DE2545153C2 - Verfahren zum Freilegen einer metallischen Leiterschicht - Google Patents
Verfahren zum Freilegen einer metallischen LeiterschichtInfo
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Description
Die Erfindung betrifft ein Verfahren zum Freilegen einer unter einer mit Flußsäure ätzbaren isolierenden
Deckschicht liegenden, mit Flußsäure passivierbaren metallischen Leiterschicht, bei dem die Deckschicht mit
einer Flußsäure enthaltenden Ätzlösung behandelt wird, bis die metallische Leiterschicht freigelegt und durch
Bildung eines unlöslichen Metallfluorids passiviert ist.
Die Herstellung von Halbleiterbauelementen und integrierten Schaltungen erfordert im allgemeinen einen
oder mehrere Arbeitsgänge zur selektiven Aufbringung und/oder Entfernung von Überzügen auf einem Substrat.
Das Substrat besteht z. B. bei einer integrierten Schaltung aus einem N- oder P-leitenden Siliziumplättchen,
in das Bereiche entgegengesetzten Leitungstyps eindiffundiert werden. Das Substrat und die eindiffundierten
Bereiche werden von einer Isolierschicht bedeckt, die aus S1O2 oder S13N4 besteht. Diese Isolierschicht
stabilisiert die integrierte Schallung chemisch und elektrisch und schließt sie gegen äußere Einflüsse
Damit die leitenden Schichten mit äußeren Anschlüssen
verbunden werden können, werden im allgemeinen fotografische Techniken angewandt, um selektive
Fenster in der isolierenden Deckschicht anzubringen. Hierzu wird eine lichtempfindliche Abdekkung
auf die Isolierschicht aufgebracht, selektiv belichtet und dann entwickelt, um so eine Ätzmaske zu
erzeugen. AnschlieDend wird die Isolierschicht mit einem Ätzmittel behandelt Wenn es sich um Siliziumdioxid
handelt, ist das typische Ätzmittel eine wäßrige Lösung von HF und NH4F. Das Ätzmittel nimmt die
nicht abgedeckten Teile der Isolierschicht weg, bis die darunter befindlichen Teile des leitenden Überzugs
freiliegen (DE-OS 19 16 036).
Aus der vorgenannten Druckschrift ist es auch bekannt,
daß der leitende Überzug aus einem Metall bestehen soll, der mit der Flußsäure derart reagiert, daß
ein Oberflächenbereich von einigen zehn Nanometer Dicke in ein fest haftendes unlösliches Fluorid dieses
Metalls umgewandelt wird. Es gibt zahlreiche derartige Metalle; am häufigsten wird Aluminium verwendet In
diesem Falle entsteht durch die geschilderte Behandlung Aluminiumfluorid (AIF3). Das Metallfluorid bedeckt
die leitende Schicht und passiviert sie. Schließlich hören infolge der Passivierung die Ätzwirkung und die
Metallumwandlung auf.
Nach der Ätzung wird der Artikel mit Wasser abgespült, um das noch vorhandene Ätzmittel zu entfernen,
bevor weitere Behandlungsvorgänge durchgeführt werden.
Bei dem bekannten Verfahren besteht ein Nachteil darin, daß bei oder nach dem Spülvorgang die passivierte
leitende Schicht sich ganz oder teilweise ablöst. Eine Weiterverarbeitung des Bauteils ist dann nicht mehr
möglich.
Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, die Ablösung der passivierten Metallschicht nach dem Ätzen mit
Flußsäure zu verhindern.
Diese Aufgabe wird gemäß der Erfindung dadurch gelöst, daß die passivierte metallische Leiterschicht, um zu verhindern, daß sie bei einem nachfolgenden Waschen zerstört wird, anschließend an die Ätzung mit einer Flußsäure-freien Lösung von Ammoniumfluorid behandelt wird.
Diese Aufgabe wird gemäß der Erfindung dadurch gelöst, daß die passivierte metallische Leiterschicht, um zu verhindern, daß sie bei einem nachfolgenden Waschen zerstört wird, anschließend an die Ätzung mit einer Flußsäure-freien Lösung von Ammoniumfluorid behandelt wird.
Weiterbildungen der Erfindung sind den Unteransprüchen
zu entnehmen.
Die auf diese Weise behandelten Gegenstände können beliebige mehrschichtige Anordnungen sein, die eine
Deckschicht aus einem mit Flußsäure ätzbaren Werkstoff und eine oder mehrere darunter befindliche
Metallschichten aus einem durch Reaktion mit HF passivierbaren Metall besitzen. Die Reaktion des Metalls
mit der Flußsäure kann zwar als Auflösung des Metalls angesehen werden, in Wirklichkeit bleibt aber das weitgehend
unlösliche Metallfluorid in der gewünschten Weise auf der Metalloberfläche haften, so daß der Angriff
des Ätzmittels aufhört, nachdem das Metall in einer Dicke von einigen zehn Nanometer in das Fluorid umgewandelt
wurde.
Vorzugsweise wird die Erfindung auf Halbleiteranordnungen mit integrierten Schaltungen angewandt, deren
Deckschicht eine Isolierschicht aus S1O2 ist. Die darunter
befindlichen Metallschichten bestehen vorzugsweise aus Aluminium und sind entweder unmittelbar mit
Diffusionsbereichen eines Siliziumsubstrats oder mit isolierten Stellen des Substrats verbunden. Wenn die
integrierte Schaltung ein MOSFET ist, dienen die ersteren als Drain- oder Source-Elektroden der Feldeffekt-
Transistoren und die letzteren sind Gates dieser Transistoren oder M IS-Kondensatoren.
Die Deckschicht wird zuerst mit einer HF enthaltenden Ätzlösung behandelt Diese Behandlung kann durch
die Fenster einer in bekannter Weise photographisch erzeugten Ätzmaske erfolgen.
Wenn die Deckschicht aus SiO2 besteht, ist das Ätzmittel
vorzugsweise eine wäßrige Lösung von NH4F und HF. Typisch soll das Verhältnis von NH4F zu HF im
Bereich von 5:1—20:1 der Komponenten 40 Gewichtsprozent NH4F und 48—50 Gewichtsprozent HF
liegen.
Die freiliegenden Teile der Deckschicht werden hierbei selektiv durch die HF geätzt Wenn die Deckschicht
SiO2 ist läßt sich der Ätzvorgang in folgender Gleichung
darstellen:
SiO2+4HF — S1F4 + 2H2O
(Gas)
(Gas)
20
Wenn das Ätzmittel auf die Deckschicht genügend lang (je nach ihrer Dicke) einwirkt wird diese an den
von der Maske ausgesparten Stellen vollständig weggeätzt so daß durch die so gebildeten Fenster das
Ätzmittel auf die Metallschicht einwirken kann. Die HF reagiert nun durch diese Fenster hindurch mit der
Metallschicht und bildet ein weitgehend unlösliches, daran haftendes Metallfluorid. Nach einer gewissen
Zeit hat das Fluorid eine so hohe Dicke und Dichte erreicht daß das Metall passiviert und die Reaktion
beendet wird.
Wenn das Metall Aluminium ist, geht hierbei folgende Reaktion vor sich:
2A1 + 6HF— 2A1F3 + 3H2
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Das NH4F oder ein ähnlicher Puffer gewährleistet
eine stabile H-Ionen-Konzentration. Demgemäß verhindert das NH4F während der Reaktion von HF mit
dem Metall eine Auflösung des Fluorids (hier Aluminium-Fluorid) und gewährleistet, daß das Fluorid auf dem
Metall haften bleibt und dieses so passiviert.
Obwohl das Metallfluorid weitgehend unlöslich ist, könnte es infolge seiner geringen, aber endlichen Löslichkeit
aufgelöst werden, wenn das Pufferungsmittel nicht vorhanden wäre. Diese Auflösung würde ständig
weiteres Metall für den Angriff der HF freilegen, wodurch schließlich das gesamte Metall in ein gelöstes
Fluorid umgewandelt würde. Das Vorhandensein des Puffers führt zu dem gemeinsamen Ioneneffekt, der zusammen
mit der geringen Löslichkeit des Fluorids die Passivierung der Metallschicht herbeiführt, d. h. die
weitgehend unlösliche Fluoridschicht bleibt auf der Metalloberfläche erhalten.
Im einzelnen werden durch die Bildung von AIF3 Fluoridionen (F-) aus der Lösung abgezogen. Wegen
der großen Menge der von NH4F beigesteuerten F--I0-nen ist jedoch der Anteil der aus der Lösung abgezogenen
F--Ionen vernachlässigbar im Vergleich zu der Gesamtmenge derselben. Wenn kein NH4F in der Lösung
vorhanden wäre, ergäbe sich die folgende Gleichgewichtsbedingung:
AlF3
+3 Ff-
65
Das NH4F führt zum Effekt der gemeinsamen Ionen,
d. h. der große Anteil gemeinsamer F--Ionen verschiebt das Gleichgewicht der obigen Reaktion nach links, so
daß die Reaktion
AP++3 F--AlF3
die umgekehrte Reaktion
AlF3 — AP++3 F-
die umgekehrte Reaktion
AlF3 — AP++3 F-
stark überwiegt Diese Gleichgewichtsverschiebung und die hohe Unlöslichkeit von AIF3 führen schließlich
dazu, daß die festhaftende AIF3-Schicht das Aluminium passiviert.
Bisher war es üblich, anschließend den Gegenstand in Wasser zu waschen, um alle an dem Gegenstand haftenden
Spuren des Ätzmittels zu entfernen. Es wurde festgestellt, daß bei diesem Waschvorgang die Metallschicht
häufig beschädigt wurde und mit einer Geschwindigkeit von 200 nm je Minute oder mehr sich
auflöste. Je nach ihrer Dicke konnte also die Metallschicht durchaus vollständig abgelöst werden. Im Falle
von MOS-Vorrichtungen machte diese Auflösung die Vorrichtungen völlig unbrauchbar. Die Ursache dieser
unerwünschten Ätzung durch Wassereinwirkung ist nicht recht verständlich. Es ist aber bekannt, daß weder
HF noch NH4F allein in der im Waschwasser auftretenden
Konzentration (etwa 0,05—1%) diese unerwünschte Ätzung herbeiführen.
Wenn nun aber die passivierte Metallschicht mit einer Lösung in Berührung gebracht wird, die Fluoridionen in
großem Überschuß enthält, so wird dieser Angriff der Metallschicht bei nachfolgenden Waschvorgängen verhindert.
Wenn die Metallschicht aus Aluminium besteht, ist hierzu NH4F geeignet, daß jedoch praktisch frei von
jeder HF sein muß.
Die passivierte Metallschicht kann beliebig lang in Berührung mit dem NH4F sein, wobei eine Mindesteinwirkung
von etwa 5 Sekunden erwünscht, aber auch ausreichend ist. Danach kann der Gegenstand in Wasser
gewaschen und gespült werden, ohne daß die passivierte Metallschicht merklich angegriffen wird.
Als mögliche Erklärung für diesen Effekt bietet sich folgende Theorie an:
Wie oben erwähnt, wird angenommen, daß während des Ätzvorgangs die endliche, aber sehr geringe Löslichkeit
von AlF3 und der Effekt der gemeinsamen Ionen zusammenwirken, um die Zerstörung der A1F3-Schicht
im Verlauf ihres Entstehens mittels der oben geschilderten Reaktion zu verhindern. Nun kommt HF nicht als
solche, nur als H2F2 vor. Daraus bildet sich in Wasser bei
der Ionisation HF2-I-H+. Die HF2-Ionen würden wahrscheinlich,
wenn möglich, die Metallschicht während des Ätz- und Passiervorganges angreifen. Die große Menge
der Fluoridionen aus dem NH4F im Ätzmittel verhindert aber nicht nur die Auflösung der passivierenden
Schicht aus AIF3, sondern auch die zerstörerische Wirkung
der HF2-Ionen. Wenn also eine genügend dicke und weitgehend unlösliche Passivierschicht existiert,
hört die weitere Reaktion des Aluminiums mit HF auf.
Beim Spülen mit Wasser werden aber nun die an dem Gegenstand und der passivierten Metallschicht anhaftenden
Rückstände von HF und NH4F stark verdünnt. HF ist eine schwache Säure, aber je weiter ihre Konzentration
in Wasser abnimmt, desto mehr steigt der lonisationsgrad, so daß ein großer Anteil von HF2-lonen entsteht.
Andererseits ist nun das sehr verdünnte Ammoniumfluorid nicht mehr imstande, einen Ionenüberschuß
zu erzeugen. Diese Aufhebung der Pufferwirkung im
Verein mit der endlichen, wenn auch geringen Löslichkeit VOnAlF3 und dem Angriff auf das Aluminium durch
die HF2-Ionen führt vermutlich zur fortschreitenden Zerstörung der Passivierungsschicht, se daß das Aluminium
ständig bloßgelegt wird. So können die Reaktionen
Al3++3 F-^AlF3
AIF3 — Al3+ 3 Ρίο
AIF3 — Al3+ 3 Ρίο
beide auftreten, wobei die Bildung des Al3+-Ions in der
zweiten Reaktion nicht durch den Überschuß der Fluoridionen unterdrückt wird.
Die Konzentration von HF und NH4F im Waschwasser beträgt meist zwischen 0,05 und 1% und hat am
häufigsten einen Wert von etwa 0,5%. Es wird angenommen, daß in diesem Konzentrationsbereich die Zerstörung
der Aluminiumschicht beim Waschvorgang vor sich geht
Es kann auch sein, daß die Zerstörung und Ablösung der Aluminiumschicht mindestens teilweise auf elektrochemischem
Wege erfolgt. Beim Waschen mit Wasser wird nämlich eine elektrochemische Zelle gebildet, die
aus der Metallschicht, dem dotierten Silizium und dem stark verdünnten HF und NH4F besteht. Das Auftreten
einer solchen Zelle dürfte die Zerstörung der Aluminiumschicht verstärken und beschleunigen.
Wenn nun die Passivierungsschicht mit NH4F, das praktisch frei von Flußsäure ist, in Berührung gebracht
wird, können die HFä-Ionen nicht in größerem Umfang gebildet werden. Beispielsweise wird NH4F in 40%iger
wäßriger Lösung (Gewichtsprozent) angewandt, obwohl diese Konzentration nicht kritisch ist.
Was nun auch der tatsächliche Grund der Zerstörung der Aluminiumschicht ist, jedenfalls wurde festgestellt,
daß durch das Behandeln der passivierten Metallschicht mit HF-freiem NH4F die gefürchtete Auflösung der
Aluminiumschicht beim nachfolgenden Waschen des Gegenstandes unterbleibt.
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Claims (7)
1. Verfahren zum Freilegen einer unter einer mit Flußsäure ätzbaren isolierenden Deckschicht liegenden,
mit Flußsäure pjssivierbaren metallischen Leiterschicht,
bei dem die Deckschicht mit einer Flußsäure, enthaltenden Ätzlösung behandelt wird, bis
die metallische Leiterschicht freigelegt und durch Bildung eines unlöslichen Metallfluorids passiviert
ist, dadurch gekennzeichnet, daß die passivierte
metallische Lederschicht, um zu verhindern, daß sie bei einem nachfolgenden Waschen zerstört
wird, anschließend an die Ätzung mit einer Flußsäure-freien Lösung von Ammoniumfluorid behandelt
wird.
2. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß als Ätzlösung eine Lösung von Flußsäure
und Ammoniumfluorid verwendet wird.
3. Verfahren nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß die passivierte metallische Leiterschicht
nach der Behandlung mit der Flußsäurefreien Lösung von Ammoniumfluorid mit Wasser
gewaschen wird.
4. Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die metallische
Leiterschicht aus Aluminium besteht.
5. Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die isolierende
Deckschicht aus Siliciumdioxid besteht.
6. Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die isolierende
Deckschicht vor der Behandlung mit der Ätzlösung selektiv maskiert wird.
7. Verfahren zum Herstellen einer integrierten Halbleiterschaltung mit einem Halbleiterkörper aus
Silicium, bei der die metallische Leiterschicht mit dotiertem Silicium in Berührung steht, dadurch gekennzeichnet,
daß zum Freilegen der metallischen Leiterschichten das Verfahren nach ein?m der Ansprüche
1 bis 6 verwendet wird.
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