DE2441448A1 - Vorrichtung zum aufbringen von spritzueberzuegen auf substrate - Google Patents
Vorrichtung zum aufbringen von spritzueberzuegen auf substrateInfo
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- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
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- C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
- C23C14/22—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the process of coating
- C23C14/56—Apparatus specially adapted for continuous coating; Arrangements for maintaining the vacuum, e.g. vacuum locks
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Description
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W.699
Augsburg, den 28.,August 197k
The British Oxygen Company Limited, Hammersmith House,
London W6 9DX,. England
Vorrichtung zum Aufbringen von Spritzüberzügen auf Substrate
Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung zum Aufbringen
von Spritzüberzügen auf Substrate,
Insbesondere handelt es sich dabei um eine Vorrichtung zum überziehen sämtlicher Oberflächen eines Grundmaterials
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2UU48
mit einem überzug in einem Spritzverfahren,
Bei dem zu überziehenden Material kann es sich um Stangen oder Rohre aus Metall oder anderem Werkstoff handeln.
Insbesondere eignet sich die Erfindung, jedoch zum überuiehen von pulverförmigen Substraten, Beim überziehen von pulverförmigen
Stoffen ist te notwendig, daß das Überzugsmaterial von allen Seiten an die Körner des Pulvers herankommt, damit
diese einen gleichförmigen überzug erhalten.
Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, eine Vorrichtung der eingangs dargelegten Art zu schaffen, bei
welcher das Überzugsmaterial von einer Fläche weggesprüht wird, welche den von dem zu überziehenden Material zu
durchlaufenden Weg umgibt,
Im Sinne der Lösung dieser Aufgabe ist eine solche Vorrichtung gemäß der Erfindung durch ein vakuumdichtes
Gehäuse, eine darin angeordnete, aus dem Überzugsmaterial bestehende hohlzylindrische Elektrode und durch Mittel
gekennzeichnet, welche ein Absprühen von Material an der Innenfläche der Elektrode erzeugen, derart, daß dieses
abgesprüht· Elektrodenmaterial auf das im wesentlichen
entlang der Elektrodenachs· durch die Elektrode hindurchpassierende Substrat auftrifft4
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24Α14Ά8
Eine bevorzugte Ausführungsform der Erfindung wird
nachstehend mit Bezug auf die anliegende Zeichnung beispielsweise beschrieben, welche einen schematischen Schnitt
durch eine Spritzvorrichtung nach der Erfindung zeigt»
Die dargestellte Spritzvorrichtung weist ein Gehäuse
auf, das an seinem oberen Ende einen Plansch 4 und an
seinem unteren Ende einen Auslaß 6 aufweist, welch letzterer zum Betrieb der Vorrichtung an eine geeignete Vakuumpumpe
anschließbar ist.
Der Flansch *J ist so ausgebildet, daß daran Mittel
zum Zuführen des zu überziehenden Materials in das Innere des Gehäuses 2 vakuumdicht befestigbar sind. Handelt es
sich bei dem zu überziehenden Material um ein Pulver, so wird anstelle der dargestellten Verschlußplatte 8 ein
geeigneter, nicht dargestellter verschlossener Aufgabetrichter am oberen Ende der Vorrichtung angebracht. Sollen
mit der dargestellten Vorrichtung Drähte, Stangen oder Rohre überzogen werden, so wird die Verschlußplatte 8
durch Mittel zum Zuführen der genannten länglichen Werkstücke durch eine oder mehrere Vakuumdichtungen in das
Gehäuseinnere hinein ersetzt. Für längliche Substrate sind auch andere Auffangmittel als die in der Zeichnung
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dargestellten Mittel erforderlich, welch letztere zum Sammeln überzogener Pulvermaterialien ausgebildet sind.
Die dargestellte Sammeleinrichtung besteht aus einem Trichter 10, einem Schieberventil 12 und einer Sammelkammer 14,
in welcher ein Sammelbehälter 16 untergebracht ist« Das Innere der Sammelkammer 14 kann selektiv evakuiert oder mit der
Außenluft verbunden werden, indem ein entweder mit einer Vakuumpumpe oder mit der Außenluft in Verbindung stehendes
Ventil 18 entsprechend betätigt wird. Die Kammer 14 ist mit einem vakuumdichten Verschluß 20 versehen, durch welchen
der Sammelbehälter 16 in die Kammer hineingebracht oder aus dieser herausgenommen werden kann.
Im Inneren des Gehäuses befinden sich zwei koaxiale Elektroden 22 und 24, Diese beiden Elektroden sind außerhalb
des Gehäuses 2 mit einer geeigneten elektrischen Energiequelle 26 verbunden, die eine Hochfrequenz-Wechselspannung
liefert. Die Elektroden und die Spannungsquelle sind so geschaltet, daß im Betrieb zwischen den beiden Elektroden
eine Glimmentladung stattfindet,.welche eine Materialabsonderung von der Innenfläche der beiden Elektroden mittels
eines Sprühmechanismus hervorruft. Das von den Elektrodeninnenflächen
abgesprühte Elektrodenmaterial bewegt sich zur
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Mitte des Gehäuses 2 hin, wo es mit der Oberfläche der Pulverkörner oder des Drahtes oder eines anderen Substrats
in Berührung kommt, welches entlang der Elektrodenachse durch das Gehäuse hindurchpassiert. Die Bedingungen sind
so gewählt, daß das Überzugsmaterial beim Auftreffen auf ·
das Substrat an dieses gebunden wird und einen die Oberfläche des Substrats vollständig bedeckenden überzug
bilden.
Wird die Vorrichtung zum überziehen von Drähten oder
dgl, verwendet, kann sie in jeder zweckmäßigen Orientierung angeordnet sein. Sollen jedoch Pulveratoffe überzogen
werden, wie es bei der dargestellten Ausführungsform der
Fall ist, muß das Gehäuse 2 vertikal angeordnet sein, damit die Pulverkörner infolge der Schwerkraft entlang
der Achse der Vorrichtung fallen»
Während des Falles wird auf den Pulverkörnern ein
überzug gebildet, dessen Dicke von dem Maß des Absprühena
von Elektrodenmaterial von den Elektroden, dem im Gehäuse herrschenden Gasdruck und der Zeitdauer abhängt,
während welcher die Pulverkörner mit dem Überzugsmaterial, beaufschlagt werden.
Gemäß der Darstellung befindet sich im Inneren des
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Gehäuses 2 außerdem ein zylindrisches Gitter 28, Dieses •Gitter ist nicht zwingend erforderlich.und ist gewünschten
* falls vorgesehen, wenn das zu überziehende Pulver einen . feldfreien Raum passieren soll. Das Gitter 28 ist am
Gehäuse 2 geerdet, so daß das von den Elektroden 22 und erzeugte Feld sich nicht in den innerhalb des Gitters
befindlichen Raum hineinerstreckt. Das Gitter ist jedoch so ausgebildet, daß der größte Teil des von den Elektroden
abgesprühten Werkstoffes durch die Gitteröffnungen hindurchpassiert und zur überzugsbildung Verwendung
findet.
Die überzogenen Pulverstoffe können wahlweise nach entsprechender Betätigung des Schieberventils 12 und des
vakuumdichten Verschlusses 20 entnommen werden.
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Claims (1)
- Patentansprüche1,/Vorrichtung, zum Aufbringen von Spritzüberzügen auf Substrate, gekennzeichnet durch ein vakuumdichtes Gehäuse (2), eine darin angeordnete, aus dem Überzugsmaterial bestehende hohlzylindrische Elektrode (22) und durch Mittel, welche ein Absprühen von Material an der Innenfläche der Elektrode erzeugen, derart, daß dieses abgesprühte Elektrodenmaterial auf das im wesentlichen entlang der Elektrodenachse durch die Elektrode hindurchpassierende Substrat auftrifft,2, Vorrichtung nach Anspruch I9 dadurch gekennzeichnet', daß dieselbe eine zweite hohlzylindrische Elektrode (24) aus überzugsmatperial aufweist, welche koaxial und stirnseitig mit Bezug auf die erstgenannte Elektrode (22) angeordnet ist, und daß die beiden Elektroden jeweils mit einem Pol einer Hochfrequenz-Wechselspannungsquelle (26) verbunden sind, . . . .3, Vorrichtung nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß die zweite Elektrode (24) denselben Durchmesser wie die erste Elektrode aufweist.509810/0 87 924414A84, Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, daß das Gehäuse an den Einlaß einer Vakuumpumpe anschließbar ist,5, Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 4, dadurcn gekennzeichnet, daß die Elektrodenachse vertikal verläuft und daß oberhalb der Elektrode bzw, der Elektroden (22, 24) ein geschlossener Aufgabebehälter für pulverförmiges Substrat angeordnet ist, derart, daß das Pulver aus dem Aufgabebehälter entlang der Elektrodenachse herabfällt,6, Vorrichtung nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, daß unterhalb der Elektrode bzw, der elektroden (22, 24) ein Sammeltrichter (10) und unterhalb desselben eine Sammelkammer (14) angeordnet sind,7, Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 6, gekennzeichnet durch ein geerdetes zylindrisches Gitter (28), welches innerhalb der Elektrode bzw, der Elektroden (22, 24) angeordnet ist und die Elektrodenachse umgibt.509810/0879
Applications Claiming Priority (1)
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Family Applications (1)
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DE (1) | DE2441448A1 (de) |
GB (1) | GB1435344A (de) |
NL (1) | NL7411499A (de) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE2933253A1 (de) * | 1978-08-17 | 1980-03-06 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | Aufzeichnungsmaterial und verfahren zur aufzeichnung optischer informationen |
US4940523A (en) * | 1988-06-09 | 1990-07-10 | Nisshin Steel Company Ltd. | Process and apparatus for coating fine powders |
US5753089A (en) * | 1995-06-28 | 1998-05-19 | Balzers Aktiengesellschaft | Sputter coating station |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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DE3401700C1 (de) * | 1984-01-19 | 1985-08-14 | MTU Motoren- und Turbinen-Union München GmbH, 8000 München | Verfahren zur Herstellung von Pulvern unter Weltraumbedingungen |
Family Cites Families (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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-
1973
- 1973-08-31 GB GB4115373A patent/GB1435344A/en not_active Expired
-
1974
- 1974-08-29 DE DE19742441448 patent/DE2441448A1/de active Pending
- 1974-08-29 NL NL7411499A patent/NL7411499A/xx unknown
- 1974-08-30 JP JP9984174A patent/JPS5064185A/ja active Pending
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Also Published As
Publication number | Publication date |
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NL7411499A (nl) | 1975-03-04 |
JPS5064185A (de) | 1975-05-31 |
GB1435344A (en) | 1976-05-12 |
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