DE2735171A1

DE2735171A1 - Zylindrischer wandler und verfahren zu dessen herstellung

Info

Publication number: DE2735171A1
Application number: DE19772735171
Authority: DE
Inventors: Donald James Cretzler
Original assignee: Individual
Current assignee: Individual
Priority date: 1976-08-31
Filing date: 1977-08-02
Publication date: 1978-03-02
Also published as: FR2363875B1; GB1589745A; DE2735171C2; US4064549A; FR2363875A1; JPS5359478A; CA1099388A

Description

IBERLIN 13 S MÖNCHEN

^Dr·^RUSCHKE * Partner Est;

PATENTANWÄLTE

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Donald James Gretzler, San Diego, California, V. 3t. A. 1

Zylindrischer Wandler und Verfahren zu dessen Herstellung

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Zusammenfassung der Offenbarung

Ein zylindrischer Wandler wird von einem Paar konzentrischer Elemente aus einem geeigneten Werkstoff wie Quarz gebildet, die an ihren Enden zusammengeschmolzen sind und über einen Zwischenbereich entlang ihrer axialen Länge einen verhältnismäßig geringen Abstand aufweisen. Dünne Schichten eines elektrisch leitfähigen Materials sind auf den aneinandergrenzenden Oberflächen der konzentrischen Elemente entlang Zwischenbereichen der axialen Länge vorgesehen. Die Dicke des äußören Elements nimmt nahe den axialen Ende des Elements zu. Die Dicke des äußeren Elements nimmt zu den axialen Enden hin zu, damit das Element unter Spannung nicht reißen kann.

Die dünnen leitfähigen Schichten auf den Elementen werden ausgebildet, indem man eine dünne Schicht eines Edelmetalls wie Platin auf die ringförmigen Oberflächen des Quarzelements aufbringt und diese dann mit einer bestimmten Temperatur - bspw. etwa 1o5o C - für eine bestimmte Bauer - bspw. etwa 15 Min. erwärmt. Dieses Verfahren wird mit aufeinanderfolgenden Schichten des Edelmetalls wiederholt ausgeführt, damit das Platin mit dem Quarz verschmilzt und das Platininsilicid an der Oberfläche des Quarzes allmählich in das Platin an der offenliegenden Ober· fläche der leitfähigen Schicht übergeht.

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Die vorliegende Erfindung betrifft zylindrische Wandler, die von einem Paar konzentrischer Elemente gebildet werden. Insbesondere betrifft die Erfindung zylindrische Wandler, die so aufgebaut sind, daß sie weniger leicht reißen können, wenn das äußere der konzentrischen Elemente druckbeaufschlagt wird, um die Eigenschaften des Wandlers zu ändern.

i^<lür bestimmte Anwendungen besteht ein erheblicher Bedarf an zylindrischen Wandlern. In einem zylindrischen Wandler ist ein Paar dielektrischer Elemente konzentrisch angeordnet. Eines der konzentrischen Elemente hat eine innere Hingfläche, die nahe an einer äußeren ringförmigen Fläche des anderen Elements liegt. Diese Flächen sind jeweils mit einer dünnen Schicht eines leitfähigen Materials beschichtet, um zwei elektrisch leitfähige !'lachen zu bilden, die beabstandet beieinander angeordnet sind. Wird Druck auf das Außenelement aufgebracht, ändert sich der Abstand zwischen den leitenden Schichten der beiden Elemente, so daß die Eigenschaften des Wandlers sich ändern. Arbeitet der Wandler kapazitiv, bilden die leitfähigen Flächen die beiden Beläge eines Kondensators.

Ein zylindrischer Wandler wie der oben beschriebene weist bestimmte wichtige Vorteile auf. Ein Vorteil ist, daß die beiden

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leitfähigen Flächen in Form einer geschlossenen Schleife vorliegen und gleichmäßig zueinander beabstandet sind. Auf diese Weise werden Streukapazitäten zwischen den beiden leitfähigen Flächen gering gehalten, die normalerweise bei Kondensatoren vorliegen. Bei Halbleiterschaltungen hatten diese Streukapazitäten einen ausgeprägten Effekt, indem sie verhinderten, zuverlässige Systeme mit vorhersagbaren Eigenschaften herzustellen - insbesondere wenn die Systeme bei hoher Frequenz arbeiten mußten. Indem man die Streukapazitäten gering hält, erteilt man dem zylindrischen Wandler einen wesentlichen Vorteil über andere Wandlerarten.

Es war in der Vergangenheit schwierig, zufriedenstellende zylindrische Wandler herzustellen. Ein Problem ergab sich aus der Neigung des äußeren der zwei zylindrischen Elemente, dort, wo es mit dem anderen konzentrischen Element verbunden ist, zu reißen. Diese Reißneigung war besonders ausgeprägt, da man Druck auf das äußere Element aufbrachte, um den Abstand zwischen den beiden Elementen entsprechend diesem Druck zu verändern. Wie einzusehen ist, ändert sich auch die Kapazität zwischen den beiden leitenden Flächen entsprechend den Änderungen des Abstandes zwischen den Oberflächen.

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Es ist auch in der Vergangenheit schwierig gewesen, die leitfähigen Überzüge mit ausreichender Haftung auf die Oberflächen der dielektrischen Elemente aufzubringen. Dies galt besonders, wo das dielektrische Material der beiden konzentrischen Elemente Quarzglas oder amorpher Quarz war. Das Problem des Aufbringens der leitfähigen Schichten auf die Oberfläche der konzentrischen Elemente mit guter Haftung war besonders schwerwiegend, da die Kapazität zwischen den leitfähigen Flächen von einer schlechten Haftung der leitfähigen Schichten auf dem Quarzmaterial beeinträchtigt wird.

Die vorliegende Erfindung schafft einen zylindrischen Wandler, der die obengenannten Schwierigkeiten überwindet. Bei dem zylindrischen V/andler nach der vorliegenden Erfindung wird die Neigung des äußeren Elements, bei Aufliegen von Druck zu reißen, gering gehalten, indem dessen Dicke über eine gewisse Strecke zwischen einem axialen Zwischenbereich und dem Ort der Verbindung zwischen den Elementen allmählich zunimmt. Diese allmähliche Dickenzunahme des äußeren Elements bewirkt eine Verteilung der mechanischen Spannung und verhindert, daß mechanische Spannungen sich irgendwo entlang der axialen Länge des Elements konzentrieren.

In dem V/andler nach der vorliegenden Erfindung sind die leit-

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fähigen Schichten permanent auf die konzentrischen Flächen der beiden konzentrischen Elemente aufgebracht. Diese permanente Verbindung erfolgt nach einem Verfahren, in dem dünne Schichten eines Edelmetalls wie Platin einzeln auf die Oberflächen der konzentrischen Elemente aufgebracht werden und man dann jede dünne leitfähige Schicht mit einer bestimmten Temperatur und für eine bestimmte Dauer erwärmt, bevor man die nächste dünne Schicht aufbringt. Auf diese weise entsteht Platinsilicid an den Oberflächen der konzentrischen Elemente, verschmilzt mit diesen Oberflächen und es entsteht in den leitfähigen Schichten ein allmählicher Übergang vom Platinsilicid an der ^uarzoberfläche zum Platin an der offenliegenden Oberfläche der leitfähigen Schicht.

Fig. 1 ist ein Schnitt durch einen zylindrischen wandler nach einer Ausführungsform der vorliegenden Erfindung;

Fig. 2 ist eine vergrößerte Teilscbnitt des Wandlers der Fig. 1;

Fig. 3 ist ein vergrößerter Seitenriß des Elements nach Fig. mit auf das Element aufgebrachter Schicht aus leitfähigen Materialj und

Fig. Ij. ist ein vergrößerter Seitenriß des anderen konzentrischen Elements mit aufgebrachter elektrisch leitfähiger Schicht.

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In der in den Zeichnungen gezeigten Ausführung3form der Erfindung ist ein Paar konzentrischer Elemente 1o, 12 vorgesehen. Jedes der Elemente 1o, 12 ist aus einem amorphen (bzw. nichtkristallinen) Quarz oder Quarzglas hergestellt. Wenn die Elemente 1o, 12 aus einem festen s^uarz hergestellt werden, zerstößt man Naturquarz zu einem feinteiligen Pulver und verschmilzt dieses bspw. durch Aufbringen von Wärme und Druck. Es ist jedoch einzusehen, daß die Elemente 1o, 12 sich aus irgendeinem geeigneten Material mit dielektrischen Eigenschaften herstellen lassen.

Das Element 1o ist mit einer axialen Bohrung 1lj. versehen, deren Durchmesser geringfügig größer ist als der Außendurchmesser des Elements 12. An seinen beiden axialen Enden ist das Element mit einem Teil 16 versehen, dessen Dicke allmählich zunimmt. Diese allmähliche Üickenzunahme wird vorzugsweise über eine axiale Strecke, die mit 18 bezeichnet ist, mit einer verhältnismäßig geringen Steigung vorgesehen. Der Außenumfang des Elements 1o entlang der axialen Strecke 18 wird im folgenden als "Übergangsbereich" bezeichnet. Wie einzusehen ist, endet der Übergangsbereich an einer Stelle, der axial gegenüber dem Axialumriß des Clements 1o nach innen versetzt liegt.

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In einer Ausführungsform der Erfindung kann das Element 1 ο eine axiale Länge von etwa 11 Ij. mm (I4.-I/2 in.) haben. In dieser Ausführungsform hat der Ubergangsbereich eine axiale Länge von etwa 16,3 mm (o,61j. in.) und der Ubergangsbereich kann in einer Entfernung von etwa 15»2 mm (0,60 in.) vom axialen Ende des Elements auslaufen. Der Innendurchmesser des Elements 1o kann etwa 26,2 mm (1,o3 in.) und der Außendurchmesser zwischen den beiden trbergangsgebieten 18 etwa 28 mm (1,1 in.) betragen. Der Außendurchmesser des Elements 1o kann allmählich auf 29 mm (1,11+ in.) im Übergangsgebiet zunehmen.

Das konzentrische Element 12 kann mit einem etwas geringeren Durchmesser als die Bohrung 11+ im Element 1o vorgesehen werden. In der im vorigen Absatz beschriebenen Ausfübrungsform der vorliegenden Erfindung kann das konzentrische Element 12 bspw. einen Durchmesser haben, der o,1 mm (1+ mils) kleiner als der Durchmesser der Bohrung im Element 1o ist.

Ein diagonaler Einschnitt unter einem geeigneten Winkel wie etwa 3»3 ist wie bei 22 im Element 12 vorgesehen. Dieser Schnitt beginnt im wesentlichen dort, wo der Ubergangsbereich 18 im Element 1o am inneren Ende des Übergangsbereichs beginnt. Der Schnitt endet im wesentlichen am Ende des Übergangsbereichs 18 des Elements 1o. Dort bildet sich ein einspringender Winkel

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und liegt auch die Grenze der Verbindung zwischen den Elementen 1o, 12. Der Einschnitt 22 ist vorgesehen, um eine Lufttasche herzustellen, die als Wärmeisolation wirkt, wenn die Elemente 1o, 12 bspw. durch Wärme miteinander verschmolzen werden. Der Durchmesser des Elements 12 über die von dem Ort der Verbindung axial auswärts verlaufenden axialen Länge ist geringfügig größer als der Durchmesser des Elements entlang dessen Zwischenbereichs. Dieser leicht größere Durchmesser erleichtert das Verschmelzen der Elemente 1o, 12.

Ein Paar Löcher 2]+, 26 (Fig. 2) ist im Element 12 an einem Ende des Elements nahe dem Ende des Schnitts 22 vorgesehen. Die Löcher 2[\._t 26 gehen in eine Bohrung 28 über, die axial durch das Element 12 verläuft. Ein Ansatz 3o ist auf der Innenfläche der axialen Bohrung 28 vorgesehen und liegt am Loch 2l\.. Desgl. befindet sich ein Ansatz 32 auf der Innenfläche der axialen Bohrung 28 am Loch 26.

Eine Schicht 36 eines leitfähigen Materials wie eines Edelmetalls (vorzugsweise Platin) ist in einem Mittelteil des Elements zwischen den Übergangsbereicben 18 an den entgegengesetzten Enden des Elements 1o auf dessen Innenfläche aufgebracht. Eine Zunge 38 aus dem gleichen Werkstoff wie die leitfähige Schicht 36 verlauft axial von einem Ende der Schicht 36 von dieser ab und ist einteilig mit ihr ausgeführt. Die

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ι Zunge 38 liegt an einem Ende an Loch 2\\. und ein Tupfen 1μ> aus ! einem leitfähigen Material ist auf der Zunge 38 am Loch 2I4.

j vorgesehen. Dieser Tupfen I4-0 kann aus einem Epoxymaterial bestehen, dem jedoch Silber innig beigemischt sein kann, um es leitfähig zu machen. Eine Zuleitung lj.2 ist mit einem Ende an dem Tupfen I4.0 aus leitfähigem Material verbunden, mit dem anderen Ende mit dem Ansatz 30. Eine Zuleitung i\l± ist dann mit einem Ende mit dem Ansatz 30 verbunden und durch die Axialbohrung 28 an einen Ort außerhalb des Elements 12 geführt.

Desgl. ist eine leitfähige Schicht l\.b aus einem geeigneten Material wie Platin auf der Außenfläche des Elements 12 vorgesehen. Eine leitfähige Zunge l±Q verläuft mit der leitenden Fläche Ιφ einteilig von dieser hinweg durch das Loch 26 zum Ansatz 32. Eine Zuleitung $0 ist mit einem Ende mit dem Ansatz 32 verbunden und verläuft durch die Bohrung 28 zu einem Ort außerhalb des Elements 1o.

Die Elemente 1o, 12 sind an den Enden ihrer axialen Länge bei einer geeigneten Temperatur wie etwa 175o°C miteinander verschmolzen. Wenn die Elemente 1o, 12 bei dieser hohen Temperatur miteinander verschmolzen werden, verdampft das Platin auf den Zungen 38, I4.0 neben der Verschmelzungsstelle nicht. Einerseits ist das Platin fest mit der Oberfläche der Quarz-

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elemente 1o, 12 nach einem unten ausführlich zu beschreibenden Verfahren gebunden, so daß es auch unter starker Wärmeeinwirkung nicht verdampft. Andererseits wirkt die Luft in den von den Schnitten 22 gebildeten Taschen als Wärmeisolator, so daß die Temperatur des Platins auf den Zungen 38, lj.8 nicht au hoch ansteigen kann.

Viie ersichtlich, bilden die leitfähigen Flächen 36» i]i> die beiden Beläge eines Kondensators. Der Viert dieses Kondensators läßt sich ändern, indem man Druck auf das Element 1o aufbringt, um es radial einzudrücken. Auf diese Weise ändert der Abstand zwischen den leitfähigen Flächen 3&, k& sich entsprechend der Höhe des aufgebrachten Drucks.

Bei den Wandlern nach dem Stand der Technik hat der auf das Element 1o aufgebrachte Druck im Element 1o sowohl Zug- als auch Druckspannungen hervorgerufen. Diese Spannungen konzentrierten sich am Ende des Übergangsbereichs 18 und führten zum Umfangsrissen an dieser Stelle.

Indem man das Element 1o nach der vorliegenden Erfindung im Übergangsbereich 18 mit einer allmählich zunehmenden Dicke ausführt, läßt sich die Neigung des Elements, beim Aufbringen von Druck auf das Element zu reißen, praktisch eliminieren.

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Diese allmähliche Dickenzunahme des Elements 1o im Übergangsbereich 18 bewirkt eine Spannungsverteilung im Element über den gesamten Übergangsbereich, so daß sich keine Spannungen an einem bestimmten Punkt und insbesondere nicht am Ende des Übergangsbereichs konzentrieren können. Wie einzusehen ist, sind die Vorteile einer solchen allmählichen Dickenzunahme besonders augenfällig, wenn die Steigung einer solchen Dickenzunahme relativ flach ist. Innerhalb praktisch bedingter Grenzen nimmt die Fähigkeit des Elements 1o, ohne Reißen aufgebrachten Drücken zu widerstehen, mit geringer werdender Steigung der allmählichen Dickenzunahme zu.

Die dünnen Schichten 36, I4.6 werden auf die Oberfläche der ^ar ζ elemente 1o bzw. nach einem Verfahren aufgebracht, das eine der Besonderheiten der vorliegenden Erfindung darstellt. Als erster Schritt des Verfahrens kann leitfähiges Material in einer geeigneten Dicke von etwa 0,13 /um ( 5 χ 1o" in.) in einer Argonatmosphäre auf die Oberflächen der Elemente aufgetragen werden. Dann erwärmt man die Quarzelemente auf einer bestimmten Temperatur wie bspw. etwa 1o5o°G für eine geeignete Dauer wie bspw. etwa 15 Min. Unter dieser Wärmeeinwirkung bei einer Temperatur von mehr als etwa 9oo°C neigt das Platin dazu, sich in der Nähe des Quarzes zu Platinsilcid zu verwandeln. Durch das Umwandeln des Platins zu Platinsilcid entsteht eine Affinität zwischen dem <^uarz und dem Platin.

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Nacheinander werden dann weitere Platinschichten auf die jeweils zuvor aufgebrachten Schichten so aufgebracht, wie oben beschrieben. Bspw. lassen sich sechs Platinschichten mit jeweils etwa o,13 /Um ( 5 χ λο~ in.) nacheinander auf den Quarz aufbringen und dann wärmebehandeln, wie oben ausgeführt. Auf diese V/eise entsteht eine Metallauftrag mit einer Gesamtdicke von etwa 0,78 /Um (3o χ 1o~ in.). Indem man die Met all s chi cht auf diese YJeise herstellt, entsteht ein allmählicher Übergang vom Platinsilicid an der Quarzoberfläche zu dem im wesentlichen reinen Platin an der offenliegenden Oberfläche des Metallauftrags. Dieser allmähliche Übergang ergibt in der Praxis die gute Verbindung des Platins mit dem Quarz.

Obgleich die vorliegende Erfindung anhand einer bestimmten Ausführungsform offenbart und erläutert worden ist, läßt sich ihr Grundgedanke auf viele andere Fälle anwenden, die dem Fachmann offensichtlich sind. Die Erfindung soll daher nur durch die Ansprüche definiert sein.

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Claims

P_a_t_e_n_t_a_n_3j2_r_ü_c_h_e

(1 . !wandler, gekennzeichnet durch ein erstes zylindrisches EIement aus ^uarz mit einem hohlen Inneren und einer das hohle Innere umfassenden Innenfläche, ein zweites zylindrisches Element aus .^uarz, das innerhalb des ersten Zylinders angeordnet ist und mit einer Oberfläche in geringem Abstand zu dem ersten zylindrischen Element liegt, durch eine erste leitfähige Schicht auf der Innenfläche des ersten zylindrischen Elements und eine leitfähige zweite Schicht, auf der Außenfläche des zweiten zylindrischen Elements, wobei das erste und das zweite Element miteinander entlang ihrer Umrisse an von der ersten und der zweiten leitfähigen Schicht beabstandeten Orten verschmolzen sind und das erste zylindrische Element in zunehmenden Abstand von der ersten und zweiten leitfähigen Schicht allmählich dicker wird.

2. Wandler nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß das erste und das zweite zylindrische Element unter Bildung eines einspringenden Winkels miteinander dicht verbunden sind ("re-entrant seal") und die allmähliche Dickenzunahme bis zu einer axialen Stelle erfolgt, die im wesentlichen der Lage der dichten Verbindung entspricht.

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OWQINAL INSPECTED

3. wandler, gekennzeichnet durch ein erstes zylindrisches Element aus Quarz mit einer bestimmten axialen Länge, einer axialen Bohrung sowie allmählich zunehmender Dicke an jedem ujide, eine dünne Schicht eines leitfähigen Materials, um die die axiale Bohrung bildende Fläche entlang eines Zwiscbenbereichs der axialen Länge des ersten zylindrischen Elements, ein zweites ζ yl indrisch es Element aus Quarz mit der bestimmten axialen Länge und einem solchen Radius, daß es in der axialen Bohrung des ersten zylindrischen Elements eingesetzt werden kann, wobei das zweite zylindrische Element an seinen Enden einen größeren Radius als in seiner liitte und in der Mitte einen geringfügig kleineren Radius als den Radius der axialen Bohrung im ersten zylindrischen Element aufweist, um einen über den Zwischenbereich verlaufenden Zwischenraum zwischen dem ersten und dem zweiten zylindrischen Element zu schaffen, und durch eine dünne Schicht aus einem leitfähigen Material, die um die Oberfläche des zweiten zylindrischen Elements herum entlang des Zwischenbereichs innerhalb der axialen Länge des zweiten zylindrischen Elements vorgesehen ist, wobei das erste und das zweite zylindrische Element an den axialen Enden miteinander verschmolzen sind.

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.. Wandler nach Anspruch 3» dadurch gekennzeichnet, daß das erste und das zweite zylindrische Element unter Bildung eines einspringenden Winkels nahe ihren Enden verbunden sind, und die allmähliche Dickenzunahme des ersten zylindrischen Elements an dessen Enden im wesentlichen an der Verbindungsstelle endet.

f>. Wandler nach Anspruch \\, dadurch gekennzeichnet, daß das zweite zylindrische Element im wesentlichen an der Stelle jeder der unter Bildung eines einspringenden Winkels erfolgenden Verbindung mit einem Einschnitt versehen ist.

6. Wandler, gekennzeichnet durch ein erstes zylindrisches Element aus Quarz mit einem hohlen Inneren, einer bestimmten axialen Länge und einer den hohlen Innenraum bildenden axialen Bohrung, ein zweites zylindrisches Element aus Quarz, das in der axialen Bohrung des ersten zylindrischen Elements angeordnet ist und in einem Zwischenbereich entlang seiner Länge einen geringen Abstand zur axialen Bohrung im ersten zylindrischen Element einhält, eine auf die axiale Bohrung des ersten zylindrischen Elements im Zwischenbereich des ersten zylindrischen Elements aufgeschmolzene erste leitfähige Schicht und eine auf das zweite zylindrische Element

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im Zwischenbereicb des zweiten zylindrischen Elements aufgeschmolzene zweite leitfähige Schicht, wobei die Dicke des ersten zylindrischen Elements von einer Stelle nahe jedem Ende zu einer Stelle nahe dem Zwischenbereich des ersten und des zweiten zylindrischen Elements hin abnimmt und das erste und das zweite zylindrische Element an ihren Enden über eine Länge miteinander verschmolzen sind, die im wesentlichen der Länge der Dickenänderung des ersten zylindrischen Elements entspricht.

7. Verfahren zur Herstellung einer Schicht aus Edelmetall auf einer Oberfläche aus Quarzwerkstoff, dadurch gekennzeichnet, daß man eine dünne Schicht eines Edelmetalls auf die Oberfläche des Quarzwerkstoffs aufbringt, das Quarzmaterial mit einer bestimmten Temperatur über eine bestimmte Dauer wärmebehandelt, danach nacheinander dünne Schichten des Edelmetalls auf die Oberfläche des Quarzwerkstoffs aufträgt, um die Dicke des Edelmetallauftrage fortschreitend zu erhöhen, und nach jedem Aufbringen der dünnen Edelmetallschicht auf die Oberfläche des Quarzwerkstoffs das Quarzmaterial mit der bestimmten Temperatur und für die bestimmte Dauer wärmebehandelt.

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8. Verfahren nach Anspruch 7» dadurch gekennzeichnet, daß es sich bei dem Edelmetall um Platin handelt und jede dünne Schicht eine Dicke von etwa o,13 /Um (5 x 1o" in.) aufweist.

9. Verfahren nach Anspruch 8, dadurch gekennzeichnet, daß die bestimmte Temperatur etwa 1of>o G und die bestimmte Dauer etwa 15 Minuten betragen.

1o. Verfahren nach Anspruch 9, dadurch gekennzeichnet, daß es sich bei dem Quarzwerkstoff um Quarzglas handelt.

11. Verfahren zur Herstellung eines Wandlers, dadurch gekennzeichnet, daß man ein erstes zylindrisches Element mit einer axialen Bohrung aus einem dielektrischen Material vorsieht, ein zweites zylindrisches Element aus dielektrischem Material mit einem Durchmesser an seinen Enden vorsieht, infolgedessen es dicht in die axiale Bohrung des ersten zylindrischen Elementes paßt, wobei das zweite Element entlang des Zwischenbereichs seiner axialen Länge einen Durchmesser aufweist, der einen geringen Abstand zur axialen Bohrung des ersten zylindrischen Elements ergibt, daß man eine dünne

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Schicht eines leitfähigen Materials entlang des Zwischenbereichs der axialen Länge des ersten zylindrischen Elements auf die die axiale Bohrung im ersten zylindrischen Element bildende Handlung aufträgt, eine dünne Schicht des leitfähigen Materials auf das zweite zylindrische Element entlang des Zwischenbereichs der axialen Länge des zweiten zylindrischen Elements aufbringt und das erste und das zweite zylindrische Element an ihren axialen Enden miteinander verschmilzt.

12. Verfahren nach Anspruch 11, dadurch gekennzeichnet, daß man beim Auftragen der dünnen Schicht aus leitfähigem Material auf das erste und das zweite zylindrische Element nacheinander sehr dünne Schichten des leitfähigen Materials auf das jeweilige Element aufbringt und dann nach jedem Auftragen der sehr dünnen Schicht des leitfähigen Materials auf das Element das Element bei einer bestimmten Temperatur für eine bestimmte Dauer wärmebehandelt.

13· Verfahren nach Anspruch 12, dadurch gekennzeichnet, daß es sich bei dem dielektrischen Werkstoff des ersten und des zweiten zylindrischen Elements Quarzglas oder amorphen Quarz

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und bei dem leitfähigen Material um Platin handelt.

Hj.. Verfahren nach Anspruch 13» dadurch gekennzeichnet, daß die bestimmte Temperatur e etwa 15 Min. betragen.

bestimmte Temperatur etwa 1o5o C und die bestimmte Zeitdauer

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