DE20208106U1 - Kühlgerät für Halbleiter mit mehreren Kühlzellen - Google Patents

Kühlgerät für Halbleiter mit mehreren Kühlzellen

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Claims (9)

1. Kühlgerät (1), insbesondere für die Flüssigkeits­ kühlung von Leistungshalbleitern, bei dem das ge­ kühlte Teil auf der Oberseite einer gekühlten Plat­ te angebracht ist, deren Unterseite durch eine Flüssigkeit gekühlt wird, die mit Hilfe eines Ver­ teilerelements an der gekühlten Platte entlang ge­ führt wird, und wobei der Flüssigkeitseinlaß und der Flüssigkeitsauslaß des Verteilerelements senk­ recht zur gekühlten Platte angebracht sind, dadurch gekennzeichnet, daß das Verteilerelement (4) in Zellen (7) unterteilt ist, daß jede Zelle senkrecht zur gekühlten Platte einen Flüssigkeitseinlaß und einen Flüssigkeitsauslaß hat und daß das Verteile­ relement (4) für jede gekühlte Platte mindestens zwei Zellen (7) hat.
2. Kühlgerät nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die der gekühlten Platte abgewandte Seite des Verteilerelements mit Trennwänden versehen ist, die sie in eine erste Kammer und eine zweite Kammer un­ terteilen, und daß die erste Kammer alle Flüssig­ keitseinlässe und die zweite Kammer alle Flüssig­ keitsauslässe mit einander verbindet, wenn das Ver­ teilerelement auf einer Bodenplatte montiert ist.
3. Kühlgerät nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekenn­ zeichnet, daß es mehr als ein solches Verteilerele­ ment aufweist und jedes Verteilerelement senkrecht zur gekühlten Platte angebracht ist.
4. Kühlgerät nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, daß die Flüssigkeitsströmung in je­ der Zelle entlang der gekühlten Platte turbulent ist.
5. Kühlgerät nach einem der Ansprüche 1 bis 4, dadurch gekennzeichnet, daß der Flüssigkeitsauslaß einer Zelle direkt neben dem Flüssigkeitseinlaß einer an­ deren Zelle liegt.
6. Kühlgerät nach einem der Ansprüche 1 bis 5, dadurch gekennzeichnet, daß die Größe der Bereiche, die je­ weils von einer Zelle abgedeckt sind, über das Ver­ teilerelement hinweg unterschiedlich ist.
7. Kühlgerät nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, daß die Bereiche, die jeweils von einer Zelle abge­ deckt sind, an den Rändern (12) des Verteilerele­ ments größer sind als in der Mitte des Verteilere­ lements.
8. Kühlgerät nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die gekühlte Platte aus einem Material mit niedrigem Wärmeleitwiderstand hergestellt ist.
9. Kühlgerät nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die gekühlte Platte durch Substrate gebildet ist, an denen die Halbleiter befestigt sind.
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R150 Term of protection extended to 6 years

Effective date: 20050617

R151 Term of protection extended to 8 years

Effective date: 20080616

R152 Term of protection extended to 10 years

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