DE2505391C3 - Vorrichtung zum Nachführen bewegter, unter Bearbeitungskräften und/oder Eigengewicht von einer vorgegebenen Soll-Lage abweichender Werkzeugmaschinenteile in die Soll-Lage - Google Patents

Vorrichtung zum Nachführen bewegter, unter Bearbeitungskräften und/oder Eigengewicht von einer vorgegebenen Soll-Lage abweichender Werkzeugmaschinenteile in die Soll-Lage

Info

Publication number
DE2505391C3
DE2505391C3 DE19752505391 DE2505391A DE2505391C3 DE 2505391 C3 DE2505391 C3 DE 2505391C3 DE 19752505391 DE19752505391 DE 19752505391 DE 2505391 A DE2505391 A DE 2505391A DE 2505391 C3 DE2505391 C3 DE 2505391C3
Authority
DE
Germany
Prior art keywords
laser beam
target position
machine part
tracked
convex mirror
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired
Application number
DE19752505391
Other languages
English (en)
Other versions
DE2505391B2 (de
DE2505391A1 (de
Inventor
Guido 7417 Pfullingen Drechsler
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
WERKZEUGMASCHINENFABRIK ADOLF WALDRICH COBURG 8630 COBURG
Original Assignee
WERKZEUGMASCHINENFABRIK ADOLF WALDRICH COBURG 8630 COBURG
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by WERKZEUGMASCHINENFABRIK ADOLF WALDRICH COBURG 8630 COBURG filed Critical WERKZEUGMASCHINENFABRIK ADOLF WALDRICH COBURG 8630 COBURG
Priority to DE19752505391 priority Critical patent/DE2505391C3/de
Publication of DE2505391A1 publication Critical patent/DE2505391A1/de
Publication of DE2505391B2 publication Critical patent/DE2505391B2/de
Application granted granted Critical
Publication of DE2505391C3 publication Critical patent/DE2505391C3/de
Expired legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23QDETAILS, COMPONENTS, OR ACCESSORIES FOR MACHINE TOOLS, e.g. ARRANGEMENTS FOR COPYING OR CONTROLLING; MACHINE TOOLS IN GENERAL CHARACTERISED BY THE CONSTRUCTION OF PARTICULAR DETAILS OR COMPONENTS; COMBINATIONS OR ASSOCIATIONS OF METAL-WORKING MACHINES, NOT DIRECTED TO A PARTICULAR RESULT
    • B23Q15/00Automatic control or regulation of feed movement, cutting velocity or position of tool or work
    • B23Q15/20Automatic control or regulation of feed movement, cutting velocity or position of tool or work before or after the tool acts upon the workpiece
    • B23Q15/22Control or regulation of position of tool or workpiece

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Machine Tool Sensing Apparatuses (AREA)
  • Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)

Description

Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung zum Nachführen bewegter, unter Bearbeitungskräften und/oder Eigengewicht von einer vorgegebenen Soll-Lage abweichender Werkzeugmaschinenteile in die Soll-Lage mit einem an einem der Abweichung nicnt unterworfenen Maschinenteil angeordneten, einen tcharf gebündelten, auf das nachzuführende Maschinenteil gerichteten Laserstrahl aussenden Laserstrahlgeber und mit einem am nachzuführenden Maschinenteil •ngeordneten Detektor, der bei Abweichung des nachzuführenden Maschinenteils von der Achse des Laserstrahls in positiver oder negativer Richtung elektrische Steuersignale gegensinniger Polarität abgibt, die unter Zwischenschaltung eines Verstärkers auf eine Nachlaufsteuerung zur Soll-Ist-Korrektur des nachzuführenden Maschinenteils einwirken.
Man ist neuerdings bestrebt, auch auf großen und ich'iVeren Werkzeugmaschinen, zum Beispiel Fräsmaschinen, Arbeitsgenauigkeiten zu erreichen, die bisher nur bei kleinen Präzisionsmaschinen erreicht worden lind. Trotz genauester Bearbeitung der Führungen kann jedoch nicht verhindert werden, daß die das Werkzeug, zum Beispiel den Präser, tragenden Maschinenteile, zum Beispiel Stößel, Winkelfräsköpfe usw., durch Eigengc wicht und/oder unter den Bearbeitungskräften eine Abweichung von ihrer vorgegebenen Soll-Lage erfahren, die bei Voller Ausfahrlärlge bis zu 200μπι und mehr betragen kann.
Um jedoch die gewünschte Arbeitsgenauigkeit zu erreichen, dürfen die das Werkzeug tragenden Maschinenteile maximal nur 30μιη von ihrer Soll-Lage abweichen. Zum Nachführen des von seiner vorgegebenen Soll-Lage abweichenden Maschinenteils in die Soll-Lage sind daher Nachführvorrichtungen erforderlich.
Bei einer bekannten Vorrichtung der eingangs erwähnten Gattung (DE-OS 21 18 612) ist ein Laserstrahlgebsr am Ende eines der Abweichung nicht unterworfenen Maschinenteils, nämlich des M;.schinenbetts angeordnet, während der Detektor an dem nachzuführenden Maschinenteil, nämlich an dem Maschinentisch vorgesehen ist Durch den Detektor sollen bei der bekannten Vorrichtung Lageveränderungen des Maschinentisches von der Achse des Laserstrahls festgestellt und in elektrische Steuersignale gegensinniger Polarität umgewandelt werden. Wie dies jedoch im einzelnen erfolgt, ist in der bekannten Druckschrift nicht näher beschrieben.
2" Es ist ferner bekannt, zu einer genauen Längenmessung bei Werkzeugmaschinen Laserstrahlen einzusetzen (vgl. DE-OS 17 63 379, DE-Zeitschrift »Elektronik«, 1965, Heft 2, Seite 46 und CH-Zeitschrift »Technische Rundschau«, Nr. 9 vom 7.7.196/, Seite 25, 27). Zu einer genauen Längenmessung sind jeweils am ortsfesten Teil der Maschine der Laserstrahlgeber, die Optik und auch der Detektor angeordnet. An dem in Richtung des ausgesandten Laserstrahls verschiebbaren Maschinenteil ist ein Reflektor vorgesehen. Die durch die
Μ Bewegung des Reflektors hervorgerufenen Interferenzstreifen werden in einem lichtempfindlichen Fotodetektor eingefangen und mit einem Vorwärts- Rückwärtszähler digital ausgewertet. Da jedoch die Meßgenauigkeit dieser Laser-Interferometers sehr von den Umwelt-
■15 faktoren abhängt, müssen in einem atmosphärischen Druckumformer die Umweltbedingungen, zum Beispiel Luftdruck und Temperatur, berücksichtigt und anschließend das gesamte Ergebnis in einem Computer ausgewertet werden. Der Einsatz eines Druckumformers und eines Computers sowie r>es Spezialreflektors sind jedoch verhältnismäßig aufwendig.
Ausgehend von einer Vorrichtung zum Nachführen bewegter, unter Bearbeitungskräften und/oder Eigengewicht von einer vorgegebenen Soll-Lage abweichender Werkzeugmaschinenteile in die Soll-Lage der eingangs erwähnten Gattung, liegt der Erfindung die Aufgabe zugrunde, die Nachführgenauigkeit einer derartigen Vorrichtung bei einfachem Aufbau zu erhöhen.
Diese Aufgabe isyt nach der Erfindung dadurch gelöst, daß an dem nachzuführenden Maschinenteil im Bereich des Laserstrahls ein in einer Richtung gekrümmter Konvexspiegel, dessen Achse quer zur Laserstrahlachse verläuft, so angeordnet ist, daß der Einfallswinkel des Laserstrahls in bezug auf die Oberfläche des Konvexspiegels etwa 45° beträgt und daß als Detektor im Bereich des vom Konvexspiegel reflektierten und durch diesen divergierten Laserstrahls in einer parallel zum ausgesandten Laserstrahl verlaufenden Abbildungsebene mehrere, in einer Brückenschaltung angeordnete Fotoelemente oder Fototransistoren vorgesehen sind.
Die durch die Erfindung erreichte Wirkung besteht im wesentlichen darin, den Vom Laserstrahlgeber ausgesandten, scharf gebündelten Laserstrahl mittels des am
Η'> nachzüfühfenden Maschinenteil angeordneten Konvexspiegels, der nur in einer Richtung gekrümmt ist, zu divergieren oder zu spreizen. Anstelle eitles kreisrunden Punktes von 1*1,5 mm entsteht durch diese Spreizung
auf der Abbildungsebene ein langgezogener Strich, der eigentlich eine sehr flache Ellipse ist. Dieser Strich, der je nach Radius des Konvexspiegels eine Länge von 50-200 mm haben kann, trifft auf eine Vielzahl von in der Abbildungsebene angeordneten Fotoelementen oder Fototransistoren auf. Durch die Spreizung des Lichtstrahles können außerordentlich kleine Abweichungen des nachzuführenden Maschinenteils von der Ideallinie festgestellt und dann in Steuersignale umgewandeltwerden. Der Effekt der Anordnung ist vergleichbar mit einem Verstärker oder Wegübersetzer, bei denen kleine Abweichungen quantifizierbar sind. Bewegt sich das nach7uführende Maschinenteil und somit der Träger des Konvexspiegels um einen sehr geringen Betrag gegenüber der vom Laserstrahl gebildeten Soll-Linie, so bewegt sich auf der Abbildungsebene der gespreizte Strahl um ein wesentlich größeres Stück, so daß es möglich ist, mit den heutigen technischen Mitteln diese Bewegung mit Fototransistoren und einer einfachen Brückenschaltung auszuwerten. Der Detektor weist damit einen sehr einfachen Aufbau auf und die Nachführgenauigkeit ist unabhängig von irgendwelchen Druck- und Temperaturschwankungen.
Zweckmäßigerweise weist der Konvexspiegel eine Kreiszylinderform auf, wodurch er einfach herstellbar ist
In der Zeichnung ist ein Ausführungsbeispiel der erfindungsgemäßen Vorrichtung näher erläutert Es zeigt
F i g. 1 die schematische Darstellung einer Fräsmaschine mit der erfindungsgemäßen Vorrichtung,
F i g. 2 Einzelheiten der Vorrichtung in einem Blockschaltbild.
In F i g. 1 ist mit 1 das Portal einer großen Fräsmaschine angedeutet, die einen Querbalken 2 aufweist, welcher seinerseits den Stößel 3 zur Aufnahme eines Fräsers 5 trägt Der Querbalken 2 läßt sich in bezug auf das Portal 1 nach oben und unten bewegen, wohingegen der Stößel 3 auf dem Querbalken 2 nach links und rechts verschoben werden kann. Am Stößel 3 befindet sich im gezeichneten Fall ein Winkelfräskopf 4, welcher den Fräser 5 trägt
Im vorliegenden Beispiel sei der Stößel hydrostatisch gelagert, wobei die Lager mit dem Bezugszeichen 6 angedeutet sind. An dem Stößel 3 befindet sich ein stark gedämpftes Tragteil 7 nach Art eines Lotes, in welchem ein Laserstrahlgeber 8 untergebracht ist. Der vom Laserstrahlgeber 8 ausgesandte, scharf gebündelte Laserstrahl 11 von z.B. 1 mm Durchmesser, trifft nun seinerseits auf einen Konvexspiegel 12, der in einem staubdichten Detektorgfhäuse 10 untergebracht ist.
Zum weiteren Verständnis des Ausführungsbeispiels wird an Hand der F i g. 2 der Detektor und die weitere elektrische Funktion beschrieben:
Der Laserstrahl 11 trifft auf den zweckmäßigerweise die Form eines Kreiszylinders aufweisenden Konvexspiegel 12 auf, wobei dafür Sorge getragen wird, daß der Einfallwinkel in Bezug auf die Oberfläche des Konvexspiegels etwa 45° beträgt, so daß der Laserstrahl 11a praktisch in einem Winkt.l von 90° zur Einfallrichtung auf eine Abbildungsebene 13 projiziert wird. Da der K.envexspiegel 12 nur in einer Richtung gekrümmt ist und seine Achse quer zur Laserstrahlachse verläuft, erscheint auf der Abbildungsebene 13 ein langgezogener Strich, der bei genauer Betrachtung eine sehr flache Ellipse darstellt, welche durch die Reflektion des einfallenden, kreisförmigen Laserstrahles entsteht In der Abbildungsebene 13 befinden sich eine große Anzahl von Fotozellen oder Fototransistoren 14, die im vorliegenden Beispiel mit Wechselstrom beschickt werden, so daß an dem mit 15 gekennzeichneten
ίο Querwiderstand der zu einer Meßbrücke vereinten Elemente immer dann eine Wechselspannung entsteht, wenn der divergierte und projizierte Laserstrahl 11a von einem gedachten Mittelpunkt aus nach oben oder unten eine unterschiedliche Anzahl von Fototransistoren 14 belichtet Zwei Brückenzweige der genannten Brückenschaltung werden durch Induktivitäten 16 dargestellt, die ihrerseits über die Primärwicklung 17 aus einem Niederfrequenzgenerator 18 gespeist werden.
Bei korrekter Lage des projizierten Laserstrahls 11a entsteht am Querwiderstand 15 der Brücke keine Spannung, da gleichviele Fototrar.. stören 14 nach dem oberen und unteren Ende des projizieren Strahles Ha hin ausgeleuchtet werden.
Tritt allerdings durch den Druck des Fräsers 5 eine Verschiebung des Stößels 3 und somit des Winkelfräskopfei 4 mit dem Konvexspiegel 12 auf, d. h. erfolgt — bezogen auf eine ideale Senkrechte — eine Ablenkung, so bleibt die Richtung des Laserstrahles 11 zwar gleich, es erfolgt jedoch ein gewisser Versatz des Laserstrahlauftreffpunktes auf den Konvexspiegel 12, so daß der projizierte Strahl 11a auf der Abbildungsebene 13 nach unten oder oben wandert und somit in der Meßrichtung, also in der Senkrechten, eine verschieden große Anzahl von Fototransistoren 14 — gerechnet von dem gedachten Mittelpunkt aus — bedeckt Dieses führt zu einer Verstimmung der Meßbrücke, so daß an dem Querwiderstand 15 eine Wechselspannung entsteht, die eine endliche Größe aufweist Unter der Voraussetzung,
4" daß die gewonnene kleine Spannung in einem Selektivverstärker 19a verstärkt wird und anschließend mit Hilfe einer sogenannten gesteuerten Gleichrichtung IiJ gleichgerichtet wird, erhält man am Ausgang der gesteuerten Gleichrichtung ein positives oder negatives Signal unter der Voraussetzung, daß als Steuerspannung eine Wechselspannung verwendet wird, die dem Wechselstromgenerator 18 entnommen wird und stets eine starre Phasenlage aufweist Aus der gesteuerten Gleichrichtung 19 gelangt die nunmehr richtungsorientierte Gleichspannung in einen Impedanzwandler 20, von welchem die Regelspannung zur Nachführung des betreffenden Maschinenteils — hier des Stößels 3 — abgenommen wird.
Die erfindungsgemaße Vorrichtung kann auch zum Ausgleich der Führungen von Schlitten mit pneumatischen Lagern oder hydrostatischen Lagern verwendet werden. Das gleiche gilt für Schlitten, welche elektromechanisch angetrieben werden und eine normale, jedoch regelbare mechanische Lagerung besitzen. Darüber
fco hinaus kann die prfmdungsgerciäße Vorrichtung auch für Schlitten vorgesehen sein, welche eine magnetische Kissenhaltening besitzen.
Hierzu 2 Blatt Zeichnungen

Claims (2)

Patentansprüche:
1. Vorrichtung zum Nachführen bewegter, unter Bearbeitungskräften und/oder Eigengewicht von einer vorgegebenen Soll-Lage abweichender Werkzeugmaschinenteile in die Soll-Lage mit einem an einem der Abweichung nicht unterworfenen Maschinenteil angeordneten, einen scharf gebündelten, auf das nachzuführende Maschinenteil gerichteten Laserstrahl aussendenden Laserstrahlgeber und mit einem am nachzuführenden Maschinenteil angeordneten Detektor, der bei Abweichung des nachzuführenden Maschinenteils von der Achse des Laserstrahls in positiver oder negativer Richtung elektrische Steuersignale gegensinniger Polarität abgibt, die unter Zwischenschaltung eines Verstärkers auf eine Nachlaufsteuerung zur Soll-Ist-Korrektur des nachzuführenden Maschinenteils einwirken, d a durch gekennzeichnet, daß an dem nachzuführenden Maschinenteil (4) im Bereich des Laserstrahls (il), ein in einer Richtung gekrümmter Konvexspiegel (12). dessen Achse quer zur Laserstrahlachse verläuft, so angeordnet ist, daß der Einfailswinkel des Laserstrahls (11) in bezug auf die Oberfläche des Konvexspiegels (12) etwa 45° beträgt und daß als Detektor im Bereich des vom Konvexspiegel reflektierten und durch diesen divergierten Laserstrahls (lta/in einer parallel zum ausgesandten Laserstrahl (11) verlaufenden Abbüdungsebene (13) mehrere, in einer Brückenschaltung (14, 15, 16) angeordnete Fotoelemente oder Fototransistoren (14) vorgesehen sind.
2. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, d&ß der Konvexspiogel (12) eine Kreiszylinderform aufweist
DE19752505391 1975-02-08 1975-02-08 Vorrichtung zum Nachführen bewegter, unter Bearbeitungskräften und/oder Eigengewicht von einer vorgegebenen Soll-Lage abweichender Werkzeugmaschinenteile in die Soll-Lage Expired DE2505391C3 (de)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE19752505391 DE2505391C3 (de) 1975-02-08 1975-02-08 Vorrichtung zum Nachführen bewegter, unter Bearbeitungskräften und/oder Eigengewicht von einer vorgegebenen Soll-Lage abweichender Werkzeugmaschinenteile in die Soll-Lage

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE19752505391 DE2505391C3 (de) 1975-02-08 1975-02-08 Vorrichtung zum Nachführen bewegter, unter Bearbeitungskräften und/oder Eigengewicht von einer vorgegebenen Soll-Lage abweichender Werkzeugmaschinenteile in die Soll-Lage

Publications (3)

Publication Number Publication Date
DE2505391A1 DE2505391A1 (de) 1976-12-23
DE2505391B2 DE2505391B2 (de) 1978-05-11
DE2505391C3 true DE2505391C3 (de) 1978-12-21

Family

ID=5938450

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
DE19752505391 Expired DE2505391C3 (de) 1975-02-08 1975-02-08 Vorrichtung zum Nachführen bewegter, unter Bearbeitungskräften und/oder Eigengewicht von einer vorgegebenen Soll-Lage abweichender Werkzeugmaschinenteile in die Soll-Lage

Country Status (1)

Country Link
DE (1) DE2505391C3 (de)

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE3336920C1 (de) * 1983-10-11 1984-12-13 Werkzeugmaschinenfabrik Adolf Waldrich Coburg Gmbh & Co, 8630 Coburg Vorrichtung zur Kompensation von durch Bearbeitungskräfte und/oder Eigengewicht bedingten Verlagerungen eines bewegten, auskragenden Werkzeugmaschinenteils
DE3423495A1 (de) * 1983-06-29 1985-01-10 Toshiba Kikai K.K., Tokio/Tokyo Geraet zur korrektur der verlagerung eines beweglichen teils einer werkzeugmaschine
DE4038260A1 (de) * 1989-11-30 1991-06-06 Furmanite Australia Bearbeitungsgeraet
DE19851781A1 (de) * 1998-11-10 2000-05-11 Matthias Nowack Dynamikfehlerkompensation für Werkzeugmaschinen durch eine Hilfsachsbewegung

Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE3601523C1 (de) * 1986-01-20 1987-07-16 Manfred Richter Verfahren zur Positionierung und Vermessung von Werkstuecken auf Bearbeitungsstrassen

Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE3423495A1 (de) * 1983-06-29 1985-01-10 Toshiba Kikai K.K., Tokio/Tokyo Geraet zur korrektur der verlagerung eines beweglichen teils einer werkzeugmaschine
DE3423495C2 (de) * 1983-06-29 1988-12-01 Toshiba Kikai K.K., Tokio/Tokyo, Jp
DE3336920C1 (de) * 1983-10-11 1984-12-13 Werkzeugmaschinenfabrik Adolf Waldrich Coburg Gmbh & Co, 8630 Coburg Vorrichtung zur Kompensation von durch Bearbeitungskräfte und/oder Eigengewicht bedingten Verlagerungen eines bewegten, auskragenden Werkzeugmaschinenteils
DE4038260A1 (de) * 1989-11-30 1991-06-06 Furmanite Australia Bearbeitungsgeraet
DE19851781A1 (de) * 1998-11-10 2000-05-11 Matthias Nowack Dynamikfehlerkompensation für Werkzeugmaschinen durch eine Hilfsachsbewegung

Also Published As

Publication number Publication date
DE2505391B2 (de) 1978-05-11
DE2505391A1 (de) 1976-12-23

Similar Documents

Publication Publication Date Title
DE2829222C3 (de) Vorrichtung zum Überwachen der Stellung eines beweglichen Organs
DE2119486C3 (de) Elektro-optische Lagekorrekturanordnung für ein optisches MeBsystem
EP2093537B1 (de) Verfahren und Vorrichtung zur Ermittlung einer Ausrichtung von zwei drehbar gelagerten Maschinenteilen
EP2390737A2 (de) Verfahren zur Maschinenvermessung
DE3316520C2 (de) Vorrichtung zum Positionieren eines Werkzeuges gegenüber einem Werkstück
DE3404495A1 (de) Polygonzug-vermessungsverfahren und vermessungseinrichtung
DE2649641A1 (de) Maschine zur messung der abmessungen von werkstuecken
DE102020204372A1 (de) Ultraschnelle abbildungsvorrichtung
EP0243524A1 (de) Einrichtung zur Messung der Kreisformabweichung exzentrischer Lagerflächen, insbesondere von Pleuellagern
DE68906669T2 (de) Messsystem fuer eine werkzeugeinstellung in einer werkzeugmaschine.
DE2505391C3 (de) Vorrichtung zum Nachführen bewegter, unter Bearbeitungskräften und/oder Eigengewicht von einer vorgegebenen Soll-Lage abweichender Werkzeugmaschinenteile in die Soll-Lage
EP0214954A2 (de) Messvorrichtung zur berührungslosen Bestimmung von Massen nach dem Schattenbildverfahren
DE2057828A1 (de) Anlage zur genauen Verschiebung eines Gegenstandes in einer Ebene
DE3711646C2 (de) Vorrichtung zum Ermitteln der Lage einer Kerblinie auf der Oberfläche eines Werkstückes und zum Einstellen des Werkstückes in eine Biegeposition
DE1755720C3 (de) Einrichtung an fahrbaren Maschinen zur Anzeige, Aufnahme und/oder Korrektur der Lage eines Gleises
DE10139878A1 (de) Einrichtung zur Erfassung der Relativposition zweier zueinander bewegbarer Körper
DE19919311C1 (de) Verfahren und Vorrichtung zum berührungslosen Abtasten der Brillenglasöffnung einer Brillenfassung oder des Umfangs eines Brillenglases oder einer Formscheibe
DE102019206278A1 (de) Vermessungsvorrichtung
DE3144179A1 (de) Markiervorrichtung fuer linsenpruefgeraete
DE1075842B (de) Gerat mit einem m einer Fuhrung meßbar verschiebbaren Schlitten
DE3542255A1 (de) Messgeraet zur erkennung einer welle oder eines werkstuecks und zur pruefung bestimmter abmessungen desselben
DE102016122482A1 (de) Messanordnung und Messverfahren zur Ermittlung der Ausrichtung eines Messobjekts
DE2927409A1 (de) Geraet zum vermessen von formkoerperumrissen
DE102021200006A1 (de) Messvorrichtung
DE2838082C2 (de) Verfahren und Vorrichtung zur Messung des Teilungsabstandes bzw. Teilungsfehlers beliebig geformter geometrischer Gebilde

Legal Events

Date Code Title Description
C3 Grant after two publication steps (3rd publication)
8339 Ceased/non-payment of the annual fee