DE19921766C1 - Röntgenbildverstärker und Verfahren zu seiner Herstellung - Google Patents
Röntgenbildverstärker und Verfahren zu seiner HerstellungInfo
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Abstract
Röntgenbildverstärker mit einer Vakuumhülle, in der eine Gettereinrichtung vorgesehen ist, wobei eine flächenartig ausgebildete und einen Träger (8) mit darauf aufgebrachtem Gettermaterial (9) umfassende Gettereinrichtung (7) vorgesehen ist, die nahe der Hülleninnenwand angeordnet ist.
Description
Die Erfindung betrifft einen Röntgenbildverstärker, mit einer
Vakuumhülle, in der eine Gettereinrichtung vorgesehen ist,
sowie ein Verfahren zu seiner Herstellung.
Solche Röntgenbildverstärker dienen in Verbindung mit einer
Röntgenstrahlenquelle zur Aufnahme von Röntgenbildern eines
Objekts, beispielsweise im Rahmen medizinischer Anwendungen
eines Patienten. Mit dem Röntgenbildverstärker werden die das
Objekt durchdringenden Strahlen empfangen und zu einem wei
terverarbeitbaren Bild gewandelt. Der Röntgenbildverstärker
selbst besteht aus einer geschlossenen Vakuumhülle, in der
neben einer Elektronenoptik zum Bündeln und Fokussieren der
am Eingangsleuchtschirm austretenden Elektronen, die durch
die am Eingangsleuchtschirm einfallende Röntgenstrahlung er
zeugt werden, einer Anode und einem nahe dieser angeordneten
Ausgangsleuchtschirm, auf welchem die auftreffenden Elektro
nen in ein sichtbares Bild gewandelt werden, auch eine Get
tereinrichtung angeordnet ist, um das im Inneren des Röntgen
bildverstärkers herrschende Hoch- bis Ultrahochvakuum erzeu
gen und aufrechterhalten zu können. Eine solche Getterein
richtung fängt frei werdende Elemente ein, die beispielsweise
aufgrund eines ungewollten Elektronenbeschusses der Hüllenin
nenwand oder aufgrund eines Ausgasungsprozesses erzeugt wer
den und das Vakuum verschlechtern würden, und bindet diese.
Bei bekannten Röntgenbildverstärkern werden diese Getter zum
einen durch Verdampfen eines Gettermaterials, welches sich
dann großflächig auf der Hülleninnenwand abscheidet, erzeugt
(vgl. dazu z. B. die US-PS 4 489 251). Zum anderen ist es be
kannt (vgl. die US-PS 5 563 407), eine Gettereinrichtung bei
spielsweise in Form einer kleinen Vakuumpumpe mit einzuset
zen, die als separates Bauteil im Inneren der Vakuumhülle an
geordnet wird. Mit der zunehmenden Miniaturisierung der Rönt
genbildverstärker ergeben sich jedoch Schwierigkeiten, eine
Gettereinrichtung anzubringen bzw. zu erzeugen, da ein Auf
dampfen nicht immer möglich ist, zum anderen ist häufig das
Platzangebot zur Installation der Vakuumpumpe mit der Getter
material-Perle, die darüber hinaus aufgrund ihrer Größe für
die Elektronenbewegung hinderlich sein kann, nicht ausrei
chend. Mitunter wird versucht (vgl. US-PS 5 563 407), diese
in einen vom Hüllenkörper abstehenden Flansch zu integrieren,
was aber einen schlechten Leitwert und damit eine schlechte
Pumpleistung zur Folge hat.
Der Erfindung liegt damit das Problem zugrunde, einen Rönt
genbildverstärker, dessen Gettereinrichtung bei einfacher
Anbringbarkeit im Inneren der Vakuumhülle auch bei kleinen
Bildverstärkern ein hinreichend hohes Pumpvermögen aufweist,
sowie ein Verfahren zu dessen Herstellung anzugeben.
Zur Lösung dieses Problems ist bei einem Röntgenbildverstär
ker der eingangs genannten Art erfindungsgemäß vorgesehen,
dass eine flächenartig ausgebildete und einen Träger mit dar
auf aufgebrachtem Gettermaterial umfassende Gettereinrichtung
vorgesehen ist, die nahe der Hülleninnenwand angeordnet ist.
Beim erfindungsgemäßen Röntgenbildverstärker kommt eine ein
separates vorgefertigtes Bauteil bildende Gettereinrichtung
in Form eines beispielsweise streifenartigen Stückes beste
hend aus einem entsprechenden Träger, vorzugsweise einem Me
tallträger, beispielsweise aus Nickel bzw. Nickellegierungen
oder Titan, und einem darauf aufgebrachten Gettermaterial zum
Einsatz. Diese sehr dünne, und infolge der flächenartigen
Ausbildung auch entsprechend großflächig dimensionierbare
Gettereinrichtung ist nahe der Hülleninnenwand angeordnet, so
dass sie sich nur unwesentlich ins Hülleninnere hineiner
streckt. Neben einer einfachen Montierbarkeit dieser separa
ten Gettereinrichtung (es ist kein umständliches Aufdampfen
erforderlich) auch in sehr kleinen Verstärkern besitzt die
Gettereinrichtung infolge ihrer flächenartigen Ausbildung
auch ein hinreichend hohes Pumpvermögen, so dass das Vakuum
eingestellt und aufrechterhalten werden kann. Besonders
zweckmäßig ist es, wenn die Gettereinrichtung im anodennahen
Bereich der Vakuumhülle vorgesehen ist. Diese kann im Falle
eines die Vakuumhülle bildenden Glaskolbens aus Glas sein,
daneben kann der anodennahe Bereich der Vakuumhülle auch mit
tels eines Keramikteils, an dem sich ein den weiteren Hüllen
körper bildendes Metallteil anschließt, gebildet sein.
Nach einer ersten Erfindungsausgestaltung kann die Getterein
richtung an die Vakuumhülle angeschraubt sein. Im Bereich der
Vakuumhülle, bevorzugt im Bereich eines etwa vorhandenen
Keramikbauteils sind in diesem Fall entsprechende Sacklöcher
vorgesehen, in die geeignete Schrauben zum Haltern der Get
tereinrichtung eingeschraubt werden können. Zweckmäßig ist
es, wenn zwischen der Innenwand der Vakuumhülle und dem Trä
ger der Gettereinrichtung eine den Wärmekontakt verbessernde
Schicht vorgesehen sein kann, wofür eine Leitsilberschicht
oder eine Polyimidschicht vorgesehen sein kann. Die Leitsil
berschicht sorgt zusätzlich für eine elektrische Leitfähig
keit zwischen dem metallischen Träger der Gettereinrichtung
und der Vakuumgefäßwand, sofern die Gettereinrichtung im Be
reich des Metallkörpers des Bildverstärkers vorgesehen ist.
Die Polyimidschicht stellt demgegenüber eine Isolations
schicht dar. Zur Verbesserung der Halterung der Getterein
richtung ist es zweckmäßig, wenn diese unter mechanischer
Vorspannung angeschraubt ist.
Alternativ zum Anschrauben kann die Gettereinrichtung an der
Vakuumhülle auch angeklebt sein, wobei als Kleberschicht eine
Leitsilberschicht oder eine Polyimidschicht verwendet werden
kann. Beide haben darüber hinaus auch den Wärmekontakt ver
bessernde Eigenschaften. Selbstverständlich sind auch andere
Klebemittel denkbar. Das jeweils eingesetzte Klebemittel ist
danach zu wählen, welche Materialien zu verbinden sind und
welche Temperaturobergrenzen, die beim Ausheizen und Aktivie
ren der Gettereinrichtung erreicht werden, zulässig sind.
Pastöses Leitsilber ist universell einsetzbar, insbesondere
auf Glas-Keramik- und Metallunterlagen oder zur Verbindung
dieser Materialien untereinander. Im Falle des Polyimids wird
ein Polyimidlack auf Basis einer Polyimid-Carbonsäure verwen
det, welcher nach Aufbringen durch eine Temperaturbehandlung
zwischen bevorzugt 360°C und 420°C unter Vakuum oder N2-Spü
lung zu einem vakuumfesten Polyimid reagiert. Die Befestigung
der Gettereinrichtung ist in den genannten Fällen besonders
einfach, da diese lediglich auf die noch nicht durchgetrock
nete Klebemittelschicht gelegt wird, dort anhaftet und nach
Aushärten der Schicht fest mit dieser verbunden ist.
Eine weitere Alternative sieht vor, dass die Gettereinrich
tung mittels einer einbrennbaren Haftschicht auf die Vakuum
hülle aufgebracht ist, wobei die einbrennbare Haftschicht be
vorzugt eine Schicht auf Chromoxid-Basis ist. Eine solche
Chromoxid-Schicht kommt im Röntgenbildverstärker im anoden
nahen Bereich als hochohmiger Gleitpotentialwiderstand zwi
schen zwei Hochspannungselektroden der Elektronenoptik des
Bildverstärkers zum Einsatz. Auch in diesem Fall ist die Get
tereinrichtung lediglich auf die feuchte Haftschicht zu
legen, während des Einbrennens der Haftschicht verbindet sich
diese fest mit dem Träger der Gettereinrichtung.
Eine weitere Alternative sieht vor, die Gettereinrichtung
mittels einer Lotverbindung zu befestigen, das heißt, der
metallische Träger wird an die Innenwand der Vakuumhülle an
gelötet. Auch ein Anschweißen ist denkbar.
Wie beschrieben ist es erforderlich, die Gettereinrichtung
zur Aktivierung auszuheizen. Um dies auf einfache Weise be
werkstelligen zu können kann vorgesehen sein, dass mit der
Gettereinrichtung, insbesondere deren Träger ein aus der
Vakuumhülle herausgeführter Heizdraht verbunden ist, der
durch entsprechende Vakuumdurchführungen nach außen tritt und
über welchen die Gettereinrichtung geheizt werden kann.
Alternativ hierzu kann vorgesehen sein, dass an der Außenwand
der Vakuumhülle, der Gettereinrichtung gegenüberliegend ein
Wärmeübertragungsteil angeordnet ist. Dieses Wärmeübertra
gungsteil, beispielsweise ein hinreichend dimensionierter
Kupferblock kann beispielsweise mittels eines Lasers geheizt
werden, auch die direkte Anbringung einer Wärmequelle, insbe
sondere eines Heizelements am Wärmeübertragungsteil ist denk
bar. Daneben ist es aber selbstverständlich auch möglich, die
Außenseite der Vakuumhülle direkt zu heizen, beispielsweise
mittels herumgelegter Heizbänder oder dergleichen, auch hier
wird eine hinreichende Erwärmung der Gettereinrichtung er
wirkt. Im Falle der Anbringung der Gettereinrichtung im Be
reich eines einen Teil der Vakuumhülle bildenden Keramikteils
ist die Erwärmung besonders einfach mittels Mikrowellen, die
durch die Keramik hindurchtreten, möglich. Entsprechendes
gilt auch für eine gläserne Vakuumhülle.
Schließlich sieht eine weitere Erfindungsausgestaltung vor,
dass die Gettereinrichtung an einem Wärmeübertragerteil ange
ordnet ist, welches in eine Öffnung in der Vakuumhülle einge
setzt und mittels einer Lot- oder Schweißverbindung an der
Vakuumhülle befestigt ist. In diesem Fall ist also das Wärme
übertragungsteil fest mit der Gettereinrichtung beispiels
weise mittels einer Klebe-, Lot- oder Schweißverbindung ver
bunden. Dieses Kombinationselement wird in eine entsprechende
Öffnung der Vakuumhülle so eingesetzt, dass die Getterein
richtung nur unwesentlich über die Wandfläche hinaussteht,
die Befestigung erfolgt durch Anlöten oder Anschweißen des
Wärmeübertragerteils an der Außenwand der Vakuumhülle.
Neben dem Röntgenbildverstärker selbst betrifft die Erfindung
ferner ein Verfahren zur Herstellung eines Röntgenbildver
stärkers, welcher eine Vakuumhülle mit darin angeordneter
Gettereinrichtung umfasst. Dieses Verfahren zeichnet sich er
findungsgemäß dadurch aus, dass eine flächenartige, einen
Träger mit darauf aufgebrachtem Gettermaterial umfassende
Gettereinrichtung in einer Position nahe der Innenwand der
Vakuumhülle angeordnet wird, wonach die vakuumdicht geschlos
sene Vakuumhülle evakuiert und die Gettereinrichtung durch
Zufuhr von Energie erwärmt wird. Weitere zweckmäßige Ausge
staltungen des erfindungsgemäßen Verfahrens sind den abhängi
gen Unteransprüchen zu entnehmen.
Weitere Vorteile und Einzelheiten der Erfindung ergeben sich
aus den im folgenden beschriebenen Ausführungsbeispielen
sowie anhand der Zeichnungen. Dabei zeigen:
Fig. 1 eine Schnittansicht durch einen Teil eines Röntgen
bildverstärkers,
Fig. 2 eine Prinzipskizze zur Darstellung des Anschraubens
der Gettereinrichtung, und
Fig. 3 eine Prinzipskizze zur Darstellung der Anbringung
einer Gettereinrichtung im Bereich einer Hüllenöff
nung.
Fig. 1 zeigt in einer Teilansicht einen erfindungsgemäßen
Röntgenbildverstärker 1, der im gezeigten Ausführungsbeispiel
aus einem Keramikteil 2, an dessen unteren Bereich die Anode
3 sowie der Ausgangsleuchtschirm 4 vorgesehen ist, sowie ei
nem metallischen Hüllenteil 5 besteht. Das Keramikteil 2 und
das Metallteil 5 zusammen bilden die Vakuumhülle 6. An der
Innenwand des Keramikteils 2 ist, im gezeigten Beispiel
einander gegenüberliegend, hier eine Gettereinrichtung 7 be
stehend aus einem Träger 8 und dem auf den Träger 8 aufge
brachten Gettermaterial 9 angeordnet. Das Gettermaterial kann
z. B. aus ca. 84% Zr und ca. 16% Al oder ca. 70% Zr, ca.
24,6% V und ca. 5,4% Fe bestehen. Es kann auf den Träger
unter hohem Druck aufgepresst oder (gegebenenfalls unter Ti-
Pulver-Zumischung) aufgesintert sein. Als Trägermaterial kann
unmagnetisches Konstantan oder vernickeltes Fe verwendet wer
den, auf das das Gettermaterial aufgepresst wird. Zum Aufsin
tern kann ein Träger aus Nichrom, Nicrofer oder Titan verwen
det werden. Auch Gettermaterialien auf Basis von Ba oder Ti
sind verwendbar. Die Gettereinrichtung 7 stellt ein separa
tes, vorgefertigtes Bauteil dar, welches flächig ausgebildet
ist und beispielsweise die Form eines Streifens besitzt. Die
Gettereinrichtung 7 ist mittels einer Schicht 10 an der
Innenwand befestigt. Bei dieser Schicht 10 kann es sich zum
einen um eine Klebeschicht handeln, das heißt, die Getterein
richtung 7 ist aufgeklebt. Hierzu kann eine Schicht aus Leit
silber verwendet werden. Leitsilberpasten sind universell
einsetzbar, insbesondere auf Glas-, Keramik- und Metallunter
lagen oder zur Verbindung dieser Materialien untereinander.
Zu bevorzugen sind Pasten mit einem lufttrocknenden Lack als
Trägersubstanz. Die Paste wird beispielsweise einfachst mit
tels eines Pinsels aufgetragen. Sofern es die Geometrie des
Teils, auf das die Paste aufzubringen ist, zulässt, ist auch
ein Aufbringen mittels Siebdrucktechnik möglich. Die Get
tereinrichtung 7 wird zur Montage einfach auf die frisch auf
gestrichene oder leicht angetrocknete Leitsilberschicht auf
gelegt. Im Trocknungs- bzw. Heizprozess zum Ausheizen des
Bildverstärkers und zur Aktivierung der Gettereinrichtung er
folgt die Haftvermittlung zwischen Gettereinrichtung 7 und
der Innenwand. Im Rahmen des Ausheizens gast auch die Leit
silberschicht aus.
Anstelle von Leitsilber kann es sich bei der Schicht 10 auch
um eine Polyimidschicht handeln, die - im Vergleich zur elek
trisch leitfähigen Leitsilberschicht - ein Isolator ist. Auch
hier kann der Auftrag mittels eines Pinsels erfolgen. Aus
gangsprodukt für das Polyimid kann beispielsweise eine Polyi
mid-Carbonsäure sein, die vollständig zu einem vakuumfesten
Polyimid im Rahmen einer Temperaturbehandlung beispielsweise
zwischen 360°C und 420°C unter Vakuum oder N2-Spülung
reagiert. Die Temperaturbelastbarkeit, während der Aktivie
rung der Gettereinrichtung, beträgt in diesem Fall ca. 500-
600°C. Vorzugsweise erfolgt die Imidisierung in Verbindung
mit der Getteraktivierung oder unmittelbar nach Abschluss
derselben. Polyimid eignet sich für die Verbindung sehr un
terschiedlicher Materialien, also auch für Metall-Keramik
oder Metall-Glas-Verbindungen. Es ist insbesondere auch dann
einzusetzen, wenn die thermischen Ausdehnungskoeffizienten
zwischen dem Träger der Gettereinrichtung und dem Material
der Hülle deutlich unterschiedlich sind.
Schließlich kann es sich bei der Schicht 10 auch um eine Ein
brennhaftschicht auf Chromoxid-Basis handeln. Im Röntgenbild
verstärker kommt im anodennahen Bereich zwischen der Elek
trode 13 der Elektronenoptik und der Anode 3 eine Chromoxid-
Schicht zum Einsatz, die dazu dient, statische Aufladungen in
diesem Bereich zu verhindern und eine gleichmäßige stabile
Stufung der Potentialdifferenz zwischen Elektrode und Anode
zu gewährleisten. Die Chromoxid-Schicht wird durch Aufstrei
chen einer Paste hergestellt. Zur Befestigung der Getterein
richtung wird diese auf die noch feuchte Paste aufgelegt, wo
nach die Paste bei einer Temperatur von 120-300°C vakuum
fest eingebrannt wird. Dabei verbindet sich die Haftschicht
fest mit dem Träger. Bevorzugt werden die Einbrenntemperatur
und die Getteraktvierungstemperatur aufeinander abgestimmt
bzw. es wird ein passendes Gettermaterial mit einer Aktivie
rungstemperatur oberhalb der Einbrenntemperatur gewählt.
Wie Fig. 1 ferner zeigt, können mit der Gettereinrichtung 7
bzw. deren Träger 8 Heizdrähte 11, in Fig. 1 nur gestrichelt
gezeigt, verbunden sein, über welche die Gettereinrichtung 7
zur Aktivierung erwärmt werden kann. Die Heizdrähte 11 sind
durch entsprechende Vakuumdurchführungen nach außen geführt.
Alternativ hierzu bietet sich die Möglichkeit (wie in Fig. 1
rechts dargestellt), an der Außenseite des Keramikkörpers 2,
der Gettereinrichtung 7 gegenüberliegend, ein Wärmeübertra
gungsteil 12 beispielsweise in Form eines Kupferblocks zu be
festigen und dieses zu heizen (wozu z. B. ein Heizelement 21
am Wärmeübertragungsteil 12 angeordnet sein kann, wie in Fig.
1 gestrichelt gezeigt), worüber dann auch die Gettereinrich
tung 7 erwärmt wird. Alternativ hierzu besteht natürlich die
Möglichkeit, durch Umlegen von Heizbändern oder direktes An
bringen eines Heizelements an der Außenwand die Erwärmung
vorzunehmen. Insbesondere im Falle eines Keramikteils 2 bie
tet sich die vorteilhafte Möglichkeit, die Hüllenwand auch
direkt mittels eines Laserstrahls oder mittels Mikrowellen zu
erwärmen.
Fig. 2 zeigt eine weitere Möglichkeit der Befestigung der
Gettereinrichtung 7. In diesem Beispiel wird die Getterein
richtung 7 mittels zweier Befestigungsschrauben 14, die in
entsprechende Sacklöcher 15 der Vakuumhülle, hier beispiels
weise des Keramikteils 2, eingeschraubt werden. Ersichtlich
wird die Gettereinrichtung 7 unter Vorspannung eingeschraubt,
sie ist leicht vorgebogen. Unterhalb der Gettereinrichtung 7
ist eine den Wärmekontakt zum Keramikteil 2 verbessernde
Schicht 16 vorgesehen, auch hier kann es sich beispielsweise
um eine Leitsilberschicht handeln.
Schließlich zeigt Fig. 3 eine weitere Möglichkeit der Anord
nung der Gettereinrichtung 7. Diese ist in diesem Fall mit
ihrem Träger 8 über eine Verbindungsschicht 17 fest mit einem
Wärmeübertragungsteil 18 verbunden, so dass eine separate
Einheit gebildet ist. Diese Einheit ist in eine Öffnung 19 in
der Vakuumhülle, hier beispielsweise des Metallteils 5, ein
gesetzt. Die Größe der Öffnung entspricht der Größe dieser
Einheit bzw. zumindest der Größe des Wärmeübertragerteils 18,
sofern die Gettereinrichtung 7 etwas kleiner als dieses ist.
Die komplette Einheit wird so weit in die Öffnung 19 hinein
geschoben, bis die Gettereinrichtung 7 etwas über die Innen
wand hinaussteht. Anschließend wird das Wärmeübertragungsteil
18 mittels einer Lot- oder Schweißnaht 20 an der Außenwand
befestigt. Wie Fig. 3 ferner zu entnehmen ist, kann an dem
Wärmeübertragungsteil 18 eine Wärmequelle 21 angeordnet sein,
diese ist nur gestrichelt gezeichnet. Alternativ kann das
Übertragungsteil 18 auch beispielsweise mittels eines Lasers
oder anderweitige Heizelemente in Form von Heizbändern oder
dergleichen erwärmt werden.
Claims (31)
1. Röntgenbildverstärker, mit einer Vakuumhülle, in der
eine Gettereinrichtung vorgesehen ist, dadurch
gekennzeichnet, dass eine flächenartig aus
gebildet und einen Träger (8) mit darauf aufgebrachtem Get
termaterial (9) umfassende Gettereinrichtung (7) vorgesehen
ist, die nahe der Hülleninnenwand angeordnet ist.
2. Röntgenbildverstärker nach Anspruch 1, dadurch
gekennzeichnet, dass die Gettereinrichtung
(7) im anodennahen Bereich der Vakuumhülle (6) vorgesehen
ist.
3. Röntgenbildverstärker nach Anspruch 1 oder 2, da
durch gekennzeichnet, dass die Get
tereinrichtung (7) an die Vakuumhülle (6) angeschraubt ist.
4. Röntgenbildverstärker nach Anspruch 3, dadurch
gekennzeichnet, dass zwischen der Innenwand
der Vakuumhülle (6) und dem Träger (8) der Gettereinrichtung
(7) eine den Wärmekontakt verbessernde Schicht (16) vorgese
hen ist.
5. Röntgenbildverstärker nach Anspruch 4, dadurch
gekennzeichnet, dass als die den Wärmekon
takt verbessernde Schicht (16) eine Leitsilberschicht oder
eine Polyimidschicht vorgesehen ist.
6. Röntgenbildverstärker nach einem der Ansprüche 3 bis 5,
dadurch gekennzeichnet, dass die
Gettereinrichtung (7) unter mechanischer Vorspannung ange
schraubt ist.
7. Röntgenbildverstärker nach Anspruch 1 oder 2, da
durch gekennzeichnet, dass die
Gettereinrichtung (7) an der Vakuumhülle (6) angeklebt ist.
8. Röntgenbildverstärker nach Anspruch 7, dadurch
gekennzeichnet, dass die Gettereinrichtung
(7) mittels einer Leitsilberschicht (10) angeklebt ist.
9. Röntgenbildverstärker nach Anspruch 7, dadurch
gekennzeichnet, dass die Gettereinrichtung
(7) mittels einer Polyimidschicht (10) angeklebt ist.
10. Röntgenbildverstärker nach Anspruch 1 oder 2, da
durch gekennzeichnet, dass die
Gettereinrichtung (7) mittels einer eingebrannten Haftschicht
(10) auf die Vakuumhülle (6) angebracht ist.
11. Röntgenbildverstärker nach Anspruch 10, dadurch
gekennzeichnet, dass die Haftschicht (10)
eine Schicht auf Chromoxid-Basis ist.
12. Röntgenbildverstärker nach Anspruch 1 oder 2, da
durch gekennzeichnet, dass die
Gettereinrichtung mittels einer Lot- oder Schweißverbindung
befestigt ist.
13. Röntgenbildverstärker nach einem der vorangehenden An
sprüche, dadurch gekennzeichnet,
dass mit der Gettereinrichtung (7), insbesondere deren Träger
(8) ein aus der Vakuumhülle (6) herausgeführter Heizdraht
(11) verbunden ist.
14. Röntgenbildverstärker nach einem der Ansprüche 1 bis 12,
dadurch gekennzeichnet, dass an
der Außenwand der Vakuumhülle (6), der Gettereinrichtung (7)
gegenüberliegend ein Wärmeübertragungsteil (12) angeordnet
ist.
15. Röntgenbildverstärker nach Anspruch 14, dadurch
gekennzeichnet, dass am
Wärmeübertragungsteil (12) eine Wärmequelle (21), insbeson
dere ein Heizelement angeordnet oder anbringbar ist.
16. Röntgenbildverstärker nach einem der Ansprüche 1 oder 2,
dadurch gekennzeichnet, dass die
Gettereinrichtung (7) an einem Wärmeübertragerteil (18)
angeordnet ist, welches in eine Öffnung (19) in der Vakuum
hülle (6) eingesetzt und mittels einer Lot- oder Schweißver
bindung (20) an der Vakuumhülle (6) befestigt ist.
17. Röntgenbildverstärker nach Anspruch 16, dadurch
gekennzeichnet, dass die Gettereinrichtung
(7) am Wärmeübertragungsteil (18) mittels einer Klebe-, Lot-
oder Schweißverbindung befestigt ist.
18. Röntgenbildverstärker nach Anspruch 16 oder 17, da
durch gekennzeichnet, dass am
Wärmeübertragungsteil (18) eine Wärmequelle (21), insbeson
dere ein Heizelement angeordnet oder anbringbar ist.
19. Verfahren zur Herstellung eines Röntgenbildverstärkers
nach einem der vorangehenden Ansprüche, welcher eine Vakuum
hülle mit darin angeordneter Gettereinrichtung umfasst,
dadurch gekennzeichnet, dass eine
flächenartige, einen Träger mit darauf aufgebrachtem
Gettermaterial umfassende Gettereinrichtung in einer Position
nahe der Innenwand der Vakuumhülle angeordnet wird, wonach
die vakuumdicht geschlossene Vakuumhülle evakuiert und die
Gettereinrichtung durch Zufuhr von Energie erwärmt wird.
20. Verfahren nach Anspruch 19, dadurch ge
kennzeichnet, dass die Gettereinrichtung im
Bereich nahe einer im Hülleninneren befindlichen Anode ange
ordnet wird.
21. Verfahren nach Anspruch 19 oder 20, dadurch
gekennzeichnet, dass die Gettereinrichtung
an der Innenwand angeschraubt oder mittels eines Klebemittels
angeklebt oder mittels einer einbrennbaren Haftschicht
angebracht oder mittels einer Lotverbindung befestigt wird.
22. Verfahren nach Anspruch 21, dadurch ge
kennzeichnet, dass vor dem Anschrauben eine
den Wärmekontakt des Trägers zur Innenwand verbessernde vis
kose und aushärtbare Schicht, insbesondere eine Leitsilber
paste oder ein Polyimidlack auf die Innenwand oder den Träger
aufgebracht wird.
23. Verfahren nach Anspruch 21 oder 22, dadurch
gekennzeichnet, dass die Gettereinrichtung
unter Vorspannung angeschraubt wird, wobei sie weiter
verspannt wird.
24. Verfahren nach Anspruch 21, dadurch ge
kennzeichnet, dass als Klebemittel eine
Leitsilberpaste oder ein Polyimidlack verwendet wird.
25. Verfahren nach einem der Ansprüche 22 bis 24, da
durch gekennzeichnet, dass eine
Schicht oder ein Klebemittel mit einem lufttrocknenden Lack
als Trägermaterial verwendet wird.
26. Verfahren nach einem der Ansprüche 22 bis 25, da
durch gekennzeichnet, dass die
Schicht oder das Klebemittel mittels eines Pinsels oder in
einem Siebdruckverfahren aufgebracht wird.
27. Verfahren nach Anspruch 21, dadurch ge
kennzeichnet, dass als einbrennbare Haft
schicht eine Schicht auf Chromoxid-Basis verwendet wird.
28. Verfahren nach einem der Ansprüche 19 bis 27, da
durch gekennzeichnet, dass an der
Außenwand der Vakuumhülle, der Gettereinrichtung gegen
überliegend ein Wärmeübertragungsteil angeordnet wird, über
welches die Energie zum Erwärmen der Gettereinrichtung zuge
führt wird.
29. Verfahren nach Anspruch 19 oder 20, dadurch
gekennzeichnet, dass eine an einem Wärme
übertragerteil angeordnete Gettereinrichtung verwendet wird,
wobei das Wärmeübertragungsteil in eine Öffnung in der Vaku
umhülle eingesetzt oder dort angesetzt und angelötet oder an
geschweißt wird.
30. Verfahren nach einem der Ansprüche 19 bis 29, da
durch gekennzeichnet, dass die
Energie mittels eines Laserstrahls oder in Form von Mikro
welle zugeführt wird, oder dass hüllenaußenseitig oder am
Wärmeübertragungsteil ein Heizelement zur Energieerzeugung
angeordnet wird.
31. Verfahren nach einem der Ansprüche 19 bis 29, da
durch gekennzeichnet, dass eine
Gettereinrichtung verwendet wird, die oder deren Träger mit
einem aus der Vakuumhülle herauszuführenden Heizdraht verbun
den ist.
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- 2000-05-10 JP JP2000137132A patent/JP2000331631A/ja not_active Withdrawn
Patent Citations (2)
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