DE2441448A1 - Vorrichtung zum aufbringen von spritzueberzuegen auf substrate - Google Patents

Vorrichtung zum aufbringen von spritzueberzuegen auf substrate

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DE2441448A1
DE2441448A1 DE19742441448 DE2441448A DE2441448A1 DE 2441448 A1 DE2441448 A1 DE 2441448A1 DE 19742441448 DE19742441448 DE 19742441448 DE 2441448 A DE2441448 A DE 2441448A DE 2441448 A1 DE2441448 A1 DE 2441448A1
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DE
Germany
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electrode
electrodes
housing
substrates
axis
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Application number
DE19742441448
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English (en)
Inventor
Robert Edward Latimer Cox
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BOC Group Ltd
Original Assignee
British Oxigen Ltd
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    • C23COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23CCOATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C14/00Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
    • C23C14/22Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the process of coating
    • C23C14/56Apparatus specially adapted for continuous coating; Arrangements for maintaining the vacuum, e.g. vacuum locks
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C23COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
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Description

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Augsburg, den 28.,August 197k
The British Oxygen Company Limited, Hammersmith House,
London W6 9DX,. England
Vorrichtung zum Aufbringen von Spritzüberzügen auf Substrate
Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung zum Aufbringen
von Spritzüberzügen auf Substrate,
Insbesondere handelt es sich dabei um eine Vorrichtung zum überziehen sämtlicher Oberflächen eines Grundmaterials
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mit einem überzug in einem Spritzverfahren,
Bei dem zu überziehenden Material kann es sich um Stangen oder Rohre aus Metall oder anderem Werkstoff handeln. Insbesondere eignet sich die Erfindung, jedoch zum überuiehen von pulverförmigen Substraten, Beim überziehen von pulverförmigen Stoffen ist te notwendig, daß das Überzugsmaterial von allen Seiten an die Körner des Pulvers herankommt, damit diese einen gleichförmigen überzug erhalten.
Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, eine Vorrichtung der eingangs dargelegten Art zu schaffen, bei welcher das Überzugsmaterial von einer Fläche weggesprüht wird, welche den von dem zu überziehenden Material zu durchlaufenden Weg umgibt,
Im Sinne der Lösung dieser Aufgabe ist eine solche Vorrichtung gemäß der Erfindung durch ein vakuumdichtes Gehäuse, eine darin angeordnete, aus dem Überzugsmaterial bestehende hohlzylindrische Elektrode und durch Mittel gekennzeichnet, welche ein Absprühen von Material an der Innenfläche der Elektrode erzeugen, derart, daß dieses abgesprüht· Elektrodenmaterial auf das im wesentlichen entlang der Elektrodenachs· durch die Elektrode hindurchpassierende Substrat auftrifft4
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Eine bevorzugte Ausführungsform der Erfindung wird nachstehend mit Bezug auf die anliegende Zeichnung beispielsweise beschrieben, welche einen schematischen Schnitt durch eine Spritzvorrichtung nach der Erfindung zeigt»
Die dargestellte Spritzvorrichtung weist ein Gehäuse auf, das an seinem oberen Ende einen Plansch 4 und an seinem unteren Ende einen Auslaß 6 aufweist, welch letzterer zum Betrieb der Vorrichtung an eine geeignete Vakuumpumpe anschließbar ist.
Der Flansch *J ist so ausgebildet, daß daran Mittel zum Zuführen des zu überziehenden Materials in das Innere des Gehäuses 2 vakuumdicht befestigbar sind. Handelt es sich bei dem zu überziehenden Material um ein Pulver, so wird anstelle der dargestellten Verschlußplatte 8 ein geeigneter, nicht dargestellter verschlossener Aufgabetrichter am oberen Ende der Vorrichtung angebracht. Sollen mit der dargestellten Vorrichtung Drähte, Stangen oder Rohre überzogen werden, so wird die Verschlußplatte 8 durch Mittel zum Zuführen der genannten länglichen Werkstücke durch eine oder mehrere Vakuumdichtungen in das Gehäuseinnere hinein ersetzt. Für längliche Substrate sind auch andere Auffangmittel als die in der Zeichnung
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dargestellten Mittel erforderlich, welch letztere zum Sammeln überzogener Pulvermaterialien ausgebildet sind.
Die dargestellte Sammeleinrichtung besteht aus einem Trichter 10, einem Schieberventil 12 und einer Sammelkammer 14, in welcher ein Sammelbehälter 16 untergebracht ist« Das Innere der Sammelkammer 14 kann selektiv evakuiert oder mit der Außenluft verbunden werden, indem ein entweder mit einer Vakuumpumpe oder mit der Außenluft in Verbindung stehendes Ventil 18 entsprechend betätigt wird. Die Kammer 14 ist mit einem vakuumdichten Verschluß 20 versehen, durch welchen der Sammelbehälter 16 in die Kammer hineingebracht oder aus dieser herausgenommen werden kann.
Im Inneren des Gehäuses befinden sich zwei koaxiale Elektroden 22 und 24, Diese beiden Elektroden sind außerhalb des Gehäuses 2 mit einer geeigneten elektrischen Energiequelle 26 verbunden, die eine Hochfrequenz-Wechselspannung liefert. Die Elektroden und die Spannungsquelle sind so geschaltet, daß im Betrieb zwischen den beiden Elektroden eine Glimmentladung stattfindet,.welche eine Materialabsonderung von der Innenfläche der beiden Elektroden mittels eines Sprühmechanismus hervorruft. Das von den Elektrodeninnenflächen abgesprühte Elektrodenmaterial bewegt sich zur
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Mitte des Gehäuses 2 hin, wo es mit der Oberfläche der Pulverkörner oder des Drahtes oder eines anderen Substrats in Berührung kommt, welches entlang der Elektrodenachse durch das Gehäuse hindurchpassiert. Die Bedingungen sind so gewählt, daß das Überzugsmaterial beim Auftreffen auf · das Substrat an dieses gebunden wird und einen die Oberfläche des Substrats vollständig bedeckenden überzug bilden.
Wird die Vorrichtung zum überziehen von Drähten oder dgl, verwendet, kann sie in jeder zweckmäßigen Orientierung angeordnet sein. Sollen jedoch Pulveratoffe überzogen werden, wie es bei der dargestellten Ausführungsform der Fall ist, muß das Gehäuse 2 vertikal angeordnet sein, damit die Pulverkörner infolge der Schwerkraft entlang der Achse der Vorrichtung fallen»
Während des Falles wird auf den Pulverkörnern ein überzug gebildet, dessen Dicke von dem Maß des Absprühena von Elektrodenmaterial von den Elektroden, dem im Gehäuse herrschenden Gasdruck und der Zeitdauer abhängt, während welcher die Pulverkörner mit dem Überzugsmaterial, beaufschlagt werden.
Gemäß der Darstellung befindet sich im Inneren des
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Gehäuses 2 außerdem ein zylindrisches Gitter 28, Dieses •Gitter ist nicht zwingend erforderlich.und ist gewünschten * falls vorgesehen, wenn das zu überziehende Pulver einen . feldfreien Raum passieren soll. Das Gitter 28 ist am Gehäuse 2 geerdet, so daß das von den Elektroden 22 und erzeugte Feld sich nicht in den innerhalb des Gitters befindlichen Raum hineinerstreckt. Das Gitter ist jedoch so ausgebildet, daß der größte Teil des von den Elektroden abgesprühten Werkstoffes durch die Gitteröffnungen hindurchpassiert und zur überzugsbildung Verwendung findet.
Die überzogenen Pulverstoffe können wahlweise nach entsprechender Betätigung des Schieberventils 12 und des
vakuumdichten Verschlusses 20 entnommen werden.
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Claims (1)

  1. Patentansprüche
    1,/Vorrichtung, zum Aufbringen von Spritzüberzügen auf Substrate, gekennzeichnet durch ein vakuumdichtes Gehäuse (2), eine darin angeordnete, aus dem Überzugsmaterial bestehende hohlzylindrische Elektrode (22) und durch Mittel, welche ein Absprühen von Material an der Innenfläche der Elektrode erzeugen, derart, daß dieses abgesprühte Elektrodenmaterial auf das im wesentlichen entlang der Elektrodenachse durch die Elektrode hindurchpassierende Substrat auftrifft,
    2, Vorrichtung nach Anspruch I9 dadurch gekennzeichnet', daß dieselbe eine zweite hohlzylindrische Elektrode (24) aus überzugsmatperial aufweist, welche koaxial und stirnseitig mit Bezug auf die erstgenannte Elektrode (22) angeordnet ist, und daß die beiden Elektroden jeweils mit einem Pol einer Hochfrequenz-Wechselspannungsquelle (26) verbunden sind, . . . .
    3, Vorrichtung nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß die zweite Elektrode (24) denselben Durchmesser wie die erste Elektrode aufweist.
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    4, Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, daß das Gehäuse an den Einlaß einer Vakuumpumpe anschließbar ist,
    5, Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 4, dadurcn gekennzeichnet, daß die Elektrodenachse vertikal verläuft und daß oberhalb der Elektrode bzw, der Elektroden (22, 24) ein geschlossener Aufgabebehälter für pulverförmiges Substrat angeordnet ist, derart, daß das Pulver aus dem Aufgabebehälter entlang der Elektrodenachse herabfällt,
    6, Vorrichtung nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, daß unterhalb der Elektrode bzw, der elektroden (22, 24) ein Sammeltrichter (10) und unterhalb desselben eine Sammelkammer (14) angeordnet sind,
    7, Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 6, gekennzeichnet durch ein geerdetes zylindrisches Gitter (28), welches innerhalb der Elektrode bzw, der Elektroden (22, 24) angeordnet ist und die Elektrodenachse umgibt.
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DE19742441448 1973-08-31 1974-08-29 Vorrichtung zum aufbringen von spritzueberzuegen auf substrate Pending DE2441448A1 (de)

Applications Claiming Priority (1)

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GB4115373A GB1435344A (en) 1973-08-31 1973-08-31 Sputtering apparatus

Publications (1)

Publication Number Publication Date
DE2441448A1 true DE2441448A1 (de) 1975-03-06

Family

ID=10418348

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Application Number Title Priority Date Filing Date
DE19742441448 Pending DE2441448A1 (de) 1973-08-31 1974-08-29 Vorrichtung zum aufbringen von spritzueberzuegen auf substrate

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JP (1) JPS5064185A (de)
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GB (1) GB1435344A (de)
NL (1) NL7411499A (de)

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Also Published As

Publication number Publication date
NL7411499A (nl) 1975-03-04
JPS5064185A (de) 1975-05-31
GB1435344A (en) 1976-05-12

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