DE2639909C2 - Vakuumdosierventil - Google Patents
VakuumdosierventilInfo
- Publication number
- DE2639909C2 DE2639909C2 DE2639909A DE2639909A DE2639909C2 DE 2639909 C2 DE2639909 C2 DE 2639909C2 DE 2639909 A DE2639909 A DE 2639909A DE 2639909 A DE2639909 A DE 2639909A DE 2639909 C2 DE2639909 C2 DE 2639909C2
- Authority
- DE
- Germany
- Prior art keywords
- valve
- thermal
- valves
- gas
- vacuum
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired
Links
Classifications
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16K—VALVES; TAPS; COCKS; ACTUATING-FLOATS; DEVICES FOR VENTING OR AERATING
- F16K51/00—Other details not peculiar to particular types of valves or cut-off apparatus
- F16K51/02—Other details not peculiar to particular types of valves or cut-off apparatus specially adapted for high-vacuum installations
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16K—VALVES; TAPS; COCKS; ACTUATING-FLOATS; DEVICES FOR VENTING OR AERATING
- F16K49/00—Means in or on valves for heating or cooling
- F16K49/002—Electric heating means
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Details Of Valves (AREA)
Description
der Wärmeableitung des Gehäuses relativ träge und
außerdem genügen, wie oben dargelegt, Nadelventile
als Vakuumdosierventile wegen der Gefahr des Verklebens und der Verformung ohnehin heutigen Anforderungen
nicht mehr in allen Fällen.
Demgegenüber liegt der vorliegenden Erfindung die Aufgabe zugrunde, ein Vakuumventil mit gleichzeitig
mechanischer und thermischer Einstellungsmöglichkeit die mechanische Einstelleinrichtung als eine für im Vergleich
zu der thermischen Einstelleinrichtung grobe Voreinstellung auszubilden und die thermische Einsteileinrichtung
und das Ventilverschlußteil derart zu gestallen, daß die Feineinstellung der Gesamtdosierung rasch
und ohne die Gefahr des Verklebens des Verschlußteils bzw. des Verstopfens des Ventildurchgangs ermöglicht
wird.
Außerdem liegt der Erfindung auch die Aufgabe zugrunde, ein Vakuumdosierventil zu schaffen, das bei einfacher
Herstellungsmöglichkeit trotzdem eine hohe Genauigkeit und Reproduzierbarkeit der Gasdosierung ermöglicht
Diese Aufgaben werden geiöst durch ein Veniiä mil
einem mit Einlaß- und Auslaßöffnungen versehenen Ventilgehäuse, darin angeordnetem Ventilsitz, einem
Ventilverschlußteil und einer mechanischen und einer thermischen Einrichtung zum Einstellen des Gasleitvermögens
des Ventils, wobei die thermische Einstelleinrichtung eine Wärmequelle umfaßt, mit der eine veränderliche
Temperaturdifferenz zwischen zwei aus Materialien mit annähernd gleichem Wärmeausdehnungskoeffizienten
bestehenden Bauteilen eingestellt werden kann, von denen das eine Bauteil das Ventilverschlußteil
verschieben kann und das andere Bauteil das Ventilgehäuse bildet und den Ventilsitz trägt, welches dadurch
gekennzeichnet ist. daß die mechanische Einstelleinrichtung der Voreinstellung des Gasleitvermögens des Ventils
dient und ein Betätigungsorgan (10) umfaßt, mit welchem ein kraftübertragender Zug- oder Druckbolzen (7,
12), dessen Temperatur und damit dessen Länge über die Wärmequelle (8) mit gegenüber der mechanischen
Einstelleinrichtung höherer Genauigkeit einstellbar ist, derart zusammenwirkt, daß die thermische Längenänderungen
des Zug- oder Druckbolzens (7, 12) für die Feineinstellung des Gasleitvermögens des Ventils auf
eine einen Ventilteller (4) tragende Ventilstange (7a)
übertragen wird.
Vorzugsweise wird die Einrichtung zur Temperatureinstellung als Heizvorrichtung ausgebildet, jedoch läßt
sich auch durch Abkühlen der Ventilhubstange unierhalb der Umgebungstemperatur eine Längenveränderung
und damit eine Feinbewegung des Ventilschlusses erzielen.
Da das Antricbsclemeni und das Ventilgehäuse aus
Materialien mit annähernd gleichem Wärmeausdehnungskoeffizienten heslehen, kann das Ventil ausgeheizt
werden, ohne daß sich dabei der eingestellte Gasleitwert ändert; insbesondere bleibt das vakuumdicht
geschlossene Ventil dann auch beim Ausheizen vakuumdicht.
Nachfolgend werden Ausfuhrungsbeispiele der Erfindung an Hand der Zeichnung näher beschrieben.
In den Figuren bezeichnet 1 den Gaseinlaß, 2 den Gasauslaß des Ventils. 3 einen Federkörper zur vakuumdichten
Abdichtung zwischen dem oberen und dem unteren Teil des Ventilgehäuses, 4 den Ventilverschlußkorpcr.
5 den Spalt zwischen dem Ventilverschlußkörper und einem Ventilsit? 6, wobei die jeweilige Größe
dieses Spaltes in erster Linie für den Gasleitwert bestimmend ist Die Betätigung des Ventilversehlußkörpers
geschieht mit Hilfe eines Antriebselementes 7a, das im oberen Teil des Ventilgehäuses axial verschiebbar
gelagert ist Mit 8 ist eine Hilfseinrichtung zur Einstellung
der Temperatur bezeichnet die vorzugsweise als elektrische Heizwendel ausgebildet wird. 8 könnte jedoch
auch, wie die Zeichnung erkennen läßt eine Rohrschlange darstellen, die mittels eines durchgeleiteten
Mediums beheizt oder gekühlt werden kann. Mit 9 ist eine Druckfeder bezeichnet welche, wie weiter unten
ersichtlich, die jeweilige Position des mit einem gewissen Spielraum in axialer Richtung beweglichen Antriebselementes
la festlegt und IQ bedeutet das Betätigungsorgan für die mechanische Verstellung dieses Anis
triebselementes.
Die F i g. 1 zeigt ein Ausführungsbeispiel, bei dem ein Hilfskörper 7 in Form eines Druckbolzens als kraftübertragendes
Zwischenglied zwischen dem Betätigungsorgan 10 und dem Antriebselement 7a ausgebildet ist Das
Antriebselement (Hubstange) 7a trägt an seinem oberen Ende mittels eines Gewindes die versteuere Mutter 7 b.
Zwischen dieser und der Schulter 7c iiis Gehäuses ist
die Druckfeder 9 angeordnet Auf das obere Ende des Druckbolzens 7 liegt mit einer konischen Vertiefung das
Betätigungsorgan 10 auf, das als Hebel ausgebildet ist und am Gehäuse im Drehpunkt 10a gelagert ist Die
Betätigung des Hebels erfolgt mittels der Justierschraube 11, die sich gegen die Außenseite des Ventilgehäuses
abstützt.
Bei Benutzung wird das Ventil gemäß FI g. 1 zunächst
auf einen vorbestimmten Durchlaß eingestellt, der — wenn die Einrichtung 8 als Heizvorrichtung ausgebildet
ist — dem im gegebenen Falle maximal gewünschten Gasleitwert entspricht. Dies geschieht durch Anziehen
der Justierschraube 1 i, wodurch der Druckbolzen 7 mittels des Hebels 10 gegen das Antriebselement 7a gedrückt
wird, so daß dieses und damit der Ventilverschlußkörper 4 gegen die Kraft der Druckfeder 9 auf
den Ventilsitz zubewegt wird. Die genauere Einstellung
ίο des Ventils auf einen kleineren Leitwert als den maximalen
kann sodann durch thermische Steuerung erfolgen u»id zwar kann durch Erwärmen des Stößels 7 das
Ventil weiter geschlossen und durch Abkühlen wieder geöffnet werden. Dabei ist eine sehr genaue Feineinstellung
möglich und es genügen verhältnismäßig geringe Temperaturänderungen bis zu 50°C. Insbesondere bei
Ausbildung der Einrichtung 8 als elektrische Heiz- oder Kühleinrichtung — letzteres wäre mit Peltierelementen
leicht verwirklichbar — eignet sich das erfindungsgemäße Ventil zum Einbau in Regelkreise, wobei die Temperatur
des Hilfskörpers 7 selbsttätig so eingeregelt wird, daß der Druck in einem an die Öffnung 2 angeschlossenen
Rezipienten konstant gehalten wird oder einem bcstiirmKTi
Programm folgt. Aber auch bei manueller Einstellung der Temperatur bietet das erfindungsgemäße
Ventil den großen Vorteil, daß einer ansich schon genauen mechanischen Voreinstellung eine thermische
Feineinstellung mit noch höherer Genauigkeit überlagert werden kann.
Das Ausführungsbeispiel der F i g. 2 arbeitet im Prinzip ähnlich wie dasjenige nach F i g. 1, weist diesem gegenüber
jedoch folgenden Unterschied auf: Es ift ein besonderer Hilfskörper 12 mit zugehörigei Temperatur-Einstelleinrichtung
vorgesehen, dessen thermische Längenänderung mittels eines gabelförmigen Hebels 13
— siehe F i g. 2a, die einen Schnitt durch die in F i g. 2 durch die Pfeile angedeutete Ebene darstellt — der am
Ventilgehäuse bei 15 drehbar gelagert ist, auf den Stößel
7 und von diesem auf das Antriebselement la übertragen wird. Der Hebel des Betätigungsorgans IO ist dabei
seinerseits bei 14 in der Gabel 13 gelagert: die Position
des Drehpunktes 14 wird also durch die thermischen Längenänderungen des Hilfskörperx 12 beeinflußt und
auf diese Weise die thermisch gesteuerte Bewegung der durch den Hebel 10 bzw. die Justierschraube 11 mechanisch
gesteuerten Bewegung überlagert. Wird der Hilfskörper 12, der mit seinem unteren Ende am Ventilgehäuse
bei 12a befestigt ist, erwärmt, dann wird der Drehpunkt 14, wie aus der Zeichnung ersichtlich, angehoben
und dadurch das Ventil unter Wirkung der Druckfeder 9 weiter geöffnet. Zieht sich der Hilfskörper
12 dagegen bei Abkühlung zusammen, dann wird das Ventil weiter geschlossen.
Fig.3 schließlich zeigt ein weiteres Ausführungsbeispiel,
bei dem als Betätigungsorgan ein Drehknopf 18, der mittels einer Gewindespindel am Kopfteil 17 des
Ventilgehäuses in axialer Richtung verstellbar isi. vorgesehen ist. Die Ventilhubstarigc 7 (Antriebselcment)
steht unter der Wirkung der Druckfeder 9, die sich gegen den genannten Kopfteil 17 abstutzt. Sie ist über den
Querbolzen 20 mit dem oberen Ende des durch die Einrichtung 8 beheizbaren oder kühlbaren Hilfskörpers 21
verbunden, und das untere Ende derselben ruht auf einer Schulter 23 des rohrförmigen Teiles 22 des Betätigungsorganes.
Dieses weist, wie die Zeichnung zeigt, oben seitliche öffnungen 22a und 22Λ auf, durch welche
der Querbolzen hindurchragt, wobei'die genannten öffnungen
so groß bemessen sind, daß eine den maximalen jo thermischen Längenänderungen di;s Hilfskörpers 21
entsprechende Bewegungsmöglichkuit für den Querbolzen 20 gegeben ist.
Wiederum wird die Grobeinstellung des Ventildurchlasses (Leitwertes) mit Hilfe der mechanischen Betätigungseinrichtung
10 vorgenommen, die Feineinstellung dagegen thermisch. Bei Erhitzung des Hilfskörpers 21
nimmt dessen Länge zu, dadurch wird über den Querbolzcn 20 die Ventilhubstange 7 irs Richtung größerer
Öffnung des Ventils bewegt: bei Abkühlung umgekehrt. Der Schließdruck wird dabei stets durch die Kraft der
Feder 9 bestimmt. Fällt beispielsweise die Heizung 8. während das Ventil geschlossen ist. aus. dann bewirkt
die folgende Abkühlung des Hilfskörpers 21 lediglich ein Abheben seines unteren Endes von der Schulter 23;
die Zerstörung des Ventilsitzes durch einen zu großen Schließdruck ist damit ausgeschlossen.
Hierzu 3 Blatt Zeichnungen
Claims (2)
- Patentansprüche:t. Ventil mit einem mit Einlaß- und Auslaßöffnung versehenen Ventilgehäuse, darin angeordnetem Ventilsitz, einem Ventilverschlußteil und einer mechanischen und einer thermischen Einrichtung zum Einstellen des Gasleitvermögens des Ventils, wobei die thermische Einstelleinrichtung eine Wärmequelle umfaßt, mit der eine veränderliche Temperaturdifferenz zwischen zwei aus Materialien mit annähernd gleichem Wärmeausdehnungskoeffizienten bestehenden Bauteilen eingestellt werden kann, von denen das eine Bauteil das Ventilverschlußteil verschieben kann und das andere Bauteil das Ventilgehäuse bildet und den Ventilsitz trägt, dadurch gekennzeichnet, daß die mechanische Einstelleinrichtung der Voreinstellung des Gasleitvermögens des Ventils dient und ein Betätigungsorgan (10) umfaßt, mit welchem ein kraftübertragender Zug- odet Druckbolzen (7, 12), dessen Temperatur und damit dessen Länge über die Wärmequelle (8) mit gegenüber der mechanischen Einstelleinrichtung höherer Genauigkeit einstellbar ist. derart zusammenwirkt, daß die thermischen Längsänderungen des Zug- oder Druckbolzens (7,12) für die Feineinstellung des Gasleitvermögcns des Ventils auf eine einen Ventilteller (4) tragende Ventilstange (7a) übertragen wird.
- 2. Ventil nach Anspruch 1. bei dem das Betätigungsorgan (iO) als Hebel ausgebildet ist. dadurch gekennzeichnet, daß der Drehpunkt (14, F i g. 2) des Hebels durch die thermischen Längenänderungen des Zugbolzens (J2) verschiebbar ist.Vakuumdosierventile werden in der Vakuumtechnik vielfach benötigt, insbesondere in zwei Anwendungsfällena) wenn es sich darum handelt, bei einem Vakuumprozeß laufend eine genau dosierte Menge eines gasförmigen Reaktionspartners zuzuführen z. B. beim reaktiven Aufdampfen von dünnen Schichten; das Ventil wird hierbei auf einen vorbestimmten Leitwert eingestellt:b) in Verbindung mit Regeleinrichtungen zur Konstanthaltung des Druckes in einem Vakuumraum wobei dieser kontinuierlich ausgepumpt wird und gleichzeitig durch das Ventil gerade soviel Gas laufend zugeführt wird, daß der vorbestimmte Druck aufrechterhalten wird.Ventile für die genannten Zwecke wurden häufig als sogenannte Nadelventile ausgebildet, welche jedoch den Nachteil haben, daß es leicht zum Verkleben (Kaltverschweißen) zwischen der als Ventilverschlußkörper dienenden Nadelspitze und dem Ventilsitz kommt. Da die DurchlaUöffnung bei einem Nadelventil klein ist, kann sie auch leicht durch Schmutz verstopft werden.in neuerer Zeit hat sich daher mehr eine Bauweise eingeführt, bei welcher eine Vcntilplatte aus einem harten Werkstoff z. B. Saphir gegen einen als Schneide aus weicherem Werkstoff z. B. Kupfer ausgebildeten Ventilsitz gepreßt wird. Solche Ventile lassen sich leichter reinigen, haben eine größere Lebensdauer und können ausheizbar ausgebildet werden, wobei Temperaturen bis zu 450° angewendet werden, um eine sichere Entgasung aller mit dem Vakuum in Berührung kommenden Teile zu erreichen, was insbesondere bei Ultrahochvakuumanwendungen wichtig ist Bei solchen Ventilen können aber in geschlossenem Zustand infolge der verschiedenen thermischen Ausdehnung insbesondere des Gehäuses und der Ventilhubstange bein; Ausheizen so große Kräfte zwischen beim Ventilverschlußkörper undto dem Ventilsitz auftreten, das die erwähnte dichtende Schneide zu stark defomiert wird, wodurch das Ventil entweder überhaupt zerstört oder wenigstens seine Lebensdauer verkürzt wird. Um dem zu begegnen, wurden schon Dehnungsausgleichsvorrichtungen vorgeschla-?* gen, die das Auftreten zu großer Kräfte durch elastische Verformung einzelner Ventilbauteile z. B. durch elastisch federnde Ventilteller abschwächen sollen. Derartige Spezialkonstruktionen sind aufwendig, außerdem bleibt immer noch der Nachteil bestehen, daß der Durchlaß des zwecks dosierten Gaseinlasses auf einen bestimmten Leitwert eingestellten Ventils sich bei Änderung der Umgebungstemperatur ebenfalls verändert, so daß ständige Nachregelungen erforderlich sind und daß das Ventil außerdem für jede Temperatur eine eigene Eichung benötigt.Ein weiterer Nachteil aller bekannten mit Hilfe einer Gewindespindel σier einer anderen mechanischen oder einer elektromagnetischen Verstellvorrichtung betätigten Dosierventile liegt darin, daß sie mit höchster Präzision gebaut werden müssen, um ein genügend genaues Einstellen des Gaseinlassses insbesondere bei kleinen Durchflußmengen zu ermöglichen.Es sind auch Gasdosierventile vorgeschlagen worden, bei denen in einem Rohr ein Schließkörper angeordnet ist, wobei Rohr und Schließkörper aus Werkstoffen mit verschiedenem thermischen Ausdehnungskoeffizienten bestehen, und öffnen des Ventils bzw. eine Änderung des Leitwertes dadurch bewirkt wird, daß bei Erhitzung der ganzen Anordnung der enge Spalt zwischen dem Verschlußkörper und der Innenwand des Rohres infolge verschieden starker Ausdehnung dieser beiden Teile sich verändert. Dabei müssen aber Temperaturen bis zu einigen 1000C angewendet werden und die Vorrichtung besitzt fernerden Nachteil, daß die jeweilige Einstellung auf einem bestimmten Gasleitwert wegen der Wärmekapazität der zu erhitzenden Teile nur schleppend erfolgt, so daß derartige thermische Dosierventile kaum für Druckregeleinrichtungen gebraucht werden können. Es gibt auch Ventile für Flüssigkeiten, bei denen dieίο thermische Volumenausdehnung eines flüssigkeit- oder gasgefüllten elastischen Hohlkörpers, der mit einer Heizvorrichtung verbunden ist, zur Durchflußregelung benützt wird. Solche Ventile werden z. B. in Heizanlagen verwendet. Auch bimetallgesteuertc Vorrichtungen zur Regelung des Durchflusses in Leitungen sind bekannt.Bei einem weiteren bekannten Ventil besteht die Hubstange und das von dieser getragene als Nadelventil ausgebildete Ventilvcrschlußglied sowie das Ventilgehäuse aus Werkstoffen von gleichem thermischen Ausdehnungsköeffizicntcn, wobei eine Heizvorrichtung vorgesehen ist, um eine Wärmeausdehnung des Gehäuses bewirken zu können, derart, daß infolge unterschiedlicher Längenänderungen der Abstand des vom Gehäu-b5 se getragenen Ventilsitzes von der Spitze des Vcrschlußgliedes zur Erzielung einer gewünschten Durchflußöffnung passend eingestellt werden kann. Die bekannte Einrichtung ist'wegen der Wärmekapazität und
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CH1206775A CH600224A5 (de) | 1975-09-17 | 1975-09-17 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
DE2639909A1 DE2639909A1 (de) | 1977-03-24 |
DE2639909C2 true DE2639909C2 (de) | 1985-07-18 |
Family
ID=4379551
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
DE2639909A Expired DE2639909C2 (de) | 1975-09-17 | 1976-09-04 | Vakuumdosierventil |
Country Status (6)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US4172581A (de) |
CH (1) | CH600224A5 (de) |
DE (1) | DE2639909C2 (de) |
FR (1) | FR2324968A1 (de) |
GB (1) | GB1554271A (de) |
NL (1) | NL7512176A (de) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE29817923U1 (de) | 1998-10-07 | 1998-12-17 | Kermi Gmbh, 94447 Plattling | Thermostateinrichtung bzw. Thermostatventileinrichtung |
Families Citing this family (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
GB1601306A (en) * | 1978-05-08 | 1981-10-28 | Philips Electronic Associated | Fluidcontrol valve |
DE3136895A1 (de) * | 1981-09-17 | 1983-03-31 | Philips Patentverwaltung Gmbh, 2000 Hamburg | "vorrichtung zum verdampfen von ausgangsstoffen fuer die reaktive abscheidung aus der gasphase" |
DE3143059A1 (de) * | 1981-10-30 | 1983-05-19 | Arthur Pfeiffer Vakuumtechnik Wetzlar Gmbh, 6334 Asslar | Vakuumventil |
US20050056799A1 (en) * | 2003-09-11 | 2005-03-17 | Malone Steven J. | Valves having a thermostatic actuator controlled by a peltier device |
US7866624B2 (en) * | 2004-10-18 | 2011-01-11 | Gm Global Technology Operations, Inc. | Heat sensitive release valve for cryogenic tank |
DE102007042854A1 (de) * | 2007-09-10 | 2009-03-26 | Vat Holding Ag | Gasdosierventil |
DE102011119035B3 (de) | 2011-11-22 | 2012-12-13 | Vat Holding Ag | Gasdosierventil |
CN103994232B (zh) * | 2014-05-12 | 2016-04-06 | 东北大学 | 一种宽量程精密真空漏气阀 |
Family Cites Families (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE7237309U (de) * | 1973-09-13 | Frank G | Selbsttätige Regelvorrichtung fur die Nachtabsenkung der Raumtemperatur bei Zentral heizungsanlagen | |
US2373324A (en) * | 1937-04-01 | 1945-04-10 | Charles A Martin | Valve |
DE1108024B (de) * | 1956-12-08 | 1961-05-31 | Commissariat Energie Atomique | Vorrichtung zum Regeln geringer Gasstroemungen |
US3050601A (en) * | 1958-11-14 | 1962-08-21 | Donald I Bohn | Temperature control system |
US3298658A (en) * | 1964-06-19 | 1967-01-17 | Johnson Service Co | Length-changing mechanism for linkage of an actuated device |
DE1257509B (de) * | 1965-09-15 | 1967-12-28 | Ferodo Sa | Automatisches Regelventil zur Regelung der Durchflussmenge einer Fluessigkeit |
FR1447777A (fr) * | 1965-09-24 | 1966-07-29 | Varian Associates | Soupape de fuite pour vide poussé |
DE2056746A1 (de) * | 1970-11-18 | 1972-05-25 | Max Planck Gesellschaft | Temperaturgesteuertes Ventil und Verfahren zu seiner Herstellung |
FR2188771A5 (de) * | 1972-06-01 | 1974-01-18 | British Oxygen Co Ltd | |
US4053136A (en) * | 1975-06-05 | 1977-10-11 | The Tappan Company | Control circuit and adjustable valve for a gas appliance |
-
1975
- 1975-09-17 CH CH1206775A patent/CH600224A5/xx not_active IP Right Cessation
- 1975-10-16 NL NL7512176A patent/NL7512176A/xx unknown
-
1976
- 1976-09-04 DE DE2639909A patent/DE2639909C2/de not_active Expired
- 1976-09-14 FR FR7627536A patent/FR2324968A1/fr active Granted
- 1976-09-14 GB GB38024/76A patent/GB1554271A/en not_active Expired
- 1976-09-15 US US05/723,245 patent/US4172581A/en not_active Expired - Lifetime
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE29817923U1 (de) | 1998-10-07 | 1998-12-17 | Kermi Gmbh, 94447 Plattling | Thermostateinrichtung bzw. Thermostatventileinrichtung |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
DE2639909A1 (de) | 1977-03-24 |
FR2324968A1 (fr) | 1977-04-15 |
NL7512176A (nl) | 1977-03-21 |
FR2324968B1 (de) | 1982-12-31 |
GB1554271A (en) | 1979-10-17 |
US4172581A (en) | 1979-10-30 |
CH600224A5 (de) | 1978-06-15 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
DE2639909C2 (de) | Vakuumdosierventil | |
DE69918221T2 (de) | Regler | |
DE1231075B (de) | Mischventil | |
EP0048486B1 (de) | Membrandruckregler | |
DE69124977T2 (de) | Durchflussregler | |
DE1600713B2 (de) | Zonenventil mit Verstelleinrichtung für umkehrbare Ventilverstellung | |
DE10038013B4 (de) | Steuergerät für eine Vakuum-Hebevorrichtung | |
DE2412755C3 (de) | Spritzpistole | |
DE2300332C3 (de) | Schaltvorrichtung für unstetige Druck- oder Temperaturregler | |
DE3829830C2 (de) | ||
DE102021122779A1 (de) | Servoventil | |
DE1229928B (de) | Thermostatisch gesteuertes Gasventil | |
DE2328887B2 (de) | Temperaturschalter | |
DE3645272C2 (de) | Elektrodendurchlauferhitzer | |
DE290917C (de) | ||
DE2444137A1 (de) | Geraet zum zerstreuen pulverfoermiger oder fluessiger stoffe | |
DE3338580A1 (de) | Verschlussvorrichtung fuer eine zum einfuehren eines geraetes dienende oeffnung eines vakuumgefaesses | |
DE1650465B1 (de) | Thermischer Stellantrieb | |
DE9314858U1 (de) | Ventil mit reduziertem Druckverlust, insbesondere für viskose oder korrossive Flüssigkeiten | |
DE1600713C3 (de) | Zonenventil mit Verstelleinrichtung für umkehrbare Ventilverstellung | |
WO2023030580A1 (de) | Servoventil | |
WO2019110450A1 (de) | Stellventilanordnung und verfahren zum betätigen einer stellventilanordnung | |
DE1778185C (de) | Schneid und/oder Flammbrenner | |
DE2250642A1 (de) | Temperatureinstellvorrichtung fuer thermostatisch geregelte ventile | |
AT298185B (de) | Kugelhahn |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
OD | Request for examination | ||
D2 | Grant after examination | ||
8364 | No opposition during term of opposition | ||
8327 | Change in the person/name/address of the patent owner |
Owner name: BALZERS AG, BALZERS, LI |