DE2400792A1 - Sorptionspumpvorrichtung - Google Patents
SorptionspumpvorrichtungInfo
- Publication number
- DE2400792A1 DE2400792A1 DE2400792A DE2400792A DE2400792A1 DE 2400792 A1 DE2400792 A1 DE 2400792A1 DE 2400792 A DE2400792 A DE 2400792A DE 2400792 A DE2400792 A DE 2400792A DE 2400792 A1 DE2400792 A1 DE 2400792A1
- Authority
- DE
- Germany
- Prior art keywords
- container
- input line
- sorption
- pump device
- tube
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
- B01D—SEPARATION
- B01D53/00—Separation of gases or vapours; Recovering vapours of volatile solvents from gases; Chemical or biological purification of waste gases, e.g. engine exhaust gases, smoke, fumes, flue gases, aerosols
- B01D53/02—Separation of gases or vapours; Recovering vapours of volatile solvents from gases; Chemical or biological purification of waste gases, e.g. engine exhaust gases, smoke, fumes, flue gases, aerosols by adsorption, e.g. preparative gas chromatography
- B01D53/04—Separation of gases or vapours; Recovering vapours of volatile solvents from gases; Chemical or biological purification of waste gases, e.g. engine exhaust gases, smoke, fumes, flue gases, aerosols by adsorption, e.g. preparative gas chromatography with stationary adsorbents
- B01D53/0407—Constructional details of adsorbing systems
- B01D53/0446—Means for feeding or distributing gases
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04B—POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS
- F04B37/00—Pumps having pertinent characteristics not provided for in, or of interest apart from, groups F04B25/00 - F04B35/00
- F04B37/02—Pumps having pertinent characteristics not provided for in, or of interest apart from, groups F04B25/00 - F04B35/00 for evacuating by absorption or adsorption
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J41/00—Discharge tubes for measuring pressure of introduced gas or for detecting presence of gas; Discharge tubes for evacuation by diffusion of ions
- H01J41/12—Discharge tubes for evacuating by diffusion of ions, e.g. ion pumps, getter ion pumps
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- General Chemical & Material Sciences (AREA)
- Oil, Petroleum & Natural Gas (AREA)
- Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
- Compressors, Vaccum Pumps And Other Relevant Systems (AREA)
- Separation Of Gases By Adsorption (AREA)
- Reciprocating Pumps (AREA)
Description
Die Erfindung bezieht sieh auf eine Sorptionspumpvorrichtung
mit einem Behälter Tür Sorptionsmaterial, das über eine Eingangsleitung mit einem zu evakuierenden
Raum verbindbar ist.
Sorptionspumpvorrichtungen der obengenannten Art sind aus den britischen Patentschriften 921,666 und
939-395 bekannt.
Bekannte Sorptionspumpvorrichtungen weisen
eine einzige feste Eingangsleitung auf. Ein Nachteil dieser Konstruktion ist, dass insbesondere bei niedrigeren Anfangsdrücken
in dem zu evakuierenden Raum nur diejenigen Sorptionsmaterialschichten, die sich in der unmittelbaren Nähe
der Mündung der Eingangsleitung im Behälter befinden, auf
4.0 9 8 3 1 / 0 3 1 3
10-12-1973.
-Z-
wirksame Weise benutzt werden. Diese Schichten liegen gegenüber
den aus dem zu evakuierenden Raum abzupumpenden Gasen am günstigsten. Dadurch erhalten die genannten Schichten
beim Pumpen einen verhältnismässig hohen Besetzungsgrad
an Gasmolekülen, während der Besetzungsgrad der übrigen weiter von der Eingangsöffnung liegenden Schichten verhältnismässig
niedrig bleibt. Letzteres wird auch durch den Umstand herbeigeführt, dass die Gasdiffusion von gasreichen
nach gasarmen Schichten bei der niedrigen Betriebstemperatur des Sorptionsmaterials (meistens, die Temperatur flüssigen
Stickstoffes) gering ist.
Dadurch, dass nur ein Teil des Sorptionsmaterials auf wirksame Weise benutzt wird, ist die Pumpe
als solche verhältnismässig schnell gesättigt, so dass ein häufiges Reaktivieren des Sorptionsmaterials erforderlich
ist. Ausserdem sind verhäl'tnismässig lange Pumpzeiten erforderlich
um einen bestimmten Minimaldruck, beispielsweise den Startdruck für Getter-Ionenpumpen, zu erreichen. Weiter
wird die Verwirklichung niedriger Enddrücke in dem zu evakuierenden Raum erschwert.
Damit auch das weiter von der Eingangsöffnung entfernt liegende Sorptionsmaterial besser benutzt wird,
wurde bereit4 vorgeschlagen (Review of Scientific Instruments
^4, Mai 1963, Seiten 587-588), das Sorptionsmaterial
in gesonderte Schichten aufzuteilen, die sich auf einer Vielzahl im Behälter vereinzelt angeordneter Teller befinden..
Das angesaugte Gas- wird nun gleichmässiger auf die zu
409831/0313
PHN. 6715.
10-12-1973.
den jeweiligen Tellern gehörenden Sorptionsmaterialoberflächen
aufgeteilt.
Eine' derartige Pumpvorrichtung ist je doch
nicht nur verwickelt und teuer aufgebaut, sondern auch ihre
Wirkung ist nicht optimal. Letzteres wird an erster Stelle dadurch verursacht, dass während desselben Pumpzyklus von
höherem nach niedrigerem Druck der Gasstrom immer über denselben Weg der Oberfläche des Sorptionsmaterials angeboten
wird.
Die Erfindung bezweckt nun, eine Sorptionspumpvorrichtung einer einfachen Konstruktion zu schaffen,
die eine hohe wirksame Sorptionsleistung und eine hohe Pumpgeschwindigkeit aufweist und einen niedrigen Restdruck
liefert. Eine hohe wirksame Sorptionsleistung bedeutet, dass eine Vielzahl von Pumpzyklen durchgeführt werden kann, ohne
dass zwischendurch eine Reaktivierung des Sorptionsmaterials notwendig ist.
Die erfindungsgemässe Sorptionspumpvorrichtung
ist dadurch gekennzeichnet, dass sie derart ausgebildet
ist, dass der zu evakuierende Raum nacheinander auf mindestens zwei unterschieldichen Pegeln des Behälters an
das Sorptionsmaterial angeschlossen werden kann.
Im Rahmen der Erfindung werden unter unterschiedlichen Behälterpegeln nicht nur unterschiedliche
Höhen in axialer Richtung des Behälters verstanden, sondern auch untereinander verschiedene Stellen, in transversaler
Richtung des Behälters gesehen.
409831/0313
PHN. 6715.
10-12-1973.
Dadurch, dass während der Anfangsperlode
eines Pumpzyklus das Gas höheren Drucks aus dem zu evakuierenden Raum zu dem auf einem bestimmten Pegel liegenden
Sorptionsmaterial zugelassen wird, wird dieses Material verunreinigt, aber das auf einem anderen Pegel liegende Sorptionsmaterial
bleibt nahezu sauber» Venn danach, wahrend der Endperiode des Pumpzyklus das Gas niedrigeren Drucks
zu diesem nahezu sauberen Sorptionsmaterial zugelassen wird (und gewünschtenfalls gleichzeitig auch zu dem bereits
durch das Gas höheren Drucks verunreinigten Material), erfolgt auch bei niedrigerem Druck eine gute und schnelle
Sorption. Das Sorptionsmaterial wird so auf sehr wirksame Weise benutzt, während kurze Pumpzeiten sowie niedrige
Restdrücke im Vakuumraum erhalten werden.
Bei einer günstigen Aiisführungsform der
erfindungsgemässen Sorptionspumpvorrichtung ist die Eingangsleitung
mit einem Hohlrohr versehen, das axial verschiebbar und/oder um die Längsachse drehbar im Behälter
angeordnet ist und mindestens zwei in axialer Richtung des Rohres in einem Abstand voneinander liegende Offnungen
aufweist, die durch axiale Verschiebung bzw. Drehung um die Längsachse des Rohres nacheinander freigegeben werden.
Das Hohlrohr kann einen integralen Teil der
Eingangsleitung bilden oder als gesondertes Rohr vorhanden sein. Die Konstruktion dieser Sorptionspumpvorrichtung ist
gedrängt und einfach.
Eine weitere günstige Ausführungsform der
40983 1/0313
PHN. 6715.
10-12-1973·
erfindungsgemässen Sorptionspuinpvorrichtiuig 1st dadurch,
gekennzeichnet, dass ein auf beiden Seiten offenes Hohlrohr
innerhalb des Behälters fest angeordnet ist, wobei ein Rohrende koaxial mit der Eingangsleitung innerhalb der
Mündung dieser Leitung im Behälter und in einem Abstand von der Mündung angeordnet ist, so dass ein Ringkanal gebildet
ist, wobei in der Eingangsleitung ein Absperrelement
angeordnet ist, das nacheinander das Rohrende und den Ringkanal freigeben kann.
Eine derartige Pumpvorrichtung ist ebenfalls
gedrängt und lässt sich leicht durch Hinzufügung des Rohres und des geeigneten Absperrelementes zu den bisher bekannten
Pumpvorrichtungen herstellen.
Eine andere günstige Ausführungsform der erfindungsgemässen
Sorptionspumpvorrichtung weist das Kennzeichen auf, das die Vorrichtung mit mindestens einer zweiten
Eingangsleitung versehen ist, die absperrbar ist und
sich parallel zu der Eingangsleitung erstreckt, wobei alle Eingangsleitungen untereinander auf unterschiedlichen Pegeln
in den Behälter münden.
Nach der Erfindung kann dabei von wenigstens
einer Eingangsleitung der Pegel der Mündung in den Behälter
einstellbar sein. Dies ermöglicht einen optimalen örtlichen Gebrauch des Sorptionsmaterials.
Ausführungsbeispiele der Erfindung sind in
den Zeichnungen dargestellt und werden im folgenden näher iii Es zeigen:-
4 09831/0313
PHN. 6715.
10-12-1973*
Fig. 1a und h b/e 8 schematische nicht massgerechte
Ausführungsformen von Sorptionspumpvorrichtungen im Längsschnitt,
Fig. 1b eine Darstellung einer anderen Ausführungsform
des Innenteils der Sorptionspumpvorrichtung nach Fig. 1a,
Fig. 2 und 3 graphische Darstellungen mit
je einer Pumpkurve für die Sorptionspumpvorrichtung nach Fig. 1a im Vergleich zu der einer bekannten Sorptionspumpvorrichtung.
In Fig. 1 ist mit dem Bezugszeichen 1 ein
Behälter angegeben, in dem sich ein Adsorptionsmaterial 2,
beispielsweise ein natürliches oder synthetisches Zeolith befindet. Der Behälter hat eine Eingangsleitung 3» die an
der Stelle des Flansches h an einen zu evakuierenden Raum angeschlossen werden kann. Ein innerhalb des Behälters angeordnetes
auf beiden Seiten offenes Hohlrohr 5 ist mit dem oberen Ende innerhalb der Eingangsleitung 3 und koaxial zu
derselben angeordnet. Das untere Ende des Rohres ist mit Seitenöffnungen 6 versehen. Ein Absperrelement 7» i*1 zwei
Stellungen dargestellt, enthält einen Ventilkörper 8, der mit dem Ventilsitz 8a dichtend zusammenarbeiten kann. Der
Ventilkörper 8 ist über einen Schaft 9 mit einem Bedienungselement 10 verbunden und trägt an der Unterseite eine biegsame
ringförmige Membran 11, die ihrerseits eine zylinderförmige
Büchse trägt. Diese Büchse passt genau um das Ende des Rohres 5 und ist darüber hin und her verschiebbar, über
409831/0313
PHN. 6715.
10-12-1973·
— 7 —
der Membran 11 sind radiale Offnungen vorgesehen. Die Membran
kann den ringförmigen Raum 14 abschliessen.
Die Sorptionspumpvorrichtung enthält weiter nicht dargestellte Kanäle für Kühlflüssigkeit (flüssiger
Stickstoff) zur Kühlung des adsorbierenden Materials sowie eine nicht dargestellte Abfuhr für bei der Reaktivierung
des Absorptionsmaterials frei werdende Gase.
Die Sorptionspumpvorrichtung wird wie folgt betrieben: Während der ersten Periode der Pumpzeit, wenn
in dem zu evakuierenden Raum ein höherer Druck herrscht, nimmt das Absperrelement 7 die in der Zeichnung links dargestellte
Lage ein. Dann strömt Gas durch die Offnungen 13»
das Rohr 5 und die Offnungen 6 zu den unteren Schichten des
Adsorptionsmaterials 2 um dort adsorbiert zu werden, während der ringförmige Raum 14 durch die Membran 11 abgeschlossen
ist, so dass die oberen Schichten des Adsorptionsmaterials sauber bleiben. Während der zweiten Periode der Pumpzeit
.bei einem niedrigeren Druck in dem zu evakuierenden Raum wird das Absperrelement 7 in die in der Zeichnung rechts
dargestellte Lage gebracht und in dieser Lage gehalten. Der ringförmige Raum 14 ist dabei durch die Membran 11 freigegeben.
Gas mit niedrigerem Druck strömt nun durch den ringförmigen Raum lh zu den oberen sauberen Schichten des Ad—
Sorptionsmaterials sowie durch das Rohr 5 zu den unteren
Schichten. Am Ende des Pumpzyklus wird das Absperrelement 7 zugedreht. Der Ventilkörper 8 ruht dann auf dem Ventilsitz
8a, so dass das Rohr k sowie der ringförmige Raum
409831/0313
PHN. 6715.
10-12-1973. - 8 -
abgeschlossen sind.
In Fig. Ib ist eine Abwandlung des Innenteils
der Pumpvorrichtung nach Fig. 1a dargestellt. Für entsprechende
Teile sind dieselben Bezugszeichen gewählt worden. Die Büchse 12 ist in dem Rohr 5 verschiebbar, dessen Unterseite
mit einer Anzahl über den Umfang verteilter Schlitze 15 versehen
ist, durch die Gas zum Adsorptionsmaterial strömen kann. Der Ventilkörper 8 trägt hier zugleich einen weiteren
Ventilkörper 16. In der dargestellten Lage ist der ringförmige Raum 14 durch die Membran 11 abgeschlossen und das
Rohr 5 geöffnet. Wird nun der Ventilkörper 8 aufwärts bewegt, so gibt die Membran 11 den ringförmigen Raum 14 frei,
während weiter der Ventilkörper 16 das Rohr 5 abschliesst.
Mit der in Fig. 1a dargestellten Sorptions— pumpvorrichtung wurde ein Raum, in dem sich Luft von 0,55
Torr (1 Torr = 1 mm Quecksilberdruck) befand, evakuiert. Der Verlauf des Druckes P gegenüber der Zeit t für das
erste Mal, das gepumpt wird, ist in Fig. 2 durch die Kurve I angegeben. Punkt A ist der Umsehaltpunkt, wobei von ausschliesslich
Pumpen durch die unteren Schichten des Adsorptionsmaterials durch das Rohr 5 auf Pumpen durch die oberen
sauberen Schichten durch den ringförmigen Raum 14 sowie
durch die genannten unteren Schichten übergegangen wurde.
Die Kurve II ist das Resultat einer ersten Pumpring mit derselbe Raum, in dem sich wieder Luft von
0,55 Torr und dieselbe Menge desselben sauberen Adsorptionsmaterials wie im erstgenannten Fall befand abgepumpt wurde.
40 9 831 /0313
PHN. 6715.
10-12-1973.
Dieses Material befand sich, in der Pumpe nach Fig. 1a, in
der nun jedoch das Rohr 5» die Büchse 12 und die Membran 13 fehlten, so dass auf bekannte Weise ausschliesslich
durch die Eingangsöffnung 3 aus den oberen Schichten Adsorptionsmaterial
abgepumpt wurde.
Die graphische Darstellung zeigt deutlich, dass mit der Pumpvorrichtung nach Fig. 1a kürzere Pumpzeiten
und niedrigere Enddrücke erhalten werden als mit der bekannten Pumpvorrichtung.
Fig. 3 zeigt für die obengenannten Sorptionspumpvorrichtung
Pumpkurven für Luft, wobei der zu evakuierende Raum von 80 Torr ab abgepumpt wurde, nachdem in beiden
Fällen bereits sieben Zyklen von 80 Torr ab durchgeführt worden waren und das Adsorptionsmaterial folglich bereits
einigermassen verunreinigt war.
Ein Vergleich der beiden Kurven zeigt, dass
die Sorptionspumpvorrichtung nach Fig. 1a auch eine grössere
wirksame Sorptionsleistung hat als die Sorptionspumpvorrichtung der bekannten Konstruktion.
Bei der Sorptionspumpvorrichtung nach Fig.
k bis 8 sind für Teile, die denen der Vorrichtung nach Fig.
1a entsprechen, dieselben Bezugszeichen gewählt worden.
Bei der Sorptionspumpvorrichtung nach Fig. k hat die Eingangsleitung 3 einen als Balgen ausgebildeten
biegsamen Teil 3& und einen Endteil 3b, der als Hohlrohr
gegenüber dem Behälter im Kanal 20 axial verschiebbar ist, welcher Kanal durch eine Gazeschicht 21 vom Adsorptions-
. 409831/0313
PHN. 6715.
10-12-1973.
10-12-1973.
- 10 -
material getrennt ist. Auf zwei unterschiedlichen Pegeln
hat der Endteil Offnungen 22 bzw. 23. Beim Auf- .und Abbewegen des Endteils 3b können die Offnungen 22 wechselweise. abgeschlossen und freigegeben werden und zwar durch die
zylinderförmige Büchse Zh und die Offnungen 23 durch die
zylinderförmige Büchse 25» aber derart, dass während die
Offnungen 22 abgeschlossen sind, die Öffnungen 23 frei sind und umgekehrt. Fig. 4a zeigt die Lage, bei der die Offnungen 22 frei sind und 'die Offnungen 23 abgeschlossen, während in Fig. 4b die umgekehrte Situation dargestellt ist. Auf diese Weise kann ein zu evakuierender Raum nacheinander zunächst
über die Öffnungen 23 und danach über die Offnungen 22 auf
unterschiedlichen Pegeln an das Sorptionsmaterial angeschlossen werden.
hat der Endteil Offnungen 22 bzw. 23. Beim Auf- .und Abbewegen des Endteils 3b können die Offnungen 22 wechselweise. abgeschlossen und freigegeben werden und zwar durch die
zylinderförmige Büchse Zh und die Offnungen 23 durch die
zylinderförmige Büchse 25» aber derart, dass während die
Offnungen 22 abgeschlossen sind, die Öffnungen 23 frei sind und umgekehrt. Fig. 4a zeigt die Lage, bei der die Offnungen 22 frei sind und 'die Offnungen 23 abgeschlossen, während in Fig. 4b die umgekehrte Situation dargestellt ist. Auf diese Weise kann ein zu evakuierender Raum nacheinander zunächst
über die Öffnungen 23 und danach über die Offnungen 22 auf
unterschiedlichen Pegeln an das Sorptionsmaterial angeschlossen werden.
Der Endteil 3b kann auch als gesondertes Rohr
ausgebildet sein, dessen oberes Ende in der Eingangsleitung 3 geführt ist.
Bei der Sorptionspumpvorrichtung nach Fig. 5 ist das Rohr 30 um die Längsachse im Behälter 1 drehbar
angeordnet. Durch die Drehung werden die Offnungen 22 wechselweise abgeschlossen und freigegeben. Das aus dem zu evakuierenden Raum angesaugte Gas kann zunächst durch die
Offnungen 31, das Rohr 30 und die Offnungen 23 ausschliesslich den unteren Schichten des Sorptionsmaterials angeboten werden und danach durch Freigabe der Offnungen 22 im wesentlichen den oberen Schichten und in geringerem Masse den
unteren Schichten.
angeordnet. Durch die Drehung werden die Offnungen 22 wechselweise abgeschlossen und freigegeben. Das aus dem zu evakuierenden Raum angesaugte Gas kann zunächst durch die
Offnungen 31, das Rohr 30 und die Offnungen 23 ausschliesslich den unteren Schichten des Sorptionsmaterials angeboten werden und danach durch Freigabe der Offnungen 22 im wesentlichen den oberen Schichten und in geringerem Masse den
unteren Schichten.
40983 1 /031 3
PHN. 6715.
10-12-1973.
- 1 1 -
Selbstverständlich, sind auch Konstruktionen möglich, bei denen die Durchströmungsöffnungen für angesaugtes
Gas durch ein kombiniertes Verschieben und Drehen des Rohres freigegeben bzw. abgeschlossen werden.
Die Sorptionspumpvorrichtung nach Fig. 6 hat eine zweite Eingangsleitung 4o, die der Eingangsleitung 3
parallelgeschaltet ist und auf einem anderen Pegel in den Behälter 1 mündet. In jede der Leitungen 3 und 4o ist ein
Absperrelement 41 bzw. 42 aufgenommen.
Die Sorptionspumpvorrichtung nach Fig. 7 hat
einen Dreiweghahn 43» mit dem die Eingangsleitungen 3 und
einzeln und gleichzeitig an den zu evakuierenden Raum angeschlossen werden können.
Bei der Sorptionspumpvorrichtung nach Fig. ist ebenfalls ein Dreiweghahn 44 vorhanden. Die Eingangsleitung 4O enthält einen biegsamen als Balgen ausgebildeten
Zwischenteil 40a, der es ermöglicht, den unteren Teil 4Ob in dem Kanal 45 innerhalb des Behälters 1 auf und ab zu
bewegen. Eine Gazeschicht 46 trennt das Adsorptionsmaterial 2 vom Kanal 45· Ein zweiter Balgen 47, der einerseits am
Behälter und andererseits am unteren Teil 40b befestigt ist, ist als biegsame Dichtung wirksam. Mit dieser Konstruktion
ist es möglich, auf mehr als zwei unterschiedlichen Pegeln des Behälters zu pumpen obschon nur zwei Eingangsleitungen
vorhanden sind.
Ausser den dargestellten Ausführungsformen sind selbstverständlich andere möglich, beispielsweise
409831/0313
PHN. 6715.
10-12-1973·
- 12 '-
Konstruktionen, bei denen die zwei Eingangsleitungen an (diametral) einander gegenüberliegenden Stellen an den
Seitenwänden des Behälters befestigt sind oder Konstruktionen, bei denen mehr als zwei Eingangsleitungen vorhanden
sind.
409831/0313
Claims (5)
1.J Sorptionspumpvorrichtung mit einem Behälter
für Sorptionsmaterial, das über eine Eingangsleitung mit einem zu evakuierenden Raum verbindbar ist, dadurch gekennzeichnet,
dass die Vorrichtung derart ausgebildet ist, dass der zu evakuierende Raum nacheinander auf mindestens zwei
unterschiedlichen Pegeln des Behälters an das Sorptionsmaterial angeschlossen werden kann.
2. Sorptxonspumpvorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die Eingangsleitung mit einem
Hohlrohr versehen ist, das axial verschiebbar und/oder um die Längsachse drehbar im Behälter angeordnet ist und
mindestens zwei in axialer Richtung des Rohres in einem Abstand voneinander liegende Offnungen aufweist, die
durch axiale Verschiebung bzw. Drehung um die Längsachse des Rohres nacheinander freigegeben werden.
3. Sorptxonspumpvorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass ein auf beiden Seiten offenes
Hohlrohr innerhalb des Behälters fest angeordnet ist, wobei ein Rohrende koaxial mit der Eingangsleitung innerhalb der
Mündung dieser Leitung im Behälter und in einem Abstand von der Mündung angeordnet ist, so dass ein Ringkanal gebildet
ist, wobei in der Eingangsleitung ein Absperrelement angeordnet ist, das nacheinander das Rohrende und den Ringkanal
freigeben kann.
4. Sorptxonspumpvorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die Vorrichtung mit mindestens
409831/0313
PHN. 6715. 10-12-1973·
einer zweiten Eingangsleitung versehen ist, die absperrbar
und der Eingangsleitung parallelgeschaltet ist, wobei
alle Eingangsleitungen auf unterschiedlichen Pegeln in
den Behälter münden.
5. Sorptionspumpvorrichtung nach Anspruch 4,
dadurch gekennzeichnet, dass von wenigstens einer Eingangsleitung der Pegel der Mündung in den Behälter einstellbar
ist.
409 831/0313
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
NL7301204A NL7301204A (de) | 1973-01-29 | 1973-01-29 |
Publications (3)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
DE2400792A1 true DE2400792A1 (de) | 1974-08-01 |
DE2400792B2 DE2400792B2 (de) | 1977-10-13 |
DE2400792C3 DE2400792C3 (de) | 1978-06-15 |
Family
ID=19818101
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
DE2400792A Expired DE2400792C3 (de) | 1973-01-29 | 1974-01-09 | Sorptionspumpvorrichtung |
Country Status (9)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US3868239A (de) |
JP (1) | JPS567065B2 (de) |
CA (1) | CA1009997A (de) |
CH (1) | CH592816A5 (de) |
DE (1) | DE2400792C3 (de) |
FR (1) | FR2215544B1 (de) |
GB (1) | GB1456402A (de) |
IT (1) | IT1006168B (de) |
NL (1) | NL7301204A (de) |
Families Citing this family (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US3977849A (en) * | 1973-01-29 | 1976-08-31 | U.S. Philips Corporation | Sorption pump |
CH627314A5 (de) * | 1978-01-24 | 1981-12-31 | Bbc Brown Boveri & Cie | |
FR2659030B1 (fr) * | 1990-03-02 | 1993-01-08 | Air Liquide | Enceinte et installation d'absorption pour separation des melanges gazeux. |
US5426300A (en) * | 1993-09-17 | 1995-06-20 | Leybold Inficon, Inc. | Portable GCMS system using getter pump |
US5401298A (en) * | 1993-09-17 | 1995-03-28 | Leybold Inficon, Inc. | Sorption pump |
US5851270A (en) * | 1997-05-20 | 1998-12-22 | Advanced Technology Materials, Inc. | Low pressure gas source and dispensing apparatus with enhanced diffusive/extractive means |
DE202007009992U1 (de) * | 2007-06-27 | 2008-07-31 | BLüCHER GMBH | Speicherbehälter für gasförmige Kraftstoffe |
Family Cites Families (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US2413771A (en) * | 1943-06-25 | 1947-01-07 | Chemical Developments Corp | Adsorption apparatus |
US2837318A (en) * | 1956-03-28 | 1958-06-03 | Olin Mathieson | Condensation trap |
US3245207A (en) * | 1961-10-23 | 1966-04-12 | Univ California | Chromatographic column |
US3264803A (en) * | 1963-01-21 | 1966-08-09 | Gen Electric | Sorption vacuum pump |
US3283479A (en) * | 1964-07-09 | 1966-11-08 | Thomas H Batzer | Combination trap pump |
-
1973
- 1973-01-29 NL NL7301204A patent/NL7301204A/xx unknown
- 1973-04-19 US US352583A patent/US3868239A/en not_active Expired - Lifetime
-
1974
- 1974-01-03 GB GB30374A patent/GB1456402A/en not_active Expired
- 1974-01-09 DE DE2400792A patent/DE2400792C3/de not_active Expired
- 1974-01-23 CA CA190,799A patent/CA1009997A/en not_active Expired
- 1974-01-25 IT IT19860/74A patent/IT1006168B/it active
- 1974-01-26 JP JP1135874A patent/JPS567065B2/ja not_active Expired
- 1974-01-28 CH CH111674A patent/CH592816A5/xx not_active IP Right Cessation
- 1974-01-29 FR FR7402876A patent/FR2215544B1/fr not_active Expired
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
DE2400792B2 (de) | 1977-10-13 |
NL7301204A (de) | 1974-07-31 |
JPS49105221A (de) | 1974-10-04 |
IT1006168B (it) | 1976-09-30 |
CH592816A5 (de) | 1977-11-15 |
DE2400792C3 (de) | 1978-06-15 |
US3868239A (en) | 1975-02-25 |
JPS567065B2 (de) | 1981-02-16 |
FR2215544A1 (de) | 1974-08-23 |
GB1456402A (en) | 1976-11-24 |
FR2215544B1 (de) | 1976-11-26 |
CA1009997A (en) | 1977-05-10 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
DE2943074C2 (de) | In einen Behälterhals einsetzbarer Flüssigkeitszerstäuber | |
DE2936552C2 (de) | Luftsteuervorrichtung fuer presslufttrockner | |
DE10018343A1 (de) | Einrichtung für eine Emission von Kraftstoffdämpfen bei Kraftfahrzeugen | |
DE2255308A1 (de) | Vorrichtung zum umschalten eines hinund hergehenden antriebskolbens in einem pneumatischen antriebsaggregat | |
DE2400792A1 (de) | Sorptionspumpvorrichtung | |
AT409223B (de) | Einrichtung zur reinigung, insbesondere zur filterung, von flüssigkeiten | |
DE2323678A1 (de) | Reaktor fuer die ammoniaksynthese | |
DE10243122B4 (de) | Selbstreinigende Filteranordnung | |
DE2347524C3 (de) | ||
DE1933909A1 (de) | Absperr- und Umschaltvorrichtung fuer Gas bzw. Fluessigkeitswege,insbesondere fuer Gaschromatographen | |
DE102016014455A1 (de) | Vorrichtung zur Belüftung einer Flüssigkeit | |
DE2539985C3 (de) | Bistabile Schnappeinrichtung | |
DE473680C (de) | Brennstoffilter mit Reinigungsvorrichtung, insbesondere fuer Dieselmotoren | |
DE2947298A1 (de) | Vorrichtung zum zufuehren eines detergens (waschhilfsmittel), benetzungsmittels o.dgl. zu einer waschmaschine, insbesondere geschirrspuelmaschine, einer spruehduese o.dgl. | |
DE2106077C3 (de) | Röhrenfilterpresse | |
EP0008747B1 (de) | Steuerorgan für ein Reifenfüllgerät | |
DE1550465A1 (de) | Misch- oder Verteilerventil | |
DE1241803B (de) | Absperrvorrichtung zum automatischen, periodischen Entschlammen von Filterkerzen durch Rueckspuelung | |
DE942066C (de) | Kolbenpumpe | |
DE242745C (de) | ||
DE2109443A1 (de) | Ventilblock | |
AT228583B (de) | Schieber | |
DE338501C (de) | Vorrichtung zum Mischen von Fluessigkeiten mit Gasen, insbesondere von Wasser mit Kohlensaeure | |
DE1761677C (de) | Filter fur eine Kraftstoff überwachungsvorrichtung | |
DE2038698C3 (de) | Hydraulischer Stoßdämpfer |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
C3 | Grant after two publication steps (3rd publication) | ||
8339 | Ceased/non-payment of the annual fee |