DE2217725C3 - Kontinuierliches Verfahren zur Herstellung eines länglichen Teils aus Quarzglas - Google Patents
Kontinuierliches Verfahren zur Herstellung eines länglichen Teils aus QuarzglasInfo
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Description
3 4
Ziehteil einen einstelllbarei» Kernträger und Kern- stehenden Beschreibung. Das zu der Beschickungseinstopfen
aufweist, um die Abmessungen des Endpro- richtung zugeführte Spülgas unterstützt die Beseitigung
dukies leicht ändern zu können der im Rohmaterial enthaltenen Gase, welche sonst
In der französischen Patentschrift 2 010 274 ist die die Komponenten des feuerfesten Materials des Tiegel-Verwendung
eines Inertgases aus Helium und Argon 5 teils oxidieren oder Blasen in der Schmelze des ge-
oder Neon für die Herstellung von Quarzglas be- schmolzenen Quarzes büden wurden, welche anschrieben.
Die Verwendung von Wasserstoff im schließend nicht auf ein Minimum gebracht oder entSchutzgas
wird ausdrucklich als nachteilig a igelehnt fernt werden könnten. Die Zusammensetzung des
Mach dem aus der US-PS 3 249 417 bekannten Ver- Spülgases ist die gleiche Zusammensetzung oder ähnfahren
zum Glasschmelzen ist es erforderlich, das auf- io lieh der Zusammensetzung des Gases, das an anderer
zuschmelzende Rohmaterial in Form einer einzigen Stelle in die obere Zone des Tiegelteils zur Verhindedünnen
Schicht oben auf der Schmelze zuzuführen. rung der Blasen und Erhebungen in dem Endprodukt
Das in der DT-PS 584 163 beschriebene Verfahren eingeführt wird. Dieses Gas besteht aus einem Ge-
zur Vermeidung von Verunreinigungen wie Blasen oder misch von Wasserstoff und Helium mit einem VoIu-
Streifen in geschmolzenem Glas besteht im Absaugen 15 menverhältnis von 40 bis 65% Wasserstoff und 60 bis
des bei der Berührung von geschmolzenem Glas mit 35% Helium.
den metallenen Behälterwänden entstehenden Gases Der untere Teil 28 des Tiegels 10 enthält einen kreis-
durch porös ausgebildete Wände hindurch. förmigen Ring 30 mit einer mittleren Öffnung 32, durch
Nachfolgend wird das erfindungsgemäße Verfahren die kontinuierlich das längliche Kunstquarzteil ausge-
unter Bezugnahme auf die Zeichnung näher erläutert. 20 bildet wird, indem das viskose Material durch diese
Im einzelnen zeigt: öffnung gezogen wird. In der Öffnung32 ist zentrisch
F i g. 1 einen Ofen zur Durchführung der Erfindung, ein Kern 34 angeordnet und ragt unter dem Kreisring
welcher gemäß an sich bekannten Konstruktion- 30 heraus als Mittel zur Formung von Rohmaterial aus
erfahrunpen eines solchen Ofens aufgebaut sein kann, dem viskosen Material, das aus der Schmelze gezogen
die Figur enthält eine schematische Darstellung de* 25 wird. An der Wand des Tiegels sind Halterungsein-Schmelzofens
im Längsschnitt, richtungen 35 befestigt und ergeben eine starre Halte-
pig 2 die optischen Durchlässigkeitseigenschaften rung für den Kern. Dies unterstützt die Aufrechter-
jm ultra* ioietten Spektralbereich für zwei Produkte haltung einer Öffnung konstanter Größe, aus der das
aus erschmolzenem Quarz, welche nach verschiedenen Produkt herausgezogen wird. Der Kern 34 wird mit
Methoden nach der Belichtung mit Strahlung hoher 30 einem hohlen inneren Raum 36 hergestellt, welcher
Energie vorbereitet wurden. mit einem Einlaßrohr 38 verbunden ist. Dadurch kann
In einer bevorzugten Ausfuhrungsform kann das er- eine Zuführung eines nichtoxydierenden Gases mit
findungsgemäße Produkt aus erschmolzenem Quarz anderer Zusammensetzung als das an der Schmelzzone
in einem Ofen mit einem Aufbau gemäß der Fig. 1 des Tiegels zugeführte Gas erfolgen, und dieses Gas
hergestellt werden. Insbesondere kann dieser Ofen eine 35 dient als Atmosphäre für die Formgebung beim Ziehen
allgemein zylindrische Form entsprechend dem LJS- des Rohrs 40. Ein zweites Einlaßrohr 42 liefert die
Patent 2 998 469 besitzen und enthält dann einen läng- gleiche Art einer Atmosphäre für die Formgebung,
liehen zylindrischen Schmelztiegel 10. Dieser ist vor- Diese kann ein Gemisch darstellen, welches Wasserzugsweise
aus einem feuerfesten Metall wie Wolfram stoff in einem nichtoxidierenden Trägergas, beispiels-
oder Molybdän oder aus Kombinationen dieser Me- 40 weise Stickstoff im Volumenverhältnis von 1 bis 20%
talle aufgebaut, beispielsweise aus einer mit Wolfram Wasserstoff und 99 bis 80% Trägergas, enthält. Da;
verkleideten Molybdänplatte. In den Tiegel 10 wird Gas dient als Schutzatmosphäre, welche die äußere
als K 'imaterial ein gereinigter Sand durch eine obere Wand des Tiegels umgibt. Diese Zuführung des Gases
öffnung 12 in eine obere Schmelzzone 14 de Tiegels für die Formgebungsatmosphäre erfolgt an einem
eingeführt. Die obere Öffnung 12 ist mit einer beweg- 45 ringförmigen Raum 44. Dieser Raum ergibt eine Geliehen
Verschlußeinnchtung 16, beispielsweise einer liäuseeinrichtung für den Tiegel und enthält eine mitt-Klapptür,
ausgestattet, welche außer der Beobachtung lere Bodenöffnung 46. Diese dient als Auslaßeinrichdes
Pegels der Schmelze 18 und während der Zuführung tung für das Formgebungsgas aus dem Hohlraum in
des Rohmaterials in den Tiegel verschlossen gehalten einer Weise, bei der die äußere Oberfläche des aus dem
werden kann. An der oberen öffnung des Tiegels 10 50 Schmelzofen abgezogenen verlängerten geschmolzenen
sind automatische Beschickungseinrichtungen 20 vor- Quarzteils umhüllt ist. Die Außenwand dieses Ringgesehen,
um einen vorgegebenen Pegelstand des Roh- raumes 44 umfaßt einen Zylinder 48 aus feuerfestem
materials in dem Tiegel aufrechtzuerhalten. Diese Be- Material, der im Zusammenwirken mit dem äußeren
schickungseinrichtung 20 enthält ein Zuführungsrohr Gehäuse 50 der Schmekanlage als Behältereinrichtung
22, dessen Auslaßöifnung im Inneren des Tiegels 10 so 55 für die Induktionsheizspulen der Anlage dient. Insbeangeordnet
ist, daß das Rohmaterial in der oberen sondere ist zwischen der Außenwand des Zylinders
Zone 14 zugeführt wird, in der das Schmelzen statt- aus feuerfestem Material und der Innenwand des Gefindet.
Weiterhin enthält die Beschickungseinrichtung häuses 50 ein konzentrischer Durchlaßkanal 52 ausge-20
ein Einlaßrohr 24 für Spülglas und eine Vorratsein- bildet. In diesem sind zwei wendeiförmige Induktionsrichtung 26, die einen Vorrat des Rohmaterials enthält, 60 heizspulen 54 bzw. 56 angeordnet, welche getrennte
welches automatisch zu dem Einlaßrohr 22 zugeführt Heizquellen für die obere bzw. untere Zone des Tiegels
wird. Mit dem Absinken des Pegelstandes der Schmelze bilden. Diese Heizquellen und die hierzu erforderlichen
in dem Tiegel 10 durch Verschmelzung der Sandteil- Teile für die Leistungsversorgung können einen an sich
chen erfolgt ein einfacher Zufluß des Rohmaterials zur bekannten Aufbau besitzen und können insbesondere
Schmelzzone 14 des Tiegels durch Schwerkraftwir- 65 elektrische Leiter enthalten, die für eine Wasserkühkung.
Es wird daher überflüssig, eine weitere Einrich- lung ausgebildet sind. Sie können an getrennte Wechtung
vorzusehen, um die Geschwindigkeit der Zufüh- selstromnetzteile zur Durchführung der bei der Erfinrune
des Rohmaterials zu regeln, entsprechend der vor- dung benutzten unabhängigen Beheizung angeschlossen
sein. Der übrige Teil des von den Spulen eingenomme- rung gegenüber allen vorbekannten Verfahren zurr
nen Kanals ist vorzugsweise mit einer stabilen feuer- Ziehen eines Rohrs aus geschmolzenem Quarz dar
festen Isolation gefüllt, beispielsweise mit Zirkondi- Es wird auch angenommen, daß diese oben beschriebeoxid,
um die Wärme in der Ofenanlage zu konservieren. nen Verfahrensschritte gemäß der Erfindung mit der
Auf dem oberen Teil des Gehäuses 50 ist ein drittes 5 bestimmten verwendeten Gasatmosphären des Ver·
Versorgungsrohr 58 angeordnet und liefert das gleiche fahrens zusammenwirken bei der beträchtlichen Ver-
oder ein ähnliches Spülgasgeniisch an die Schmelzzone ringerung der länglichen Blasen und Erhebungen
des Tiegels, wie es durch das Einlaßrohr 24 geliefert welche bei dieser Art eines Rohrs an sich beträchtlich
wird. Die oben beschriebene Ofenanlage wird in Ver- schwanken können.
bindung mit einer konventionellen Maschine zum io Die Ursache dieser länglichen Blasen und Erhebun-Ziehen
von Rohr- oder Stabmaterial verwendet, gen in dem Stab oder dem Rohr scheint in dem Einweiche
in der Zeichnung weggelassen wurde, da sie fangen von Gas in den leeren Räumen zwischen der
keinen Teil der vorliegenden Erfindung bildet. Teilchen des gerade geschmolzenen Rohmaterials zt
Gemäß der Durchführung des erfindungsgemäßen liegen. In den oben beschriebenen vorbekannten VerVerfahrens
in der vorstehend beschriebenen Anlage 15 fahren konnte das eingeschlossene Gas nicht leicht
wird ein natürlicher Quarzsand mit einem Nennwert durch die geschmolzene Masse infolge ihrer hoher
der Teilchengröße unterhalb 300 Mikron, der zuvor Viskosität aufsteigen und dadurch entkommen. Andedurch
chemische Behandlung auf den Nominalwert rerseits wurde die Erhitzung der geschmolzenen Masse
an Verunreinigungsgehalt entsprechend der unten- auf höhere Temperaturen zur Verminderung dei
stehenden Tabelle gebracht wurde, an der oberen 20 Viskosität nicht angewendet, da mit solchen Tempe-Öffnung
des Tiegelteils in der Anlage zugeführt. raturen eine höhere Verdampfung von Siliziumdioxic
einhergeht. Das bei dem einen vorbekannten ober
Rohmaterial stehend beschriebenen Verfahren verwendete bestimmte Gasgemisch hilft bei der Entfernung dei
25 Bläschen durch Diffusion der ausgewählten Gase durch das geschmolzene Material. Obwohl das dort
genannte Gasgemisch in diesem Prozeß, welches au; 80% Helium und 20% Wasserstoff besteht, die länglichen
Blasen in dem Produkt vermindert, wurde ge-30 funden, daß dies auf Kosten des Entstehens von einei
größeren Zahl von Erhebungen erfolgt, welche eine andere Form eines optischen und physikalischen Defekts
in dem Produkt darstellen. Durch Erhöhung de: Wasserstoffgehaltes des bei dem Schmelzen des Roh-35
materials verwendeten Gasgemisch :s gemäß der Erfindung wird ein optimales Ergebnis zwischen Bildunf
von Blasen und Erhebungen erhalten. Dadurch erfolgi eine Verminderung beider Mängel, wenn das Gas-Das
Rohmaterial wird dem Tiegel zugeführt, der gemisch Volumenverhältnisse im Bereich von 40 bis
oberhalb 2050c C erhitzt wurde und außerdem mit dem 40 65% Wasserstoff und 60 bis 35% Helium bssitzt. Ein
zuvor beschriebenen Gasgemisch von Wasserstoff und weiterer Hinweis auf die mit einem bestimmten GeHelium
beschickt wird. Nachdem ein vorgegebener misch in dem angegebenen Bereich erhaltenen Resul-Pegelstand
des geschmolzenen Quarzes in dem Tiegel täte ist in der Tatsache enthalten, daß bei einem Geeingestellt
ist und das geschmolzene Material durch misch von 40% Wasserstoff und 60% Helium zwai
die Schwerkraft zum Durchfließen durch die mittlere 45 eine Verbesserung bezüglich der Bläschen erzielt wird
Bodenöffnung 32 in dem Tiegel veranlaßt wurde, wird man jedoch mehr Erhebungen erhält, als wenn das
ein Rohr kontinuierlich durch die Rohrziehmaschine Produkt bei einem Gasgemisch von 53 % Wasserstoff
(nicht gezeigt) in Anwesenheit der zuvor beschriebenen und 47% Helium erzeugt wird. Das mit einem Gas-Gasatmosphäre
für die Formgebung gezogen. Bei gemisch von 60% Wasserstoff und 40% Helium erjedem
kontinuierlichen Ziehen eines Rohrs in der zuvor 50 zeugte Produkt zeigte größere Mangel bezüglich dei
beschriebenen Weise wird die an der unteren Heiz- Bläschen. Es ergab jedoch eine Verbesserung der Freispule 56 zugeführte elektrische Leistung auf einem heit von Erhebungen beim Vergleich mit dem Produkt,
niedrigeren Wert gehalten als die elektrische Leistung, welches bei einem Gasgemisch von 53% Wasserstoff
welche an der oberen Heizspule 54 zugeführt wird. und 47% Helium erhalten wurde.
Dadurch wird die Temperatur des Materials bei seinem 55 Obwohl der Mechanismus der Verbesserung bezug-Herausziehen unterhalb der Temperatur von 2050'C Hch der Bläschen und der Erhebungen durch Auswahl
oder darüber abgesenkt, welche in der Schmelzzone eines optimalen Gemisches für die Erschmelzung des
des Tiegels aufrechterhalten wird. Die kombinierte Rohmaterials nicht voll verständlich ist, ist es mög-Auswirkung dieser Verfahrensschritte, wobei der licherweise teilweise einem Entweichen des Wasser-Pegelstand des Rohmaterials in dem Tiegel relativ 60 stoffgases durch die Wand des Tiegels infolge Diffukonstant gehalten wird, während unterschiedliche sion zuzuschreiben. Insbesondere wird es durch die
Temperaturzonen während des Ziehvorgangs aufrecht- Erhöhung des Wasserstoffgehaltes des Gasgemisches
erhalten werden, gestattet es bei den verschiedensten über die früher verwendeten Werte hinaus möglich,
Rohrabmessungen die Schwankung des Außendurch- daß ein größerer Anteil des Gasgemisches durch Diffumessers des gezogenen Rohrs auf weniger als ± 3 % zu 65 sion durch die Tiegelwand aus der Schmelze entweichen
halten. Weiterhin bleibt über lange Betriebszeiten die kann, da dies zwar für Wasserstoff möglich ist, Helium
KonzentrizJtät beider Rohrdurchmesser erhalten, und jedoch nicht durch ein feuerfestes Metall diffundieren
diese Gleichförmigkeit stellt eine deutliche Verbesse- kann. Da die bei dem erfindungsgemäßen Verfahren
Verunreinigung | Gehalt (ppm) |
Fe2O3 | 5 |
TiO2 | 2 |
Al2O3 | 50 |
CaO | 7 |
MgO | 2 |
K2O | 4 |
Na2O | 4 |
Li2O | <1 |
B ZrOi, |
0,5 <1 |
verwendete Gasatmosphäre für die Formgebung einen geringeren Wasserstoffgehalt besitzt als die Schmelzatmosphäre,
wird dadurch die Wasserstoffdiffusion durch die Tiegelwand gefördert, und dies trägt zu einer
Beseitigung von Blasen und Erhebungen aus dem Produkt bei. Weiterhin wurde beobachtet, daß der Blasengehalt
des Produktes vermindert werden kann durch Erhöhung der Geschwindigkeit, mit der während des
Verfahrens geschmolzenes Material abgezogen wird. Bei einer Untersuchung des nach der Erfindung erhaltenen
Produktes wurde eine noch weitergehende Gleichförmigkeit in bezug auf die verbesserten physikalischen
Eigenschaften festgestellt. Die konventionelle Untersuchung des Produktes in einem Polaroskop mit
eben polarisiertem Licht ergab, daß das Material in seinem Charakter relativ homogen ist infolge einer
relativen Freiheit von Streifungen, sichtbaren Spannungen und der Abwesenheit von Kornstruklur, wie
sie bei anderen Produkten aus geschmolzenem Quarz gefunden werden kann. Es wurde außerdem ein Vergleich
der optischen Durchlässigkeit im ultravioletten Bereich zwischen einem Probestück des gemäß der
Erfindung erhaltenen Rohrs und einem vergleichbaren Probestück eines Rohrs vorgenommen, welches nach
dem zweiten oben beschriebenen vorbekannten Verfahren hergestellt wurde. Die Proben wurden hergestellt
aus Rohr aus Schmelzquarz mit einem Innendurchmesser von 7,75 mm und einer Wandstärke von
1,0 mm, welches zuvor während einer Zeit von 15 Stunden einer Röntgenstrahlung ausgesetzt war. Die während
der Belichtung an dem Rohr angelegte Spannung betrug 50 Kilovolt, und der Röhrenstrom betrug
30 Milliampere. Nach dieser Belichtung wurden die Rohrproben der Länge nach aufgetrennt und Durchlässigkeitsmessungen
im ultravioletten Bereich des Spektrums vorgenommen unter Verwendung eines Spektralphotometers, das mit einer vom gleichen Hersteller
gelieferten integrierenden Kugel ausgestattet war. Da die Durchlässigkeitsmessungen mit Hilfe des Lichtdurchgangs
durch die Wand von Proben mit einer beträchtlichen Krümmung vorgenommen wurden, stellen
die in F i g. 2 wiedergegebenen Ergebnisse nicht unmittelbar eine optische Durchlässigkeit dar, sondern
geben lediglich die relative Durchlässigkeil an. Diese relative Durchlässigkeil ist definiert als der Mittelwert
der Änderung oder die durchschnittliche Änderung des Durchlässigkeitswertes für jede Probe. Diese Werte
wurden erhalten über den Wellenlängenintervallen 245 bis 255 Nanometer, 270 bis 280 Nanometer und 295
bis 305 Nanometer durch Errechnung der Differenz der optischen Durchlässigkeit in dem bestimmten
Intervall. Die Werte für die Probe Nr. 1 der Fig. 2
beziehen sich auf das Produkt gemäß der vorliegenden Erfindung und zeigen eine größere Beständigkeit gegenüber Strahlungsschäden als die kleineren Durchlässigkeitswerte für das Produkt nach einem vorbekannten
Verfahren entsprechend der Probe Nr. 2. Die Beständigkeit gegen Strahlungsschäden besitzt erhebliche
Bedeutung für die Anwendung des Rohrs aus geschmolzenem Quarz bei Quecksilberdampfentladungs-
lampen. Bei diesen entsteht eine beträchtliche Emission von Ultraviolettstrahlung, und diese kann zu einer Verschlechterung
der optischen Durchlässigkeit des Kolbens aus geschmolzenem Quarz oder Kunstquarz besonders
im ultravioletten Strahlungsbereich führen mit entsprechender Verminderung der Lichtausgangs.-leistimg
von der Lampe. Die gleiche Art von Verschlechterung wird erzeugt bei Belichtung des Schmekquarzes
durch energiereichere Strahlung, beispielsweise
ίο Röntgenstrahlen oder ionisierende Strahlung und
Kernstrahlung. Sie besitzt dann jedoch ein noch größeres Ausmaß, so daß erwartet werden kann, daß
die bessere Beständigkeit des Materials gegenüber energiercicherer Strahlung die Leistung für die vorgenannten
Lampenanwendungen verbessern kann.
Bei der Erhitzung eines Stückes von geschmolzenem Quarz, welches gemäß der vorliegenden Erfindung hergestellt
wurde, in einer Wasserstoffatmosphiire auf eine Temperatur, bei der die Verformung des geschmolzcnen
Materials begann, ergab sich ein gewisses Wachstum der ursprünglich vorhandenen länglichen Blasen.
Im Gegensatz dazu ergab sich bei dem gleichen Produkt der Erhitzung auf etwa 1000 C in gewöhnlicher
Luft vor dem Wiederschmelzen in einer Wasserstoifatmosphäre eine gewisse Verminderung des Wasserstoff
gehaltes in den länglichen Bläschen, von der angenommen wird, daß sie durch Diffusion geschah, da
sich ein Verschwinden einiger Blasen ergab. Eine ähnliche Auswertung wurde durchgeführt bei Erhitzung
des Produktes gemäß der Erfindung in einem Vakuum bis etwa 1000 C. Dabei wurde eine Wasserstoffgasentwicklung
gefunden, die nicht begleitet war durch eine Entwicklung von Kohlenmonoxid oder Wasser, wie sie
bei Produkten gefunden wurde, welche nach einem der vorerwähnten vorbekannten Verfahren hergestellt
waren.
Entsprechend der vorstehenden ausführlichen Bestimmten Ausführungsformen ist es für den Fachmann
möglich, Abwandlungen vorzunehmen, ohne den Umfang der Erfindung zu verlassen. Es ist beispielsweise
ersichtlich, daß für den hier offenbarten gereinigten Natursand ein anderes Rohmaterial eingesetzt werden
kann, solange nur der Reinheitsgrad des geschmolzenen Quarzes ein annehmbares Produkt für den erwünschten
Zweck liefert. Für die Durchführung der Erfindung könnten auch Quarzkristalle in Stücken mit kleinem
Durchmesser oder ein Quarzkristallpulver als zufriedenstellendes Ersatzrohmaterial verwendet werden.
Die Anwendung der Erfindung ist auch nicht auf getrennte und bestimmte Induktionsheizspulen zur Her
stellung von unabhängigen Heizzonen für den Schmelz
und Formgebungsprozeß beschränkt, da es möglicr ist, dieses durch bekannte Verfahren mit einer einziger
Induktionsheizspule durchzuführen, welche getrennt« an eine einzige Leistungsquelle angeschlossene elek
Irische Abgriffe besitzt. Ebenso können andere Inert
gase für das in den Ausführungsbeispielen als Träger gas für die Formgebungsatmosphäre verwendete Stick
stoffgas eingesetzt werden, um vergleichbare Ergcb nisse zu erhalten.
509 633/194
Claims (4)
1. Kontinuierliches Verfahren zur Herstellung Knallgasflamme gegen einen rotierenden Träger geeines
länglichen Teils aus Quarzglas, welches das 5 blasen werden, wobei em sehr reines und hartes Ghs
kontinuierliche Zuführen von Rohmaterial, be- erhalten wird. Das auf diese Weise erhaltene Quarzglas
stehend aus Siliziumdioxid in Teilchenform, mit muß dann nach dem Verfahren der Ub-PS 3 212 871 in
vorgegebener Geschwindigkeit in den oberen Ab- einer solchen Weise m den Schmelztiegel eingebracht
schnitt eines erhitzten Schmelztiegels umfaßt sowie werden, daß die einzelnen Quarzstuckchen getrennt
das Aufschmelzen des Materials unter einem io und lose voneinander ohne adhäsiven Kontakt mit beSchutzgas,
das Wasserstoff in einem inerten Träger- nachbarten Quarzglasstückchen so lange auf der Obergas
enthält, in dem Schmelztiegel und das konti- fläche der Schmelze liegenbleiben, bis sie aufschmelzen,
nuierliche Abziehen von geschmolzenem Material Wird diese Forderung nicht erfüllt, dann können Gasvon
der unteren Zone des Schmelztiegels durch einschlüsse gebildet werden und erscheinen in Form
Formgebungseinrichtungen in Auwesenheit einer 15 von Bläschen im Endprodukt. Die gleichzeitige Ver-Atmosphäie,
welche Wasserstoff in einem nicht- meidung oder Verringerung weiterer optischer Disoxydierenden
Trägergas enthält, dadurch ge- kontinuitäten wie Erhebungen, Stria und körnige
kennzeichnet, daß das Rohmaterial konii- Strukturen ist jedoch weder in der vorgenannten
nuierlich in einer oberen induktionsbeheizten Zone US-PS angegeben noch wird sie damit erreicht. Solche
des Schmelztiegels geschmolzen wird, wobei eine 20 weiteren optischen Diskontinuitäten sind jedoch für die
Gasatmosphäre aus Wasserstoff und Helium in Anwendung des Quarzglases in verschiedener Hinsicht
Volumenverhältnissen von 40 bis 65% Wasserstoff nachteilig.
und 60 bis 35% Helium zugeführt und dort gleich- Der Erfindung lag daher die Aufgabe zugrunde, ein
zeitig eine Schmelztemperatur aufrechterhalten Verfahren anzugeben, bei dem die aufwendigen Vorwird,
welche nicht unterhalb 20500C liegt, und das 25 bedingungen für die Erzielung eines bläschenfreien
geschmolzene Material in einer unteren Zone des Quarzglases, die bei dem Verfahren nach der vorge-Schmelztiegels
unabhängig von der oberen Zone so nannten US-PS erforderlich sind, nicht notwendig
induktionsbeheizt wird, daß in dem geschmolzenen sind und mit dem darüber hinaus auch die weiteren
Material eine Temperatur aufrechterhalten wird, optischen Diskontinuitäten wie Erhebungen, Stria und
die niedriger ist als 20500C. 30 körnige Strukturen vermieden oder zumindest verrin-
2. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekenn- gert werden können. Gemäß der vorliegenden Erfinzeichnet,
daß die beim Schmelzen des Rohmaterials dung werden diese Aufgaben bei einem Verfahren
erzeugten Gasblasen mindestens teilweise durch der eingangs genannten Art dadurch gelöst, daß das
Gasdiffusion durch die Tiegelwand abgezogen Rohmaterial kontinuierlich in einer oberen induktionswerc*en.
35 beheizten Zone des Schmelztiegels geschmolzen wird,
3. Verfahren nach Anspruch lv dadurch gekenn- wobei eine Gasatmosphäre aus Wasserstoff und Helium
zeichnet, daß ein Teil des gewöhnlich bei dem in Volumenverhältnissen von 40 bis 65% Wasserstoff
Schmelzen des Rohmaterials auftretenden Wachs- und 60 bis 35% Helium zugeführt und dort gleichtums
von Gasblasen vermieden wird durch Er- zeitig eine Schmelztemperatur aufrechterhalten wird,
höhung der Geschwindigkeit des Abziehens aus 40 welche nicht unterhalb 205O0C liegt, und das gedem
Tiegel. schmolzene Material in einer unteren Zone des
4. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekenn- Schmelztiegels unabhängig von der oberen 7one so
zeichnet, daß die Atmosphäre, in der das ge- induktionsbeheizt wird, daß in dem geschmolzenen
schmolzene Material gezogen wird, auch die äußere Material eine Temperatur aufrechterhalten wird, die
Tiegelwand umgibt. 45 niedriger ist al« 2050' C. Eine ergänzende Wärmebehandlung
des auf diese Weise gewonnenen Produktes ergibt eine Evolution der eingefangenen Gase
und liefert verbesserte Eigenschaften des behandelten
Materials für seine Anwendung.
50 Das mit diesem gegenüber dem in der obigen
50 Das mit diesem gegenüber dem in der obigen
Die Erfindung betrifft ein kontinuierliches Verfahren US-PS beschriebenen Verfahren einfacheren Ver-
tar Herstellung eines länglichen Teiles aus Quarzglas, fahren erhältliche Quarzglas ist durch eine verbesserte
welches das kontinuierliche Zuführen von Rohmate- optische Durchlässigkeit im ultravioletten Bereich
rial, bestehend aus Siliziumdioxid in Teilchenform, mit des Spektrums und eine optische Homogenität gevorgegeb
<*ner Geschwindigkeit in den oberen Ab- 55 kennzeichnet, welche durch eine relative Freiheit vor
6chnitt eines erhitzten Schmelztiegels umfaßt sowie das Streifungen, sichtbarer Kornstruktur und optischer
Aufschmelzen des Materials unter einem Schutzgas, Spannungen bedingt ist, wie sich bei der Prüfung mil
das Wasserstoff in einem inerten Trägergas enthält, in polarisiertem Licht zeigt. Darüber hinaus haben ά'κ
dem Schmelztiegel und das kontinuierliche Abziehen mit dem erfindungsgemäßen Verfahren erhältlicher
von geschmolzenem Material von der unteren Zone 60 länglichen Teile aus geschmolzenem Quarz lediglicl
des Schmelztiegels durch Formgebungseinrichtungen eine Abmessungsvariation, die für die äußere Quer
in Anwesenheit einer Atmosphäre, welche Wasserstoff Schnittsabmessung einen Bereich von ±3 % nicht über
in einem nichtoxydierenden Trägergas enthält. steigt. Wegen der besonderen Zusammensetzung de
Ein Verfahren der vorstehend genannten Art ist aus Schutzgasatmosphäre gibt das erhaltene Quarzgla
der US-PS 3 212 871 bekannt. Mit diesem bekannten 65 auch beim Erhitzen auf 10000C im Vakuum keil
Verfahren soll das Auftreten von Bläschen in Quarz- Kohlenmonoxyd oder Wasser ab.
rohren vermieden werden. Zu diesem Zwecke erfordert Es ist weiter aus der GB-PS 1 161 937 eine Vorrich
rohren vermieden werden. Zu diesem Zwecke erfordert Es ist weiter aus der GB-PS 1 161 937 eine Vorrich
das bekannte Verfahren die Verwendung eines Q'uarz- tung zum Ziehen von Quarzrohr bekannt, die an den
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Family Applications (1)
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Families Citing this family (50)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US2134050A (en) * | 1937-02-27 | 1938-10-25 | Warren C Kimbrough | Gas trap |
NL7214796A (de) * | 1972-11-02 | 1974-05-06 | ||
NL7414978A (nl) * | 1974-11-18 | 1976-05-20 | Philips Nv | Werkwijze voor de vervaardiging van voorwerpen van kwartsglas door trekken. |
DE2555899C2 (de) * | 1975-12-12 | 1987-04-30 | OKALUX Kapillarglas GmbH, 8772 Marktheidenfeld | Verfahren zur Herstellung von Hohlfasern aus anorganischen schmelzfähigen Materialien sowie Vorrichtung zur Durchführung des Verfahrens |
NL7903842A (nl) * | 1979-05-16 | 1980-11-18 | Philips Nv | Werkwijze voor het bereiden van gedoteerd kwartsglas en daaruit vervaardigde voorwerpen. |
NL8000298A (nl) * | 1980-01-17 | 1981-08-17 | Philips Nv | Lamp voorzien van een lampvat uit kwartsglas, kwartsglas en werkwijze voor het bereiden van kwartsglas. |
US4523939A (en) * | 1981-02-19 | 1985-06-18 | Gte Products Corporation | Method for reducing striations in fused silica |
DE3141443A1 (de) * | 1981-10-19 | 1983-05-05 | Basf Ag, 6700 Ludwigshafen | Verfahren zur herstellung der vitamine k(pfeil abwaerts)3(pfeil abwaerts) und k(pfeil abwaerts)4(pfeil abwaerts) sowie von deren derivaten |
DE3227785C2 (de) * | 1982-07-24 | 1984-07-19 | Heraeus Quarzschmelze Gmbh, 6450 Hanau | Verfahren zur Herstellung eines stab- oder rohrförmigen Quarzglaskörpers |
DE3227786C2 (de) * | 1982-07-24 | 1984-08-02 | Heraeus Quarzschmelze Gmbh, 6450 Hanau | Verfahren zur Herstellung eines Quarzglasrohres |
NL8204438A (nl) * | 1982-11-16 | 1984-06-18 | Philips Nv | Werkwijze en inrichting voor de continue vervaardiging van langgerekte lichamen uitgaande van een ongesmolten uitgangsmateriaal. |
US4767429A (en) * | 1986-12-11 | 1988-08-30 | American Telephone & Telegraph Co., At&T Bell Laboratories | Glass body formed from a vapor-derived gel and process for producing same |
US4780121A (en) * | 1987-04-03 | 1988-10-25 | Ppg Industries, Inc. | Method for rapid induction heating of molten glass or the like |
DE3815974C1 (de) * | 1988-05-10 | 1989-08-24 | Heraeus Quarzschmelze | |
NL9002107A (nl) * | 1990-09-27 | 1992-04-16 | Philips Nv | Lichaam uit met cerium gedoteerd kwartsglas. |
CN1035608C (zh) * | 1992-01-21 | 1997-08-13 | 亓飞 | 无羟基透明石英玻璃的连续电熔法 |
JP2511393B2 (ja) * | 1992-09-15 | 1996-06-26 | パテント−トロイハント−ゲゼルシヤフト フユア エレクトリツシエ グリユーランペン ミツト ベシユレンクテル ハフツング | メタルハライドランプ |
US6235669B1 (en) | 1993-06-01 | 2001-05-22 | General Electric Company | Viscosity tailoring of fused silica |
US6136736A (en) * | 1993-06-01 | 2000-10-24 | General Electric Company | Doped silica glass |
US5631522A (en) * | 1995-05-09 | 1997-05-20 | General Electric Company | Low sodium permeability glass |
US5729090A (en) * | 1995-02-21 | 1998-03-17 | General Electric Company | Sodium halide discharge lamp |
US5928397A (en) * | 1998-05-26 | 1999-07-27 | Bihuniak; Peter P. | Method to produce fused quartz particulates |
US6632086B1 (en) * | 2000-05-22 | 2003-10-14 | Stanley M. Antczak | Quartz fusion crucible |
US6422861B1 (en) | 2000-11-20 | 2002-07-23 | General Electric Company | Quartz fusion furnace and method for forming quartz articles |
US20030233847A1 (en) * | 2002-06-19 | 2003-12-25 | Fridrich Elmer G. | Manufacture of elongated fused quartz member |
JP2005289776A (ja) * | 2004-04-05 | 2005-10-20 | Canon Inc | 結晶製造方法および結晶製造装置 |
DE102004018148B4 (de) * | 2004-04-08 | 2007-06-14 | Schott Ag | Verfahren und Vorrichtung zur kontinuierlichen Herstellung von kalibrierten runden oder profilierten Glasrohren |
WO2006015763A1 (de) * | 2004-08-02 | 2006-02-16 | Heraeus Quarzglas Gmbh & Co. Kg | Vertikal-tiegelziehverfahren zur herstellung eines glaskörpers mit hohem kieselsäuregehalt und vorrichtung zur durchführung des verfahrens |
US20060281623A1 (en) | 2005-06-10 | 2006-12-14 | General Electric Company | Free-formed quartz glass ingots and method for making the same |
DE102008030115A1 (de) | 2008-06-27 | 2009-12-31 | Heraeus Quarzglas Gmbh & Co. Kg | Verfahren und Vorrichtung zur Herstellung eines Quarzglaszylinders |
DE102009030852B3 (de) * | 2009-06-26 | 2010-07-08 | Heraeus Quarzglas Gmbh & Co. Kg | Verfahren und Vorrichtung zum Ziehen eines Quarzglaszylinders aus einem Schmelztiegel |
DE102011052067B3 (de) | 2011-07-22 | 2012-07-26 | Schott Ag | Verfahren und Vorrichtung zur bevorzugt kontinuierlichen Herstellung von Glasrohren mit einem vorbestimmten Innenprofil |
US9457405B2 (en) | 2012-05-29 | 2016-10-04 | H.C. Starck, Inc. | Metallic crucibles and methods of forming the same |
CN102875007B (zh) * | 2012-09-19 | 2015-08-05 | 江苏太平洋石英股份有限公司 | 生产石英玻璃棒的连熔炉以及制造工艺 |
CN103102061B (zh) * | 2013-02-28 | 2015-01-14 | 齐国超 | 感应/电阻复合熔炼法生产大尺寸石英玻璃设备及方法 |
DE102013102989A1 (de) | 2013-03-22 | 2014-09-25 | Heraeus Quarzglas Gmbh & Co. Kg | Verfahren und Vorrichtung zum Ziehen eines Stabes, eines Rohres oder einer Platte aus Quarzglas |
EP2886519B1 (de) * | 2013-12-18 | 2016-05-25 | Heraeus Quarzglas GmbH & Co. KG | Vertikal-tiegelziehverfahren zur herstellung eines glaskörpers mit hohem kieselsäuregehalt |
US11053152B2 (en) | 2015-12-18 | 2021-07-06 | Heraeus Quarzglas Gmbh & Co. Kg | Spray granulation of silicon dioxide in the preparation of quartz glass |
WO2017103166A2 (de) | 2015-12-18 | 2017-06-22 | Heraeus Quarzglas Gmbh & Co. Kg | Herstellung eines quarzglaskörpers in einem mehrkammerofen |
KR20180095624A (ko) | 2015-12-18 | 2018-08-27 | 헤래우스 크바르츠글라스 게엠베하 & 컴파니 케이지 | 불투명 실리카 유리 제품의 제조 |
US10676388B2 (en) | 2015-12-18 | 2020-06-09 | Heraeus Quarzglas Gmbh & Co. Kg | Glass fibers and pre-forms made of homogeneous quartz glass |
JP6981710B2 (ja) | 2015-12-18 | 2021-12-17 | ヘレウス クワルツグラス ゲーエムベーハー ウント コンパニー カーゲー | 二酸化ケイ素造粒体からの石英ガラス体の調製 |
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TWI812586B (zh) | 2015-12-18 | 2023-08-21 | 德商何瑞斯廓格拉斯公司 | 石英玻璃體、其製備方法與應用、及用於控制烘箱出口處之露點 |
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CN110171921B (zh) * | 2019-06-24 | 2023-10-13 | 连云港福东正佑照明电器有限公司 | 制备半导体及光伏用石英管的均匀加料连熔炉及其方法 |
CN113248114A (zh) * | 2021-06-21 | 2021-08-13 | 中国原子能科学研究院 | 坩埚及用于其腔体的盖体、物料处理设备 |
Family Cites Families (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
FR1308256A (fr) * | 1960-12-16 | 1962-11-03 | Patent Treuhand Ges Fuer Elektrische Gluehlampen Mbh | Four vertical chauffé à l'électricité, pour la fusion du quartz et procédé de fabrication de tubes de quartz sans souffures |
DE1211766B (de) * | 1962-06-25 | 1966-03-03 | Patra Patent Treuhand | Herstellung von blasenarmem Quarzrohr |
-
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