DE20221899U1

DE20221899U1 - fine grinding machine

Info

Publication number: DE20221899U1
Application number: DE20221899U
Authority: DE
Original assignee: FIP FORSCHUNGSINSTITUT fur PR; Fip Forschungsinstitut fur Produktionstechnik Braunschweig GmbH
Current assignee: FIP FORSCHUNGSINSTITUT fur PR; Fip Forschungsinstitut fur Produktionstechnik Braunschweig GmbH
Priority date: 2002-05-24
Filing date: 2002-05-24
Publication date: 2008-12-11
Anticipated expiration: 2012-05-25
Also published as: DE10222956B4; DE10222956A1

Abstract

Feinschleifmaschine mit
– einer Werkzeugträgerscheibe (1), die eine plan bearbeitete Tragfläche aufweist und über einen Antrieb (2) um eine senkrecht auf dieser Tragfläche stehende Scheibendrehachse (3) drehbar ist;
– einem Schleifband (6), das während der Feinbearbeitung mit einer Vakuum- oder elektromagnetische Spannung zur Unterstützung der Haftung des Schleifbandes (6) auf der Tragfläche der Werkzeugträgerscheibe (1) kontinuierlich von einer abtriebsseitig an der Werkzeugträgerscheibe (1) gelagerten Schleifband-Abwickelrolle (7) abgezogen, gleitend über die Tragfläche der Werkzeugträgerscheibe (1) gezogen und von einer angetriebenen, antriebsseitig an der Werkzeugträgerscheibe (1) gelagerten Schleifband-Aufwickelrolle (8) aufgewickelt wird;
– zumindest einem zur Aufnahme von zumindest einem Werkstück (15) ausgelegten Werkstückhalter (11), der oberhalb von der Tragfläche der Werkzeugträgerscheibe (1) oder von dem Schleifband (6) angeordnet und drehbar um eine parallel zur Scheibendrehachse (3) liegende Werkstückdrehachse (12) gelagert ist; und mit
– einer das zumindest eine Werkstück (15) zur Reduktion seiner Werkstückhöhe senkrecht zur Tragfläche der...Fine sanding machine with
- A tool carrier disc (1) having a plane-machined support surface and about a drive (2) about a perpendicular to this support disc rotation axis (3) is rotatable;
A grinding belt (6), which during the finishing with a vacuum or electromagnetic tension to support the adhesion of the abrasive belt (6) on the support surface of the tool carrier disc (1) continuously from a driven side of the tool carrier disc (1) mounted abrasive belt unwinding roller ( 7) pulled off, slid over the support surface of the tool carrier disc (1) and is wound by a driven, on the drive side on the tool carrier disc (1) mounted abrasive belt take-up reel (8);
At least one workpiece holder (11) designed to receive at least one workpiece (15), which is arranged above the support surface of the tool carrier disk (1) or the grinding belt (6) and rotatable about a workpiece axis of rotation (12) lying parallel to the disk rotation axis (3) ) is stored; and with
- One that at least one workpiece (15) to reduce its workpiece height perpendicular to the wing of the ...

Description

Die Erfindung betrifft eine Feinschleifmaschine.The The invention relates to a fine grinding machine.

Bei der Planbearbeitung hochwertiger Bauteile kommt der Läppkinematik (Läppen, Polieren, Feinschleifen) eine besondere Bedeutung zu. Mit keinem anderen Fertigungsverfahren lassen sich bessere Werte hinsichtlich Ebenheit, Planparallelität und Rauheit erreichen. Nachteile der konventionellen Läppbearbeitung mit losem Korn sind jedoch die relativ langen Bearbeitungszeiten, eine aufwändige Werkstückreinigung, hohe Entsorgungskosten der eingesetzten Läppsuspensionen sowie eine schlechte Automatisierbarkeit des Prozesses. Mit dem üblichen Feinschleifen unter Verwendung gebundenen Korns lassen sich zwar höhere Schnittgeschwindigkeiten und Zeitspanungsvolumina erreichen, die höhere Wirtschaftlichkeit wird jedoch durch einige systemimmanente Nachteile wieder eingeschränkt: Da die verwendeten Schleifmittel-Schleifscheiben oder Pellets während der Bearbeitung verschleißen, müssen die Schleifwerkzeuge häufig profiliert und geschärft werden; dies ist aufgrund der Härte der Schneidkörner und der notwendigen Formgenauigkeit sehr aufwändig. Außerdem verläuft der Feinschleifprozess mit massiven Schleifscheiben oder Pellets infolge von Werkzeugverschleiß und Spanraumzusetzungen mit Schleifpartikeln instationär mit einer mit zunehmender Schleifdauer abnehmenden Zerspanrate.at The plan processing of high-quality components comes with lapping kinematics (Lapping, polishing, fine grinding) a special meaning to. With no other manufacturing process can better values with regard to evenness, plane parallelism and roughness. Disadvantages of conventional lapping with loose Grain, however, are the relatively long processing times, a complex workpiece cleaning, high disposal costs of the used Läppsuspensionen as well as a poor automatability of the process. With the usual Fine grinding using bonded grain can indeed be higher cutting speeds and Zeitspanungsvolumina However, the higher efficiency is achieved by Restricted some systemic disadvantages: As the abrasive grinding wheels or pellets used during wear out the machining, the grinding tools frequently profiled and sharpened; This is due to the hardness of the cutting grains and the necessary Form accuracy very expensive. In addition, runs the fine grinding process with massive grinding wheels or pellets due to tool wear and Spanraumzusetzungen with abrasive particles unsteady with one with increasing Grinding time decreasing machining rate.

Aus der US-6,068,542 ist eine gattungsgemäße Poliermaschine für Halbleitererzeugnisse beschrieben, bei der eine Werkzeugträgerscheibe mit einer Tragfläche um eine senkrecht zu dieser Tragfläche stehende Scheibendrehachse drehbar ist, wobei ein Schleifband gleitend über die Tragfläche der Werkzeugträgerscheibe gezogen wird. Ein Werkstückhalter ist oberhalb des Schleifbandes drehbar um die Scheibendrehachse gelagert, und eine Druckeinrichtung beaufschlagt das Werkstück senkrecht zur Tragfläche der Werkzeugträgerscheibe mit einer Kraft.From the US 6,068,542 a generic polishing machine for semiconductor products is described in which a tool carrier disc is rotatable with a support surface about a perpendicular to this support disc rotation axis, wherein a grinding belt is slidably pulled over the support surface of the tool carrier disk. A workpiece holder is mounted rotatably above the grinding belt around the disk rotation axis, and a pressure device acts on the workpiece perpendicular to the support surface of the tool carrier disk with a force.

Aus der DE 197 36 248 A1 , der DE 199 28 950 A1 und der DD 220 547 A1 sind Vorrichtungen zum Schleifen oder Flachläppen eines Werkstückes bekannt, bei denen das Werkstück mit einer vertikalen Schwingung beaufschlagt wird.From the DE 197 36 248 A1 , of the DE 199 28 950 A1 and the DD 220 547 A1 are devices for grinding or Flachläppen a workpiece known in which the workpiece is subjected to a vertical vibration.

Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, eine Feinschleifmaschine zu entwickeln, die eine erhöhte Präzision bei verbesserter Haltbarkeit des Schleifbandes ermöglicht.Of the Invention is based on the object, a fine grinding machine develop, which improves the precision with improved Durability of the abrasive belt allows.

Diese Aufgabe wird erfindungsgemäß mit einer Feinschleifmaschine mit den Merkmalen des Anspruchs 1 gelöst.These Task is according to the invention with a fine grinding machine solved with the features of claim 1.

Mit dem erfindungsgemäßen Maschinenkonzept wird ein neues Feinbearbeitungsverfahren auf der Basis der Planbearbeitung mit Läppkinematik in Kombination mit Schleifmitteln auf Unterlage (Schleifbändern) ermöglicht. Dabei werden die Vorteile der Bearbeitung mit gebundenem Korn mit denen der Schleifbänder kombiniert. Das Schleifmittel auf Unterlage, Schleifband, wird während der Feinschleifbearbeitung kontinuierlich von einer Schleifbandrolle am Abtrieb abgewickelt, langsam durch einen Werkzeugvorschubantrieb über die Trägerscheibe geführt und an der Werkzeugvorschubantriebsseite auf eine weitere Schleifbandrolle aufgewickelt. Um ein unkontrolliertes Abwickeln des Schleifbandes zu verhindern, kann der Abtrieb mit einer Bremseinrichtung, z. B. einer Lamellenbremse versehen sein.With the machine concept according to the invention is a new finishing process on the basis of plan processing with lapping kinematics in combination with abrasives Underlay (sanding belts) allows. It will be the advantages of bonded grain processing with those of the abrasive belts combined. The abrasive on pad, sanding belt, during the fine grinding continuously from an abrasive belt roll unwound at the output, slowly through a tool feed drive over the carrier disc guided and at the tool feed drive side wound up on another sanding belt roll. To be an uncontrolled To prevent unwinding of the sanding belt, the downforce can a braking device, for. B. be provided a multi-disc brake.

Die Haftung des Schleifbandes auf der Tragfläche der Werkzeugträgerscheibe wird zusätzlich durch Vakuumspannung oder elektromagnetisch unterstützt.The Adhesion of the sanding belt on the support surface of the tool carrier disk is additionally by vacuum or electromagnetic supported.

Das Werkzeugsystem führt eine vertikal, normal zur Tragfläche der Werkzeugträgerscheibe bzw. zur Werkstückoberfläche gerichtete, mechanische Schwingbewegung aus, beispielsweise durch einen in die Trägerscheibe integrierten Piezo-Aktor. Durch eine derartige vertikale mechanische Schwingbewegung des Werkzeugsystems erhält man zusätzlich zu der parallel zur Werkstückoberfläche erfolgenden Ritzbewegung der Schneidkörner noch normal zur Werkstückoberfläche gerichtete Schleifkornschwingungen geringer Amplitude, die Mikrorisse in der Werkstückoberfläche erzeugen und so zu höheren Zerspanraten sowie zu einer mikroskopisch veränderten Oberflächentopographie führen.The Tool system performs a vertical, normal to the wing the tool carrier disk or to the workpiece surface directed, mechanical swinging motion, for example by a piezo actuator integrated into the carrier disc. By a such vertical mechanical oscillatory movement of the tool system one obtains in addition to the parallel to the workpiece surface scribing movement of the cutting grains still normal directed to the workpiece surface abrasive grain vibrations low amplitude, the microcracks in the workpiece surface produce and thus to higher Zerspanraten as well as to a microscopically altered surface topography to lead.

Da der Schleifbandantrieb während der Bearbeitung zusammen mit der Werkzeugträgerscheibe rotiert, erfolgt die Energieversorgung für den Werkzeugantrieb z. B. über Schleifringübertrager.There The sanding belt drive during machining together rotated with the tool carrier disc, the power supply takes place for the tool drive z. B. via slip ring transmission.

Die Werkstückhalter führen ebenfalls eine Drehbewegung aus, die gleichsinnig oder gegensinnig zur Werkzeugträgerscheibenrotation erfolgt, so dass sich hier eine Maschinenkinematik vergleichbar der konventioneller Läppmaschinen ergibt.The Workpiece holders also perform a rotary movement out, in the same direction or in the opposite direction to the tool carrier disk rotation takes place, so that here is a machine kinematics comparable to conventional lapping results.

Die Werkstückhalter führen ebenfalls eine Drehbewegung aus, die gleichsinnig oder gegensinnig zur Werkzeugträgerscheibenrotation erfolgt, so dass sich hier eine Maschinenkinematik vergleichbar der konventioneller Läppmaschinen ergibt. Die Drehzahlen der Werkzeugträgerscheibe, der Werkstücke bzw. ihrer Werkstückhalter sowie der Schleifbandvorschub lassen sich vorzugsweise unabhängig voneinander einstellen. Durch die Relativbewegung zwischen Werkzeug (Schleifband) und Werkstück wird die für die Zerspanung der Werkstücke erforderliche Schnittgeschwindigkeit erzeugt. In der flächenhaften Kontaktzone zwischen Schleifband und Werkstück führen die im Schleifband gebundenen Schleifkörner eine Ritzbewegung parallel zur Werkstückoberfläche aus.The workpiece holder also perform a rotational movement, which takes place in the same direction or in opposite directions to the tool carrier disk rotation, so that here results in a machine kinematics comparable to the conventional lapping machines. The speeds of the tool carrier disk, the workpieces or their workpiece holder and the grinding belt feed can preferably be set independently. The relative movement between the tool (grinding belt) and the workpiece produces the cutting speed required for machining the workpieces. In the areal Contact zone between the grinding belt and the workpiece, the abrasive grains bonded in the abrasive belt perform a scoring motion parallel to the workpiece surface.

Erfindungsgemäß ist es zweckmäßig, wenn die genannte Druckeinrichtung zur Reduktion der Werkstückhöhe kraftgebunden arbeitet, wobei der Schleifdruck pneumatisch, hydraulisch oder mittels Gewichtskraft über eine Druckplatte auf das zumindest eine Werkstück übertragen wird. Hierbei ist die Schleifnormalkraft Stellgröße und die Zerspanrate Ergebnisgröße. Vorzugsweise ist die Druckplatte über ein Kugelgelenk mit einem Druckkolben verbunden; hierdurch ergibt sich eine Selbstkorrektur bezüglich der Lage der beiden Wirkpartner Werkstück und Werkzeug.According to the invention it is expedient if said pressure device to reduce the workpiece height by force works, with the grinding pressure pneumatically, hydraulically or by weight over transfer a printing plate to the at least one workpiece becomes. Here, the grinding normal force is manipulated variable and the cutting rate result size. Preferably is the pressure plate via a ball joint with a pressure piston connected; This results in a self-correction with respect the position of the two active partners workpiece and tool.

Es ist aber auch möglich, dass die genannte Druckeinrichtung zur Reduktion der Werkstückhöhe weggebunden, z. B. über ein Gewindespindel-Muttersystem arbeitet.It But it is also possible that the said printing device weggebunden to reduce the workpiece height, z. B. works via a threaded spindle nut system.

Es ist vorteilhaft, wenn der zumindest eine Werkstückhalter einen Werkstückhaltering und zumindest eine Aussparung zur spannungsfreien Aufnahme eines Werkstückes aufweist. Dabei kann jeder Werkstückhalter einen eigenen Drehantrieb aufweisen. Es ist aber auch möglich, dass sich die Rotation des Werkstückhalteringes durch Reibungskopplung mit dem Schleifband einstellt.It is advantageous if the at least one workpiece holder a workpiece retaining ring and at least one recess For tension-free recording of a workpiece. Each workpiece holder can have its own rotary drive exhibit. But it is also possible that the rotation of the workpiece retaining ring by frictional coupling with the Adjusting abrasive belt.

Durch eine exzentrische Lagerung des Werkstückhalteringes ist zusätzlich zur Rotationsbewegung eine tangentiale Bewegung der Werkstücke zum Werkzeugsystem realisierbar.By an eccentric bearing of the workpiece retaining ring is in addition to the rotational movement a tangential movement the workpieces to the tool system realized.

Ergänzend zur Rotation besteht die Möglichkeit, dass das Werkzeugsystem eine vertikale, normal zur Tragfläche der Werkzeugträgerscheibe bzw. zur Werkstückoberfläche gerichtete mechanische Schwingbewegung ausführt, beispielsweise durch einen in die Trägerscheibenantriebswelle integrierten Piezo-Aktor. Durch eine derartige vertikale mechanische Schwingbewegung des Werkzeugsystems erhält man zusätzlich zu der parallel zur Werkstückoberfläche erfolgenden Ritzbewegung der Schneidkörner noch normal zur Werkstückoberfläche gerichtete Schleifkornschwingungen geringer Amplitude, die Mikrorisse in der Werkstückoberfläche erzeugen und so zu höheren Zerspanraten sowie zu einer mikroskopisch veränderten Oberflächentopographie führen.additional for rotation there is a possibility that the tool system a vertical, normal to the support surface of the tool carrier disc or to the workpiece surface directed mechanical swinging motion performs, for example by a in the carrier disk drive shaft integrated piezo actuator. By such a vertical mechanical Oscillation of the tool system is obtained in addition to the taking place parallel to the workpiece surface Scoring motion of the cutting grains still normal to the workpiece surface directed abrasive grain oscillations of low amplitude, the microcracks create in the workpiece surface and so on higher cutting rates as well as a microscopic change Surface topography.

Bei dem erfindungsgemäßen Maschinenkonzept können vorzugsweise handelsübliche, qualitativ hochwertige Schleifmittel auf flexibler, inkompressibler Polyesterunterlage eingesetzt werden. Dabei liegt dem Maschinenkonzept die Idee zugrunde, die jeweils für die Form und für die Rauheit der Werkstücke verantwortlichen Erzeugungskomponenten voneinander zu trennen. Diese Trennung wird durch die Verwendung von Schleifmittel auf Unterlage erreicht, wobei sich das Schleifband auf der Tragfläche der Werkzeugträgerscheibe abstützt und über diese geführt wird. Die Rauheit wird also durch das Schleifband erzeugt, die Form hingegen durch die Werkzeugträgerscheibe. Da Letztere bei dem Bearbeitungsvorgang nicht zerspant wird, bleibt ihre Form erhalten, so dass ein profilierendes Konditionieren entfällt. Durch den Schleifbandvorschub kann ein quasistationäres Prozessverhalten erzielt werden, da ständig frisches Schneidkorn nachgeführt wird. Hierdurch ergibt sich ein linearer Zerspanungsvolumenverlauf über der Zeit und eine insgesamt höhere Zerspanrate.at the machine concept according to the invention can preferably commercially available, high-quality abrasives be used on flexible, incompressible polyester backing. The machine concept is based on the idea, each one for the shape and roughness of the workpieces separate responsible production components from each other. These Separation is by the use of abrasive on backing achieved, with the sanding belt on the support surface of the Tool carrier disc supports and over this is led. The roughness is so through the sanding belt generated, the shape, however, by the tool carrier disc. Since the latter is not machined during the machining process, remains maintain their shape so that a profiling conditioning is eliminated. Due to the grinding belt feed, a quasi-stationary Process behavior can be achieved because constantly fresh cutting grain is tracked. This results in a linear machining volume curve over time and an overall higher cutting rate.

Erfindungsgemäß besteht die Möglichkeit, ein Schleifband einzusetzen, das über seine Bandlänge einen hinsichtlich Schleifmittelart, -größe, -verteilung, -bindung, -schichtung und/oder Bindungsstruktur kontinuierlich oder stufenweise variierenden Schleifbandaufbau aufweist. Hierdurch können mehrere Prozessstufen, z. B. Schrupp- und Schlichtprozesse, bei einer Maschineneinstellung realisiert werden. Nebenzeiten aufgrund von Werkstück- und Werkzeugwechsel lassen sich somit verringern.According to the invention the ability to use a sanding belt that over its tape length is one in terms of abrasive type, size, distribution, binding, stratification and / or binding structure continuously or stepwise varying abrasive belt construction. hereby Several process stages, eg. B. roughing and finishing processes, be realized at a machine setting. Nebenzeiten due From workpiece and tool changes can thus be reduced.

Durch Variation des vorstehend genannten Schleifbandaufbaus lassen sich Verbesserungen hinsichtlich des Bearbeitungsprozesses (Zerspanrate) sowie der Werkstückqualität (Formgenauigkeit, Werkstückrauheit und Oberflächenausbildung) erzielen.By Variation of the abovementioned abrasive belt structure can be Improvements regarding the machining process (cutting rate) as well the workpiece quality (shape accuracy, workpiece roughness and surface education).

Das erfindungsgemäße Maschinenkonzept kann alternativ zu der vorstehend beschriebenen Einträgerscheibenvariante auch als Zweiträgerscheibenvariante ausgeführt werden. Hierdurch wird dann eine Zweiseitenbearbeitung ohne zusätzliches Umspannen der Werkstücke ermöglicht.The inventive machine concept may alternatively to the Einträgerscheibenvariante described above also designed as a double-carrier disc variant become. This will then be a two-sided machining without additional Re-clamping of the workpieces allows.

In der Zeichnung ist eine als Beispiel dienende Ausführungsform der Erfindung schematisch dargestellt. Es zeigenIn The drawing is an exemplary embodiment of the invention shown schematically. Show it

1 eine Feinschleifmaschine in Seitenansicht; 1 a fine grinding machine in side view;

2 die Feinschleifmaschine gemäß 1 in Draufsicht und 2 the fine grinding machine according to 1 in plan view and

3 den Aufbau von sieben verschiedenen handelsüblichen Schleifbändern im Längsschnitt. 3 the construction of seven different commercial abrasive belts in longitudinal section.

Die 1 und 2 zeigen eine Feinschleifmaschine mit Läppkinematik und Schleifmittelvorschubsystem zur Plan- und Planparallelbearbeitung von Werkstücken.The 1 and 2 show a fine grinding machine with lapping kinematics and abrasive feed system for plan and plane parallel machining of workpieces.

Die dargestellte Feinschleifmaschine besteht im Wesentlichen aus einer Werkzeugträgerscheibe 1, die eine plangeschliffene Tragfläche aufweist und über einen durch einen Drehpfeil symbolisierten Antrieb 2 um eine senkrecht auf der Tragfläche stehende Scheibendrehachse 3 drehbar ist. Die Werkzeugträgerscheibe 1 ist über eine Antriebswelle 4 in einem Maschinengestell 5 drehbar gelagert.The illustrated fine grinding machine essentially consists of a tool carrier disk 1 , which has a plane ground wing and a symbolized by a rotary arrow drive 2 around a disk rotation axis perpendicular to the support surface 3 is rotatable. The tool carrier disk 1 is via a drive shaft 4 in a machine frame 5 rotatably mounted.

Vorgesehen ist ferner ein Schleifband 6, das kontinuierlich von einer abtriebsseitig an der Werkzeugträgerscheibe 1 gelagerten Schleifband-Abwickelrolle 7 abgezogen, gleitend über die Tragfläche der Werkzeugträgerscheibe 1 gezogen und von einer angetriebenen, antriebsseitig an der Werkzeugträgerscheibe 1 gelagerten Schleifband-Aufwickelrolle 8 aufgewickelt wird. Hierbei ist das Schleifband 6, dessen Vorschubrichtung durch Pfeile 9 gekennzeichnet ist, um Umlenkrollen 10 geführt.Also provided is an abrasive belt 6 , which is continuously from a driven side on the tool carrier disk 1 mounted abrasive belt unwinding 7 pulled off, sliding over the support surface of the tool carrier disc 1 pulled and driven by a, drive side of the tool carrier disc 1 mounted abrasive belt take-up roll 8th is wound up. Here is the sanding belt 6 whose feed direction is indicated by arrows 9 is characterized to pulleys 10 guided.

Die dargestellte Feinschleifmaschine weist ferner zwei Werkstückhalter 11 auf, die oberhalb von der Tragfläche der Werkzeugträgerscheibe 1 bzw. von dem Schleifband 6 angeordnet und drehbar um jeweils eine parallel zur Scheibendrehachse 3 liegende Werkstückdrehachse 12 gelagert sind. Jeder der beiden Werkstückhalter 11 weist einen Werkstückhaltering 13 sowie drei Aussparungen 14 zur spannungsfreien Aufnahme je eines Werkstückes 15 auf. Die Drehrichtung der Werkstückhalter 11 ist jeweils durch einen Pfeil 16 gekennzeichnet, der bei diesem Ausführungsbeispiel zugleich den für jeden Werkstückhalter 11 vorgesehenen Drehantrieb symbolisiert.The illustrated fine grinding machine also has two workpiece holders 11 on, which is above the support surface of the tool carrier disk 1 or from the sanding belt 6 arranged and rotatable about each one parallel to the disk axis of rotation 3 lying workpiece axis of rotation 12 are stored. Each of the two workpiece holders 11 has a workpiece retaining ring 13 as well as three recesses 14 for stress-free picking up of each workpiece 15 on. The direction of rotation of the workpiece holder 11 is each by an arrow 16 in this embodiment at the same time for each workpiece holder 11 provided rotary drive symbolizes.

Die Werkstücke 15 werden zur Reduktion ihrer Werkstückhöhe von einer Druckeinrichtung senkrecht zur Tragfläche der Werkzeugträgerscheibe 1 beaufschlagt, wobei diese Druckeinrichtung in dem dargestellten Ausführungsbeispiel durch eine Druckplatte 17 gebildet ist, die über ein Kugelgelenk 18 mit einem pneumatisch oder hydraulisch zu beaufschlagenden Druckkolben 19 verbunden ist. Die durch diese Druckeinrichtung auf das Werkstück 15 ausgeübte Schleifkraft ist mit einem Pfeil 20 gekennzeichnet.The workpieces 15 are used to reduce their workpiece height of a printing device perpendicular to the support surface of the tool carrier disk 1 acted upon, said pressure device in the illustrated embodiment by a pressure plate 17 is formed, which has a ball joint 18 with a pneumatically or hydraulically pressurized piston 19 connected is. The by this printing device on the workpiece 15 applied grinding force is with an arrow 20 characterized.

3 zeigt den Aufbau von sieben verschiedenen Schleifbändern. Abgesehen von der rechten oberen Darstellung ist die Unterlage des Schleifbandes jeweils mit dem Bezugszeichen 21 gekennzeichnet. In der linken oberen Darstellung sind gestreute Schleifkörner 22 in einem Grundbindemittel 23 und einem Deckbindemittel 24 gebunden. Bei dem mittleren oberen Beispiel ist das Schleifkorn 22 in ein Bindemittel 25 geschlämmt. Die rechte obere Darstellung zeigt ein galvanisch gebundenes Schleifkorn 22 in einer Nickelbildung 27 auf einem Kunstharzdeckbinder 28, der ein Deckgewebe 29 abdeckt. Die Unterlage besteht hier aus einem Kunstharzbinder 30 mit einem eingebetteten Trägergewebe 31. 3 shows the structure of seven different sanding belts. Apart from the upper right representation, the pad of the abrasive belt is denoted by the reference numeral 21 characterized. In the upper left illustration are scattered abrasive grains 22 in a basic binder 23 and a capping agent 24 bound. In the middle upper example, the abrasive grain is 22 in a binder 25 elutriated. The upper right illustration shows a galvanically bonded abrasive grain 22 in a nickel formation 27 on a Kunstharzdeckbinder 28 that is a cover fabric 29 covers. The base consists of a synthetic resin binder 30 with an embedded carrier fabric 31 ,

Die linke mittlere Darstellung zeigt ein Schleifkorn 22, ein Kornhohlkugelbindemittel 26, ein Deckbindemittel 24 und ein Grundbindemittel 23. Die rechte mittlere Darstellung zeigt ein Agglomerat/Granulat/Konglomerat in Form eines Schleifkorns 22, eines Deckbindemittels 24 und eines Grundbindemittels 23.The left middle illustration shows an abrasive grain 22 , a granular bead binder 26 , a capping agent 24 and a basic binder 23 , The right middle illustration shows an agglomerate / granule / conglomerate in the form of an abrasive grain 22 , a capping agent 24 and a basic binder 23 ,

Die beiden unteren Schleifbänder-Beispiele zeigen strukturierte Oberflächen, die jeweils durch ein Schleifkorn 22 mit einem Bindemittel 25 gebildet sind.The two lower sanding belt examples show textured surfaces, each by an abrasive grain 22 with a binder 25 are formed.

ZITATE ENTHALTEN IN DER BESCHREIBUNGQUOTES INCLUDE IN THE DESCRIPTION

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Zitierte PatentliteraturCited patent literature

- US 6068542 [0003] - US 6068542 [0003]
- DE 19736248 A1 [0004] DE 19736248 A1 [0004]
- DE 19928950 A1 [0004] - DE 19928950 A1 [0004]
- DD 220547 A1 [0004] - DD 220547 A1 [0004]

Claims

Feinschleifmaschine mit – einer Werkzeugträgerscheibe (1), die eine plan bearbeitete Tragfläche aufweist und über einen Antrieb (2) um eine senkrecht auf dieser Tragfläche stehende Scheibendrehachse (3) drehbar ist; – einem Schleifband (6), das während der Feinbearbeitung mit einer Vakuum- oder elektromagnetische Spannung zur Unterstützung der Haftung des Schleifbandes (6) auf der Tragfläche der Werkzeugträgerscheibe (1) kontinuierlich von einer abtriebsseitig an der Werkzeugträgerscheibe (1) gelagerten Schleifband-Abwickelrolle (7) abgezogen, gleitend über die Tragfläche der Werkzeugträgerscheibe (1) gezogen und von einer angetriebenen, antriebsseitig an der Werkzeugträgerscheibe (1) gelagerten Schleifband-Aufwickelrolle (8) aufgewickelt wird; – zumindest einem zur Aufnahme von zumindest einem Werkstück (15) ausgelegten Werkstückhalter (11), der oberhalb von der Tragfläche der Werkzeugträgerscheibe (1) oder von dem Schleifband (6) angeordnet und drehbar um eine parallel zur Scheibendrehachse (3) liegende Werkstückdrehachse (12) gelagert ist; und mit – einer das zumindest eine Werkstück (15) zur Reduktion seiner Werkstückhöhe senkrecht zur Tragfläche der Werkzeugträgerscheibe (1) beaufschlagenden Druckeinrichtung (17, 18, 19, 20).Fine grinding machine with - a tool carrier disk ( 1 ), which has a plan-machined wing and a drive ( 2 ) about a perpendicular to this support disc rotation axis ( 3 ) is rotatable; - a sanding belt ( 6 ), which during the finishing process with a vacuum or electromagnetic tension to support the adhesion of the abrasive belt ( 6 ) on the support surface of the tool carrier disc ( 1 ) continuously from an output side on the tool carrier disk ( 1 ) mounted abrasive belt unwinding roll ( 7 ), sliding over the support surface of the tool carrier disc ( 1 ) and driven by a driven, drive side of the tool carrier disc ( 1 ) mounted abrasive belt take-up roll ( 8th ) is wound up; At least one for receiving at least one workpiece ( 15 ) designed workpiece holder ( 11 ) located above the support surface of the tool carrier disk ( 1 ) or from the sanding belt ( 6 ) and rotatable about a parallel to the disc axis of rotation ( 3 ) lying workpiece axis ( 12 ) is stored; and with - one that at least one workpiece ( 15 ) for reducing its workpiece height perpendicular to the support surface of the tool carrier disc ( 1 ) pressurizing device ( 17 . 18 . 19 . 20 ).

Feinschleifmaschine nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die genannte Druckeinrichtung (17, 18, 19, 20) zur Reduktion der Werkstückhöhe kraftgebunden arbeitet, wobei der Schleifdruck pneumatisch, hydraulisch oder mittels Gewichtskraft über eine Druckplatte (17) auf das zumindest eine Werkstück (15) übertragen wird.Fine sanding machine according to claim 1, characterized in that said printing device ( 17 . 18 . 19 . 20 ) works to reduce the workpiece height force-bonded, wherein the grinding pressure pneumatically, hydraulically or by weight on a pressure plate ( 17 ) on the at least one workpiece ( 15 ) is transmitted.

Feinschleifmaschine nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, dass die genannte Druckplatte (17) über ein Kugelgelenk (18) mit einem Druckkolben (19) verbunden ist.Fine sanding machine according to claim 2, characterized in that said pressure plate ( 17 ) via a ball joint ( 18 ) with a pressure piston ( 19 ) connected is.

Feinschleifmaschine nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die genannte Druckeinrichtung zur Reduktion der Werkstückhöhe weggebunden, beispielsweise über ein Gewindespindel-Muttersystem arbeitet.Fine grinding machine according to claim 1, characterized in that that said printing device for reducing the workpiece height tied away, for example via a threaded spindle nut system is working.

Feinschleifmaschine nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass der zumindest eine Werkstückhalter (11) einen Werkstückhaltering (13) und zumindest eine Aussparung (14) zur spannungsfreien Aufnahme eines Werkstückes (15) aufweist.Fine grinding machine according to one of the preceding claims, characterized in that the at least one workpiece holder ( 11 ) a workpiece retaining ring ( 13 ) and at least one recess ( 14 ) for tension-free recording of a workpiece ( 15 ) having.

Feinschleifmaschine nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass der zumindest eine Werkstückhalter (11) einen eigenen Drehantrieb (16) aufweist.Fine grinding machine according to one of the preceding claims, characterized in that the at least one workpiece holder ( 11 ) a separate rotary drive ( 16 ) having.

Feinschleifmaschine nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, dass Drehzahlen und -richtungen der Antriebe (2, 16) für die Werkzeugträgerscheibe (1) und den Werkstückhalter (11) sowie die Vorschubgeschwindigkeit des Schleifbandes (6) unabhängig voneinander einstell- bzw. verstellbar sind.Fine grinding machine according to claim 6, characterized in that rotational speeds and directions of the drives ( 2 . 16 ) for the tool carrier disk ( 1 ) and the workpiece holder ( 11 ) as well as the feed rate of the sanding belt ( 6 ) are independently adjustable or adjustable.

Feinschleifmaschine nach Anspruch 5 dadurch gekennzeichnet, dass sich die Rotation des Werkstückhalteringes (13) durch Reibungskopplung mit dem Schleifband (6) einstellt.Fine grinding machine according to claim 5, characterized in that the rotation of the workpiece retaining ring ( 13 ) by frictional coupling with the abrasive belt ( 6 ).

Feinschleifmaschine nach einem der Ansprüche 5 bis 8 gekennzeichnet durch eine exzentrische Lagerung des Werkstückhalteringes (13).Fine grinding machine according to one of claims 5 to 8 characterized by an eccentric mounting of the workpiece retaining ring ( 13 ).

Feinschleifmaschine nach einem der vorhergehenden Ansprüche, gekennzeichnet durch einen die Werkzeugträgerscheibe (1) beaufschlagenden, ihr eine normal zu ihrer Tragfläche gerichtete mechanische Schwingbewegung verleitenden Aktor.Fine grinding machine according to one of the preceding claims, characterized by a tool carrier disk ( 1 ) acting on her, a normal to their wing directed mechanical swinging motion enticing actuator.

Feinschleifmaschine nach einem der vorhergehenden Ansprüche, gekennzeichnet durch eine die Schleifband-Abwickelrolle (7) beaufschlagende Lamellenbremse.Fine sanding machine according to one of the preceding claims, characterized by a sanding belt unwinding roll ( 7 ) acting slat brake.

Feinschleifmaschine nach einem der vorhergehenden Ansprüche, gekennzeichnet durch die Verwendung eines Schleifbandes (6), das über seine Bandlänge einen hinsichtlich Schleifmittelart, -größe, -verteilung, -bindung, -schichtung und/oder Bindungsstruktur kontinuierlich oder stufenweise variierenden Schleifbandaufbau aufweist.Fine sanding machine according to one of the preceding claims, characterized by the use of an abrasive belt ( 6 ), which over its strip length has a sanding belt structure which varies continuously or stepwise in terms of abrasive type, size, distribution, bonding, layering and / or bonding structure.