DE2723254A1 - Halbleiterstruktur mit vom halbleitermaterial isolierten polysiliciumelektroden und verfahren zu ihrer herstellung - Google Patents
Halbleiterstruktur mit vom halbleitermaterial isolierten polysiliciumelektroden und verfahren zu ihrer herstellungInfo
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Description
Böblingen, den 16. Mai 1977 oe-se/bb 2 7 2 3 2 B 4
Anmelderin:
International Business Machines Corporation, Armonk, N.Y. 10504
Amtliches Aktenzeichen:
Neuanmeldung
Aktenzeichen der Anmelderin: YO 976 017
Vertreter:
Patentassessor
Dipl.-Chem. Dr. rer. nat. Dietrich Oechßler Böblingen
Dipl.-Chem. Dr. rer. nat. Dietrich Oechßler Böblingen
Bezeichnung:
Halbleiterstruktur mit vom Halbleitermaterial isolierten Polysiliciumelektroden und
Verfahren zu ihrer Herstellung
709882/0666
27232b4
Die Erfindung betrifft eine Halbleiterstruktur der im Oberbegriff des Patentanspruchs 1 angegebenen Art und ein Verfahren der im Patentanspruch 10 angegebenen Art zur Herstellung
insbesondere solcher Halbleiterstrukturen.
Halbleiterbauelemente mit vom Halbleitersubstrat isolierten Elektroden, wie z.B. Anreicherungs-FETs, Verarmungs-FETs und
Kondensatoren für die Ladungsspeicherung, werden in integrierten Schaltungen in großem Umfang eingesetzt. Verarmungs-FETs
werden im allgemeinen in integrierten Schaltungen als nichtlineare Lastelemente benutzt, um ein günstigeres Stromspannungsverhältnis, als es mit linearen Lastschaltkreisen, welche
Widerstände oder Bauteile vom Anreieherungstyp verwenden, möglich ist, zu erzeugen. Anreicherunga-FETs werden in digitalen
integrierten Schaltungen als Schalter zum Aus- und Einschalten elektrischer Ströme, d.h. von Signalen, benutzt.
satoren werden oft auf demselben Halbleitersubstrat erzeugt, um dadurch einen integrierten Schaltkreis, wie z.B. einen
Mikroprozessor zu erzeugen. Die Herstellung solcher integrierter !Schaltungen erfordert mindestens fünf grundlegende lithographische
Maskierungsschritte und wendet im allgemeinen eine Polysiliciunschicht an, um die Gate-Elektroden sowohl für die Anreicherungs -als auch für die Verarmungs-FETs und die obere Kondensatorplatte eines Ladungsspeicherkondensators zu erzeugen. Bekannte
Herstellungsverfahren verwenden im allgemeinen konventionelle geätzte Kontaktlöcher, um die elektrischen Verbindungen beispielsweise zwischen den Gate-Elektroden aus Polysilicium J
und dem Leiterzugmuster vom metallischen Typ herzustellen. j Justierprobleme, welche im Zusammenhang mit diesen konventionellen geätzten Kontaktlöchern auftreten, bringen es mit sich, j
daß die erreichbare Packungsdichte mit dem zunehmenden Trend zu ininer stärkerer Mikrominiaturisierung der Schaltungen nicht
mehr zufriedenstellend ist.
709882/0688
r 27232S4
In der Hauptpatentanmeldung wird eine vorteilhafte Eigenschaften aufweisende Halbleiterstruktur, welche dort als FET-Ein-Element-Spelcherzelle ausgebildet 1st und ein Verfahren
zur Herstellung Insbesondere einer solchen Halbleiterstruktur beschrieben. Die In der Hauptanmeldung beschriebene Halbleiter-Struktur kann aufgrund ihrer Ausbildung und des angewandten
Verfahrens zu ihrer Herstellung sehr kleine Abmessungen aufweisen und ermöglicht eine große Packungsdichte in den sie
enthaltenden Schaltungen, d.h., sie vermeidet die genannten Nachteile des bis dahin bekannten Standes der Technik.
Die Aufgabe der vorliegenden Zusatzanmeldung ist es, eine Halbleiterstruktur, welche im wesentlichen die in der Hauptanmeldung beschriebenen und beanspruchten günstigen Strukturmerkmale und Vorteile aufweist, aber universeller als die in
der Hauptanmeldung beschriebene Halbleiterstruktur verwendbar 1st und insbesondere zusätzlich zu einer oder mehreren FET-Ein-Eleroent-Speicherzellen oder anstelle dieser Speicherzellen Anreicherungs- und Verarmungs-FETs auf demselben Halbleitersubstrat enthält, und anzugeben, wie insbesondere eine solche
Halbleiterstruktur im wesentlichen gemäß dem in der Hauptanmeldung beschriebenen Verfahren und unter Anwendung gegenüber der Hauptanmeldung entsprechend modifizierter Vorrichtungen
in einfacher Weise und ökonomisch hergestellt werden kann.
Diese Aufgabe wird mit einer Halbleiterstruktur der eingangs genannten Art mit den Merkmalen des kennzeichnenden Teils
des Anspruchs 1 und mit einem Verfahren der eingangs genannten Art mit den Merkmalen des kennzeichnenden Teils
des Anspruchs 10 gelöst.
Die erfindungsgemäße Halbleiterstruktur 1st nicht nur sehr vielf
Seitig verwendbar, sondern kann insbesondere für dicht gepackte auf demselben Halbleitersubstrat bzw. -plättchen (Chip) be-
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2723m
findliche. , integrierte Schaltungen, bei denen die Bauteile
besonders kleine Abmessungen haben sollen, eingesetzt werden. Beispielsweise kann die erfindungsgemäße Halbleiterstruktur
für FET-Ein-Element-Speicherzellen enthaltende Speicheranordnungen mit den zugehörigen;Anreicherungs- und Verarmungs-FETs enthaltenden peripheren Schaltkreisen, wie Adressier-,
Decodier- und Abfühlschaltkreisen verwendet werden. Dabei haben die FET-Ein-Element-Speicherzellen alle bereits in der
Hauptanmeldung beschriebenen Vorteile, auch bezüglich der Herstellung, wozu noch weitere, nur der vorliegenden Anmeldung
eigene Vorteile kommen, auf die weiter unten im Zusammenhang mit der Herstellung der Struktur eingegangen werden wird.
Andere vorteilhafte Ausgestaltungen der erfindungsgemäßen Halbleiterstruktur ergeben sich aus den Struktur-Unteransprüchen.
Bei der Herstellung insbesondere der erfindungsgemäßen Halbleiterstruktur werden fünf grundlegende lithographische
Maskierungsschritte benötigt. Im Vergleich zu vor Einreichung der Hauptanmeldung bekannten Methoden jedoch können mit der
vorliegenden Erfindung eine Reihe von besonderen Vorteilen erzielt werden, welche sich aus der Anwendung von zwei PoIysiliciumschichten ergeben. Diese sehr einfach auszuführende
!elektrische Kontaktierung der Gate-Elektroden der Anreiche-
rungs-FETs trägt zu der erreichbaren hohen Packungsdichte bei.
i
Die Polysiliciumschicht für die Herstellung der Anreicherungs-Gates wird getrennt und vor der Polysiliciumsahicht aufgebracht, welche für die Herstellung der Verarmungs-Gates und
der oberen Speicherkondensator-Elektroden benutzt wird. Diese Herste1lungsfolge macht es möglich, eine oxydationshemmende
.Maskierungsschicht über den Anreicherungs-Gates zu bewahren, dotierte untere Kondensatorelektroden unterhalb der oberen
Kondensatorelektroden aus Polysilicium und dotierte Kanalbe- .; jreiche unterhalb der Verarmungs-Gate-islektroden aus Polysilicium zu erzeugen und eine dicke Isolation aus Oxid über den
to 976 0T7 V
oberen Kondensator-Elektroden aus Polyslllclum und über den
Verarmungs-Gates aus Polyslllclum unter Aussparung der Anreicherungs-Gates zu bilden. Die oxydationshemmende Schicht wird
dazu benutzt, um den Anreicherungs-Gate-Bereich zu definieren (delineate) und um den Anreicherungs-Gate-Bereich aus Poly- \
silicium während des Aufwachsens der dicken Isolierschicht aus ; Oxid vor der Oxydation zu schützen. Wenn die oxydationshemmende
Schicht entfernt wird, liegt der gesamte Gate-Bereich für die Kontaktierung frei. Eine Verbindungsleitung vom metallischen
Typ, welche über irgend einen Teil der Anreicherungs-Gate-Elek-i
trode hinweggeht, wird mit diesem Gate einen elektrischen Kontakt machen, wodurch eine selbstjustierende (self-registering)
Kontaktierung mit einer großen Fehljustierungstoleranz ermöglicht wird.
Ein anderer wesentlicher Vorteil des erfindungsgemäßen Ver- ■
fahrens liegt darin, daß, da die Anreicherungs-Gate-Elektrode j vor der Verarmungs-Gate-Elektrode und aus einer anderen PoIyjsiliciumschicht gebildet wird; eine Dotierung ohne Verwendung
einer speziellen Maske zur Bildung der Verarmungs-Kanalbereiche inach der Bildung der Anreicherungs-Gate-Elektrode aber vor
jder Bildung der Verarmungs-Gate-Elektrode möglich ist. Deshalb ist ein zusätzlicher Maskierungsschritt nicht notwendig.
Hinzu kommt, daß bei der vorliegenden Erfindung die Dotierung jfür die Bildung der Source- und Drain-Gebiete der FETs nach
jder Bildung der Verarmungs-Gate-Elektroden aus der zweiten
[Polysiliciumschicht vorgenommen wird. Da die Dotierung von {Source und Drain vom selben Typ, aber von einer viel größeren
{Konzentration ist, wie die des Verarmungskanals, überlagert sich die Dotierung für die Source- und Drain-Gebiete und vervollständigt die für die Herstellung des Verarmungskanals
vorgenommene Dotierung in den Source- und Drain-Bereichen.
beim Einbau einer FET-Ein-Element-Speicherzelle in die Halblei-
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272325A
terstruktur. Bel der vorliegenden Erfindung wird nämlich
Insofern In einzigartiger Welse vorgegangen, als die Fabrikationsschritte, welche dazu benutzt werden, um die
Gate-Elektrodenstruktur des Verarmungs-FETs herzustellen, auch dazu benutzt werden, um die obere Elektrode des Ladungsspeicherkondensators zu erzeugen. Beim Dotieren des Kanalbereichs des Verarmungs-FETs wird auch die untere Elektrode des
Kondensators erzeugt. Die Polysiliciumschicht, welche zur Bildung der Polysilicium-Gate-Elektrode des Verarmungs-FETs
benutzt wird, wird auch für die Bildung der oberen Elektrode des Ladungsspeicher-Kondensators benutzt. Das Material, welches
dazu benutzt wird, um den Gate-Isolator bereitzustellen, wird auch dazu benutzt, um den Isolator des Ladungsspeicherkondensators bereitzustellen.
Die Feldoxidbereiche, welche festgelegte Gebiete der Halbleiteroberfläche einfassen, in welchem dann die Bauteile erzeugt
{werden, dient nicht nur als Maskierung beim Dotieren der !Halbleiterbereiche sondern auch dazu, um einen FET oder eine :
Speicherzelle von anderen gleichen FETs und/oder gleichen | Speicherzellen, welche auf demselben Halbleitersubstrat vor- j
handen sind, voneinander elektrisch zu isolieren.
Weitere vorteilhafte Ausgestaltungen des erfindungsgemäßen Verfahrens ergeben sich aus den Verfahrensunteransprüchen.
Die Erfindung wird anhand von durch Zeichnungen erläuterten Ausführungsbeispielen beschrieben.
Es zeigen:
Fign. 1A bis U Querschnitte entlang den in der Fig. 2 angezeigten Linien durch eine FET-Ein-Eleraent-Speicherzelle und ein Verarmungs-FET-Bauteil
(FET depletion-mode device) in verschiedenen Stadien der Herstellung,
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Fign. 2Α bis 2E in Aufsicht die Folge und relative Positionierung von den fünf grundlegenden lithographischen Masken, welche entsprechend der vorliegenden Erfindung benutzt werden,
vorhergesagte Dotierungsprofil des Kanalbereichs des Verarmungs-FET-Bauteils, \
bers (word line driver), welcher sowohl Anreicherungs(enhancement-mode)- als auch Ver- ;
armungs-FETs enthält und
welcher als Strombegrenzer (current limiter) für die obere Speicherkondensator-Elektrode
einer Ein-Element-Speicherzellenschaltung benutzt wird.
Der Einfachheit halber behandelt die folgende Beschreibung die Heretellungsschritte einer Anordnung (array) von integrierten
Schaltungen, welche eine FET-Ein-Element-Speicherzelle und
Anreicherungs- und Verarmungs-FETs enthält. Es sei aber klargestellt, daß die vorliegende Erfindung benutzt werden kann,
um ganz allgemein Kombinationen von Anreicherungs- und Verarmungs-FETs herzustellen.
Außerdem richtet sich die nachfolgende Diskussion von Fabrikationsschritten der Einfachheit halber bevorzugt auf die
Anwendung eines Siliciumsubstrats vom ρ-Typ als Halbleitersubstrat und von Verunreinigungen vom η-Typ als eindiffundierte
und einimplantierte Dotierungsverunreinigungen in die Source- und Drain-Gebiete. Dies führt zu der n-Kanal-FET-Technologie.
Es sei aber klargestellt, daß es auch möglich ist, Substrate vom η-Typ und diffundierte und einimplantierte Dotierungs-
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Ak
verunreinigungen vom p-Typ bei der Anwendung der vorliegenden Erfindung für die p-Kanal-FET-Technologie zu benutzen.
Es sei klargestellt, daß, wenn sich die Diskussion auf Verunreinigungen
vom η-Typ bezieht, die Prozeßschritte auch auf Verunreinigungen vom p-Typ und umgekehrt anwendbar sind. Die
vorliegende Erfindung ist auch auf andere, bekannte, nicht aus Silicium bestehende Substrate anwendbar. Die hier benutzten
Ausdrücke "Verbindungsleitungen vom metallischen Typ" oder "Verbindungsleitungen hoher Leitfähigkeit" beziehen sich auf
Leitungen aus Metall, wie z.B. Aluminium, als auch aus nichtmetallischen Materialien (d.h. z.B. hochdotiertes Polysilicium
oder intermetallische Silicide), welche nichtsdestotrotz Leitfähigkeiten von einer Größenordnung haben können, wie
sie normalerweise leitfähige Metalle besitzen. Darüberhinaus werden die Ausdrücke "Polysilicium" und "polykristallines
Silicium" wie auch im Stand der Technik üblich, im gleichen Sinne gebraucht. Außerdem sei klargestellt, daß wenn von
Verunreinigungen von einem "ersten Typ" und von Verunreinigungen von einem "zweiten Typ" die Rede ist, der "erste
Typ" sich auf Verunreinigungen vom n- oder p-Typ und der "zweite Typ" sich auf Verunreinigungen vom entgegengesetzten Leitfähigkeitstyp
beziehen. D.h., wenn der "erste Typ" ρ ist, dann ist der "zweite Typ" n. Wenn der "erste Typ" η ist, dann ist
!der "zweite Typ" p. Außerdem sind die hier benutzten Ausdrücke
"Gate" und "Gate-Elektrode" austauschbar.
Die Fig. 1A zeigt einen Ausschnitt aus der Struktur von der bei
|der Anwendung der Erfindung ausgegangen wird. Sie ist allgeimein
mit der Nr. 1 bezeichnet. Ein Siliciumsubstrat 2 vom
jp-Typ mit irgend einer gewünschten Kristallorientierung (beispielsweise
<1OO> ) wird durch in Scheiben Sägen und Polieren eines Siliciumkristalls vom p-Typ erhalten, welcher
in der Gegenwart eines p-dotierenden Dotierungsstoffs, wie z.B. Bor, gemäß bekannten Kristallziehtechniken erzeugt worden
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272325A AS
ist. Andere Dotierungsstoffe vom ρ-Typ für Silicium schließen
Aluminium, Gallium und Indium ein.
Die Feld-Oxid-Isolierung kann mittels irgend einer von mehreren
bekannten Methoden, einschließlich der thermischen Oxydation von Halbleitersubstraten, oder durch die wohlbekannten chemischen
Aufbringverfahren aus der Dampfphase, oder durch Vakuumtechniken, erzeugt werden. Darüberhinaus kann das Feld-Oxid oberhalb der
Halbleiteroberfläche, oder so gebildet werden, daß es teilweise oder vollständig in das Halbleitersubstrat eingelegt ist. Ein
Beispiel eines solchen Verfahrens ist das in dem US-Patent 3 899 363 offenbarte Verfahren, mit dem voll eingelegtes
Oxid für Isolationszwecke erzeugt werden kann. Dabei wird in den Bereichen, in welchen das Oxid erzeugt werden soll,
In das Halbleitersubstrat eine ebene Vertiefung geätzt und anschließend wird in diesen Bereichen so lange thermisch oxydiert,
bis die Oxidoberfläche mit der ursprünglichen Halbleiteroberfläche planar ist. Zur Illustration des erfindungs-
gemäßen Verfahrens mit den fünf Maskierungsschritten wird ein ■
vollständig eingelegtes Feld-Isolationsoxid benutzt werden. i
Die Fig. 1A zeigt die eingelegten (recessed) Feld-Oxidbereiche
3 und die mit ihnen verbundenen implantierten Kanal-Stop-Berei-t
ehe (channel stopper regions) 4 vom p-Typ, welche entsprechend dem im US-Patent 3 899 363 beschriebenen Verfahren hergestellt
worden sind. Die Feld-Oxid-Isolationsbereiche sind etwa
4000 bis 10 000 8 dick und bezogen auf die Siliciumoberflache
'vollständig eingelegt. Die in der Fig. 2A gezeigte lithographische
Maske wird dazu benutzt, um die Feld-Oxidbereiche 3, !welche sich von dem Anreicherungs-Bauteilbereich 5 bzw. dem
Verannungs-Bauteilbereich 6 unterscheiden, abzugrenzen (delineate) . Dies ist der erste grundlegende lithographische Maskijerungsschritt.
Es sei angemerkt, daß die Anreicherungs- und die Verarmungs-Bauteile innerhalb desselben Bauteilbereichs gelegen
sein können oder daß sie voneinander getrennte Bauteilbereiche belegen können.
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- vs -
Eine dünne Anrelcherungs-FET-Gate-Isolationsschlcht 7 aus
Siliciumdioxid wird auf das Siliciumsubstrat 2 aufgewachsen oder niedergeschlagen. Dieser Gate-Isolator, welcher etwa
200 bis 1000 8 dick ist, wird bevorzugt durch eine thermische Oxydation der Siliciumoberfläche bei 10OO °C in der Gegenwart
von trockenem Sauerstoff erzeugt. Es sei angemerkt, daß, wenn dies erwünscht ist, die p-Dotierung an der Halbleiteroberfläche
in den Bereichen 5 und 6 mittels Ionenimplantation oder Eindiffusion von Bor erhöhrt werden kann. Wie aus dem Stand der
Technik bekannt, wird diese zusätzliche Oberflächendotierung niederer Konzentration dazu benutzt, um die Gate-Schwell-Spannung (gate threshold voltage) des Anreicherungs-FETs auf einen
gewünschten Wert zu erhöhen und um einen Source- zu- Drain-Verarmungsschicht-Durchschlag (source to drain depletion layer
punch-through) oder Kurzkanaleffekte zu verhindern. Die Technik des Dotierens um eine angereicherte Oberfläche zu erhalten,
1st beispielsweise von V.L. Rideout u.a. in dem Artikel "Devices pesign Considerations for Ion-Implanted η-Channel MOSFETs", im
IBM J.Res. Develop., Band 19, Nr. 1, Seiten 50 bis 59, Januar ^l975, beschrieben worden. Die zusätzliche Oberflächendotierung
jcann nach Belieben vor oder nach der Bildung der Gate-Oxid-Schicht 7 vorgenommen werden. Dann wird eine Schicht aus polytristallinem Silicium 8 aufgebracht. Die Polysiliciumschicht lsi
itwa 1500 bis 5000 A* dick und kann durch chemisches Niederschlagen aus der Dampfphase erzeugt werden. Die Polysilicium- \
»chicht wird nun mit einem Dotierungsstoff vom η-Typ, wie z.B. |
Arsen, Phosphor oder Antimon, gemäß einem der mehreren bekannte^ Verfahren dotiert. Bevorzugt wird das Polysilicium mit Phosphorl
lotiert, wobei bevorzugt eine POCL^-Schicht aufgebracht wird
uid anschließend auf etwa 870 0C erhitzt wird, um den Phosphor
in das Polysilicium hineinzutreiben, wodurch es ein Material rom η-Typ wird. Anschließend wird die restliche POCL.-Schicht
imtfernt, indem das Plättchen in gepufferter Flußsäure geätzt
wird. Eine dünne, die Oberfläche schützende Schicht 9 aus !Siliciumdioxid, welche zwischen 50 und 200 % dick ist, wird
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- 1/5 -
Al
auf der Polysiliciumschicht aufgewachsen oder niedergeschlagen,
um zu verhindern, daß eine anschließend aufgebrachte Schicht, welche die Oxydation verhindern soll, daran gehindert wird,
mit dem Polysilicium zu reagieren und es dadurch schwierig wird, die oxydationshindernde Schicht später zu entfernen. Eine
daran haftende oxydationshindernde Schicht 10 aus einem nicht oxydierenden Material, wie z.B. Siliciumnitrid, Aluminiumnitrid,
Bornitrid, Aluminiumoxid oder Siliciumcarbid, wird dann aufgebracht. Bevorzugt besteht die Schicht 8 aus Siliciumnitrid und
ist etwa 500 bis 1000 8 dick. Die Schicht 8 kann mittels konventioneller chemischer Niederschlagstechniken aus der Dampfphase
aufgebracht werden. Eine zusätzliche Schicht 11 aus Siliciumdioxid wird dann niedergeschlagen. Die Siliciumdioxidschicht
ist etwa 500 bis 1000 8 dick und kann durch chemisches Niederschlagen aus der Dampfphase gebildet werden. Diese Schicht 11
dient als eine Ätzmaske, um die Schicht 10 abzugrenzen (to delineate). Die Schicht 10 dient als eine Ätzmaske, um das
Gate-Muster in die Siliciumdioxidschicht 9 zu zeichnen und als eine oxydationshemmende Schicht während des anschließenden
Wachsens des Isolationsoxids über andere Teile der Struktur. Das Material, aus dem die oxydationshemmende Schicht besteht,
sollte sich nicht oxydieren lassen oder mindestens nur extrem langsam im Vergleich zu Silicium und Polysilicium oxydieren
lassen. Das Material, aus dem die oxydationshemmende Schicht besteht, wird unter den Bedingungen, welchen es bei der Ausführung
der vorliegenden Erfindung unterworfen wird, als nichtoxydierei d angesehen. Die oxydationshemmende bzw. -hindernde Schicht 10
besteht bevorzugt aus einem Nitrid, wie z.B. Siliciumnitrid um verhindert die Oxydation der oberen Oberfläche der darunterliegenden Polysiliciumschicht 8.
Eine das Gate-Muster bestimmende Schicht, beispielsweise eine Schicht 12 aus Lackmaterial des Typs, welcher bei bekannten
j lithographischen Maskierungs- und Ätztechniken benutzt wird, !wird auf die Oberfläche der oberen Oxidschicht 11 aufgebracht.
γσ 976 σΐ7 70 9882/06 8 8
At
Irgend eines der wohlbekannten photoempfindlichen, polymerisierbaren
Lackmaterialien kann benutzt werden. Das Lackmaterial wird mittels Aufschleudern oder durch Aufsprühen aufgebracht.
Die resultierende Struktur ist in der Fig. 1B gezeigt. Die Schicht 12 aus Photolackmaterial wird getrocknet und dann
selektiv einer Strahlung von ultraviolettem Licht durch eine in der Fig. 2B gezeigte photolithographische Maske hindurch
ausgesetzt. Diese Maske besteht aus einem lichtdurchlässigen Material und hat gemäß einem vorher bestimmten Muster lichtundurchlässige Bereiche. Beim Belichten werden die Bereiche
des Lackmaterials, welche unter den lichtdurchlässigen Bereichen der Maske liegen, polymerisiert. Nach dem Entfernen der Maske
wird das Plättchen in einer geeigneten Entwicklerlösung, welche
diejenigen Bereiche des Lackmaterials, welche sich unter den lichtundurchlässigen Bereichen der Maske befanden und deshalb
nicht dem ultravioletten Licht ausgesetzt waren, herausgelöst. Die Struktur kann dann erwärmt werden, um das verbliebende
Lackmaterial, welches dem gewünschten Muster entspricht, d.h., welches die Bereiche bedeckt, in welchen anschließend die
Polysilicium-Anreicherungs-FET-Gate-Bereiche gebildet werden
sollen, weiter zu polymerisieren und zu härten.
Als nächstes wird die Struktur zur Entfernung der Teile der Siliciumdioxidschicht 11, welche nicht vom Lackmaterial 12
beschützt sind, behandelt. Dazu wird das Plättchen in eine Lösung von gepufferter Flußsäure eingetaucht. Die Ätzlösung
löst Siliciumdioxid, aber greift den Lack, die oxydationshemtnende
Schicht 10, beispielsweise aus Siliciumnitrid, oder andere Materialien der Struktur, wie sie die Fig. 1C zeigt, nicht an.
Pas Photolackmaterial 12 oberhalb des in die Siliciumdioxid-
! i
schicht 11 geätzten Musters wird dann durch Lösen in einem ι
geeigneten Lösungsmittel entfernt. Die verbleibenden Silicium- j äioxidbereiche 11, entsprechen einem vorher bestimmten Muster
und dienen nun zum Ätzen von vorher bestimmten Mustern in die
Yö §76 017 7 0 98 8 2 / 068 6
oxydationshemmende Schicht 10. Die Schicht 10 dient dann als
eine Maske, um Muster in die dünne Oxidschicht 9 zu ätzen und die Schicht 9 dient dann als eine Maske zum Ätzen von Mustern
in die Polysiliciumschicht 8. Die Muster in der Polysiliciumschicht 8 dienen dann als eine Maske zum Ätzen von Mustern in
die Siliciumdioxidschicht 7. Die Muster in der Schicht 10 können, wenn Siliciumnitrid angewandt wird, durch Ätzen in einer
Phosphorsäurelösung bei 180 0C gebildet werden. Muster in der
dünnen Oxidschicht 9 werden durch Ätzen in einer Lösung von gepufferter Flußsäure gebildet. Muster in der Polysiliciumschicht
8 werden durch Ätzen in einem wohlbekannten Ätzmittel, wie z.B. Äthylendiamin-Brenzcatechin bei 100 0C gebildet. Dies vollendet
den zweiten grundlegenden lithographischen Maskierungsschritt, welcher die Polysiliclum-Gate-Elektrode 13 des Anreicherungs-FET,
welche in der Fig. 1D gezeigt ist, abgrenzt (delineate). Als nächstes werden die Bereiche der dünnen Oxidschicht 7, welche
sich nicht unter dem Polysilicium-Gate 13 befinden, durch Ätzen
in einer Lösung von gepufferter Flußsäure entfernt. Das Ätzmittel entfernt auch die gesamte oder den größeren Teil der verbliebenen
Bereiche der Oxidschicht 11. Alles, was von der Schicht 11 nicht
entfernt wird, kann in einem späteren Prozeßschritt mittels eines kurzen Eintauchens in gepufferte Flußsäure entfernt werden.
•bwohl es im allgemeinen vorteilhaft ist, die freiliegenden
!Bereiche der dünnen Schicht 7 in diesem Stadium des Verfahrens ! zu entfernen, können sie aber auch beibehalten werden und
jspäter entfernt werden, beispielsweise nach dem Erzeugen der jn-Dotierung der Kanalbereiche der Verarmungs-FETs und der unteren
dotierten Siliciuraelektroden der Speicherkondensatoren, oder auch während des gesamten Prozesses beibehalten werden, wenn
dies erwünscht ist.
nächstes wird eine dünne Isolierschicht 18 gebildet. Diese isolierschicht wird auf der Struktur aufgewachsen oder niedergeschlagen.
Die Schicht 18, welche etwa 200 bis 1000 8 dick ist, besteht bevorzugt aus Siliciumdioxid und wird bevorzugt
XO 9/b Oi7
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durch thermische Oxydation der Struktur bei 1OOO 0C in der
Gegenwart von trockenem Sauerstoff gebildet. Die Schicht 18 dient sowohl als dielektrische Isolation zwischen den Elektroden des Ladungskondensators, welcher dem Anreicherungs-FET benachbart gebildet werden soll, und als die Gate-Isolation
des Verarmungs-FETs, welcher im Bereich 6 gebildet werden
soll. Die freiliegenden Bereiche der dünnen Siliciumdioxidschicht 7 werden bevorzugt aber nicht notwendigerweise vor der Bildung der dünnen Isolationsschicht 18 entfernt. Wenn die Schicht
7 vollständig beibehalten wird, wird die Dicke des Gate-Isolators des Verarmungs-FETs diejenige des Anreicherungs-FETs
übers ehre i ten.
Ein Vorteil der vorliegenden Erfindung ist es, daß die Gate-Isolatorschicht 7 des Anreicherungs-FETs und die Gate-Isolationsschicht 18 des Verarmungs-FETs und die Spelcherkondensator-Isolatorschicht 18 unterschiedlich dick sein können.
!Beispielsweise kann es wünschenswert sein, den Speicherkondenjsator-Isolator dünner als den Anreicherungs-FET-Gate-Isolator
!zu machen, um die Kapazität des Speicherkondensators zu erhöhen, während der Anreicherungs-FET-Gate-Isolator dicker sein
fcann, um einen Durchbruch aufgrund der Spannungen, welchen der
ate-Isolator im Betrieb ausgesetzt 1st, zu verhindern. !
Die dünne Isolatorschicht 18 wird bevorzugt vor der thermischen Eindiffusion oder der Ionenimplantation der Verunreinigungen vom η-Typ erzeugt und ist dünn genug, daß die Verunreinigungen vom η-Typ hindurchpassieren können. Wenn es jedoch
erwünscht ist, kann die dünne Ladungskondensator-Isolator-3chicht 18 auch nach der Ionenimplantation oder der thermischen
Sindiffusion der Verunreinigungen vom η-Typ erzeugt werden. Die
Verunreinigungen vom η-Typ werden ionenimplantiert oder thernisch eindiffundiert, um die in der Fig. 1E gezeigten freiliegenden Bereiche 14, 15 und 16 des Siliciumsubstrats zu
dotieren. Diese Verunreinigungen erzeugen die Dotierung vom
η-Typ des Kanalbereichs 14 des Verarmungs-FETs, welcher im
Bereich 6 erzeugt werden soll, und die aus Silicium bestehende untere Elektrode 15 des Ladungskondensators. Der Bereich 16
wird später der Drain-Bereich (Bitleitung (bit line)) des Anreicherungs-FETs werden. Wird eine Dotierung niederer Konzentration mit Verunreinigungen vom p-Typ vorgenommen, um die
Oberflächendotierung in den Bereichen 5 und 6 zu erhöhen, so ist die Konzentration der η-Dotierung im Bereich 6 groß genug,
um den Effekt der Verunreinigungen vom p-Typ zu überkompensieren und um eine negative Gate-Schwellspannung für den Verarmungs-FET bereitzustellen.
Die Verunreinigungen vom η-Typ dringen nicht in den Kanalbereich
17 des Anreicherungs-FETs ein und zwar wegen der blockierenden Wirkung der Gate-Elektrode 13 und der verbliebenen Bereiche der
Schichten 7, 9 und 10. In gleicher Weise verhindert das dicke Feldoxid 3, daß Verunreinigungen vom η-Typ in das Siliciumsubstrat unterhalb der Feldisolationsbereiche 3 eindringen.
Zur Illustration des vorliegenden erfindungsgemäßen Verfahrens wurde die Ionenimplantation von Verunreinigungen vom η-Typ ausgewählt. Beispielsweise kann ein flacher, leicht n-dotierter
Bereich in dem Siliciumsubstrat unterhalb der Isolationsschicht 18 erzeugt werden, indem P mit einer Energie von :
12 2
etwa 75 KeV und einer Dosis von etwa 10 Atomen/cm implan- j
tiert wird, wenn eine 5OO 8 dicke Kondensator-Isolatorschicht '
13 aus Siliciumdioxid vor der Ionenimplantation gebildet worden
ist. j
Das Dotierungsprofil der Verunreinigung vom η-Typ, wie es von einem numerischen Computer-Analysenprogramm vorhergesagt
wird, ist in der Fig. 3 für ein Substrat vom p-Typ mit einem spezifischen Widerstand von 2 Ohm · cm (7,5 χ 10 cm" ) gezeigt
!Das Programm zur Vorhersage des Profils wurde von F.F. Morehead jin einem Vortrag mit dem Titel "A General Calculation of the
!Redistribution of Ion Implanted Profiles in MOS and Other
YO 576 ÖT7 η Q J j 6 2 / 0 6 $ β
Processing" (siehe ECS Fall Meeting Expended Abstracts, Seiten 474 bis 475, 13. bis 17. Oktober 1974) beschrieben.
Wird die Ionenimplantation vor der Bildung der Isolationsschicht 18 vorgenommen, wird eine P -Implantation bei einer
Energie von etwa 50 KeV und mit einer Dosis von etwa 10 Atomen/cm angewandt. Die Höhe der Dotierung vom η-Typ, welche
mittels der Ionenimplantation erreicht werden kann, ist um mehrere Größenordnungen zu klein, um damit auch die Source-
und Drain-Bereiche, welche für eine PET-Operation geeignet sind, zu erzeugen. Insbesondere ist der Widerstand in den
Bereichen, welche später die FET-Drain- und -Source-Bereiche werden sollen, viel zu hoch. Außerdem sind die flachen, leicht
dotierten Bereiche, wie sie üblicherweise dabei gebildet werden, extrem schwierig mittels metallischen Verbindungsleitungen elektrisch zu kontaktieren.
Eine zweite Schicht von Polysilicium 19 wird dann auf der
gesamten Struktur niedergeschlagen. Die Polysiliciumschicht 19 kann entweder vom p- oder η-Typ sein, ist aber bevorzugt
vom η-Typ. Die Polysiliciumschicht ist etwa 3500 bis 5000 8 dick und kann durch chemisches Niederschlagen aus der Dampfphase
gebildet werden. Das Polysilicium wird, wie weiter oben beschrieben wurde, mit POCL3 dotiert. Nach dem Dotieren
wird eine Schicht 20 aus Siliciumdioxid, welche 500 bis 1000 dick ist, auf der zweiten Polysiliciumschicht aufgewachsen
oder niedergeschlagen. Bevorzugt wird das Siliciumdioxid mittels !konventioneller chemischer Niederschlagstechniken aus der :
Dampfphase aufgebracht. Der Rest der POCL-j-Schicht muß nicht j
vor der Bildung des Siliciumdloxids 15 entfernt werden. ι
j Es sei angemerkt, daß der Verarmungs-FET-Kanalbereich 14 und
der untere Kondensator-Elektrodenbereich 15 durch Ionenimplantation oder Diffusion nach der Abgrenzung der Anreicherungs-Polysilicium-Gate-Elektrode
13, aber vor der Abgrenzung der j oberen Ladungskondensator-Elektrode und des Verarmungs-FET-
709882/0606
Gates in der zweiten Polysiliciumschicht 19 gebildet werden. Die Ionenimplantation oder thermische Diffusion von Verunreinigungen vom η-Typ muß durchgeführt werden, vor dem Schritt
des Niederschiagens der zweiten Polysiliciumschicht 19, um einen Kanalbereich 14 vom η-Typ unterhalb des Verarmungs-Polysilicium-Gates und eine mit Verunreinigungen vom n-Typ
dotierte, untere Kondensator-Elektrode aus Silicium unter der oberen Kondensator-Elektrode aus Polysilicium zu bilden. Eine
Schicht aus Lackmaterial 21 von dem Typ, welcher oben im Zusammenhang mit dem Definieren des Anreicherungs-Gate-Musters beschrieben wurde, wird nun dazu benutzt, um die Muster der Verarmungs-Gates aus Polysilicium und der oberen Kondensator-Elektroden aus Polysilicium zu definieren. Das Lackmaterial 21
wird aufgebracht, einer Ultraviolett-Strahlung unter Benutzung eines vorher bestimmten lithographischen Maskenmusters, welches
in der Fig. 2C gezeigt ist, ausgesetzt, und dann werden die nichtbestrahlten Bereiche des Lacks weggelöst. Dies ist der
dritte grundlegende lithographische Maskierungsschritt. Als ;
nächstes wird die in der Fig. 1F gezeigte Struktur behandelt, ί um die Bereiche des Siliciumdioxids 20, welche nicht von dem \
Lackmaterial 21 beschützt sind, zu entfernen. j
Das Plättchen wird in eine Lösung von gepufferter Flußsäure
eingetaucht, wobei sich das Siliciumdioxid aber nicht Lack, eine oxydationshemmende Schicht, beispielsweise aus Siliciumnitrid, und nicht Silicium oder andere Materialien der Struktur
lösen. Die verbleibenden Photolackbereiche 21 und 21' oberhalb
r geätzten Siliciumdioxidmuster 20 und 21 werden dann durch
sen in einem geeigneten Lösungsmittel entfernt. Die verliehenen Bereiche 20 und 20* aus Siliciumdioxid stimmen mit
rher bestimmten Mustern, nämlich mit dem In der Fig. 2C gezeigten Verarmungs-Gate-Muster 22 und mit dem Muster 23 der
oberen Ladungs-Kondensator-Elektroden 23, überein. Die Muster 22 bzw. 23 werden gebildet durch Ätzen in einem wohlbekannten
Ätzmittel, wie z.B. Xthylendiamln-Brenzcatechin bei 100 0C.
pas Ätzmittel greift nicht die Anreicherungs-Polyslliclum-Gate-
YO ^T(TOiT 7θΜ8Ϊ7οϊϊ$
Bereiche 13 an, welche an den Seiten mit einer schützenden
Schicht 18 aus Siliciumdioxid und oben mit einer oxydationshemmenden Schicht 10 und einer Oxidschicht 19 (siehe Fig. 1G)
bedeckt sind und weil das Ätzmittel Siliciumdioxid oder Siliciumnitrid nicht angreift. Die definierenden Bereiche 20 und
20* aus Siliciumdioxid werden bevorzugt beibehalten, weil sie, wie die Fig. 1G zeigt, die Dicke der dielektrischen Isolation
über den Polysiliciumbereichen verstärken.
Die hochdotierten Source- und Drain-Bereiche vom η-Typ sowohl
der Anreicherungs- als auch der Verarmungs-FETs werden nun mittels wohlbekannter Ionenimplantations- oder Diffusions-Techniken
erzeugt. Freiliegende Bereiche der Siliciumdioxidschicht 18 können von dem Implantieren oder Eindiffundieren in die Source-
und Drain-Bereiche der FETs entfernt werden. Es wird bevorzugt, die Schicht 18 beizubehalten und die Source- und Drain-Bereiche durch Ionenimplantation durch die freiliegenden Bereiche der Schicht 18 hindurch zu erzeugen. Zur Illustration
der vorliegenden Erfindung wurde die Ionenimplantation ausge-
{wählt. Beispielsweise können die Source- und Drain-Gebiete 24 :
bzw. 25 vom η-Typ des Anreicherungs-FETs und die Source- und j
jDrain-Gebiete 26 bzw. 27 des Verarmungs-FETs durch eine 2000 8 ]
tiefe As -Implantation unter Anwendung einer Energie von etwa
ι 15 2'
100 KeV und mit einer Dosis von 4 χ 10 Atomen/cm erzeugt j
werden. Es sei angemerkt, daß diese Dosis und die resultieren- j
de Dotierungskonzentration etwa 4000 mal größer sind als die- '
jenigen, welche für den Verarmungs-Bereich 14 und die untere Kondensator-Elektrode 15 benötigt werden. Diese zusätzliche Implantation oder Diffusion vom η-Typ wird durchgeführt, um die
notwendige hohe elektrische Leitfähigkeit bereitzustellen, welche für die Source- und Drain-Bereiche der FETs notwendig ist.
Diese Dotierung vom η-Typ erhöht nicht die Leitfähigkeiten der unteren Kondensatorelektrode 15 und auch nicht diejenige des
Perarmungs-Kanal-Bereichs 14. Dies beruht auf der blockierenden
976 017 709882/0888
2S
Wirkung der oberen Kondensator-Elektrode 23 aus Polysilicium und des mit ihr verbundenen Siliciumdioxidbereichs 20 bzw.
auf der blockierenden Wirkung der Verarmungs-FET-Gate-Elektrode
22 aus Polysilicium und des mit ihr verbundenen Siliciumdioxid-Bereiches 20'. Die Dotierungskonzentration in den Source-Gebieten 24 und 26 und in den Drain-Gebieten 25 und 27 ist zwischen
10 und 100 000 mal höher und bevorzugt zwischen etwa 1000 und etwa 10 000 mal höher als die Dotierungskonzentration, welche
in dem Verarmungskanal und in der unteren Speicherkondensator-Elektrode erzeugt worden ist. Die zum Dotieren benutzten Ionen
vom η-Typ können dieselben chemischen Elemente sein wie diejenigen, welche zum Dotieren des Verarmungskanals und der unteren
Ladungsspeicher-Kondensator-Elektrode benutzt worden sind, es können aber auch andere Elemente vom η-Typ verwendet werden.
Die Grenzen zwischen dem Source- und dem Drain-Gebiet vom n-Typ und der Kanal des FETs sind durch das Polysiliclum-Gate
bestimmt. Dies wird im Stand der Technik allgemein als "selbst*
justierte Gate-Technik" ("self-aligned gate technique") bezeichnet. Wenn das Gate zu Source und Drain selbstjustiert ist,
werden die parasitären Gate- zu- Source-und Gate- zu- Drain-Überlappungskapazitäten vorteilhafterweise gegenüber anderen FET-Fabrikationstechniken reduziert. Es sei angemerkt, daß die obere
Kondensator-Elektrode 23 aus Polysilicium, wenn dies erwünscht: ist, beliebig nahe bei dem Polysilicium-Gate 13 positioniert
sein oder sogar mit diesem überlappen kann. Dies ist möglich, ' weil die Bereiche 23 und 13 in verschiedenen lithographischen |
Verfahrensschritten erzeugt werden.
Als nächstes wird eine dielektrische Isolationsschicht 28 ober-|-
halb der Polysiliciumplatte 23, oberhalb des Verarmungs-Gates 22 und oberhalb der Source-Gebiete 24 bzw. 26 und der Drain-Gebiete 25 bzw. 27 erzeugt. Das Ergebnis zeigt die Fig. 1H.
ΪΟ976ίΠ7 709882/0686
- ys -
Die Isolationsschicht 28 bildet sich nicht über dem Anreicherungs-Gate 13. Die Bildung der Schicht 28 erhöht auch die Dicke
des Feldoxids in denjenigen Bereichen 28', welche nicht von der Polysiliciumplatte 23 oder von dem Verarmungs-Polysilicium-Gate 22 bedeckt sind. Es sei angemerkt, daß die Isolierschicht
28 nicht in Besorgnis erregender Weise die untere Kondensator-Elektrode 15 vom η-Typ, welche unter der Polysilicium-Kondensator-Platte gelegen ist, noch den Verarmungs-Kanal-Bereich 14
vom η-Typ, welcher unter dem Polysilicium-Verarmungs-Gate 22
gelegen ist, beeinflußt. Zur Veranschaulichung wird auf die Fig. 1H hingewiesen. Die Schicht 28 isoliert elektrisch die
anschließend gebildete Leitung zu den Gates von der oberen Kondensator-Elektrode 23 und von den Source- und Drain-Gebieten
vom η-Typ, Die Schicht 28 vermindert auch die kapazitive Kopplung zwischen der Verbindungleitung vom metallischen Typ und
der oberen Kondensator-Elektrode, den Source-, Drain- und Substrat-Bereichen. Infolgedessen sollte die Schicht 28 so
dick als möglich sein, aber nicht so dick, daß sie eine Verschlechterung oder Diskontinuitäten in den Leitungen in
einem unerwünschten Ausmaß verursachen kann und auch nicht so dick, daß das Polysilicium-Gate 22 und die Kondensator-Elektrode 23 während der Oxydation in einem unerwünschten Ausmaß verbraucht werden.
Die dielektrische Isolation 28 über der oberen Kondensator-Elektrode und über den Source-Gebieten 24 und 26 und den Drain-Gebieten 25 und 27 von η-Typ wird erzeugt, indem eine Siliciumdioxidschicht in einer Dicke von 1500 bis 5000 8 durch thermisehe Oxydation bei 1000 C in der Gegenwart von Dampf erzeugt
!wird. Während dieser Oxydation werden etwa 600 bis 2000 8 der 35OO 8 dicken Polysiliciumplatte in Siliciumdioxid umgewandelt.
Außerdem werden auch etwa 600 bis 2O00 8 des Siliciumsubstrats !über den Source- und Drain-Gebieten vom η-Typ in Silicumdioxid umgewandelt. Die Source-Gebiete 24 bzw. 26 und die Drainj-Gebiete 25 bzw. 27 vom η-Typ werden in das Substrat hinein und
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lateral um das wachsende Oxid herum weitergetrieben. Da das
Oxid dazu neigt, Dotierungsstoffe vom η-Typ auszustoßen, wird
das Dotierungsinitte 1 vom η-Typ während dieser Oxydation nicht
In einem wesentlichen Umfang verbraucht. Die obere Oberfläche
des Anreicherungs-Gates 13 1st vor der Oxydation durch eine
oxydationshemmende Schicht 10 beschützt, während die Seltenflanken des Gates 13 der Oxydation ausgesetzt sind, wodurch
In erwünschter Welse eine beschützende Isolation bis hinauf zu
der nicht oxydierenden Schicht 10 erzeugt wird. Während der Oxydation wird die Dicke des Feldoxids 3 in denjenigen Bereichen
28', welche nicht durch die Polysiliciumbereiche 22 und 23 bedeckt sind, in vorteilhafter Weise um etwa 500 auf etwa
1500 8 erhöht.
Als nächstes wird das Anreicherungs-Gate 13 aus Polysiliclum freigelegt. Zunächst wird alles, was von der Schicht 11 noch
übrig ist, durch ein kurzes Eintauchen in Flußsäure entfernt. Als nächstes wird die oxydationshemmende Schicht 10 über dem
Gate durch Ätzen in einer Phosphorsäurelösung bei 180 0C
entfernt. Dann wird die dünne Oxidschicht 9 durch Eintauchen in eine gepufferte Flußsäurelösung entfernt.
Bei der Herstellung von integrierten Schaltungen mit FETs ist j
es notwendig, Leitungen mit hoher elektrischer Leitfähigkeit j mit der oberen Kondensator-Elektrode aus Polysilicium, mit dem J
Verarmungs-Gate aus Polysiliclum und mit den Source- und Drain-Gebieten aus Silicium vom η-Typ zu verbinden. Diese Verbinidungen erfolgen nicht in der Anordnung von Speicherzellen,
'sondern in den außen liegenden Adressier-, Docodier- und Abfühl (sensing) -Schaltkreisen, welche als periphere Schaltkreise
bezeichnet werden.
Die elektrischen Verbindungen werden hergestellt, indem eine Photolackschicht auf die Struktur aufgebracht wird. Das Lackmaterial wird unter Anwendung eines vorher festgelegten lithographischen Maskenmusters, wie es in der Fig. 2D gezeigt ist,
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einer UV-Strahlung ausgesetzt und anschließend werden die nicht
bestrahlten Bereiche des Lacks weggelöst. Dies ist der vierte grundlegende lithographische Maskierungsschritt. Als nächstes
wird die Struktur zum Entfernen der nicht vom Lackmaterial geschützten Bereiche des Siliciumdioxids behandelt. Dazu wird
das Plättchen in eine Lösung von gepufferter Flußsäure eingetaucht, wodurch die Kontakt- bzw. Durchführungslöcher 29, 30
und 31 durch die Oxidisolierschicht 28 erzeugt werden, um auf diese Weise elektrische Verbindungen zu dem Drain 25 des
Anreicherungs-FETs, zu der oberen Ladungsspeicher-Kondensator-Elektrode aus Polysiliciura und zu der Gate-Elektrode 22 aus
Polysilicium des Verarmungs-FETs zu ermöglichen. Dies ist in
der Fig. 11 gezeigt. Das Source-Gebiet 24 kann natürlich in der
oben beschriebenen Weise kontaktiert werden, wo dies erwünscht ist. Die Fig. 2D zeigt auch repräsentative Kontaktlöcher 32
und 33 zu den Source- und Drain-Bereichen 26 bzw. 27 des Verarmungs-FETs. Der verbleibende Photolack oberhalb des geätzten
Siliciumdioxids wird dann durch Lösen in einem geeigneten Lösungsmittel entfernt. Nun ist der Drain-Bereich 25 vom n-Typ, der Plattenbereich 23 aus Polysilicium und das Polysilicium-Gate 22 des Verarmungs-FETs in den Kontaktlöchern 29, 30
bzw. 31 zum Kontaktieren freigelegt. Es sei angemerkt, daß die !Reihenfolge des Entfernens der nichtoxydierenden Schicht 10
[und des Ätzens der Kontaktlöcher 29, 30 und 31 auch umgekehrt werden kann, ohne die am Schluß vorliegende Struktur ernsthaft
zu beeinflussen. Da· Polysilicium-Gate des Anreicherungs-FETs
!wurde zuvor freigelegt zum Kontaktieren, indem die oxydationshemmende Schicht in einem Ätzmittel aufgelöst wurde.
Als nächstes wird das hoch leitfähige Material 34 vom metallischen Typ für die ZwIschenverbindungen, welches bevorzugt aus
einem Metall besteht, aufgebracht und dann wird das Muster der Zwischenverbindungen aufgezeichnet (delineated). Ein
Beispiel eines hoch leitfähigen Materials, welches ganz allgemein für Zwischenverbindungen benutzt wird, ist Aluminium,
welches relativ kleine Anteile von Verunreinigungen enthalten
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kann, welche zugemischt werden, um die Elektromigrationseffekte
zu vermindern oder um chemische Reaktionen zwischen dem Aluminium und dem Halbleitermaterial, zu welchem der Kontakt hergestellt werden soll, zu verhindern oder zu vermindern. Das
hoch leitfähige Material, wie z.B. Aluminium, kann mittels Kathodenzerstäubung oder bevorzugt durch Aufdampfen aufgebracht werden.
Bs sei angemerkt, daß eine nicht gezeigte Barrierenschicht
zwischen das Aluminium und das Halbleitermaterial aus Silicium oder Polysilicium plaziert werden kann, um chemische Reaktionen
zwischen dem Aluminium und dem Halbleitermaterial zu verhindern oder zu reduzieren. Die Barrierenschicht kann aus einem Metall,
wie z.B. Titan oder Chrom, oder aus einem intermetallischen Silicid, wie z.B. Platinsillcid oder Palladiumsilicid, bestehen.
Als nächstes wird eine Photolackschicht auf die Struktur aufgebracht. Das Lackmaterial wird unter Anwendung eines vorher
festgelegten Maskenmusters, welches in der Flg. 2E gezeigt ist,
einer UV-Strahlung ausgesetzt, und die nicht bestrahlten Gebietje
des Lacks werden dann weggelöst. Dies ist der fünfte grundle- j gende lithographische Maskierungsschritt. Dann wird die Struktur
behandelt, um die Bereiche des leitfähigen Materials, welches ; nicht, wie die Fig. U zeigt, mit dem Lack bedeckt ist, zu
entfernen. Wenn eine Barrierenschicht unter das leitfähige : Material gelegt wurde, kann das Muster in dem leitfähigen
Material als Ätzmaske für die Atzbehandlung (delineating) der Barrierenschicht dienen.
Die Fig. 2E stellt eine Aufsicht auf das Maskenmuster für eine FET-Ein-Element-Speicherzelle und einen Verarmungs-FET
dar, welche entsprechend der vorliegenden Erfindung erzeugt worden sind.
Die Ein-Element-Speicherzelle beinhaltet einen Anreieherungs-FET-Schalter und einen Ladungsspeicher-Kondensator. Der Ver-
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armungs-FET kann mit der Speicherzelle oder mit anderen Anreieherungs- oder Verarmungs-Bauelementen verbunden sein, um
periphere Schaltkreise auf demselben Halbleitersubstrat zu bilden. In der Fig. 2E sind auch die Maskenmuster für repräsentative elektrische Verbindungen durch Durchführungen zu
dem Drain des Anreicherungs-FET (d.h. für die Bitleitung der Speicherzelle), zu der oberen Elektrode oder Platte des Speicherkondensators und zu Source-, Gate- und Drain-Bereichen eines
Verarmungs-FETs, welche entsprechend der vorliegenden Erfindung hergestellt worden sind, gezeigt. Solche repräsentative
elektrische Verbindungen kommen in den peripheren Schaltkreisen vor.
Bei anderen FET-Prozessen, welche ein konventionell geätztes Kontaktloch für die Verbindung zwischen der Metall-Wortleitung
und dem Polysilicium-Gate eines Anreicherungs-FETs benutzen,
ist eine extreme Genauigkeit bei der Justierung der lithographischen Maske für das Kontaktloch zu der lithographischen
Maske für das Polysilicium-Gate notwendig. Hinzu kommt, daß,
da nur derjenige Bereich des Anreicherungs-Gates, welcher durch das geätzte Kontaktloch freigelegt ist, für die Kontaktierung
zur Verfügung steht, eine genaue Justierung zwischen der lithographischen Maske für das Kontaktloch und der lithographischen
Maske für die Verbindungleitung erforderlich ist. Bei der selbstjustierenden (self-registering) Anreicherungs-Gate-Kontaktmethode, welche bei der vorliegenden Erfindung angewandt
wird, wird die gesamte Polysilicium-Gate-Elektrode des Anreiche rungs -FETs für die Kontaktierung freigelegt und das
leitfähige Material muß nur irgend einen Bereich des Anreijcherungs-Polysilicium-Gates kreuzen, um eine elektrische Verbindung zu diesem herzustellen. Dadurch reduziert diese ι
!tolerierte Fehljustierung wesentlich das erforderliche Maß ί
der Genauigkeit bei der Justierung der lithographischen Maske jfür das Polysilicium-Anreicherungs-Gate zu der lithographischen
Maske für die Zwischenverbindungsleitungen.
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- XS -
Ein weiterer Vorteil der vorliegenden Erfindung besteht noch
darin, daß relativ kleinere periphere Schaltkreise mittels der selbstjustierenden Gate-Kontakttechnik hergestellt werden
können, als mit den konventionellen geätzten Gate-Kontaktloch-Techniken.
Wie aus dem Stand der Technik bekannt ist, können auch weitere,
nicht gezeigte Schichten, wie z.B. eine durch Kathodenzerstäubung aufgebrachte Schicht aus Siliciumdioxid, welche dazu dient, den integrierten Schaltkreis zu passivleren, über
der Schicht 34 vom metallischen Typ aufgebracht werden. Darüber hinaus können, wenn dies erwünscht ist, andere bekannte
Maskierungsschritte angewandt werden, um Durchführungslöcher
durch die Passivierungsschicht herzustellen, um elektrische Kontakte zu der metallischen Zwischenverbindungsschicht oder
zu dem Halbleitersubstrat herzustellen. Wie auch aus dem Stand der Technik bekannt ist, kann die elektrische Verbindung zu dem Halbleitersubstrat mittels einer metallischen
Schicht hergestellt werden, welche mittels Aufdampfens auf die untere oder rückseitige Oberfläche des Halbleitersubstrats
2 niedergeschlagen wird. j
Die Fig. 3 zeigt das Verunreinigungsprofil unter der Gate-Elektrode des Verarmungs-Bauteils gemäß der vorliegenden
Erfindung, wie es mittels des oben erwähnten numerischen eindimensionalen Computermodells von Morehead vorhergesagt
iwird. Dasselbe Profil wird unter der oberen Elektrode des !Ladungsspeicherkondensators in der Ein-Element-Speicherzelle
gemäß der vorliegenden Erfindung entstehen. Das dargestellte Profil ist dasjenige, welches nach der Vollendung aller Verfahrensschritte vorliegt. Im Augenblick gibt es keine experimentelle Technik, welche eine genaue Messung von solchen Konzentrationsprofilen von gering dotierten Bereichen ermöglicht.
pie Dotierung des Verarmungskanals, gemäß der Fig. 3, besteht aus drei Teilen: der einheitlichen Bordotierung des Substrats
vom p-Typ, der P 1-Dotierung des Verarmungskanals vom n-Typ
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und der B -Dotierung des Anreicherungs-Kanals vom p-Typ. Die zwei Dotierungskonzentrationen für die Kanäle werden
bevorzugt mittels Ionenimplantation erzeugt und werden dazu benutzt, um die Gate-Schwellspannung des FETs zu mehr positiven
(im Falle der Implantation vom p-Typ) oder zu mehr negativen (im Falle der Implantation vom η-Typ) Spannungswerten zu verschieben. Wenn die Dotierungskonzentration des Substrats vom
p-Typ hinreichend hoch ist (beispielsweise etwa 2,5 χ 10~ cm" ) wird die Schwellspannung des Verarmungs-FETs in der Größenordnung von 1 bis 2 Volt liegen und es ist dann keine zusätzliche Dotierung vom p-Typ in dem Anreicherungs-Kanalbereich
notwendig. In dem hier betrachteten Beispiel ist eine Dotierung des Substrats von 7,5 χ 1O~ cm~ angenommen und deshalb werden sowohl die Anreicherungs-Kanal- als auch die Verarmungs-Kanal-Implantierung angewandt. Bei dem Verfahren gemäß der vorliegenden Erfindung erfolgt, wenn sie benutzt wird, die Implantation vom p-Typ für den Anreicherungskanal (p-type enhancementmode implant) in den Kanalbereichen sowohl der Anreicherungsals auch der Verarmungs-FETs. Die Implantation vom η-Typ für
Iden Verarmungskanal erfolgt nur in dem Kanalbereich des Verarmungs-FETs. Die Schwellspannung des Verarmungs-FETs liegt
in der Größenordnung von -3 Volt. Bevorzugt werden die Implantationen für die Herstellung der Kanalbereiche nach der Bildung
der Gate-Isolation, welche in dem Beispiel der Fig. 3 500 Ä dick war, durchgeführt. !
Die Fig. 4 zeigt ein Schaltkreisdiagranm eines Verarmungs-FETs
(D) und von drei Anreicherungs-FETs (E) , welche so untereinande
verbunden sind, daß sie einen Treiberschaltkreis (driver circuit) bilden. Solch ein Schaltkreis könnte beispielsweise
dazu benutzt werden, um den elektrischen Strom zu der Wortleitung einer Ein-Element-Speicherzelle gemäß der vorliegenden
Erfindung bereitzustellen. Das Verarmungs-Bauteil dient in diesem Beispiel als ein nicht lineares Lastbauteil (load device
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- yi -
um relativ mehr Strom pro Zeiteinheit und einen größeren
Voltbereich während des An- und Ausschaltzeitzyklus bereitzustellen, als ein vergleichbares Lastelement von der Anreicherungsart. Die Last der Verarmungsart ist auch einer linearen Widerstandslast sowohl bezüglich der Schaltgeschwindigkeit
als auch der Schaltkreisdichte überlegen. Der in der Fig. 4 gezeigte Schaltkreis kann mittels des erfindungsgemäßen Verfahrens hergestellt werden, welches sowohl Anreicherungs- als
auch Verarmungs-FETs herzustellen erlaubt.
Die Fig. 5 zeigt eine andere Anwendung der vorliegenden Erfindung. In diesem Fall wird der Verarmungs-FET (D) als ein
Strombegrenzer benutzt, der dazu dient, die GIeichvorspannung
an die obere Kondensator-Elektrode, welche eine Inversionsschicht auf dem Siliciumsubstrat unter der oberen Kondensator-Elektrode einer Ein-Element-Spelcherzelle aufrechterhält, zu
legen. Ohne das Bauteil von der Verarmungsart würde im Falle eines Oxidrisses (oxide flaw) oder -defekte ein großer Strom
von der oberen Elektrode zu der unteren Elektrode fließen, da die obere Elektrode absolut gesehen, auf einem höheren Potential als das Substrat liegt. Die Anwendung des Bauteils
von der Verarmungsart begrenzt den Defekt-Leckstrom. Diese Zellen sind dann auf dem Plättchen (Chip) nicht zugänglich
bzw. benutzt, d.h., sie bleiben in Ruhe und beeinflussen nicht die Chip-Operation, solange ihr Leckstromniveau tolerierbar 1st
Ein wichtiger Aspekt der vorliegenden Erfindung ist es, daß die
Elektrodenstruktur des Bauteils der Verarmungsart auch dazu !benutzt werden kann, um eine Elektrodenstruktur in einem LadungJB
Speicherkondensator in einer Ein-Element-Speicherzelle bereit-
!zustellen. Zusätzlich zu den daraus resultierenden strukturelle^
!vorteilen, wie z.B. der Bereitstellung einer oberen Elektrode, [über welcher eine dicke Oxidisolation gebildet wird und einem
'selbst-registrierenden Gate-Kontakt zu dem FET-Schalter in der
Zelle, bietet die Verwendung einer Schicht vom η-Typ niedriger Konzentration als untere Elektrode der Ladungsspeicher-Konden-
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satoren bestimmte Vorteile beim Vorspannen (biasing). In besonderen anderen bekannten Bauteilen, in welchen der Ladungsspeicher-Kondensator zusammen mit der Anreicherungs-Gate-Elektroden-Struktur gebildet wird, ist ein zusätzliches Spannungsniveau für die obere Kondensator-Elektrode erforderlich, um
eine Inversionsschicht unter der Elektrode an der Oberfläche j des Halbleitersubstrats aufrechtzuerhalten. Im allemeinen ist ;
die an die obere Kondensator-Elektrode gelegte Spannung absolut gesehen größer als die an die Wortleitung gelegte Spannung und
Im Vorzeichen verschieden von derjenigen Spannung, welche an : das Halbleitersubstrat gelegt ist. Wenn die Dotierung, welche
,dazu benutzt wird, um die Kanaldotierung für den Verarmungs- ! FET bereitzustellen, auch dazu benutzt wird, um die untere
Elektrode des Ladungsspeicher-Kondensators, gemäß der vorliegenden Erfindung, bereitzustellen, wird die notwendige Schwell-t
'spannung, um eine Inversionsschicht an der Oberfläche zu erzeugen, erniedrigt und eine niedrigere Spannung wird für die
jobere Kondensator-Elektrode erforderlich. Diese Reduzierung der benötigten Spannung für die obere Kondensator-Elektrode
macht es möglich, die Wortleitung und die obere Kondensator-Elektrode auf demselben Spannungsniveau zu betreiben. Dies
reduziert in vorteilhafter Weise zwei unterschiedliche Spannungsniveaus zu einem Spannungsniveau. Zusätzlich wird die
erforderliche Höhe der Vorspannung an der oberen Elektrode des Kondensators reduziert. Dies wiederum erniedrigt die elektrische Feldstärke in der dielektrischen Isolation des Kondensators und führt dadurch zu Schaltkreisen mit höherer Zuverlässigkeit.
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Claims (4)
- PATENTANSPRÜCHEM.y Halbleiterstruktur nach Patentanmeldung 2 703 957.2, welche mindestens zwei von einem Halbleitersubstrat mittels Isolierschichten getrennte Elektroden aus dotierten Polysiliciumschichten aufweist, wobei mindestens eine dieser Elektroden (erster Art) im wesentlichen über dem Zwischenraum zwischen zwei dotierten Oberflächenbereichen des Substrats, welche sich im Leitfähigkeitstyp von ihrer Umgebung unterscheiden, und mindestens eine andere dieser Elektroden (zweiter Art) über einem Oberflächenbereich, welcher sich auch von seiner Umgebung im Leitfähigkeitstyp unterscheidet, angeordnet sind, bei welcher die Halbleiterstruktur, abgesehen von der oberen Oberfläche der über dem Zwischenraum angeordneten Elektroden erster Art und von Kontaktlöchern zum elektrischen Kontaktieren der Elektroden zweiter Art und mindestens eines Teils der dotierten Oberflächenbereiche mit einer Isolierschicht bedeckt ist und auf dieser Isolierschicht ein mit den Elektroden und mindestens einem Teil der dotierten Bereiche elektrische Verbindungen herstellendes Leiterzugmuster vom metallischen Typ aufgebracht ist, dadurch gekennzeichnet, daß die dotierten Oberflächenbereiche zwar alle vom gleichen Leitfähigkeitstyp sind, jedoch insofern unterschiedliche Dotierungskonzentrationen aufweisen, als die direkt unter den Elektroden (20, 20') befindlichen Teilbereiche (14, 15) dieser Oberflächenbereiche, abgesehen von Gebieten unter den Elektrodenrändern niedriger dotiert sind als die übrigen Teilbereiche709882/0688YO 976 017ORIGINAL INSPECTED27232b4(24, 25, 26, 27) dieser Oberflächenbereiche und daß mindestens einer dieser nieder dotierten Teilbereiche (14) zwei der höher dotierten Teilbereiche (26, 27) miteinanverbindet.
- 2. Halbleiterstruktur nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die über dem Zwischenraum zwischen zwei dotierten Oberflächenbereichen (24, 25) liegenden Elektroden (13) erster Art als Gates und die an den Zwischenraum angrenzenden Oberflächenbereiche (24, 25) als Source und Drain von Anreicherungs-FETs, daß die über den niederdotierten, zwei höherdotierte Teilbereiche miteinander verbindenden Teilbereichen liegenden Elektroden (22)zweiter Art als Gates, die darunterliegenden niederdotierten Teilbereiche (14) als Kanalbereiche und die beiden angrenzenden höherdotierten Teilbereiche (26 und 27) als Source- bzw. Drain-Gebiete von Verarmungs-FETs und daß die übrigen unter Umständen vorhandenen Elektroden (23) zweiter Art über niederdotierten Teilbereichen (15) als obere Kondensatorelektroden und die darunterliegenden dotierten Bereiche als untere Kondensatorelektroden von Ladungsspeicherkondensatoren ausgebildet und entsprechend den Schaltungserfordernissen elektrisch kontaktiert und mit einem Leiterzugmuster (34) verbunden sind, und daß Gebiete mit FETs voneinander durch u.U. ganz oder teilweise eingelegte Feldoxidbereiche (3) getrennt sind.
- 3. Halbleiterstruktur nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß das Halbleitersubstrat aus Silicium besteht.
- 4. Halbleiterstruktur nach einem oder mehreren der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, daß die Feldoxidbereiche (3) und die Isolierschichten (7, 18, 28)Y0 976 °17 709882/0686aus SiO- bestehen.5. Halbleiterstruktur nach einem oder mehreren der Ansprüche 1 bis 4, dadurch gekennzeichnet, daß das Halbleitersubstrat vom p-Leitfähigkeitstyp und die dotierten Oberflächenbereiche vom n-Leitfähigkeltstyp sind.6. Halbleiterstruktur nach einem oder mehreren der Ansprüche 1 bis 5, dadurch gekennzeichnet, daß die in ihr enthaltenen Anreicherungs- und Verarmungs-FETs und die unter Umständen in ihr enthaltenen, je aus einem Anreicherungs-FET-Schalter und einem Ladungsspeicherkondensator bestehenden FET-Ein-Element-Speicherzellen Teil einer integrierten Schaltung sind.7. Halbleiterstruktur nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, daß die integrierte Schaltung mindestens aus einer einen Verarmungs-FET (D) und Drei-Anreicherungs-FETs (E) enthaltenden Treiberschaltung und aus einer oder mehr FET-Ein-Element-Speicherzellen besteht.8. Halbleiterstruktur nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, daß die integrierte Schaltung mindestens eine FET-Ein-Element-Speicherzelle mit einem ihr zugeordneten Verarmungs-FET (D) enthält.$. Halbleiterstuktür nach einem oder mehreren der Ansprüche 6 bis 8, dadurch gekennzeichnet, daß die inte- j grierte Schaltung eine Vielzahl von Anreicherungs- und j Verarmungs-FETs und/oder eine Vielzahl von FET-Ein-Element-Speicherzellen enthält.!lO. Verfahren nach Patentanmeldung 2 703 957.2 zum Herstellen einer Halbleiterstruktur, insbesondere nachTO97eo" 7oaa«2/oe"··einem oder mehreren der Ansprüche 1 bis 9, bei dem zunächst auf der Oberfläche eines Halbleitersubstrats vom ersten Leitfähigkeitstyp unter Umständen ganz oder teilweise eingelegte Feldoxidbereiche erzeugt werden, welche festgelegte Gebiete der Halbleiteroberfläche einfassen, bei dem auf dieser Struktur dann eine erste Isolierschicht, darauf eine erste dotierte Polysiliciumschicht aufgebracht werden und darauf eine oxydationshemmende Schicht in der Weise erzeugt wird, daß sie später leicht wieder entfernt werden kann, bei dem dann die oberste Schicht selektiv so weit entfernt wird, daß nur ein den Abmessungen und der Lage der bzw. den gewünschten Elektroden erster Art enstprechendes Muster übrig bleibt, bei dem daraufhin die darunterliegenden Schichten unter Benutzung der darüberliegenden als Maske selektiv entfernt werden, bei dem dann die Struktur zur Erzeugung von Oberflächenbereichen vom zweiten Leitfähigkeitstyp im Substrat mittels thermischer Diffusion oder Ionenimplantation dotiert wird, wobei die erzeugten Elektroden und die Feldoxidbereiche als Maske dienen, bei demI vor oder nach der Dotierung eine zweite Isolierschicht ! und darauf eine zweite dotierte Polysiliciumschicht ; aufgebracht werden, bei dem anschließend die zweite ' dotierte Polysiliciumschicht selektiv entfernt wird, ■ so daß nur die gewünschte bzw. die gewünschten Elektroden! zweiter Art übrig bleiben, bei dem dann, wobei diezweite Isolierschicht, wo sie freiliegt, entweder beibehalten oder vorher entfernt wird, das Halbleitermaterial unter Benutzung der Elektroden aus Polysilicium und der Feldoxidbereiche einer zusätzlichen Dotierung mit einer Verunreinigung, welche den zweiten Leitfähigkeitstyp erzeugt (Verunreinigung vom zweiten Typ), unterworfen wird, bei dem daraufhin eine dritte Isolierschicht unter Aussparung der oxydationshemmenden Schicht aufgebracht wird, bei dem anschließend die oxydationshemmende 'YO" 376" 017709882/0686ORIGINAL INSPECTEDSchicht entfernt wird und dann Kontaktlöcher (29, 32, 33) in die dritte Isolierschicht zu den Elektroden der zweiten Art und mindestens einem Teil der mit Verunreinigungein vom zweiten Typ dotierten Bereiche hergestellt werden und bei dem schließlich ein Leiterzugmuster vom metallischen Typ zur Herstellung der notwendigen Verbindungen ; und Kontakte aufgebracht wird, dadurch gekennzeichnet, daß die Muster für die Elektroden erster und zweiter Art (13, 22 und u.U. 23) so ausgelegt und aufeinander und auf das Muster der Feldoxidbereiche (3) abgestimmt sind, daß beim Ätzen der ersten Polysiliciumschicht (8) die Gate-Elektroden (13) von Anreicherungs-FETs und beim ersten Dotieren mit Verunreinigungen vom zweiten Typ die Kanalbereiche (14) von Verarmungs-FETs und u.U. die unteren Kondensatorelektroden (15) von Ladungsspeicherkondensatoren erzeugt werden und daß beim Ätzen der zweiten Polysiliciumschicht (19) die Gate-Elektroden (22) von Verarmungs-FETs und u.U. «die oberen Kondensatorelektroden (23) von Ladungsspeicherh kondensatoren und bei der zweiten Dotierung mit Verun- j reinigungen vom zweiten Typ die Source- und Drain-Gebiete (24, 26 bzw. 25, 27) von Anreicherungs- und Verarmungs-FETs erzeugt werden.11. Verfahren nach Anspruch 10, dadurch gekennzeichnet,daß die Feldoxidbereiche (3) und die Isolationsschichten (7, 18, 28) aus SiO2 hergestellt werden und daß die oxydationshemmende Schicht (10) aus einem Material aus der Gruppe Siliciumnitrid, Aluminiumnitrid, Bornitrid, Aluminiumoxid und Siliciumcarbid hergestellt wird.12. Verfahren nach Anspruch 11, dadurch gekennzeichnet, daß die SiOj-Schichten durch thermische Oxydation von Silicium erzeugt werden.10976017 709882/0686-e- 27232bA13. Verfahren nach einem oder mehreren der Ansprüche 10 bis 12, dadurch gekennzeichnet, daß vor dem Aufbringen der ersten Polysiliciumschicht (8) die Halbleiteroberflächenbereiche (5 bzw. 6) zusätzlich mit einer Verunreinigung vom ersten Typ dotiert werden.14. Verfahren nach einem oder mehreren der Ansprüche 10 bis 13, dadurch gekennzeichnet, daß als Verunreinigung vom ersten Typ eine Verunreinigung vom p-Typ verwendet wird.15. Verfahren nach einem oder mehreren der Anspprüche 10 bis 14, dadurch gekennzeichnet, daß die Polysiliciumschichten (8, 19) mit einer Verunreinigung vom zweiten Typ dotiert werden.16. Verfahren nach Anspruch 15, dadurch gekennzeichnet, daß, wenn als Verunreinigung vom zweiten Typ eine Verunreinigung vom η-Typ verwendet wird, zur Dotierung der Polysiliciumschichten (8, 19) eine POClj-Schicht auf die Polysiliciumschichten (8, 19) aufgebracht und dann auf etwa 870 0C erhitzt wird.17. Verfahren nach einem oder mehreren der Ansprüche 10 bis 16, dadurch gekennzeichnet, daß die selektiven Do-[ tierungen des Halbleitersubstrats (2) mit einer Verunreinigung vom zweiten Typ mittels Ionenimplantation vorgenommen werden.18. Verfahren nach Anspruch 17, dadurch gekennzeichnet, daßι wenn das Halbleitersubstrat (2) vom p-Typ ist und einen spezifischen Widerstand von 2 Ohm · cm hat, die erste Dotierung mittels einer ρ -Implantation j mit einer Energie von 50 KeV und einer Dosis von 10 Atomen/cm , die zweite Dotierung mit einer Verunreinigung vom zweiten Typ mittels einer As ^-Implantation mit einer Energie von 100 KeV und einer Dosis von 4 χXO 976 01715 24 x 10 Atomen/cm vorgenommen werden.7Ω9882/0686
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