DE20208106U1 - Kühlgerät für Halbleiter mit mehreren Kühlzellen - Google Patents
Kühlgerät für Halbleiter mit mehreren KühlzellenInfo
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- H01L23/46—Arrangements for cooling, heating, ventilating or temperature compensation ; Temperature sensing arrangements involving the transfer of heat by flowing fluids
- H01L23/473—Arrangements for cooling, heating, ventilating or temperature compensation ; Temperature sensing arrangements involving the transfer of heat by flowing fluids by flowing liquids
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Description
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Claims (9)
1. Kühlgerät (1), insbesondere für die Flüssigkeits
kühlung von Leistungshalbleitern, bei dem das ge
kühlte Teil auf der Oberseite einer gekühlten Plat
te angebracht ist, deren Unterseite durch eine
Flüssigkeit gekühlt wird, die mit Hilfe eines Ver
teilerelements an der gekühlten Platte entlang ge
führt wird, und wobei der Flüssigkeitseinlaß und
der Flüssigkeitsauslaß des Verteilerelements senk
recht zur gekühlten Platte angebracht sind, dadurch
gekennzeichnet, daß das Verteilerelement (4) in
Zellen (7) unterteilt ist, daß jede Zelle senkrecht
zur gekühlten Platte einen Flüssigkeitseinlaß und
einen Flüssigkeitsauslaß hat und daß das Verteile
relement (4) für jede gekühlte Platte mindestens
zwei Zellen (7) hat.
2. Kühlgerät nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet,
daß die der gekühlten Platte abgewandte Seite des
Verteilerelements mit Trennwänden versehen ist, die
sie in eine erste Kammer und eine zweite Kammer un
terteilen, und daß die erste Kammer alle Flüssig
keitseinlässe und die zweite Kammer alle Flüssig
keitsauslässe mit einander verbindet, wenn das Ver
teilerelement auf einer Bodenplatte montiert ist.
3. Kühlgerät nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekenn
zeichnet, daß es mehr als ein solches Verteilerele
ment aufweist und jedes Verteilerelement senkrecht
zur gekühlten Platte angebracht ist.
4. Kühlgerät nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch
gekennzeichnet, daß die Flüssigkeitsströmung in je
der Zelle entlang der gekühlten Platte turbulent
ist.
5. Kühlgerät nach einem der Ansprüche 1 bis 4, dadurch
gekennzeichnet, daß der Flüssigkeitsauslaß einer
Zelle direkt neben dem Flüssigkeitseinlaß einer an
deren Zelle liegt.
6. Kühlgerät nach einem der Ansprüche 1 bis 5, dadurch
gekennzeichnet, daß die Größe der Bereiche, die je
weils von einer Zelle abgedeckt sind, über das Ver
teilerelement hinweg unterschiedlich ist.
7. Kühlgerät nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet,
daß die Bereiche, die jeweils von einer Zelle abge
deckt sind, an den Rändern (12) des Verteilerele
ments größer sind als in der Mitte des Verteilere
lements.
8. Kühlgerät nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet,
daß die gekühlte Platte aus einem Material mit
niedrigem Wärmeleitwiderstand hergestellt ist.
9. Kühlgerät nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet,
daß die gekühlte Platte durch Substrate gebildet
ist, an denen die Halbleiter befestigt sind.
Priority Applications (1)
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---|---|---|---|
DE20208106U DE20208106U1 (de) | 2002-05-24 | 2002-05-24 | Kühlgerät für Halbleiter mit mehreren Kühlzellen |
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Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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DE20208106U DE20208106U1 (de) | 2002-05-24 | 2002-05-24 | Kühlgerät für Halbleiter mit mehreren Kühlzellen |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
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DE20208106U1 true DE20208106U1 (de) | 2002-10-10 |
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ID=7971469
Family Applications (1)
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DE20208106U Expired - Lifetime DE20208106U1 (de) | 2002-05-24 | 2002-05-24 | Kühlgerät für Halbleiter mit mehreren Kühlzellen |
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R207 | Utility model specification |
Effective date: 20021114 |
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R150 | Term of protection extended to 6 years |
Effective date: 20050617 |
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R151 | Term of protection extended to 8 years |
Effective date: 20080616 |
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R152 | Term of protection extended to 10 years |
Effective date: 20100609 |
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R071 | Expiry of right | ||
R071 | Expiry of right |