DE2246865B2 - Kathodolumineszenzeinnchtung fur Rasterelektronenmikroskope - Google Patents
Kathodolumineszenzeinnchtung fur RasterelektronenmikroskopeInfo
- Publication number
- DE2246865B2 DE2246865B2 DE2246865A DE2246865A DE2246865B2 DE 2246865 B2 DE2246865 B2 DE 2246865B2 DE 2246865 A DE2246865 A DE 2246865A DE 2246865 A DE2246865 A DE 2246865A DE 2246865 B2 DE2246865 B2 DE 2246865B2
- Authority
- DE
- Germany
- Prior art keywords
- sample
- light
- cavity
- light guide
- focal point
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
- H01J37/02—Details
- H01J37/22—Optical or photographic arrangements associated with the tube
- H01J37/226—Optical arrangements for illuminating the object; optical arrangements for collecting light from the object
- H01J37/228—Optical arrangements for illuminating the object; optical arrangements for collecting light from the object whereby illumination and light collection take place in the same area of the discharge
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
- H01J37/02—Details
- H01J37/244—Detectors; Associated components or circuits therefor
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J2237/00—Discharge tubes exposing object to beam, e.g. for analysis treatment, etching, imaging
- H01J2237/244—Detection characterized by the detecting means
- H01J2237/2445—Photon detectors for X-rays, light, e.g. photomultipliers
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J2237/00—Discharge tubes exposing object to beam, e.g. for analysis treatment, etching, imaging
- H01J2237/245—Detection characterised by the variable being measured
- H01J2237/24507—Intensity, dose or other characteristics of particle beams or electromagnetic radiation
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Investigating, Analyzing Materials By Fluorescence Or Luminescence (AREA)
- Analysing Materials By The Use Of Radiation (AREA)
Description
Hierzu 1 Blatt Zeichnungen
Claims (6)
1. Kathodolumineszenzeinrichtung für Raster- Erfindungsgemäß wird nun vorgeschlagen, daß die
elektronenmikroskope, in welchen ein die Ober- 5 Probe in einem verspiegelten, mindestens einen Brennfläche
einer Probe abrastender Primärelektronen- punkt aufweisenden Hohlraum angeordnet ist.Durch
strahl das Probematerial zur Lumineszenz erregt, diese Maßnahme werden die eingangs geschilderten
dadurch gekennzeichnet, daß die Nachteile vermieden.
Probe (6) in einem verspiegelten, mindestens Die Erfindung soll nun an Hand der Zeichnung
einen Brennpunkt aufweisenden Hohlraum (S) io näher beschrieben werden:
angeordnet ist Die Einrichtung besitzt einen Block 3 mit einer
2. Einrichtung nach Anspruch 1, dadurch ge- Bohrung 2. Innerhalb des Blockes 3 ist ein Hohlkennzeichnet,
daß der Hohlraum (5) ein Rota- raum 5 vorgesehen. Als gunstigste geometnsche Form
tionsellipsoid ist, in dessen einem Brennpunkt (7) für den Hohlraum 5 hat sich ein Halbrotationsellipdie
Probe (6) vorgesehen und an dessen anderem 15 soid erwiesen. Der Hohlraum kann jedoch auch eine
Brennpunkt (9) ein Lichtleiter (10) bzw. unniittel- Halbkugel sein. Die gekrümmte Fläche des Hohlraubar ein Detektor angeordnet ist. mes ist als Spiegel 4 ausgebildet. In diesem Hohl-
3. Einrichtung nach Anspruch 1 oder 2, da- raum 5 wird nun die Probe 6 in den einen Brenndurch
gekennzeichnet, daß der Brennpunkt mit punkt 7 des Elipsoids angeordnet und liegt unterhalb
der öffnung einer Blende (8) zusammenfällt. ao der Bohrung 2, durch die der Elektronenstrahl 1 hin-
4. Einrichtung nach einem der Ansprüche 1 durchtritt. Das an der Probenoberfläche erzeugte
bis 3, dadurch gekennzeichnet, daß der Spiegel (4) Licht wird durch den Spiegel 4 im anderen Brennsowie
der den Spiegel tragende Körper (3) aus punkt 9 fokussiert. An diesem Brennpunkt ist eine
;inem Material neidriger Ordnungszahl hergestellt Blende 8 vorgesehen, deren öffnungenszentrum mit
sind. 25 dem Brennpunkt 9 zusammenfällt. Über einen Licht-
5. Einrichtung nach einem der Ansprüche 1 leiter 10, der vorzugsweise aus Quarz besteht, wird
bis 4, dadurch gekennzeichnet, daß im Strahlen- das Licht, das durch die Blendenöffnung hindurchgang
des Primärelektronenstrahls ein dünner Alu- tritt, einem Detektor 11 zugeführt. Vor diesem Deminiumfilm
vorgesehen ist. tektor befindet sich ein optisches Filter 12, das vor-
6. Einrichtung nach einem der Ansprüche 1 30 zugsweise denjenigen Spektralbereich am Durchtritt
bis 5, dadurch gekennzeichnet, daß parallel zur hindert, in dem die Wellenlängen der von den schnel-Bodenfläche
des Hohlraumes (5) eine Bohrung len Elektronen an der Eintrittsfläche des Lichtleiters
vorgesehen ist. ' " 10 ausgelösten Lichtquanten liegen, wodurch eine
Minderung des Störsignals im Detektor 11 erreicht 35 wird. Im Strahlengang des primären Elektronen-
strahl 1 ist ein dünner Aluminiumfilm angeordnet,
um das Glühlicht der Elektronenkanone auszuschalten.
Die Erfindung betrifft eine Kathodolumineszenzein- Der Block 3, die Probe 6 und der Lichtleiter 10
richtung für Rasterelektronenmikroskope, in welchen 40 mit der Blende 8 sind auf einer Halterung 13 angeein
der Oberfläche einer Probe abrastender Primär- ordnet, die ihrerseits auf der nicht dargestellten Proelektronenstrahl
des Probenmaterial zur Lumineszenz benbewegungszunge des Rasterelektronenmikroskoerregt.
pes befestigt ist. Dadurch daß vor dem Lichtleiter 10
Bei den bekannten Kalhodolumineszenzeinrichtun- die Blende 8 angeordnet ist, wird die Zahl der auf
gen für Rasterelektronenmikroskope werden entweder 45 den Lichtleiter auftreffenden, hochenergeüschen Elek-Lichtleiter,
deren Stirnflächen nur sehr kleine Raum- tronen stark vermindert. Die im Brennpunkt 9 fokuswinkel
erfassen, in die Nähe der Probe gebracht, oder sierten Lichtquanten werden jedoch nicht berührt,
es wird das an der Probe erzeugte Licht durch eine Der Block 3 und der Spiegel 4 bestehen aus einem
optische Linse auf die Stirnfläche eines Lichtleiters Material niederer Ordnungszahl, wodurch eine
bzw. unmittelbar auf einen Detektor fokussiert. Auch 50 weitere Rückstreuung der bereits an der Probe reflekin
diesem zweiten Falle ist der erfaßte Raumwinkel tierten, hochenergetischen Elektronen vermindert
im Vergleich zum Raumwinkel des nachfolgend be- wird.
schriebenen Geräts klein und damit die erreichte Als Hohlkörper kann man auch eine Halbkugel ver-
Emfindlichkeit solcher Anordnungen gering. Ferner wenden, wobei die Probe dann außermittig angeordist
es mit den gegenwärtig bekannten Einrichtungen 55 net ist. Es ist auch nicht unbedingt notwendig, daß
nicht möglich, energiereiche, an der Probe rückge- die gesamte Innenfläche des Hohlraumes verspiegelt
streute Elektronen am Auftreffen auf die Lichtleiter- ist. Parallel zur Bodenfläche des Hohlraumes kann
Stirnfläche bzw. auf die Linse zu hindern. Durch die- eine Bohrung vorgesehen sein, durch die die Sekunses
Aufprallen werden aber Lichtblitze erzeugt, die därelektronen abgesaugt werden können. Diese Seein
Störsignal liefern. Falls die Probe nur sehr geringe 60 kundärelektronen können zur Erzeugung eines Bildes
Kathodolumineszenz zeigt, ist es infolge dieses Stör- herangezogen werden.
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
AT860371A AT306804B (de) | 1971-10-05 | 1971-10-05 | Kathodolumineszenzeinrichtung für Rasterelektronenmikroskope |
Publications (3)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
DE2246865A1 DE2246865A1 (de) | 1973-04-19 |
DE2246865B2 true DE2246865B2 (de) | 1973-10-18 |
DE2246865C3 DE2246865C3 (de) | 1974-05-16 |
Family
ID=3606958
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
DE2246865A Granted DE2246865B2 (de) | 1971-10-05 | 1972-09-23 | Kathodolumineszenzeinnchtung fur Rasterelektronenmikroskope |
Country Status (5)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US3790781A (de) |
JP (2) | JPS4846265A (de) |
AT (1) | AT306804B (de) |
DE (1) | DE2246865B2 (de) |
GB (1) | GB1369314A (de) |
Families Citing this family (23)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
NL7902963A (nl) * | 1979-04-13 | 1980-10-15 | Philips Nv | Detektor voor elektronenmikroskoop. |
AU534811B2 (en) * | 1979-07-03 | 1984-02-16 | Unisearch Limited | Atmospheric scanning electron microscope |
JPS57103747A (en) * | 1980-12-20 | 1982-06-28 | Hitachi Kiden Kogyo Ltd | Automatic press device |
JPS58117058U (ja) * | 1982-02-04 | 1983-08-10 | 日本電子株式会社 | 走査電子顕微鏡用カソ−ドルミネツセンス装置 |
US4546254A (en) * | 1983-03-24 | 1985-10-08 | Shimadzu Corporation | Charged particle energy analyzer |
US4578584A (en) * | 1984-01-23 | 1986-03-25 | International Business Machines Corporation | Thermal wave microscopy using areal infrared detection |
JPS6195722A (ja) * | 1984-10-18 | 1986-05-14 | Nippon Kokan Kk <Nkk> | プレスブレ−キの材料追従装置 |
US4831267A (en) * | 1987-02-16 | 1989-05-16 | Siemens Aktiengesellschaft | Detector for charged particles |
DE3729846A1 (de) * | 1987-09-05 | 1989-03-23 | Zeiss Carl Fa | Kathodolumineszenzdetektor |
JPH07108414B2 (ja) * | 1988-01-05 | 1995-11-22 | 鋼鈑工業株式会社 | プレスブレーキ用材料供給装置 |
US4979199A (en) * | 1989-10-31 | 1990-12-18 | General Electric Company | Microfocus X-ray tube with optical spot size sensing means |
US5264704A (en) * | 1992-11-17 | 1993-11-23 | National University Of Singapore | High efficiency cathodoluminescence detector with high discrimination against backscattered electrons |
US5468967A (en) * | 1994-08-26 | 1995-11-21 | National University Of Singapore | Double reflection cathodoluminescence detector with extremely high discrimination against backscattered electrons |
US5724131A (en) * | 1995-06-14 | 1998-03-03 | The National University Of Singapore | Integrated emission microscope for panchromatic imaging, continuous wavelength spectroscopy and selective area spectroscopic mapping |
US5569920A (en) * | 1995-06-14 | 1996-10-29 | National University Of Singapore | Retractable cathodoluminescence detector with high ellipticity and high backscattered electron rejection performance for large area specimens |
JP4824527B2 (ja) * | 2006-11-01 | 2011-11-30 | 株式会社トプコン | 試料分析装置 |
GB2478900A (en) | 2009-09-10 | 2011-09-28 | Univ Sheffield | Collection of electromagnetic radiation emitted from particle irradiated samples |
DE102009046211B4 (de) | 2009-10-30 | 2017-08-24 | Carl Zeiss Microscopy Gmbh | Detektionsvorrichtung und Teilchenstrahlgerät mit Detektionsvorrichtung |
US9322776B2 (en) * | 2014-08-19 | 2016-04-26 | The Boeing Company | Method and system for imaging a target |
JP7141874B2 (ja) * | 2017-09-29 | 2022-09-26 | 株式会社堀場製作所 | ルミネッセンス採光装置 |
EP3462475A3 (de) * | 2017-09-29 | 2019-11-20 | Horiba, Ltd. | Lumineszenzsammelvorrichtung |
US11114274B2 (en) * | 2019-12-23 | 2021-09-07 | Carl Zeiss Smt Gmbh | Method and system for testing an integrated circuit |
CN113675060A (zh) * | 2020-05-13 | 2021-11-19 | 聚束科技(北京)有限公司 | 一种扫描电子显微镜 |
Family Cites Families (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US3319071A (en) * | 1964-11-27 | 1967-05-09 | Gen Motors Corp | Infrared gas analysis absorption chamber having a highly reflective specular internal surface |
JPS517072A (de) * | 1974-07-08 | 1976-01-21 | Satsuki Kitani |
-
1971
- 1971-10-05 AT AT860371A patent/AT306804B/de not_active IP Right Cessation
-
1972
- 1972-09-23 DE DE2246865A patent/DE2246865B2/de active Granted
- 1972-09-28 US US00292954A patent/US3790781A/en not_active Expired - Lifetime
- 1972-10-02 JP JP47098864A patent/JPS4846265A/ja active Pending
- 1972-10-04 GB GB4565672A patent/GB1369314A/en not_active Expired
-
1977
- 1977-07-08 JP JP1977090817U patent/JPS5310255U/ja active Pending
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
DE2246865C3 (de) | 1974-05-16 |
DE2246865A1 (de) | 1973-04-19 |
JPS4846265A (de) | 1973-07-02 |
GB1369314A (en) | 1974-10-02 |
JPS5310255U (de) | 1978-01-27 |
US3790781A (en) | 1974-02-05 |
AT306804B (de) | 1973-04-25 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
DE2246865B2 (de) | Kathodolumineszenzeinnchtung fur Rasterelektronenmikroskope | |
DE2712074C3 (de) | Vorrichtung zur Messung der diffusen Reflexion von Oberflächen | |
DE1696714B1 (de) | Verfahren zur Herstellung eines Kennzeichens auf durchsichtigen Werkstoffen | |
DE1472084A1 (de) | Mikroskop mit wanderndem Beleuchtungspunkt | |
DE2432305A1 (de) | Verfahren und vorrichtung zur untersuchung eines koerpers mittels durchdringender strahlung | |
DE3928282A1 (de) | Roentgenaufnahmevorrichtung | |
DE2242644C3 (de) | Optische Abtastvorrichtung | |
DE1774419C3 (de) | Vorrichtung zum optischen Vergleichen zweier Muster | |
DE1906360A1 (de) | Optisches System zur Focussierung,bei dem Glasfaser verwendet wird | |
DE2840556C2 (de) | Holographisch codierte Paßphotos und Berechtigungsnachweise | |
DE2000116A1 (de) | Eingangsschirm fuer Bildvorrichtungen | |
DE1939604A1 (de) | Einrichtung zum Untersuchen der Strahlungsverteilung einer ausgedehnten Strahlungsquelle | |
DE2307005A1 (de) | Vorrichtung zum maschinellen lesen bzw. erkennen von zeichen, z. b. buchstaben | |
DE2105805B2 (de) | Gerät für die Elektronenspektroskopie zur chemischen Analyse einer Probe | |
DE2640260A1 (de) | Durchstrahlungs-raster-korpuskularstrahlmikroskop | |
DE3851790T2 (de) | Kugel-Analysator starker Helligkeit für geladene Teilchen. | |
DE3206861A1 (de) | Roentgenfluoreszenz-zusatz fuer elektronenstrahlgeraete | |
DE1058166B (de) | Elektronenmikroskop | |
AT124017B (de) | Vorrichtung zur Prüfung kristallinischer Körper mit Hilfe von Röntgenstrahlen. | |
DE883482C (de) | Elektronenbeugungsroehre | |
DE1959226C (de) | Schlitzblende fur die Röntgen Topographie von Einkristallen | |
DE2259382C3 (de) | Röntgenstrahlenquelle | |
DE683119C (de) | Photometer zur Untersuchung des Nachleuchtens von Fluoreszenzmaterialien | |
DE923567C (de) | Einrichtung zur Strahljustierung bei Elektronenmikroskopen | |
DE641802C (de) | Roentgenspektralapparat |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
C3 | Grant after two publication steps (3rd publication) | ||
8339 | Ceased/non-payment of the annual fee |