DE2501824A1 - Gedruckter widerstand und dessen herstellungsverfahren - Google Patents

Gedruckter widerstand und dessen herstellungsverfahren

Info

Publication number
DE2501824A1
DE2501824A1 DE19752501824 DE2501824A DE2501824A1 DE 2501824 A1 DE2501824 A1 DE 2501824A1 DE 19752501824 DE19752501824 DE 19752501824 DE 2501824 A DE2501824 A DE 2501824A DE 2501824 A1 DE2501824 A1 DE 2501824A1
Authority
DE
Germany
Prior art keywords
resistance
section
resistor
temperature
film
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
DE19752501824
Other languages
English (en)
Inventor
Walentina J Epaneschnikowa
Jewgenija A Kondratskaja
Swetlana A Okun
Grigorij K Primak
Wiktor S Umantsew
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
KRASNOD SAWOD ELEKTROISMERITEL
Original Assignee
KRASNOD SAWOD ELEKTROISMERITEL
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by KRASNOD SAWOD ELEKTROISMERITEL filed Critical KRASNOD SAWOD ELEKTROISMERITEL
Priority to DE19752501824 priority Critical patent/DE2501824A1/de
Publication of DE2501824A1 publication Critical patent/DE2501824A1/de
Pending legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01CRESISTORS
    • H01C1/00Details
    • H01C1/16Resistor networks not otherwise provided for

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Apparatuses And Processes For Manufacturing Resistors (AREA)
  • Parts Printed On Printed Circuit Boards (AREA)

Description

  • GEDRUCKTER WIDERSTAND UND DESSEN HERSTELLUNGS-VERFAHREN Die vorliegende Erfindung bezieht sich auf die Herstel -lungstechnologie für gedruckte Teile elektrischer Schaltungen, insbesondere auf gedruckte Widerstände und deren Herstel lungsverfahren.
  • Zur Zeit sind gedruckte Widerstände bekannt, die eine Schichtstruktur aufweisen , die sich aus einer festen einem / Unterlage, Substrat, und einem auf sie aufgetragenen Beiterzug aus einer Folie zusammensetzt. Die Verdrahtung wird meist nach einer bestimmten elektrischen Schaltung ausgeführt und mit zwei Stromanschlüssen und mindestens einem Spannungsanschluß versehen.
  • Die Herstellungsverfahren für die oben beschriebenen Widerstände schließen in der Begel solche Grundoperationen wie Wärmebehandlung der Folie, Zusammenkleben der Folie mit dem Substrat, Gestaltung der Verdrahtung aus der Legierung eines Widerstandsmaterials mit Hilfe der Fotolithografie, Ätzen in einer Lösung sowie Anpassung des Widerstandswertes an den erforderlichen Wert durch minderung der elektrischen Schaltung der Verdrahtung ein.
  • t i 2 1 Eine der Haup/aufgaben, de den sich mit der Entwicklung und Herstellung von gedruckten Widerständen befassenden Fachleuten stellen,läuft auf eine Verminderung der Temperaturabhängigkeit des Widerstandes zimfTemperaturkompensationy hinaus.
  • entsprechend e Diese Aufgabe wird meist durch Wahl der zur Herstellung eines gedruckten Widerstandes benötigten Mad.h.
  • terialien, / Widerstandsmaterial mit einem bestimmten Widerstandstemperaturkoeffizienten sowie Trägermaterial, Isolier-und Klebstoff auch mit bestimmten linearen Ausdehnungskoeffizienten sowie durch eine bestimmte Reihenfolge der Anordnung der genannten Materialien und die Wahl ihrer Dicke gelöst. Das Hauptaugenmerk wird aber auf den Widerstandstemperaturkoeffizienten des Widerstandsmaterials und auf die linearen Ausdehnungskoeffizienten des genannten Widerstandsmaterials und des Substrats (Unterlage) gerichtet.
  • Es ist beispielsweise die Realisierung der Temperaturkompensation eines gedruckten Widerstandes (s.USA-Patenentsprechende, te Nr.3405381 und 3517436) durch /Wahl von Materialien für das Substrat und die Leiterzüge bekannt.
  • 3 <-> ein Trägermaterial ist<Bei diesem Widerstand> mit einem #-# linearen Wärmeausdehnungskoeffizienten<wesentlich kleineren> als beim Widerstandsmaterial (Material der Leiterzüge) gewählt, speziell wurde ein Substrat aus Glas genutzt, bei dem der lineare Wärmeausdehnungskoeffizient gleich 3.10-6 1/F° ist.
  • Eine derartige gerätetechnische Lösung weist aber zwei Mängel auf. Erstens ist es notwendig, Materialien mit sehr exakten und stabilen technischen Parametern einzusetzen.
  • Zweitens ist keine hohe Dauerstabilität der Widerstände gewährleistet, weil auf Grund einer großen Differenz der linearen Wärmeausdehnungskoeffizienten von Epoxydharz (Zwischenlage aus Klebstoff), widerstandsmaterial und Glas im Widerstandsmaterial der Leiterzüge mechanische Spannungen Ver/ entstehen, die irreversible änderungen bewirken.
  • Es sind Schaltungen bekannt, bei denen die Temperaturkompensation durch hintereinander geschaltete diskret e Widerstände mit Wiäerstandst eiuperaturkoeffi zienten mit verschiedenen Vorzeichen ermögiictit wird.
  • Jedoch ist zur Zeit kein Widerstandsmaterial mit negativem XX bekannt. Die Widerstände mit negativem werden daher aus einem Balbleiteratoff ausgeführt.
  • Es ist die Konstruktion eines gedruckten Widerstandes (s. USA-Patent Nr.3434206)bekannt , der aus Ausgangsmateria lien mit nahezu gleichen linearen Wärmeausdehnungskoeffi-Ein/ zienten hergestellt ist. derartiger Widerstand weist eine hohe Dauerstabilität auf, jedoch ist dabei die Frage der Temperaturkompensation nicht gelöst.
  • Die Erzielung eines niedrigen Widerstandstemperaturkoeffizienten des Widerstandsmaterials wird lediglich durch Anwendung von bestimmten Verhüttungsvorgängen und eine darauffolgende Warmebehandlwng der Folie gewährleistet, Dmrch den Wert des auf diese Weise erhaltenen Widerstandstemperaturkoeffizienten der Folie wird im wesentlichen die Temperaturabhängigkeit des Widerstandes bestimmt.
  • Aus dem vorstehend Erwähnten wird ersichtlich, daß Herstellungvon gedruckten Widerständen mit maximaler Temperaturkompensation <ohne Störung der Stabilität und eine strenge Auswahl von Materialien mit bestimmten technischen ParameternJführt.
  • mit Der Erfindung liegt die Aufgabe zagrunde,Xden vorhandenen Widerstandsmaterialien und unter Beibehaltung der Vorteile der bekannten gedruckten Widerstände eine Konstruktion eines gedruckten Widerstandes sowie dessen Herstellungsverfahren zu entwickeln, die es gestatten, gedruckte Widerstände der/ un# ihres einfach und mit gewünschten Temperatur#abhängigkeit Widerstandes # im technischen Maßstab herzustellen.
  • Diese Rufgabe wird dadurch gelöst, daß bei einem eine einem aus einem Substrat und aus/damit verbundenen1 mit zwei Stromanschlüssen und mit mindestens einem Spannungsanschlun versehenen Leiterzug aus einer Folie zusammengesetzte Schichtstruktur aufweisenden gedruckten Widerstand der Leiterzug gemäß der ErSindung als eine aus Reihenparallelzweigen bestehende Schaltung gestaltet sind, wobei ein Abschnitt mindestens eines der Parallelzweige der Beiterzüge aus einem Material mit einem Widerstandstemperaturder koeffizienten,/größer als beim Material des übrigen Teiles ist der Leiterzuge/, als welches eine Widerstandslegierung in der Frage kommt, besteht und midteSeinen Seite des genannten Abschnitts der eine der Stromanschlüsse und mit der anderen Seite der eine der Spannungsanschlüsse gekoppelt ist.
  • Die gestellte Aufgabe wird auch dadurch gelöst, daß im Herstellungsverfahren für den oben beschriebenen gedruckten Widerstand, bestehendaus der Wärmebehandlung der Folie, und deren Aufkleben auf das Substrat / der Gestaltung de s Leiterzugs des Widerstandes, gemäß der Erfindung vor der Wärmebehandlung auf einen eine zur Unterbringung des temperaturkompensierenden Teiles des herzustellenden Widerstandes ausreichende Größe aufweisenden Abschnitt der Folie ein Metallüberzug mit einem größeren Widerstandtemperaturkoeffizienten als beim Material der Folie aufgetragen wird, der sich durch eine größere Auflösungsgeschwindigkeit in einem ätzmittel auszeichnet, die Wärmebehandlung der Folie mit dem aufgetragenen Uberzug bei einer zur Beendigung des Diffusionsvorganges an der Grenze der Folie und des genannten Uberzuges ausreichenden Temperatur durchgeführt, die Folie <? auf das Substratimit der einen Uberzug aufweisenden Seite> aufgeklebt und die Gestaltung des Leiterzugs als Reihenparallelschaltung der Zweige in der Weise vorgenommen wird, daß ein Teil mindestens eines der Parallelzweige des Leiterzugs auf dem Abschnitt der Folie mit dem aufgebrachten Uberzug liegt.
  • Zweckmäßig ist es, nach der Gestaltung des Leiterzuge@ den resultierenden Widerstandstemperaturkoeffizienten des ge-<> druckten Widerstandes an den gewünschten Wert <durch eine Widerstandes seines Änderung des/temperaturkompensierenden Teiles> anzupassen.
  • Man kann auch nach der Gestaltung de Leiterzug den resultierenden Widerstandstemperaturkoeffizienten des ge-#-# druckten Widerstandes/an den gewünschten Wert durch eine Widerstandes seines # Änderung des/thermisch nicht kompensierenden Teiles anpassen.
  • Der erfindungsgemäß ausgeführte gedruckte Widerstand ist /durch eine geringe Temperaturabhängigkeit des Widerstandes / elbst bei Verwendung eines Wid erstandsmat erials mit großer Temperaturabhängigkeit des Widerstandes>gekennzeichnet, Er kann auch mit einem beliebigen, vorher festgelegten Wert des T unabhängig von den Parametern des Ausgangsmaterials des Widerstandes gefertigt werden. Bei seiner Herstellung erfordert dieser Widerstand keine strenge Wahl der Parameter des Widerstandsmaterials und des Trägermaterials entsprechend den Bedingungen der Temperaturkompensation. Der Widerstand ist auch durch hohe Stabilität seines Widerstandes, gute Wärmeabgabe und mechanische Festigkeit gekennzeichnet, Das erfindungsgemäße Herstellungsverfahren für den beschriebenen gedruckten Widerstand schließt techleicht nologische Arbeitsgänge ein, die durch einfache und/zugänz= liche Mittel verwirklicht werden.
  • Die Erfindung soll nachstehend an Hand der Beschrei -die bung von Ausführungsvarianten unter Bezug auf Zeich nungen näher erläutert werden. Es zeigt: Fig .1 einen Schnitt durch das Halbzeug des gedruckten Widerstandes; einen Fig.2 einen Schnitt durch erfindungsgemäßen gedruckten Widerstand; eines Figl3 eine vergrößerte elektrische Schaltung Leiterzugs des erfindungsgemäßen gedruckten Widerstandes; Fig.4 dasselbe für eine andere Variante des gedruckten Widerstandes; Fig.5 eine prinzipielles elektrisches Schaltschema des :Leiterza;s des in Fig.3 dargestellten gedruckten Widerstandes; Fig.b dasselbe nach aer Anpassung des WiderstandstemperaturKoeffizienten, Das in Fig.1 im Schnitt dargestellte Halbzeug des einer aus gedruckten Widerstandes besteht aus Folie 1/einem Widerstandsmaterial mit einem auf einem Abschnitt aufgetragenen Metallüberzug 2 und aus einem festen, über eine Isolierschicht 4rnft der Folie 12durch Klebschichten 5 und 6 (> verbundenen Substrat 3.
  • Als Widerstandmaterial kommt Nichrom oder Manganin in Frage, der Metallüberzug 2 kann aus Nickel oder Silberausgeführt werden; das Substrat 3 ist aus Stahl ausgeführt, kann aber auch aus Aluminium, Manganin u.ä. ausgeführt werden.
  • Die Isolierschicht 4 ist aus Glasgewebe hergestellt.
  • Fig .2 zeigt im Schnitt einen gedruckten Widerstand, bei dem im Unterschied zum Halbzeug in die Folie 1 ein in Abschnitte 8, q und 10 geteilter Leiterzug 7 eingeätzt ist.
  • Der Abschnitt 10 (temperaturkompensierender Teil des Widerstandes) weist einen Metallüberzug 2 auf.
  • Fig.3 zeigt eine vergrößerte elektrische Schaltung des Leiterzuges 7. Die Abschnitte 8, 9 und 10 des Leiterzuges 7 sind miteinander elektrisch in der Weise gekoppelt, daß sie bezüglich der Stromklemmen I1 und I2 Parallelzweige bilden, wobei in einen der Zweige der Abschnitt 8 und in den anderen in Reihe mit dem Abschnitt 9 aus dem Grundmaterial des Widerstandes der Abschnitt 10 mit einem größeren TKR als das Widerstandsmaterial aufweisenden Metallüberzug 2 geschaltet ist. Darüber hinaus besitzt der Widerstand zwei Potentialklemmen V1 und V2. Der Abschnitt 10 des Widerstandes liegt zwischen einer Stromklemme @2 und einer Potentialklemme V2.
  • Fig .4 zeigt eine vergrößerte elektrische Schaltung eines gedruckten Widerstandes, der im Unterschied zu der in Fig .3 wiedergegebenen Variante einen in Reihe mit den Parallelzweigen des Widerstandes geschalteten Abschnitt 11 des Leiterzuges enthält. Der Abschnitt 11 <ist> <hochohmiger> (ein längerer Abschnitt des Leiterzuges)<2gegenüber den Abschnitten 9 und 8 (-E Die Abschnitte 11, 9, 8 bilden don thermisch nicht kompensierenden Teil des Widerstandes.
  • Fig.5 zeigt eine elektrische Prinzipschaltung für die Bildung des Leiterzugs eines Widerstandes, aus der hervorgeht, daß die Abschnitte 8, 9, und 10 aus je einer Reihe von von hintereinandergeschalteten Sektionen 12 bestehen, denen jede sich aus Parallelzweigen zusammensetzt. Der in Fig.5 nicht gezeigte Abschnitt 11 ist analog aus gebildet.
  • Fig.6 zeigt dieselbe Schaltung nach der Anpassung des Widerstandstemperaturkoeffizienten des Widerstandes. Bei manchen Sektionen 12 ist je einer der Parallelzweige an den Stellen 13 unterbrochen.
  • Der oben beschriebene gedruckte Widerstand wird wie folgt hergestellt.
  • Auf einen vorgegebenen Abschnitt der in einem Verhüt tungsvorgang erhaltenen Folie 1 wird in irgendeinem Verfahren, beispielsweise durch galvanisches Niederschlagen, Aufdampfen u.ä., ein Metallüberzug 2 aufgetragen. Das Material der des Überzuges 2 muß einen Widerstandstemperaturkoeffizienten, der/ ist, vie-l größer als des Materials der Folie 1/aufweisen und sich durch eine größere Auflösungsgeschwindigkeit in einem Ätzmittel gegenüber der Folie 1 auszeichnen. Die Dicke und die Fläche des überzuges 2 hängen vom Verhältnis des spezifischen Widerstandes und der tiderstandstemperaturkoeffizienten der Folie 1 und des Materials des Uberzuges 2 ab und müssen zur Unterbringung des temperaturkompensierenden Teiles des Widerstandes ausreichen.
  • Nach dem Auftragen des Metallüberzuges 2 wird das Halbzeug einer Wärmebehandlung in einem Betrieb ausgesetzt, der optimal für die Sicherung des erforderlichen Widerstandstemperaturkoeffizienten der Folie 1 und des Metallüberzuges 2 sowie aus reichend für die Beendigung des Diffusionsvorganges an der Grenze Folie 1 - Metallüberzug 2 ist. Die Durchführung der Wärmebehandlung der Folie 1 nach dem Auftragen des Metallüberzuges 2 ist darum zweckmäßig, weil außer der Verminderung des Widerstandstemperaturkoeffi zienten der Folie 1 eine Erhöhung des Widerstandstemperaturkoeffium ein Vielfaches zienten des Metallüberzeuges/2 und eine Vergrößerung seiner Adhäsion an der Folie 1 erreicht werden. Infolge der Beendigung des Diffusionsvorganges wird eine hohe Dauerstabilität des gedruckten Widerstandes gewahrleistet.
  • Der nächste' technologische Arbeitsgang ist das Aufkleben der Folie 1 mit der einen ueberzug 2 aufweisenden Seite auf die feste Unterlage (Substrat 3) unter Verwendung einer Isolierschicht 4.
  • Auf diese Weise ergibt sich ein Schichtstoff (Halbaeug), der (s.Sig.1) eine Folie 1, einen Metallüberzug 2, Klebschichten 5 und 6, eine Isolierschicht 4 und eine feste Unterlage - ein Substrat 3 - enthält.
  • Der nächste Arbeitsgang bei der Fertigung eines Widerstandes ist die Gestaltung des Leiterzuges 7 (Fig.2), der mit Hilfe der Fotolithografie hergestellt wird. Infolge dieses Arbeitsganges werden die unnötigen Abschnitte der Folie 1 und des Metallüberzuges 2 entfernt. Die Abätzung der unnötigen Abschnitte und - die Gestaltung des Leiterzuges 7 erfolgt in einer Reihenparallelschaltung der Zweige in der Weise, daß ein Teil mindestens eines der Parallelzweige des Leiterzuges 7 auf dem Abschnitt der Folie 1 mit dem ueberzug 2 liegt. Nach der Ätzung ergibt sich eine bestimmte Verdrah -tung auf dem Widerstand. Die einzelnen Abschnitte 8, 9 10 des Leiterzuges 7 weisen den erwünschten Widerstandswert auf und sind elektrisch miteinander verbunden. Beispiele der elektrischen Verbindung der Abschnitte eines temperaturkompensierten Widerstandes sind in Fig.3 und 4 gezeigt, wo <die Abschnitte> des Widerstandes##, beispielsweise#-#8, 9 und 11 #-# keinen Metallüberzug aufweisen, während der eine der Abschnitt der Abschnitte 10 des Widerstandes mit einem Metallüberzug ausgeführt ist. Schematisch sind die Abschnitte 8, 9 und 10 des Leiterzuges (im Schnitt) in Fig.2 dargestellt.
  • Der Abschnitt 11 des Widerstandes ist in Fig.2 nicht gezeigt.
  • Auf die Ätzung folgen Waschen und Trocknen.
  • Der nächstfolgende technologische Arbeitsgang ist die Anpassung der Widerstände an den Nennwert - eine änderung der Widerstände der Abschnitte 8, 9 und 11.
  • Nach der Anpassung des Widerstandes an den Nennwert wird die Anpassung des resultierenden Widerstandstemperaturkoeffizienten an den vorgegebenen Wert entsprechend dem Temperaturkompensationsprinzip verwirklicht, das auf folgendes hinausläuft Die Abschnitte 8, 9 und 10 (s. Fig.3) bilden eine Schaltung mit Parallelzweigen bezüglich der Stromklemmen I1 und 12. Der Abschnitt 10 des Widerstandes mit dem Metallüberzug 2 ist in einen der Zweige in Reihe mit dem Abschnitt 9 des Widerstandes geschaltet, an dem ein konstanter Spannungsabfall unabhängig von der Temperaturänderung des gedruckten Widerstandes erforderlich ist.
  • Im Falle einer Temperaturänderung in den Parallelzweigen des Widerstandes ist eine beachtet. So ist bei einer Temperaturerhöhung zum Beispiel eine Widerstandszunahme an sämtlichen Abschnitten des Widerstandes beobachten, was in der Regel zur Spannungsänderung führt. Da aber der Abschnitt 10 einen Meder tallüberzug 2 mit einem Widerstandstemperaturkoeffizienten, viel größer als der der Folie 1/ aufweist, steigt der Widerstand dieses Abschnitts 10 sprunghaft an, was eine Stromabnahme in dessen Zweig zur Folge hat. Bei einer Temperatursenkung nimmt der Widerstand des Abschnitts 10 gegenüber dem Abschnitt 8 sprunghaft ab, was wiederum eine Stromneuverteilung in den Parallelzweigen, insbesondere eine Zunahme Die des durch den Abschnitt 9 fließenden Stromes, bewirkt./Temperaturanhängigkeit des Spannungsabfalls im Abschnitt 9 des Widerstandes nimmt also ab.
  • mit Zur Erzielung eines hochohmigen Widerstandes kleinen Abmessungen ist es zwe#kmäßig, vier Abschnitte des Widerstandes zu haben und sie in der Weise, wie es in Fig.4 gezeigt ist, zu verbinden, wobei nur ein der Abschnitt 11 hochohmig ausgeführt ist.
  • Die Anpassung des Widerstandstemperaturkoeffi zienten wie auch die Anpassung des Widerstandswertes an den Nennwert erfolgt analog durch Auftrennung der Nebenschlußzweige.
  • Um einen Widerstandstemperaturkoeffizienten des gedruckte Widerstandes gleich Null zu haben, ist es notwendig, daß (für die Schaltung zu Fig.3) das Verhältnis α 8,9 R10 = (R8 + R9) . α10 erfüllt wird, wobei die R8,R9R10 Widerstände der Abschnitte 8,9 und 10, den des α8,9 TKR des Ausgangsmaterials des jeweilligen widerstandes, den α mK d@s Abschnitte 10 mit dem Überzug 2 10 bedeuten.
  • Entsprechend der Lösung der Aufgabe werden Labei denen 10 terialien genommen, denen ist.
  • Meist liegen die Anfangswerte der Widerstände R8 , R9 und R10 nach der Ausbildung (beispielsweise einer Ätzung) des Leiterzuges 7 viel niedriger als die jeweiligen erforderlichen Nennwerte der Widerstände, die Werte α 8,9 und α10 sind durch Ausgangsmaterialien, Auftragen des überzuges 2 und Wärmebehandlung bestimmt. Nach der Ätzung bleiben diese Koeffizienten also unverändert. Die Anpassung geschieht folglich durch Vergrößerung des Widerstandes der Abschnitte 8, 9 und 10. Die Widerstandszunahme der Abschnitte 8, 9 und 10 des Leiterzuges kann auf verschiedene Weise, beispielsweise durch Änderung der Schaltungsanordnung der einzelnen kleinen Sektionen 12 des Leiterzuges, 7 mit Hilfe der Auftrennung der Parallelzweige an den Stellen 13 zustnndezkommen.
  • Hierbei erfolgt die Anpassung des T g und des Widerstandes durch Einwirken verschi edenenAbschnitte.
  • Der Ersatzwiderstand<wird>an den Klemmen V1 und V2 <S> hauptsachlich durch das Verhältnis der Widerstände der Abschnitte 8 und 9 bestimmt. Der Einfluß des Widerstandes des Abschnitts 10 kann vernachlässigt werden.
  • Der resultierande R des Widerstandes bezüglich der Klemmen VI und V2 wird dagegen durch das Verhältnis des Widerstandes des Abschnitts 10 zum Gesamtwiderstand der Abschnitte 8 und 9 bestimmt.
  • Nachstehend wird erläutert; wie die Anpassung des TKR des Widerstandes an den gewünschten Wert durch die Anpassung des Abschnitts 10 (des temperaturkompensierenden Teiles des Widerstandes) verwirklicht wird.
  • Indem man einen Strom durch die Klemmen In und. 12 fließen läßt und die Spannung an den Klemmen V1 und V2 mißt, paßt man den Widerstandswert an den Vorgabewert an.
  • Der Widerstand des abschnitts 10 bleibt hierbei gering, und der resultierende TKR des Widerstandes ist ungefähr gleich #-# dem TKR/des Widerstandsmaterials #α8,9# . Indem man den Widerstand des Abschnitts 10 erhöht und'die Spannung bei zwei Temperaturen, beispielsweise bei 20 und 300C, überwacht, strebt man danach, daß die Spannungsänderung gleich Null oder einem gewunschten Wert ist, d.h. U20°C = U30o0 oder U30°C - U20°C = # U, wobei U der gewünschte Wert ist. Dann paßt man durch eine geringfügige Widerstandsder änderung der Abschnitte 8 und 9 den Widerstandswert mit er-Der forderlichen genauigleit an den Nennwert an./TKR des Widerstandes wird hierbei nicht beeinträchtigt.
  • Die Anpassung des TKR des Widerstandes an den gewünsehten Wert durch Einwirken auf den Abschnitt 8 oder 9 (des nicht temperaturkompensierenden Teiles des Widerin standes) erfolgt/folgenderWeise.
  • Nach der Ätzung liegt der Widerstand der Abschnitte 8 und 9 wie auch im vorhergehenden Fall unterhalb der erforderlichen Werte, während der Widerstand des Abschnitts 10 nahe am Rechenwert ist. In diesem Fall liegt das Verhältnis R10 > α 8,9 R8 + R9 α10 vor, und das Halbzeug des Widerstandes wird überkompensiert. Zur Erreichung einer optimalen Kompensation wird die Anpassung durch Vergrößerung der Widerstände der Abschnitte 8 und 9 verwirklicht. Die Anpassung wird wiederum so lange fortgesetzt, bis eine der gewunschten Glei -chungen U20°C = U30°C oder U30°C - U20°C = # U erfüllt wird, wobei nur der Widerstand des Abschnitts 10 unverändert .bleibt.
  • Zur besseren erläuterung des Wesens der vorliegenden einer 3 1 Erfindung soll nachstehend ein konkretes/Ausführung Beispiel eines gedruckten Widerstandes gemäß der Erfindung angeführt werden.
  • Beispiel einer aus 1) Aus Folie/einer Widerstandslegierung vom Typ Nichrom mit einer Dicke von 0,02 mm werden 210 mm lange und 70 mm breite Halbzeug jedes Halbzeuglgür drei Widerstände) ausgeschnitten.
  • 2) Mit einer Schablone werden die Umrisse von drei Flächen der Abmessungen 10x15 mm für einen Metallüberzug markiert.
  • 3) Es wird die Gesamtfläche des Halbzeuges, ausgenommen der drei genannten Flächen, mit einem gegenüber dem Elektrolyten zur Vernickelung beständigen Lack geschützt.
  • 4) Auf die durch den Lack nicht geschützten Flächen wird galvanisch eine Nickelschicht mit einer Dicke von 0,01 mm aufgetragen.
  • 5) Die Halbzeug mit Nickelüberzügen werden einer Wärmebehandlung bei einer Temperatur von 400 bis 6000C ausgesetzt.
  • 6) Das 210 mm lange Halbzeug wird in drei Halbzeug von je 70 mm Länge geschnittün.
  • 7) Auf jedes erhaltene Halbzeug wird durch Einschnitt eine Markierung bezüglich des Nickelüberzuges aufgetragen.
  • 8) Das Halbzeug der Folie wird<auf das Substrat aus dem Stahl mit der Seite mit/Nickelüberzug iiber eine isolierende Zwischenlage aus 9) Auf die Folie wird ein Fotowiderstand aufgetragen.
  • 10) Es wird das Bild des Leiterzuges mit den Anschlüssen abgedruckt, wobei die Fotoschablone nach der genannten Markierung orientiert wird.
  • 11) Es wird der Leiterzug eingeätzt.
  • 12) Es wird der eingeätzte Leiterzug durch einen Lacküberzug vor mechanischen Beschädigungen geschützt.
  • 13) Es wird der Widerstandswert der hergestellten Widerstände an den Nennwert angepaßt.
  • der 14) Es wird/TKR an den gewünschten Wert angepaßt.
  • Die im vorliegenden Verfahren hergestellten temperaturkompensierten Widerstände können als präzises Eichmaß eines elektrischen Wid erstand es in verschiedenen elektrischen Schaltungen unter gleichzeitiger Temperaturkompensation der Fehler der anderen Bauelemente, beispielsweise in Gleich-und Wechselspannungsstabilisatoren, eingesetzt werden.
  • Darüber hinaus kann der Anwendungsbereich der beschriebenen temperaturkompensie*en Widerstände erweitert werden, wenn man die Herstellung von zusätzlichen Anschlüssen für den Anschluß eines veränderlichen Außenwiderstandes parallel zu einem der Abschnitte 8,9 oder 10 vorsieht. In diese Fall kann der Widerstandstemperaturkoeffizient des gedruckten Widerstandes bei der Arbeit geändert werden.
  • Die im technischen Maßstab hergestellten temperaturkompensierten Widerstände weisen eine hohe Genauigkeit von und etwa +0,002% für den vorgegebenen Widerstandswert/ Widerstandstemperaturkoeffizienten α = + 0,5.10-6 1/°C, ß = - 0,05.10-6 1/°C auf, deren Stabilität für ein Jahr nicht schlechter als + 0,001% ist.

Claims (4)

PATENTANSPRÜCHE
1. Gedruckter Widerstand, der eine aus einem Substrat und aus einem damit verbundenen, mit zwei Stromanschlüssen und mit mindestens einem Spannungsanschluß versehenen Leiterzug aus einer Folie zusammengesetzte Schichtstruktur aufweist , d a d u r c h g e k e n n z e i c h -n e t , daß der Leiterzug (7) als eine aus Reihenparallelzweigen bestehende. Schaltung gestaltet ist, wobei ein Abschnitt (10) mindestens eines der Parallelzweige des Leiterzuges(7)aus einem Material mit einem Widerstandstemperaturkoeffizienten (α10),dergrößer als beim Materialdes übrigen Teiles des Leiterzuges (7), ist, <einer Widerstandslegierung» besteht , und mit einen Seite des Abschnitts (10) der eine der Stromanschlüsse (I2) und mit der anderen Seite der eine der Spannungsanschlüsse (V2) gekoppelt ist.
2. Herstellungsverfahren für einen gedruckten Widerstand nach Anspruch 1, bestehend aus der Wärmebehandlung der Folie, deren Aufkleben auf das Substrag der Gestaltung des Leiterzuges des Widerstandes, d a d u r c h g e k e n n -z e i c h n e t , daß vor der Wärmebehandlung auf einen eine zur Unterbringung des temperaturkompensierenden Teiles des herzustellenden Widerstandes ausreichende Größe aufweisenden Abschnitt (10) aer Folie (1) ein Metallüberzug (2) mit einem größeren Widerstandstemperaturkoeffizienten (α10) als beim Material der Folie (1) aufgetragen wird, der sich durch eine größere Auflösungsgescbwindigkeit in einem Ätzmittel auszeichnet, die Wärmebehandlung der Folie (1) mit dem aufgetragenen Uberzug (2) bei einer zur Beendigung des Diffusionsvorganges an d er Grenze der Folie (1) und des genannten Überzuges (2) ausreichenden Temperatur durchgeführt, die Folie (1)<->auf das Substrat (3)(mit der einen Überzug (2) aufweisenden Seite>aufgeklebt und die Gestaltung des Leiterzuges (7) als Reihenparalleischaltung der Zweige in der Weise vorgenommen wird, daß ein Teil mindestens eines der Parallelzweige des Leiterzuges (7) auf dem Abschnitt (10) der Folie (1) mit dem aufgetragenen Uberzug (2) liegt.
3. Herstellungsverfahren nach Anspruch 2, d a d u r c h g e k e n n z e i c h n e t , daß nach der Gestaltung des Leiterzuges (7) der resultierende Widerstandstempera-#-# turkoeffizient des gedruckten Widerstandes/an den gewünsch-Widerstandes seines ten Wert#durch eine Änderung des/ temperaturkompensierenden Teiles (Abschnitt 10)2 angepaßt wird.
4. Herstellungsverfahren nach Anspruch 2, d a d u r c h g e k e n n z e i c h n e t , daß nach der Gestaltung des Leiterzuges (7) der resultierende Widerstandstemperaturkoeffizient des gedruckten Widerstandes an den gewünschten Widerstandes seines Wert(durch eine Anderung des/nicht temperaturkompensierenden Teiles (Abschnitte 8, 9 )> angepaßt wird.
L e e r s e i t e
DE19752501824 1975-01-17 1975-01-17 Gedruckter widerstand und dessen herstellungsverfahren Pending DE2501824A1 (de)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE19752501824 DE2501824A1 (de) 1975-01-17 1975-01-17 Gedruckter widerstand und dessen herstellungsverfahren

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE19752501824 DE2501824A1 (de) 1975-01-17 1975-01-17 Gedruckter widerstand und dessen herstellungsverfahren

Publications (1)

Publication Number Publication Date
DE2501824A1 true DE2501824A1 (de) 1976-07-22

Family

ID=5936699

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
DE19752501824 Pending DE2501824A1 (de) 1975-01-17 1975-01-17 Gedruckter widerstand und dessen herstellungsverfahren

Country Status (1)

Country Link
DE (1) DE2501824A1 (de)

Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE3035717A1 (de) * 1980-09-22 1982-04-08 Siemens AG, 1000 Berlin und 8000 München Verfahren zur serienmaessigen herstellung von folienwiderstaenden oder netzwerken von folienwiderstaenden
EP0184609A1 (de) * 1984-11-09 1986-06-18 ANT Nachrichtentechnik GmbH Anordnung zum Erfassen eines Stromes durch einen Widerstand
DE3806156A1 (de) * 1987-02-27 1988-09-08 Fluke Mfg Co John Verbundwiderstand und verfahren zu dessen herstellung
EP1452879A1 (de) * 2001-12-03 2004-09-01 Sanken Electric Co., Ltd. Stromdetektionsschaltung und stellgliedansteuervorrichtung
EP2169412A1 (de) * 2008-09-25 2010-03-31 Ilumab AB Elektrische Strommessanordnung

Cited By (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE3035717A1 (de) * 1980-09-22 1982-04-08 Siemens AG, 1000 Berlin und 8000 München Verfahren zur serienmaessigen herstellung von folienwiderstaenden oder netzwerken von folienwiderstaenden
EP0184609A1 (de) * 1984-11-09 1986-06-18 ANT Nachrichtentechnik GmbH Anordnung zum Erfassen eines Stromes durch einen Widerstand
DE3806156A1 (de) * 1987-02-27 1988-09-08 Fluke Mfg Co John Verbundwiderstand und verfahren zu dessen herstellung
EP1452879A1 (de) * 2001-12-03 2004-09-01 Sanken Electric Co., Ltd. Stromdetektionsschaltung und stellgliedansteuervorrichtung
EP1452879A4 (de) * 2001-12-03 2009-04-15 Sanken Electric Co Ltd Stromdetektionsschaltung und stellgliedansteuervorrichtung
EP2169412A1 (de) * 2008-09-25 2010-03-31 Ilumab AB Elektrische Strommessanordnung

Similar Documents

Publication Publication Date Title
DE69005785T2 (de) Elektrischer Widerstand in Chip-Bauweise für Oberflächenbestückung und Verfahren zu seiner Herstellung.
DE2817286C2 (de) Verfahren zum Anbringen von Distanzgliedern auf Hybrid-Schaltungen
EP0018013A1 (de) Dehnungsmessstreifen - Brückenschaltung
DE2326043A1 (de) Abgreifbare festimpedanzen
DE4433693C2 (de) Chipwiderstand und dessen Verwendung
DE2706931C2 (de)
DE2354567A1 (de) Digital-analog-umsetzer
EP0841668A1 (de) Elektrischer Widerstand und Verfahren zu seiner Herstellung
DE7521840U (de) Elektrischer praezisionswiderstand
EP0234487B1 (de) Dünnschichtschaltung und ein Verfahren zu ihrer Herstellung
DE2501824A1 (de) Gedruckter widerstand und dessen herstellungsverfahren
DE3627213C2 (de)
DE3722941C2 (de)
EP0006442A2 (de) Abgleichbarer Dünnschicht-Widerstand
DE102008016613B4 (de) Verfahren zur Herstellung eines elektrischen Bauelements mit mindestens einer dielektrischen Schicht und ein elektrisches Bauelement mit mindestens einer dielektrischen Schicht
DE112017007319T5 (de) Halbleitervorrichtung, Leistungsumwandlungsvorrichtung und Verfahren zum Herstellen einer Halbleitervorrichtung
DE2736056A1 (de) Elektrisches bauelement und verfahren zu seiner herstellung
DE2513859C2 (de) Verfahren zum Herstellen eines Kondensator-Widerstands-Netzwerks
AT344826B (de) Gedruckte widerstandsanordnung und deren herstellungsverfahren
DE1791233B1 (de) Verfahren zur Herstellung eines Funktionsblocks,insbesondere fuer datenverarbeitende Anlagen
DE1439529B2 (de) : Halbleiterbauelement mit einem planaren Halbleiterelement auf einer Kontaktierungsplatte und Verfahren zum Herstellen desselben
DE1665384A1 (de) Elektrische Duennschichtschaltung
DE68906044T2 (de) Supraleitende logische vorrichtung.
DE2534414A1 (de) Magneto-widerstand und verfahren zu dessen herstellung
DE2233515A1 (de) Mehrfach-thermoelemente und verfahren zu ihrer herstellung