DE2258691A1 - Geraet zur direkten anzeige von kapazitiv gemessenen abmassen - Google Patents
Geraet zur direkten anzeige von kapazitiv gemessenen abmassenInfo
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Description
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vI/No - AD-3 - 206 364 München-Pullach, 30. November 1972
ADE CORPORATION, 50 Hunt Street, Watertown,
Massachusetts 02172, USA
Gerät zur direkten Anzeige von kapazitiv gemessenen Abmaßen
Die Erfindung betrifft ein elektronisches System und , Verfahren zur Verarbeitung der Ausgangsgröße einer ein Abmaß
abtastenden kapazitiven Meßeinrichtung oder Taster bzw. Sonde, die zwischen Elektroden eine gemessene Kapazität aufweist. Die
Steuerung der Ausgangsgröße der kapazitiven Meßeinrichtung durch die Steuerung ihrer Erregung führt zu einem Parameter der
Erregungsausgangsgröße, der als Anzeige verwendet werden kann
und direkt proportional zu einem Abmaß, typisch der Elektronentrennung ist, welche umgekehrt zur Kapazität zwischen den
Elektroden schwankt. Die Ausgangsgröße aus einem zweiten ähnlichen Taster oder Sonde wird dazu verwendet, ein Anzeigegerät
abzulenken, um eine direkte Anzeige der Abmessung vorzusehen. Es besteht auch die Möglichkeit, eine zweite Erregung für
den zweiten Taster vorzusehen, wobei dessen Ausgangsgröße dazu verwendet wird, die erste Erregung zu steuern, wobei das
Frequenzverhältnis der zwei Erregungen zu einer direkten Anzeige einer Abmessung führt und einfach digitalisiert werden kann.
Durch die Umgebung induzierte Änderungen in einem der Taster oder
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Sonden werden durch die Nähe der Sonden ausgeglichen, und es wird auch die Erregungsamplitude eingestellt.
Ein berührungsfreies automatisches Messen von Abständen oder
Abmaßen läßt sich mit Hilfe der Abtastung einer Kapazität durchführen, die sich umgekehrt zur Änderung des Abstandes oder des
Abmaßes ändert. Die Ausgangsgröße von vielen Meßeinrichtungen, insbesondere sehr genauen Meßeinrichtungen des Typs, wie sie in
der Patentanmeldung P 21 37 545 beschrieben sind, besteht aus
einem Ausgangssignal, welches sich mit der abgetasteten Kapazität ändert und sich umgekehrt zum Abstand oder Abmaß, der erfaßt werden
soll, ändert. Diese Tatsache macht eine direkte sichtbare Anzeige, eine, weitere Verwendung der Abstandsinformation, ohne
eine weitere elektronische Verarbeitung, unmöglich.
Bei der Verarbeitung der Ausgangsgröße der Meßeinrichtung ist es wünschenswert, den Schaltungsaufwand, welcher eingesetzt wird,
zu begrenzen, und zwar aufgrund der Möglichkeit, dadurch Schaltungsungenauigkeiten
einzuführen. Ein Weg, der beschritten werden kann, um sowohl den Schaltungsaufwand zu begrenzen als auch die
Genauigkeiten zu steuern, besteht darin, ein geschlossenes Schleifensystem zu verwenden, in welchem bestimmte Variable des
Systems, die Fehler einführen können, eliminiert werden.
Aufgrund der Genauigkeit der Meßeinrichtungen, die sich normalerweise in der Praxis mit dem Gegenstand der Erfindung
erreichen lassen, und aufgrund des Wunsches, eine einfache Verbindung zu einer Computerschaltung herstellen zu können, ist es
üblich, eine digitale Ziffernanzeige zu verwenden. Diese Art von Ausgangsgröße führt zu dem weiteren Vorteil, daß mit großer
Genauigkeit ein breiter Bereich angezeigt werden kann. Durch das Messen der Frequenz einer geregelten Erregerquelle ist die
Möglichkeit geschaffen, diese Form der Ausgabe bzw. Ziffernanzeige zu erreichen.
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Es ist somit Ziel der Erfindung, eine einfache und genauarbeitende verarbeitende Elektronik für eine Kapazität abtastende,
Abmaße anzeigende Meßeinrichtung oder Taster zu schaffen, die ein Ausgangssignal erzeugt, welches direkt mit dem Abmaß schwankt,
welches gemessen wird, und welches umgekehrt mit der abtastenden Kapazität schwankt.
Speziell ist es Ziel der vorliegenden Erfindung, eine einfache und genau arbeitende Verarbeitungselektronik für eine
Kapazität abtastende>Abmaße anzeigende Meßeinrichtung bzw.
Taster zu schaffen, die eine Rückkopplungsregelung über den
Ausgang der Meßeinrichtung vorsieht, indem ein Parameter der Anregung verändert wird und dann die Anregung für eine Anzeige
der gemessenen Strecke oder Abmaße verwendet wird. Es ist ebenso Aufgabe der Erfindung, eine einfache und genaue verarbeitende
Elektronik für einen kapaztiv abtastenden,Abmaße anzeigenden
Taster zu schaffen, die eine digitale Ziffernanzeige vorsieht, welche direkt mit der gemessenen Entfernung bzw. Abmaß schwankt.
Eine bevorzugte Ausführungsform nach nach der Erfindung wird
in Verbindung mit einer kapazitiv abtastenden und Abmaße messenden
Sonde desjenigen Typs verwendet, wie er in der Patentanmeldung P 21 37 515 beschrieben ist. Die Ausgangsgröße dieses
Sondentyps besteht aus einem elektrischen Signal, welches
proportional zu einer Anregungs- oder Erregungsfrequenz und
Amplitude ist und proportional zur Kapazitäts-Differenz zwischen
der abgetasteten Kapazität und einer Bezugskapazität ist. Diese Differenz stellt ein Abmaß dar, welches gemessen wird. Bei einer
bevorzugten Ausführungsform wird das Ausgangssignal geregelt und
wird gleich mit einem Steuersignal gehalten, und zwar mit Hilfe
einer geschlossenen Schleifen-Rückkopplungssteuerung über die Anregungsquelle. Die Anregung oder Erregung wird dann dazu verwendet,
direkt die Abmessung anzuzeigen, die gemessen wurde.
Bei einer weiteren Ausführungsform ist das Steuersignal eine
Konstante, und die Erregergröße wird dann zu einer Schein- oder
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Hilfssonde geführt, deren Ausgangsgröße direkt mit der gemessenen
Abmessung oder Abmaß schwankt.
Bei einer noch weiteren Ausführungsform wird eine Hilfs-
oder Scheinsonde durch eine zweite Erregerquelle gespeist, und die Ausgangsgröße dieser Hilfssonde wird als Steuersignal verwendet,
wobei die Frequenz der Erregergröße für die Meßsonde durch dieses Signal über eine Rückkopplungsschleife gesteuert
wird. Es wird ein Zähler tormäßig gesteuert, um die Anzahl der Zyklen oder Polaritätsumkehrungen in der Erregergröße für die
Meßsonde während einer vorgewählten Anzahl von Zyklen oder Umkehrungen in der Erregergröße der Hilfssonde zu registrieren.
Die registrierte Zahl kennzeichnet die Abmessung, die direkt gemessen wurde.
Weitere Vorteile und Einzelheiten der Erfindung ergeben sich aus der nun folgenden Beschreibung von Ausführungsbeispielen
unter Hinweis auf die Zeichnung. Es zeigt:
Figur 1 eine Schaltung teilweise im Blockschaltbild und teilweise als Stromlaufplan einer Abmaßmeßsonde, welche
typisch in Verbindung mit der Schaltungsanordnung nach der Erfindung verwendet werden kann;
Figur 2 ein Blockschaltbild einer bevorzugten verarbeitenden Elektronik gemäß einer möglichen Ausführungsform; und
Figur 3 ein Blockschaltbild einer bevorzugten verarbeitenden Elektronik gemäß einer zweiten Ausführungsform nach
der Erfindung.
Figur 1 zeigt teilweise im Blockschaltbild und teilweise als Stromlaufplan eine Kapazitätsabtast- und Abmaße messende Sonde 10,
die von einer Erregerquelle 12 einer wechselnden elektrischen Größe zwischen Masseanschluß und der hoch liegenden Seite gespeist
wird, wobei die hoch liegende Seite elektrisch mit der Sonde 10 verbunden ist, und zwar an einem Anschluß von jeweils
einer ersten und einer zweiten, eine Gleichspannung abblockende Impedanz IH und 16. Die anderen Anschlüsse der Impedanzen IU und
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INSPECTED
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16 sind elektrisch mit Verbindungspunkten 18 und 20 einer Diodenmatrix 22 verbunden, die aus vier in Reihe geschalteten
und angepaßten Dioden 24 besteht, welche Dioden so orientiert sind, daß sie in gleicher Richtung innerhalb eines geschlossenen
leitenden Pfades leiten. Die Verbindungspunkte 18 und 20 stellen Verbindungen zwischen den Dioden in der Matrix 22 dar, die durch
zwei Dioden in einer von zwei möglichen Richtungen getrennt sind. Zwei verbleibende Verbindungen 26 und 28 zwischen den Dioden in
der Matrix 22 sind jeweils elektrisch mit einem Anschluß einer veränderlichen, abtastenden und Bezugskapazität.30 und 32 verbunden,
deren andere Anschlüsse geerdet sind. Die Abtastkapazität
enthält typisch die für eine Anzeige einer Abmessung abgetastete Kapazität. Von den Verbindungsstellen 18 und 20 zweigen jeweils
Tiefpassfilter 34 und 36, die als Induktivitäten gezeigt sind, ab und führen jeweils zu Detektoren 38 und 40, welche den Strom
durch die Filter 34 und 36 in ein Ausgangssignal an den Ausgangsanschlüssen
42 und 44 konvertieren. Die Detektoren 38 und 40. können Verstärker oder Widerstände sein, welche nach Masse führen,
oder können aus irgendwelchen anderen elektronischen Einrichtungen bestehen, welche die erwähnte Funktion ausführen können.
Eine Unangeglichenheit in dem Wert der Kapazitäten 30 und 32 führt zu der Erzeugung von nicht gleichen Halbwellen oder Zyklen
entgegengesetzter Polarität in den Strömen, die durch die Impedanzen 14 und 16 fließen, was zu einer Ladungsansammlung
führt, ausgenommen, daß diese übermäßige Ladung durch die Filter 38 und 40 nach Masse abgeleitet wird. Der durch die
Filter 38 und 40 fließende Nettostrom ist zur Unsymmetrie
zwischen den Kapazitäten 30 und 32 proportional (ungeachtet der Größe der Unsymmetrie), als auch zur Frequenz und zur Amplitude
der Erregergröße aus der Quelle 12.
Von besonderer Nützlichkeit ist der Fall, bei welchem die Impedanzen 14 und 16 einen Wert aufweisen, der wesentlich
niedriger ist als der Impedanzwert der Kapazitäten 30 und 32. Die Verbindungspunkte 26 und 2 8 werden auf nahezu gleichem
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momentanen Potential gehalten, wodurch jeglicher Stromfluß zwischen diesen, über Streukapazitaten, minimal gehalten wird.
Die Filter 34 und 36 können ebenso mit den Verbindungspunkten 26 und 28 verbunden werden, sie erzeugen jedoch dann Streukapazitäten,
die die angezeigte Unsymmetrie zwischen den Kapazitäten 30 und 32 verändern.
Bei dem Blockschaltbild von Figur 2 ist ein steuerbarer Oszillator 46 vorgesehen, und dieser sieht eine Wechselstrom-Erregergröße
zwischen Masse und einer hoch liegenden Seite vor, die an die Erregereingänge der Sonden 48 und 50 angeschlossen
ist. Die Sonden 48 und 50 können gleich aufgebaut sein wie die Sonde 10 in Figur 1, oder sie können irgendeine andere Kapazitätabtast-Sonde
oder -Taster sein, der ein Ausgangssignal abgibt, welches direkt mit der abgetasteten Kapazität, der Erregerfrequenz
und der Erregeramplitude schwankt oder variiert.
Ein Ausgang der Sonde 50, der diese Eigenschaften aufweist (wie die Ausgänge 42 und 44 in Figur 1), ist mit einem Eingang
eines Reglers 52 verbunden. Ein Steuersignal 54 wird differentiell
dem Regler 52 zugeführt, und ein Ausgang des Reglers 52 wird einem Steuereingang einer Quelle 46 zugeführt. Eine Veränderung
des Signalpegels des Steuereingangs der Quelle 46 verändert die Amplitude und/oder Frequenz der Erregergröße aus der
Quelle 46 zu den Sonden oder Tastern 48 und 50. Der Regler 52 erzeugt ein Signal an seinem Ausgang, welcher zum Steuereingang
der Quelle 46 geleitet wird, wodurch die Eingangssignale zum Regler 52 gleich gehalten werden. In üblicher Weise kann der
Regler 52 ein Integrator sein, welcher an seinem Ausgang ein Zeitintegral der Differenz zwischen seinen Eingangsgrößen
erzeugt.
Geht man davon aus, daß die Ausgangssignale der Sonden 48 und
50 proportional zur Frequenz und zur Amplitude der Ausgangsgröße der Quelle 46 und zur Kapazitätsdifferenz zwischen der Abtast-
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kapazität und der Bezugskapazität sind, so gelten für jede Sonde die folgenden Gleichungen:
S50 VFC50 ">...-..;..
S1+8 VFCti8 ' durch. Substitution für VF ergibt sich
SUfi KC48 = KC48D
~~S5 EA
~~S5 EA
Hierin bedeuten:
S5Q das Ausgangssignal der Sonde 50;
S^8 das Ausgangssignal der Sonde 48;
V die Amplitude der Ausgangsgröße der Quelle 46; F die Frequenz der Ausgangsgröße aus der Quelle 46;
C50 die Differenz zwischen den Kapazitätswerten der abtastenden
und der Bezugskapazität der Sonde 50, wobei angenommen ist, daß für D gegen unendlich diese Differenz verschwindet
(sonst in ein konstanter Additionsausdruck in diesen Gleichungen erforderlich);
C^8 die Differenz zwischen den Kapazitätswerten der abtastenden
und der Bezugskapazität der Sonde 48, die fest sein kann; ·
K die Konstante 54;
D die gemessene Dimension;
E die Dielektrizitätskonstante der Abtastkapazität der Sonde 50; und
A die Fläche, über welche die Abtastkapazität der Sonde 50
vorhanden ist.
Das Ausgangssignal ist somit proportional zu der Dimension D,
die gemessen wird (oder verändert sich direkt mit dieser für den Fall eines konstanten Additionsausdruckes). Ein Meßgerät 56 kann
zur Anzeige dieses Signals verwendet werden.
Figur .3 zeigt in Blockschaltbildform die Verarbeitungselektronik,
die eine digitale Ziffernanzeige einer gemessenen Dimension
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2Ib869 I
vorsieht. Ein spannungsgesteuerter Oszillator 5 8 sieht die
Erregergröße für eine Sonde 60 vor, die auch hier wiederum die Sonde gemäß Figur 1 sein kann, die die zuvor geschilderten Ausgangseigenschaften
aufweist. Die Sonde 60 weist eine Abtastkapazität und eine Bezugskapazität auf, wobei wenigstens die
Abtastkapazität umgekehrt mit der Dimension, die gemessen wird, schwankt. Ein zweiter Oszillator 64 sieht eine Erregergröße für
eine Sonde 66 vor, die ebenso eine Abtastkapazität und eine Bezugskapazität aufweist. Ein Regler 62 wird mit dem Ausgangssignal
der Sonde 60 an einem Eingang und wird mi.t dem Ausgangssignal der Sonde 66 an einem Differentialexngang gespeist. Der
Ausgang des· Reglers 62 wird als Steuersignal zu einem Steuereingang
des Oszillators 58 geleitet, so daß der Wert des Steuersignals die Frequenz des Oszillators 5 8 verändert. Der
Regler 62 arbeitet derart, daß er seine zwei Eingangsgrößen gleich hält, indem er die Frequenz des Oszillators 5 8 und demzufolge
den Frequenzmeßausgang der Sonde 60 steuert.
Die Erregergröße aus dem Oszillator 5 8 gelangt ebenso zu einem Gatter, welches entweder diese Erregergröße zu einem
Zähler 70 durchläßt oder sperrt, welche Zähler digital vorgestellt wird, und zwar durch jeden Zyklus oder Halbwelle der
Erregergröße des Oszillators 58. Ein Torsteuersignal wird dem Gatter 6 8 durch eine einstellbare Zählanzeigevorrichtung 72
zugeführt, welche die Erregergröße aus dem Oszillator 64 erhält
und zurückstellbar die Anzahl der Zyklen oder Halbwellen in dieser Erregergröße zählt. Wenn die Zählung in der Anzeigevorrichtung
72 eine wählbare Zahl erreicht hat, so gibt die Anzeigevorrichtung ein Signal zum Gatter 6 8 ab, um die Erregergröße
aus dem Oszillator 58 zu blockieren bzw. daran zu hindern, zum Zähler 70 zu gelangen. Während die Anzeigevorrichtung 72
zählt, ermöglicht das Signal, welches die Anzeigevorrichtung an das Gatter 6 8 abgibt, das Zuführen der Erregergröße des
Oszillators 58 zum Zähler 72.
0 9 8 2 4/0838 °m>"*L INSPECTED
Eine digitale Ziffernanzeige 74 erhält ebenso die Ausgangsgröße der Anzeigevorrichtung 72. Wenn die Anzeigevorrichtung 72
die auswählbare Zählschrittnummer erreicht, gibt sie eine Ausgangsgröße
ab, welche die Ziffernanzeige 74 veranlaßt, die Zählung bzw. Zahl digital darzustellen oder aufzugeben, welche
in dem Zähler 70 angesammelt ist, bis sie das nächste Signal aus der Anzeigevorrichtung 72 erhält. Eine verzögernde Rückstelleinrichtung
76 empfängt die gleiche Ausgangsgröße aus der Anzeigevorrichtung 72 und signalisiert nach einer kurzen Verzögerung,
daß die Anzeigevorrichtung 72 und der Zähler 70 zurückgestellt werden müssen.
Im Betrieb erzeugt diese Elektronik .eine Zählung im Zähler
der Anzahl der Zyklen oder Halbweilen aus dem Oszillator 58, diewährend einer wählbaren Anzahl von Zyklen oder Halbwellen aus
dem Oszillator 64 austreten. Auf diese Weise registriert der Zähler 70 Verhältnisse dieser zwei Frequenzen, und die Ziffernanzeige
74 stellt die Verhältnisse dieser zwei Frequenzen dar.
Mathematisch ergibt sich unter Verwendung der gleichen zuvor
angegebenen Zeichen:
S60 = V58F58C60
°60 " ν64Γ64^66 " ν58Γ58^60
r58 ν 64U66 r _6_4 D_
F64'·" V58C6O " 66 V58 EA
F64'·" V58C6O " 66 V58 EA
Hierin bedeutet:
V und F die Spannung und die Frequenz der Ausgangsgrößen der Oszillatoren, die aus dem Index hervorgehen;
S das Ausgangssignal der Sonde, die aus dem Index
hervorgeht; und
C die Kapazitätsdifferenz zwischen der abtastenden und der Bezugskapazität, die als Index angegeben sind.
309824/0838 original inspected
Es sei hervorgehoben, daß die Ziffernanzeige 71 eine Zahl
darstellt, die proportional zur rechten Seite der Gleichung (2)
ist und damit proportional zu D, der gemessenen Dimension bzw. Abmaß.
Fg^ kann ohne irgendeinen Verlust in der Genauigkeit schwanken,
vorausgesetzt, daß diese Größe langsam, verglichen mit der für jeden Zählschritt erforderlichen Zahl, variiert. V58 und VR1,
können ebenso schwanken, so lange deren Verhältnis das gleiche bleibt. Das Verhältnis wird konstant gehalten, und dies kann
dadurch erreicht werden, indem man sie aus dem Strom aus der gleichen Stromversorgung 78 erzeugt und/oder sie in der gleichen
Umgebung 80 hält. C~g kann durch herkömmliche Techniken konstant
gehalten werden oder kann schwanken, wobei es einen Parameter, darstellt, welcher die Ziffernanzeige beeinflussen soll.
Durch Änderung der Positionen der Sonden 60 und 66 ist es möglich, eine Ausgangsgröße in der Ziffernanzeige 7·+ vorzusehen,
die umgekehrt zu der einen in Gleichung (2) schwankt.
Obwohl nur eine bestimmte Ausführungsform der Erfindung
beschrieben wurde, ist es für den Fachmann offensichtlich, daß eine Reihe von Abwandlungen und Änderungen vorgenommen werden
können, ohne dabei den Rahmen der Erfindung zu verlassen.
Sämtliche in der Beschreibung erwähnten und in den Zeichnungen erkennbaren technischen Einzelheiten sind für die Erfindung
von Bedeutung.
30982U 0838
Claims (9)
- PatentansprüchelJ Gerät zum Vorsehen einer Ausgangsanzeige, die mit der Trennung bzw. dem Abstand zwischen einem Paar von ersten elektrischen Leitern schwankt, bestehend aus einem ersten elektrischen Leiterpaar, welches einen nichtleitenden Spalt zwischen sich einschließt, einer ersten Quelle zum Vorsehen einer Wechselstrom-Erregergröße, einer Einrichtung zum Zuführen der Erregergröße aus der ersten Quelle an das erste elektrische Leiterpaar, gekennzeichnet durch folgende Einrichtungen und Maßnahmen: eine Einrichtung (50) zum Herleiten eines ersten Signals, welches das Ansprechverhalten der ersten elektrischen Leiter auf die Erregergröße aus der ersten Quelle (46) wiödergibt und mit dem Kapazitätswert zwischen den ersten elektrischen Leitern schwankt; eine Einrichtung (52, 5U) zum Steuern eines Parameters der Erregung der ersten Quelle (46), um das erste Signal gleich einem Steuersignal (54) zu halten; und Mittel (52) zum Entwickeln eines zweiten Signals, welches mit dem gesteuerr ten Parameter der ersten Quelle (46) schwankt.
- 2. Gerät nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß das Steuersignal (54) einen konstanten Wert aufweist; daß weiter die Einrichtung zum Entwickeln des zweiten Signals folgende Einrichtungen enthält: Mittel (50) zum Zuführen der Erregergröße aus der ersten Quelle (46) an ein Paar von zweiten elektrischen Leitern, die durch einen nichtleitenden Spalt getrennt sind, und Mittel (52) zum Herleiten eines zweiten Signals, welches das Ansprechverhalten der zweiten elektrischen Leitung auf die Erregergröße aus der ersten Quelle (46) wiedergibt und mit dem Kapazitätswert zwischen den zweiten elektrischen Leitern s chwankt. .
- 3. Gerät nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß der gesteuerte Parameter die Frequenz ist und daß die Mittel zum Herleiten des zweiten Signals weiterhin folgendes aufweisen: eine zweite Quelle (64) zum Vorsehen einer Wechselstrom-309824/083 8-? : 5 3 B 9 ΊErregergröße; eine Einrichtung (66) zum Ableiten des Steuersignals in Form eines zur Erregeramplitude und Frequenz der zweiten Quelle (64) proportionalen Signals, eine Einrichtung (72) zum Zählen der Anzahl der Polaritätsumkehrungen in der Erregergröße aus der zweiten Quelle (6U), wobei die gezählte Zahl umgekehrt zum Kapazitätswert zwischen den ersten elektrischen Leitern proportional ist.
- 4. Gerät nach Anspruch 3, gekennzeichnet durch eine Einrichtung (62, 78, 80) zum Aufrechterhalten des Verhältnisses der Effektivwertamplituden (RMS) des Potentials aus der ersten (5 8) und der zweiten (64) Quelle gleich einer voreingestellten Zahl.
- 5. Gerät nach Anspruch 1, gekennzeichnet durch eine erste Bezugskapazität (32); durch eine Einrichtung (14, 16, 24) zum Zuführen der Erregergröße aus der ersten Quelle (12) an die erste Bezugskapazität (32), wobei das erste Signal, welches von der Einrichtung (38, 40) zum Ableiten des ersten Signals abgeleitet wurde, die Differenz im Ansprechverhalten der ersten Bezugskapazität (32) und der Kapazität (30) zwischen den ersten elektrischen Leitern wiedergibt.
- 6. Gerät nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, daß der gesteuerte Parameter die Frequenz ist und daß die Einrichtung zum Entwickeln des zweiten Signals folgendes enthält: eine zweite Quelle (64) zum Vorsehen einer Wechselstrom-Erregergröße, ein Paar von Vergleichskapazitäten (32), die voneinander um einen endlichen Kapazitätswert abweichen, eine Einrichtung zum Zuführen der Erregergröße aus der zweiten Quelle (64) an jedes Paar der Vergleichskapazitäten (32) und Mittel (62, 66) zum Ableiten des Steuersignals in Form eines Signals, welches die Kapazitätsdifferenz zwischen den Kapazitäten des Paares der Vergleichskapazitäten (32) wiedergibt.
- 7. Gerät nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, daß die Einrichtung (58, 60, 62) zum Entwickeln eines zweiten Signals weiter eine Zähleinrichtung (70) zum Zählen der Anzahl der30982 U /0838ORIGINAL. 225369Polaritätsumkehrungen der Erregergröße aus der ersten Quelle (58) während einer ausgewählten Anzahl von Polaritätsumkehrungen der Erregergröße aus der zweiten Quelle (.6 4) aufweist, wobei die gezählte Zahl umgekehrt zum Kapazitätswert (30) zwischen den ersten elektrischen Leitern proportional ist.
- 8. Gerät nach Anspruch 7, dadurch gekennzeichnet, daß eine Einrichtung (78, 80) vorgesehen ist, um das Amplitudenverhältnis der Erregergröße aus der ersten (5 8) und der zweiten (64) Quelle gleich einer voreingestellten Zahl zu halten.
- 9. Gerät nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß eine erste Brücke vorgesehen ist, die aus folgenden Einrichtungen zusammengesetzt ist: aus einer ersten und einer zweiten Gleichstrom abblockenden Impedanz (14, 16), die beide elektrisch mit einem Anschluß mit dem ersten Erregeranschluß der ersten Quelle (12) verbunden sind; einer ersten Bezugskapazität (32), die an einem Anschluß sowohl mit einem C28) der ersten elektrischen Leiter als auch mit dem zweiten Erregeranschluß der Quelle (12) verbunden ist; einer Einrichtung (24) zum Leiten der Erregergröße aus der ersten Quelle (12) durch die erste und die zweite Gleichstrom abblockende Impedanz (14, 16) zum anderen Anschluß (28). und anderen Leiter der ersten Bezugskapazität (32) und der ersten elektrischen Leiter während einer Polarität der Erregergröße aus der ersten Quelle (12) und zum anderen Leiter und dem anderen Anschluß der ersten elektrischen Leiter und ersten Bezugskapazität (32) während der anderen Polarität; einer Einrichtung (34, 38; 36, 40) zum Leiten der sich über den Gleichspannung abblockenden Impedanzen (14, 16) aufbauenden Ladung zum zweiten Anschluß (42, 44) der ersten Quelle (12), wobei das erste Signal der mittlere Strom durch die genannte Einrichtung (34, 3 8', r 36, 40) zum Leiten der Ladung ist.30982 A/0838 ORIGINAL (^PECTEDLeerseite
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