DE2327387A1 - Antrieb, insbesondere fuer einen industrie-manipulator - Google Patents

Antrieb, insbesondere fuer einen industrie-manipulator

Info

Publication number
DE2327387A1
DE2327387A1 DE2327387A DE2327387A DE2327387A1 DE 2327387 A1 DE2327387 A1 DE 2327387A1 DE 2327387 A DE2327387 A DE 2327387A DE 2327387 A DE2327387 A DE 2327387A DE 2327387 A1 DE2327387 A1 DE 2327387A1
Authority
DE
Germany
Prior art keywords
drive
speed
electromagnetic brake
drive according
controller
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
DE2327387A
Other languages
English (en)
Other versions
DE2327387C3 (de
DE2327387B2 (de
Inventor
Gerd Dipl Ing Huehne
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
PFAFF PIETSCH INDUSTRIEROBOTER
Pfaff Pietsch Industrieroboter 7505 Ettlingen GmbH
Original Assignee
PFAFF PIETSCH INDUSTRIEROBOTER
Pfaff Pietsch Industrieroboter 7505 Ettlingen GmbH
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by PFAFF PIETSCH INDUSTRIEROBOTER, Pfaff Pietsch Industrieroboter 7505 Ettlingen GmbH filed Critical PFAFF PIETSCH INDUSTRIEROBOTER
Priority to DE2327387A priority Critical patent/DE2327387C3/de
Priority to JP49055670A priority patent/JPS5020464A/ja
Priority to SE7406911A priority patent/SE417126B/xx
Priority to IT23245/74A priority patent/IT1012872B/it
Publication of DE2327387A1 publication Critical patent/DE2327387A1/de
Publication of DE2327387B2 publication Critical patent/DE2327387B2/de
Application granted granted Critical
Publication of DE2327387C3 publication Critical patent/DE2327387C3/de
Priority to US06/090,097 priority patent/US4339984A/en
Expired legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16H—GEARING
    • F16H49/00—Other gearings
    • F16H49/001—Wave gearings, e.g. harmonic drive transmissions
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B25—HAND TOOLS; PORTABLE POWER-DRIVEN TOOLS; MANIPULATORS
    • B25J—MANIPULATORS; CHAMBERS PROVIDED WITH MANIPULATION DEVICES
    • B25J18/00—Arms
    • B25J18/02—Arms extensible
    • B25J18/025—Arms extensible telescopic
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B25—HAND TOOLS; PORTABLE POWER-DRIVEN TOOLS; MANIPULATORS
    • B25J—MANIPULATORS; CHAMBERS PROVIDED WITH MANIPULATION DEVICES
    • B25J19/00—Accessories fitted to manipulators, e.g. for monitoring, for viewing; Safety devices combined with or specially adapted for use in connection with manipulators
    • B25J19/0004—Braking devices
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B25—HAND TOOLS; PORTABLE POWER-DRIVEN TOOLS; MANIPULATORS
    • B25J—MANIPULATORS; CHAMBERS PROVIDED WITH MANIPULATION DEVICES
    • B25J9/00—Programme-controlled manipulators
    • B25J9/10—Programme-controlled manipulators characterised by positioning means for manipulator elements
    • B25J9/102—Gears specially adapted therefor, e.g. reduction gears
    • B25J9/1025—Harmonic drives
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B25—HAND TOOLS; PORTABLE POWER-DRIVEN TOOLS; MANIPULATORS
    • B25J—MANIPULATORS; CHAMBERS PROVIDED WITH MANIPULATION DEVICES
    • B25J9/00—Programme-controlled manipulators
    • B25J9/10—Programme-controlled manipulators characterised by positioning means for manipulator elements
    • B25J9/14—Programme-controlled manipulators characterised by positioning means for manipulator elements fluid
    • G—PHYSICS
    • G05—CONTROLLING; REGULATING
    • G05B—CONTROL OR REGULATING SYSTEMS IN GENERAL; FUNCTIONAL ELEMENTS OF SUCH SYSTEMS; MONITORING OR TESTING ARRANGEMENTS FOR SUCH SYSTEMS OR ELEMENTS
    • G05B19/00—Programme-control systems
    • G05B19/02—Programme-control systems electric
    • G05B19/18—Numerical control [NC], i.e. automatically operating machines, in particular machine tools, e.g. in a manufacturing environment, so as to execute positioning, movement or co-ordinated operations by means of programme data in numerical form
    • G05B19/19—Numerical control [NC], i.e. automatically operating machines, in particular machine tools, e.g. in a manufacturing environment, so as to execute positioning, movement or co-ordinated operations by means of programme data in numerical form characterised by positioning or contouring control systems, e.g. to control position from one programmed point to another or to control movement along a programmed continuous path
    • G05B19/21—Numerical control [NC], i.e. automatically operating machines, in particular machine tools, e.g. in a manufacturing environment, so as to execute positioning, movement or co-ordinated operations by means of programme data in numerical form characterised by positioning or contouring control systems, e.g. to control position from one programmed point to another or to control movement along a programmed continuous path using an incremental digital measuring device
    • G05B19/23—Numerical control [NC], i.e. automatically operating machines, in particular machine tools, e.g. in a manufacturing environment, so as to execute positioning, movement or co-ordinated operations by means of programme data in numerical form characterised by positioning or contouring control systems, e.g. to control position from one programmed point to another or to control movement along a programmed continuous path using an incremental digital measuring device for point-to-point control
    • G05B19/231—Numerical control [NC], i.e. automatically operating machines, in particular machine tools, e.g. in a manufacturing environment, so as to execute positioning, movement or co-ordinated operations by means of programme data in numerical form characterised by positioning or contouring control systems, e.g. to control position from one programmed point to another or to control movement along a programmed continuous path using an incremental digital measuring device for point-to-point control the positional error is used to control continuously the servomotor according to its magnitude
    • G—PHYSICS
    • G05—CONTROLLING; REGULATING
    • G05B—CONTROL OR REGULATING SYSTEMS IN GENERAL; FUNCTIONAL ELEMENTS OF SUCH SYSTEMS; MONITORING OR TESTING ARRANGEMENTS FOR SUCH SYSTEMS OR ELEMENTS
    • G05B2219/00—Program-control systems
    • G05B2219/30—Nc systems
    • G05B2219/41—Servomotor, servo controller till figures
    • G05B2219/41279—Brake
    • G—PHYSICS
    • G05—CONTROLLING; REGULATING
    • G05B—CONTROL OR REGULATING SYSTEMS IN GENERAL; FUNCTIONAL ELEMENTS OF SUCH SYSTEMS; MONITORING OR TESTING ARRANGEMENTS FOR SUCH SYSTEMS OR ELEMENTS
    • G05B2219/00—Program-control systems
    • G05B2219/30—Nc systems
    • G05B2219/41—Servomotor, servo controller till figures
    • G05B2219/41309—Hydraulic or pneumatic drive
    • G—PHYSICS
    • G05—CONTROLLING; REGULATING
    • G05B—CONTROL OR REGULATING SYSTEMS IN GENERAL; FUNCTIONAL ELEMENTS OF SUCH SYSTEMS; MONITORING OR TESTING ARRANGEMENTS FOR SUCH SYSTEMS OR ELEMENTS
    • G05B2219/00—Program-control systems
    • G05B2219/30—Nc systems
    • G05B2219/49—Nc machine tool, till multiple
    • G05B2219/49292—Harmonic gear, transmission, strain wave gear

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Robotics (AREA)
  • General Engineering & Computer Science (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Automation & Control Theory (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Human Computer Interaction (AREA)
  • Actuator (AREA)
  • Manipulator (AREA)
  • Control Of Position Or Direction (AREA)
  • Servomotors (AREA)

Description

SGOO MGtidter. 22 Widenmayerstraße 38
Telefon (0811>22530σ Telegramme patemus münchen «ti ■ » 1*1 Postscheck München 39*18402
Patentanwälte Liesegang^^bteeK sank r««*«! & co μο»*»!*«»»
Dr.-fng. Roland Llesegang Dipt.-lng. Hans-Peter Lleck
23271P7
DR.-ING. LUDWIG PlETZSCH ^° '
Antrieb, insbesondere für einen, ln:dustrie~Main>ipul:afroT.
Für Anfrtebsfälle, bei denen eine genaue Lagepositconierung und efnefeTnfüWigs Geschwindtgtceifsregeiung notwendig sind,, werden m der Praxis; elektrische, hydraulische und pneumatische Antriebe erngesetzf., Solche Antriebe werden In den verschiedensten Änwendungsfäifen benötigt. AEs Betspiel sei ein Antrieb für eine Indust-.rienähmaschine genannt. Ein wichtiger Anwendungsfdff liegt bei: ManTpufatorenf insbesondere fndusfrie-Manipulaforen' vor. Solche Manipulatoren weisen rofatorlsch und/öder translafarisch bewegbare Glieder auf* deren Anzahl: der Anzahl der Freiheitsgrade entsprechen kann«. Jedem. Glied kann- dabei ein; eigener Antrieb zugeordnet sein«
Bei Manipulatoren muß d te Geschwfndigkerf> besonders aber die Endpositton des betreffenden Mampulatorengltedes genau definterf ansteuerbar sein. In vielen Fällen Ist auch etne Bahnsteuerung erforderlich, d.h. eine Steuerung des Manipufatorgreifers auf einer vorbestimmten! Bahn·. -
Pneumatische Antriebe wären wegen ihrer bekannt guten Eigenschaften und aus wirtschaftlichen Gründen für den: Einsatz bei Manipulatoren; aber auch Γη anderen Anwendungsfäflen besonders geeignet^ wenn sfestcE» einfach und genau positionieren ließen. Die üblichen pneumatischen Antriebe werden durch mechanische Anschläge positioniert
und gestatten keine Programmierung oder Umprogrammierung über eine zentrale ν Ζ ι OQ J Steuereinheit bzw. einen Rechner. Pneumatische Antriebe werden z.Zt. mit dem Schraubenschlüssel " programmiert ". Deshalb kann in einem Arbeitszyklus nur der innerhalb der Anschläge liegende Hubbereich und nicht der jenseits liegende Hubbereich ausgenützt werden. Dies ist ein einschneidender Nachteil.
Es wurde deshalb versucht, den pneumatischen Antrieb zu regeln. Hierbei erreicht man jedoch sehr baid physikalische Grenzen:
- Die Kompressibilität der Luft läßt eine lastunabhängige freie. Positionierung nicht zu,
- die Regelung eines pneumatischen Zylinders ist wegen der hohen Zeitkonstanten beim Laden und Entladen der als Speicher wirkenden Zyiinderräume nur sehr schlecht möglich.
Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, einen besonders für den Einsatz bei Industrie-Manipulatoren geeigneten, einfachen und wirtschaftlichen Antrieb zu schaffen, dessen Position oder Lage und Geschwindigkeit in allen Betriebsbereichen exakt regelbar ist.
Zur Lösung dieser Aufgabe/nach der Erfindung vorgesehen, daß Position und Geschwindigkeit des pneumatisch ausgebildeten Antriebes mittels einer auf Steuersignale einer Steuereinheit für den Antrieb . . regelbaren Elektromagnetbremse einstellbar sind.
Durch den Einsatz eines pneumatischen Antriebes lassen sich dessen Vorteile, nämlich Einfachheit des Aufbaus, Unkompliziertheit und sicherheitstechnische Probiemfosigkeit der Energiezufuhr (Druckluft) und nicht zuletzt die Wirtschaftlichkeit voll ausnützen. Die Regelung mittels der Elektromagnetbremse ermöglicht eine lastunabhä'ngige, exakte Positionierung in die gewünschte Stellung. Durch die Möglichkeit der elektrischen Ansteuerung läßt sich Position und Geschwindigkeit ohne Vornahme.von Einstellarbeiten am Antrieb selbst zwanglos, z.B. durch Knopfdruck an der zentralen Steuereinheit, wählen./nfffcfiöf\ische Anschläge entfallen. Die Ge-
409850/0821
COPY - 3 -
schwindigkeit kann durch Regelung der Spannung der Elektromagnetbremse in der gewünschten Weise verändert werden.
Insbesondere für Manipulatoren mit Punkt ( PTP ) - und Vielpunkt ( MP ) - Steuerungen, d.h. bei Steuerungen, mit denen ein oder mehrere,von dem Manipulatorgreifer anzusteuernde Punkte im voraus eingestellt werden können, bietet das beschriebene Antriebskonzept klare Vorteile. Ein Kostenvergleich mit einem entsprechenden regelbaren hydraulischen Antrieb ergibt ein Verhältnis von 3 : 1 zugunsten des pneumatischen Antriebs.
Ferner ist der Aufwand für Montage, Wartung und Reparatur geringer.
Besonders geeignet für die Regelung der Elektromagnetbremse ist ein Regelkonzept, bei dem das Bremsmoment der Elektromagnetbremse mittels einer quasistetigen Abschaltregelung geregelt wird, wobei zunächst die Geschwindigkeit in Abhängigkeit von der Lageregelabweichung stetig geregelt wird und nach Erreichen der Kriechgeschwindigkeit bzw. einer durch die Steuereinheit vorgebbaren Abweichung von einer Sollposition die Elektromagnetbremse ungeregelt einfällt.
Dabei wird zweckmäßigerweise die Ist-Position mittels eines Aufnehmers abgetastet und mit einer Soll-Position verglichen, eine Wegdifferenz zwischen Ist- und Soll-Position (Lageregelabweichung ) gebildet und die Antriebsgeschwindigkeit gemessen, und Wegdifferenz und Geschwindigkeit werden einer Vergleichsstelle zugeführt, und der dort gebildete Vergleichswert wird in einen Regler eingespeist, dessen Ausgangssignal auf die Elektromagnetbremse wirkt. Zweckmäßig ist der Aufnehmer ein inkrementaler Weggeber, von dessen Ausgangssignal sowohl die Ist-Position als auch die Geschwindigkeit abgeleitet werden, beide Größen vorteilhaft in Form einer Spannung. Als Aufnehmer für die Ist-Position und die Geschwindigkeit kann auch ein Tacho-Dynamo verwendet werden.
Das Antriebskonzept nach der Erfindung ist sowohl bei rotatorischen als auch bei trans-
-4-409850/0621
latorischen Antrieben anwendbar. Eine bevorzugte Ausführung für einen rotatorischen Antrieb umfaßt einen an sich bekannten pneumatischen Lamellenmotor, d.h. einen Motor mit einem exzentrischen Läufer und darin verschieblich angeordneten Lamellen nach dem Flügelzellenprinzip, der innerhalb des verformbaren Teiles eines Spannungswellengetriebes untergebracht ist. Diese Kombination an sich bekannter und deshalb erprobter und zuverlässiger Antriebsbausteine führt zu einer besonders kompakten Anordnung, die in einer Stufe eine Untersetzung von bis zu 300 : 1 ermöglicht.
Eine Ausführung für einen translatorischen Antrieb kann z.B. einen pneumatischen Zylinder mit translatorisch bewegbaren Kolben umfassen, mit dem die Elektromagnet bremse über eine Kupplung in Wirkungsverbindung steht. Die Kupplung kann dabei eine mit der Kolbenstange des Zylinders verbundene Zahnstange sowie ein damit zusammenwirkendes, den Läufer der Elektromagnetbremse antreibendes Ritzel umfassen.
Die Erfindung ist im folgenden mit weiteren Einzelheiten anhand schematischer Zeichnungen an mehreren Ausfuhrungsbeispielen näher erläutert.
Es zeigen:
Fig. 1 eine Prinzipdarstellung eines translatorischen Antriebes nach der Erfindung;
Fig.2den Geschwindigkeitsverlaüf über dem Hub bei einer Abschaltregelung des Antriebes gemäß der Erfindung;
Fig. 3 ein Blockschaltbild der Steuereinheit mit einem Regler zum Regeln einer dem Antrieb nach der Erfindung zugeordneten Elektromagnetbremse;
Fig. 4 einen Axialschnitt durch einen rotatorischen Manipulator-Antrieb mit ungeschnitten dargestelltem pneumatischen Lamellenmotor;
Fig. 5 eine Stirnansicht auf das bei dem Antrieb nach Fig. 4 verwendete Spannungswellengetriebe in Richtung des Pfeiles A in Fig. 4 und
409850/0621 -5-
Fig. ό einen Schnitt durch eine konstruktive Ausführung eines im Prinzip in Fig. 1 dargestellten translatorischen Manipulatorantriebes mit einem pneumatischen Zylinder und einer halb im Schnitt und halb in Ansicht dargestellten Elektromagnetbremse.
Der in Fig. 1 im Prinzip dargestellte translatorische Antrieb hat einen pneumatischen Zylinder 1 mit einem darin verschieblichen, doppelt wirkenden Kolben 2, dessen Kolbenstange über einen an ihrem äusseren Ende ausserhalb des Zylinders' ] befestigten Querträger 4 mit einer Zahnstange 5 fest verbunden ist. Die Anordnung aus Zahnstange 5 und Kolbenstange 3 ist über die Kofbenstangendurchführung am in Fig» I linken Ende des Zylinders I und über eine am Umfang des Zylinders angeordnete Führung 6 für die Zahnstange 5 am Zylinder 1 geführt. Mit der Zahnstange 5 kämmt ein Ritzel 6, das auf derselben Welle wie der Läufer einer Etektromagnetbremse 7 sitzt. Die Elektromagnetbremse ist ansteuerbar bzw» regelbar über eine elektronische Steuereinheit 8, die in Fig. 1 als Kasten dargestellt ist.
Die Position des Antriebes wird mittels eines inkrementalen Weggebers gemessen, der auf der gleichen Welle wie das Ritzel 6 und die Elektramagnefbremse 7 sitzt.
Zuluft und Abluft des doppelt wirkenden Pneumatik-Zylinders 1 werden über eine insgesamt mit dem Bezugszeichen 9 bezeichnete Magnetventil anordnung 9 gesteuert, und zwar unabhängig von der Elektromagnetbremse 7.
Die Arbeitsweise des Antriebes nach Fig. X wird im folgenden unter anderem anhand der Fig. 2 beschrieben. .
Wenn eine an der Steuereinheit 8 gewählte Position angefahren werden soll, erhält die Ventilanordnung 9 von der Steuereinheit 8 aus ein Steuersignal zum Verschieben des Kolbens 2 mit Kolbenstange 3 und Zahnstange 5. Zu Beginn und während der Bewegung ist die Elektromagnetbremse 7 zunächst ganz geöffnet,und es wird.mit maximaler Geschwindigkeit, z.B. ein m/sec gefahren:. In einem ebenfalls in der Steuereinheit 8 vor-
-6-
wählbaren Absfand von der gewählten Soll-Position fällt die Bremse geregelt ein. Hier-.zu wird auf Fig. 2 verwiesen, wo über dem Hub s der Kolbenstangen-und Zahstangerianordnung die Geschwindigkeit ν aufgetragen ist. Die maximale Fahrgeschwindigkeit ist auf der v-Achse mit ν« . . bezeichnet. Bei einem vorwählbaren Hub s = s
d.h. in Fig. 2 bei dem Punkt P, , wird die Elektromagnetbremse geregelt betätigt.
Dabei wirkt die Vortriebskraft des Pneumatik-Zylinders weiter. Auf dem Weg, der geschwindigkeitsgesteuert zurückgelegt wird, leistet diese Vortriebskraft Arbeit, die in der Bremse in Reibungskraft umgesetzt wird. Die Geschwindigkeit nimmt also geregelt gemäss der Darstellung in Fig. 2 nach einem linearen Zusammenhang mit dem Hub ab, bis sie am Punkt ?2 die sogenannte Kriechgeschwindigkeit im gewählten Beispiel v«/10,
erreicht hat. An diesem Punkt Pj fällt die Bremse voll ungeregelt ein. Dabei läuft
der Antrieb noch um eine Wegdifferenz nach. Diese Wegdifferenz wird durch Verzögerung des Abschalfzeitpunktes, durch Streuung des Bremsmomentes infolge schwankender Reibverhältnisse an der Bremse und durch Streuung der Belastung verursacht. Da nach dem beschriebenen Regelkonzept einer quasistetigen Abschaltregelung mit zunächst geregeltem Einfallen der Bremse und dann ungeregeltem Abschalten erst aus sehr kleiner Geschwindigkeit heraus ungeregelt abgeschaltet wird, ist die genannte Wegdifferenz sehr klein und kann sogar kleiner als ein Inkrement, d.h. eine kleinste Wegeinheit gemacht werden, so daß eine Positionierung in vergleichsweise engen Toleranzen möglich wird, bei einem ausgeführten Antrieb zum Beispiel + 1 mm.
Ein Beispiel für den grundsätzlichenAufbau einer elektronischen Steuereinheit 8 in Fig. 1 ist in Fig. 3 gezeigt. Bei der Steuerung ist zwischen einer different.iellen Eingabe und einer integralen Eingabe zu unterscheiden. Bei der mit der in Fig. 4 gezeigten Steuereinheit durchführbaren different teilen Eingabe lassen sich an Codierschaltergruppen 100 , 101, 102 Bewegungsrichtung, Schritt- Nr. und Zahlenwert für die Position und, - bei Steuerung mit ein und derselben Steuereinheit mehrererAnfriebe - , noch der Freiheitsgrad nacheinander einstellen und durch Knopfdruck in die einzelnen Speicher 103, 104 einlesen. Jede Positionsangabe kann über Freiheitsgrad und Schritt-Nr. angewählt,überprüft und evtl. nachgestellt werden .Ein Steuervorgang wird an der mit 112 bezeichneten Steuereinheit gestartet, die unter anderem die Zu- und Abluftventile des pneumatischen Antriebes
409850/0621 "7"
durch Abgabe von Steuerimpulsen oder eines kontinuierlichen Signals zu einer Ventilauswahl- Vorrichtung 113, aber auch die Elektromagnetbremse bei Vollbremsung steuert. Die durch den inkrementalen Weggeber 114 erfaßten Ist-Positionen werden durch Zählen der Weg- bzw. Winkelinkremente in einen die Inkremente unabhängig von der Richtung zählenden Vorwärts- Rückwärtszähler 105 übermittelt. Aus dem Vergleich von SoII- und Istposition in einem Vergleicher 106 wird die Wegdifferenz (Lageregelabweichung) ermittelt, die von dem Antrieb noch bis zum Erreichen der vorgegebenen Position durchfahren werden muß und mittels eines Wandlers 107 in eine Spannung umgewandelt wird. Ferner wird mittels eines Frequenz-Spannungswandlers 108 die von dem inkrementalen Weggeber 114 abgegebene Ausgangsgröße in eine der Geschwindigkeit des Antriebes proportionale Spannung umgewandelt. Beide Spannungen werden einer Vergleichsstelle 109 und der dort gebildete Vergleichswert einem Regler 110 für die Elektromagnetbremse 115 zugeführt. Der Regler ist zweckmäßig als Proportional-Regler ausgebildet, so daß sein Ausgangssignal beim Abschaltvorgang eine zur Lageregelabweichung proportionale Geschwindigkeitsabnahme des bewegten Antriebsgliedes zur Folge hat. Die Lageregelabweichung, bei der die Bremse geregelt einfallen soll (Punkt P.in Fig. 2) wird in Abhängigkeit von den folgenden Parametern bestimmt: maximale Bremsbeschleunigung, Zeitkonstante der Elektromagnetbremse, Masse der bewegten Antriebskomponenten und Last. Der Punkt P„ (s. Fig. 2) wird zweckmäßig bei einer Geschwindigkeit erreicht, die 5 bis 10 °/o der maximalen Fahrgeschwindigkeit beträgt. Bei Erreichen einer entsprechenden Lage wird, wie oben beschrieben, der stetige Regelvorgang durch einen unstetigen Abschaltvorgang abgelöst. Dabei wird der dem P-Regler 110 nachgeschaltete Verstärker 111 von der Steuereinheit 112 aus unmittelbar voll betätigt. Die Elektromagnetbremse fällt dann mit dem maximal zugelassenen Moment ungeregelt ein und stoppt den Antrieb. Die dabei zu erwartende Streuung wird durch die Abschaltung auf dem tiefen Geschwindigkeitsniveau so weit verkleinert, daß sie in ein Inkrement fällt.
Fig. .4 zeigt ein Ausführungsbeispiel eines rotatorischen Antriebes.
Der gezeigte Antrieb hat einen in Fig. 4 nur von außen mit Ansicht auf sein feststehendes Gehäuse gezeigten pneumatischen Lamellenmotor 30. In Fig. 4 ist lediglich
A09850/0621
in einer ausgebrochenen Darstellung die Zuluftführung 31 zu dem Motor über einen Zuluftanschluß 32 zu sehen. Der Lamellenmotor weist einen exzentrischen Läufer mit radialen Schlitzen auf, in denen Lamellen radial beweglich sind. Die mit dem Läufer umlaufenden Lamellen sind durch Federkraft gegen die Innenwand des Gehäuses bzw. Stators 30 gedrückt, so ddß sie beim Umlauf daran entlang streifen. Ein solcher Lamellenmotor ist bekannt und wird deshalb hier nicht weiter beschrieben. Auf den Abtriebswellenstummel 33 ist ein Läufer 34 aufgekeilt, der einen bei 35 außen verzahnten. Ringflansch 36 und ein Hohlwellenstück 37 umfaßt. Der äußere, verzahnte Umfang des Ringflansches 36 wird von einem Impulsgeber 38 übergriffen. Die Verzahnung 35 des Ringflansches 36 bildet mit dem Impulsgeber 38 einen inkrementalen Weggeber, dessen Ausgangssignal ein Maß für den zurUckgelegten Antriebsweg und, bezogen auf die Zeit, für die Geschwindigkeit ist.
Das Hohlwellenstück 37 trägt den Läufer 39 einer Elektromagnetbremse. Dieser Läufer 39 weist eine Glocke 40 auf, die in gleichmäßigen Umfangsabständen angeordnete axiale Arme trägt. An diesen Armen sind axial äußere Bremslamellen 41 geführt. Jeweils zwischen zwei äußeren Bremslamellen 41 befindet sich eine innere Bremslamelle 42. Die inneren Bremslamellen 42 sind in axialen Ausnehmungen im Stator 43 der Elektromagnetbremse geführt. Dieser Stator 43 enthält auch die Elektromagnetwicklung 44. Beim Erregen dieser Wicklung wird ein auf Schrauben 45'axial beweglich am Stator 43 befestigter Andrückring 45 gegen die Bremslamellen 41, 42 gezogen, um einen geregelten bzw. ungeregelten Bremsvorgang zu bewirken. Der Stator 43 ist über einen Flansch 46 mit dem Antriebsgehäuse 47 verbunden, welches den pneumatischen Lamellenmotor 30 sowie ein Spannungswellengetriebe umgibt und außerdem einen schwenkbaren Manipulatorarm 29 trägt. Das Spannungswellengetriebe umfaßt das Gehäuse 30 des Lamellenmotors . Es besteht im wesentlichen aus drei Grundelementen, nämlich einem stabilen Stahlring 48 mit einem starren Zahnkranz 49 am inneren Umfang, einem verformbaren Zahnkranz mit Außenverzahnung 50, der am freien Rand eines elastischen Topfes 51 ausgebildet ist, und einem Spannungswellengenerator 52 in Form eines etwa elliptischen Nockens, der Über den Ringflansch
-9 -
40 98 50/06 21
mit dem Abtriebswellenstummel 33 des Lamellenmotors 30 verbunden ist und über ein Wälzlager 53 am inneren Umfang des außen die Verzahnung 50 aufweisenden freien Randes des Topfes 5.1 abgestützt ist. Der Boden 54 des Topfes 51 ist mittels Schrauben 55 mit dem Stator des Lamellenmorors 30 fest verbunden. Die Zähnzahl des verformbaren Zahnkranzes 50 ist etwas kleiner, im Grenzfall nur um einen Zahn, als diejenige des starren Zahnkranzes 49. Aufgrund dessen wird bei jedem Umlauf des Nockens 52 , der mit Abtriebsdrehzahl des Lamel lertmorors 30 rotiert, eine umlaufende Abwälzbewegung des verformbaren Zahnkranzes 50 im starren Zahnkranz erzeugt. Die dabei auftretende Relativbewegung zwischen den beiden Zahnkränzen 49,50 entspricht gerade dem Unterschied ihrer Umfangslänge. Das Getriebe kann seineLeistung über den Topf 51 oder über den starren Ring 48 abgeben. Im vorliegenden Fall ist der Topf 51 festgehalten, so daß der mit dem Gehäuse 47 über Schrauben 56 verbundene starre Ring 48 mit Abtriebsdrehzahi rotiert, die sehr viel langsamer als die Antriebsdrehzahl ist. Das D rehzahl verhältnis kann z.B. 1:200 betragen. Dies führt zu einer Schwenkung des Manipulatorarms 48 mit Abtriebsdrehzahl des Spannungswellengetriebes. Das Gehäuse 47 ist über einen axialen Flansch 57 in einem Lagerring 58 gelagert, der axial gegenüber dem axialen Flansch 57 durch eine Schraube 59 gehalten ist, die in eine Ringnut 60 in dem Axialflansch 57 greift. Außen ist der Lagerring 58 an der inneren Umfangswand einer topfförmigen, ortsfesten Hülse 61 gehalten, die ebenso wie der Topf 51 mit den Schrauben 55 am Stator des Lamellenmotors 30 befestigt ist. Die topfförmige Hülse 61 trägt einen feststehenden Tragarm
Der translatorische Antrieb nach Fig. 6, der im Prinzip schon anhand der Fig. 1 beschrieben wurde, weist einen pneumatischen Zylinder 70 auf, der mit einem rohrförmigen, feststehenden Gehäuseteil 71 über eine Gewindebuchse 72 verschraubt ist. Die Kolbenstange 73 des pneumatischen Zylindern 70 ist fest mit einem Innenrohr 74 verbunden, das mit seinem in Fig. 6 linken Ende in das ortsfeste Rohrstück 71 hineinragt. „Das ortsfeste Rohrstück.71 ist über-einen insgesamt- mit dem Bezugszeich.ea-75 ^ bezeichneten Ständer abgestützt, an dem auch Führungen 76, 77 für das Innenrohr 74 angeordnet sind. An seinem in Fig. 6 rechten Ende trägt das Innenrohr 74 einen insgesamt mit dem Bezugszeichen 80 bezeichneten Manipulatorgreifer. Mit der Unterseite deslnnenrohrs 74 ist eine Zahnstange 81 einstückig, für deren Aufnahme bei be-
-409860/0621 -W-
wegter Kolbenstange 73 und damit bewegtem Innenrohr 74 ein axialer Schlitz 82 in dem Rohrstück 71 vorgesehen ist. Mit der Zahnstange 81 kämmt ein Ritzel 83, das mir seiner in Fig. ό rechten Hälfte ebenso wie eine insgesamt mit dem Bezugszeichen 84 bezeichnete, mit dem Ritzel 83 koaxiale Elektromagnetbremse geschnitten dargestellt ist. Das Ritzel 83/der Läufer 85 der Elektromagnetbremse sowie ein Tachodynamo 86 zum Erfassen der Drehzahl und Umwandeln in eine Spannung sitzen auf
ein und derselben Welle 87. Die Elektromagnetbremse 84 hat den gleichen Aufbau wie die anhand von Fig. 4 beschriebene Elektromagnetbremse, so daß sich eine nochmalige Beschreibung erübrigt. Zur Funktion des in Fig. 6 gezeigten Antriebes wird auf die anhand der Fig. 1 gegebene Funktionsbeschreibung verwiesen.
■■-■-1-1- -
409850/0621

Claims (9)

  1. 3C00 München 22 Wldenmayerstraße 38
    Telefon (0811) 825300
    ' · Telegramme patemui münchen
    _^ . ···■ ι · I ■— I.» Postscheck München 39418-802
    Patentanwälte Liesegang, LiecK BankReuscheueoMünchenKsoe»
    Dr.-Ing. Roland Uesegang Dipi.-Ing. Hans-Peter Lieck
    DR.-ING.LUDWIG PIETZSCH
    P 001 81
    Ansprüche
    vl. Antrieb, insbesondere für einen Industrie-Manipulator, dadurch gekennzeichnet, daß Position und Geschwindigkeit des pneumatisch .ausgebildeten Antriebes (l;30;70) mittels einer auf Steuersignale einer Steuereinheit (8) für den Antrieb regelbaren Elektromagnetbremse (7;39;43;115) einstellbar sind.
  2. 2. Antrieb nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß das Bremsmoment der Elektromagnetbremse (7;39,43;84;115) mittels einer quasistetigen Abschaltregelung geregelt wird, wobei zunächst die Geschwindigkeit in Abhängigkeit von der Lageregelabweichung stetig geregelt wird und nach Erreichen der Kriechgeschwindigkeit bzw. einer durch die-Steuereinheit vorgebbaren Abweichung von einer Sollposition die Elektromagnetbremse ungeregelt einfällt. '
  3. 3. Antrieb nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß die Istposition mittels eines Aufnehmers (35,38;86;114) abgetastet wird und mit einer Sollposi-
    - I2-
    40985070621
    tion verglichen wird und eine Wegdifferenz zwischen Ist- und Sollposition (Lageregelabweichung) gebildet wird, daß die Antriebsgeschwindigkeit gemessen wird, daß Wegdifferenz und Geschwindigkeit einer Vergleichsstelle (109) zugeführt werden und daß der dort gebildete Vergleichswert in einen Regler (110) eingespeist wird, dessen Ausgangssignal auf die Elektromagnetbremse (115) wirkt.
  4. 4. Antrieb nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, daß der Aufnehmer ein inkrementaler Weggeber (Π4) ist/ von dessen Ausgangssignal sowohl die Istposition als auch die Geschwindigkeit abgeleitet werden.
  5. 5. Antrieb nach Anspruch 3 oder 4, dadurch gekennzeichnet, daß der Regler (110) ein Proportional-Regler ist.
  6. 6. Antrieb nach Anspruch 3 oder 4, dadurch gekennzeichnet, daß der Regler (110) einen Baustein in der Steuerung für den Antrieb bildet, die ein Ansteuern von gewünschten Positionen ermöglicht und nach Erreichen der Kriechgeschwindigkeit bzw. einer vorgebbaren Lageregelabweichung die Elektromagnetbremse unabhängig vom Regler voll einfallen läßt.
  7. 7. Antrieb nach einem der Ansprüche 1 bis 6, dadurch gekennzeichnet, daß die als Lamellenbremse (39,43;84) ausgebildete Elektromagnetbremse auf der mit Antriebsdrehzahl umlaufenden Motor-Abtriebswelle (34;87) sitzt.
  8. 8. Rotatorischer Antrieb nach einem der Ansprüche 1 bis.7, dadurch gekennzeichnet, daß er einen an sich bekannten pneumatischen Lamellenmotor (30) umfaßt, der innerhalb des verformbaren Teils (51) eines Spannungswellengetriebes untergebracht ist.
  9. 9. Translatorischer Antrieb nach einem der Ansprüche 1 bis 7, dadurch gekennzeichnet, daß er einen pneumatischen Zylinder (l;10) mit translatorisch bewegbarem Kolben (2) umfaßt, mit dem die Elektromagnetbremse (7;84) über eine Kupplung (5,6;81,83) in Wirkungsverbindung steht. ,
    - 13 409850/0621
    IOAntrieb nach Anspruch 9, dadurch gekennzeichnet, daß die Kupplung eine mit der Kolbenstange (3;73) des Zylinders (I;70) verbundene Zahnstange (5;8l) sowie ein damit zusammenwirkendes, den Läufer (39;85) der Elektromagnetbremse antreibendes Ritzel (6;83) umfaßt.
    40 98 50/0621
    Leerseite
DE2327387A 1973-05-29 1973-05-29 Antrieb für Handhabungseinrichtungen Expired DE2327387C3 (de)

Priority Applications (5)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE2327387A DE2327387C3 (de) 1973-05-29 1973-05-29 Antrieb für Handhabungseinrichtungen
JP49055670A JPS5020464A (de) 1973-05-29 1974-05-20
SE7406911A SE417126B (sv) 1973-05-29 1974-05-24 Drivanordning for manipuleringsanordningar med ett med tryckluft paverkat stendigt arbetande drivdon
IT23245/74A IT1012872B (it) 1973-05-29 1974-05-28 Complesso d azionamento partico larmente per un manipolatore in dustriale
US06/090,097 US4339984A (en) 1973-05-29 1979-11-01 Drive, particularly for an industrial manipulator

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE2327387A DE2327387C3 (de) 1973-05-29 1973-05-29 Antrieb für Handhabungseinrichtungen

Publications (3)

Publication Number Publication Date
DE2327387A1 true DE2327387A1 (de) 1974-12-12
DE2327387B2 DE2327387B2 (de) 1978-02-16
DE2327387C3 DE2327387C3 (de) 1978-10-12

Family

ID=5882500

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
DE2327387A Expired DE2327387C3 (de) 1973-05-29 1973-05-29 Antrieb für Handhabungseinrichtungen

Country Status (5)

Country Link
US (1) US4339984A (de)
JP (1) JPS5020464A (de)
DE (1) DE2327387C3 (de)
IT (1) IT1012872B (de)
SE (1) SE417126B (de)

Cited By (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP0044967A2 (de) * 1980-07-24 1982-02-03 Maag-Zahnräder und -Maschinen Aktiengesellschaft Lageregelverfahren und -system für einen Stellzylinderantrieb
FR2513165A1 (fr) * 1981-09-23 1983-03-25 Copperweld Robotics Inc Appareil de manipulation mecanique et procede de mise en oeuvre de cet appareil
DE3218712A1 (de) * 1982-05-18 1983-11-24 Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V., 8000 München Zweiachsiges handhabungsgeraet fuer werkstuecke, insbesondere zum be- und entladen von ebenen magazinen
EP0106947A1 (de) * 1982-10-22 1984-05-02 Mannesmann Rexroth Pneumatik Gmbh Doppeltwirkender druckmittelbetätigter Arbeitszylinder
EP0112963A1 (de) * 1982-07-28 1984-07-11 Shimadzu Corporation Hydraulischer Drehstellantrieb
EP0134819A1 (de) * 1978-08-01 1985-03-27 Grisebach, Hans-Theodor Spannzange mit elektromotorischem Spannantrieb
EP0212628A2 (de) * 1982-12-23 1987-03-04 Kabushiki Kaisha S.G. Positionierungssteuervorrichtung für einen fluidbetätigten Zylinder
EP0322503A2 (de) * 1987-12-29 1989-07-05 Daihatsu Diesel Mfg. Co., Ltd. Flüssigkeitsgerät
US6523451B1 (en) 1999-10-27 2003-02-25 Tol-O-Matic, Inc. Precision servo control system for a pneumatic actuator

Families Citing this family (20)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3949582A (en) * 1975-04-11 1976-04-13 Eaton-Leonard Corporation Positioning servo and controlled mechanism
CH656086A5 (de) * 1981-10-03 1986-06-13 Maag Zahnraeder & Maschinen Ag Anordnung zum anfahren des lagereglers eines schleifscheibentraegers.
US4515065A (en) * 1982-08-30 1985-05-07 The United States Of America As Represented By The Secretary Of The Navy Automatic centering servo actuator
US4528894A (en) * 1982-11-22 1985-07-16 Lord Corporation Hydropneumatic drive apparatus
DE3312862A1 (de) * 1983-04-09 1984-10-11 Blohm + Voss Ag, 2000 Hamburg Freiprogrammierbare, mehrachsige betaetigungsarmeinheit, insbesondere industrieroboter
US4693663A (en) * 1984-10-05 1987-09-15 Donaldson Company, Inc. Robot with articulated arm
DE3535704A1 (de) * 1985-10-05 1987-04-09 Festo Kg Kolben-zylinder-anordnung
US4807618A (en) * 1987-01-23 1989-02-28 Andronic Devices, Ltd. Patient limb positioning apparatus
US4876944A (en) * 1988-03-03 1989-10-31 Duke University Pneumatic limb control system
JP2535617Y2 (ja) * 1992-09-29 1997-05-14 慎一 加藤 耳飾り
US5775334A (en) * 1996-03-15 1998-07-07 Orthopedic Systems, Inc. Limb positioning apparatus for surgery
US6234060B1 (en) * 1999-03-08 2001-05-22 Lord Corporation Controllable pneumatic apparatus including a rotary-acting brake with field responsive medium and control method therefor
EP1354665B1 (de) * 2002-04-18 2008-06-25 Güdel Group Ag Linearantrieb für einen Industrieroboter oder eine Werkzeugmaschine
EP1355074A1 (de) * 2002-04-18 2003-10-22 Güdel AG Antriebs- und Lineartechnik Linearantrieb
DE10330307A1 (de) * 2003-07-04 2005-01-20 Chr. Mayr Gmbh + Co Kg Bremseinheit für Zahnstangenantrieb
DE102007051857B3 (de) * 2007-10-30 2009-04-23 Siemens Ag Regeleinrichtung zum Positionsregeln einer Hydraulikzylindereinheit mit Linearisierungseinheit
CN102001095B (zh) * 2009-09-03 2014-07-09 鸿富锦精密工业（深圳）有限公司 机器人臂部件及机器人
EP3116712A4 (de) * 2014-03-12 2018-02-21 Edo Segal System und verfahren zur konstruktion von 3d-objekten
JP7153793B2 (ja) * 2019-04-22 2022-10-14 日立Astemo株式会社 制御装置
CN114382861A (zh) * 2022-03-25 2022-04-22 成都瑞迪智驱科技股份有限公司 一种机器人关节内嵌电磁制动谐波减速装置及关节***

Family Cites Families (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US2766651A (en) * 1951-04-04 1956-10-16 Farrel Birmingham Co Inc Machine tool with separate work and feed drives
US3176590A (en) * 1961-09-01 1965-04-06 Cincinnati Milling Machine Co Clamping device
US3361034A (en) * 1966-01-28 1968-01-02 Arthur A. Rothrock Load positioning device
US3425373A (en) * 1967-10-31 1969-02-04 Robert F Miller Work piece sensor and tape cutoff for sewing machines
US3587798A (en) * 1968-09-18 1971-06-28 Warner Swasey Co Time and speed modulated clutch and brake
DE1807364B1 (de) * 1968-11-06 1970-10-29 Boewe Boehler & Weber Kg Masch Verfahren und Anordnungen zum Abbremsen und Anhalten einer Maschine
JPS4919387B1 (de) * 1969-06-30 1974-05-17
US3613505A (en) * 1970-01-19 1971-10-19 Caterpillar Tractor Co Fluidic motion-limiting system for motor-driven apparatus
US3979999A (en) * 1971-02-11 1976-09-14 Harry S. Nichols, Jr. Fluid cylinder having self-locking means

Cited By (13)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP0134819A1 (de) * 1978-08-01 1985-03-27 Grisebach, Hans-Theodor Spannzange mit elektromotorischem Spannantrieb
EP0044967A3 (de) * 1980-07-24 1982-02-17 Maag-Zahnräder und -Maschinen Aktiengesellschaft Lageregelverfahren und -system für einen Stellzylinderantrieb
EP0044967A2 (de) * 1980-07-24 1982-02-03 Maag-Zahnräder und -Maschinen Aktiengesellschaft Lageregelverfahren und -system für einen Stellzylinderantrieb
FR2513165A1 (fr) * 1981-09-23 1983-03-25 Copperweld Robotics Inc Appareil de manipulation mecanique et procede de mise en oeuvre de cet appareil
DE3218712A1 (de) * 1982-05-18 1983-11-24 Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V., 8000 München Zweiachsiges handhabungsgeraet fuer werkstuecke, insbesondere zum be- und entladen von ebenen magazinen
EP0112963A1 (de) * 1982-07-28 1984-07-11 Shimadzu Corporation Hydraulischer Drehstellantrieb
EP0106947A1 (de) * 1982-10-22 1984-05-02 Mannesmann Rexroth Pneumatik Gmbh Doppeltwirkender druckmittelbetätigter Arbeitszylinder
EP0212628A2 (de) * 1982-12-23 1987-03-04 Kabushiki Kaisha S.G. Positionierungssteuervorrichtung für einen fluidbetätigten Zylinder
EP0212628A3 (en) * 1982-12-23 1988-04-20 Kabushiki Kaisha S.G. Positioning control device for a fluid powered cylinder
EP0322503A2 (de) * 1987-12-29 1989-07-05 Daihatsu Diesel Mfg. Co., Ltd. Flüssigkeitsgerät
EP0322503A3 (de) * 1987-12-29 1991-09-25 Daihatsu Diesel Mfg. Co., Ltd. Flüssigkeitsgerät
US6523451B1 (en) 1999-10-27 2003-02-25 Tol-O-Matic, Inc. Precision servo control system for a pneumatic actuator
US6705199B2 (en) 1999-10-27 2004-03-16 Tol-O-Matic, Inc. Precision servo control system for a pneumatic actuator

Also Published As

Publication number Publication date
IT1012872B (it) 1977-03-10
JPS5020464A (de) 1975-03-04
SE417126B (sv) 1981-02-23
DE2327387C3 (de) 1978-10-12
DE2327387B2 (de) 1978-02-16
SE7406911L (de) 1974-12-02
US4339984A (en) 1982-07-20

Similar Documents

Publication Publication Date Title
DE2327387A1 (de) Antrieb, insbesondere fuer einen industrie-manipulator
EP0549910B1 (de) Geschwindigkeitsstellmittel einer Dentalturbine
EP1934424B1 (de) Vorrichtung und verfahren zum verschliessen oder zum öffnen und schliessen von wenigstens einer schublade, klappe
EP2550454B1 (de) Verfahren zum regeln einer dosierpumpe
DE2224349C3 (de) Manipulator
EP1716348B1 (de) Motor-fluidischer antrieb, insbesondere für dre-, schwenk- oder linearantriebseinheiten sowie verfahren hierfür
EP1778980A1 (de) Exzenterschneckenpumpe mit integriertem antrieb
EP0326581B1 (de) Durchflussmessgerät zum messen eines volumenstromes
EP0163602A2 (de) Anordnung zum Verstärken der Antriebskraft eines Steuermotors bei einem linearen Stellantrieb
DE3914860A1 (de) Hydraulische antriebsvorrichtung
DE102006047790B4 (de) Vorrichtung zur Umwandlung einer Drehbewegung in eine Axialbewegung
EP3747612A1 (de) Vorrichtung zum mischen von zwei oder mehr komponenten sowie verfahren zur kalibrierung einer solchen
DE10332521A1 (de) Handwerkzeugmaschine mit hin- und herbewegtem Werkzeug und Bewegungsregelung
DE3438600C2 (de)
EP1576305B1 (de) Vorrichtung zum betätigen von verstellkomponenten im kraftfahrzeug
EP3697586A1 (de) Vorrichtung zum mischen von zwei oder mehr komponenten sowie verfahren zur kalibrierung einer solchen
DE2023713A1 (de) Anordnung zum selbsttätigen Anhalten einer elektrisch angetriebenen Einrichtung in vorausbestimmter Stellung
DE2329022A1 (de) Einrichtung zur verstellung der leitschaufeln einer gasturbine
EP3372461A1 (de) Elektrische bremse
DE1259163B (de) Durch Drehbewegungen betaetigtes Steuerventil
DE1750040A1 (de) Hydraulischer Drehmomentverstaerker
DE102015218203A1 (de) Verfahren zur Steuerung eines elektrischen Antriebs sowie elektrischer Antrieb
DE2501761B2 (de) Elektrohydraulischer Nachlaufverstärker
DE102014226305A1 (de) Schaltbares Ventil, insbesondere für eine Pipettiervorrichtung
DE2161669A1 (de) Hydraulisch arbeitende Anstellvorrichtung für Walzwerke u.dergl

Legal Events

Date Code Title Description
C3 Grant after two publication steps (3rd publication)
EGA New person/name/address of the applicant
EGA New person/name/address of the applicant
8339 Ceased/non-payment of the annual fee