DE2000846A1 - Verfahren und Vorrichtung zum Schneiden eines Werkstueckes mit einem Laserstrahl - Google Patents

Verfahren und Vorrichtung zum Schneiden eines Werkstueckes mit einem Laserstrahl

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DE2000846A1
DE2000846A1 DE19702000846 DE2000846A DE2000846A1 DE 2000846 A1 DE2000846 A1 DE 2000846A1 DE 19702000846 DE19702000846 DE 19702000846 DE 2000846 A DE2000846 A DE 2000846A DE 2000846 A1 DE2000846 A1 DE 2000846A1
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Description

Dr. Ing. H. Negfmdar* 2 O O O Ö 4 6 DIpI. tng. H. Hauck Dip!. Phys. W.Stbmlb
•MVndwn 1f,M«arkir.23
f*L S J· WS*
National Research Development Corporation
Kingsgate House,
66-74 Victoria Street 9. Januar 1970
London. S.W. 1» England Anwaltsakte M-999
Verfahren und Vorrichtung zum Schneiden eines Werkstückes mit einem Laserstrahl
Die Erfindung betrifft ein Verfahren zum Schneiden eines Werkstückes, bei dem ein Laserstrahl auf das Werkstück gerlohtet wird und bei dem das Werkstück und der Laserstrahl relativ zueinander bewegt werden, so daß der Schnittpunkt des Laserstrahles mit dem Werkstück einer Bahn folgt, entlang der der Schnitt auf dem Werkstück gelegt wird. Die Erfindung betrifft insbesondere das Schneiden eines Werkstoffes mit Hilfe eines fokussierten Laserstrahles.
In der deutschen Patentanmeldung N 32 28a ist ein Verfahren zum Schneiden von Metallen mit Hilfe eines Laserstrahles beschrieben, bei dem ein Strahl aus einem exotherm reagierenden Gas (beispielsweise Sauerstoff) auf einen Punkt auf dem Werkstück gerichtet wird, auf den auch mit dem Laserstrahl gezielt wird. Um
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einen Schnitt in dem Werkstück zu machen, werden der Sauerstoff -strahl und der Laserstrahl zusammen über das Werkstück bewegt.Es hat sich gezeigt, dafl es vorteilhaft ist« den Sauerstoff auf das Werkstück aus einer Düse fließen zu lassen, durch die auch der Laserstrahl hindurchtritt.
Obwohl die vorliegende Erfindung auf ein Verfahren anwendbar ist, bei dem tin Metall durch einen Laser in Anwesenheit eines exotherm reagierenden Oases geschnitten wird, wird sie vorzugsweise beim Schneiden eines Materials angewendet, bei dem keine exotherme Reaktion zur Unterstützung des Lasers notwendig ist. Für einige dieser Werkstoffe ist es dennoch vorteilhaft, einen Luftstrom in den Bereioh des Schnittes flieSen zu lassen.
Bin Verfahren zum Schneiden eines Werkstückes mit einen Laserstrahl ist demnach gemäß der Erfindung dadurch gekennzeichnet, daβ zunächst eine Saugkammer in dem Strahlengang des Laserstrahles angeordnet wird, so da8 eine öffnung in der Kammer in dem Strahlengang liegt, daß das Werkstüok so angeordnet wird, daß der zu schneidende Teil bei der Saugkaamer zwischen dem Laserstrahl und der öffnung in der Saugkammer liegt, und daß, wenn der Laserstrahl das Werkstück schneidet, Luft oder ein anderes Oaa duroh die Schnittstolle und duroh die öffnung in der Saugkammer gezogen wird.
Wenn daher ein Werkstoff wie Tuch« Hüls oder Papier mit Hilfe eines Laserstrahles geschnitten wird, werden die Produkte der
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Verdampfung und die Dämpfe durch den Schnitt In die Kammer gesaugt. An dieser Stelle können sie durch einen Filter in der Saug-leitung entfernt werden. Dadurch wird die Verunreinigung aus der Atmosphäre entfernt, die andernfalls beim Schneiden solcher Werkstoffe äußerst nachteilig sind.
Bin zusätzlicher Vorteil» der beim Schneiden eines flexiblen Werkstoffes, beispielsweise Papier oder Tuch» der auf einer roetartlgen Unterlage getragen wird« erreicht wird, besteht darin, daß der Werkstoff unter der saugwirkung festgehalten und flach auf die Unterlage gedrückt wird, wobei dadurch die Heretellung { von Schnitten gleichbleibend guter Qualität gefördert wird. Ferner kann ein Laser, der ohne eine sich bewegende Düse, die Luft oder ein anderes benötigtes Gas bei dem Brennpunkt des Laserstrahle· auf das Werkstück richten soll, schneller und einfacher bewegt werden. FUr kleine Bewegungen des Strahles ist es nur notwendig, einen Spiegel in seinem Strahlengang auszulenken. Für gröflere Bewegungen werden ein Spiegel und eine Linse zwischen dem Laser und dem Werkstück zusasnen bewegt. Dies 1st Jedoch !■■er noch einfacher als einen Werkzeugkopf mit einer Verbindung für eine Qaszufuhr zu bewegen.
Bei Werkstoffen, die eine exotherme Reaktion für einen befriedigenden Schnitt benötigen, fceispiclsweise für Werkstücke aus .CfJfeahl, kann eine Sau· ret off atmosphäre Über.der gewünschten Sohnittlinie in einem Topf oder einer Haube erzeugt werden. Bin Gasstrom kann dann aufgrund der Saugwirkung von der darunterliegenden Kammer durch den Schnitt geführt werden, wobei dieser Gtas-
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strom jeglichen Schmutz mitnimmt, der eich beim Schneiden ergibt.
AusfUhrungebelspiele der Erfindung werden nun anhand der beiliegenden Zeichnungen beschrieben. Es zeigtt
Flg. 1 eine Vorrichtung zum Schneiden von nichtmetallischen! Werkstoff;
Flg. 2 ein Verfahren zum Bewegen des Spiegels von Flg. 1; Flg. 5 eine abgewandelte Ausführungsform der in Flg. 1
gezeigten Vorrichtung zum Schneiden eines Metalls, wobei die Anwesenheit von einem exotherm reagierenden Oas notwendig 1st;
Fig. 4 eine sich drehende Tragvorrichtung für das Werk-
stück] und
Fig. 5 sohematisch eine abgewandelte Aueführungsform, bei der der Laserstrahl βtationtr ist.
Der Laser 10 in Fig. 1 1st zwar vom Kohlandioxid-Stiokstoff-Heliun-Typ, es ist Jedoch zu beachten, daβ auth andere Lasertypen ebensogut verwendet werden können. Der gezeigte Laser hat eine Lunge von 10 Metern und eine Bohrung von 30 ma. Ks sind fünf Hohrabsohnitte vorgesehen, von denen nur zwei in dieser aoheaatieohen Darstellung gezeigt sind. Jeder Absohnitt hat
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seine eigenen Elektroden 12 und seine elektrische Stromquelle 14. Die Stromversorgung liefert 20 kV zum Zünden und 9 kV mit 45 mA, wenn der Laser läuft. Der Laserkörper hat einen vollständig reflektierenden konkaven Spiegel 18 aus oberflächenvergoldetem rostfreiem Stahl an einem Ende und eine ebene halbreflektierende German!umseheibe 20 an dem anderen Ende. Der konkave Spiqgpl 18 hat eine Weite von etwas »ehr als 10 Netern. Das fites» in dem die Entladung erzeugt wird« fließt in den Laserkörper durch den Einlaß 22 und fließt aus dem Laserkörper durch den Auslaß ab.
Wenn der Laser in Betrieb 1st, tritt ein im wesentlichen paralleler Strahl aus koherentem Licht aus dem Laser duroh die Scheibe aus.
Der auetretende Strahl 26 wird von einem aluminiumbeschichtetem Spiegel 28 durch eine Linse 30 auf ein Werkstück 32 reflektiert, das beispielsweise eine Tuchbahn sein kann. Das Werkstück wird auf einem Rost 34 getragen, der aus sohmalen Metallstreifen besteht, deren Kanten das zu schneidende Material abstutzen. Der * Rost 34 bildet die Oberseite einer Kammer 36, dl« duroh ein Absperrventil 38 mit einem Resirvebehälter 40 verbunden ist. Der Reservebehälter 40 steht Über einen Filter 42 mit einer Säugpumpe 44 in Verbindung, dl· von einem Motor 45 angetrieben wird. Bin« eohamotteohlcht 46 in d«r Kammer 36 absorbiert die Energie des Laserstrahles, die duroh die Sohnilfc* teile hindurch-tritt. Bin
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Ventil 48 ermöglicht es, daß die Kammer 36 gelüftet wird« wenn der SehneIdVorgang abgeechloesen 1st.
Vor einem SohneIdVorgang wird bei geschlossenem Ventil 48 und offenem Ventil 38 das Werkstück auf den Rost gelegt und die Kammer 36 durch die Pumpe evakuiert. Well der Schnitt schmal 1st» 1st ee während des Schneidvorganges verhältnismäßig einfach,die Kammer mit der notwendigen Geschwindigkeit abzupumpen. Da ferner nur der Laserstrahl über dem Werkstück bewegt werden muß,ist,es nunmehr einfacher, komplizierte Formen schnell zu schneiden.Wenn der gewünsohte Schnitt ausgeführt ist, wird das Absperrventil 38 geschlossen, so daß das Vakuum in dem Reservebehälttr 40 gehalten wird, wenn das Werkstück abgenommen wird. Bin neues Werkstück wird auf den Rost gelegt, das Absperrventil 38 geöffnet, die Kammer 36 evakuiert und der häohste SohneidVorgang beginnt.
Zusätzlich zu den oben erwähnten Werkstoffen kann auch Plastikwerkstoff und Leder mit befriedigendem Ergebnis naohdem erfindungegemäßen Verfahren geschnitten werden.
Flg. 2 zeigt sohematisoh ein Verfahren ium Bewegen des Spiegel· und der Linse, das dann befriedigend ist, wenn nur ein« begrenite Bewegung notwendig ist. Der Spiegel 28 ist auf einem Träger 50 befestigt, der in einer Kardanaufhängung 58 alt den Sohwenkiapftn 54 und 56 angeordnet ist, iln· Bteaarstange 58 ist an dem Träger 50 außerhalb der Achse der S@kt?@r a%ipfer< 54 und 56 befestigt.Sine Bewegung der ettutrsttng· fcwt^cte *?*%* Wi λ?^:* bewegung des Trägers 50 und 8
■t § S1 S O / ^ 2 11 '' OR'Q'NAL INSPECTfD
Wie oben erwähnt wurde, kann die Anordnung mit der Saugkammer auch bei einem Verfahren verwendet werden, bei dem ein exotherm reagierendes Gas verwendet wird, beispielsweise bei einem Schneidverfahren, indem Sauerstoff dazu benutzt wird, das Sohneiden einer Stahlkante durch einen Laserstrahl zu unterstützen. Die Saugkammer ist besonders vorteilhaft, wenn.ein schädliches exotherm^reagierendes aas, beispielsweise Chlorgas, verwendet werden mu8.
Fig. 3 zeigt eine abgewandelte Aueführungefora der in Fig. 1 gezeigten Vorrichtung, bei der eine ortsfeste Haube über der Saug- kammer 36 angeordnet ist. Eine metallisches Werkstück.32a verläuft zwischen der Kammer 36 und der Haube 6O auf einem Rost 3*. Dichtungen 62 zwischen dem Werkstück und der Haube und zwischen dem Werkstück und der Saugkammer sind an den Rändern der Haube und der Saugkammer vorgesehen. Die Haube 60 hat einen Abeohlufl 64, der zu einer Sauerstoff quelle führt. Ferner ist ein Fenster 66 vorgesehen, durch das der Laserstrahl 26 durchtreten kann.Der Spiegel 28 und die Linse 30 sind In der Haube auf einem Schlitten 68 angeordnet, der auf Schienen 70 durch einen Draht 72 bewegt werden kann, der Über ein Antriebsrad 74 und einen Motor 76 ' angetrieben wird. Dadurch kann der Laserstrahl Über das Werkstück in einer Richtung parallel zu den Schienen bewegt werden.
Wie bei der Vorrichtung naeh flg. 1 1st dl· Stugkammer 36 mit einem Absperrventil verbunden» Xn diesem FaXX ist das Absperrventil 38· ein Drelwegventll mit »inen Anschlug 78 zu der von der Haube 60 gebildeten Kammer. Wenn ein werkstück in stellung
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gebracht ist, wird das Absperrventil }8a so eingestellt, daß die Haube 60 mit Hilfe einer an die Leitung 80 angeschlossenen Pumpe evakuiert werden kann. Danach wird das Ventil 38a in seine Arbeits stellung gebracht, in der die Kammer 36 evakuiert wird. Ein Ventil 82 wird geöffnet, um die Haube 60 mit Sauerstoff zu füllen, und sodann beginnt der SehneidVorgang. Während dieses Vorgangs wird ein Sauerstoffatom durch den Unterdruck in der Kammer 36 durch den von dem Laser gemachten Schnitt gezogen. Mit Qewinden versehene Füße 84 gestatten eine vertikale Justierung der.Vorrichtung. Wenn der Schnitt, der gelegt werden soll, keine gerade Linie ist, kann das Werkstück in einer Richtung senkrecht zu der Zeichenebene bewegt werden.
Eine Pufferschicht aus nichtmetallischem Werkstoff kann vorteilhafterweise zwischen einem metallischen Werkstück und den Tragteilen des metallischen Rostes angeordnet werden, um eine übertragung von Metall von dem Werkstück auf den Rost zu verhindern.
Bei einer weiteren in Fig. 4 gezeigten Anordnung bildet der gitterartige Träger die Umfangsfläohe 85 eines drehbaen Teiles in der Form einer Trommel 86, deren Innenraum durch Wunde 88 in Segmente unterteilt ist. Die WMnde 88 haben einen Überzug 89 aus einem Keramikwerkstoff, der durch Zerstäuben niedergeschlagen ist. Während der Drehung der Trommel bewegt sich die UmfangsflMche fortschreitend durch die Arbeitsstellung unter dem Laserstrahl 26a. Bine ortsfeste Welle 90 hat auf einer Seite einen Ausschnitt, um ein« Kammer 92 zu bilden, die mit der Säugpumpe
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(nicht gezeigt) verbunden ist. Auf der anderen Seite der Welle ' 90 ist ein weiterer Ausschnitt angeordnet, der eir.e Kammer 9^ bildet, die zur Atmosphäre hin offen ist. Jedes Segment hat eine Mündung 96 an seiner inneren Wand. Es ist zu ersehen, daß jedes Segment bei einer Umdrehung durch die Mündung 96 und die Kammer 92 mit der Saugpumpe während einer solchen Zeitdauer verbunden ist, in der ein beliebiger Teil dieses Segmentes unter den Laserstrahl 26a nageordnet ist. Kurz nach dem die nachlaufende Kante des Segmentes sich aus der Arbeitsstellung bewegt hat, wird die Mündung 96 in Verbindung mit der Kammer 9^ gebracht und das Segment wird mit Luft gefüllt. Dadurch kann ein Werkstück 52b, das um die Trommel herum geführt worden ist, von dem Umfang der Trommel freigegeben werden. In diesem Ausführungsbeispiel sind die hitzebeständigen Schichten 46 in den Segmenten angeordnet und drehen sich mit den letzteren* Mit einem stationären Laserstrahl wird ein linearer Schnitt auf dem Werkstück ausgeführt, wobei Luft durch den Schnitt in das ArbeliEsegment der Trommel gezogen wird. Um ein Muster 211 schneiden, wird der Laserstrahl 26a in einer Richtung senkrecht su der Zelchenabene bewegt.
Bei der in Fig. 5 geaigten abgewandelten AuefUhrungeforai dar I Vorrichtung wird wahrend ubb SchneiHergangs« der ;iu schneid«nde
Werkstoff 32c kontinuierlich über «ine UriCsrlag^ >'f bswa^t* äie BR Oberteil einer kleinen vi-turenl^n 3ai.i;si<ürrwri#r ;:b';: !:-i.U:av .Dsr rahl 26s ist ο ben f a ^.';.·,: .; .■ -:< .:'■."■■■. &r ÄO ίΐΐίθϊ' einer ,'3Oh^Ii.'.:*, V ■ . ■■ :
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Schicht aus feuerbeständigem Werkstoff 46c an einer geeigneten Stelle. Zusätzlich ist eine Wasser-Kühlschlange 100 an ihrem Umfang vorgesehen, um einen Teil der in der Kammer entwickelten Wärme abzuführen.
In einigen Fällen, wenn Werkstoff wie Papier, Holz oder Stoff geschnitten wird, kann es erwünscht sein, zusätzlich einen Strahl von feinverteiltem Wasser in dem Bereich des Schnittes auf das Werkstück zu richten. Das trägt dazu bei, daß das Ankohlen der Kanten des Werkstückes bei dem Schnitt verhindert wird. Ferner ψ wird die anfallende Menge an Dämpfen und Schmutz vermindert, die abgeführt werden muß. Obwohl der Wasserstrahl in den Bereich des Schnittes gerichtet werden soll, muß er nicht in solch einem Maße lokalisiert sein, wie es für einen Gasstrom bei Fehlen einer Saugkammer notwendig wäre.
Es ist zu ersehen», das das erfindungegeaiäfl® Verfahren verhindert, daß sich die Produkte der Verdampfung (bei Werkstücken wie Holz« Tuch und Papier) durch de-n Schnitt naoh oben bewegen« und daher at wird die Ablagerung ditesr 8usss?;«ni*n ar den Hand der oberen Fläche bei dem Schnitt verhindert:. 1« hat; sich *©rn«r geneigt, daß nie auch nicht am H#>iu -Hv aruarsin JLäch· bti el«» Sonnifitt abgelagert werden* Eb --WYAnUv?* z\wh dis Verunreinigung 3«r Atmoiphär* iiioer i«m äühni ..·.: and «rückt -'.an Werkstoff, wem* β1·- ser flexibel isn, f,;.siv.-j •,.■.,ί:«ΐΐ r*-;..^ ynterl&g^·, Dl® IMterlage toilt® eo »·ν!.ί.,;;«ίΓ'1)ΐΑ'5 a- -ι. . - - V,, -»tni^r«: ^ Behinderung ftir Strahl und ^i^· ■-■ ■ . .-.. . ..■ -srtsoA;,, i-. )-<x . "If
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Strahles von der Schmottschicht oder einer anderen Bodenschicht verhindert wird.
Die Erfindung ist besonders vorteilhaft .zum feinen Schneiden mit einem gut fokussierten Laserstrahl, wenn beim Schneidvorgang ein Gas erforderlich ist, das exotherm mit dem Werkstück reagiert. Für feine Schnitte kann es schwierig sein, das exotherme Gas nach unten in die Schnittstelle hinein zu drücken, ein Sauerstoffluß kann jedoch einfacher erreicht werden, wenn eine Haube oder ein Behälter über der Schnittstelle mit Sauerstoff gefüllt ist (Big. 5) und wenn dieser Sauerstoff durch die Schnittstelle hindurchgesaugt wird.
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Claims (12)

  1. Patentansprüche
    ./Verfahren zum Schneiden eines Werkstückes, bei dem ein Laserstrahl auf das Werkstück gerichtet wird und bei dem das Werkstück und der Laserstrahl relativ zueinander bewegt werden,so daß der Schnittpunkt des Laserstrahles mit dem Werkstück einer Bahn folgt, entlang der der Schnitt auf dem Werkstück gelegt
    wird, dadurch gekennzeichnet, daß zunächst eine Saugkammer in dem Strahlengang des Laserstrahles angeordnet wird, so daß
    eine öffnung in der Kammer in dem Strahlengang liegt, daß das Werkstück so angeordnet wird, daß der zu schneidende Teil bei der Beugkammer zwischen dem Laserstrahl und der Öffnung in der Saugkamrcer liegt, und daß, wenn der Laserstrahl das Werkstück schneidet. Luft oder ein anderes Gas durch die Schnittstelle
    und durch die Öffnung in der Saugkammer gezogen wird.
  2. 2. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daβ da·
    Werkstück und die Saugkammer ortefest sind und der Laaer-
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    strahl sich gegenüber dem Werkstück und der Saugkammer bewegt, und daß das stationäre Werkstück von eine? die öffnung enthaltenden Seite der Saugkammer getragen wird, wobei diese Seite die Form eines Rostes hat.
  3. 3. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß das Werkstück und die Saugkammer ortsfest sind und der- Laserstrahl sich gegenüber dem Werkstück und der Saugkammer bewegt, und daß die S*ugkammer eine Seite aufweist, die als Träger für das Werkstück während dieser Bewegung dient, wobei diese Seite
    einen Schlitz aufweist, der sich entlang der- benötigten g
    Schnittlinie erstreckt.
  4. 4. Verfahrennach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß der Laserstrahl und die Saugkammer ortsfest sind und das Werkstück sich bewegt, so daß der Schnittpunkt des Laserstrahles mit dem Werkstück der Schnittlinie folgt.
  5. 5. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis kt dadurch gekennzeichnet, daß auf der Seite des Werkstückes, auf der der Laser liegt, und um den Punkt des Werkstückes, auf äen der Laserstrahl gerichtet ist, eine Atmosphäre aus einem Oaβ erzeugt wird, die im Hinblick auf das Material oea Werkstückes so gewählt ist, deö das Gas exotherm mit dem Werkstück reagiert, wobei, wenn der Schnitt ausgeführt wird,. da« Gas durch dan Sohr It S in die Kammer gezogen wird und exotherm mit dem Werkstück: 6iJi Durchgang durch dasselbe reagiert.
    0/127?
  6. 6. Verfahren nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, daß das Werkstück aus Metall besteht, und daß vor dem Schneidvorgang eine Puff er schicht aus nichtmetallischen! Material zwischen dem
    ■· metallischen Werkstück und der Katamer angeordnet wird.
  7. 7. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 4, dadurch gekennzeichnet, daß das Werkstück nichtmetallisch ist, und daß ein Strahl aus feinverteiltem flüssigen Kühlmittel auf das Werkstück in den Bereich des Schnittes von der Seite des Werkstückes aus gerichtet wird, auf der der Laser liegt.
  8. 8. Vorrichtung zur Durchführung dee Verfahrens nach Anspruch 1, gekennzeichnet durch einen Laser (10), eine Saugvorrichtung (45), eine mit der Saugvorrichtung in Verbindung stehende Kammer (36), die eine öffnung aufweist, die so engeordnet ist, daß sie in Bichtung eines von den: Laser ankommenden Strahles weist, und durch eine Pokussierungseinrichtung (30), die den Laserstrahl (26) auf ein Werkstück (32) fokussiert, das bei dem Saugkaramer (36) liagt.
  9. 9. Vorrichtung nach Anspruch 8·, gekennzeichnet durch eine Einrichtung zum Beweger, des Laserstrahles gegenüber dar Saugkammer (36) und einem Werkstück (32), das bei der Saugkammer (36) angeordnet ist, wobei die Seite der Saugkemmer (36), die dam Werkstück (32) zugewandt iefc, eine rostartige Vorrichtung (34) zur unterstützung Oes ^erkstUakee (32) wahrend des S ohne id vor ganges a ^ ;Vrl3u«
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  10. 10. Vorrichtung nach Anspruch 8, gekennzeichnet durch eine Einrichtung zur Bewegung des Lasers gegenüber der Saugkammer (36) und einem Werkstück (32), das bei einer Saugkammer (36) angeordnet ist, wobei die Seite der Saugkammer (36), die dem Werkstück (32) zugewandt ist, einen Schlitz entlang der benötigten Schnittlinie aufweist und die Seite als Unterlage für das Werkstück bei dem Schneidvorgang dient.
  11. 11. Vorrichtung nach Anspruch 8, dadurch gekennzeichnet, daß die Saugkamraer (36} die Form eines Topfes mit einer offenen Oberseite hat, und daß eine Einrichtung zum Bewegen des Werkstückes * gegenüber dem Laser und dem Saugtopf vorgesehen ist, so daß der Schnittpunkt zwischen dem Laserstrahl (26a) und dem Werkstück (32c) der benötigten Schnittlinie folgt*
  12. 12. Vorrichtung nach einem der krmpv'l^ie 8 ;rb; 1I3 dadurch gekennzeichnet, daß ein Reservebehälter (40) 2w U-Oh^n de^ Saugvorrichtung (45) und der Kaasmer (36) vorgesehen ist, und üa£ ein Absperrventil (38) zw,".sahen der Reservekarmner und der Kammer
    (36) vorgesehen ist, um <3as Vakuum in üev fUiservakammer (4ü) ä zu halten, wenn, ein geschnittenes Werks tu ^k vcv). der Unterlage abgenommen wird.
    13» Vorrichtung neeh Anspr^di 9* gskermzex umx'c äuiv-b ;Μ.ηβη dreh- - bar«nTD9il (86)»· dessen Innenraum in SügmntQ imterv.ei'i." 1st, von d<an«n Jsdes ein· Saugkammer bj.ld-at.. du^cn eino ivinriortung zum Drehen des drehbaren Teiles (66), um ui-a !Tsifftrsigsfläeha je» des Segaientee der Reih*? nach in den S
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    Strahles (26a) zu bringen, und durch eine ortsfeste Einrichtung zur Verbindung der Saugeinrichtung der Reihe nach mit jeder Saugkammer, während sich der drehbare Teil (86) dreht, wobei ein partielles Vakuum der Reihe nach in Jeder Segmentkammer aufgebaut wird, während sie sich ihrem Schnittpunkt mit
    dem Strahlengang des Laserstrahles nähert.
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