DE2251080A1 - Michelson-interferometer - Google Patents

Michelson-interferometer

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Description

18.September 1972 8845-72/Dr.v.B/Elf
Max-Planck-Gesellschaft zur Förderung der Wissenschaften e.V., 34 Göttingen, Bunsenstraße 10
Michelson-Interferometer,
Es ist bekannt, den komplexen Brechungsindex ε =? (η + ik) und damit die optischen Eigenschaften eines Festkörpers durch Festkörperspektrometrie zu bestimmen. Nachdem leistungsfähige Rechenanlagen zur Verfügung stehen, hat die sogenannte Fourier-Spektrometrie zunehmend an Bedeutung gewonnen. Für die Durchführung solcher Untersuchungen sind unsymmetrische Michelson-Interferometer besonders geeignet (Infrared Physics, 1966,£, 75-84 und 1969,9,, 185-209).
Ein asymmetrisches Michelson-Interferometer für die Festkörper spektrometrie im mittleren und fernen Infrarot soll folgenden Forderungen genügen:
2 1.) Es sollen kleine Festkörperproben (<0.5 cm ) untersucht werden körinen. Die Probe muß sich daher in einem Strahlenfokus möglichst kleinen Durchmessers befinden und die Bildfehler der den Strahlenfokus erzeugenden optischen Anordnung müssen möglichst gering sein, um die Interferenzfähigkeit
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der Bündel nicht zu beeinträchtigen.
2.) Bei der im Interferometer notwendigen Änderung des Gangunterschiedes zwischen dem Referenzstrahlungsgang und dem Probenstrahlungsgang in den beiden Interferometer-Armen dürfen keine Verschiebungen des Fokus am Ort der Probe und am Endspiegel für das Referenzbündel stattfinden.
3.) Die Probe soll außer bei Zimmertemperatur auch bei tiefen und hohen Temperaturen untersucht werden können. Dabei ist insbesondere die Messung bei Helium-Temperaturen, also in der Größenordnung von 4 K von besonderer Bedeutung.
4.) Das von der Strahlungsquelle kommende Meßstrahlungsbündel soll möglichst senkrecht auf den Bündelteiler fallen, um die Eigenpolarisation im Interferometer klein zu halten. Dies ist besonders wichtig bei der Verwendung der einen sehr hohen Wirkungsgrad aufweisenden Bündelteiler aus metallischen Kreuzgittern (siehe z.B. Infrared Physics 1964, _4 , 257-262).
5.) Die maximale Grosse des Gangunterschiedes zwischen Proben- und Referenzstrahlungsgang und damit die spektrale Auflösung des Gerätes soll nicht kleiner sein als bei den guten konventionellen symmetrischen Fourier-Interferometern. Das Interferometer soll weiterhin das gesamte mittlere und ferne Infrarot, also den Spektralbereich von etwa IO ym bis lOOO um überstreichen. Keines der bekannten unsymmetrischen Michelson-Interferometer erfüllt alle oben genannten Forderungen in zufriedenstellender Weise. Bei dem aus der oben zuerst genannten Veröffentlichung bekannten Michelson-Interferometer sind z.B. die wichtigen Forderungen 2.) und 3.) nicht erfüllt, da die Änderung des Gangunterschiedes durch Verschiebung des Endspiegels im Referenzbündelstrahlenganges erfolgt und Probe und Referenzspiegel weit voneinander entfernt sind. Auch die Forderung 1.) ist nur ungenügend erfüllt, da der Fokus am Ort
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der Probe durch einen Hohlspiegel erzeugt wird, der in einem verhältnismässig grossen Abstand von der Probe, nämlich zwischen dem Bündelteiler und der Lichtquelle, angeordnet ist.
Der vorliegenden Erfindung liegt dementsprechend die Aufgabe zugrunde, ein asymmetrisches Michelson-Interferometer anzugeben, das sich zur Festkörperspektrometrie im mittleren und fernen Infrarot eignet und sämtlichen oben erwähnten Forderungen genügt.
Diese Aufgabe wird durch die im Anspruch 1 angegebene Erfindung gelöst.
Das Michelson-Interferometer gemäss der Erfindung erlaubt die Untersuchung kleiner Festkörperproben, da sich die Probe in der Brennebene eines Hohlspiegels kleiner Brennweite befindet. Die Bildfehler dieses Hohlspiegels werden gemäss einer Weiterbildung der Erfindung dadurch minimal gehalten, daß die spiegelnde Fläche des Hohlspiegels die Form eines ausseraxialen Paraboloids hat. '
Da die notwendige Änderung des Gangunterschiedes zwischen dem Proben- und Referenzstrahlungsgang durch Verschiebung eines Rechteckwinkelspiegels, vorzugsweise eines Zentralspiegels (Tripelspiegels oder Corner-Cube-Reflektors) im Parallelstrahlengang erzeugt werden, treten keine Verschiebungen des Fokus am Ort der Probe und des Endspiegels für das Referenzbündel ein.
Beim vorliegenden Michelson-Interferometer können ferner die Probe und der Endspiegel für das Referenzbündel dicht beieinander in einer Probenkammer bzw. Kryostatkammer untergebracht werden. Wenn die Strahlung durch ein strahlungsdurchlässiges Fenster in die Kammer ein- bzw. austritt, ist bei einer solchen Anordnung gewährleistet, daß das Fenster vom Probenstrahlungsbündel und Referenzstrahlungsbündel an nahezu der gleichen Stelle durchsetzt wird und Wegunterschiede zwischen den beiden
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Teilbündeln vermieden werden. Vorzugsweise kreuzen sich die Strahlengänge zwischen den Hohlspiegeln und der Probe bzw. dem Endspiegel am Ort des Fensters, da dann beide Bündel praktisch den gleichen Bereich des Fensters durchsetzen.
Mit dem vorliegenden Michelson-Interferometer kann trotz minimalen Raumbedarfs das gesamte mittlere und ferne Infrarot überstrichen werden, da eine Verschiebung eines Rechteckwinkeloder Tripelspiegels um einen vorgegebenen Betrag einen Gangunterschied vom doppelten dieses Betrages erzeugt.
Der Erfindungsgedanke sowie Weiterbildungen und Ausgestaltungen der Erfindung werden im folgenden anhand von Ausführungsbeispielen unter Bezugnahme auf die Zeichnung näher erläutert; es zeigen:
Figur 1 eine vereinfachte Draufsicht auf ein asymmetrisches Michelson-Interferometer gemäss einem ersten Ausftihrungsbeispiel der Erfindung;
Figur 2 eine teilweise geschnittene Seitenansicht einer Probenhalterungs- oder Endspiegelhalterungsanordnung;
Figur 3 eine Teilansicht eines Bündelteilers;
Figur 4 eine schematische Darstellung eines sogenannten "Katzenauges" und
Figur 5 eine schematische Teilansicht eines zweiten Ausführungsbeispieles eines asymmetrischen Michelson-Interferometer s gemäss der Erfindung.
Das in Figur 1 schematisch dargestellte Ausführungsbeispiel der Erfindung ist für Messungen im mittleren und fernen Infrarot bestimmt. Die wesentlichen Teile der Strahlengänge sind
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daher in bekannter Weise in einer evakuierbaren Kammer VK untergebracht.
Die' für die Untersuchung verwendete Meßstrahlung wird durch einen Strahler STR (z.B. eine Quecksilberhochärucklampe) erzeugt. Das vom Strahler STR ausgehende Strahlungsbündel wird durch einen sphärischen Hohlspiegel Sl auf ein Eintrittsfenster Fl in der Wand der Vakuumkammer VK fokussiert. Das Eintrittsfenster Fl kann ein Filter enthalten oder aus einem solchen bestehen. Das sich vom Eintrittsfenster Fl aus divergent in das Innere der Vakuumkammer VK ausbreitende Meß-Strahlungsbündel fällt auf einen zweiten sphärischen Hohlspiegel S2f von dem es als Parallelstrahlungsbündel zu einem ebenen Spiegel P3 reflektiert wird. Vom ebenen Spiegel P3 fällt das parallele Meßstrahlungsbündel MB auf einen Bündelteiler ST, der in bekannter Weise ausgebildet ist und z.B. eine Kunststoff-Folie oder ein Metalldrahtnetz enthalten kann. Das Meßstrahlungsbündel MB soll mit der Normalen zur Ebene des Bündelteilers ST einen möglichst kleinen Winkel, z.B. zwischen 15° und 25° bilden.
Vom Bündelteiler ST wird das Meßstrahlungsbündel MB in ein reflektiertes Teilbündel und ein durchgelassenes Teilbündel ausgespalten, die als Probenbündel PB bzw. Referenzbündel RB dienen.
Das Referenzbündel RB durchläuft einen vom Bündelteiler ST zu einem Endspiegel ES und zurückführenden Referenzbündelstrahlungsgang, der vom Bündelteiler ST ausgehend im wesentlichen einen ebenen Spiegel Pl, einen Tripelspiegel TSl und einen Hohlspiegel APl enthält.
Das Probenstrahlungsbündel PB durchläuft einen zum Referenzstrahlungsgang im wesentlichen symmetrischen Probenbündelstrahlungsgang, der im wesentlichen einen weiteren ebenen Spiegel P2, einen zweiten Tripelspiegel TS2 und einen
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zweiten Hohlspiegel AP2 enthält.
Die Hohlspiegel APl und AP2 haben vorzugsweise spiegelnde Flächen in Form asymmetrischer Paraboloide, so daß die Bildfehler möglichst klein sind.
Die Hohlspiegel APl und AP2 sind so angeordnet, daß sie die einfallenden Parallelstrahlungsbündel am Ort des Endspiegels ES bzw. einer in einer Probenhalterung PH angeordneten Probe fokussieren. Probenhalterung PH und Endspiegel ES sind nahe beieinander in einer Probenkammer PK untergebracht, die bei dem dargestellten Ausführungsbeispiel durch einen Kryostaten KR auf Heliumtemperatur abgekühlt werden kann. Die Anordnung der Hohlspiegel APl und AP2 ist dabei so getroffen, daß sich das Referenzstrahlungsbündel und das Probenstrahlungsbündel am Ort eines nicht dargestellten Eintrittfensters der Probenkammer schneiden, so daß beide Bündel praktisch den gleichen Bereich des Fensters durchsetzen.
Das Referenzstrahlungsbündel und das Probenstrahlungsbündel werden am Endspiegel ES bzw. an der in der Probenhalterung PH befindlichen Probe reflektiert und gelangen über die Hohlspiegel APl bzw. AP2, die Tripelspiegel TSl bzw. TS2 und die ebenen Spiegel Pl bzw. P2 zurück zum Bündelteiler ST der jeweils einen Teil der zurückkehrenden Bündel reflektiert bzw. durchläßt und dadurch ein aus dem reflektierten Teil des Referenzstrahlungsbündels sowie dem durchgelassenen Teil des Probenstrahlungsbündels bestehendes Ausgangsstrahlungsbündel AB erzeugt, das durch einen ebenen Spiegel P4 zu einem sphärischen Hohlspiegel S3 reflektiert wird, der das Ausgangs-Strahlungsbündel AB durch ein Austrittsfenster F2 in eine Detektoranordnung D reflektiert, die bei dem dargestellten Ausführungsbeispiel ein Reflexionsfilter R, einen Hohlspiegel E, dessen spiegelnde Fläche die Form eines ausseraxialen Ellipsoids hat und eine Golay-Zelle GZ enthält.
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Im Wege des Meßstrahlungsbündels, z.B. zwischen dem sphärischen Hohlspiegel Sl und dem Eintrittsfenster Fl, ist ein üblicher Bündelzerhacker ZH angeordnet.
Der Tripelspiegel TSl ist durch eine nur schematisch angedeutete Verstellvorrichtung, die einen Antriebsmotor A enthält parallel zur Achse des einfallenden ReferenzStrahlungsbündels meßbar verschiebbar.
Figur 2 zeigt ein Ausführungsbeispiel einer Halterungsanordnung für den Endspiegel ES bzw. die Probe. Die Halterung enthält einen ebenen Umlenkspiegel US, der das vom Hohlspiegel APl bzw, ÄP2 im wesentlichen waagrecht einfallende konvergente Bündel senkrecht, nach oben umlenkt. Der Endspiegel ES bzw. die Probe sind auf drei justierbaren Stützen gelagert, von denen in Figur 2 nur zwei Stützen SSl bzw. SS2 sichtbar sind.
Der mit der Mittelachse des einfallenden Strahlungsbündels einen Winkel von 45° bildende Umlenkspiegel US ist mittels zweier Justierschrauben JS justierbar.
Bei einer Justierung des Interferometers werden in beide Halterungen Spiegel eingesetzt. Nach der Justierung wird der eine Spiegel durch die Probe ersetzt, die eine möglichst genau plangeschliffene Oberfläche haben soll und sich während der Messung nicht verformen darf»
Figur 3 zeigt eine Teilansicht einer praktischen Ausführungsform des Bündelteilers ST. Das aktive Element des Bündelteilers besteht hier aus einer Polyesterfolie FO, die durch einen Folienträger FT über einen Rahmen RA gespannt wird, welcher eine Referenzfläche RF hat. Die Folien sind durch einfaches Lösen von drei gefederten Andruckzapfen AZ schnell auswechselbar, wobei gewährleistet ist, daß bei Auswechseln der
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Strahlenteilerfolie FO keine Dejustierung eintritt. Durch verschieden starke Andruckfedersätze und mit Hilfe der Spannmuttern kann der Druck des Zapfens auf den Folienträger so eingestellt werden, daß Strahlenteilerfolien verschiedener Materialien und verschiedener Stärke optimal auf die Referenzfläche gespannt werden.
Anstelle der Tripelspiegel TSl und TS2 können selbstverständlich auch andere Reflektoranordnungen verwendet werden, die ein einfallendes Bündel parallel versetzt reflektieren. Man kann z.B. einen einfachen Rechteckwinkelspiegel verwenden, der zwei einen rechten Winkel miteinander bildende reflektierende Flächen enthält. Figur 4 zeigt eine dritte Alternative, die als "Katzenauge" bekannt ist. Die Reflektoranordnung gemäss Fig.4 enthält einen Hohlspiegel HO, der eine sphärische oder parabolische Spiegelfläche aufweisen kann. In der Brennebene des Spiegels HO ist ein kleiner ebener Spiegel P5 angeordnet. Ein einfallendes Bündel wird , wie dargestellt, durch eine solche Reflektoranordnung parallel versetzt reflektiert.
Figur 5 zeigt ein weiteres Ausführungsbeispiel des asymmetrischen Michelson-Interferometers gemäss der Erfindung. Wirkungsgleiche Bauelemente sind in Figur 1 und 5 mit den gleichen Bezugszeichen bezeichnet.
Das Referenzstrahlungsbündel RB und das Probenstrahlungsbündel PB fallen bei dem Ausführungsbeispiel gemäss Figur 5 vom Bündelteiler ST direkt auf die Tripelspiegel TSl bzw. TS2 und werden anschliessend durch zwei in der dargestellten Weise angeordnete ebene Spiegel P6 und P7 bzw. P8 und P9 auf die Hohlspiegel APl bzw. AP2 reflektiert. Im übrigen kann der Aufbau dem des Ausführungsbeispieles gemäss Figur 1 entsprechen.
Die beschriebenen Ausführungsbeispiele sind für die Untersuchung reflektierender Proben bestimmt. Eine Abänderung für
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Transmissionsuntersuchungen ist leicht möglich, so kann man z.B. zwei Endspiegel verwenden und die Probe zwischen dem einen Umlenkspiegel US und dem einen Endspiegel ES (Figur 2) anordnen.
Die beschriebenen Ausführungsbeispiele lassen sich selbstverständlich auch noch in. anderer Hinsicht abwandeln. So ist es z.B. möglich, das divergierende Bündel vom Eintrittsfenster Fl aus direkt auf den Bündelteiler ST fallen zu lassen und anstelle des ebenen Spiegels Pl einen Hohlspiegel entsprechender Brennweite zu verwenden, der das einfallende divergierende Bündel in ein Parallelstrahlenbündel umwandelt. An die Stelle des Spiegels P2 würde darin'ein entsprechender Hohlspiegel treten.
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Claims (8)

  1. Patentansprüche
    ) Asymmetrisches Michelson-Interferometer mit einer Strahlungsquelle zum Erzeugen eines MeßStrahlungsbündeIs , das auf einen Bündelteiler fällt, der es in ein einen Probenstrahlungsgang durchlaufendes, am Ort einer zu untersuchenden , in einer Probenhalterung angeordneten Probe konvergierendes und von dieser zum Bündelteiler reflektiertes Probenstrahlungsbündel sowie ein einen Referenzstrahlungsgang durchlaufendes, am Ort eines Endspiegels konvergierendes und von diesem zum Bündelteiler reflektiertes Referenzstrahlungsbündel zerlegt, ferner mit einer Verstellvorrichtung zum meßbaren Ändern der optischen Länge des Referenzstrahlungsganges bezüglich der optischen Länge des Probenstrahlungsganges, und einem Strahlungsdetektor, der im Strahlengang eines Ausgangsstrahlungsbündels angeordnet ist, das am Bündelteiler durch Vereinigung der reflektierten Proben- und Referenzstrahlungsbündel entsteht, dadurch gekennzeichnet , daß der Referenz- und der Probens tr ah lung sgang jeweils einen von zwei Hohlspiegeln (APl, AP2) gleicher, kurzer Brennweite enthalten; daß der Endspiegel (ES)und die Probenhalterung (PH) nahe beieinander bei den Brennpunkten je eines der Hohlspiegel angeordnet sind; daß zwischen den Hohlspiegeln und dem Bündelteiler (ST) je eine Reflektoranordnung (TSl, TS2) angeordnet ist, die das dort parallele Referenz- bzw. Probenstrahlungsbündel parallel versetzt reflektiert, und daß die Verstellvorrichtung (A) eine Anordnung zum Verschieben mindestens einer der Reflektoranordnungen (TSl, TS2) in einer den parallel versetzten Bündeln parallelen Richtung enthält.
  2. 2.) Michelson-Interferometer nach Anspruch 1,dadurch gekennzeichnet, daß die Hohlspiegel (APl #AP2) nebeneinander angeordnet sind und Spiegelflächen in Form außer-
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    axialer Paraboloide haben.
  3. 3.) Michelson-Interferometer nach Anspruch 1 t oder 2, d a durch gekennzeichnet, daß die Reflektoranordnungen jeweils einen Rechteckwinkelspiegel, einen Tripelspiegel (TSl) oder ein Katzenauge (Figur 4) enthalten,
  4. 4.) Michelson-Interferometer nach Anspruch lf 2 oder 3, d a du rch gekennzeichnet, daß sich der Referenzstrahlungsgang und der Probenstrahlungsgang zwischen den Hohlspiegeln (APl, AP2) und den zugehörigen Brennpunkten kreuzen.
  5. 5.) Michelson-Interferometer nach Anspruch 4, d ad u r c h gekennzeichnet , daß die Probenhalterung (PH) und der Endspiegel (ES) in einer abgeschlossenen Probenkammer (PK) angeordnet sind, die ein im Kreuzungsbereich der Bündel befindliches, für die Meßstrahlung durchlässiges Fenster hat.
  6. 6.) Michelson-Interferometer nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß im Referenz- und Probenstrahlungsgang zwischen dem Bündelteiler (ST) und den jeweiligen Hohlspiegeln (APl, AP2) ein reflektierendes Element (Pl, P2) angeordnet ist, das die vom Bündelteiler aus im stumpfen Winkel divergierenden Bündel (RB, PB) in annähernd parallele Richtungen reflektiert, daß die Reflektoranordnungen,(TSl, TS2) im Wege dieser reflektierten Bündel, vom Bündelteiler aus gesehen hinter der Probenhalterung (PH) sowie dem Endspiegel (ES) angeordnet sind, und daß die Hohlspiegel (APl, AP2) im Raum zwischen dem Bündelteiler und der Probenhalterung bzw. dem Endspiegel angeordnet sind (Figur 1).
  7. 7.) Michelson-Interferometer nach einem der Ansprüche 1 bis 5, dadurch gekennzeichnet, daß- das Referenz- und „das Probenstrahlungsbündel (RB, PB)., die vom
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    Bündelteiler (ST) aus im stumpfen Winkel divergieren, zuerst auf die Reflektoranordnungen (TSl, TS2) fallen und dann über je eine reflektierende Anordnung (P6, P7; P8,P9) auf die nebeneinander zwischen dem Bündelteiler (ST) und der Probenhalterung bzw. dem Endspiegel angeordnete Hohlspiegel (APl, AP2) geworfen werden (Figur 5).
  8. 8.) Michelson Interferometer nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß zwischen den Hohlspiegeln (APl, AP2) und dem Endspiegel (ES) bzw. der Probe jeweils ein Umlenkspiegel (US) angeordnet ist, der die betreffenden Bündel um 90° umlenkt und daß zur Halterung der Probe bzw. des Endspiegels eine justierbare Dreipunkthalterung vorgesehen ist (Figur 2).
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Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE3005520A1 (de) * 1980-02-14 1981-08-20 Kayser-Threde GmbH, 8000 München Zweistrahl-interferometer zur fourierspektroskopie
US4479058A (en) * 1981-12-02 1984-10-23 Bruker Analytische Messtechnik Gmbh Auxiliary unit for carrying out reflection measurements using an IR spectrometer
DE102013006478A1 (de) * 2013-04-13 2014-10-16 Maul-Theet GmbH Tragvorrichtung für ein Interferometer, Messvorrichtung mit einem Interferometer und einer solchen Tragvorrichtung und Verwendung einer solchen Tragvorrichtung

Families Citing this family (12)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE2428992A1 (de) * 1974-06-15 1976-01-02 Metzeler Gummitechnik Verfahren zum zerstoerungsfreien pruefen von elastischen und/oder visco-elastischen bauteilen mittels holografischer interferometrie
US4355900A (en) * 1980-08-08 1982-10-26 The United States Of America As Represented By The Secretary Of The Air Force Self-calibrating interferometer
DE3303140A1 (de) * 1983-01-31 1984-08-02 Bruker Analytische Meßtechnik GmbH, 7512 Rheinstetten Infrarot-spektrometer
US4547068A (en) * 1983-03-04 1985-10-15 Covey Joel P Optical analytical instrument beam condenser
JPS62197743A (ja) * 1986-02-25 1987-09-01 Toshiba Corp 赤外吸収測定装置
US5066599A (en) * 1989-07-27 1991-11-19 Fujitsu Limited Silicon crystal oxygen evaluation method using fourier transform infrared spectroscopy (ftir) and semiconductor device fabrication method using the same
US5021661A (en) * 1989-09-04 1991-06-04 Jeol Ltd. Time-resolved infrared spectrophotometer
CA2319729A1 (en) * 1998-02-20 1999-08-26 Hinds Instruments, Inc. Birefringence measurement system
JP2000234959A (ja) * 1999-02-12 2000-08-29 Ando Electric Co Ltd 波長変化測定器及び波長可変光源
FI20020530A0 (fi) * 2002-03-20 2002-03-20 Noveltech Solutions Ltd Interferometri
FI114824B (fi) * 2003-02-12 2004-12-31 Temet Instr Oy Infrapunamodulaattori spektrometriä varten
FI20031581A0 (fi) * 2003-10-30 2003-10-30 Noveltech Solutions Ltd Interferometri

Family Cites Families (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US2571937A (en) * 1948-08-27 1951-10-16 Research Corp Interferometer with right-angle reflector surfaces at end of each divided beam
CH529343A (de) * 1971-02-23 1972-10-15 Bbc Brown Boveri & Cie Verfahren und Anordnung zur Untersuchung der Kohärenz von Lichtstrahlung

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE3005520A1 (de) * 1980-02-14 1981-08-20 Kayser-Threde GmbH, 8000 München Zweistrahl-interferometer zur fourierspektroskopie
US4479058A (en) * 1981-12-02 1984-10-23 Bruker Analytische Messtechnik Gmbh Auxiliary unit for carrying out reflection measurements using an IR spectrometer
DE102013006478A1 (de) * 2013-04-13 2014-10-16 Maul-Theet GmbH Tragvorrichtung für ein Interferometer, Messvorrichtung mit einem Interferometer und einer solchen Tragvorrichtung und Verwendung einer solchen Tragvorrichtung
DE102013006478B4 (de) * 2013-04-13 2014-11-06 Maul-Theet GmbH Tragvorrichtung für ein Interferometer, Messvorrichtung mit einem Interferometer und einer solchen Tragvorrichtung und Verwendung einer solchen Tragvorrichtung

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Publication number Publication date
US3868185A (en) 1975-02-25
FR2213491B3 (de) 1976-09-03
FR2213491A1 (de) 1974-08-02
GB1440135A (en) 1976-06-23

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