DE2722577C2 - - Google Patents
Info
- Publication number
- DE2722577C2 DE2722577C2 DE2722577A DE2722577A DE2722577C2 DE 2722577 C2 DE2722577 C2 DE 2722577C2 DE 2722577 A DE2722577 A DE 2722577A DE 2722577 A DE2722577 A DE 2722577A DE 2722577 C2 DE2722577 C2 DE 2722577C2
- Authority
- DE
- Germany
- Prior art keywords
- measuring
- time
- deflection
- light beam
- point
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B11/00—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques
- G01B11/02—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring length, width or thickness
- G01B11/06—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring length, width or thickness for measuring thickness ; e.g. of sheet material
- G01B11/0608—Height gauges
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
- Measurement Of Optical Distance (AREA)
Description
Die Erfindung geht aus von einer Vorrichtung zur Messung des
Abstandes eines Punktes auf einer Objektoberfläche von einer Nullebene gemäß dem
Oberbegriff des Patentanspruches 1.
Verfahren zur Messung des Abstandes eines Punktes auf einer Objektoberfläche
sind z. B. in der DE 21 57 813 A1,
der DE 25 46 714 A1 und in der DE 25 01 015 C2
beschrieben.
Diesen Verfahren bzw. Vorrichtungen ist gemeinsam, daß die Dicke
durch das Messen der Abstände von der oberen bzw. unteren Seite
des Meßobjektes zu einer virtuellen Nullebene bestimmt wird. Wieviele
Abstände zwischen der oberen und unteren Seite des Meßobjektes
zur virtuellen Nullebene für die Bestimmung der Dicke
bestimmt werden müssen, hängt von der Lage des Meßobjektes zur
Nullebene ab. Für planparallele Gegenstände, die parallel zur Nullebene
stehen oder sich bewegen, genügt es, je einen Abstand von
der oberen und unteren Seite des Meßobjektes zur Nullebene zu
messen. Die Dicke des Gegenstandes wird dann durch Subtrahieren
der beiden Abstände ermittelt. Die Bestimmung der Dicke von zur
Nullebene verkippten Meßobjekten ist komplizierter. Zwischen der
Dicke und den gemessenen Abständen besteht dabei kein linearer
Zusammenhang.
Aufgabe der Erfindung ist es, die Meßgenauigkeit einer derartigen
Vorrichtung noch weiter zu erhöhen.
Diese Aufgabe wird durch eine Vorrichtung, wie eingangs genannt,
gelöst, die erfindungsgemäß die Merkmale des Kennzeichens des
Patentanspruches 1 aufweist.
Im folgenden werden die Erfindung und ihre Vorteile anhand der
Figur, die ein prinzipielles Ausführungsbeispiel zeigt, erläutert.
Die Figur zeigt einen Laser L und einen Laserstrahlablenker BD, mit
denen ein beweglicher Lichtstrahl 1 erzeugbar ist. Ein Photodetektor,
z. B. eine Photodiode PD m , kann Licht nur aus einer
Richtung aufnehmen, dazu dienen die Schlitzblenden A P 1 und A P 2
mit einer Abbildungsoptik IL. Nur Lichtstrahlen längs der Visierlinie
2 werden also vom Detektor PD m registriert. Die Visierlinie
bildet mit der Vertikalen auf der (virtuellen) Nullebene ZPl den
Winkel β. Zum Zeitpunkt t z ist der Laserstrahl 1 so gerichtet,
daß er die Visierlinie 2 im Punkt Z p auf der Nullebene ZPl schneidet.
Gegenüber der Vertikalen auf der Nullebene hat der Laserstrahl zu
diesem Zeitpunkt einen Winkel α. Zu diesem Zeitpunkt wird ein
Teilstrahl des Laserstrahles von einer einstellbaren Bezugsebene
RPL, diese ist z. B. eine optisch vergütete Glasplatte, auf einen
Photodetektor PD R geworfen, d. h. dieser Detektor gibt zum Zeitpunkt
t z ein Signal. Zum Zeitpunkt t m schneiden sich die Visierlinie
und der Laserstrahl im Punkt M P auf einem Meßobjekt, der
einen Abstand d von der Nullebene hat.
Die Messung basiert auf einer Messung der Zeit, die der periodisch
abgelenkte Laserstrahl 1 bei jeder Ablenkung benötigt, um vom Anfangspunkt
Z p auf der Nullebene ZPl zum Meßpunkt M p auf dem Meßobjekt
3 zu gelangen.
Das auf dem Meßobjekt diffus gestreute Licht des periodisch abgelenkten
Laserstrahls kann nur dann, wenn es vom Punkt M p ausgeht,
von der Photodiode PD m empfangen werden. Nur in diesem Fall
entstehen durch die diffuse Streuung auf dem Objekt 3 Lichtstrahlen,
die mit der Visierlinie zusammenfallen. Der Meßabstand
d zwischen Nullebene ZPl und Meßebene MPl, die zueinander parallel
sind, ist gegeben durch
A ist der Abstand zwischen dem Laserstrahlablenker BD und der
Nullebene ZPl, γ d ist der Ablenkwinkel des Laserstrahls vom Nullpunkt
Z p bis zum Meßpunkt M p .
Der gemessene Abstand d ist im allgemeinen nicht direkt dem Ablenkwinkel
q d proportional. Nur unter der Bedingung, daß die
Winkel α+β=90° und γ d <5° sind, ist d dem Ablenkwinkel γ d proportional
d = A · γ d (2)
q d ist im Bogenmaß einzutragen. In diesem Fall ist der Fehler
kleiner als 0,2‰.
Ablenker, deren Ablenkwinkel eine lineare Funktion der Zeit ist,
sind für große Ablenkwinkel und Ablenkfrequenzen von einigen
100 Hz nicht ohne großen Aufwand zu verwirklichen.
Wesentlich einfacher lassen sich Strahlablenker mit Ablenkfrequenzen
bis zu 1000 Hz und Ablenkwinkeln bis zu einigen 10°
bauen, wenn das Zeitgesetz für den Ablenkwinkel eine Winkelfunktion
ist. Ein derartiger Strahlablenker ist z. B. in der
DT-OS 23 21 211 (VPA 73/7056) beschrieben. Da bei diesem Strahlablenker
der Ablenkwinkel γ d dem Sinusgesetz folgt, gilt für
γ d im für die Messung interessanten Ablenkbereich:
q max ist die maximale Ablenkamplitude (Spitze-Spitze der Ablenkung),
ω ist die Winkelgeschwindigkeit der Strahlablenkung.
Der Phasenwinkel ω t z kann zwischen 120 und 150° und wt m zwischen
wt z und 210 bis 240° gewählt werden. Der Phasenwinkel l t z bzw.
der Zeitpunkt t z , der mit der Photodiode PD R und der Bezugsebene
RPl eingestellt wird, bestimmt den Punkt Z p auf der Nullebene
(Meßabstand d=0) innerhalb einer Ablenkung. Durch die Einführung
der Bezugsebene RPl braucht der Laserstrahl die Nullebene nicht
mehr zu berühren. So ist die materielle Nullebene in eine
virtuelle Nullebene umgewandelt worden. t m ist der Zeitpunkt, zu
dem der Laserstrahl innerhalb einer Ablenkperiode den Meßpunkt M p
erreicht (Meßabstand d).
Bei sinusförmiger Ablenkung ist nach Gleichung (3) der Abstand d
gegeben durch:
Die Zeitdifferenz
Δ t d = t m -t z (5)
ist also ein Maß für den Abstand d.
Auf diese Weise kann also der Abstand d einer Fläche von der Nullebene
ZPl bzw. die Dicke eines auf der Nullebene liegenden Objektes
bestimmt werden.
Falls das Objekt nicht auf der Nullebene liegt und/oder zur Nullebene
geneigt ist, müssen mehrere Punkte auf der Ober- und Unterseite
des Objektes in ihrem Abstand zur Nullebene bestimmt werden.
Dazu kann der Laserstrahl z. B. in mehrere Teilstrahlen, für die
Ober- bzw. Unterseite, durch Strahlteiler aufgespalten werden.
Für jeden Teilstrahl ist dann ein dem Detektor PD m entsprechender
Detektor vorzusehen. Es ist auch möglich mehrere Geräte der in
Fig. 1 dargestellten zu verwenden, wobei jedes Gerät einen
anderen Punkt auf der Objektober- bzw. Objektunterseite lagemäßig
bestimmt. Aus der Lage der Punkte kann dann die Objektdicke bestimmt
werden.
Da die Abstands- bzw. Dickenmessung auf der Messung der Zeit
basiert, die der abgelenkte Laserstrahl benötigt, um von einem
Punkt Z p auf der Nullebene bis zu einem Meßpunkt M p auf dem Meßobjekt,
beide Punkte liegen auf der Visierlinie, zu gelangen, ist
die genaue Bestimmung der Meßzeit ausschlaggebend für die Größe
der Meßfehler.
Die Meßzeit wird durch zwei Zeitpunkte t z und t m bestimmt (Gl. 5).
Der Zeitpunkt t z , der die Meßzeit Δ t d =0 bzw. die Nullebene bestimmt,
wird von dem Impuls U R , der in der Photodiode PD R entsteht,
wenn der Laserstrahl den Punkt R p auf der Bezugsebene RPl
durchläuft, abgeleitet. Da der Impuls glockenförmig ist (Gaußsche
Verteilung der Lichtintensität) und die Amplitude nur von den
geringen Leistungsschwankungen des Lasers beeinflußt wird
(He-Ne Laser), kann man mit dem Impuls den Zeitpunkt t z sehr
genau bestimmen, wenn man den Impuls differenziert und als Zeitpunkt
t z den Nulldurchgang des differenzierten Signals benutzt.
Wesentlich schwieriger erweist sich die Bestimmung des Meßzeitpunktes
t m beim Meßsignal, da hier die Empfangsleistung von der
Oberflächenbeschaffenheit abhängt und sich bis zu 40 dB ändern
kann. Diese Schwankungen der Empfangsleistung verursachen Fehler
bei der Zeitpunktbestimmung mit differenziertem Signal. Weitere
Fehler kommen dazu, da die Form des Meßimpulses von Tiefenschärfe,
Abbildungsfehler, Übersteuerung eines dem Detektor PD m nachgeschalteten
Verstärkers (z. B. bei Messung an polierten Oberflächen),
Form der Streulichtkeule der gemessenen Oberfläche abhängt. Diese
Einflüsse auf die Meßzeitpunktbestimmung lassen sich reduzieren,
wenn der Meßimpuls, wie nachfolgend beschrieben, aufbereitet und
der Meßzeitpunkt daraus bestimmt wird.
Die Schlitzblende vor der Photodiode PD m bestimmt nicht nur die
Richtung der Visierlinie der Abbildungsoptik, sondern auch das
Zeitintervall, in dem das Bild des Lichtflecks des abgelenkten
Laserstrahls auf die Photodiode trifft.
Um die Abbildungsfehler der Abbildungsoptik zu reduzieren und die
Tiefenschärfe zu verbessern, wird vor der Linse auf der optischen
Achse eine zweite zur Ebene der Strahlablenkung vertikale Schlitzblende
so eingesetzt, daß im ganzen Meßbereich ein symmetrisches
Meßsignal gewährleistet wird.
Der in der Meßphotodiode PD m entstehende Meßimpuls wird in einem
breitbandigen Verstärker entsprechend verstärkt und über einen
schnellen und empfindlichen Spannungskomparator in einen Rechteckimpuls
verwandelt. Die Dauer des Rechteckimpulses hängt von der
Einstellung der Schwellwerte des Spannungskomparators und von der
Amplitude des Meßimpulses ab. Die Breite des Rechteckimpulses verändert
sich wegen der sehr hohen Verstärkung des schnellen Komparators
fast symmetrisch zur Mitte des Meßimpulses, wenn sich die
Meßimpulsamplitude verändert hat. Wenn man für verschiedene Impulsbreiten
die Zeiten von dem Bezugszeitpunkt t z (Nullebenezeitpunkt
Δ t d =0) bis zur Anstiegsflanke t c und vom Bezugszeitpunkt t z
bis zur Abfallflanke t′ c des Rechteckimpulses summiert, bleibt
die Summe der beiden Zeiten auch bei veränderter Impulsbreite
konstant:
(t c -t z ) + (t′ c -t z ) = const. (16)
Somit bleibt die Gesamtzeit unabhängig von der Meßimpulsamplitude.
Die Meßzeit Δ t d ist die Zeitdifferenz zwischen der Meßsignalmitte
t m und des Bezugsebeneimpulses t z :
t d = t m -t z = (t c -t z +t′ c -t z )/2 (17).
Da die Meßimpulse im Verstärker vor der Umsetzung in Rechteckimpulse
im Spannungskomparator verstärkt werden, darf der Verstärker
auch bei Übersteuerung (starke Meßsignale) keine nennenswerten
Speicherzeiten besitzen, da sonst zusätzliche Meßfehler
entstehen.
Weitgehend unabhängig von den Speicherzeiten kann die Meßzeit
ermittelt werden, wenn für die Zeitmessung immer z. B. die Anstiegsflanke
des Meßsignals benutzt wird. Die zeitliche Verschiebung
der Flanke t c des Meßimpulses wegen der Amplitudenschwankungen
des Meßimpulses kann man eliminieren, wenn für die
Messung des Abstandes die Laserstrahlablenkung in beide Richtungen
(hin und zurück) benutzt wird:
Während der Ablenkbewegung in der einen Richtung wird zum Zeitpunkt
t c ein Signal, entsprechend der Anstiegsflanke des von der
Photodiode PD m erzeugten ersten Meßimpulses, erzeugt. Während der
Ablenkbewegung in der umgekehrten Richtung wird zum Zeitpunkt t cr
ein Signal erzeugt, wiederum entsprechend der Anstiegsflanke eines
von der Photodiode PD m erzeugten zweiten Meßimpulses. Zum Zeitpunkt
t′ z hat der Laserstrahl wiederum dieselbe Richtung wie zum
Zeitpunkt t z . Unabhängig von der Amplitude der beiden von der
Photodiode erzeugten Impulse gilt:
t c -t z +t′ z -t cr = 2 Δ t d (18).
Dabei wird angenommen, daß der bei der Ablenkung in der einen
Richtung entstehende Impuls die gleiche Amplitude hat wie der
nachfolgende Impuls bei der Ablenkung in umgekehrter Richtung.
Dies ist gewährleistet, da das Objekt während einer Ablenkperiode
seine Lage nicht bzw. nur unwesentlich ändert.
Die Meßzeit Δ t d hängt nicht nur von dem gemessenen Abstand d,
sondern auch von der Ablenkgeschwindigkeit des mit einem piezokeramischen
Ablenker abgelenkten Laserstrahls ab. Die Ablenkgeschwindigkeit
wird durch die Art der Ablenkung, die Ablenkfrequenz
und die Ablenkamplitude bestimmt. Für eine genaue Messung
muß entweder die Ablenkgeschwindigkeit stabilisiert werden, oder
es muß die Ablenkgeschwindigkeit gemessen werden. Dazu dient gemäß
der Figur ein Photodetektor PD D . In diesen Photodetektor, z. B. eine
Photodiode, gelangt, reflektiert von der Bezugsebene RPl, nach dem
Zeitpunkt t z während der Ablenkbewegung des Lichtstrahles ein Teillichtstrahl,
zu einem Zeitpunkt t D . Die Zeitdifferenz t D -t z ist
ein Maß für die Ablenkgeschwindigkeit und kann z. B. als Steuersignal
zur Stabilisierung der Ablenkung benutzt werden, bzw. die Zeitdifferenz
und damit die Ablenkgeschwindigkeit werden bei der Berechnung
des Abstandes d berücksichtigt. Aus den gemessenen Zeitintervallen
kann also der Abstand, z. B. mittels eines Microcomputers
bestimmt werden.
Claims (3)
1. Vorrichtung zur Messung des Abstandes eines Punktes auf einer
Objektoberfläche von einer Nullebene, wobei ein scharf gebündelter
Lichtstrahl mittels eines Strahlablenkers periodisch
über dem Meßraum, in dem sich das Objekt befindet, ablenkbar ist,
und wobei ein Meß-Photodetektor vorgesehen ist, der Licht nur aus
einer Visierrichtung empfangen kann, und mit dem ein Meßzeitpunkt
ermittelbar ist, zu dem der auf der Visierlinie liegende
Punkt der Objektoberfläche vom Lichtstrahl getroffen wird, wobei
der Abstand ermittelbar ist aus der Zeitdifferenz zwischen dem
Meßzeitpunkt und einem Zeitpunkt, zu dem der Lichtstrahl auf den
auf der Visierlinie liegenden Punkt auf der Nullebene gerichtet
ist, dadurch gekennzeichnet, daß die Impulse
des Meß-Photodetektors (PD m ) in Rechteckimpulse umsetzbar sind,
daß der Meß-Photodetektor während der Ablenkbewegung in einer
Richtung und während der Ablenkbewegung in der umgekehrten
Richtung einen Meßimpuls erzeugt, daß die Zeitpunkte der Anstiegsflanken
(oder Abfallflanken) der aus den Meßimpulsen abgeleiteten
Rechteckimpulse bestimmbar sind.
2. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß der
Lichtstrahlablenker (BD) in seiner Ablenkgeschwindigkeit stabilisiert ist.
3. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet,
daß ein weiterer Photodetektor (PD D ) vorgesehen ist,
in den während der Ablenkbewegung ein Teillichtstrahl einblendbar
ist, wobei eine Zeitdifferenz zwischen dem Einblenden des
Teillichtstrahls in diesen weiteren Photodetektor und dem Zeitpunkt,
zu dem der Lichtstrahl auf den auf der Visierlinie (2)
liegenden Punkt auf der Nullebene (ZPl) gerichtet ist, bestimmbar
ist.
Priority Applications (7)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE19772722577 DE2722577A1 (de) | 1977-05-18 | 1977-05-18 | Vorrichtung/verfahren zur beruehrungsfreien abstands- bzw. dickenmessung |
US05/901,202 US4201475A (en) | 1977-05-18 | 1978-04-28 | Device/process for contact free distance and thickness measurement |
FR7813846A FR2391452A1 (fr) | 1977-05-18 | 1978-05-10 | Dispositif et procede pour realiser la mesure, sans contact, de distances ou d'epaisseurs |
IT23263/78A IT1095140B (it) | 1977-05-18 | 1978-05-11 | Dispositivo per la misurazione di distanze o di spessori senza contatto con l'oggetto |
JP5813778A JPS53143354A (en) | 1977-05-18 | 1978-05-16 | Nonncontact measuring method of distance or thickness |
GB20072/78A GB1604362A (en) | 1977-05-18 | 1978-05-17 | Siemens ag |
BE187804A BE867206A (fr) | 1977-05-18 | 1978-05-18 | Dispositif et procede pour realiser la mesure sans contact de distances ou d'epaisseurs |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE19772722577 DE2722577A1 (de) | 1977-05-18 | 1977-05-18 | Vorrichtung/verfahren zur beruehrungsfreien abstands- bzw. dickenmessung |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
DE2722577A1 DE2722577A1 (de) | 1978-11-30 |
DE2722577C2 true DE2722577C2 (de) | 1987-11-05 |
Family
ID=6009365
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
DE19772722577 Granted DE2722577A1 (de) | 1977-05-18 | 1977-05-18 | Vorrichtung/verfahren zur beruehrungsfreien abstands- bzw. dickenmessung |
Country Status (7)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US4201475A (de) |
JP (1) | JPS53143354A (de) |
BE (1) | BE867206A (de) |
DE (1) | DE2722577A1 (de) |
FR (1) | FR2391452A1 (de) |
GB (1) | GB1604362A (de) |
IT (1) | IT1095140B (de) |
Families Citing this family (21)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
SE412286B (sv) * | 1978-07-10 | 1980-02-25 | Saab Scania Ab | Sett och anordning for fotoelektrisk avmetning av breder eller liknande geometriskt obestemda foremal |
US4383168A (en) * | 1980-06-02 | 1983-05-10 | Raytheon Company | Automatic focusing apparatus |
US4501962A (en) * | 1980-06-02 | 1985-02-26 | Raytheon Company | Method of focusing optical apparatus |
JPS59144407U (ja) * | 1982-03-31 | 1984-09-27 | 運輸省船舶技術研究所長 | レ−ザ−散乱キヤビテイ厚み計測法および計測装置 |
DE3335355C2 (de) * | 1983-09-29 | 1994-03-24 | Bodlaj Viktor Dr | Verfahren und Vorrichtung zum berührungslosen Messen eines Abstandes eines bestimmten Punktes einer Oberfläche von einer Bezugsebene |
DE3335396C2 (de) * | 1983-09-29 | 1994-03-24 | Viktor Dr Bodlaj | Verfahren und Vorrichtung zum berührungslosen Messen eines Abstandes eines bestimmten Punktes einer Oberfläche von einer Bezugsebene |
DE3432252A1 (de) * | 1984-09-01 | 1986-03-06 | Fa. Carl Zeiss, 7920 Heidenheim | Messmikroskop |
US4687325A (en) * | 1985-03-28 | 1987-08-18 | General Electric Company | Three-dimensional range camera |
GB2222047A (en) * | 1988-07-25 | 1990-02-21 | Unisearch Ltd | Optical mapping of field of view and information storage |
US4943157A (en) * | 1989-05-18 | 1990-07-24 | Corning Incorporated | Fiber optic triangulation gage |
DE4119821A1 (de) * | 1991-06-15 | 1992-12-17 | Hauni Werke Koerber & Co Kg | Verfahren und vorrichtung zum messen der haerte von queraxial gefoerderten stabfoermigen artikeln der tabakverarbeitenden industrie |
US5311287A (en) * | 1992-02-25 | 1994-05-10 | International Business Machines Corporation | Direct access storage device with head-disc dynamics monitor |
IT1257404B (it) * | 1992-09-30 | 1996-01-15 | Comau Spa | Procedimento per il controllo della posa di un cordone di silicone, particolarmente per la tenuta fra il basamento e la coppa di un motore a combustione interna. |
US5362962A (en) * | 1993-04-16 | 1994-11-08 | Edison Welding Institute | Method and apparatus for measuring pipeline corrosion |
US6052191A (en) * | 1998-10-13 | 2000-04-18 | Northrop Grumman Corporation | Coating thickness measurement system and method of measuring a coating thickness |
US6285451B1 (en) * | 1999-04-30 | 2001-09-04 | John M. Herron | Noncontacting optical method for determining thickness and related apparatus |
US7280232B2 (en) * | 2004-09-21 | 2007-10-09 | Chapman Instruments, Inc. | Method and apparatus for measuring wafer thickness |
US7283256B2 (en) * | 2004-09-21 | 2007-10-16 | Chapman Instruments, Inc. | Method and apparatus for measuring wafer thickness |
CN102338680B (zh) * | 2011-05-31 | 2013-04-24 | 哈尔滨工业大学 | 基于多光束激光外差二次谐波法与扭摆法测量微冲量的方法 |
CN102353491B (zh) * | 2011-05-31 | 2013-06-26 | 哈尔滨工业大学 | 多普勒振镜正弦调制多光束激光外差二次谐波测量微冲量的方法 |
JP2014044060A (ja) * | 2012-08-24 | 2014-03-13 | Canon Inc | 形状測定装置、および形状測定方法 |
Family Cites Families (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE1803285A1 (de) * | 1968-10-16 | 1970-05-06 | Grundig Emv | Automatische und beruehrungslose Dickenmessung an durchsichtigen Folien oder Platten |
DE2508836C2 (de) * | 1972-06-19 | 1984-03-29 | Siemens AG, 1000 Berlin und 8000 München | Entfernungsmeßgerät |
DE2325086C2 (de) * | 1972-06-19 | 1985-05-02 | Siemens AG, 1000 Berlin und 8000 München | Entfernungsmeßgerät |
IE39252B1 (en) * | 1973-05-17 | 1978-08-30 | Siemens Ag | Improvements inor relating to distance measuring equipmen |
DE2501015C2 (de) * | 1975-01-13 | 1976-08-19 | Siemens Ag | Beruehrungsfreies Dickenmessverfahren |
US4053234A (en) * | 1975-02-18 | 1977-10-11 | United Biscuits Limited | Thickness measurement |
DE2546714A1 (de) * | 1975-10-17 | 1977-04-21 | Siemens Ag | Verfahren zum messen des abstandes von und der geschwindigkeitskomponente eines objektes senkrecht zu einer bezugslinie |
DE2654478A1 (de) * | 1976-12-01 | 1978-06-08 | Siemens Ag | Vorrichtung zur beruehrungsfreien dickenmessung |
-
1977
- 1977-05-18 DE DE19772722577 patent/DE2722577A1/de active Granted
-
1978
- 1978-04-28 US US05/901,202 patent/US4201475A/en not_active Expired - Lifetime
- 1978-05-10 FR FR7813846A patent/FR2391452A1/fr active Granted
- 1978-05-11 IT IT23263/78A patent/IT1095140B/it active
- 1978-05-16 JP JP5813778A patent/JPS53143354A/ja active Pending
- 1978-05-17 GB GB20072/78A patent/GB1604362A/en not_active Expired
- 1978-05-18 BE BE187804A patent/BE867206A/xx not_active IP Right Cessation
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPS53143354A (en) | 1978-12-13 |
IT7823263A0 (it) | 1978-05-11 |
FR2391452A1 (fr) | 1978-12-15 |
BE867206A (fr) | 1978-09-18 |
FR2391452B1 (de) | 1982-03-05 |
IT1095140B (it) | 1985-08-10 |
GB1604362A (en) | 1981-12-09 |
DE2722577A1 (de) | 1978-11-30 |
US4201475A (en) | 1980-05-06 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
DE2722577C2 (de) | ||
DE3880854T2 (de) | Optische Achsenverschiebungsfühler. | |
DE19607345A1 (de) | Laserabstandsermittlungsvorrichtung | |
DE2409563A1 (de) | Verfahren und vorrichtung fuer die zielfuehrung | |
DE10130763A1 (de) | Vorrichtung zur optischen Distanzmessung über einen grossen Messbereich | |
DE1523231B2 (de) | Meßvorrichtung für die Drehzahl und die Winkelstellung einer Welle | |
DE3418767A1 (de) | Optisches messgeraet | |
DE3102450A1 (de) | Vorrichtung zum messen eines augenbrechungsfehlers | |
DE3203788C2 (de) | ||
EP0355300B1 (de) | Verfahren zur Bestimmung des Vorzeichens der Richtung einer Teilchenströmung | |
DE4229313A1 (de) | Verfahren und Vorrichtung zur hochgenauen Abstandsmessung von Oberflächen | |
DE2850743C3 (de) | Verfahren und Vorrichtung zur Messung der Abweichung des Sendestrahls von der optischen Achse des Empfangsteleskops bei einem Lidargerät | |
DE2508836C2 (de) | Entfernungsmeßgerät | |
DE3815474C2 (de) | ||
EP0264734A2 (de) | Verfahren und Vorrichtung zum berührungslosen optischen Messen von Wegen, insbesondere im Triangulationsverfahren | |
EP0502165B1 (de) | Optisches gerät, insbesondere zur messung der geschwindigkeit einer bewegten oberfläche mittels eines von einem laser ausgehenden messlichtstrahls | |
DE3703504C2 (de) | ||
DE19926546C2 (de) | Verfahren und Vorrichtung zur hochpräzisen Vermessung einer Oberfläche eines Gegenstandes | |
DE3044831A1 (de) | Anordnung zur automatischen beruehrungslosen messung der raeumlichen lage von gegenstaenden | |
DE3517044C2 (de) | ||
DE2251915A1 (de) | Vorrichtung zum feststellen von flekken oder fehlern in einer oberflaeche | |
DE3924290A1 (de) | Vorrichtung zur optischen abstandsmessung | |
DE4126948C2 (de) | Vorrichtung zur Erfassung der Strahllage von Laserstrahlen | |
DE4031453C2 (de) | Triangulationsmeßverfahren und Gerät zur Durchführung desselben | |
DE3229264C2 (de) | Optisch-elektrische Meßeinrichtung zum Messen der Lage und/oder der Abmessung von Gegenständen |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
OAM | Search report available | ||
OC | Search report available | ||
8110 | Request for examination paragraph 44 | ||
8127 | New person/name/address of the applicant |
Owner name: BODLAJ, VIKTOR, DR., 8000 MUENCHEN, DE |
|
D2 | Grant after examination | ||
8364 | No opposition during term of opposition | ||
8339 | Ceased/non-payment of the annual fee | ||
8380 | Miscellaneous part iii |
Free format text: IM HEFT 37/92, SEITE 10376, SP.1: DIE VEROEFFENTLICHUNG IST ZU STREICHEN |
|
8339 | Ceased/non-payment of the annual fee |