DE2506998C2 - Akustischer Meßwertumformer - Google Patents
Akustischer MeßwertumformerInfo
- Publication number
- DE2506998C2 DE2506998C2 DE2506998A DE2506998A DE2506998C2 DE 2506998 C2 DE2506998 C2 DE 2506998C2 DE 2506998 A DE2506998 A DE 2506998A DE 2506998 A DE2506998 A DE 2506998A DE 2506998 C2 DE2506998 C2 DE 2506998C2
- Authority
- DE
- Germany
- Prior art keywords
- piezoelectric element
- chamber
- jacket
- transducer according
- acoustic
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired
Links
- 239000004020 conductor Substances 0.000 claims description 22
- 238000013016 damping Methods 0.000 claims description 21
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 claims description 17
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims description 17
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 15
- 230000008878 coupling Effects 0.000 claims description 7
- 238000010168 coupling process Methods 0.000 claims description 7
- 238000005859 coupling reaction Methods 0.000 claims description 7
- 238000004804 winding Methods 0.000 claims description 7
- PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N Nickel Chemical compound [Ni] PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 6
- KDLHZDBZIXYQEI-UHFFFAOYSA-N Palladium Chemical compound [Pd] KDLHZDBZIXYQEI-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 6
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 claims description 6
- 239000012777 electrically insulating material Substances 0.000 claims description 6
- 229910000679 solder Inorganic materials 0.000 claims description 6
- OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N Carbon Chemical compound [C] OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 5
- 239000010439 graphite Substances 0.000 claims description 4
- 229910002804 graphite Inorganic materials 0.000 claims description 4
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 claims description 3
- 229910052759 nickel Inorganic materials 0.000 claims description 3
- 229910052763 palladium Inorganic materials 0.000 claims description 3
- 210000001503 joint Anatomy 0.000 claims description 2
- 239000000203 mixture Substances 0.000 claims description 2
- 238000007747 plating Methods 0.000 claims description 2
- 238000005476 soldering Methods 0.000 claims description 2
- 238000005259 measurement Methods 0.000 claims 2
- NEIHULKJZQTQKJ-UHFFFAOYSA-N [Cu].[Ag] Chemical compound [Cu].[Ag] NEIHULKJZQTQKJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims 1
- 238000005219 brazing Methods 0.000 claims 1
- 230000007547 defect Effects 0.000 claims 1
- 230000000284 resting effect Effects 0.000 claims 1
- 230000035945 sensitivity Effects 0.000 description 8
- 229910045601 alloy Inorganic materials 0.000 description 5
- 239000000956 alloy Substances 0.000 description 5
- PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N aluminium oxide Inorganic materials [O-2].[O-2].[O-2].[Al+3].[Al+3] PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- 238000009413 insulation Methods 0.000 description 5
- 244000258271 Galium odoratum Species 0.000 description 3
- 235000008526 Galium odoratum Nutrition 0.000 description 3
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 description 3
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 description 3
- 238000004026 adhesive bonding Methods 0.000 description 2
- 230000008901 benefit Effects 0.000 description 2
- 229910010293 ceramic material Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000004927 clay Substances 0.000 description 2
- 238000010276 construction Methods 0.000 description 2
- 239000013078 crystal Substances 0.000 description 2
- 230000001419 dependent effect Effects 0.000 description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 238000000034 method Methods 0.000 description 2
- 230000003647 oxidation Effects 0.000 description 2
- 238000007254 oxidation reaction Methods 0.000 description 2
- 230000008569 process Effects 0.000 description 2
- 239000010935 stainless steel Substances 0.000 description 2
- 229910001220 stainless steel Inorganic materials 0.000 description 2
- 238000004381 surface treatment Methods 0.000 description 2
- 238000002604 ultrasonography Methods 0.000 description 2
- 229910000531 Co alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910000640 Fe alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- UFHFLCQGNIYNRP-UHFFFAOYSA-N Hydrogen Chemical compound [H][H] UFHFLCQGNIYNRP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 206010026749 Mania Diseases 0.000 description 1
- KGWWEXORQXHJJQ-UHFFFAOYSA-N [Fe].[Co].[Ni] Chemical compound [Fe].[Co].[Ni] KGWWEXORQXHJJQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000002411 adverse Effects 0.000 description 1
- 230000002238 attenuated effect Effects 0.000 description 1
- 229910052799 carbon Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 1
- 230000006835 compression Effects 0.000 description 1
- 238000007906 compression Methods 0.000 description 1
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010949 copper Substances 0.000 description 1
- 239000007822 coupling agent Substances 0.000 description 1
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 1
- 230000004907 flux Effects 0.000 description 1
- 230000017525 heat dissipation Effects 0.000 description 1
- 229910052739 hydrogen Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000001257 hydrogen Substances 0.000 description 1
- 239000011810 insulating material Substances 0.000 description 1
- UGKDIUIOSMUOAW-UHFFFAOYSA-N iron nickel Chemical compound [Fe].[Ni] UGKDIUIOSMUOAW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000002955 isolation Methods 0.000 description 1
- 229910000833 kovar Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052451 lead zirconate titanate Inorganic materials 0.000 description 1
- HFGPZNIAWCZYJU-UHFFFAOYSA-N lead zirconate titanate Chemical compound [O-2].[O-2].[O-2].[O-2].[O-2].[Ti+4].[Zr+4].[Pb+2] HFGPZNIAWCZYJU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 238000013017 mechanical damping Methods 0.000 description 1
- 238000012544 monitoring process Methods 0.000 description 1
- TWNQGVIAIRXVLR-UHFFFAOYSA-N oxo(oxoalumanyloxy)alumane Chemical compound O=[Al]O[Al]=O TWNQGVIAIRXVLR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229920002647 polyamide Polymers 0.000 description 1
- 239000011819 refractory material Substances 0.000 description 1
- 239000003870 refractory metal Substances 0.000 description 1
- 230000004044 response Effects 0.000 description 1
- 230000004043 responsiveness Effects 0.000 description 1
- 229910052709 silver Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000004332 silver Substances 0.000 description 1
- 239000007787 solid Substances 0.000 description 1
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 1
- 239000006188 syrup Substances 0.000 description 1
- 235000020357 syrup Nutrition 0.000 description 1
- 230000001052 transient effect Effects 0.000 description 1
- 238000011282 treatment Methods 0.000 description 1
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N29/00—Investigating or analysing materials by the use of ultrasonic, sonic or infrasonic waves; Visualisation of the interior of objects by transmitting ultrasonic or sonic waves through the object
- G01N29/22—Details, e.g. general constructional or apparatus details
- G01N29/24—Probes
- G01N29/2437—Piezoelectric probes
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B06—GENERATING OR TRANSMITTING MECHANICAL VIBRATIONS IN GENERAL
- B06B—METHODS OR APPARATUS FOR GENERATING OR TRANSMITTING MECHANICAL VIBRATIONS OF INFRASONIC, SONIC, OR ULTRASONIC FREQUENCY, e.g. FOR PERFORMING MECHANICAL WORK IN GENERAL
- B06B1/00—Methods or apparatus for generating mechanical vibrations of infrasonic, sonic, or ultrasonic frequency
- B06B1/02—Methods or apparatus for generating mechanical vibrations of infrasonic, sonic, or ultrasonic frequency making use of electrical energy
- B06B1/06—Methods or apparatus for generating mechanical vibrations of infrasonic, sonic, or ultrasonic frequency making use of electrical energy operating with piezoelectric effect or with electrostriction
- B06B1/0644—Methods or apparatus for generating mechanical vibrations of infrasonic, sonic, or ultrasonic frequency making use of electrical energy operating with piezoelectric effect or with electrostriction using a single piezoelectric element
- B06B1/0662—Methods or apparatus for generating mechanical vibrations of infrasonic, sonic, or ultrasonic frequency making use of electrical energy operating with piezoelectric effect or with electrostriction using a single piezoelectric element with an electrode on the sensitive surface
- B06B1/0681—Methods or apparatus for generating mechanical vibrations of infrasonic, sonic, or ultrasonic frequency making use of electrical energy operating with piezoelectric effect or with electrostriction using a single piezoelectric element with an electrode on the sensitive surface and a damping structure
- B06B1/0685—Methods or apparatus for generating mechanical vibrations of infrasonic, sonic, or ultrasonic frequency making use of electrical energy operating with piezoelectric effect or with electrostriction using a single piezoelectric element with an electrode on the sensitive surface and a damping structure on the back only of piezoelectric elements
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01F—MEASURING VOLUME, VOLUME FLOW, MASS FLOW OR LIQUID LEVEL; METERING BY VOLUME
- G01F1/00—Measuring the volume flow or mass flow of fluid or fluent solid material wherein the fluid passes through a meter in a continuous flow
- G01F1/66—Measuring the volume flow or mass flow of fluid or fluent solid material wherein the fluid passes through a meter in a continuous flow by measuring frequency, phase shift or propagation time of electromagnetic or other waves, e.g. using ultrasonic flowmeters
- G01F1/662—Constructional details
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N29/00—Investigating or analysing materials by the use of ultrasonic, sonic or infrasonic waves; Visualisation of the interior of objects by transmitting ultrasonic or sonic waves through the object
- G01N29/14—Investigating or analysing materials by the use of ultrasonic, sonic or infrasonic waves; Visualisation of the interior of objects by transmitting ultrasonic or sonic waves through the object using acoustic emission techniques
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N2291/00—Indexing codes associated with group G01N29/00
- G01N2291/02—Indexing codes associated with the analysed material
- G01N2291/025—Change of phase or condition
- G01N2291/0252—Melting, molten solids
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N2291/00—Indexing codes associated with group G01N29/00
- G01N2291/02—Indexing codes associated with the analysed material
- G01N2291/028—Material parameters
- G01N2291/02836—Flow rate, liquid level
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N2291/00—Indexing codes associated with group G01N29/00
- G01N2291/02—Indexing codes associated with the analysed material
- G01N2291/028—Material parameters
- G01N2291/02854—Length, thickness
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N2291/00—Indexing codes associated with group G01N29/00
- G01N2291/04—Wave modes and trajectories
- G01N2291/042—Wave modes
- G01N2291/0423—Surface waves, e.g. Rayleigh waves, Love waves
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Immunology (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Biochemistry (AREA)
- General Health & Medical Sciences (AREA)
- Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- Health & Medical Sciences (AREA)
- Pathology (AREA)
- Fluid Mechanics (AREA)
- Electromagnetism (AREA)
- Acoustics & Sound (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Investigating Or Analyzing Materials By The Use Of Ultrasonic Waves (AREA)
- Measurement Of Mechanical Vibrations Or Ultrasonic Waves (AREA)
- Transducers For Ultrasonic Waves (AREA)
- Piezo-Electric Transducers For Audible Bands (AREA)
Description
Die Erfindung betrifft einen akustischen Meßwertumformer mit einer im wesentlichen rohrförmigen metallischen
Kammer, die neben akustisch dämpfenden sowie elektrisch isolierendem Material ein piezoelektrisches
Element enthält und an einem Ende für das piezoelektri-
if sehe Element ein abgedichtetes akustisches Übertra-
£ gungsfenster bildet, mit einem, einem ersten elektri-
■■■ sehen Anschluß zugeordneten ersten elektrischen Lei-
;; ter, der mit derjenigen Seite des piezoelektrischen EIe-
y, mentes elektrisch verbunden ist, welche innerhalb der
■/ Kammer nach innen gerichtet ist, und welcher Leiter
f; sich durch das elektrisch isolierende Material hindurch
ί erstreckt, sowie mit einer, einen zweiten elektrischen
:> Anschluß mit dem piezoelektrischen Element herstellu
lenden Elektrode. '■: Ein derartiger akustischer Meßwertumformer ist aus
% der DE-OS 23 30 542 bereits bekannt
ν· Derartige akustische Meßwertumformer lassen sich r> als elektro-akustische Meßfühlerelemente, insbesonde- '.:' re als Durchflußmengen-Detektoren sowie als Detek- };; toren für Risse in Metallgefäßen verwenden. In seiner £ einfachsten Form ist ein piezoelektrisches Element aku-H stisch mit dem Medium verbunden, welches abgefühlt ι werden soll, wobei das von dem piezoelektrischen EIe-4> ment abgeleitete Signal den Zustand des untersuchten Mediums anzeigt Auf Schallemission ansprechende Meßwertumformer, die als passive Detektoren arbeiten und das von sich verbreiternden Rissen ausgehende Geräusch messen, lassen sich zur Überwachung der Metallwand von Kernreaktordruckgefäßen einsetzen. Elektro- ; akustische Meßwertumformer dieser Bauart sind an der Außenwand des Druckgefäßes befestigt und verbleiben - an einer Stelle zur Überwachung des Zustandes der ; Gefäßwand während des Betriebs. Für diesen Verwendungszweck muß der Meßwertumformer jedoch die hohen Temperaturen sowie die Sirahlungsbeiastung aushalten, die von dem Reaktorgefäß ausgehen. Hierzu ist die Verwendung einer metallischen, gegenüber hohen Temperaturen beständigen rohrförmigen metallischen Kammer für das (aktive) piezoelektrische Element von Wichtigkeit, welche metallische Kammer das Element dicht umschließt. An einem Ende der Wandleranordnung ist ein dünner, metallischer, für akustische Schallenergie durchlässiger Bereich (Fenster) vorgesehen, welcher Bereich mechanisch und akustisch mit der zu überwachenden Einrichtung, wie beispielsweise das erwähnte Druckgefäß eines Kernreaktors, verbunden ist. Natürlich muß auch innerhalb der Kammer für eine wirksame akustische Kopplung zwischen dem Fensterbereich und dem piezoelektrischen Element gesorgt werden, was beim eingangs erwähnten Stand der Technik durch Verklebung bewerkstelligt wird, beispielsweise mittels eines organischen Klebemittels auf Polyamidbasis.
ν· Derartige akustische Meßwertumformer lassen sich r> als elektro-akustische Meßfühlerelemente, insbesonde- '.:' re als Durchflußmengen-Detektoren sowie als Detek- };; toren für Risse in Metallgefäßen verwenden. In seiner £ einfachsten Form ist ein piezoelektrisches Element aku-H stisch mit dem Medium verbunden, welches abgefühlt ι werden soll, wobei das von dem piezoelektrischen EIe-4> ment abgeleitete Signal den Zustand des untersuchten Mediums anzeigt Auf Schallemission ansprechende Meßwertumformer, die als passive Detektoren arbeiten und das von sich verbreiternden Rissen ausgehende Geräusch messen, lassen sich zur Überwachung der Metallwand von Kernreaktordruckgefäßen einsetzen. Elektro- ; akustische Meßwertumformer dieser Bauart sind an der Außenwand des Druckgefäßes befestigt und verbleiben - an einer Stelle zur Überwachung des Zustandes der ; Gefäßwand während des Betriebs. Für diesen Verwendungszweck muß der Meßwertumformer jedoch die hohen Temperaturen sowie die Sirahlungsbeiastung aushalten, die von dem Reaktorgefäß ausgehen. Hierzu ist die Verwendung einer metallischen, gegenüber hohen Temperaturen beständigen rohrförmigen metallischen Kammer für das (aktive) piezoelektrische Element von Wichtigkeit, welche metallische Kammer das Element dicht umschließt. An einem Ende der Wandleranordnung ist ein dünner, metallischer, für akustische Schallenergie durchlässiger Bereich (Fenster) vorgesehen, welcher Bereich mechanisch und akustisch mit der zu überwachenden Einrichtung, wie beispielsweise das erwähnte Druckgefäß eines Kernreaktors, verbunden ist. Natürlich muß auch innerhalb der Kammer für eine wirksame akustische Kopplung zwischen dem Fensterbereich und dem piezoelektrischen Element gesorgt werden, was beim eingangs erwähnten Stand der Technik durch Verklebung bewerkstelligt wird, beispielsweise mittels eines organischen Klebemittels auf Polyamidbasis.
Zur Unterdrückung von unerwünschten Schwingungserscheinungen ist bei der bekannten Anordnung
der in der Kammer verbleibende Hohlraum mit einem Dämpfungsmaterial gefüllt, das gleichzeitig auch einen
elektrisch isolierenden Mantel bildet.
Zur Ableitung der elektrischen Signale, die in dem piezoelektrischen Element durch Schallenergie erzeugt
werden, dient ein elektrischer Leiter, der (über eine gleichfalls am piezoelektrischen Element durch Klebung
befestigte) Elektrode am piezoelektrischen Element angeschlossen ist. Der zweite Anschluß erfolgt
über die rohrförmige metallische Kammer.
Nachteilig bei der bekannten Konstruktion ist zum einen, daß zum korrekten Verbinden des piezoelektrischen
Elementes mit der metallischen Kammer einerseits und mit der Leitungselektrode andererseits sorgfältige
mechanische und chemische Behandlung der in Kontakt gelangenden Oberfläche notwendig ist, wobei
als weiterer Nachteil ein späterer Austausch eines derartig montierten piezoelektrischen Elementes nicht
oder zumindest nur mit großen Schwierigkeiten möglich ist Dies ist insbesondere dann von Nachteil, wenn
der akustische Meßwertumformer seinerseits durch eine Klebeverbindung mit der zu überwachenden Wand
verbunden wurde und daher gleichfalls nur schwer ausgewechselt werden kann.
Aufgabe der Erfindung ist es, den akustischen Meßwertumformer der eingangs genannten Art, der auch
unier widrigen Umgangsbedingungen zuverlässig arbeitet,
dahingehend zu verbessern, daß er keine aufwendigen Oberflächenbehandlungen der mechanischen
bzw. elektrischen Kontaktflächen erfordert und außerdem im Bedarfsfall ohne große Probleme einen Austausch
des piezoelektrischen Elementes gestattet
Gelöst wird die Aufgabe dadurch, daß bei einem akustischen
Meßwertumformer der eingangs genannten Art das akustisch dämpfende Material elektrisch leitet
und im Kontakt mit derjenigen Seite des piezoelektrischen Elementes steht, die innerhalb der Kammer nach
innen gerichtet ist, daß das akustisch dämpfende, elektrisch leitende Material unmittelbar von dem elektrisch
isolierenden Material in Form eines Mantels umgeben ist daß ein einteiliges Druckglied innerhalb der Kammer
vorgesehen ist, das den elektrisch isolierenden Mantel gegen das Dämpfungsmaterial und dieses dadurch
gegen das piezoelektrische Element drückt, und daß ein zweiter, mit der Elektrode des piezoelektrischen
Elementes verbundener elektrischer Leiter sich ebenfalls durch den Mantel erstreckt
Dadurch, daß das akustisch dämpfende Material elektrisch leitet und im Kontakt mit derjenigen Seite des
piezoelektrischen Elementes steht, die innerhalb der Kammer nach innen gerichtet ist, ergibt sich zum einen
der Vorteil, daß Schallreflektionen, wie sie beim Stand der Technik an der dort benutzten Elektrode noch auftreten
können, hier abgedämpft werden, andererseits sich die Möglichkeit eröffnet, auf dieses elektrisch leitende,
dämpfende Material einen Anpreßdruck auszuüben, der über einen elektrisch isolierenden Mantel von
einem Druckglied (Druckfeder 57) aufgebracht wird, welche beiden Bauteile ebenfalls innerhalb der Kammer
angeordnet sind. Diese Konstruktion ermöglicht in einfacher Weise den netwendigen elektrischen und mechanischen
Kontakt zwischen den aktiven Wandlerelementen und dem akustischen Fensterbereich für die Schallenergie
sowie für die Anschlußelektroden, ohne daß dazu komplizierte Oberflächenbehandlungen zur Herstellung
zuverlässiger Klebeflächen notwendig wären. Hinzu kommt der Vorteil, daß das piezoelektrische Element
problemlos ausgetauscht werden kann.
Zwar ist aus der US-PS 35 69 749 an sich bereits bekannt, ein piezoelektrisches Element durch Federkraft
unter Zwischenschaltung weiterer Elemente in einem Gehäuse einzuspannen, jedoch geht es bei dieser
Druckschrift im wesentlichen um möglichst günstige Wärmeableitungseffekte, während das Problem der
Dämpfung von störenden Schwingungen nicht angesprochen wird und daher die dort gewählte Konstruktion
nicht ohne weiteres auf den hier vorliegenden Fall übertragen werden kann.
Von Bedeutung ist auch, daß der zweite, mit der anderen Elektrode des piezoelektrischen Elementes verbundene
elektrische Leiter sich ebenfalls durch das Isoliermaterial hindurch erstreckt, wie der erste Leiter auch,
weil dadurch eine im wesentlichen symmetrische Anordnung geschaffen werden kann, was bei bestimmten
Meßschaltungen von Vorteil ist. Beim Stand der Tech-
nik dient dagegen das Gehäuse als zweiter elektrischer Verbindungsweg zum piezoelektrischen Element. Dadurch
können unerwünschte Erdschleifen entstehen, die Störsignale erzeugen können.
Im folgenden wird ein Ausführungsbeispiel eines akustischen Meßwertumformers unter Bezugnahme auf die
Figuren erläutert; es stellt dar
F i g. 1 eine Seitenansicht des Meßwertumformers im Kontakt mit einem Metallgefäß,
F i g. 2 eine Querschnittsansicht des vorderen Teiles des Meßwertumformers, und
F i g. 3 ein schematisches elektrisches Schaltbild zur Erläuterung der Bauteile des Meßwertumformers.
Gemäß F i g. 1 befindet sich der Meßwertumformer 10 in einer Position im Kontakt mit einer metallischen
Gefäßwand 12. Der Meßwertumformer 10 wird im Kontakt mit der Gefäßwand 12 durch eine federbelastete
Halteeinrichtung 14 gehalten, welche mit der Gefäßwand 12 mechanisch verbunden oder durch eine nicht
dargestellte Magnetkupplung stationär befestigt sein kann. Die Haltefeder 15 erstreckt sich zwischen der Halteeinrichtung
14 und einem Flansch 17, welcher um ein Vorderteil 16 herum angeordnet ist
Der Meßwertumformer 10 enthält neben dem Vorderteil 16 einen flexiblen Leitungsabschnitt mit Anschlußgliedern
18 und einen als Übertragergehäuse ausgebildeten Endabschnitt 20.
Das Vorderteil 16 ist deutlicher aus F i g. 2 ersichtlich. Es enthält eine im allgemeinen rohrförmige, gegenüber
hohen Temperaturen beständige metallische Kammer bzw. Hülle 22. Die Kammer 22 besteht aus einer Nickel-Eisen-Kobalt-Legierung
und ist gegenüber hohen Temperaturen beständig und auch im allgemeinen chemisch widerstandsfähig. Es können jedoch auch andere Nikkel-Eisen-Legierungen
verwendet werden. Die leitfähige Metallkammer 22 ist auch elektrisch geerdet und
dient als Abschirmung, so daß die Ausbildung von Erdschleifen in der Meßfühlerschaltung vermieden wird.
Ein metallisches, gegenüber hohen Temperaturen beständiges Umformerfenster 24, welches in diesem Beispiel
als dünne Metallscheibe ausgebildet ist ist an einem Ende der Kammer 22 eingelötet. Das Abschirmungsfenster
24 besteht aus derselben Legierung wie die Kammer 22. Das scheibenförmige, isolierende Keramikfenster
26, welches auf beiden Hauptflächen metallisiert ist ist auf die Innenfläche des Endfensters 24 aufgelötet
Das isolierende Scheibenfenster 26 besteht aus Aluminiumoxid, einem keramischen Material mit hoher
Schallgeschwindigkeit und einer guten spezifischen akustischen Impedanzanpassung an das Metallfenster 24.
Aluminiumoxid hat auch einen sehr geringen Abschwächur.gskceffizienten
gegenüber Ultraschall und hat eine relativ niedrige Dielektrizitätskonstante. Das metallische
Abschirmungsfenster 24 ist ein relativ dünnes Glied mit einer maximalen Dicke von etwa 0,75 mm und
einem Kontaktdurchmesser von etwa 3,3 mm. Der Oberflächenkontaktbereich wird durch den Abschnitt
der Außenfläche des Umformers gebildet welcher sich in akustischem Kontakt mit dem untersuchten Teil, beispielsweise
der Wand eines Druckgefäßes befindet Der Durchmesser des Flächenkontakts des Fensters ist etwa
gleich der Hälfte der Wellenlänge einer Oberflächenwelle nach Rayleigh bei einer Frequenz von etwa
500 kHz. Ein geeigneter Bereich von Betriebsfrequenzen für die erläuterte Umformeranordnung erstreckt
sich von 300 bis 700 kHz.
Der Durchmesser des Oberflächenkontaktes des Fensters ist nicht kritisch, jedoch könnten größere Kontaktdurchmesser
die Ansprechempfindlichkeit wegen WeI-lenauslöschung herabsetzen, während wesentlich kleinere
Durchmesser die Ansprechempfindlichkeit durch Herabsetzung der Apertur beeinträchtigen würden,
durch welche die akustische Energie hindurchgelassen wird. Der Oberflächehkontaktdurchmesser des Fensters
ist derart gewählt, daß eine gute akustische Kopplung erreicht wird, indem die Fläche des Meßwertumformers
gegen die Gefäßwandung 12 mit einer Druckkraft von etwa 13 kp gedrückt wird, welche durch die federbelastete
Halterungseinrichtung 14 ausgeübt wird. Bei einer solchen Druckkraft ist kein flüssiges Kopplungsmittel
erforderlich. Die Dicke von 0,75 mm des Fensters ergibt eine ausreichende Festigkeit und erhält eine gute akusti-
sehe Übertragung ohne die Ausbildung von Stehwellen,
aufrecht. Die parallelen Flächen des Metallfensters 24 sind flach und haben eine Rauhigkeit von etwa
0,203 mm, um eine gute akustische Kopplung der Fläche mit kleinem Durchmesser mit dem überprüften Teil und
eine gute Lötverbindung der Fläche mit großem Durchmesser und dem Tonerdekeramikmaterial sicherzustellen.
Das isolierende scheibenförmige Fenster 26 aus Tonerde hat typischerweise einen Durchmesser von etwa
5 mm und eine Dicke von etwa 0,64 mm. Der Durchmesser des Fensters 26 ist auf die piezoelektrische
Scheibe 28 abgestimmt, mit welcher das Fenster verlötet wird. Das isolierende Scheibenfenster 26 hat eine
Dicke, die kleiner als die Wellenlänge von Schall in Tonerde bei einer Frequenz von 500 kHz ist. Die Scheibe 26
aus Tonerde ist auf beiden Hauptflächen durch ein bekanntes Molymanganverfahren metallisiert, wodurch
feuerfeste Metalle chemisch mit der üblicherweise inerten Tonerde bei einer wesentlich erhöhten Temperatur
in Wasserstoffatmosphäre gebondert und danach mit Nickel plattiert werden. Die Nickelplattierung dient sowohl
dazu, das feuerfeste Material gegen Oxidation während des Betriebs des Meßwertumformers bei hoher
Temperatur zu schützen als auch als eine Art Flußmittel während des Anlötens der Isolationsscheibe an
dem Metallfenster 24.
Ein Anschluß des Meßwertumformers an negatives Potential ist als ringförmiges Glied 30 mit dem gleichen
Gesamtdurchmesser wie die Isolationsscheibe 26 ausgebildet und an der Isolationsscheibe angelötet und hat
eine zentrale Öffnung 32. Ein elektrischer Leiter 34 ist mit dem Anschluß 30 verbunden. Die ringförmige Klemme
30 besteht ebenfalls aus Kovar und der Innendurchmesser der öffnung 32 ist zur Aufnahme der piezoelektrischen
Scheibe 28 geeignet Ein Ende der piezoelektrisehen Scheibe 28 befindet sich daher in Kontakt mit der
metallisierten Oberfläche des isolierenden Scheibenfen-
Scheibe 28 hat eine typische Abmessung von etwa 23 mm und etwa 1,9 mm Dicke. Diese Werte sind derart
ausgewählt daß das beste elektroakustische Verhalten im Bereich der Betriebsfrequenzen von 300 bis 700 kHz
erhalten wird. Die piezoelektrische Scheibe 28 besteht bespielsweise aus einem Blei-Zirkonat-Titanat und ist
elektrisch in axialer Richtung gepolt Das zugehörige Material hat eine hohe Ansprechempfindlichkek, Widerstandsfähigkeit
und Stabilität über einen weiten Temperaturbereich. Wie noch erläutert wird, ist die
elektroakustische Empfindlichkeit relativ wenig von der Temperatur abhängig.
In Richtung der piezoelektrischen Scheibe 28 ist ein
stangenförmiger Dämpfungsblock 36 angeordnet der an einem Ende mit der Scheibe 28 in Kontakt steht Der
Dämpfungsblock 36 besteht aus einem elektrisch leitfä-
higen Material, beispielsweise Graphit oder aus Kohle/ Graphit zusammengesetzten Materialien, welche derart
ausgewählt sein müssen, daß sie gute mechanische Dämpfungseigenschaften für Ultraschall, eine gute elektrische
Leitfähigkeit, eine mäßige Empfindlichkeit gegenüber hohem Druck und eine gute Oxidationsbeständigkeit
bei erhöhten Temperaturen aufweisen. Es ist wichtig, daß die Endfläche des Dämpfungsblockes, welche
den Kontakt mit der piezoelektrischen Scheibe ausbildet, so geschliffen wird, daß sie flach ist und eine
Rauhigkeit von 0,203 mm hat. Dadurch wird eine trokkene akustische Kopplung des Dämpfungsblocks mit
dem piezoelektrischen Element erleichtert. Insbesondere Graphit hat sich als gut leitfähiges Dämpfungsmaterial
herausgestellt und verbessert die Ansprechempfindlichkeit der Anordnung durch Reduzierung von störenden
Einschwingvorgängen.
In die Kammer 22 ist um den Dämpfungsblock 36 ein längsgestreckter Isolationsmantel 38 eingepaßt. Der
Isolationsmantel 38 hat einen Endabschnitt 40 mit großem Durchmesser am vorderen Ende nahe dem piezoelektrischen
Element. Eine den Dämpfungsblock aufnehmende Kammer 42 ist zentral in dem Endabschnitt
40 mit vergrößertem Durchmesser des Isoliermantels 38 ausgebildet. Diese Kammer 42 ist durch eine sich zentral
erstreckende Kammer 50 mit kleinerem Durchmesser fortgesetzt, welche als Durchgang für eine elektrische
Durchführung durch den Isolationsmantel 38 dient. Ein Leiter 43 ist mit einem Anschluß 44 für positives Potential
verbunden, welcher aus einem leitfähigen Metallglied mit einer abgeflachten Endfläche mit einem
Durchmesser besteht, der etwa gleich demjenigen des Dämpfungsblocks 36 entspricht und an diesem anliegt.
Die Metallelektrode 44 ist ein kolbenähnliches Glied mit einem Kopfstück 46 und einem stangenförmigen Abschnitt
48. Das Kopfstück 46 und der Dämpfungsblock 36 sind in einer Kammer zur Aufnahme des Dämpfungsblocks eingepaßt, die in dem Isolationsmanie! 38 ausgebildet
ist
Eine Druckplatte 52 mit Außengewinde ist mit dem Innengewinde 54 der Kammer 22 an dem dem Fensterabschnitt
gegenüberliegenden Ende verschraubt Durch die Druckplatte erstreckt sich eine zentrale öffnung 56.
und der Durchmesser der Druckplatte ist ausreichend bemessen, so daß der Isolationsmantel hindurchgelangen
kann. Um den Isolationsmantel 38 herum erstreckt sich eine auch bei hohen Temperaturen beständige
Scheibenfederanordnung 57, die sich zwischen der Druckplatte 52 und dem Endabschnitt 40 mit vergrößertem
Durchmesser des Isolationsmantels 38 erstreckt Wenn die Druckplatte 52 durch den Eingriff mit der
(^A.<.;«Jnfi^u9 ca J-- ν *v* r *. ,ι ι_* : ι
u^niiiuciiauic jr uci ivaiiiuiGi A^ lcaigcaCiuduui wiiu,
wird die Scheibenfeder zusammengedrückt und hält die Umformerabschnitte in der Kammer unter dem Einfluß
der Druckkraft zusammen. Eine Scheibenfeder gibt eine relativ hohe Druckkraft bei einem kurzen Hub auf kleinem
Raum. Es kann eine Anzahl von Scheibenfedern mechanisch in Reihe verbunden sein, um die gewünschte
Druckkraft auszuüben, welche beispielsweise 13 kp betragen kann, wodurch ein Druck von 151,8 kp/cm2
entsteht, welcher auf die piezoelektrische Scheibe mit einem Durchmesser von etwa 0,25 mm einwirkt Entlang
der Länge des Isolationsmantels 38 ist eine Durchführungsöffnung 58 vorgesehen, welche den Durchgang
des Leiters 34 gestattet, der mit dem Anschluß 30 für negatives Potential verbunden ist
Die Lötverbindung, die zwischen dem Metallfenster 24, dem isolierenden Scheibenfenster 26 und auf der
Fläche der Isolationsscheibe angebracht ist, mit welcher die piezoelektrische Scheibe unter Druck verbunden ist,
enthält einen Prozentsatz eines relativ dehnbaren metallischen Bestandteiles, beispielsweise Palladium, welches
hinreichend mechanisch anpassungsfähig ist, so daß eine von Fehlstellen freie akustisch durchlässige
Stoßverbindung ausgebildet wird. Eine speziell geeignete Lötlegierung hat eine nominelle Zusammensetzung
von 58% Silber, 32% Kupfer und 10% Palladium. Sie verflüssigt sich bei 852°C und erstarrt bei 824°C. Die
Lötlegierung wird in einer vorgeformten Scheibe von etwa 5 mm Durchmesser und etwa 0,25 mm Dicke verwendet.
Beim Erhitzen bondert die Lötlegierung das isolierende Scheibenfenster 26 mit dem Metallfenster 24
und der ringförmigen Klemme 30 für negatives Potential. Zusätzlich bedeckt die Lötlegierung die freiliegende
Fläche des Fensters 26, wodurch die nachfolgende trokkene akustische Kopplung der piezoelektrischen Scheibe
28 mit dem Fenster 26 insbesondere aufgrund der Druckkraft erleichtert wird, die auf das Fenster durch
die Scheibenfederanordnung 57 ausgeübt wird,
Mit dem offenen Ende der im allgemeinen rohrförmigen Kammer 22 ist ein längsgestrecktes flexibles Metallführungsglied
18 abgedichtet, und die positiven und negativen elektrischen Leitungen sind durch diesen flexiblen
Leitermantel hindurchgeführt und gehalten. Der Leitermantel enthält eine luftdichte Manschette aus
nicht-rostendem Stahl mit einem Innendurchmesser von 6,2 mm über einer doppelt geflochtenen Hülle aus nichtrostendem
Stahl und ist mit festen rohrförmigen Endfassungen versehen. Der Leitermantel ist luftdicht zur
Kammer 22 abgedichtet Ein Gehäuseendabschnitt 20 für einen Übertrager ist luftdicht am anderen Ende des
flexiblen Leitermantels 18 abgedichtet und enthält einen im allgemeinen rohrförmigen Körper, innerhalb dessen
sich ein Übertrager mit einem Topfkern befindet. Der Übertrager ist derart dimensioniert, daß er die elektrische
Ausgangsimpedanz des piezoelektrischen Elementes an die Impedanz der Übertragungsleitung anpaßt,
welche das Signal an das elektronische Abfühlsystem überträgt Ein luftdicht abgeschlossenes Kammerglied
60 befindet sich am Ende des Gehäuseendabschnittes 20 für den Übertrager, und durch dieses Endglied 60 erstrecken
sich elektrische Ausgangsleitungen zur Ver-
bindung des Meßwertumformers mit der Übertragungsleitung.
In Fig.3 ist schematisch ein elektrisches Schaltbild
des Meßwertumformers 10 dargestellt wobei der zusammengesetzte Aufbau mit der Kammer 22, dem metallischen
Fenster 24, dem Leitermantel 18, dem Gehäuseendabschnitt 20 für den Übertrager und das Kammer-
gncu w dia i^icxtii lävii gbwiutti. ivaiiiiiicinaiiu uaigc*
stellt sind, die elektrisch in Reihe mit dem metallisierten akustischen Tonerdefenster verbunden ist welches die
elektrische Kapazität CVhat Die elektrische Ausgangsimpedanz
des piezoelektrischen Kristalls ist komplex aufgrund der vielen mechanischen Resonanzen, welche
sich in dem interessierenden Frequenzband ausbilden. Aus diesem Grund ist diese Impedanz mit Zc bezeichnet
Das in dem Kristall erzeugte elektrische Signal ist mit Ec bezeichnet, und die elektrische Kapazität zwischen
den positiven und negativen Leitungen gleicht CpN- Die Kapazität zwischen der positiven Leitung und
der Abschirmung und zwischen der negativen Leitung und der Abschirmung ist mit Cps und Css bezeichnet
Die Induktivität Lp stellt die Leerlaufinduktivität der Primärwicklung des Übertragers dar und C bezeichnet
die .gesamte Wicklungskapazität des Übertragers, bezo-
ίο
gen auf die Primärseite. Afc ist die Nummer der Windungen
der Primärwicklung und Ns ist die Anzahl der Windungen
der Sekundärwicklung. Der Mittelpunkt der Sekundärwicklung ist geerdet, so daß der Ausgang des
Übertragers elektrisch gegenüber Masse abgeglichen ist. Die leitfähige Kammer 22, die flexible Leitung 18
und der leitfähige Übertrager umfassen die elektrisch geerdete Abschirmung, welche in F i g. 3 um die aktiven
Bauteile herum angedeutet ist.
Der Abschlußwiderstand Ro entspricht der Impedanz
des Meßwertumformers. Es ist üblich, daß der Ausgang des Umformers direkt mit einem Verstärker mit hoher
Eingangsimpedanz verbunden wird, statt die Leitung gemäß F i g. 3 abzuschließen und das Ausgangssignal an
dem Widerstand Ro abzunehmen. Es wurde herausgefunden, daß ein solcher Abschluß die bisher beobachtete
große Variationsbreite der Temperaturempfindlichkeit herabsetzt. Bei dieser Belastung ist die elektroakustische
Empfindlichkeit relativ wenig abhängig von der Temperatur. Die Empfindlichkeit der Anordnung nimmt
nur um etwa 1,5 dB ab, wenn die Betriebstemperatur gegenüber der Raumumgebungstemperatur auf 287° C
erhöht wird.
Hierzu 1 Blatt Zeichnungen
30
35
40
45
50
55
«0
65
Claims (10)
- Patentansprüche:L Akustischer Meßwertumformer mit einer im wesentlichen rohrförmigen metallischen Kammer (22), die neben akustisch dämpfendem sowie elektrisch isolierendem Material (36,38) ein piezoelektrisches Element (28) enthält und an einem Ende für das piezoelektrische Element (28) ein abgedichtetes akustisches Übertragungsfenster (24) bildet, mit einem, einem ersten elektrischen Anschluß zugeordneten ersten elektrischen Leiter (43), der mit derjenigen Seite des piezoelektrischen Elementes (28) elektrisch verbunden ist, welche innerhalb der Kammer (22) nach innen gerichtet ist, und welcher Leiter (43) sich durch das elektrisch isolierende Material (38) hindurch erstreckt, sowie mit einer, einen zweiten elektrischen Anschluß mit dem piezoelektrischen Element (28) herstellenden Elektrode (30), dadurch gekennzeichnet, daß das akustisch dämpfende Material (36) elektrisch leitet und im Kontakt mit derjenigen Seite des piezoelektrischen Elementes (28) steht, die innerhalb der Kammer (22) nach innen gerichtet ist, daß das akustisch dämpfende, elektrisch leitende Material (36) unmittelbar von dem elektrisch isolierenden Material in Form eines Mantels (38) umgeben ist, daß ein einteiliges Druckglied innerhalb der Kammer (22) vorgesehen ist, das den elektrisch isolierenden Mantel (38) gegen das Dämpfungsmaterial (36) und dieses dadurch gegen das piezoelektrische Element (28) drückt, und daß ein zweiter, mit der Elektrode (30) des piezoelektrischen Elementes (28) verbundener elektrischer Leiter (34) sich ebenfalls durch den Mantel (38) erstreckt.
- 2. Meßwertumformer nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß das Druckglied eine um den langgestreckten, elektrisch isolierenden Mantel (38) herum angeordnete Federeinrichtung (57) aufweist, ein Ende der Federeinrichtung an dem Mantel (38) anliegt und das andere Ende der Federeinrichtung (57) durch ein Abschlußglied (52) gehalten wird, welches längs der Achse der rohrförmigen Kammer (22) derart bewegbar ist, daß ein vorbestimmter Druck auf den Mantel (38) ausgeübt wird und der Mantel (38) das akustisch dämpfende und elektrisch leitende Material (36) in Form eines Stabes erfaßt.
- 3. Meßwertumformer nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß der langgestreckte, elektrisch isolierende Mantel (38) einen im wesentlichen zylindrischen Körper mit einer Kammer (42) an einem Ende zur Aufnahme des Stabes und einen Abschnitt (40) mit vergrößertem Durchmesser an dem Ende nahe des Stabes aufweist und die Federeinrichtung (57) gegen diesen Abschnitt mit vergrößertem Durchmesser abgestützt ist.
- 4. Meßwertumformer nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, daß eine Elektrode (48,44) für positives Potential innerhalb der den Stab aufnehmenden Kammer des Mantels (38) eingesetzt ist und eine ebene Fläche aufweist, die unter Druck gegen die Stirnfläche des Stabes abgestützt ist.
- 5. Meßwertumformer nach einem der Ansprüche 1 bis 4, dadurch gekennzeichnet, daß das akustische Übertragungsfenster (24) für das piezoelektrisehe Element (28) ein gegenüber hohen Temperaturen beständiges, elektrisch isolierendes dünnes Scheibenglied aufweist, das akustisch mit einer Fläche des metallischen Fensterbereiches der Kammer (22) gekoppelt ist, wobei das piezoelektrische Element (28), das ebenfalls eine dünne Scheibe darstellt, akustisch mit der anderen Seite der isolierenden Scheibe (26) gekoppelt ist.
- 6. Meßwertumformer nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, daß beide Seiten der isolierenden Scheibe (26) mit einer hitzebeständigen Metallschicht metallisiert und mit einer auf dieser Schicht befindlichen Nickelplattierungsschicht versehen sind.
- 7. Meßwertumformer nach Anspruch 5 oder 6, dadurch gekennzeichnet, daß die Elektrode (30) für negatives Potential ein ringförmiges Metallglied umfaßt, das auf der metallisierten Oberfläche der isolierenden Scheibe (26) angeordnet ist, welche dem piezoelektrischen Element (28) gegenüberliegt, und daß das piezoelektrische Element innerhalb des durch die Elektrode (30) definierten ringförmigen Bereichs angeordnet ist
- 8. Meßwertumformer nach Anspruch 7, dadurch gekennzeichnet, daß das den Meßwertumformer abschirmende Fenster, die metallisierte Scheibe (26) und die Elektrode (30) für negatives Potential akustisch durch eine Stoßlötverbindung miteinander verbunden sind und das Lötmaterial bei hohen Temperaturen beständig und mechanisch derart beschaffen ist, daß die Bildung einer akustisch durchlässigen Stoßverbindung ohne Fehlstellen dadurch sichergestellt ist, daß das Lötmaterial die metallisierte Oberfläche der Isolationsscheibe (26) bedeckt, welche gegen die piezoelektrische Scheibe gedrückt ist, und daß das Lötmaterial eine Silber-Kupfermischung enthält, welche mit einer kleinen Menge aus Palladium legiert ist.
- 9. Meßwertumformer nach einem der Ansprüche 1 bis 8, dadurch gekennzeichnet, daß das Ende des Stabes, der aus einem zylindrischen Graphitkörper besteht, unter Druck im Kontakt mit dem piezoelektrischen Element (26) steht und derart flach geschliffen ist, daß eine effektive trockene akustische Kopplung zwischen diesen Elementen sichergestellt ist.
- 10. Meßwertumformer nach einem der Ansprüche 1 bis 9, wobei die rohrförmige Metallkammer (22) als geerdeter Schirm dient und mit einem luftdicht abgeschlossenen, geerdeten Leitermaterial verbunden ist, der zu einem abgedichteten, im wesentlichen rohrförmigen Übertragergehäuse (20) geführt ist, dadurch gekennzeichnet, daß innerhalb des geerdeten Leitermantels (18) das Paar elektrischer Leiter (34, 43) zur Primärwicklung des Übertragers geführt ist, dessen Sekundärwicklung mit Ausgangsleitungen verbunden ist, welche als symmetrische Ausgangsleitungen abgedichtet durch das geschlossene Ende des Übertragergehäuses nach draußen geführt sind, wobei die Ausgangsleiter zur Impedanzanpassung mit einem Widerstand abgeschlossen sind.
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
US05/445,523 US3935484A (en) | 1974-02-25 | 1974-02-25 | Replaceable acoustic transducer assembly |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
DE2506998A1 DE2506998A1 (de) | 1975-09-04 |
DE2506998C2 true DE2506998C2 (de) | 1986-05-28 |
Family
ID=23769245
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
DE2506998A Expired DE2506998C2 (de) | 1974-02-25 | 1975-02-19 | Akustischer Meßwertumformer |
Country Status (7)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US3935484A (de) |
JP (1) | JPS5334071B2 (de) |
CA (1) | CA1013463A (de) |
DE (1) | DE2506998C2 (de) |
FR (1) | FR2262469B3 (de) |
GB (1) | GB1501756A (de) |
SE (1) | SE7502105L (de) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE4119147A1 (de) * | 1991-06-11 | 1993-02-18 | Morgenstern Juergen | Nachweisgeraet fuer aktiv abstrahlende flaechen von ultraschall-schwingern |
DE9406896U1 (de) * | 1994-04-25 | 1994-06-16 | Siemens AG, 80333 München | Schallsensor |
DE4341522A1 (de) * | 1993-12-06 | 1995-06-08 | M & M Prueftechnik Und Handel | Meßgerät mit Handgriff |
Families Citing this family (46)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US3925692A (en) * | 1974-06-13 | 1975-12-09 | Westinghouse Electric Corp | Replaceable element ultrasonic flowmeter transducer |
US4069433A (en) * | 1976-06-03 | 1978-01-17 | Westinghouse Electric Corporation | Modular transducer assembly |
US4088907A (en) * | 1976-10-29 | 1978-05-09 | Westinghouse Electric Corp. | Piezoelectric acoustic emission instrumentation |
US4211950A (en) * | 1978-09-13 | 1980-07-08 | Harris Corporation | Arrangement for coupling RF energy into piezoelectric transducers |
JPS6044608B2 (ja) * | 1980-03-25 | 1985-10-04 | 動力炉・核燃料開発事業団 | 超音波式計測装置 |
US4297607A (en) * | 1980-04-25 | 1981-10-27 | Panametrics, Inc. | Sealed, matched piezoelectric transducer |
US4365515A (en) * | 1980-09-15 | 1982-12-28 | Micro Pure Systems, Inc. | Ultrasonic sensing |
US4410825A (en) * | 1981-04-10 | 1983-10-18 | Lobastov George S | Piezoelectric pressure transducer with threaded damper bar |
US4417480A (en) * | 1981-06-02 | 1983-11-29 | Mapco, Inc. | Dampened ultrasonic transducer |
DE3132738A1 (de) * | 1981-08-19 | 1983-03-10 | Brown Boveri Reaktor GmbH, 6800 Mannheim | Einrichtung zur ermittlung der an den einbauten eines reaktordruckbehaelters auftretenden schwingungen |
US4420707A (en) * | 1982-08-09 | 1983-12-13 | Automation Industries, Inc. | Backing for ultrasonic transducer crystal |
US4763513A (en) * | 1983-02-07 | 1988-08-16 | Nusonics, Inc. | Sonic transducer |
US4505160A (en) * | 1983-02-07 | 1985-03-19 | Nusonics, Inc. | High-temperature transducer |
US4713572A (en) * | 1986-06-06 | 1987-12-15 | Accuray Corporation | Ultrasonic transducers for on-line applications |
FR2633139B1 (fr) * | 1988-06-17 | 1990-11-16 | Inst Elektroswarki Patona | Transducteur de signaux d'emission acoustique |
US4922754A (en) * | 1989-03-17 | 1990-05-08 | Kennametal Inc. | Acoustic emission transducer and mounting adapter for monitoring metalcutting tools |
DE8906992U1 (de) * | 1989-06-07 | 1990-10-04 | INTERATOM GmbH, 5060 Bergisch Gladbach | Ultraschall-Prüfkopf |
US5142183A (en) * | 1991-08-26 | 1992-08-25 | Touch Tec International | Electronic switch assembly |
JP3238492B2 (ja) * | 1992-10-19 | 2001-12-17 | 株式会社タイセー | 圧電センサ |
US5834687A (en) * | 1995-06-07 | 1998-11-10 | Acuson Corporation | Coupling of acoustic window and lens for medical ultrasound transducers |
WO1997008546A1 (en) * | 1995-08-31 | 1997-03-06 | Alcan International Limited | Ultrasonic probes for use in harsh environments |
CH690600A5 (de) * | 1995-09-15 | 2000-10-31 | Kk Holding Ag | Anordnung für die Materialprüfung von Formteilen. |
US6653760B1 (en) | 1996-05-09 | 2003-11-25 | Crest Ultrasonics Corporation | Ultrasonic transducer using third harmonic frequency |
US5886456A (en) * | 1996-08-29 | 1999-03-23 | The University Of Dayton | Ultrasonic transducer and ultrasonic detection and high temperature processing systems incorporating same |
JPH10123235A (ja) * | 1996-10-15 | 1998-05-15 | Denso Corp | 超音波センサ及び車両用障害物検出装置 |
EP0897101B1 (de) * | 1997-08-14 | 2005-11-02 | Landis+Gyr GmbH | Ultraschall-Durchflussmesser |
US6268683B1 (en) * | 1999-02-26 | 2001-07-31 | M&Fc Holding Company | Transducer configurations and related method |
US6307302B1 (en) * | 1999-07-23 | 2001-10-23 | Measurement Specialities, Inc. | Ultrasonic transducer having impedance matching layer |
DE102007042663A1 (de) * | 2007-09-10 | 2009-03-12 | Krohne Ag | Ultraschallsonde |
KR100946753B1 (ko) | 2007-10-18 | 2010-03-11 | 엘아이지넥스원 주식회사 | 수중 음향센서 |
DE102009027355A1 (de) * | 2009-06-30 | 2011-01-05 | Endress + Hauser Flowtec Ag | Ultraschallsensor und Ultraschall-Durchflussmessgerät |
US8132469B2 (en) * | 2010-01-06 | 2012-03-13 | Daniel Measurement And Control, Inc. | Ultrasonic flow meter with transducer assembly having a rotatable receptacle and elbow connector |
JP5591601B2 (ja) * | 2010-06-24 | 2014-09-17 | 株式会社東芝 | 原子炉内構造物の振動計測装置及びその振動計測方法 |
US8844347B2 (en) * | 2012-02-29 | 2014-09-30 | General Electric Company | Sensor port insert apparatus |
US8724833B1 (en) | 2012-12-18 | 2014-05-13 | Floyd Bell Inc. | Piezoelectric audible signal with spring contacts and retaining and spacer ring |
GB2515718B (en) * | 2013-02-14 | 2015-09-09 | Roger Thomas Hurrey | Piezoelectric Sensor Compression Assembly, Self-Test and Background Sensitivity |
US9645264B2 (en) * | 2013-05-07 | 2017-05-09 | Pgs Geophysical As | Pressure-compensated sources |
DE102013109349A1 (de) * | 2013-08-29 | 2015-03-05 | Endress + Hauser Flowtec Ag | Ultraschallwandler und Ultraschall-Durchflussmessgerät |
TWI586477B (zh) * | 2014-10-31 | 2017-06-11 | Taiwan Keyarrow Industrial Co Ltd | Telescopic linkage structure |
RU2582889C1 (ru) * | 2014-12-11 | 2016-04-27 | Общество с ограниченной ответственностью "Татинтек" | Ультразвуковой пьезоэлектрический преобразователь |
DE102016103419A1 (de) * | 2016-02-26 | 2017-08-31 | Krohne Messtechnik Gmbh | Messstab für den Nachweis eines strömenden Mediums in einem Rohr und diesbezügliche Messanordnung |
DE102017214370A1 (de) * | 2017-08-17 | 2019-02-21 | Landis + Gyr Gmbh | Schallkopf für einen Durchflussmesser mit gestufter Seitenwand |
GB2573305A (en) * | 2018-05-01 | 2019-11-06 | Tribosonics Ltd | An ultrasonic transducer |
US20210223281A1 (en) * | 2019-11-20 | 2021-07-22 | Board Of Regents, The University Of Texas System | Velocity Measurements Using a Piezoelectric Sensor |
GB2599434A (en) * | 2020-10-02 | 2022-04-06 | Omnia Integrity Ltd | Acoustic emission sensor, apparatus and method |
EP4202379A1 (de) * | 2021-12-21 | 2023-06-28 | Kamstrup A/S | Ultraschallwandleranordnung |
Family Cites Families (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US2467353A (en) * | 1939-02-16 | 1949-04-12 | John M Wolfskill | Piezoelectric crystal apparatus |
US2803129A (en) * | 1951-05-28 | 1957-08-20 | Council Scient Ind Res | Apparatus for testing of elastic materials |
US3146360A (en) * | 1961-04-07 | 1964-08-25 | John M Marshall | Piezoelectric time-of-arrival gage |
US3200369A (en) * | 1961-06-29 | 1965-08-10 | Werner G Neubauer | Miniature underwater sound transducer |
GB1086640A (en) * | 1963-12-16 | 1967-10-11 | Nat Res Dev | Damping backing for piezo-electric crystal or transducer |
CH429228A (de) * | 1964-12-10 | 1967-01-31 | Kistler Instrumente Ag | Piezoelektrischer Einbaukörper zum Einbau in einen piezoelektrischen Wandler |
AT293065B (de) * | 1968-11-06 | 1971-09-27 | List Hans | Piezoelektrischer Beschleunigungsmeßwandler |
US3855847A (en) * | 1972-06-20 | 1974-12-24 | Westinghouse Electric Corp | Acoustic emission transducer and monitoring system |
-
1974
- 1974-02-25 US US05/445,523 patent/US3935484A/en not_active Expired - Lifetime
-
1975
- 1975-02-11 GB GB5721/75A patent/GB1501756A/en not_active Expired
- 1975-02-14 CA CA220,219A patent/CA1013463A/en not_active Expired
- 1975-02-19 DE DE2506998A patent/DE2506998C2/de not_active Expired
- 1975-02-24 FR FR7505633A patent/FR2262469B3/fr not_active Expired
- 1975-02-25 JP JP2253275A patent/JPS5334071B2/ja not_active Expired
- 1975-02-25 SE SE7502105A patent/SE7502105L/xx unknown
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE4119147A1 (de) * | 1991-06-11 | 1993-02-18 | Morgenstern Juergen | Nachweisgeraet fuer aktiv abstrahlende flaechen von ultraschall-schwingern |
DE4341522A1 (de) * | 1993-12-06 | 1995-06-08 | M & M Prueftechnik Und Handel | Meßgerät mit Handgriff |
DE9406896U1 (de) * | 1994-04-25 | 1994-06-16 | Siemens AG, 80333 München | Schallsensor |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US3935484A (en) | 1976-01-27 |
FR2262469B3 (de) | 1977-10-28 |
FR2262469A1 (de) | 1975-09-19 |
GB1501756A (en) | 1978-02-22 |
DE2506998A1 (de) | 1975-09-04 |
SE7502105L (de) | 1975-08-26 |
CA1013463A (en) | 1977-07-05 |
JPS5334071B2 (de) | 1978-09-19 |
JPS50120678A (de) | 1975-09-22 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
DE2506998C2 (de) | Akustischer Meßwertumformer | |
DE10344649B4 (de) | Kapazitiver elektromagnetischer Strömungsmesser | |
DE2330542A1 (de) | Akustische emission erfassende messwertwandleranordnung | |
DE3017911C2 (de) | Entstörstecker | |
DE2917894C2 (de) | Infrarotdetektor und Verfahren zu dessen Herstellung | |
DE2411212A1 (de) | Druckmesseinrichtung | |
DE19808994A1 (de) | Ultraschallsensor mit Temperaturkompensationskondensator | |
DE69634988T2 (de) | Akustische wandlerkomponenten | |
DE2436328A1 (de) | Akustischer wandler und verfahren zu seiner herstellung | |
DE102014206749A1 (de) | Drosselspule und elektronische Vorrichtung | |
DE3337151C2 (de) | ||
EP0179983B1 (de) | Stosswellensensor | |
DE2028838A1 (de) | ||
DE2657957C2 (de) | Vorrichtung zur Ultraschallprüfung von Werkstücken | |
EP0604790B1 (de) | Sensoranordnung mit gekühltem Sensor | |
DE1298169B (de) | Gasdichte wellendurchlaessige Fensteranordnung fuer Hochfrequenz-Hohlleiter | |
DE2809634C3 (de) | Künstliches Ohr für Messungen an Ohrhörern | |
DE3006312A1 (de) | Detektor fuer mechanische schwingungen | |
EP0394408A1 (de) | Gasthermometer | |
DE3316184C2 (de) | Anordnung zur Verbesserung der elektromagnetischen Verträglichkeit bei Niederfrequenz-Verstärkern | |
DE2759366C2 (de) | Von fremden elektrischen Energiequellen unabhängiger Neutronenmeßfühler | |
DE944203C (de) | Druckdichte Leitungseinfuehrung in die Gehaeuse von Tiefseeverstaerkern | |
DE967113C (de) | Einrichtung zur Feststellung von elektrischen Entladungen an einer in einer Isolierfluessigkeit liegenden Wicklung eines elektrischen Apparates | |
DE19713241A1 (de) | Steckverbindung für Koaxialkabel | |
DE2000247C (de) | Piezoelektrischer keramischer Ringresonator |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
8110 | Request for examination paragraph 44 | ||
D2 | Grant after examination | ||
8364 | No opposition during term of opposition | ||
8339 | Ceased/non-payment of the annual fee |