zumin
dest vorwiegend aus einer oder mehreren der Verbindungen AgCl,
AgBr, AgJ, PbJ₂ bestehen. (Wenigstens 50% der Schicht). Sie
kann ganz aus diesen Stoffen bestehen, enthält vorzugsweise
aber zwecks weiterer Verbesserung der abbildenden Eigenschaften
geringe Mengen, bis etwa 30 Gew.-%, eines der Dotiermittel CuCl,
CuCl₂, CdCl₂. Ihr Einsatz richtet sich nach der beabsichtigten
Verwendung des Films. Die Schicht kann auch weitere Stoffe
enthalten, soweit sie die abbildenen Eigenschaften nicht beein
trächtigen.
Die Tabelle II enthält Beispiele für die Dampfniederschlagungs
bedingungen einer durchsichtigen dielektrischen Deckschicht
über dem Metallinselfilm, die durchweg gute abbildende Eigen
schaften ergaben. Die Tabelle verzeichnet den Systemdruck, die
Niederschlagungsgeschwindigkeit des dielektrischen Materials,
und die Trägertemperatur für eine Reihe verschiedener Akzeptor
stoffe.
Andere Aufbringungsmethoden sind für beide Schichten möglich,
wenn die erforderliche Filmdicke und Inselgröße und Insel
größenverteilung gesteuert werden kann. Der weiteren Erläute
rung ohne Beschränkung dienen die folgenden Beispiele.
Ein sauberer Glasträger mit einer zur Schichtauftragung geeig
neten glatten Oberfläche wurde in eine Vakuumkammer gegeben,
diese auf einen Druck von 5×10-6 mm/Hg eingestellt und die
Trägertemperatur auf 25°C gehalten, während das AgCl zur Ab
dampfung erhitzt und mit einer Geschwindigkeit von 1 nm/Sekun
de auf den Träger aufgebracht wurde, bis ein 40 nm dicker
AgCl Film entstanden war.
Auf diese Grundschicht aus AgCl wurde ein diskontinuierlicher
Metallinselfilm aus Pb durch Erhitzen von Pb in der Vakuumkam
mer aufgebracht. Der Kammerdruck wurde während der Abdampfung
auf 5×10-6 mm/Hg gehalten. Das Pb wurde mit einer Geschwindig
keit von 0,1 nm/Sekunde aufgetragen, bis eine 3 nm dicke
Schicht erzeugt war. Dann wurde eine durchsichtige AgCl Deck
schicht mit einer Gesamtdicke von 40 nm über die Pb Schicht in
der gleichen Weise wie für die AgCl Grundschicht beschrieben
gelegt. Die Pb und AgCl Schichtauftragung wurde dreimal wieder
holt, so daß ein lichtempfindlicher Film aus einer AgCl Grund
schicht und vier überlagernden Pb und AgCl Schichten
aufgebracht war. Der Träger wurde entnommen und untersucht.
Auf der Glasfläche war ein durchsichtiger Film mit einem in
durchfallendem Licht leicht purpur erscheinendem Stich zu be
obachten.
Die optischen Eigenschaften wurden durch Bestrahlen bestimmter
Filmstellen mit sichtbarem Bleichungslicht bei verschiedenen
Wellenlängen während 1 Minute und mit 10-20 Milliwatt/qcm
geprüft. Die Ergebnisse sind in den Fig. 4 und 5 dargestellt.
Die Fig. 4 zeigt die Wirkung der Bleichung bei vier verschie
denen Wellenlängen mit unpolarisiertem Licht auf die Filmdurch
lässigkeit. Jede Quelle bleichte nahe ihrer eigenen Wellenlänge
und erzeugte einen jeweils anderen Farbeffekt.
Die Fig. 5 zeigt den durch Bleichung mit polarisiertem Licht
bei drei verschiedenen Wellenlängen erzeugten Dichroismus. Die
gebleichten Bereiche sind nicht nur gefärbt, sondern zeigen
für parallel zur Polarisationsrichtung des Bleichungslichts
polarisiertes Licht größere Durchlässigkeit als für senkrecht
hierzu polarisiertes Licht.
Ein sauberer Glasträger mit einer zur Filmaufbringung geeigne
ten glatten Oberfläche wurde in die Haltevorrichtung einer Tri
odensputterungsvorrichtung (Radiofrequenz) eingespannt, diese
auf 25°C gehalten, während die Kammer auf einen Druck von
10-6 mm/Hg ausgepumpt, dann mit Argon auf einen Druck von
5-10-3 mm/Hg gebracht und an das Target eine Radiofrequenz
spannung von 400 V gelegt wurde. Gleichzeitig wurde eine Gleich
strom-Vorspannung von 45 V zwischen Target und Träger gelegt.
Die erzeugte Sputteringsrate ergab einen Niederschlag von 0,9
nm/Minute auf den Glasträger, bis ein 10 nm dicker Ag Film auf
der Glasfläche entstanden war.
Anschließend wurde der Glasträger aus der Sputteringsvorrich
tung genommen und in eine Vakuumkammer gebracht und eine Menge
AgCl eingeführt, der Druck auf 1-10-6 mm/Hg eingestellt, die
Trägertemperatur auf 70°C gehalten, das AgCl zur Abdampfung er
hitzt und auf das versilberte Glas mit 5 nm/Sek. aufgetragen,
bis ein 150 nm dicker AgCl Film entstanden war.
Die abbildenden Eigenschaften des so hergestellten Films wurden
durch Projektion eines realen Bildes mit einer 100 Watt Wolf
ram-Jodidlampe und einer photographischen Linse geprüft. Nach
15 Sek. Belichtung entstand ein Abbild mit ausgezeichneter
Farbreproduktion, Bildauflösung und gutem Kontrast.
Ein sauberer Glasträger mit einer zur Filmaufbringung geeigne
ten glatten Oberfläche wurde zusammen mit einer Menge Silber
in eine Vakuumkammer gesetzt, diese auf einen Druck von 5-
10-6 mm/Hg gebracht, der Glasträger auf 50°C gehalten und das
Silber auf die Aufdampfungstemperatur erhitzt und mit einer Ge
schwindigkeit von 0,1 nm/Sek. niedergeschlagen, bis ein 5 nm
dicker Silberfilm aufgebracht war.
Anschließend wurde eine Mischung mit einem überwiegenden An
teil AgCl und einem geringeren Anteil CdCl₂ in die Kammer ge
geben und durch Erhitzen als ein 10 Gew.-% CdCl₂ enthaltender
AgCl Film mit einer Geschwindigkeit von 10 nm/Sek. auf die
Silberschicht gelegt, bis eine durchsichtige Deckschicht einer
Dicke von 150 nm entstanden war. Der beschichtete Träger wurde
herausgenommen und untersucht. Der Film zeigte eine sehr gute
Farbreproduktion, Bildauflösung und sehr guten Kontrast.
In allen beschriebenen Fällen bestand Anlaß zur Annahme einer
erheblichen gegenseitigen Wechselwirkung von Metall und dielek
trischem Material bei der Aufbringung. Es ist daher zweifelhaft,
ob die ursprüngliche Metallinselstruktur erhalten bleibt. In
folge der starken Flüchtigkeit der Komponenten wird die elek
tronenmikroskopische Untersuchung gestört, so daß sich ein ge
nauer Befund nicht ermitteln läßt. Jedenfalls aber sind die
Aufbringungsbedingungen und die zumindest anfängliche Bildung
eines Metallinselfilms wesentlich für die Erzielung der breit
bandigen Farbempfindlichkeit des erfindungsgemäßen photo
empfindlichen Films und Gegenstandes.
Claims (7)
1. Verwendung lichtempfindlicher Aufzeichnungsmaterialien aus
- (a) einem lichtdurchlässigen oder -reflektierenden Schicht träger,
- (b) einer darauf aufgebrachten diskontinuierlichen Schicht aus Metallinseln aus Ag, Pb, Cu, Al, Cr und/oder Ge mit einer Inselbreite von 10-100 nm und einer Dicke von 1,5-15 nm und
- (c) einer durchsichtigen, dielektrischen Deckschicht mit AgCl, AgBr, AgJ und/oder PbJ₂ als überwiegendem Bestandteil
zur Aufzeichnung mehrfarbiger oder dichroitischer Bilder mit
weißem bzw. linear polarisiertem Licht.
2. Verwendung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß
der Träger aus Glas besteht.
3. Verwendung nach einem der Ansprüche 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet,
daß die Dicke der dielektrischen Deckschicht wenigstens 30 nm
beträgt.
4. Verwendung nach einem der Ansprüche 1, 2 oder 3, dadurch gekenn
zeichnet, daß die Deckschicht bis zu 30% CuCl, CuCl₂ oder
CdCl₂ enthält.
5. Verwendung nach einem der Ansprüche 1-4, dadurch ge
kennzeichnet, daß die Deckschicht AgCl enthält.
6. Verwendung nach einem der Ansprüche 1-5, dadurch ge
kennzeichnet, daß der Metallinselfilm aus Ag oder Pb besteht.
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
US73912176A | 1976-11-05 | 1976-11-05 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
DE2747856A1 DE2747856A1 (de) | 1978-05-11 |
DE2747856C2 true DE2747856C2 (de) | 1991-08-14 |
Family
ID=24970913
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
DE19772747856 Granted DE2747856A1 (de) | 1976-11-05 | 1977-10-26 | Photoempfindlicher film |
Country Status (5)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS5358226A (de) |
CA (1) | CA1092877A (de) |
DE (1) | DE2747856A1 (de) |
FR (1) | FR2370303A1 (de) |
GB (1) | GB1570546A (de) |
Families Citing this family (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4246337A (en) * | 1978-05-01 | 1981-01-20 | Corning Glass Works | Photosensitive medium for optical information storage |
US4239338A (en) * | 1979-10-22 | 1980-12-16 | Corning Glass Works | Silver halide optical information storage media |
JPS56132335A (en) * | 1980-02-11 | 1981-10-16 | Fuji Photo Film Co Ltd | Optical recording medium and its manufacture |
US4425570A (en) * | 1981-06-12 | 1984-01-10 | Rca Corporation | Reversible recording medium and information record |
JPS62251900A (ja) * | 1986-04-24 | 1987-11-02 | 株式会社日立ビルシステムサービス | ビル遠隔監視装置 |
JPS62276695A (ja) * | 1986-05-26 | 1987-12-01 | 株式会社日立ビルシステムサービス | ビル遠隔監視装置 |
JPS6488896A (en) * | 1987-09-30 | 1989-04-03 | Nippon Telegraph & Telephone | Burglar device |
JPS6488897A (en) * | 1987-09-30 | 1989-04-03 | Nippon Telegraph & Telephone | Burglar device |
JPH02103697A (ja) * | 1988-10-12 | 1990-04-16 | Hitachi Elevator Eng & Service Co Ltd | 遠隔監視装置 |
EP0518019A1 (de) * | 1991-06-13 | 1992-12-16 | Corning Incorporated | Doppelbrechende Verzögerungsplatte aus Glas |
Family Cites Families (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE1054323B (de) * | 1957-11-29 | 1959-04-02 | Renker Belipa G M B H | Funkenregistrierpapier |
GB977291A (en) * | 1960-11-14 | 1964-12-02 | Technical Operations Inc | Improvements in or relating to sensitizing photographic materials |
BE687248A (de) * | 1966-09-22 | 1967-03-22 | ||
BG17681A1 (de) * | 1971-07-30 | 1973-12-25 |
-
1977
- 1977-09-26 CA CA287,518A patent/CA1092877A/en not_active Expired
- 1977-10-26 DE DE19772747856 patent/DE2747856A1/de active Granted
- 1977-11-01 JP JP13140877A patent/JPS5358226A/ja active Granted
- 1977-11-03 GB GB4574577A patent/GB1570546A/en not_active Expired
- 1977-11-04 FR FR7733212A patent/FR2370303A1/fr active Granted
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
GB1570546A (en) | 1980-07-02 |
FR2370303A1 (fr) | 1978-06-02 |
FR2370303B1 (de) | 1985-03-01 |
DE2747856A1 (de) | 1978-05-11 |
JPS6240695B2 (de) | 1987-08-29 |
CA1092877A (en) | 1981-01-06 |
JPS5358226A (en) | 1978-05-26 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
DE2439848C2 (de) | Verfahren zum Aufzeichnen mittels eines Laserstrahls | |
DE2302116C3 (de) | Vorrichtung zur Herstellung einer maskierenden Schicht auf einem Träger mit Hilfe von weichen Röntgenstrahlen | |
DE3039500A1 (de) | Silberhalidhaltiger film zur optischen datenspeicherung | |
DE1229843B (de) | Mehrschichtiges photographisches Aufzeichnungsmaterial | |
DE2747856C2 (de) | ||
DE2732843A1 (de) | Holographischer fokussierungsschirm | |
DE2757744A1 (de) | Aufzeichnungsmaterial | |
DE2027323A1 (de) | Elektrophotographische Platte und diese verwendendes Abbildungsverfahren | |
DE3036555C2 (de) | Verfahren zum Herstellen gefärbter Fotomasken aus Glas mittels fotografischer Emulsionen | |
DE2737926A1 (de) | Trocken verarbeitbarer bildaufnahmefilm mit kontinuierlicher toenung und verfahren zu seiner herstellung | |
DE2724160A1 (de) | Bildaufzeichnungsmaterial | |
DE2119718C3 (de) | Lichtempfindliches Aufzeichnungsmaterial für radiographische Zwecke | |
DE2836235C2 (de) | Dispersionsabbildungsfilm, Verfahren zu seiner Herstellung und seine Verwendung | |
DE1572025C3 (de) | Photographisches Aufzeichnungsmaterial für das Silbersalz-Diffusionsverfahren | |
EP1998195B1 (de) | Interferenzfilter und Verfahren zu dessen Herstellung | |
DE2710772A1 (de) | Elektrochromes und photochromes material und verfahren zu seiner herstellung | |
DE2430166A1 (de) | Optisches element mit photochromen und fluoreszenz-ausloeschenden mustern sowie verfahren zur herstellung des optischen elements | |
DE2517871A1 (de) | Abbildungsverfahren und -element | |
DE3144422C2 (de) | Foto- und kathodochromer Sodalith und dessen Verwendung | |
DE2916859A1 (de) | Photoempfindlicher speicher und verfahren zur herstellung | |
DE2420257A1 (de) | Halbleiterstruktur mit einer das halbleitersubstrat abdeckenden passivierungsanordnung | |
DE1256531B (de) | Hilfsbelichtungseinrichtung fuer Reproduktions- und Vergroesserungsgeraete | |
DE4135802A1 (de) | Lichtempfindliches teil fuer die elektrophotographie | |
DE3301604C2 (de) | Verfahren zum Herstellen von Farbmustern in Glasplatten und deren Anwendung für Photomasken | |
DE2261119A1 (de) | Maske fuer photolithographische verfahren |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
8128 | New person/name/address of the agent |
Representative=s name: HERZFELD, A., RECHTSANW., 6370 OBERURSEL |
|
8110 | Request for examination paragraph 44 | ||
D2 | Grant after examination | ||
8364 | No opposition during term of opposition | ||
8339 | Ceased/non-payment of the annual fee |