DE2230373B2 - Gas discharge display device and method of manufacturing the same - Google Patents

Description

Die Erfindung betrifft eine Gasentladungs-Anzeigevorrichtung, gemäß dem Oberbegriff des Patentanspruches 1. Außerdem bezieht sich die Erfindung auf ein Verfahren zur Herstellung einer Gasentladungs-Anzeigevorrichtung gemäß dem Oberbegriff des Patentan-The invention relates to a gas discharge display device according to the preamble of claim 1. The invention also relates to a Method for producing a gas discharge display device according to the preamble of the patent application Spruches 11.Proverbs 11.

Eines der charakteristischen Merkmale einer Gasentladungs-Anzeigevorrichtung, die unter der Bezeichnung Plasmia-Ziffernanzeigefeld bekanntgeworden ist, besteht darin, daß die Elektroden für die GasentladungOne of the distinctive features of a gas discharge display device known as the plasmia number display panel, consists in the electrodes for gas discharge vom Gaselement isoliert angeordnet sind. Die Anzeigevorrichtung kann dadurch eine Speicherfunktion ausüben und einen weiten Anwendungsbereich finden. Da aber für einige in Betracht kommende Anwendungsfälle die Betriebsspannung der Vorrichtung zu hoch ist,are arranged isolated from the gas element. The display device can thereby exercise a memory function and find a wide range of applications. There but for some possible applications the operating voltage of the device is too high, besteht die Notwendigkeit, die Zündspannung dieser Art von Vorrichtungen zu vermindern.there is a need to lower the ignition voltage of these types of devices.

Ganz allgemein wird in den genannten Plasma-Anzeigefeldern die an die Elektroden angelegte Spannung aufgeteilt in eine Spannung an den dielektrischen BeIn the above-mentioned plasma display panels, the voltage applied to the electrodes is very general divided into a voltage across the dielectric Be lägen und eine Spannung an dem Gaselement-Medium. Sobald die an dem Gaselement-Medium anliegende Spannung die Minimalspannung, welche im Gaselement-Medium eine Entladung hervorrufen kann, überschreitet (diese Minimalspannung wird im weiteren alsand a tension on the gas element medium. As soon as the voltage applied to the gas element medium exceeds the minimum voltage which can cause a discharge in the gas element medium (this minimum voltage is hereinafter referred to as Zündspannung Vi bezeichnet), wird in dem gasförmigen Medium eine Gasentladung bewirkt. Hauptfaktoren für die Bestimmung der Zündspannung im Plasma-Ziffernanzeigefeld sind die Zusammensetzung des ionisierba-Ignition voltage Vi ), a gas discharge is caused in the gaseous medium. The main factors for determining the ignition voltage in the plasma numeric display are the composition of the ionizable

ren Gases und der dielektrische Belag, der die Elektroden bedeckt In bezug auf den ersten Faktor ist festzustellen, daß bereits mit allen bekannten Mitteln experinientiert worden ist und eine Verminderung der Zündspannung mittels Verbesserung der Zusammensetzung des ionisierbaren Gases nicht erwartet werden kann. In bezug auf den zweiten Faktor sind verschiedene Anstrengungen zur Verbesserung unternommen worden; eine neue Vorrichtung, in der Güs mit niedriger Schmelztemperatur verwendet wird, läßt einen Betrieb ic mit Spannungen von 250 bis 300 V zu. Eine herkömmliche Vorrichtung, in der ein Glasverschluß verwendet wird, erfordert hingegen für den Betrieb Spannungen von 300 bis 700 V.ren gas and the dielectric coating that covers the electrodes covered With regard to the first factor, it can be stated that all known means have already been experimented with and a reduction in the ignition voltage by means of an improvement in the composition of the ionizable gas cannot be expected. In With regard to the second factor, various efforts have been made to improve; a new device in the Güs with lower Melting temperature is used, allows an operation ic with voltages from 250 to 300 V. A conventional device that uses a glass shutter , on the other hand, requires voltages of 300 to 700 V for operation.

Wenn man annimmt, daß die Zusammensetzung des Gases in dem gasförmigen Medium konstant ist, sind die Haupteinflußgrößen für die Bestimmung der Zündspannung Vt. der Gasdruck, die Länge des Entladungsspaltes und das Sekundärelektronen-Emissionsvermögen (y) der Oberfläche des dielektrischen Belags. Wenn das Sekundärelektronen-Emissionsvermögen (y) auf der Oberfläche des dielektrischen Belags anwächst, sinkt die Zündspannung Vt. If it is assumed that the composition of the gas in the gaseous medium is constant, the main influencing variables for determining the ignition voltage are Vt. the gas pressure, the length of the discharge gap and the secondary electron emissivity (y) of the surface of the dielectric coating. As the secondary electron emissivity (y) on the surface of the dielectric film increases, the ignition voltage Vt decreases.

Dementsprechend empfiehlt es sich, für den die Elektroden bedeckenden dielektrischen Belag ein Material zu verwenden, das eine hohe Dielektrizitätskonstante und zugleich ein hohes Sekundärelektronen-Emissionsvermögen aufweist Für diesen dielektrischen Belag werden außerdem hervorragende Eigenschaften in bezug auf die Erweichungstemperatur, die Dünnflüssig- 3c keit die wechselseitige Diffusionscharakteristik mit dem Elektrodenmaterial, die thermische Ausdehnung, die thermische Beständigkeit und die optische Tra«jsparenz gefordertAccordingly, it is recommended for the electrodes covering dielectric covering use a material that has a high dielectric constant and at the same time has a high secondary electron emissivity For this dielectric covering also become excellent properties with regard to the softening temperature, the thin liquid 3c the mutual diffusion characteristics with the electrode material, the thermal expansion, thermal resistance and optical transparency are required

Es sind bereits Glassorten mit niedriger Schmelztemperatur verwendet worden, da solches Glas den angegebenen Charakteristiken genügt Hierdurch konnte die Zündspannung der Anzeigevorrichtung auf Werte von etwa 250 bis 300 V erniedrigt werden. Die Ursache für diese Senkung der Zündspannung in einer Vorrichtung, in der Glas mit niedriger Schmelztemperatur benutzt wird, liegt in den hohen Blei-(Pb-)Anteil in einem Glas dieser Art, der ein relativ hohes Sekundärelektronen-Emissionsvermögen ergibtThere are already types of glass with a low melting temperature has been used because such glass has the specified characteristics the ignition voltage of the display device can be lowered to values of approximately 250 to 300 V. The cause for this lowering of the ignition voltage in a device in which glass with a low melting temperature is used is due to the high proportion of lead (Pb) in one Glass of this type, which gives a relatively high secondary electron emissivity

Neuesten Anforderungen jedoch genügt die genann-•e eine Senkung der Zündspannung betreffende Verbesserung nicht. Die Einführung integrierter Schaltungstechniken in Treiberschaltungen η 1 acht den Betrieb der mit Gasentladung arbeitenden Anzeigevorrichtungen bei niedrigeren als den oben angegebenen so Spannungen erforderlich.However, the above-mentioned improvement relating to a lowering of the ignition voltage satisfies the latest requirements not. The introduction of integrated circuit technologies in driver circuits η 1 eight the operation of the display devices operating with gas discharge at lower than those specified above Tensions required.

Durch die US-PS 33 34 269 ist eine Gasentladungs-Anzeigevorrichtung bekanntgeworden, bei der auf einem Metallsubstrat unter Zwischenlegung einer Isolierschicht oder auf einem isolierenden Substrat eine Vielzahl von Elektroden in Form leitender Streifen angeordnet ist. Die Elektroden sind mit einer Widerstandsschicht bedeckt, die dazu dient, den Glimmentladungsstrom zu begrenzen. Eine gleichartige Elektrodenanordnung, bei der die Elektroden senkrecht zu denen der ersten Elektrodenanordnung verlaufen, bildet zusammen mit dieser und einem dazwischengefügten Abstandsblock die Anzeigevorrichtung. Der Abstandsblock weist an den Stellen, an denen sich zwei Elektroden der ersten und der zweiten Anordnung überkreuzen, durchgehende Bohrungen auf. An diesen Kreuzungsstellen ist in den Bereichen der Bohrungen auf die Widerstandsschicht eine eine Sekundärelektronen-Emissionscharakteristik aufweisende Metallschicht, wie eine Nickel- oder eine Chromnickel-Schicht aufgebracht Zur Aufrechterhaltung der Glimmentladung ist bei der bekannten Anzeigevorrichtung eine Spannung in der Größenordnung von 250 Vo!t erforderlich; die Zündspannung liegt entsprechend höher. Es werden somit auch hier unerwünscht hohe Zündspannungen benötigt By US-PS 33 34 269 is a gas discharge display device became known in which on a metal substrate with the interposition of an insulating layer or a plurality of electrodes are arranged in the form of conductive strips on an insulating substrate is. The electrodes are covered with a resistive layer, which serves to control the glow discharge current to limit. A similar electrode arrangement in which the electrodes are perpendicular to those run of the first electrode arrangement, forms together with this and an interposed one Spacer block the display device. The spacer block points where two electrodes meet the first and the second arrangement cross, through holes. At these crossroads is a secondary electron emission characteristic in the areas of the bores on the resistive layer having a metal layer, such as a nickel or chromium-nickel layer In the known display device, a voltage is used to maintain the glow discharge of the order of 250 Vo! t required; the ignition voltage is correspondingly higher. So it will be here too, undesirably high ignition voltages are required

Gemäß einem älteren Vorschlag (DT-OS 21 36 102) wird bei einer Gasentladungs-Anzeigevorrichtung der einleitend genannten Art, die die Elektroden bedeckende dielektrische Schicht mit einem Oxid eines Metalls der Gruppe Ha des Periodensystems der Elemente beschichtet Diese Oxidschicht soll in einer zur wesentlichen Verminderung der Feldbetriebsspannungen ausreichenden Menge aufgebracht sein, wobei als untere Grenze für die Dicke der Oxidschicht lOOÄ angegeben istAccording to an older proposal (DT-OS 21 36 102) in a gas discharge display device of the type mentioned in the introduction, the one covering the electrodes dielectric layer coated with an oxide of a metal from group Ha of the Periodic Table of the Elements This oxide layer should be sufficient to substantially reduce the field operating voltages Amount applied, the lower limit given for the thickness of the oxide layer 100E is

Wie weiter oben bereits erwähnt läßt die Verwendung von Glas mit hohem Sekundärelektronen-Emissionsvermögen die Senkung dir Zündspannung von Gasentladungs-Anzeigevorrichtungen zu.As mentioned above allows the use of glass with a high secondary electron emission capability to the reduction you ignition of gas discharge display devices.

Es wurde nun festgestellt, daß die Alkali-Komponente des niedrigschmelzenden, als dielektrischer Belag verwendeten Glases einen wesentlichen Faktor darstellt. Wenn jedoch der Anteil des Alkalimetalls erhöht wird, wächst auch der thermische Ausdehnungskoeffizient. Da dann die Differenz der Ausdehnungskoeffizienten des Substrats, d. h. des Trägers und des das Alkalimetall enthaltenden dielektrischen Belages anwächst, verschlechtern sich die mechanischen und elektrischen Eigenschaften der Anzeigevorrichtung.It has now been found that the alkali component of the low-melting glass used as a dielectric coating is an essential factor. However, if the proportion of the alkali metal is increased, the coefficient of thermal expansion also increases. Since then the difference in the expansion coefficient of the substrate, i.e. H. the carrier and the alkali metal containing dielectric coating grows, the mechanical and electrical deteriorate Properties of the display device.

Aufgabe der Erfindung ist es, eine Gasentladungs-Anzeigevorrichtung zu schaffen, die nicht mit den genannten Mängeln der bekannten Vorrichtungen behaftet ist und die insbesondere mit einer kleineren Zündspannung als die bekannten Vorrichtungen betreibbar ist. Es soll für den Betrieb der Vorrichtung eine Zündspannung von weniger als 100 V ausreichend sein. Auf dem dielektrischen Belag soll eine das Sekundärelektronen-Emissionsvermögen steigernde Schicht gebildet werden, welche die mechanischen und elektrischen Eigenschaften der Anzeigevorrichtung nicht beeinträchtigt. Das dielektrische Material soll im Hinblick auf die das Sekundärelektronen-Emissionsvermögen steigernde Schicht besonders geeignet ausgebildet sein. Schließlich soll ein bevorzugtes Verfahren zur Herstellung der erfindungsgemäßen Vorrichtung angegeben werden.The object of the invention is to provide a gas discharge display device to create that does not suffer from the aforementioned shortcomings of the known devices is and which can be operated in particular with a lower ignition voltage than the known devices is. An ignition voltage of less than 100 V should be sufficient for the operation of the device. on A layer which increases the secondary electron emissivity is to be formed on the dielectric covering which does not affect the mechanical and electrical properties of the display device. The dielectric material should be used in view of the secondary electron emissivity increasing layer be particularly suitable. Finally, a preferred method of manufacturing the device according to the invention are specified.

Die Erfindung ist durch die im Patentanspruch 1 angegebenen Merkmale gekennzeichnet. Vorteilhafte Ausgestaltungen der erfindungsgemäßen Anzeigevorrichtung sind den Ansprüchen 2 bis 10 zu entnehmen. Bei der erfindungsgemäßen Vorrichtung ist die Zündspannung im Vergleich zu bekannten Vorrichtungen wesentlich vermindert und es sind die Nachteile vermieden, die durch einen unterschiedlichen Ausdehnungskoeffizienten zwischen dem Substrat, d. h. der Trägerplatte und dem dielektrischen Belag bedingt sind.The invention is characterized by the features specified in claim 1. Beneficial Refinements of the display device according to the invention can be found in claims 2 to 10. In the device according to the invention, the ignition voltage is in comparison with known devices substantially reduced and the disadvantages caused by a different expansion coefficient are avoided between the substrate, d. H. the carrier plate and the dielectric covering are.

Bei der Herstellung derartiger Gasentladungs-Anzei gevorrichtungen werden zunächst die isolierender Trägerplatten vorbereitet, dann wird auf diese ein< Gruppe von Elektroden und hierauf werden die dielek trischen Beläge aufgebracht, so daß die Elektroden be deckt sind. Zwei in dieser Weise gebildete Platten wer den so zusammengefügt, daß die dielektrischen Belägi mit einem kleinen Zwischenraum einander gegenüberIn the production of such gas discharge displays The insulating carrier plates are first prepared, then a < Group of electrodes and then the dielectric coverings are applied so that the electrodes be are covered. Two plates formed in this way who put together the so that the dielectric Belägi facing each other with a small gap

stehen. Schließlich werden die Außenflächen der Anzeigevorrichtung hermetisch abgedichtet. Die Abdichtung muß in Luft bei einer Temperatur von etwa 400⁰C vorgenommen werden. Die das Sekundärelektronen-Emissionsvermögen steigernde Schicht, welche aus einem Alkalimetall oder einem Erdalkalimetall bestehen soll, weist eine starke chemische Aktivität auf und reagiert mit dem Luftsauerstoff, was zu einer Verschlechterung des Sekundärelektronen-Emissionsvermögens führt. Die Behandlung des das Alkalimetalt ent- haltenden dielektrischen Belages und der Zusammenbau der Anzeigevorrichtung muß somit unter Vakuum oder in einer nicht reaktiven Gasatmosphäre ausgeführt werden. Dies kompliziert den Herstellungsprozeß und verursacht hohe Kosten für die Fabriketionseinrichtungen. Ferner machen die Eigenschaften einiger Materialien den Zusammenbau und die Abdichtung in Luft erforderlich, was die Möglichkeit der Bildung von Alkalimetallbelägen ausschließen würde.stand. Finally, the outer surfaces of the display device are hermetically sealed. The sealing must be carried out in air at a temperature of about 400 ⁰ C. The secondary electron emissivity increasing layer, which is said to consist of an alkali metal or an alkaline earth metal, has a strong chemical activity and reacts with atmospheric oxygen, which leads to a deterioration in the secondary electron emissivity. The treatment of the dielectric coating containing the alkali metal and the assembly of the display device must therefore be carried out under vacuum or in a non-reactive gas atmosphere. This complicates the manufacturing process and causes high costs for the manufacturing facilities. Furthermore, the properties of some materials require assembly and sealing in air, which would preclude the possibility of alkali metal deposits forming.

Die bei der Herstellung der erfindungsgemäßen Gasentladungs-Anzeigevorrichtung auftretenden Schwierigkeiten lassen sich durch das im Patentanspruch 11 angegebene Verfahren überwinden.The difficulties encountered in the manufacture of the gas discharge display device according to the invention can be remedied by the method described in claim 11 overcome specified procedures.

Bei diesem Verfahren wird der Randteil der beiden mit einem sehr kleinen Zwischenraum einander gegen- 2s überstehend angeordneten Platten abgedichtet und es wird ein das Alkalimetall enthaltendes flüssiges oder gasförmiges Medium in den Zwischenraum eingeführt und hierdurch die Oberflächenbehandlung der dielektrischen Beläge vorgenommen. Auf diese Weise läßt sich die Alkalimetallschicht einfach und ohne Beeinträchtigung ihrer Eigenschaften aufbringen.In this process, the edge part of the two is opposed to each other with a very small gap Sealed overlapping plates and it is a liquid or containing the alkali metal gaseous medium introduced into the space and thereby carried out the surface treatment of the dielectric coverings. That way lets the alkali metal layer can be applied easily and without impairing its properties.

Mit zunehmender Größe des Ziffernanzeigefeldes erweist es sich als schwierig, den Alkalimetalldampf durch den schmalen Spalt zwischen den Oberflächen der dielektrischen Beläge des Ziffernanzeigefeldes einzuführen. Dies rührt von der starken Aktivität des Alkalimetalls her. Insbesondere in der Nähe des Einlasses reagiert das Alkalimetall schnell mit dem dielektrischen Belag und wird dort absorbiert Folglich wird die Menge des Alkalimetalls, welche sich entfernt vom Einlaß über den dielektrischen Belag ausbreitet, nicht mehr ausreichen und ein Zuwachs an Sekundärelektronen-Emissionsvermögen nahe der Absaugstelle nicht erzielbar sein. Zwar könnte durch Senkung der Prozeßtem- peratur die Reaktion mit dem dielektrischen Belag verlangsamt werden. Dies wäre jedoch insofern ungünstig, weil sich damit auch der Dampfdrück des Metaüelements vermindert und damit die für die Bildung einer ausreichenden Ablagerung notwendige Zeit ansteigt. Dieses Problem ist lösbar durch Bildung des dielektrischen Belages aus Materialien wie Natronkalkglas, Aluminiumoxid, und Siliziumverbindungen welche nur geringe Aktivität mit dem Alkalimetall aufweisen. Der Alkalimetalldampf kann sich bei Verwendung dieser Materialien leicht und gleichmäßig fiber den gesamten Bereich des schmalen Spaltes des abgedichteten Ziffernanzeigefeldes aasbreiten, hierbei den Aufprall und die Wiederverdampfung mit der Oberfläche des dielektrischen Belages wiederholen und den Belag so bilden, daß dieser das gewünschte Sekundärelektronen-Emissionsvermögen besitztAs the size of the numeric display area increases, it becomes difficult to control the alkali metal vapor through the narrow gap between the surfaces of the dielectric coverings of the numeric display panel. This is due to the strong activity of the alkali metal. Especially near the inlet the alkali metal reacts quickly with the dielectric film and is absorbed there. Consequently, the amount of the alkali metal which is removed from the inlet spreads over the dielectric covering are no longer sufficient and an increase in secondary electron emissivity near the suction point cannot be achieved. It is true that lowering the process temperature, the reaction with the dielectric coating can be slowed down. However, this would be unfavorable, because this also reduces the vapor pressure of the metal element and thus that of the formation of a sufficient deposit increases the time necessary. This problem can be solved by forming the dielectric coating from materials such as soda-lime glass, aluminum oxide, and silicon compounds which have only low activity with the alkali metal. The alkali metal vapor can build up when using this Spread the materials lightly and evenly over the entire area of the narrow gap of the sealed numeric display field, in doing so the impact and repeat the re-evaporation with the surface of the dielectric covering and form the covering in such a way that that this has the desired secondary electron emissivity

Vise wird auf der Oberfläche des dielektrischen Belages ein weiterer gegenüber Alkalimetall geringere Aktivität aufweisender dielektrischer Belag aufgebracht Nach Beschichtung der Oberfläche des dielektrischen Belages mit dem zweiten aus einem dünnen Film, beispielsweise aus Aluminramoxid oder SiliOn the surface of the dielectric covering, Vise becomes a further dielectric covering which is less active than alkali metal applied After coating the surface of the dielectric covering with the second made of a thin film, for example made of aluminum oxide or silicon ziumoxid bestehenden dielektrischen Belag und nach Montage und Abdichtung des Ziffernanzeigefelde; wird der Alkalimetalldampf in den Spalt zwischen der zweiten dielektrischen Belägen eingeleitet. Dadurch läßt sich auch bei einem Anzeigefeld mit großer räumlicher Ausdehnung eine Oberfläche mit gleichförmigem Sekundärelektronen-Emissionsvermögen erzielen. Daher wird das Plasma-Ziffernanzeigefeld eine gleichmäßige Zündspannung aufweisen.zium oxide existing dielectric coating and after assembly and sealing of the numeric display field; the alkali metal vapor is introduced into the gap between the second dielectric layers. Through this even with a display panel with a large spatial extent, a surface with a uniform Achieve secondary electron emissivity. Therefore, the plasma numeric display panel will have a uniform ignition voltage.

Ein zusätzliches Kennzeichen dieses Verfahrens wird in der Verwendung eines Glases mit niedriger Schmelztemperatur gesehen, welches eine einfache Verarbeitbarkeit bietet und als Material für den ersten dielektrischen Belag benutzt werden kann.An additional characteristic of this process is seen in the use of a glass with a low melting temperature, which offers easy processing and can be used as the material for the first dielectric covering.

Wie bereits erwähnt, wird das flüssige oder gasförmige Medium, welches das Alkalimetallelement enthält, in den schmalen Spalt zwischen den dielektrischen Belägen der abgedichteten Anzeigevorrichtung eingeleitet. Zum Zwecke der Einspeisung und des Absaugens des Gases können Einspeise- und Absaugeröhren benutzt werden. Dadurch kann das Alkalimetall von der Atmosphäre isoliert und eine bessere Oberflächenbehandlung zum Zwecke der Steigerung des Sekundärelektronen-Emissionsvermögens erreicht werden. Das Alkalimetall verteilt sich mit hoher Dichte auf der Oberfläche des dielektrischen Belages, wobei die Dichte des Alkalimetalls in Richtung zum Innern des dielektrischen Belages abnimmt. Folglich läßt sich der von der Zunahme des Temperatur-Ausdehnungskoeffizienten herrührende auf der hohen Dichte des Alkalimetalls basierende Effekt vermindern.As already mentioned, the liquid or gaseous medium containing the alkali metal element is in initiated the narrow gap between the dielectric coatings of the sealed display device. For the purpose of feeding in and sucking off the gas, feed and suction pipes can be used will. Thereby the alkali metal can be isolated from the atmosphere and a better surface treatment can be achieved for the purpose of increasing the secondary electron emissivity. The alkali metal spreads over the surface with a high density of the dielectric covering, the density of the alkali metal decreasing towards the interior of the dielectric covering. Consequently, the of the increase of the temperature expansion coefficient due to the high density of the alkali metal Diminish the effect.

Im folgenden werden Ausführungsformen der erfindungsgemäßen Gasentladungs-Anzeigevorrichtung und das Verfahren zur Herstellung derselben an Hand der F i g. 1 bis 4 beschrieben. Es zeigenThe following are embodiments of the gas discharge display device according to the invention and the method for producing the same with reference to FIGS. 1 to 4 described. Show it

Fig. 1 und IA Teil-Schnittbilddarstellungen zweier Ausführungsformen von erfindungsgemäßen Gasentladungs-Anzeigevorrichtungen;1 and 1A partial sectional views of two Embodiments of gas discharge display devices according to the invention;

F i g. 2 eine schematische Darstellung zur Erklärung des Herstellungsverfahrens einer erfindungsgemäßen Ziffernanzeigevorrichtung;F i g. 2 is a schematic illustration to explain the manufacturing method of an inventive Digit display device;

F i g 3 und 4 graphische Darstellung der Zündspannungsverteilung in einer erfindungsgemäßen Ziffernanzeigevorrichtung.F i g 3 and 4 graphical representation of the ignition voltage distribution in a digit display device according to the invention.

F i g. 1 zeigt Glasplatten 1 und 2; auf der Innenfläche der Glasplatte 1 sind Spaltenelektroden 3, auf der Innenfläche der Glasplatte 2 Reihenelektroden 4 aufgebracht. Die Vielzahl der parallelen Elektroden 3 und 4 besteht aus Gold oder Zinnoxid; die Elektroden sind senkrecht zueinander stehend angeordnet Auf der Oberfläche der Elektroden 3 und 4 sind dielektrische Schichten 5 und 6 aufgebracht Diese bestehen aus Aluminiumoxid oder Siliziumverbindungen; ihre Dicke ist auf 0.1 bis 20 μ begrenzt Auf der Oberfläche der dielektrischen Schichten 5 und 6 sind Alkalimetall-Schichten 7 und 8 aufgebracht, welche vorzugsweise als Caesium-Schichten mit einer Dicke von weniger als 100 A ausgebildet sind. Zwischen den Alkalimetall-Schichten 7 und 8 befindet sich ein gasförmiges Medium 9. Bei selektiver Zuführung elektrischer Signale zu den Elektroden 3 und 4 entstehen pulsierende Glimmentladungen an den Kreazungsflächen zwischen den Elektroden 3 und 4; diese Glimmentladungen werden mittels Haltewechselspannungen aufrechterhalten.F i g. 1 shows glass plates 1 and 2; Column electrodes 3 are applied to the inner surface of the glass plate 1, and row electrodes 4 are applied to the inner surface of the glass plate 2. The plurality of parallel electrodes 3 and 4 consists of gold or tin oxide; the electrodes are arranged perpendicular to each other Dielectric layers 5 and 6 are applied to the surface of the electrodes 3 and 4. These consist of aluminum oxide or silicon compounds; their thickness is limited to 0.1 to 20 μ. On the surface of the dielectric layers 5 and 6, alkali metal layers 7 and 8 are applied, which are preferably used as Layers of cesium less than 100 thick A are trained. A gaseous medium 9 is located between the alkali metal layers 7 and 8 When electrical signals are selectively supplied to electrodes 3 and 4, pulsating glow discharges occur on the connection surfaces between the electrodes 3 and 4; these glow discharges are maintained by means of alternating holding voltages.

An Stelle des bei herkömmlichen dielektrischen Schichten verwendeten Glases mit niedriger Schmelztemperatur werden als Materialien für die dielektrischen Schichten 5 und 6 vorzugsweise Aluminiumoxid,Instead of the glass with a low melting temperature used in conventional dielectric layers, the materials used for the dielectric layers 5 and 6 are preferably aluminum oxide,

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22 3U22 3U

Siliziumdioxid oder Siliziumnitrid verwendet. Der Grund hierfür wird verständlich unter der Voraussetzung, daß Alkalimetall-Schichten 7 und 8 auf den dielektrischen Schichten 5 und 6 aufgebracht sind. Eine Gasentladungs-Anzeigevorrichtung mit einer dielektrisehen Schicht, welche lediglich Aluminiumoxid enthält, erfordert selbstverständlich eine höhere Zündspannung als eine übliche Anzeigevorrichtung mit einer dielektrischen Schicht aus Glas mit niedriger Schmelztemperatur. Wenn jedoch eine dünne Schicht, beispielsweise Caesium, homogen auf die Oberfläche der dielektrischen aus Aluminiumoxid bestehenden Schicht aufgebracht wird, sinkt die Zündspannung der dielektrischen Schicht auf etwa 80 V, einem sehr günstigen Wert. Ganz allgemein ist es sehr schwierig, eine dünne Schicht, wie aus Caesium auf Glas mit niedriger Schmelztemperatur aufzubringen. Dies rührt von der Tatsache her, daß die Blei-(Pb-)Komponente. welche in dem Glas mit niedriger Schmelztemperatur enthalten ist, eine hohe Reaktivität mit dem in der dünnen Schicht enthaltenden Caesium aufweist. Da jedoch das erfindungsgemäße Aluminiumoxid oder die Siliziumverbindung nur geringe Reaktivität mit dem Alkalinv» tall, insbesondere mit Caesium, aufweist, kann die Alkalimetall-Schicht auf die Oberfläche der dielektrischen Schicht auch nach dem Zusammenbau der Anzeigevorrichtung aufgebracht werden. Als Isolationsmaterial könnten viele andere Materialien in Betracht gezogen werden. Die obengenannten Materialien Aluminiumoxid, Siliziumdioxid oder Siliziumnitrid sind jedoch am besten geeignet da sie sämtliche Forderungen der Herstelltechnologie, an den Ausdehnungskoeffizienten, an die Fließeigenschaften beim Erhitzen und die dielektrische Konstante erfüllen. Sie widerstehen der Spannungsbeanspruchung usw. und sind mit den Alkalimetallen verträglich.Silicon dioxide or silicon nitride is used. The reason for this becomes understandable provided that that alkali metal layers 7 and 8 are applied to the dielectric layers 5 and 6. One Gas discharge display device with a dielectric layer which contains only aluminum oxide, naturally requires a higher ignition voltage than a conventional display device with a dielectric Layer of glass with a low melting temperature. However, if a thin layer, for example Cesium, applied homogeneously to the surface of the dielectric layer consisting of aluminum oxide the ignition voltage of the dielectric layer drops to about 80 V, a very favorable value. In general it is very difficult to lower a thin layer such as cesium on glass with Apply melting temperature. This is due to the fact that the lead (Pb) component. what a the low melting temperature glass contained, a high reactivity with that in the thin Has layer containing cesium. However, there is the alumina or silicon compound of the present invention The alkali metal layer can have only low reactivity with the alkali metal, in particular with cesium on the surface of the dielectric layer even after the assembly of the display device be applied. Many other materials could be considered as the insulation material will. However, the above-mentioned materials aluminum oxide, silicon dioxide or silicon nitride are am best suited because they meet all the requirements of the manufacturing technology, on the expansion coefficient meet the flow properties on heating and the dielectric constant. They withstand the stress of tension etc. and are compatible with the alkali metals.

Es erweist sich als Vorteil, die dielektrischen Schichten 5 und 6 dünn auszuführen, so daß der Spannungsabfall daran kleingehalten wird. Wenn jedoch die für die dielektrischen Schichten 5 und 6 verwendeten Materialien dünner werden als 0,1 μ, besteht die Möglichkeit, daß eine Fehlerstelle im Dielektrikum auftritt. Wenn die Dicke der dielektrischen Schichten 5 und 6 20 μ überschreitet steigt die Zündspannung; die Beschaffenheit der Oberfläche der dielektrischen Beläge wird komplex und die Herstelltechnologie schwierig. Vorzugsweise wird deshalb die Dicke der dielektrischen Schichten auf Werte zwischen 0,1 und 20 μ begrenzt.It turns out to be advantageous to the dielectric layers 5 and 6 should be made thin so that the voltage drop across them is kept small. However, if the dielectric layers 5 and 6 materials used are thinner than 0.1 μ, there is the possibility of that a fault occurs in the dielectric. When the thickness of the dielectric layers 5 and 6 is 20 μ exceeds the ignition voltage increases; the nature of the surface of the dielectric coverings complex and the manufacturing technology difficult. Preferably, therefore, the thickness of the dielectric Layers limited to values between 0.1 and 20 μ.

Die Alkalimetall-Schichten 7 und 8 sollen den Oberflächenwiderstand der dielektrischen Schichten 5 und 6 nicht vermindern. Zur Aufrechterhaltung der in dieser ι Art von Anzeigevorrichtung durch die Wandladung erhaltenen Speicherfunktion soll die Wandoberfläche, welche dem gasförmigen Medium 9 ausgesetzt ist, einen hohen Isolationswiderstand aufweisen, unabhängig davon, ob die Alkalimetall-Schichten 7 und 8 vorhanden sind oder nicht Erfindungsgemäß wird die Dikfce der Alkalimetall-Schichten 7 und 8 auf weniger als 100 A gehaltea Auf der Wandoberfläche wird deshalb ein hohes Sekundärelektronen-Emissionsvermögen gewonnen und damit der Oberflächenwiderstand der Wandfläche in der besten Betriebsbedingung aufrechterhalten. Dies rührt her von der Tatsache, daß bei Einhaltung einer Dicke der Alkalimetall-Schichten auf Werte von weniger als IOOA die Schichten keine zusammenhängende Struktur mehr aufweisen und in Richtung der Oberfläche nicht leitend werden.The alkali metal layers 7 and 8 are said to have the surface resistance of the dielectric layers 5 and 6 do not decrease. To maintain the in this ι Type of display device obtained by the wall charge storage function is intended to be the wall surface, which is exposed to the gaseous medium 9, have a high insulation resistance, regardless whether or not the alkali metal layers 7 and 8 are present. According to the present invention, the difference becomes of the alkali metal layers 7 and 8 kept to less than 100 A a On the wall surface is therefore a high secondary electron emissivity and thus the surface resistance of the Maintain wall area in the best operating condition. This is due to the fact that at Compliance with a thickness of the alkali metal layers to values of less than 100A means the layers are not contiguous Have more structure and become non-conductive in the direction of the surface.

In der in Fig. IA dargestellten weiteren Ausfüh-In the further embodiment shown in FIG.

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rungsform sind auf den dielektrischen Schichten 5 und 6 weitere dielektrische Belüge 5a, 6a aufgebracht, wobei die Schichten 5 und 6 aus Glas mit niedriger Schmelztemperatur bestehen. Diese dielektrischen Beläge 5a und 6a bestehen aus Materialien wie Aluminiumoxid oder Kieselerde, welche eine niedrige Reaktivität mit dem Alkalimetall aufweisen. Die dielektrischen Beläge 5a, 6a sind mit den genannten Alkalimetall-Schichten, welche ein homogenes und hohes Sekundärelektronen-Emissionsvermögen über einen weiten Bereich aufweisen, beschichtet.Approximate shape are applied to the dielectric layers 5 and 6 further dielectric layers 5a, 6a, wherein the layers 5 and 6 consist of glass with a low melting temperature. These dielectric coverings 5a and 6a are made of materials such as alumina or silica, which have low reactivity with the alkali metal. The dielectric coverings 5a, 6a are covered with the alkali metal layers mentioned, which have a homogeneous and high secondary electron emissivity over a wide range have coated.

Im weiteren wird ein bevorzugtes Verfahren zur Herstellung von Gasentladungs-Anzeigevorrichtungen beschrieben.A preferred method for manufacturing gas discharge display devices is described below described.

Die in F i g. 1 dargestellten Gruppen von Elektroden 3 und 4 werden mittels bekannter Verfahren aufgebracht, beispielsweise durch Vacuumaufdampfen von Gold oder durch ein Siebdruckverfahren. Dann werden unter Aussparung der mit den Anschlüssen verbundenen Flächen mittels Kathodenzerstäubung die aus einer Siliziumverbindung oder aus Aluminiumoxid bestehenden dielektrischen Schichten 5 und 6 aufgebracht. Danach werden die Glasplatten 1 und 2 mit einem Spalt von etwa 300 μ einander gegenüberstehend angeordnet und die Randflächen der Platten mit einem Glas niedriger Schmelztemperatur verschlossen. Im weiteren sind in Fi g. 2 dargestellte Pumpröhren ti und 12 vorgesehen, welche mit dem genannten Luftspalt in Verbindung stehen und zur Bildung der Alkalimetall-Schichten dienen. Die Pumpröhren U und 12 sind mit zwei Ecken des Anzeigefeldes 10 verbunden. Die Pumpröhre 11 ist über ein Ventil Vi mit einem Absauggerät 13 und über ein Ventil V2 mit einem Gasspeisegerät 14 verbunden. Die Pumpröhre 12 steht in Verbindung mit einem Gefäß 15, welches beispielsweise Caesium enthält. In dem in F i g. 2 dargestellten System wird der Spalt 9 (Fig. 1) des Anzeigefeldes 10 auf einen Druck von etwa 10"⁶ Torr evakuiert und das gesamte Anzeigefeld 10 auf 100 bis 300⁰C aufgeheizt.The in F i g. Groups of electrodes 3 and 4 shown in FIG. 1 are applied by known methods, for example by vacuum vapor deposition of gold or by a screen printing process. The dielectric layers 5 and 6 consisting of a silicon compound or aluminum oxide are then applied by means of cathode sputtering, leaving out the surfaces connected to the connections. Then the glass plates 1 and 2 are arranged opposite one another with a gap of about 300 μ and the edge surfaces of the plates are sealed with a glass of low melting temperature. Furthermore, in Fi g. 2 illustrated pump tubes t 1 and 12 are provided, which are connected to the air gap mentioned and serve to form the alkali metal layers. The pump tubes U and 12 are connected to two corners of the display panel 10. The pump tube 11 is connected to a suction device 13 via a valve Vi and to a gas feed device 14 via a valve V2. The pump tube 12 is connected to a vessel 15 which contains, for example, cesium. In the one shown in FIG. 2, the gap 9 (FIG. 1) of the display panel 10 is ^{evacuated to a pressure of approximately 10 "6} Torr and the entire display panel 10 is heated ^{to 100 to 300 ° C.}

Dann wird während des Betriebes des Absauggerätes 13 mit einem weiteren in der Figur nicht dargestellten Heizer das Caesium enthaltende Gefäß 15 erhitzt und das im Gefäß 15 enthaltene Caesium verdampft. Daraufhin tritt der Caesiumdampf in den Spalt 9 ein und schlägt sich auf den vorgeheizten dielektrischen Schichten 5 und 6 nieder. Durch Fortführung des beschriebenen Prozesses während einer bis mehrerer Stunden, werden auf der ganzen Oberfläche dünne Caesium-Schichten gewonnen. Nach Beendigung dieses Prozesses wird das mit dem Absauggerät 13 verbundene Ventil Vi geschlossen und dann das für den Eintritt des ionisierbaren Gases vorgesehene Ventil 2 geöffnet Nach Einstellung des Gasdruckes in Spalt 9 wird die Pumpröhre 11 verschlossen und entfernt und damit das Anzeigefeld 10 fertiggestelltThen, during operation of the suction device 13 with a further one, not shown in the figure Heater heated the vessel 15 containing cesium and the cesium contained in the vessel 15 evaporated. The cesium vapor then enters the gap 9 and hits the preheated dielectric Layers 5 and 6 down. By continuing the process described for one to several Hours, thin layers of cesium are obtained over the entire surface. After finishing this Process the valve Vi connected to the suction device 13 is closed and then that for the inlet of the ionizable gas provided valve 2 opened. After setting the gas pressure in gap 9, the The pump tube 11 is closed and removed, thereby completing the display panel 10

Eine nach dem erfindungsgemäßen Verfahren hergestellte Gasentladungs-Anzeigevorrichtung arbeitet mit Spannungen von weniger als 100 V. Beispielsweise wurden Anzeigefelder unter Verwendung von Platten mit Aluminiumoxid-Beschichtung zur Abdeckung dei Elektroden mit einer Dicke von etwa 3 μ hergestellt Dies erfolgte bei einer Vorheizung auf 130⁰C, währenc des Absaugvorgangs und mittels eines auf 150° C auf ge heizten Caesium enthaltenden Gefäßes. Der Prozel wurde während einer Dauer von 5 Stunden aufrechter halten und schließlich Caesium-Schichten mit eine Dicke von weniger als IOOA auf den Aluminiumoxid Schichten gewonnen. Die Anzeigevorrichtung wurdA prepared by the inventive process gas discharge display device operates at voltages of less than 100 V. For example, were display panels using plates with aluminum oxide coating to cover dei electrodes prepared μ with a thickness of about 3 This was carried out at a pre-heating to 130 ⁰ C , during the suction process and by means of a vessel containing cesium heated to 150 ° C. The process was maintained for a period of 5 hours and finally cesium layers less than 100 Å thick were obtained on the aluminum oxide layers. The display device was

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dann unter Verwendung des beschriebenen Anzeigefeldes komplettiert. Die komplettierte Anzeigevorrichtung konnte mit einer Zündspannung von 80 V ± 10 V über sämtliche Teile zur Entladung gebracht werden, wobei die Zellen an den Kreuzungspunkten zwischen den Zeilen- und Spaltenelektroden einen Anzeigebereich von etwa 10 cm χ 10 cm enthielten und in deren Speicherfunktion keine Fehler gefunden wurden. Der Grund hierfür besteht darin, daß die Alkalimetall-Schicht, insbesondere eine Caesium-Schicht, über die ganze dielektrische Schicht homogen verteilt ist und das Sekundärelektronen-Emissionsvermögen der Oberfläche erhöht.then completed using the display field described. The complete display device could be discharged across all parts with an ignition voltage of 80 V ± 10 V, wherein the cells provide a display area at the crossing points between the row and column electrodes of about 10 cm χ 10 cm and no errors were found in their memory function. Of the The reason for this is that the alkali metal layer, in particular a cesium layer, over the entire dielectric layer is homogeneously distributed and the secondary electron emissivity of the surface elevated.

In einer weiteren Ausführungsform wird die Sekundärelektt'onen-Emissionsschicht durch Zufuhr einer das Alkalimetall-Element enthaltenen Flüssigkeit gebildet. Alkali beispielsweise ergibt eine Flüssigkeitszusammensetzung, welche bei Normaltemperatur in bezug auf die dielektrische Schicht nicht reaktiv ist, es kann in den Spalt, welcher sich nach der Montage des Anzeigefeldes zwischen den dielektrischen Schichten bildet, eingeführt werden; es wird wärmebehandelt; schließlich läßt es die Bildung der Sekundärelektronen-Emissionsschichten auf der Oberfläche der dielektrischen Schichten zu. Beispielsweise wird eine Lösung von Alkalimetall-Alkoholat in Alkohol in das Anzeigefeld eingeführt, dann das lösungsmittel aus dem Anzeigefeld entfernt und eine homogene Schicht des Alkoholats auf den Oberflächen gebildet. Nach der Zerlegung mittels Erhitzen können homogene Sekundärelektronen-Emissiopsschichten aus Alkalimetall erhalten werden. Dabei wird das Nebenprodukt bei der Wärmebehandlung und Zerlegung, ein Kohlenwasserstoff, abgesaugt. Bei Anwendung des beschriebenen Verfahrens kann das die Sekundärelektronen-Emissionsschichten bildende Material vorher auf der Oberfläche der dielektrischen Schichten verteilt werden.In a further embodiment, the secondary electron emission layer formed by supplying a liquid containing the alkali metal element. Alkali, for example, results in a liquid composition which is not reactive with respect to the dielectric layer at normal temperature, it can in the gap that forms between the dielectric layers after the display panel has been installed, to be introduced; it is heat treated; eventually it allows the formation of the secondary electron emission layers on the surface of the dielectric layers. For example, a solution of alkali metal alcoholate Introduced in alcohol into the display panel, then the solvent out of the display panel removed and a homogeneous layer of the alcoholate formed on the surfaces. After dismantling using By heating, homogeneous secondary electron emission layers made of alkali metal can be obtained. Included the by-product of the heat treatment and decomposition, a hydrocarbon, is sucked off. When applying of the method described, the material forming the secondary electron emission layers can be used are previously distributed on the surface of the dielectric layers.

In der beschriebenen Vorrichtung wird Alkalimetall als Substanz zur Bildung der Sekundärelektronen-Emissionsschichten verwendet Daneben lassen sich andere Materialien, wie Erdalkalimetall und Blei (Pb) als Substanz zur Bildung c'er Sekundärelektronen-Emissionsschichten verwenden.In the device described, alkali metal is used as a substance for forming the secondary electron emission layers Other materials such as alkaline earth metal and lead (Pb) can also be used as Use substance to form secondary electron emission layers.

Wie angegeben, umfaßt das Verfahren zur Herstel lung der erfindungsgemäßen Plasma-Anzeigevorrichtung den Prozeß zur Bildung einer ein hohes Sekundärelektronen-Emissionsvermögen aufweisenden Schicht. Dies wird nach dem Zusammenbau durch Einbringen des Alkalimetall enthaltenden flüssigen oder gasföimigen Mediums in das Anzeigefeld vorgenommen. Im folgenden wird die Zündspannungsverteilung eines Anzeigefeldes mit dielektrischen Schichten aus Glas mit niedriger Schmelztemperatur mit dielektrischen Schichten aus Aluminiumoxid verglichen.As indicated, the method for manufacturing the plasma display device of the present invention includes the process of forming a high secondary electron emissivity layer. This is done after assembly by introducing the alkali metal containing liquid or gaseous Medium in the display field. The following is the ignition voltage distribution of a display panel with dielectric layers of glass with low melting temperature with dielectric Layers of aluminum oxide compared.

F i g. 3 zeigt in einen Diagramm die Verteilung vonF i g. 3 shows a diagram of the distribution of

Kurven gleicher Zündspannung in einem Anzeigefeld, dessen dielektrische Schicht aus Glas mit niedriger Schmelztemperatur direkt entsprechend dem beschriebenen Prozeß behandelt wurden. Der Einlaß des Alkalimetalls ist mit A, der Absaugepunkt mit B bezeichnet. F i g. 3 zeigt, daß die Zündspannung durch die Bildung der Sekundärelektronen-Emissionsschicht abnimmt. Das bedeutet, daß bei Fehlen der Sekundärelektronen-Emissionsschicht auf der gesamten Anzeigefeldoberfläche eine Zündspannung von mehr als 150 V erforderlich ist. Wenn die Sekundärelektronen-Emissionsschicht vorhanden ist, kann in der Nähe des Caesiumgas-Einlasses die Zündspannung auf weniger als 100 V vermindert werden. Entsprechend läßt sich die in F i g. 3 dargestellte Erscheinung auf ein Anzeigefeld mit einer relativ kleinen räumlichen Ausdehnung anwenden. In Anzeigefeldern mit großer räumlicher Ausdehnung jedoch, deren dielektrische Schichten aus Glas mit niedriger Schmelztemperatur bestehen, welches Caesium schnell absorbiert, ist es außerordentlich schwierig, über die gesamte Oberfläche die Zündspannung gleichförmig zu vermindern. Wie beschrieben und in F i g. 1A dargestellt, werden dann die zweiten dielektrischen Beläge vorgesehen.Curves of the same ignition voltage in a display panel whose dielectric layer made of glass with a low melting temperature has been treated directly in accordance with the process described. The inlet of the alkali metal is marked with A, the suction point with B. F i g. 3 shows that the ignition voltage decreases due to the formation of the secondary electron emission layer. This means that if the secondary electron emission layer is absent on the entire surface of the display panel, an ignition voltage of more than 150 V is required. If the secondary electron emission layer is present, the ignition voltage can be reduced to less than 100 V in the vicinity of the cesium gas inlet. Correspondingly, the in F i g. 3 apply to a display field with a relatively small spatial extent. However, in display panels with a large spatial area, the dielectric layers of which are made of glass with a low melting temperature which absorbs cesium quickly, it is extremely difficult to reduce the ignition voltage uniformly over the entire surface. As described and in FIG. 1A, the second dielectric pads are then provided.

F i g. 4 zeigt die Verteilung von Kurven gleicher Zündspannung in einem Anzeigefeld, welches zweite dielektrische Beläge enthält. Wenn zwei dielektrische Beläge vorhanden sind, läßt sich, wie in F i g. 4 dargestellt, die Zündspannung gleichmäßig auf 80 bis 90 V über der gesamten Oberfläche vermindern. Die eine Änderung der benötigten Zündspannung aufweisende Fläche des Anzeigefeldes ist auf den Bereich nahe dem Auslaß beschränkt, welcher als Anzeigefläche nicht benutzt wird.F i g. 4 shows the distribution of curves of the same ignition voltage in one display field, which is the second contains dielectric coverings. If there are two dielectric coverings, as shown in FIG. 4 shown, Reduce the ignition voltage evenly to 80 to 90 V over the entire surface. The one The area of the display panel showing the required ignition voltage change is to the area near the Restricted outlet, which is not used as a display area.

Die Zündspannung kann durch Bildung der Sekundärelektronen-Emissionsschichten um 50 bis 60% vermindert werden. Ferner kann durch Bildung der zweiten dielektrischen Beläge auf der Oberfläche der ersten dielektrischen Beläge über einen großen Bereich der Oberfläche eine gleichmäßige Abnahme der Zündspannung realisiert werden.The ignition voltage can be reduced by 50 to 60% through the formation of the secondary electron emission layers. be decreased. Furthermore, by forming the second dielectric coatings on the surface of the first dielectric coatings over a large area of the surface a uniform decrease in the ignition voltage will be realized.

Wie beschrieben, betrifft die Erfindung eine Gasentladungsanzeigevorrichtung, deren Zündspannung in starkem Maß vermindert werden kann und ein Verfahren zur Herstellung derselben. Bei einer Zündspannung von weniger als 100 V kann bei niedrigen Kosten eine integrierte Schaltung als Treiberschaltung angewendet werden. Dies erweitert deshalb den Anwendungsbe reich dieser Art von Anzeigevorrichtungen. Die Anwendung der Verfahren ist nicht auf die beschriebene Vorrichtung beschränkt. Vielmehr lassen sich die Verfahren auf beliebige Anzeigevorrichtungen anwenden, in denen Gruppen von Gaseti^adunggelektrAs described, the invention relates to a gas discharge display device, whose ignition voltage can be greatly reduced and a method to manufacture the same. With an ignition voltage of less than 100 V, a integrated circuit can be used as a driver circuit. This therefore extends the scope of application rich of this type of display devices. The application of the procedure is not based on the one described Device limited. Rather, the methods can be applied to any display device, in which groups of Gaseti ^ adunggel lectr

liert vom ionisierbaren Gasmedium angeordnet sind.are arranged liert by the ionizable gas medium.

Hierzu 2 Blatt ZeichnungenFor this purpose 2 sheets of drawings

Claims (1)

Patentansprüche:Patent claims: 1. Gasentladungs-Anzeigevorrichtung mit einem Paar isolierender Platten, von denen wenigstens eine eine auf der innenfläche aufgebrachte Vielzahl von Elektroden trägt die von einer dielektrischen Schicht bedeckt sind, wobei sich die Platten unter Bildung eines mit einem ionisierbaren Gas gefüllten Spaltes gegenüberliegen und die dielektrische Schicht wenigstens teilweise mit einem ein höheres Sekundärelektronen-Emissionsvermögen aufweisenden Belag bedeckt ist, dadurch gekennzeichnet, daß der Belag (7.8) eine Alkalimetalloder Erdalkalimetall-Schicht mit einer Dicke von weniger als 100A ist1. A gas discharge display device comprising a pair of insulating plates, at least of which a plurality applied to the interior surface of electrodes which are covered by a dielectric layer, with the plates underneath Opposite formation of a gap filled with an ionizable gas and the dielectric Layer is at least partially covered with a coating having a higher secondary electron emissivity, characterized in that the coating (7.8) is an alkali metal or alkaline earth metal layer with a thickness of is less than 100A 2. Gasentladungs-Anzeigevorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet daß die dielektrische Schiebt (5,6) aus einem gegenüber Alkelimetall oder Erdalkalimetall geringe Aktivität aufweisendem Material zusammengesetzt ist.2. Gas discharge display device according to claim 1, characterized in that the dielectric pushes (5,6) made of an alkali metal opposite or alkaline earth metal having low activity material. 3. Gasentladungs-Anzeigevorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet daß ein weiterer, gegenüber Alkalimetall oder Erdalkalimetall geringe Aktivität aufweisender dielektrischer Belag (5a, 6a) auf der Oberfläche der dielektrischen Schicht (5, 6) aufgebracht ist3. Gas discharge display device according to claim 1, characterized in that a further, Dielectric coating showing little activity in relation to alkali metal or alkaline earth metal (5a, 6a) is applied to the surface of the dielectric layer (5, 6) 4. Gasentladungs-Anzeigevorrichtung nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet daß die dielektrische Schicht (5,6) aus Aluminiumoxid besteht4. Gas discharge display device according to claim 2, characterized in that the dielectric layer (5,6) consists of aluminum oxide 5. Gasentladungs-Anzeigevorrichtung nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, daß der weitere dielektrische Belag (5a, 6a) aus Aluminiumoxid besteht.5. Gas discharge display device according to claim 3, characterized in that the further dielectric coating (5a, 6a) consists of aluminum oxide. 6. Gasentladungs-Anzeigevorrichtung nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet daß die dielektrische Schicht (S, 6) aus einer Siliziumverbindung besteht.6. Gas discharge display device according to claim 2, characterized in that the dielectric layer (S, 6) consists of a silicon compound. 7. Gasentladungs-Anzeigevorrichtung nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, daß der weitere dielektrische Belag (5a, 6a) aus einer Siliziumverbindung besteht.7. Gas discharge display device according to claim 3, characterized in that the further dielectric coating (5a, 6a) consists of a silicon compound. 8. Gasentladungs-Anzeigevorrichtung nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet daß die dielektrische Schicht (5,6) aus Natriumkalkglas besteht.8. Gas discharge display device according to claim 2, characterized in that the dielectric layer (5,6) consists of sodium lime glass. 9. Gasentladungs-Anzeigevorrichtung nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, daß der weitere dielektrische Belag (5a, 6a) aus Natriumkalkglas besteht.9. Gas discharge display device according to claim 3, characterized in that the further dielectric covering (5a, 6a) consists of soda lime glass. 10. Gasentladungs-Anzeigevorrichtung nach Anspruch 1. dadurch gekennzeichnet, daß das Alkalimetall Caesium enthält.10. Gas discharge display device according to claim 1, characterized in that the alkali metal contains cesium. 11. Verfahren zur Herstellung einer Gasentladungs-Anzeigevorrichtung nach Anspruch 1, mit den Verfahrensschritten:11. A method for manufacturing a gas discharge display device according to claim 1, with the procedural steps: a) Bildung eines Paares isolierender Platten, von denen mindestens eine eine auf der innengelegenen Oberfläche aufgebrachte Gruppe von Elektroden aufweist;a) Formation of a pair of insulating plates, at least one of which is a group of Having electrodes; b) Aufbringen einer aus einer dielektrischen Substanz bestehenden Schicht auf der Gruppe von Elektroden;b) applying a layer consisting of a dielectric substance on the group of Electrodes; c) Herstellung eines Anzeigefeldes durch Positionierung des Paares isolierender Platten in paralleler, mit den Innenflächen einander gegenüberstehender und einen Spalt bildender Anordnung;c) producing a display panel by positioning the pair of insulating plates in a parallel arrangement with the inner surfaces facing each other and forming a gap; d)d) Hermetisches Abdichten des Anzeigefeldes anHermetic sealing of the display panel seinem Umfang; e) Evakuieren des Spaltes und f) Füllen des Spaltes mit einem ionisierbaren Gas. dadurch gekennzeichnet daß zwischen den Schritten e) und f) ein ein Alkali- oder Erdalkalimetall enthaltendeb flüssiges oder gasförmiges Medium unter Bildung einer Alkali- bzw. Erdalkalimetall-Schicht (7, 8) auf der aus der dielektrischen Substanz bestehenden Schicht (5.6) in den Spalt (9) eingeleitet wird. 12 Verfahren nach Anspruch 11, dadurch gekennzeichnet daß das das Alkali- bzw. Erdalkalimetall enthaltende Medium gasförmig ist und unter Erhitzung des Anzeigefeldes in den Spalt (9) eingespeistits scope; e) evacuating the gap and f) filling the gap with an ionizable gas. characterized in that between steps e) and f) a liquid or gaseous medium containing an alkali or alkaline earth metal to form an alkali or alkaline earth metal Alkaline earth metal layer (7, 8) on the layer consisting of the dielectric substance (5.6) is introduced into the gap (9). 12. The method according to claim 11, characterized in that the alkali or alkaline earth metal containing medium is gaseous and fed into the gap (9) with heating of the display panel wird.will. 13. Verfahren nach Anspruch 12, dadurch gekennzeichnet daß das das Alkali- bzw. Erdalkalimetall enthaltende Medium flüssig ist und nach dem Einfüllen der Flüssigkeit dessen Lösungsmittel entfernt und auf der dielektrischen Schicht (5, 6) unter gleichzeitiger Erhitzung des Anzeigefeldes die Alkali- bzw. Erdalkalimetall-Schicht (7, 8) gebildet wird.13. The method according to claim 12, characterized in that the alkali or alkaline earth metal containing medium is liquid and after filling the liquid, the solvent is removed and the alkali or alkaline earth metal layer (7, 8) is formed on the dielectric layer (5, 6) with simultaneous heating of the display panel will. 14. Verfahren nach einem der Ansprüche 11 bis 13, gekennzeichnet durch einen zwischen den Schritten b) und c) liegenden Schritt der Bildung eines weiteren dielektrischen Belages (5a, 6a), der eine geringe Aktivität gegenüber Alkali- oder Erdalkalimetall besitzt auf der dielektrischen Schicht (5.6).14. The method according to any one of claims 11 to 13, characterized by a step of formation lying between steps b) and c) a further dielectric coating (5a, 6a) which has a low activity towards alkali or alkaline earth metal on the dielectric layer (5.6). 15. Verfahren nach Anspruch 14, dadurch gekennzeichnet, daß die dielektrische Schicht (5, 6) aus einem Blei enthaltenden, bei niedriger Temperatur schmelzenden Glas und der weitere dielektrische Belag (5,s, 6a) aus Aluminiumoxid bestehen.15. The method according to claim 14, characterized in that the dielectric layer (5, 6) from a lead-containing, low-temperature melting glass and the further dielectric Cover (5, s, 6a) consist of aluminum oxide.