CN102875007B - 生产石英玻璃棒的连熔炉以及制造工艺 - Google Patents

Abstract

本发明公开了一种生产石英玻璃棒的连熔炉以及制造工艺，包括相互配合的炉体、炉盖，炉体内设有钨坩埚，钨坩埚的外侧设有连接电极的发热网和保温砂，炉口处设有高温砖，水套、排尘装置，钨坩埚上端连通有加料装置和隔热装置，钨坩埚下端连接成型装置。本发明连熔炉取消了钨坩锅内芯杆装置，通过钨坩锅下部的成型装置，在一定的温度下，拉制成型。由于没有芯杆装置，没有气泡、气线和黑芯，而且制造的石英玻璃棒的直径大，广泛用于半导体、太阳能和光纤等行业。

Description

生产石英玻璃棒的连熔炉以及制造工艺

技术领域

本发明涉及一种连续生产石英棒的装置和制造工艺。

背景技术

现有连熔炉不能生产高端石英管棒，生产石英玻璃棒的方法存在以下缺陷：在连熔炉里安装有芯杆，通过调节芯杆装置位置，来调节下料，通过芯杆负压抽真空的方式使管子变成棒，由于工艺落后，只能生产小规格，且产品有气泡气线，由于有芯杆装置，所以生产的棒带黑芯，无法生产出高质量的产品，严重限制了其应用范围。

发明内容

有鉴于此，本发明要解决的技术问题在于提供一种生产石英玻璃棒的连熔炉以及制造工艺，生产的石英玻璃棒没有气泡、气线和黑芯。

为解决上述技术问题，本发明的技术方案是这样实现的：一种生产石英玻璃棒的连熔炉，包括相互配合的炉体、炉盖，炉体内设有钨坩埚，钨坩埚的外侧设有连接电极的发热网和保温砂，炉口处设有高温砖，水套、排尘装置，所述钨坩埚上端连通有加料装置和除氧隔离装置，钨坩埚下端连接成型装置。

另一种技术方案为：一种生产石英玻璃棒的连熔炉的制作工艺，其工艺步骤如下：

a、将高纯石英砂经过加料装置和除氧隔离装置，连续加入到钨坩埚内；

b、石英砂被加热到2000~2400℃并保持，使石英砂充分熔化、杂质充分挥发、气泡散掉；

c、石英砂通过钨坩埚下端的成型装置时，温度降低，充分熔化的石英熔液慢慢流出；

d、然后通过自动控制***的控制，拉出直径3~180mm的石英棒。

进一步，其工艺步骤如下：所述步骤b中石英砂被加热到2150~2250℃。

本发明达到的技术效果如下：本发明连熔炉为要素省略发明，取消了钨坩锅内芯杆装置，通过钨坩锅下部的成型装置，在一定的温度下，拉制成型。由于没有芯杆装置，没有气泡、气线和黑芯，而且制造的石英玻璃棒的直径大，广泛用于半导体、太阳能和光纤等行业。

附图说明

图1为本发明生产石英玻璃棒的连熔炉的结构示意图。

具体实施方式

如图1所示，为本发明生产石英玻璃棒的连熔炉，包括相互配合的炉体4、炉盖3，炉体4内设有钨坩埚12，钨坩埚12的外侧设有连接电极10的发热网11和保温砂5，炉口处设有高温砖6，水套7、排尘装置9，钨坩埚12上端连通有加料装置1和除氧隔离装置2，钨坩埚下端连接成型装置13。与现有技术相比，连熔炉内取消了芯杆装置，高纯石英砂直接注入至钨坩埚12内，通过成型装置13拉制成型。

使用本发明生产石英玻璃棒的连熔炉，其工艺步骤如下：

a、将高纯石英砂经过加料装置1和除氧隔离装置2，连续加到钨坩埚12内；

b、石英砂被加热到2000~2400℃并保持，石英砂被加热到的最佳温度为2150~2250℃。使石英砂充分熔化、杂质充分挥发、气泡散掉；

c、石英砂通过钨坩埚12下端的成型装置13时，温度降低，充分熔化的石英熔液慢慢流出；

d、然后通过改变出料口的大小和长度及辅助控制***，拉出直径3~180mm的石英棒8。自动控制***为现有的设备，包括激光测径仪、仪表及计算机等，在此不再赘述。

以上所述，仅为本发明的较佳实施例而已，并非用于限定本发明的保护范围。

Claims (2)

1.一种利用连熔炉生产石英玻璃棒的工艺，所述连熔炉包括相互配合的炉体、炉盖，炉体内设有钨坩埚，钨坩埚的外侧设有连接电极的发热网和保温砂，炉口处设有高温砖，水套、排尘装置，所述钨坩埚上端连通有加料装置和除氧隔离装置，钨坩埚下端连接成型装置；其特征在于，其工艺步骤如下：

a、将高纯石英砂经过加料装置和除氧隔离装置，连续加入到钨坩埚内；

b、石英砂被加热到2000~2400℃并保持，使石英砂充分熔化、杂质充分挥发、气泡散掉；

c、石英砂通过钨坩埚下端的成型装置时，温度降低，充分熔化的石英熔液慢慢流出；

d、然后通过自动控制***的控制，拉出直径3~180mm的石英棒。

2.如权利要求1所述的工艺，其特征在于，所述步骤b中石英砂被加热到2150-2250℃。