DE19833500A1 - Testkopf-Positioniereinrichtung für ein Halbleiterbauelement-Testgerät - Google Patents

Description

Die vorliegende Erfindung bezieht sich allgemein auf ein zum Testen von Halbleiterbauelementen ausgelegtes Halbleiterbauelement-Testgerät und insbesondere auf eine Testkopf-Positionierein­ richtung, durch die ein Testkopf eines Halbleiterbauelement-Testgeräts in eine vorbestimmte Höhenlage bewegbar und in dieser Position haltbar ist, wenn sie in dem Testabschnitt des Testgeräts angebracht ist.

Mit einer Vielzahl von Halbleiterbauelement-Testgeräten, die üblicherweise auch als IC-Tester bzw. IC-Testgeräte bezeichnet werden und zum Messen der elektrischen Eigenschaften von zu testenden Halbleiterbauelementen (diese werden häufig auch als im Test befindliche Bauelemen­ te bezeichnet), ausgelegt sind, ist eine Halbleiterbauelementtransport- und -handhabungsein­ richtung (Bearbeitungseinrichtung) integral, d. h. direkt verbunden. Die Halbleiterbauelementtrans­ port- und handhabungseinrichtung wird häufig auch vereinfacht als Handhabungseinrichtung bezeichnet und dient zum Transportieren von Halbleiterbauelementen zu einem Test- oder Unter­ suchungsabschnitt, in dem sie mit Bauelementsockeln an einem üblicherweise als Testkopf bezeichneten Abschnitt (d. h. einer Komponente des Testgeräts, die zum Bereitstellen und zum Empfangen von unterschiedlichen Arten von elektrischen Signalen für den Test dient und die im folgenden als Testkopf bezeichnet wird) in elektrischen Kontakt gebracht werden, wobei bei der Durchführung des Tests ein ein vorbestimmtes Muster aufweisendes Testsignal an die Bauele­ mente angelegt wird. Im Anschluß an den Test werden die getesteten Halbleiterbauelemente aus dem Testabschnitt heraustransportiert und auf der Grundlage der Testergebnisse als auslegungs­ konforme und nicht auslegungskonforme Bauteile sortiert. Im folgenden wird ein Halbleiterbau­ element-Testgerät, mit dem eine solche Halbleiterbauelementtransport- und -handhabungsein­ richtung des vorstehend erläuterten und nachfolgend verkürzt als Handhabungseinrichtung bezeichneten Typs verbunden ist, vereinfacht als "IC-Tester" bezeichnet. In der nachfolgenden Beschreibung wird die vorliegende Erfindung aus Gründen der vereinfachten Erläuterung anhand von als Beispiel dienenden integrierten Halbleiterschaltungen erläutert, die typische Beispiele von Halbleiterbauelementen darstellen und im folgenden verkürzt als ICs bezeichnet werden.

Zunächst wird der allgemeine Aufbau eines Beispiels einer herkömmlichen Handhabungseinrich­ tung, die als Transportvorrichtung des horizontalen Transporttyps bzw. als horizontale Trans­ porteinrichtung bezeichnet wird, unter Bezugnahme auf Fig. 3 kurz dargestellt.

Die in Fig. 3 gezeigte Handhabungseinrichtung 60 weist einen Beschickungsabschnitt 61, der zum Transportieren und zum Umsetzen von zu testenden ICs (im Test befindlichen ICs) auf ein Testtablett 64 dient, eine Konstanttemperaturkammer 65, die eine Durchwärmungskammer bzw. Temperaturanpassungskammer 66 und einen Testabschnitt 67 enthält, eine Auslaßkammer 68, die auch als Wärmeabführungs-/Kälteabführungskammer bezeichnet wird und zum Abführen der Wärme oder Kälte von den getesteten ICs dient, die von dem Testabschnitt 67 auf dem Testtablett 64 hereintransportiert werden, nachdem sie in dem Testabschnitt 67 einem Test unterzogen worden sind, und einen Entladeabschnitt 62 auf, der zum Entgegennehmen der ICs, die auf dem Testtablett 64 von der Auslaßkammer herantransportiert werden, sowie zum Transportieren und zum Umsetzen dieser ICs von dem Testtablett 64 auf ein Universaltablett 63, das auch als Vielzwecktablett oder als ein Kundentablett bezeichnet wird, ausgelegt ist.

Die Temperaturanpassungskammer 66 und der Testabschnitt 67 der Konstanttemperaturkammer 65 sowie die Auslaßkammer 68 sind in der angegebenen Reihenfolge von links nach rechts gemäß der in Fig. 3 gezeigten Darstellung angeordnet (diese Richtung wird im folgenden auch als die Richtung der Achse X bezeichnet), wohingegen der Beschickungsabschnitt 61 und der Entladeabschnitt 62 vor der Konstanttemperaturkammer 65 und der Auslaßkammer 68 angeord­ net sind. Weiterhin ist in dem am weitesten vorne befindlichen Abschnitt der Handhabungsein­ richtung 60 ein Tablettspeicher- bzw. Tablettlagerabschnitt 70 angeordnet, der zum Speichern von Universaltabletts 63DT, die mit zu testenden ICs bestückt sind, von Universaltabletts 63ST, die mit bereits getesteten und sortierten ICs bestückt sind, und von leeren Universaltabletts 63ET dient.

Die Temperaturanpassungskammer 66 der Konstanttemperaturkammer 65 ist dazu ausgelegt, auf die im Test befindlichen ICs, die in dem Beschickungsabschnitt 61 auf ein Testtablett 64 aufgebracht worden sind, eine Temperaturbelastung auszuüben, die entweder durch eine vorbestimmte hohe Temperatur oder niedrige Temperatur bedingt ist. Demgegenüber ist der Testabschnitt 67 derart ausgelegt, daß er diese ICs, die noch unter der vorbestimmten, in der Temperaturanpassungskammer 66 ausgeübten Temperaturbelastung stehen, den elektrischen Tests unterzieht. Damit die ICs während des Testvorgangs bei dieser Temperatur gehalten werden, die einer vorbestimmten hohen oder niedrigen Temperatur entspricht und zu der entsprechenden Temperaturbelastung der ICs führt, sind sowohl die Temperaturanpassungs­ kammer 66 als auch der Testabschnitt 67 in der Konstanttemperaturkammer 65 untergebracht, die imstande ist, ihren Innenbereich bei einer vorbestimmten Temperatur zu halten.

Das Testtablett 64 wird in umlaufender Weise von dem Beschickungsabschnitt 61 sequentiell durch die Temperaturanpassungskammer 66 und den Testabschnitt 67, die Auslaßkammer 68 und den Entladeabschnitt 62 hindurch und dann zurück zu dem Beschickungsabschnitt 61 transportiert. In diesem umlaufenden Transportpfad ist jeweils eine vorbestimmte Anzahl von Testtabletts 64 angeordnet, die aufeinanderfolgend in derjenigen Richtung bewegt werden, die in Fig. 3 durch Pfeile angegeben ist.

Ein Testtablett 64, das in dem Beschickungsabschnitt 61 mit im Test befindlichen und von einem Universaltablett 63 stammenden ICs bestückt wurde, wird von dem Beschickungsabschnitt 61 zu der Konstanttemperaturkammer 65 transportiert und dann anschließend in die Temperaturan­ passungskammer 66 über eine Einlaßöffnung eingeführt, die in der Vorderwand der Konstant­ temperaturkammer 65 ausgebildet ist. Die Temperaturanpassungskammer 66 ist mit einer verti­ kal wirkenden Transporteinrichtung (Vertikaltransporteinrichtung) ausgestattet, die derart ausgestaltet ist, daß sie eine Mehrzahl von Testtabletts 64 (beispielsweise fünf Testtabletts) in der Form eines Stapels halten kann, wobei vorbestimmte Abstände zwischen benachbarten Tabletts vorhanden sind. Bei dem dargestellten Beispiel wird ein Testtablett, das neu von dem Beschickungsabschnitt 61 erhalten worden ist, auf der obersten Tablettlagerstufe gelagert, wohingegen dasjenige Testtablett, das an der untersten Tablettlagerstufe gehalten ist, zu dem Testabschnitt 67 transportiert wird, der sich auf der linken Seite, d. h. der stromauf befindlichen Seite der Temperaturanpassungskammer 66, gesehen in der Richtung der Achse X, befindet sowie an die Temperaturanpassungskammer 66 angrenzt und mit deren unterem Abschnitt in Verbindung steht. Es ist somit ersichtlich, daß die Testtabletts 64 in einer Richtung heraustrans­ portiert werden, die rechtwinklig zu der Richtung verläuft, mit der sie in die Temperaturanpas­ sungskammer 66 eingeführt worden sind.

Die vertikale Transporteinrichtung bewegt die Testtabletts, die auf den aufeinanderfolgenden Tablettlagerstufen angeordnet sind, sequentiell zu der jeweiligen nachfolgenden, in vertikaler Richtung darunter liegenden Tablettlagerstufe. Die vertikale Richtung wird im folgenden als Richtung der Achse Z bezeichnet. Auf die im Test befindlichen ICs wird die durch die vorbe­ stimmte hohe oder niedrige Temperatur hervorgerufene Belastung ausgeübt, während das Testtablett, das an der obersten Tablettlagerstufe gehalten wird, sequentiell bis zu der untersten Tablettlagerstufe bewegt wird, wobei die Temperaturbelastung auch noch während der Warte­ zeitdauer bis zur Leerung des Testabschnitts 67 einwirkt.

In dem Testabschnitt 67 ist ein nicht gezeigter Testkopf angeordnet. Das Testtablett 64, das jeweils eins nach dem anderen aus der Konstanttemperaturkammer 65 heraustransportiert worden ist, wird auf dem Testkopf angeordnet, bei dem eine vorbestimmte Anzahl der ICs aus der Gesamtzahl von im Test befindlichen und auf dem Testtablett angeordneten ICs jeweils in elektrischen Kontakt mit Bauelementsockeln gebracht wird. Die Bauelementsockel sind an dem Testkopf angeordnet, in Fig. 3 jedoch nicht gezeigt. Nach dem Abschluß des durch den Testkopf durchgeführten Tests bezüglich aller ICs, die auf einem Testtablett angeordnet sind, wird das Testtablett 64 dann nach rechts in Richtung der Achse X, d. h. stromabwärts, zu der Auslaß­ kammer 68 transportiert, in der die Wärme oder Kälte von den getesteten ICs abgeführt wird bzw. die ICs auf ihre frühere Temperatur zurückgebracht werden.

In gleichartiger Weise wie bei der vorstehend beschriebenen Temperaturanpassungskammer 66 ist auch die Auslaßkammer 68 mit einer vertikalen Transporteinrichtung ausgestattet, die dazu ausgelegt ist, eine Mehrzahl von Testtabletts 64 (beispielsweise fünf Testtabletts) aufzunehmen, die jeweils mit vorbestimmten Abständen zwischen den Testtabletts aufeinandergestapelt sind. Bei dem gezeigten Ausführungsbeispiel wird ein Testtablett, das neu von dem Testabschnitt 67 zugeführt wird, auf der untersten Tablettlagerstufe angeordnet, wohingegen das Testtablett, das sich auf der obersten Tablettlagerstufe befindet, zu dem Entladeabschnitt 62 ausgegeben wird. Die vertikale Transporteinrichtung bewegt die Testtabletts, die auf den aufeinanderfolgenden Tablettlagerstufen gehalten sind, sequentiell zu der jeweils nächsten, vertikal darüber liegenden Tablettlagerstufe. Die Wärme oder Kälte wird von den getesteten ICs hierbei abgeführt, so daß die getesteten ICs wieder auf die außenseitige Temperatur, d. h. auf die Raumtemperatur zurück gebracht werden, während das jeweilige Testtablett, das an der untersten Tablettlagerstufe gehalten wird, schrittweise bis zu der obersten Tablettlagerstufe bewegt wird.

Da der IC-Test üblicherweise bezüglich der ICs, die in der Temperaturanpassungskammer 66 einer gewünschten Temperaturbelastung, die in einem breiten Temperaturbereich von -55°C bis zu +125°C liegt, ausgesetzt worden sind, werden die getesteten ICs in der Auslaßkammer 68 beispielsweise dann, wenn die ICs in der Temperaturanpassungskammer 66 einer hohen Temperatur von beispielsweise ungefähr +120°C ausgesetzt worden sind, mit zwangsweise umgewälzter Luft wieder auf die Raumtemperatur herabgekühlt. Falls auf die ICs in der Tempera­ turanpassungskammer 66 eine niedrige Temperatur von beispielsweise ungefähr -30°C ausgeübt worden ist, werden die ICs in der Auslaßkammer 68 mit erwärmter Luft oder mittels einer Heizeinrichtung wieder auf eine Temperatur erwärmt, bei der keine Kondensation auftritt. Auch wenn üblicherweise Testtabletts 64 eingesetzt werden, die aus einem Material hergestellt sind, das einem derartigen breiten Temperaturbereich, d. h. sowohl hohen als auch niedrigen Tempera­ turen widerstehen kann, ist es selbstverständlich nicht erforderlich, daß die Testtabletts 64 aus einem solchen Material, das hohen und/oder niedrigen Temperaturen widerstehen kann, hergestellt sind, falls die ICs bei der Raumtemperatur getestet werden.

Nach der Abfuhr der Wärme oder Kälte von den ICs wird das Testtablett 64 in einer Richtung transportiert, die rechtwinklig zu der Richtung verläuft, mit der das Testtablett 64 von dem Testabschnitt 67 her eingeführt worden ist und die im folgenden als Richtung der Achse Y bezeichnet wird. Das Testtablett 64 wird hierbei in Richtung zu der Vorderseite der Auslaßkam­ mer 68 transportiert und aus der Auslaßkammer 68 zu dem Entladeabschnitt 62 ausgegeben.

Der Entladeabschnitt 62 ist derart ausgestaltet, daß die getesteten ICs, die auf dem Testtablett 64 transportiert werden, in Abhängigkeit von den bei den Tests erzielten Ergebnisdaten in Kategorien einsortiert werden und die getesteten ICs auf die entsprechenden, zugehörigen Universaltabletts 63 aufgebracht werden. Bei diesem Beispiel bietet der Entladeabschnitt 62 die Möglichkeit, das jeweilige Testtablett 64 an zwei Positionen A und B anhalten zu können. Die ICs, die sich auf dem oder den an der ersten Position A und der zweiten Position B angehaltenen Testtabletts 64 befinden, werden in Abhängigkeit von den bei dem Test erzielten Ergebnisdaten aussortiert und zu den entsprechenden Universaltabletts der zugehörenden Kategorien transpor­ tiert und in diesen Universaltabletts gespeichert, wobei sich die Universaltabletts hierbei bei den für die Universaltabletts vorgesehenen Sollpositionen, d. h. Anhaltepositionen in Ruhe bzw. stationär befinden. Bei dem dargestellten Beispiel sind vier Universaltabletts 63a, 63b, 63c und 63d vorhanden. Das Testtablett 64, das in dem Entladeabschnitt 62 von ICs geleert worden ist, wird zu dem Beschickungsabschnitt 61 zurücktransportiert, bei dem es erneut mit zu testenden ICs bestückt wird, die von einem Universaltablett 63 abgenommen werden. Es werden dann die gleichen Arbeitsschritte erneut ausgeführt.

Hierbei ist anzumerken, daß die Anzahl von Universaltabletts 33, die in dem Entladeabschnitt 62 an den Universaltablett-Sollpositionen angeordnet werden können, bei dem vorliegenden Ausführungsbeispiel aufgrund des zur Verfügung stehenden Raums auf vier beschränkt ist. Demzufolge ist auch die Anzahl von Kategorien (Klassen), in die die ICs in Echtzeit einsortiert werden können, auf vier Klassen beschränkt. Auch wenn vier Klassen im allgemeinen ausrei­ chend sind, damit drei Kategorien für die Feinunterteilung der "auslegungskonformen Bauelemen­ te in Bauelemente mit hoher, mittlerer und geringer Antwortgeschwindigkeit zusätzlich zu der einen Kategorie, die den "nicht auslegungskonformen Bauelementen" zugeordnet ist, bereitge­ stellt werden können, können jedoch in manchen Fällen einige ICs unter den getesteten ICs vorhanden sein, die zu keiner dieser Kategorien gehören. Wenn irgendwelche derartigen getesteten ICs gefunden werden sollten, die in eine andere Klasse als die vier vorstehend genannten Kategorien einsortiert werden sollten, sollte ein Universaltablett 63, das dieser zusätzlichen Kategorie zugeordnet ist, aus dem Tablettlagerabschnitt 70 herausgenommen und zu der entsprechenden Universaltablett-Sollposition in dem Entladeabschnitt 62 transportiert werden, damit diese ICs in diesem Universaltablett untergebracht werden können. Damit dieser Ablauf erreicht wird, ist es notwendig, eines der Universaltabletts, die bislang in dem Entladeab­ schnitt 62 angeordnet sind, zu dem Tablettlagerabschnitt 70 zu transportieren und in diesem zu lagern.

Falls der Austausch der Universaltabletts während des Ablaufs des Sortiervorgangs bewirkt wird, müßte dieser Sortiervorgang während des Austauschs unterbrochen werden. Aus diesem Grund ist bei dem vorliegenden Ausführungsbeispiel ein Pufferabschnitt 71 zwischen den Anhalteposi­ tionen A und B für das Testtablett 64 und den Positionen der Universaltabletts 63a bis 63d angeordnet. Der Pufferabschnitt 71 ist derart ausgebildet, daß er getestete ICs, die zu einer selten auftretenden Kategorie gehören, zeitweilig speichern kann. Der Pufferabschnitt 71 kann eine Kapazität aufweisen, die eine Aufnahme von beispielsweise ungefähr 20 bis 30 ICs ermöglicht, und kann mit einem Speicherabschnitt ausgestattet sein, in dem die Kategorie der ICs speicherbar ist, die in dem Pufferabschnitt 71 an den IC-Lagerpositionen vorhanden sind. Die Positionen und die Kategorie der einzelnen ICs, die zeitweilig in dem Pufferabschnitt 71 gelagert werden, werden folglich in dem Speicherabschnitt gespeichert. Zwischen den Sortiervorgängen oder nach der Füllung des Pufferabschnitts 71 mit ICs wird ein Universaltablett für diejenige Kategorie, zu der die in dem Pufferabschnitt gespeicherten ICs gehören, von dem Tablettlagerab­ schnitt 70 zu dem Entladeabschnitt 62 für die Aufnahme dieser ICs transportiert. Hierbei ist anzumerken, daß die zeitweilig in dem Pufferabschnitt 71 gelagerten ICs auch auf eine Mehrzahl von Kategorien aufgeteilt bzw. diesen zugeordnet sein kann. In diesem Fall ist es dann erforder­ lich, Universaltabletts von dem Tablettlagerabschnitt 70 zu dem Entladeabschnitt 72 mit einer Anzahl zu transportieren, die der Anzahl der jeweils gleichzeitig vorhandenen Kategorien entspricht.

Eine nicht gezeigte, in den Richtungen X und Y transportierende Transporteinrichtung, die mit einem beweglichen, im Stand der Technik auch als Aufnehmer- und Positionierungskopf bezeichneten Kopf ausgestattet ist, wird dazu benutzt, die im Test befindlichen ICs von dem oder den Universaltabletts 63, die sich bei den Universaltablett-Sollpositionen (Anhaltepositionen) im Stillstand, d. h. im stationären Zustand, befinden, zu den entsprechenden Testtabletts zu transportieren. An der bodenseitigen Fläche dieses beweglichen Kopfs ist eine IC- Aufnahmefläche bzw. ein IC-Aufnehmersaugnapf (IC-Greifelement) angebracht, die mit einem auf dem Universaltablett 63 angeordneten IC in Anlage gebracht wird, so daß dieser durch Unterdruck angesaugt und ergriffen werden kann und für einen Transport von dem Universal­ tablett 63 zu dem Testtablett 64 bereit ist. Eine in den Richtungen X und Y wirksame Trans­ porteinrichtung mit einem gleichartigen Aufbau wird dazu benutzt, die getesteten ICs von den Testtabletts 64 zu den in dem Entladeabschnitt 62 angeordneten Universaltabletts 63 zu transportieren. Der bewegliche Kopf ist üblicherweise mit einer Mehrzahl von Aufnehmersaugflä­ chen, beispielsweise acht Aufnehmersaugflächen, versehen, so daß zu einem jeweiligen Zeitpunkt acht ICs zwischen den Universaltabletts und den Testtabletts transportiert werden können.

Auch wenn dies nicht gezeigt ist, ist oberhalb des Tablettlagerabschnitts 70 eine Tablettrans­ porteinrichtung angeordnet. In dem Beschickungsabschnitt 61 transportiert die Tablettransport­ einrichtung ein Universaltablett 63DT, das mit zu testenden ICs bestückt ist, von dem Tablettla­ gerabschnitt 70 zu den für die Universaltabletts vorgesehenen Sollpositionen, bei denen die zu testenden ICs auf ein Testtablett umgesetzt werden. Ein geleertes Universaltablett 63 wird an einer vorbestimmten Position gelagert, wobei es sich üblicherweise um diejenige Position handelt, an der leere Universaltabletts 63ET gelagert werden. In gleichartiger Weise wie bei dem Entladeabschnitt 62 transportiert auch hier die vorstehend beschriebene Tablettransporteinrich­ tung Universaltabletts, die den unterschiedlichen Kategorien zugeordnet sind, von dem Tablettla­ gerabschnitt 70 zu den entsprechenden Sollpositionen für die Universaltabletts, an denen die getesteten und von den Testtabletts 64 zugeführten ICs auf die Universaltabletts aufgebracht werden sollen. Sobald ein Universaltablett 63 vollständig gefüllt worden ist, wird es an einer vorbestimmten Position in dem Tablettlagerabschnitt 70 gelagert, wohingegen ein leeres Universaltablett 63ET durch die Tablettransporteinrichtung von dem Tablettlagerabschnitt 70 zu der zugehörigen Universaltablett-Sollposition transportiert wird.

Ferner ist in dem Beschickungsabschnitt 61 eine Positionskorrektureinrichtung 69, die zum Korrigieren der Orientierung oder der Position eines ICs dient und als "Präzisionsausrichtungs­ einrichtung" bezeichnet wird, zwischen der Sollposition für das Universaltablett und der Anhal­ teposition für das Testtablett 64 angeordnet. Diese die Position der ICs korrigierende Positions­ korrektureinrichtung 69 weist relativ tiefe Ausnehmungen auf, in die die ICs hineinfallen können, bevor sie von dem Universaltablett zu dem Testtablett 64 transportiert werden. Die Ausnehmun­ gen sind jeweils durch schräg verlaufende Seitenwände begrenzt, durch die die Tiefe vorgegeben wird, mit der die ICs in die Ausnehmungen hineinfallen. Sobald acht ICs durch die Positions­ korrektureinrichtung 69 jeweils relativ zueinander exakt positioniert worden sind, werden diese präzise positionierten ICs erneut durch den beweglichen Kopf ergriffen und dann zu dem Test­ tablett 64 transportiert. Das Universaltablett 63 ist mit Ausnehmungen zum Halten von ICs versehen, die im Vergleich mit der Größe von ICs übermäßig groß ausgelegt sind. Hierdurch ergibt sich eine breite Variation hinsichtlich der Positionen der ICs, die in dem Universaltablett 63 gelagert sind. Als Folge hiervon könnte dann, wenn die ICs so, wie sie sind, durch den beweglichen Kopf ergriffen und direkt zu dem Testtablett 64 transportiert würden, der Fall auftreten, daß einige dieser ICs nicht erfolgreich in die IC-Lagerausnehmungen eingebracht werden könnten, die in dem Testtablett 64 vorhanden sind. Aus diesem Grund ist die Positions­ korrektureinrichtung 69 erforderlich, die bewirkt, daß die ICs matrixförmig so exakt angeordnet werden, wie es der matrixförmigen Anordnung der in dem Testtablett 64 vorhandenen IC-Aufnahmeausnehmungen entspricht.

Bei einem IC-Tester, der mit einer Handhabungseinrichtung mit dem vorstehend erläuterten Aufbau verbunden ist, ist, wie insbesondere aus Fig. 4 ersichtlich ist, ein Testkopf 81, der in dem Testabschnitt 67 der Handhabungseinrichtung 60 angeordnet ist, separat von dem eigentlichen bzw. eigenständigen Gerät oder Rechner 80 des IC-Testers aufgebaut. Die Kompo­ nente 80 wird im Stand der Technik auch als "Main Frame" bzw. Hauptrechner bezeichnet. In dieser eigenständigen Komponente 80 des IC-Testers sind die hauptsächlichen elektrischen und elektronischen Schaltungen, Spannungsquellen usw. untergebracht. Die Verbindung zwischen der Komponente 80 des IC-Testers und dem Testkopf 81 wird mit Hilfe einer Signalübertragungsleitung 82 bewirkt, die beispielsweise ein Kabel sein kann. Der Testkopf 81 enthält intern eine Meßschaltung, die Treiber, Vergleicher und weitere Komponenten umfaßt, und enthält ferner eine nicht gezeigte Performance-Platine bzw. Anpassungsplatine oder Verdrahtungsplatine, die an der Oberseite des Testkopfs angebracht ist. An dieser Anpassungs­ platine ist eine vorbestimmte Anzahl von Bauelementsockeln montiert, die in einem Fall, bei dem die zu testenden Halbleiterbauelemente durch ICs gebildet sind, als IC-Sockel ausgelegt sind.

Wie aus Fig. 4 ersichtlich ist, ist der Testkopf 81 an der Bodenseite des Testabschnitts 67 der Handhabungseinrichtung 60, d. h. bei dem vorliegenden Beispiel an dem Boden der Konstanttem­ peraturkammer der Handhabungseinrichtung, derart montiert, daß die IC-Sockel des Testkopfs 81 gegenüber dem Innenbereich des Testabschnitts 67 der Handhabungseinrichtung 60 über eine Öffnung hindurch freigelegt sind, die in dem Boden des Testabschnitts 67 ausgebildet ist. Bei dieser Ausgestaltung ist eine Positionierungseinrichtung erforderlich, die zur Bewegung des Testkopfs 81 nach oben und unten in Richtung der Achse Z, d. h. in vertikaler Richtung, sowie zum Festhalten des Testkopfs 81 in seiner Position ausgelegt ist.

Es ist im Stand der Technik bekannt, daß die Anzahl von ICs, die gleichzeitig in dem Testab­ schnitt 67 getestet werden können, von der Anzahl von IC-Sockeln abhängt, die an dem Testkopf 81 angebracht sind. In den letzten Jahren hat sich das Bedürfnis hinsichtlich einer Erhöhung der Anzahl von ICs, die gleichzeitig in dem Testabschnitt getestet werden können, d. h. hinsichtlich einer Erhöhung des in IC-Zahlen ausgedrückten Durchsatzes mit gleichzeitiger Messung, ergeben, und zwar aufgrund des Ansatzes, das Ausnutzungsverhältnis des IC-Testers zu verbessern. Hierdurch hat sich eine Erhöhung der Anzahl von IC-Sockeln, die an dem Testkopf montiert sind, ergeben, was wiederum zwingend zu einem vergrößerten Testkopf führt. Als Folge hiervon ist die Tendenz vorhanden, daß sich das Gewicht des Testkopfs vergrößert. Lediglich als Beispiel sei angegeben, daß es derartige schwere Testköpfe gibt, die bis zu 300 Kilogramm wiegen. Ferner müssen die Testköpfe jedoch auch durch andere Testköpfe in Abhängigkeit von dem Typ der zu testenden ICs, den Inhalten bzw. dem Umfang der Tests, der Größe der benutzten Testtabletts und weiterer Parameter ersetzt werden können. Auch im Hinblick auf die Notwendigkeit von Wartungsarbeiten ist es vorteilhaft, wenn der Testkopf einfach entfernt, d. h. abgenommen werden kann.

Aufgrund dieses Sachverhalts ist der Testkopf in dem Testabschnitt 67 der Handhabungseinrich­ tung mit Hilfe einer Befestigungsvorrichtung befestigt, die im Stand der Technik auch als "Hi-fix" Basis oder als Test-Befestigungsvorrichtung bezeichnet wird. Wenn der Testkopf in dem Testabschnitt angebracht werden soll, werden demzufolge die folgenden Abläufe durchgeführt:
Es wird ein derartiger, schwerer Testkopf von einem Bereich hinter der Handhabungseinrichtung zu einer vorbestimmten Position unterhalb des Testabschnitts transportiert, der Testkopf wird ausgehend von dieser Position vertikal nach oben bis zu einer vorbestimmten Höhenlage bewegt und in dieser Position gehalten, und es wird dann die Befestigungsvorrichtung in dem Testab­ schnitt montiert.

Herkömmlicherweise wird eine "Wagenhebereinrichtung" bzw. eine Hebeeinrichtung als eine Positioniereinrichtung verwendet, die zum Bewegen eines schwergewichtigen Testkopfs von einer unterhalb des Testabschnitts befindlichen Position vertikal nach oben bis in die vorbe­ stimmte Höhenlage sowie zum Halten des Testkopfs in dieser Position ausgelegt ist. Diese Art der bislang im Einsatz befindlichen Hebeeinrichtung wird nachstehend unter Bezugnahme auf die Fig. 5 und 6 näher erläutert.

In Fig. 5 ist in Form einer Seitenansicht der allgemeine Aufbau eines Beispiels einer zum Stand der Technik rechnenden Hebeeinrichtung dargestellt, die zum Bewegen eines relativ schweren Testkopfs in vertikaler Richtung nach oben und unten dient. Wie vorstehend angegeben, ist an der Oberseite des Testkopfs üblicherweise eine Anpassungsplatine montiert, auf deren Oberseite eine vorbestimmte Anzahl von IC-Sockeln angebracht ist, die ihrerseits wiederum mit dem Testabschnitt verbunden sind. In Fig. 5 ist der Testkopf jedoch lediglich in Form eines Blocks 81 gezeigt, da die Fig. 5 hauptsächlich zur Veranschaulichung der für den Testkopf vorgesehenen Hebeeinrichtung (Anhebemechanismus) 10 dienen soll. Hierbei ist anzumerken, daß trotz der Tatsache, daß in Fig. 5 lediglich eine Seite des Testkopfs 81 gezeigt ist, eine weitere Hebeein­ richtung mit einem identischen Aufbau an der entgegengesetzten Seite des Testkopfs vorgese­ hen ist.

Die dargestellte Hebeeinrichtung 10 umfaßt zwei Schraubenpaare bzw. Schraubspindelantriebe, die eine lange Führungsschraube bzw. Führungsspindel 11, die bei diesem Beispiel mit einem Außengewinde versehen ist und die sich in horizontaler Richtung, d. h. in der nach links und rechts weisenden Richtung gemäß der Figur, entlang der unteren Endkante an einer Seitenfläche des Testkopfs 81 mit einer vorbestimmten Höhenlage unterhalb der Bodenfläche des Testkopfs 81 erstreckt und zwei bewegliche Schraubelemente bzw. Mutterelemente 12A und 12B enthalten, die jeweils mit einem vorbestimmten gegenseitigen Abstand voneinander beabstandet angeordnet sind und die intern mit Gewinde versehen sind (bei diesem Beispiel handelt es sich um Innengewinde), die sich mit der Schraubspindel 11 in Gewindeeingriff befinden.

Die beweglichen Schraubelemente bzw. Schraubspindelmuttern 12A und 12B dieser beiden Schraubenpaare können jeweils beispielsweise eine Kugelumlaufspindel aufweisen, die eine Stahlkugel enthält, die in einer spiralförmigen, zwischen einem Außengewinde und einem dem Außengewinde gegenüberliegenden Innengewinde definierten Rille aufgenommen ist. Die beweglichen Schraubelemente 12A und 12B werden entlang der Schraubspindel 11 in einer Richtung, die in Fig. 5 mit dem Pfeil 19 bezeichnet ist, sowie in der entgegengesetzten Richtung hin und herbewegt und zwar abhängig von der Richtung der Umdrehung der Schraubspindel 11 um ihre eigene Achse. In der Umfangswand der beweglichen Schraubelemente 12A und 12B sind in der Nähe von deren Oberseiten Stützen bzw. Zapfen 13A und 13B in rechtem Winkel zu dieser Umfangswand, d. h. in einer durch die Zeichnungsebene gemäß Fig. 5 hindurchgehenden Richtung, eingefügt, die jeweils mit einem Ende nach außen vorstehen. Die Hebeeinrichtung 10 weist ferner zwei Verbindungszapfen 14A und 14B auf, die mit einem vorbestimmten gegensei­ tigen Abstand in der Längsrichtung der Schraubspindel 11 beabstandet angeordnet sind und in einen im wesentlichen rechteckförmigen, beweglichen Trägerblock 21 mit im wesentlichen derselben Höhenlage derart eingefügt sind, daß sie rechtwinklig nach außen vorstehen. Der bewegliche Trägerblock 21 ist an einer Seitenwand des Testkopfs 81 angeordnet. Die Hebeein­ richtung 10 umfaßt ferner zwei feststehende Zapfen 15A und 15B, die mit einem vorbestimmten gegenseitigen Abstand in der Längsrichtung der Schraubspindel 11 beabstandet angeordnet und in ein nicht dargestelltes Trägerelement mit im wesentlichen der gleichen Höhenlage, d. h. bei diesem Beispiel an einer etwas unterhalb des beweglichen Trägerblocks 21 liegenden Position, derart eingefügt sind, daß sie rechtwinklig nach außen in Richtung zu dem Testkopf vorstehen. Das Trägerelement ist hierbei mit einem vorbestimmten Abstand außerhalb von der Schraubspin­ del 11 dieser gegenüberliegend angeordnet. Die Hebeeinrichtung 10 enthält ferner zwei An­ triebsarme antreibende bzw. Arme 16A und 16B, die schwenkbar mit ihren einen Enden mit den Zapfen 13A bzw. 13B verbunden sind, die im folgenden auch als erste feststehende Zapfen bezeichnet werden und an den beweglichen Schraubelementen 12A bzw. 12B befestigt sind. Mit ihren anderen Enden sind die antreibenden Arme 16A und 16B schwenkbar mit den Verbin­ dungszapfen 14A bzw. 14B des beweglichen Trägerblocks 21 verbunden. Die Hebeeinrichtung 10 besitzt ferner zwei angetriebene Arme 18A und 18B, die mit ihrem jeweils einen Ende mit den Zapfen 15A und 15B schwenkbar verbunden sind, die im folgenden auch als zweite feststehende Zapfen bezeichnet sind und die jeweils an dem Trägerelement befestigt sind. Ferner verfügt die Hebeeinrichtung 10 über Schwenkzapfen 17A und 17B, die die entsprechenden Antriebsarme und angetriebenen Arme im wesentlichen an deren zwischen ihren entgegenge­ setzten Enden liegenden Mittelpunkten schwenkbar verbinden.

An den anderen Enden der angetriebenen Arme 18A und 18B sind jeweils Gleitzapfen 22A bzw. 22B befestigt die von diesen angetriebenen Armen 18A und 18B in Richtung zu dem Testkopf 81 vorstehen und die in in horizontaler Richtung langgestreckten Schlitzen 23A bzw. 23B aufgenommen sind, die jeweils in dem beweglichen Trägerblock 21 an entsprechenden Positio­ nen derart ausgebildet sind, daß die Gleitzapfen 22A und 22B sich gleitend in den langgestreck­ ten Schlitzen 23A und 23B bewegen, wenn die angetriebenen Arme 18A und 18B verschwenkt werden.

Das Trägerelement, das der Schraubspindel 11 gegenüberliegend angeordnet ist, kann direkt an einer Trägerbasis 5, die bei diesem Ausführungsbeispiel eine Installationsoberfläche ist, auf der die Handhabungseinrichtung installiert ist, befestigt sein. Alternativ kann auch der Rahmen, d. h. das Gestell der Handhabungseinrichtung als das Trägerelement zum Einsatz kommen.

Es sei hierbei angemerkt, daß die zweiten feststehenden Zapfen 15A und 15B an separaten Trägerelementen (bei diesem Beispiel handelt es sich um zwei Elemente) befestigt sein können, die jeweils an der Trägerbasis 5 festgelegt sind. Die Schwenkzapfen 17A und 17B können entweder an den entsprechenden zugehörigen angetriebenen Armen oder den antreibenden Armen befestigt sein.

Die Schraubspindel 11 ist mit Hilfe einer Mehrzahl von nicht gezeigten und an der Trägerbasis 5 befestigten Lagern drehbar gelagert und ist an einem Ende über eine Kupplung 25 und ein Untersetzungsgetriebe 26 mit der drehenden Abtriebswelle eines Motors 27 verbunden, der ebenfalls an der Trägerbasis 5 befestigt ist. Auf der anderen Seite sind die beweglichen Schraubelemente 12A und 12B gleitverschieblich an einer nicht gezeigten Führungsschiene gelagert, die an der Trägerbasis 5 oder an den Trägern bzw. Halterungen für die Schraubspindel 11 befestigt ist und sich in einer Richtung längs der Schraubspindel 11 erstreckt.

Die angetriebenen Arme 18A und 18B weisen im wesentlichen die gleiche Form und Größe wie die antreibenden Arme 16A und 16B auf und sind über die entsprechenden Schwenkzapfen 17A und 17B mit den antreibenden Armen 16A und 16B in der Form eines X gekoppelt. Demgemäß werden bei einer Drehung der Schraubspindel 11, beispielsweise in der Uhrzeigerrichtung bzw. Vorwärtsrichtung, die beiden beweglichen Schraubelemente 12A und 12B in Richtung zu den feststehenden Zapfen 15A und 15B in derjenigen Richtung bewegt, die in der Figur durch den Pfeil 19 angegeben ist, so daß die antreibenden Arme 16A und 16B hierdurch ausgehend von der dargestellten Position in Richtung zu einer vertikalen Stellung verlagert werden, wodurch wiederum die angetriebenen Arme 18A und 18B ausgehend von der dargestellten Position in Richtung zu einer vertikalen Stellung bewegt werden, während sie sich nach oben verlagern. Demzufolge wird der bewegliche Trägerblock 21 in der vertikalen Richtung, die in Fig. 5 durch einen Pfeil 20 angegeben ist, nach oben bewegt, so daß demzufolge auch der Testkopf 81, der an dem beweglichen Trägerblock 21 angebracht ist, vertikal nach oben bewegt wird.

In der anfänglichen, in Fig. 5 dargestellten Position ist die Anordnung derart getroffen, daß die Mittelachsen der ersten feststehenden Zapfen 13A und 13B der beweglichen Schraubelemente 12A und 12B und die Mittelachsen der zweiten feststehenden Zapfen 15A und 15B des Trägerelements, das der Schraubspindel 11 gegenüberliegend angeordnet ist, im wesentlichen auf der gleichen Höhenlage, d. h. in der gleichen horizontalen Ebene, liegen; daß ferner die Mittelachse des Verbindungszapfens 14A des beweglichen Trägerblocks 21 und die Mittelachse des zweiten feststehenden Zapfens 15A des Trägerelements, das der Schraubspindel 11 gegenüberliegend angeordnet ist, im wesentlichen in der gleichen vertikalen Ebene liegen; und daß die Mittelachse des Verbindungszapfens 14B des beweglichen Trägerblocks 21 und die Mittelachse des zweiten feststehenden Zapfens 15B des Trägerelements, das der Schraubspindel 11 gegenüberliegend angeordnet ist, im wesentlichen in der gleichen vertikalen Ebene liegen. Die Ausgestaltung ist jedoch nicht auf die gezeigte Anordnung beschränkt.

Da auf der entgegengesetzten Seite des Testkopfs 81 ein im wesentlichen rechteckförmiger beweglicher Trägerblock sowie eine Hebeeinrichtung mit dem identischen Aufbau angeordnet sind, wird der Trägerkopf 81 in einer vorbestimmten Höhenlage oberhalb der Trägerbasis 5 mit Hilfe der als Paar vorliegenden beweglichen Trägerblöcke und Hebeeinrichtungen (Schraubspindeln, bewegliche Schraubelemente, antreibende Arme und angetriebene Arme), die an den gegenüberliegenden Seiten des Testkopfs 81 vorgesehen sind, gehalten, wie dies in Fig. 5 gezeigt ist. In manchen Fällen kann die Trägerbasis 5 einen Rahmen oder ein Gestell der Handhabungseinrichtung umfassen bzw. einen Teil desselben bilden.

Im folgenden wird die Arbeitsweise der gemäß den vorstehenden Ausführungen aufgebauten Hebeeinrichtung 10 näher erläutert.

Zunächst wird der Testkopf 81 zu einer vorbestimmten Position unterhalb des Testabschnitts der Handhabungseinrichtung transportiert, und es werden die beweglichen Trägerblöcke 21 an dem Testkopf 81 an dessen sich gegenüberliegenden Seitenwänden angebracht. Zu diesem Zeitpunkt befindet sich die Hebeeinrichtung 10 in ihrer anfänglichen Position bzw. Ausgangsposition, die in Fig. 5 dargestellt ist. Der Motor wird dann so betätigt, daß die Schraubspindel 11 bei dem gezeigten Beispiel in dem Uhrzeigersinn gedreht wird, wodurch die beweglichen Schraubelemen­ te 12A und 12B, die sich bislang in der in Fig. 5 dargestellten Position befinden, in derjenigen Richtung bewegt werden, die in Fig. 5 durch den Pfeil 19 angegeben ist. Aufgrund dieses Sachverhalts werden die einen Enden der antreibenden Arme 16A und 16B, die durch die ersten feststehenden Zapfen 13A und 13B der beweglichen Schraubelemente 12A und 12B schwenk­ bar gelagert sind, allmählich in Richtung zu den zweiten feststehenden Zapfen 15A bzw. 15B bewegt. Da die angetriebenen Arme 18A und 18B an ihren einen Enden durch die zweiten feststehenden Zapfen 15A bzw. 15B schwenkbar gelagert sind, werden die antreibenden Arme 16A und 16B als Resultat dieser Bewegung in der Gegenuhrzeigerrichtung um die Schwenkzap­ fen 17A und 17B herum in Richtung zu einer vertikalen Stellung bewegt, wodurch die Verbin­ dungszapfen 14A und 14B, die an dem beweglichen Trägerblock 21 befestigt sind, nach oben angehoben werden. Gleichzeitig hiermit führt die Schwenkbewegung der antreibenden Arme 16A und 16B in Richtung zu der vertikalen Stellung zu einer Bewegung der Schwenkzapfen 17A und 17B schräg nach rechts und oben. Hierdurch wiederum werden die angetriebenen Arme 18A und 18B dazu gebracht, daß sie um die zweiten feststehenden Zapfen 15A und 15B (im Uhrzeiger­ sinn) in Richtung zu einer vertikalen Stellung verschwenkt werden. Als Ergebnis dessen wird eine Antriebskraft hervorgerufen, durch die die Verbindungszapfen 14A und 14B des beweglichen Trägerblocks 21 in der vertikalen Richtung nach oben bewegt werden, wie dies in Fig. 5 durch den Pfeil 20 bezeichnet ist. Demzufolge wird auch der bewegliche Trägerblock 21 in der vertikalen, durch den Pfeil 20 veranschaulichten Richtung nach oben bewegt, was zur Folge hat, daß sich der Testkopf 81, der an dem beweglichen Trägerblock 21 angebracht ist, gleichzeitig hiermit vertikal nach oben bewegt.

Es ist somit ersichtlich, daß durch eine Drehung der Schraubspindel 11 mit Hilfe des Motors 27 der Testkopf 81 allmählich in vertikaler Richtung bis zu einer vorbestimmten Höhenlage angeho­ ben wird, bei der er präzise bezüglich des Testabschnitts der Handhabungseinrichtung positio­ niert ist. Nachdem der Testkopf diese Höhenlage erreicht hat, wird der Motor 27 deaktiviert, um hierdurch den Testkopf 81 in dieser Höhenlage zu halten. In diesem Zustand wird der Testkopf 21 an seiner Position an dem Testabschnitt der Handhabungseinrichtung mit Hilfe einer Befesti­ gungseinrichtung wie etwa einer "Hi-fix"-Basis derart montiert wird, daß die IC-Sockel, die an dem Testkopf 81 angebracht sind, in dem Inneren des Testabschnitts freiliegen, d. h. dem Innenbereich des Testabschnitts frei zugänglich zugewandt sind.

Wenn der Testkopf 81 abgesenkt werden soll, wird die Befestigungseinrichtung von dem Testabschnitt der Handhabungseinrichtung abgetrennt, bevor die Schraubspindel 11 mit Hilfe des Motors 27 in der Gegenuhrzeigerrichtung (bei dieser Ausführungsform) gedreht wird. Es ist ersichtlich, daß durch diese Motordrehung eine Bewegung der beiden beweglichen Schraubele­ mente 12A und 12B in einer Richtung hervorgerufen wird, die entgegengesetzt ist zu der durch den Pfeil 19 angegebenen Richtung, so daß der Testkopf 81 in die anfängliche, in Fig. 5 dargestellte Position abgesenkt wird. Diesbezüglich ist keine nähere Erläuterung erforderlich.

In Fig. 6 ist eine Vorderansicht dargestellt, die den allgemeinen Aufbau einer Ausführungsform einer zum Stand der Technik rechnenden Hebeeinrichtung zeigt, die zum Bewegen eines, relativ gesehen, leichtgewichtigeren Testkopfs in vertikaler Richtung nach oben und unten ausgelegt ist. Diese Hebeeinrichtung ist derart ausgestaltet, daß sie von Hand nach oben und unten bewegt werden kann. Da die zeichnerische Darstellung gemäß Fig. 6 hauptsächlich darauf abzielt, die Hebeeinrichtung 10 für den Testkopf zu veranschaulichen, ist der Testkopf lediglich als ein Block 81 gezeigt. Hierbei ist weiterhin anzumerken, daß aufgrund der Tatsache, daß in Fig. 6 der Testkopf 81 von der Vorderseite her gesehen ist, die linke und die rechte Seite des Testkopfs (gemäß der Darstellung in Fig. 6) die gegenüberliegenden lateralen Seitenwände darstellen (auch wenn die Ansicht gemäß Fig. 6 tatsächlich die Rückseitenansicht darstellen würde, wenn der Testkopf von der Vorderseite des IC-Testers her betrachtet würde, wird vorliegend die in Fig. 6 gezeigte Ansicht als Vorderansicht bezeichnet, da der Testkopf den Gegenstand der vorliegenden Erfindung bildet bzw. für vorliegende Erfindung wichtig ist).

Die dargestellte Hebeeinrichtung (Hebebühne) 30 enthält ein einen kleinen Durchmesser besitzendes Kettenrad 32, das an einer Trägerbasis 5 in einer vorbestimmten Höhenlage unterhalb der bodenseitigen Fläche des Testkopfs 81 im wesentlichen in dessen Mitte drehbar gelagert ist, und zwei großen Durchmesser aufweisende Kettenräder 33A und 33B, die vonein­ ander um einen vorbestimmten Abstand beabstandet sowie derart angeordnet sind, daß sie jeweils entgegengesetzten Seiten des kleinen Durchmesser aufweisenden Kettenrads 32 gegen­ überliegen. Diese beiden großen Durchmesser aufweisenden Kettenräder 33A und 33B sind an der Trägerbasis 5 etwas außerhalb der Seitenwände des Testkopfs 81 drehbar gelagert.

Das kleinen Durchmesser aufweisende Kettenrad 32 umfaßt einen Handgriff 31, der koaxial zum Kettenrad 32 an diesem befestigt ist. Das kleinen Durchmesser aufweisende Kettenrad 32 und die beiden großen Durchmesser aufweisenden Kettenräder 33A und 33B sind mit Hilfe einer um sie herumgeführten Kette 34 drehend miteinander verbunden. Hierbei sind die Größe und die Anzahl von Getriebezähnen dieser Kettenräder 32, 33A und 33B vorab derart ausgewählt, daß die beiden großen Durchmesser aufweisenden Kettenräder 33A und 33B dann, wenn das kleinen Durchmesser aufweisende Kettenrad 32 manuell mit Hilfe eines Griffs 31H, der an dem Handgriff 31 befestigt ist, gedreht wird, mit der gleichen Geschwindigkeit über die Kette 34 gedreht werden, wobei jedoch diese Geschwindigkeit der Kettenräder 33A und 33B erheblich niedriger ist als die Drehgeschwindigkeit (Drehzahl) des kleinen Durchmesser aufweisenden Kettenrads 32.

Die großen Durchmesser besitzenden Kettenräder 33A und 33B weisen erste Kegelräder 35A und 35B auf, die jeweils koaxial zu den Kettenrädern 33A und 33B an diesen befestigt sind und sich gemeinsam mit den Kettenrädern 33A und 33B drehen. In annähernd rechtem Winkel zu diesen ersten Kegelrädern 35A und 35B sind zweite Kegelräder 36A bzw. 36B angeordnet, die mit den ersten Kegelrädern 35A und 35B kämmen und an den unteren Enden von vertikal verlaufenden Schraubspindeln 37A bzw. 37B befestigt sind. Die Schraubspindeln 37A und 37B sind bei dieser Ausführungsform mit Außengewinde versehen. Die Schraubspindeln 37A und 37B sind entweder an der Trägerbasis 5 oder an einem Rahmen der Hebeeinrichtung drehbar gelagert und stehen in Gewindeeingriff mit Gewindeelementen 38A bzw. 38B, die an den Seitenwänden des Testkopfs 81 im wesentlichen in der Mitte bezogen auf die horizontale Abmessung bzw. Breite angebracht sind. Diese Gewindeelemente 38A und 38B können jeweils beispielsweise eine Kugelumlaufspindel enthalten, die interne Innengewinde besitzt, die ihrerseits mit den Schraub­ spindeln 37A und 37B kämmen. Demgemäß führt eine Drehung der ersten Kegelräder 35A und 35B zu einer Drehung der mit diesen in kämmendem Eingriff stehenden Seitenkegelrädern 36A und 36B, wodurch gleichzeitig hiermit die Schraubspindeln 37A und 37B gedreht werden, so daß die Gewindeelemente 38A und 38B in Vertikalrichtung bewegt werden.

Nachfolgend wird die Arbeitsweise der in der vorstehend erläuterten Weise aufgebauten Hebe­ einrichtung 30 näher beschrieben.

Zunächst wird der Testkopf 81 zu einer vorbestimmten Position unterhalb des Testabschnitts der Handhabungseinrichtung transportiert, und es werden anschließend die Gewindeelemente 38A und 38B an dem Testkopf 81 an dessen beiden sich gegenüberliegenden Seitenwänden ange­ bracht. Zu diesem Zeitpunkt befindet sich die Hebeeinrichtung 30 in der anfänglichen, in Fig. 6 dargestellten Position. Anschließend dreht der Benutzer den Handgriff 31 mit Hilfe des Griffs 31H in der Uhrzeigerrichtung (bei dieser Ausführungsform), um hierdurch das kleinen Durchmes­ ser aufweisende Kettenrad 32 in der Uhrzeigerrichtung zu drehen. Die beiden großen Durchmes­ ser aufweisenden Kettenräder 33A und 33B werden demzufolge über die Kette 34 ebenfalls in der Uhrzeigerrichtung mit der gleichen Geschwindigkeit oder Drehzahl gedreht, wobei diese Geschwindigkeit oder Drehzahl jedoch erheblich niedriger ist als die Drehgeschwindigkeit (Drehzahl) des kleinen Durchmesser aufweisenden Kettenrads 32. Damit werden die ersten Kegelräder 35A und 35B, die an den Kettenrädern 33A bzw. 33B befestigt sind, gleichfalls im Uhrzeigersinn gedreht, wodurch die zweiten Kegelräder 36A und 36B, die mit den ersten Kegelrädern 35A und 35B in kämmendem Eingriff stehen, im Gegenuhrzeigersinn gedreht werden.

Bei dieser Ausführungsform ist die Ausgestaltung derart getroffen, daß eine Drehung der Schraubspindeln 37A und 37B im Gegenuhrzeigersinn zu einer vertikal nach oben gerichteten Bewegung der Gewindeelemente 38A und 38B führt. Demgegenüber ruft eine im Uhrzeigersinn erfolgende Drehung der Schraubspindeln 37A und 37B eine vertikal nach unten gerichtete Bewegung der Gewindeelemente 38A und 38B hervor. Der Testkopf 81 wird somit als Folge dieser nach oben gerichteten Bewegung der Gewindeelemente 38A und 38B nach oben bewegt, wie es in Fig. 6 mit dem Pfeil 39 veranschaulicht ist. Es ist damit ersichtlich, daß der Testkopf 81 in vertikaler Richtung bis zu einer vorbestimmten Höhenlage angehoben werden kann, bei der er exakt im Hinblick auf den Testabschnitt der Handhabungseinrichtung positioniert ist. Wenn der Testkopf diese Höhenlage erreicht hat, wird die Drehung des Handgriffs 31 beendet, so daß der Testkopf 81 in dieser Höhenlage gehalten wird. In diesem Zustand wird der Testkopf 81 an der vorgesehenen Stelle an dem Testkopf der Handhabungseinrichtung mit Hilfe einer Befesti­ gungseinrichtung wie etwa einer "Hi-fix"-Basis derart montiert, daß die an dem Testkopf 81 angebrachten IC-Sockel gegenüber dem Innenbereich des Testabschnitts frei liegen und sich in diesem Innenbereich befinden.

Wenn der Testkopf 81 abgesenkt werden soll, wird die Befestigung von dem Testabschnitt der Handhabungseinrichtung abgetrennt, bevor der Handgriff 31 dieses Mal in der Gegenuhrzeiger­ richtung gedreht wird, um hierdurch die Schraubspindeln 37A und 37B in der Uhrzeigerrichtung zu drehen. Es ist offensichtlich, daß dies zu einer vertikal nach unten gerichteten Bewegung der beiden Gewindeelemente 38A und 38B führt, wodurch der Testkopf 81 in die anfängliche, in Fig. 6 gezeigte Position abgesenkt wird. Weitere Erläuterungen zu diesem Bewegungsablauf sind nicht erforderlich.

Die Hebeeinrichtung 10, die vorstehend unter Bezugnahme auf Fig. 5 beschrieben worden ist, ist im Hinblick auf die Antriebskraft und die Geschwindigkeit der vertikalen Bewegung des Test­ kopfs mit keinerlei Problemen verbunden, da diese Hebeeinrichtung derart ausgestaltet ist, daß der Testkopf in vertikaler Richtung aufgrund des Einsatzes des Motors 27 bewegt wird. Jedoch ist eine Schaltung zum Steuern des Motors erforderlich. Darüber hinaus ist es vom Gesichts­ punkt der Betriebssicherheit her gesehen erforderlich, die gegenseitige positionsmäßige Bezie­ hung zwischen der Hebeeinrichtung 10 und dem Testabschnitt der Handhabungseinrichtung mit dem der Testkopf 81 gekoppelt werden soll, exakt zu erfassen, so daß demzufolge eine Kommunikationseinrichtung für diesen Zweck benötigt wird. Ferner ist es notwendig, Ausgestal­ tungen zu treffen, durch die verhindert wird, daß der Testkopf 81 herabfällt bzw. absinkt, wenn ein zufälliger Ausfall der Spannungsquelle auftreten sollte.

Im Unterschied hierzu ist bei der Hebeeinrichtung 30, die vorstehend unter Bezugnahme auf Fig. 6 erläutert worden ist, keine Steuerschaltung erforderlich, da sie derart ausgestaltet ist, daß der Testkopf 81 in vertikaler Richtung von Hand bewegt werden kann, wobei in diesem Fall das kleinen Durchmesser aufweisende Kettenrad 32 und die großen Durchmesser aufweisenden Kettenräder 33A und 33B über die Kette 34 miteinander verbunden sind, um hierdurch die über den Handgriff ausgeübte Drehantriebskraft aufgrund der Drehzahluntersetzung zu vergrößern. Jedoch führt eine Zunahme des Gewichts des Testkopfs 81 zu einer entsprechenden Zunahme der Kraft, die zur Betätigung des Handgriffs benötigt wird. Ferner bestehen vielfältige Schwierig­ keiten im Hinblick auf die Bedienbarkeit einschließlich der Begrenzung der Drehgeschwindigkeit oder Drehzahl des Handgriffs 31, was durch die manuelle Betätigung und die geringere Ge­ schwindigkeit der vertikalen Bewegungen des Testkopfs 81 bedingt ist, die ihrerseits wiederum auf die Drehzahluntersetzung zurückzuführen ist, die ihrerseits wiederum zur Erzielung einer Erhöhung der Drehantriebskraft benötigt wird.

Eine Aufgabe der vorliegenden Erfindung besteht darin, eine handbetriebene Testkopf-Positio­ niereinrichtung zum Positionieren eines Testkopfes eines Halbleiterbauelement-Testgeräts zu schaffen, die einfach zu betätigen ist, hohe Sicherheit beim Betrieb bietet und dennoch kosten­ günstig hergestellt werden kann.

Eine weitere Aufgabe der vorliegenden Erfindung besteht in der Schaffung einer Testkopf- Positioniereinrichtung zum Positionieren des Testkopfs eines Halbleiterbauelement-Testgeräts, die handbetätigbar ist und dennoch im Stande ist, selbst einen hohes Gewicht aufweisenden Testkopf leicht nach oben und unten bewegen zu können.

Diese Aufgaben werden mit den im Patentanspruch 1 genannten Merkmalen gelöst.

Vorteilhafte Ausgestaltungen der Erfindung sind in den Unteransprüchen angegeben.

Gemäß einem ersten Gesichtspunkt der vorliegenden Erfindung wird eine Testkopf-Positionier­ einrichtung in einem Halbleiterbauelement-Testgerät, oder zur Verwendung in einem Halbleiter­ bauelement-Testgerät, geschaffen, bei dem Halbleiterbauelemente zu einem Testabschnitt transportiert werden, in dem die Halbleiterbauelemente einem Testvorgang unterzogen werden, und bei dem die Halbleiterbauelemente nach dem Abschluß des Tests aus dem Testabschnitt heraus zu einer vorbestimmten Position transportiert werden. Die Testkopf-Positioniereinrichtung ist zur Bewegung eines Testkopfs, der zum Anlegen eines mit einem vorbestimmten Muster versehenen Testsignals an die Halbleiterbauelemente ausgelegt ist, in Vertikalrichtung nach oben und nach unten, ausgehend von einer vorbestimmten Höhenlage in dem Testabschnitt des Testgeräts, ausgelegt und umfaßt folgende Merkmale: eine Ausgleichseinrichtung (oder Gegen­ gewichteinrichtung bzw. Kompensationseinrichtung), die eine Antriebskraft erzeugt, die ungefähr äquivalent zu dem bzw. gleich groß wie das Gewicht des Testkopfs ist; und eine handbetätigte Hebeeinrichtung (oder Hebebühneneinrichtung) zur Bewegung des Testkopfs in Vertikalrichtung nach oben und nach unten.

Die Ausgleichseinrichtung ist an mindestens zwei sich gegenüberliegenden Positionen des Testkopfs angeordnet, und es ist die Summe der von diesen Ausgleichseinrichtungen erzeugten Antriebskräfte (Betätigungskräfte) auf einen Wert eingestellt, der ungefähr gleich groß ist wie das Gewicht des Testkopfs (bzw. die von dem Testkopf erzeugte Gewichtskraft). Als Aus­ gleichseinrichtung kann ein Luftzylinder (oder eine Gasfeder), ein hydraulischer Zylinder oder eine Ölfeder benutzt werden.

Die handbetriebene Hebeeinrichtung ist auf jeder der beiden sich gegenüberliegenden Seiten­ wände des Testkopfs angeordnet, wobei die Ausgestaltung derart getroffen ist, daß dann, wenn ein Benutzer eine der beiden Hebebühneneinrichtungen manuell betätigt, die beiden Hebeeinrich­ tungen gleichzeitig betätigt werden, um hierdurch den Testkopf in Vertikalrichtung nach oben und unten zu bewegen.

Jede der Ausgleichseinrichtungen enthält vorzugsweise eine Schraubspindel, die im wesentlichen horizontal verläuft und drehbar gelagert ist, mindestens ein bewegliches Schraubelement bzw. eine Spindelmutter, das bzw. die in Gewindeeingriff mit der Schraubspindel steht, und einen antreibenden Arm, der an einem Ende schwenkbar mit dem beweglichen Schraubelement verbunden und derart betätigbar ist, daß der Testkopf in Vertikalrichtung nach oben und unten bewegt wird, wenn das bewegliche Schraubelement entlang der Schraubspindel bewegt wird.

Die Schraubspindeln der Hebeeinrichtung sind miteinander über Kettenräder, die an den jeweili­ gen Schraubspindeln befestigt sind, und eine Kette gekoppelt, die zwischen den Kettenrädern verläuft und diese miteinander verbindet, derart, daß die Kettenräder in der gleichen Richtung und mit ungefähr der gleichen Geschwindigkeit gleichzeitig gedreht werden. Ferner ist ein Handgriff vorgesehen, der direkt und koaxial mit der Schraubspindel einer der Hebeeinrichtungen verbunden ist.

Die Schraubspindeln der Hebeeinrichtung können miteinander über Zahnräder, die an den jeweiligen Schraubspindeln befestigt sind, und eine Getriebeeinrichtung gekoppelt sein, die zwischen den Zahnrädern angeordnet ist und diese miteinander verbindet, und zwar derart, daß diese gleichzeitig in der gleichen Richtung und mit annähernd der gleichen Geschwindigkeit gedreht werden.

Bei einer bevorzugten Ausgestaltung enthält jede der Hebeeinrichtungen ferner einen angetriebe­ nen Arm, der ungefähr die gleiche Form und Größe wie der antreibende Arm besitzt und bewegbar ist, wenn der antreibende Arm bewegt wird. Hierbei sind der antreibende Arm und der angetriebene Arm schwenkbar miteinander im wesentlichen an ihren Mittelpunkten verbunden und sind schwenkbar beweglich, wenn das bewegliche Schraubelement entlang der Schraub­ spindel bewegt wird, um hierdurch den Testkopf in vertikaler Richtung nach oben und nach unten zu bewegen.

Eine Mehrzahl dieser beweglichen Schraubelemente kann mit jeder der Schraubspindeln der Hebeeinrichtung in Gewindeeingriff stehen, wobei jedes der beweglichen Schraubelemente mit einem feststehenden Zapfen versehen ist, mit dem das eine Ende des zugehörigen antreibenden Arms der antreibenden Arme schwenkbar verbunden ist.

Weiterhin können die beiden beweglichen Trägereinrichtungen jeweils einer an jeder der sich gegenüberliegenden Seitenwände des Testkopfs angeordnet sein, und es kann die Hebeeinrich­ tung jeweils an den beiden beweglichen Dreheinrichtungen montiert sein. Der Testkopf ist hierbei an den beiden beweglichen Trägereinrichtungen angebracht.

Die Erfindung wird nachstehend anhand von Ausführungsbeispielen unter Bezugnahme auf die Zeichnungen näher beschrieben.

Fig. 1 zeigt eine Seitenansicht, in der ein Ausführungsbeispiel der in Übereinstimmung mit der vorliegenden Erfindung stehenden Testkopf-Positioniereinrichtung dargestellt ist, die für den Einsatz bei einem Halbleiterbauelement-Testgerät ausgelegt ist,

Fig. 2A zeigt eine Vorderansicht, die von der linken Seite gemäß Fig. 1 her gesehen ist,

Fig. 2 zeigt eine Rückseitenansicht, die von der rechten Seite der Fig. 1 her gesehen ist,

Fig. 3 zeigt eine schematische Darstellung, in der ein Ausführungsbeispiel eines Halbleiter­ bauelement-Testgeräts dargestellt ist, bei dem die vorliegende Erfindung einsetzbar ist,

Fig. 4 zeigt eine Seitenansicht, in der ein Beispiel der Anordnung der hauptsächlichen Komponenten des in Fig. 3 dargestellten Halbleiterbauelement-Testgeräts gezeigt ist,

Fig. 5 zeigt eine Seitenansicht, in der ein Beispiel der herkömmlichen Testkopf-Positionierein­ richtung für das Halbleiterbauelement-Testgerät dargestellt ist, und

Fig. 6 zeigt eine Vorderansicht auf ein weiteres Ausführungsbeispiel einer zum Stand der Technik rechnenden Testkopf-Positioniereinrichtung für das Halbleiterbauelement-Testgerät.

Unter Bezugnahme auf die Fig. 1, 2A und 2B wird nachfolgend ein Ausführungsbeispiel der in Übereinstimmung mit der vorliegenden Erfindung stehenden und für den Einsatz bei einem Halbleiterbauelement-Testgerät ausgelegten Testkopf-Positioniereinrichtung beschrieben. Bei diesem Ausführungsbeispiel ist ein Fall dargestellt, bei dem die Testkopf-Positioniereinrichtung bei einem IC-Tester zum Einsatz kommt, der mit einer integriert mit ihm ausgebildeten oder direkt mit ihm verbundenen Handhabungseinrichtung des horizontalen Transporttyps, die unter Bezugnahme auf die Fig. 3 und 4 beschrieben worden ist, zum Einsatz kommt. Die vorliegen­ de Erfindung ist selbstverständlich aber auch bei einem IC-Tester einsetzbar, der mit einer beliebigen Handhabungseinrichtung verbunden ist, die vielfältig unterschiedliche, sich von dem horizontalen Transporttyp unterscheidende Ausgestaltungen besitzen kann. Diejenigen in den Fig. 1, 2A und 2B gezeigten Elemente, die den in Fig. 5 dargestellten Elementen entspre­ chen, sind hierbei mit dem gleichen Bezugszeichen versehen und werden nur bei Bedarf noch­ mals in größeren Einzelheiten erläutert.

Fig. 1 zeigt eine Seitenansicht, in der ein Ausführungsbeispiel der in Übereinstimmung mit der vorliegenden Erfindung stehenden Testkopf-Positioniereinrichtung dargestellt ist, die für den Einsatz bei einem Halbleiterbauelement-Testgerät ausgelegt ist. Insbesondere sind in Fig. 4 die Einzelheiten der Hebeeinrichtung bzw. Hebebühneneinrichtung dargestellt, die zum Bewegen des Testkopfs in vertikaler Richtung nach oben und unten vorgesehen ist. Auch bei diesem Ausfüh­ rungsbeispiel ist der Testkopf lediglich in Form eines Blocks 81 dargestellt. Auch wenn in Fig. 1 lediglich eine Seite des Testkopfs 81 gezeigt ist, ist anzumerken, daß eine weitere Hebeeinrich­ tung bzw. Hebebühneneinrichtung mit einem gleichartigen Aufbau an der entgegengesetzten Seite des Testkopfs angeordnet ist, was aus den Fig. 2A und 2B leicht ersichtlich ist, die eine von der linken Seite bzw. von der rechten Seite der Fig. 1 her gesehene Vorderansicht bzw. Rückseitenansicht zeigen.

Die dargestellte Hebeeinrichtung (Lifteinrichtung) 1 weist zwei Schraubenpaare bzw. Schrauban­ triebspaare auf, die eine tange Führungsschraube, d. h. Schraubspindel 11 (bei diesem Ausfüh­ rungsbeispiel handelt es sich um eine mit Außengewinde versehene Schraube bzw. Schraubspin­ del), die sich in horizontaler Richtung, d. h. in der gemäß Fig. 1 nach links und rechts weisenden Richtung entlang der unteren Endkante an einer lateralen Seite (Seitenfläche) des Testkopfs 81 in einer vorbestimmten Höhenlage unterhalb der Bodenfläche des Testkopfs 81 erstreckt, und zwei bewegliche Schraubelemente bzw. Spindelmutterelemente 12A und 12B umfassen, die mit einem vorbestimmten Abstand beabstandet zueinander angeordnet sind und die in sich mit Gewinde versehen sind, bei denen es sich bei dem vorliegenden Ausführungsbeispiel um Innengewinde handelt und die mit der Schraubspindel 11 in Gewindeeingriff stehen.

Die beweglichen Schraubelemente 12A und 12B dieser beiden Schraubenpaare können jeweils beispielsweise eine Kugelumlaufspindel enthalten, die sich entlang der Führungsspindel 11 hin- und herbewegt, wenn die Führungsspindel 11 um ihre eigene Achse gedreht wird. In der peripheren Wand der beweglichen Schraubelemente 12A und 12B sind benachbart zu deren Oberseiten jeweils Zapfen 13A bzw. 13B rechtwinklig hierzu verlaufend eingefügt, so daß die Zapfen 13A und 13B in einer durch die Zeichnungsebene gemäß Fig. 1 verlaufenden Richtung orientiert sind und jeweils ein Ende der Zapfen 13A und 13B nach außen vorsteht.

Die Hebeeinrichtung 1 enthält ferner zwei Verbindungszapfen 14A und 14B, die voneinander mit einer vorbestimmten Entfernung in der Längsrichtung der Schraubspindel 11 beabstandet angeordnet sind und in einen im wesentlichen rechteckförmigen beweglichen Trägerblock 21 im wesentlichen mit der gleichen Höhenlage derart eingefügt bzw. an dem Trägerblock 21 derart angeordnet sind, daß sie rechtwinklig nach außen vorstehen, wobei der Trägerblock 21 an der Seitenwand des Testkopfs 81 angebracht ist. Die Hebeeinrichtung 1 umfaßt ferner zwei feststehende Zapfen 15A und 15B die in einem vorbestimmten Abstand in Richtung der Längsrichtung der Schraubspindel 11 voneinander beabstandet angeordnet sind und in ein Trägerelement 2 (siehe die Fig. 2A und 2B) im wesentlichen in der gleichen Höhenlage (bei diesem Ausführungsbeispiel handelt es sich um eine Position, die etwas unterhalb des bewegli­ chen Trägerblocks 21 liegt) derart eingefügt sind, daß sie rechtwinklig nach außen in Richtung zu dem Testkopf vorstehen. Das Trägerelement 2 ist hierbei mit einem vorbestimmten Abstand außerhalb von der Schraubspindel 11 und dieser gegenüberliegend angeordnet. Die Hebeeinrich­ tung 1 enthält ferner zwei antreibende Arme 16A und 16B, die an einem Ende jeweils mit dem Zapfen 13A bzw. 13B, die im folgenden auch als erste feststehende Zapfen bezeichnet werden und die an den beweglichen Schraubelementen 12A bzw. 12B befestigt sind, schwenkbar verbunden sind, und die weiterhin mit ihren anderen Enden mit den Verbindungszapfen 14A bzw. 14B des beweglichen Trägerblocks 21 schwenkbar verbunden sind. Die Hebeeinrichtung 1 umfaßt weiterhin zwei angetriebene Arme 18A und 18B, die mit ihrem einen Ende mit dem Zapfen 15A bzw. 15B, die im folgenden auch als zweite feststehende Zapfen bezeichnet werden und die jeweils an dem Trägerelement befestigt sind, schwenkbar verbunden sind. Weiterhin enthält die Hebeeinrichtung 1 Schwenkzapfen 17A und 17B, die mit den entsprechenden antreibenden Armen und angetriebenen Armen im wesentlichen an deren zwischen ihren entgegengesetzten Enden liegenden Mittelpunkten schwenkbar verbunden sind.

An den anderen Enden der angetriebenen Arme 18A und 18B sind Gleitzapfen 22A bzw. 22B befestigt, die in Richtung zu dem Testkopf 81 vorstehen und jeweils in horizontal langgestreck­ ten Schlitzen 23A bzw. 23B aufgenommen sind, die jeweils in dem beweglichen Trägerblock 21 an entsprechenden Positionen derart ausgebildet sind, daß sich die Gleitzapfen 22A und 22B gleitend in den langgestreckten Schlitzen 23A und 23B bewegen, wenn die angetriebenen Arme 18A und 18B verschwenkt werden. Die Gleitzapfen 22A und 22B der angetriebenen Arme 18A und 18B sind an der zu dem Testkopf 81 weisenden Seite mit Halteelementen versehen, die zum Verhindern einer Verlagerung dienen und hierdurch sicherstellen sollen, daß die Gleitzapfen 22A und 22B in den langgestreckten Schlitzen 23A und 23B gleiten, während sie einen Teil des Gewichts des Testkopfs 81 tragen.

Die angetriebenen Arme 18A und 18B weisen im wesentlichen die gleiche Form und die gleiche Größe wie die antreibenden Arme 16A und 16B auf und sind über die entsprechenden Schwenk­ zapfen 17A und 17B mit den antreibenden Armen 16A und 16B in der Form eines X gekoppelt.

Auch wenn das Trägerelement 2, das der Schraubspindel 11 gegenüberliegend angeordnet ist, in den Fig. 2A und 2B derart dargestellt ist, daß es direkt mit einer Trägerbasis 5 fest verbun­ den ist, die eine Montageoberfläche (Boden) darstellt, auf der die Handhabungseinrichtung aufgebaut ist, wird in der Praxis oftmals der Rahmen bzw. das Gestell der Handhabungseinrich­ tung als das Trägerelement 2 benutzt. In manchen Fällen kann auch der bodenseitige Rahmen bzw. das Bodengestell der Handhabungseinrichtung als die Trägerbasis 5 eingesetzt werden.

Es ist anzumerken, daß die zweiten feststehenden Zapfen 15A und 15B jeweils an separaten Stützelementen befestigt sein können, die jeweils an der Trägerbasis 5 befestigt sind. Die Schwenkzapfen 17A und 17B können entweder mit den entsprechenden antreibenden Armen oder mit den angetriebenen Armen fest verbunden sein.

Die Schraubspindel 11 ist durch eine Mehrzahl von nicht gezeigten Stützen bzw. Lagern drehbar gelagert, die an der Trägerbasis 5 befestigt sind. Weiterhin weist die Schraubspindel 11 einen Handgriff 31, der an einem Ende koaxial zur Schraubspindel 11 mit dieser verbunden ist, und ein Kettenrad 24A auf, das an dem anderen, entgegengesetzt liegenden Ende fest angebracht ist. Der Handgriff 31 ist mit einem Griff 31H versehen, der von einem Benutzer zum manuellen Drehen des Handgriffs 31 benutzt werden kann.

Das Kettenrad 24A, das an der Schraubspindel 11 befestigt ist, ist über eine Kette 28 mit einem Kettenrad 24B (siehe Fig. 2B) verbunden, das seinerseits an einer Schraubspindel bzw. Füh­ rungsspindel 11B befestigt ist, die auf der gegenüberliegenden Seite an einer entsprechenden Position angeordnet ist. Wenn das Kettenrad 24A somit aufgrund einer Drehung der Schraub­ spindel 11 gedreht wird, wird das andere Kettenrad 24B gleichzeitig hiermit über die Kette 28 gedreht, was wiederum eine gleichlaufende Drehung der anderen Schraubspindel 11B in der gleichen Richtung hervorruft. Diese Kettenräder 24A und 24B weisen den gleichen Durchmesser und die gleiche Anzahl von Zähnen auf, so daß die beiden Schraubspindeln 11 und 11B mit der gleichen Geschwindigkeit bzw. Drehzahl und in der gleichen Richtung gedreht werden.

Auf der anderen Seite sind aber die beweglichen Schraubelemente 12A und 12B an einer nicht gezeigten Führungsschiene gleitverschieblich gelagert, die ihrerseits an der Trägerbasis 5 befestigt ist und sich in einer Richtung längs der Schraubspindel 11 erstreckt. Hierbei ist darauf hinzuweisen, daß entweder nur die Schraubspindel 11 oder nur die Führungsschiene, oder auch alternativ diese beiden Teile gemeinsam, an dem Rahmen der Handhabungseinrichtung befestigt sein können. Bei dem dargestellten Ausführungsbeispiel sind die beiden Schraubspindeln 11 und 11B sowie ihre Führungsschienen an dem Rahmen der Handhabungseinrichtung derart befestigt, daß die Schraubspindeln 11 und 11B drehbar sind, während die Führungsschienen feststehend angebracht sind, wobei die Befestigung der Schraubspindeln 11 und 11B und der Führungs­ schienen an dem Rahmen der Handhabungseinrichtung ohne den Einsatz irgendeines separaten Trägerelements bewerkstelligt ist.

Da auf der gegenüberliegenden Seite des Testkopfs 81 weiterhin ein im wesentlichen rechteck­ förmiger beweglicher Trägerblock 21B und eine Hebeeinrichtung bzw. Hebebühne 1B mit einem identischen Aufbau vorgesehen sind, wird der Testkopf 81 in einer bestimmten gewünschten Höhenlage oberhalb der Trägerbasis 5 (der Installationsfläche der Handhabungseinrichtung) durch die beiden, als Paar vorgesehenen beweglichen Trägerblöcke 21 und 21B und die als Paar vorgesehenen Hebeeinrichtungen 1 und 1B, die gemäß der Darstellung an den sich gegenüberlie­ genden Seiten des Testkopfs angeordnet sind, gehalten.

In Übereinstimmung mit der vorliegenden Erfindung sind Luftzylinder 4 (oder Luftfedern bzw. Gasfedern oder luftgefüllte Zylinder) in vorbestimmten Positionen an der Trägerbasis 5, die bei dem vorliegenden Ausführungsbeispiel die Montagefläche für die Montage der Handhabungsein­ richtung darstellt, angeordnet. Bei dem vorliegenden Ausführungsbeispiel sind zwei Luftzylinder 4 unterhalb des Testkopfs 81 angeordnet, wobei jeweils einer dieser Luftzylinder an den sich gegenüberliegenden, linken und rechten Seitenwänden angeordnet ist. Diese Luftzylinder 4 weisen Kolbenstangen 4R auf, die über Koppelelemente 6 mit den Unterseiten der beweglichen Trägerblöcke 21 bzw. 21B verbunden sind. Die von jedem dieser Luftzylinder 4 erzeugte, nach oben gerichtete Schub- bzw. Druckkraft ist auf eine Größe eingestellt, die äquivalent bzw. gleich groß annähernd gleich groß ist wie die Hälfte des Gewichts des Testkopfs 81 (bzw. der vom Testkopf 81 erzeugten Gewichtskraft). Anders ausgedrückt, dienen diese beiden Luftzylinder 4 lediglich als ein Gegengewicht bzw. eine Ausgleichs- oder Kompensationseinrichtung, da sie gemeinsam nicht mehr als eine derartige, nach oben gerichtete Schubkraft erzeugen, daß diese gerade ausreichend ist, das Gewicht des Testkopfs 81 zu kompensieren oder auszugleichen. Dies ermöglicht den Einsatz von klein bemessenen, kostengünstigen Luftzylindern, da die beiden Luftzylinder keine derart hohe Schubkraft erzeugen müssen, daß der Testkopf 81 durch die Luftzylinder angehoben werden kann. Auch wenn bei dem vorliegenden Ausführungsbeispiel diese Luftzylinder 4 eingesetzt werden, ist es für den Fachmann offensichtlich, daß auch Hydraulikzylinder, Ölfedern oder beliebige andere äquivalente Einrichtungen für die Zwecke der vorliegenden Erfindung eingesetzt werden können.

Im folgenden wird die Arbeitsweise der in der vorstehend erläuterten Weise aufgebauten Hebeeinrichtungen 1 und 1B näher beschrieben.

Zunächst wird der Testkopf 81 zu einer vorbestimmten Position unterhalb des Testabschnitts der Handhabungseinrichtung transportiert, und es werden die beweglichen Trägerblöcke 21 und 21B an dem Testkopf 81 an dessen sich gegenüberliegenden Seitenwänden angebracht. Zu diesem Zeitpunkt befinden sich die Hebeeinrichtungen 1 und 1B in der anfänglichen, in Fig. 1 dargestell­ ten Position. Hierbei ist anzumerken, daß die von dem Testkopf 81 erzeugte Gewichtskraft überhaupt nicht auf die Hebeeinrichtungen 1 und 1B ausgeübt wird, da das Gewicht des Testkopfs 81 durch die beiden Luftzylinder 4 getragen wird.

Der Benutzer dreht dann den Griff 31, um hierdurch die Schraubspindel 11 in der Uhrzeigerrich­ tung (bei diesem Ausführungsbeispiel) zu drehen. Da gemäß den vorstehenden Ausführungen die von dem Testkopf 81 erzeugte Gewichtskraft nicht auf die Hebeeinrichtungen 1 und 1B ausgeübt wird, kann der Handgriff 31 leicht gedreht werden, so daß im Unterschied zu dem Stand der Technik, der in Fig. 6 gezeigt ist, kein Untersetzungsgetriebe erforderlich ist. Die beweglichen Schraubelemente 12A und 12B, die sich in der in Fig. 1 oder 5 gezeigten Position befinden, werden folglich in derjenigen Richtung bewegt, die in den Fig. 1 und 5 durch den Pfeil 19 angegeben ist, so daß die einen Enden der antreibenden Arme 16A und 16B, die durch die ersten feststehenden Zapfen 13A und 13B der beweglichen Schraubelemente 12A und 12B schwenkbar abgestützt sind, allmählich in Richtung zu den zweiten feststehenden Zapfen 15A und 15B bewegt werden. Da die angetriebenen Arme 18A und 18B an ihren einen Enden jeweils durch die zweiten feststehenden Zapfen 15A bzw. 15B schwenkbar abgestützt sind, werden als Ergebnis dieser Bewegung die antreibenden Arme 16A und 16B in dem Gegenuhrzeigersinn um die Schwenkzapfen 17A und 17B herum in Richtung zu einer vertikalen Stellung verschwenkt, wodurch die Verbindungszapfen 14A und 14B, die an dem beweglichen Trägerblock 21 befestigt sind, nach oben angehoben werden.

Gleichzeitig hiermit führt die Schwenkbewegung der antreibenden Arme 16A und 16B in Richtung zu ihrer vertikalen Stellung zu einer Bewegung der Schwenkzapfen 17A und 17B schräg nach rechts und oben, wodurch wiederum eine Verschwenkung (in dem Uhrzeigersinn) der angetriebenen Arme 18A und 18B um die zweiten feststehenden Zapfen 15A und 15B herum in Richtung zu einer vertikalen Stellung bewirkt wird. Als Ergebnis dessen wird eine Antriebskraft erzeugt durch die die Verbindungszapfen 14A und 14B des beweglichen Träger­ blocks 21 vertikal nach oben bewegt werden. Als Folge hiervon wird der bewegliche Trägerblock 21 in der vertikalen Richtung nach oben bewegt und es wird damit auch der Testkopf 81, der an dem beweglichen Trägerblock 21 angebracht ist, gleichzeitig hiermit vertikal nach oben bewegt.

Es ist somit ersichtlich, daß der Testkopf 81 allmählich in vertikaler Richtung bis zu einer vorbestimmten Höhenlage, bei der er im Hinblick auf den Testabschnitt der Handhabungseinrich­ tung präzise positioniert ist, dadurch angehoben werden kann, daß der Handgriff 31 gedreht wird, um hierdurch die Schraubspindel 11 der einen Hebeeinrichtung 1 zu drehen, was als Folge hiervon zu einer gleichzeitigen Drehung der Schraubspindel 11B der anderen Hebeeinrichtung 1B mittels des Kettenrads 24A, der Kette 28 und des Kettenrads 24B führt. Nachdem der Testkopf diese Höhenlage erreicht hat, wird die Drehung des Handgriffs 31 beendet, so daß der Testkopf 81 in dieser Höhenlage gehalten wird. In diesem Zustand wird der Testkopf 81 an dem Testab­ schnitt der Handhabungseinrichtung an der korrekten Position mit Hilfe einer Befestigungseinrich­ tung wie etwa einer "Hi-fix"-Basis derart angebracht, daß die an dem Testkopf 81 montierten IC- Sockel im Inneren des Testabschnitts freiliegen bzw. zugänglich sind.

Wenn der Testkopf 81 abgesenkt werden soll, wird die Befestigungseinrichtung von dem Test­ abschnitt der Handhabungseinrichtung abgenommen, bevor der Handgriff 31 in der entgegen­ gesetzten Richtung gedreht wird, um hierdurch die Schraubspindeln 11 und 11B zu drehen (bei diesem Ausführungsbeispiel in der Gegenuhrzeigerrichtung). Es ist somit leicht erkennbar, daß diese Drehung zu einer Bewegung der beweglichen Schraubelemente 12A und 12B in einer Richtung, die entgegengesetzt ist zu der durch den Pfeil 19 angegebenen Richtung, führt, wodurch der Testkopf 81 in die anfängliche, in Fig. 1 dargestellte Position abgesenkt wird. Es ist keine weitere Beschreibung erforderlich.

In der anfänglichen, in Fig. 1 dargestellten Position ist die Anordnung derart ausgelegt, daß die Mittelachsen der ersten feststehenden Zapfen 13A und 13B der beweglichen Schraubelemente 12A und 12B, und die Mittelachsen der zweiten feststehenden Zapfen 15A und 15B des Trägerelements, das der Schraubspindel 11 gegenüberliegend angeordnet ist, im wesentlichen in der gleichen Höhenlage, daß heißt in der gleichen horizontalen Ebene, liegen, daß die Mittelach­ sen des Verbindungszapfens 14A des beweglichen Trägerblocks 21 und des zweiten bewegli­ chen Zapfens 15A des Trägerelements, das der Schraubspindel 11 gegenüberliegend angeordnet ist, im wesentlichen in der gleichen vertikalen Ebene liegen, und daß die Mittelachse des Verbindungszapfens 14B des beweglichen Trägerblocks 21 und die Mittelachse des zweiten feststehenden Zapfens 15B des Trägerelements, das der Schraubspindel 11 gegenüberliegend angeordnet ist, im wesentlichen in der gleichen vertikalen Ebene liegen. Die Ausgestaltung ist jedoch nicht auf die dargestellte Anordnung beschränkt.

Es ist anzumerken, daß dann, wenn die Anzahl von beweglichen Schraubelementen, die mit den Schraubspindeln 11 und 11B in Gewindeeingriff stehen, über die beiden dargestellten Schraub­ elemente hinaus erhöht wird und auch eine entsprechende Erhöhung der Anzahl von Sätzen aus antreibenden Armen und angetriebenen Armen zum Abstützen und zum Bewegen der bewegli­ chen Trägerblöcke 21 und 21B in der vertikalen Richtung vorgesehen ist, nicht nur die vertikale Bewegung des Testkopfs 81 geglättet, d. h. sanfter ausgeführt werden kann, sondern daß auch das Gewicht des Testkopfs 81 noch besser durch die erhöhte Anzahl von Sätzen aus antreiben­ den Armen und angetriebenen Armen getragen werden kann.

Bei dem vorstehend beschriebenen Aufbau, bei dem die Gewichtskraft des Testkopfs 81 nicht auf die Hebeeinrichtungen 1 und 1B ausgeübt wird, kann der Benutzer den Handgriff 31 trotz der Tatsache, daß der Handgriff 31 direkt mit der Schraubspindel 11 verbunden ist, einfach, d. h. mit verringertem Kraftaufwand, drehen. Da folglich kein Untersetzungsgetriebe benötigt wird, ist es möglich, die Schraubspindeln 11 und 11B mit einer recht raschen Geschwindigkeit zu drehen, um hierdurch eine rasche Bewegung des Testkopfs 81 in der vertikal nach oben und unten weisenden Richtung zu erleichtern. Es ist somit ersichtlich, daß keine Probleme hinsichtlich der Geschwindigkeit der nach oben und unten gerichteten Bewegung des Testkopfs 81 vorhanden sind. Ferner führt auch eine Erhöhung des Gewichts des Testkopfs 81 in keiner Weise zu einer nachteiligen Beeinflussung der Betätigbarkeit des Handgriffs 31 seitens des Benutzers, da jegliche Zunahme des Gewichts durch die Luftzylinder 4, die als Gegengewichts- bzw. Aus­ gleichselemente dienen, kompensiert wird. Es ist somit ersichtlich, daß mit der vorliegenden Erfindung eine handbetätigbare Testkopf-Positioniereinrichtung geschaffen wird, die eine sehr gute Betätigbarkeit besitzt.

Da ferner die Energiequelle für die Bewegung des Testkopfes nach oben und unten lediglich durch das manuell erzeugte axiale Drehmoment, das von dem Benutzer über die Betätigung des Handgriffs in die Schraubspindel eingespeist wird, gebildet wird, ohne daß eine sonstige Antriebsquelle vorgesehen ist, kann der Benutzer die gegenseitige positionsmäßige Beziehung zwischen dem Testabschnitt der Handhabungseinrichtung, mit der der Testkopf verbunden werden soll, und der Hebeeinrichtung exakt fühlen oder fassen, so daß eine Kommunikationsein­ richtung nicht mehr unbedingt notwendig ist und weggelassen werden kann. Ferner ist auch keine Motorsteuerschaltung erforderlich.

Zusätzlich ermöglicht die Tatsache, daß die Luftzylinder lediglich als eine Ausgleichseinrichtung bzw. Kompensationseinrichtung benutzt werden, den Einsatz von klein bemessenen und kostengünstigen Luftzylindern, so daß die Kostenerhöhung der Anfangskosten des gesamten IC- Testers nur geringfügig ist. Ferner überschreitet die Last, die auf die verschiedenen Komponen­ ten der Hebeeinrichtung ausgeübt wird, nicht den Bereich des manuell erzeugten axialen Drehmoments, wodurch eine sichere und sanfte Betätigung sichergestellt ist.

Ferner ist auch von Bedeutung, daß im Hinblick auf die Maßnahmen, durch die verhindert werden soll, daß der Testkopf im Fall eines zufälligen Ausfalls der Antriebsquelle herabfällt oder absinkt, bei der vorliegenden Erfindung keine speziellen Vorkehrungsmaßnahmen notwendig sind, da es aufgrund des Antriebs mit Hilfe von beweglichen Schraubelementen, die mit einer Schraubspindel in Eingriff stehen, anstelle des Einsatzes eines Motorantriebs möglich ist, diese nach unten gerichtete Last oder Kraft in einem statischen Lastzustand aufzunehmen, und zwar aufgrund der Reibung zwischen der Führungsspindel und den beweglichen Schraubelementen, sofern eine Mehrzahl von beweglichen Schraubelementen benutzt wird, wie es bei dem vorste­ hend beschriebenen Ausführungsbeispiel der Fall ist.

Es ist ferner anzumerken, daß in einem Fall, bei dem die Luftzufuhr zu den Luftzylindern zufällig beendet werden sollte, die Sicherheit dennoch gewährleistet ist, da die Luftzylinder bei dem eingestellten Druck gehalten werden können, indem Rückschlagventile zwischen den Zylindern und einer Luftquelle eingefügt werden.

Auch wenn bei dem vorstehend beschriebenen Ausführungsbeispiel die Ausgestaltung de 02650 00070 552 001000280000000200012000285910253900040 0002019833500 00004 02531rart getroffen ist, daß die Hebeeinrichtungen 1 und 1B die beweglichen Trägerblöcke 21 und 21B vertikal nach oben und unten bewegen, wodurch der Testkopf 81, der an den beweglichen Trägerblöcken 21 und 21B angebracht ist, nach oben und unten bewegt wird, können die Hebeeinrichtungen 1 und 1B auch derart ausgelegt sein, daß sie den Testkopf 81 direkt nach oben und unten bewegen. In diesem Fall sind die Verbindungszapfen 14A und 14B an dem Testkopf 81 befestigt, und es sind die horizontal langgestreckten Schlitze 23A und 23B, in denen sich die Gleitzapfen 22A und 22B der angetriebenen Arme 18A und 18B gleitend bewegen, in dem Testkopf 81 ausgebildet.

Alternativ können anstelle der langgestreckten Schlitze 23A und 23B zwei sich in horizontaler Weise erstreckende, parallele, voneinander beabstandete Führungsschienen an jeder oder einer beliebigen Seitenwand des Testkopfs 81 oder der beweglichen Trägerblöcke 21 und 21B ausgebildet oder montiert sein. In diesem Fall ist der vertikale Abstand zwischen den beiden parallelen Führungsschienen etwas größer ausgelegt als der Außendurchmesser der Gleitzapfen 22A und 22B, so daß die Gleitzapfen 22A und 22B der angetriebenen Arme 18A und 18B in horizontaler Richtung entlang der Führungsschienen gleiten können, wobei das Gewicht des Testkopfs 81 durch die obere Führungsschiene getragen wird. Es ist somit ersichtlich, daß das Vorsehen solcher Führungsschienen zu gleichartigen funktionellen Effekten wie diejenigen führen kann, die durch die Ausbildung der langgestreckten Schlitze 23A und 23B hervorgerufen werden. Ferner ist es selbst bei dem Vorsehen lediglich der oberen Schiene möglich, das Gewicht des Testkopfs 81 zu halten und es können demzufolge gleichartige funktionelle Wirkungen wie diejenigen bereitgestellt werden, die durch die Ausbildung der langgestreckten Schlitze 23A und 23B erzielt werden. Demzufolge versteht es sich, daß die vorliegende Erfin­ dung nicht auf die Anordnung und Ausgestaltung des vorstehend unter Bezugnahme auf die Zeichnungen erläuterten Ausführungsbeispiels beschränkt ist.

Claims (17)

1. Testkopf-Positioniereinrichtung für ein Halbleiterbauelement-Testgerät eines Typs, bei dem Halbleiterbauelemente zu einem Testabschnitt (67) transportiert werden, in dem die Halbleiterbauelemente einem Test unterzogen werden, und die Halbleiterbauelemente nach dem Abschluß des Tests aus dem Testabschnitt (67) zu einer vorbestimmten Position transportiert werden, wobei die Testkopf-Positioniereinrichtung dazu ausgelegt ist, einen Testkopf (81), der zum Anlegen eines ein vorbestimmtes Muster aufweisenden Testsignals an die Halbleiterbauele­ mente ausgelegt ist, vertikal nach oben bis zu einer vorbestimmten Höhenlage in dem Testab­ schnitt des Halbleiterbauelement-Testgeräts sowie von dieser vorbestimmten Höhenlage nach unten zu bewegen, gekennzeichnet durch eine Ausgleichseinrichtung (4), die eine Antriebskraft erzeugt, die annähernd äquivalent ist zu dem Gewicht des Testkopfs (81), und eine handbetätig­ bare Hebeeinrichtung (1, 1B) zum Bewegen des Testkopfs (81) vertikal nach oben und unten.

2. Testkopf-Positioniereinrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Ausgleichseinrichtung (4) mindestens zwei Ausgleichseinrichtungen umfaßt, die an mindestens zwei entgegengesetzten Positionen des Testkopfs angeordnet sind, und daß die Summe der von diesen Ausgleichseinrichtungen erzeugten Antriebskräfte auf einen Wert eingestellt ist, der annähernd gleich groß ist wie das Gewicht des Testkopfs (81).

3. Halbleiterbauelement-Testgerät nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß die Ausgleichseinrichtung (4) einen Luftzylinder, einen Hydraulikzylinder oder eine Ölfeder aufweist.

4. Testkopf-Positioniereinrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Ausgleichseinrichtung (4) mindestens zwei Ausgleichseinrichtungen umfaßt, die an mindestens zwei entgegengesetzt angeordneten Positionen des Testkopfs (81) angeordnet sind, daß die Summe der von diesen Ausgleichseinrichtungen (4) erzeugten Antriebskräfte auf einen Wert eingestellt ist, der annähernd äquivalent ist zu der von dem Testkopf (81) erzeugten Gewichts­ kraft, um hierdurch das Gewicht des Testkopfs (81) zu kompensieren, und daß die handbetätig­ bare Hebeeinrichtung (1, 1B) zwei Hebeeinrichtungen umfaßt, die jeweils an den sich gegen­ überliegenden Seitenwänden des Testkopfs (81) derart angeordnet sind, daß bei manueller Betätigung einer der beiden Hebeeinrichtungen (1, 18) durch einen Benutzer diese beiden Hebeeinrichtungen (1, 1B) gleichzeitig betätigt werden, um hierdurch den Testkopf (81) vertikal nach oben und unten zu bewegen.

5. Testkopf-Positioniereinrichtung nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, daß die Ausgleichseinrichtungen (4) jeweils einen Luftzylinder, einen Hydraulikzylinder oder eine Ölfeder aufweisen.

6. Testkopf-Positioniereinrichtung nach Anspruch 4 oder 5, dadurch gekennzeichnet, daß die Hebeeinrichtungen (1, 1B) jeweils eine Schraubspindel (11, 11B), die sich im wesentli­ chen horizontal erstreckt und drehbar gelagert ist; mindestens ein bewegliches Schraubelement (12A, 12B), das mit der Schraubspindel (11, 11B) in Gewindeeingriff steht; und einen antreiben­ den Arm umfassen, der an einem Ende mit dem beweglichen Schraubelement (12A, 12B) schwenkbar verbunden und derart betätigbar ist, daß der Testkopf (81) vertikal nach oben oder unten bewegt wird, wenn das bewegliche Schraubelement (12A, 128) entlang der Schraubspin­ del (11, 11B) bewegt wird.

7. Testkopf-Positioniereinrichtung nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, daß die Schraubspindeln (11, 11B) der Hebeeinrichtungen (1, 18) miteinander über Kettenräder (24A, 24B), die an den jeweiligen Schraubspindeln (11, 11B) befestigt sind, und eine Kette (28) gekoppelt sind, die zwischen den Kettenrädern (24A, 24B) verläuft und mit diesen Kettenrädern verbunden ist, so daß die Kettenräder gleichzeitig in der gleichen Richtung und mit ungefähr der gleichen Geschwindigkeit gedreht werden, und daß ein Handgriff (31, 31H) vorgesehen ist, der mit der Schraubspindel (11, 11B) einer der Hebeeinrichtungen (1, 18) koaxial direkt verbunden ist.

8. Testkopf-Positioniereinrichtung nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, daß die Schraubspindeln (11, 11B) der Hebeeinrichtung (1, 1B) miteinander über Zahnräder, die an den jeweiligen Schraubspindeln befestigt sind, und eine Getriebeeinrichtung gekoppelt sind, die zwischen den Zahnrädern angeordnet ist und diese Zahnräder miteinander verbindet, so daß die Zahnräder gleichzeitig in der gleichen Richtung und mit ungefähr der gleichen Geschwindigkeit gedreht werden, und daß ein Handgriff vorgesehen ist, der mit der Schraubspindel (11, 11B) einer der Hebeeinrichtungen (1, 1B) koaxial direkt verbunden ist.

9. Testkopf-Positioniereinrichtung nach einem der Ansprüche 6 bis 8, dadurch gekenn­ zeichnet, daß jede Hebeeinrichtung (1, 1B) einen angetriebenen Arm (18A, 18B) aufweist, der ungefähr die gleiche Form und Größe wie der antreibende Arm (16A, 16B) besitzt und der bewegt wird, wenn der antreibende Arm (16A, 16B) bewegt wird, und daß der antreibende Arm (16A, 16B) und der angetriebene Arm (18A, 18B) im wesentlichen an ihren Mittelpunkten schwenkbar miteinander verbunden sind und verschwenkbar sind, wenn das bewegliche Schraubelement (12A, 12B) entlang der Schraubspindel (11, 11B) bewegt wird, um hierdurch den Testkopf (81) vertikal nach oben oder unten zu bewegen.

10. Testkopf-Positioniereinrichtung nach einem der Ansprüche 6 bis 9, dadurch gekennzeichnet, daß eine Mehrzahl von bewegbaren Schrauben, Mutter- oder Schraubelementen (12A, 12B) mit jeder der Schraubspindeln (11, 11B) der Hebeeinrichtungen (1, 1B) in Gewinde­ eingriff steht, und daß jedes bewegliche Schraubelement (12A, 12B) mit einem feststehenden Zapfen (13A, 13B) versehen ist, mit dem ein Ende des zugehörigen antreibenden Arms oder angetriebenen Arms (18A, 18B) schwenkbar verbunden ist.

11. Testkopf-Positioniereinrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die Hebeeinrichtung mindestens zwei Hebeeinrichtungen (1, 1B) umfaßt, die an den beiden, sich gegenüberliegenden Seitenwänden des Testkopfs (81) derart angeordnet sind, daß die beiden Hebeeinrichtungen (1, 1B) gleichzeitig betätigt werden und der Testkopf vertikal nach oben oder unten bewegt wird, wenn ein Benutzer eine der beiden Hebeeinrichtungen (1, 1B) manuell betätigt.

12. Testkopf-Positioniereinrichtung nach Anspruch 11, dadurch gekennzeichnet, daß jede Hebeeinrichtung (1, 1B) eine Schraubspindel (11, 11B), die im wesentlichen horizontal verläuft und drehbar gelagert ist, mindestens ein bewegliches Schraubelement (12A, 12B), das mit der Schraubspindel (11, 11B) in Gewindeeingriff steht, und einen antreibenden Arm (16A, 16B, 18A, 18B) aufweist, der an einem Ende mit dem beweglichen Schraubelement (12A, 12B) schwenkbar verbunden und derart betätigbar ist, daß der Testkopf (81) vertikal nach oben oder unten bewegt wird, wenn das bewegliche Schraubelement (12A, 12B) entlang der Schraubspin­ del (11, 11B) bewegt wird.

13. Testkopf-Positioniereinrichtung nach Anspruch 12, dadurch gekennzeichnet, daß die Schraubspindeln der Hebeeinrichtungen über Kettenräder (24A, 24B), die an den jeweiligen Schraubspindeln befestigt sind, und eine Kette, die zwischen den Kettenrädern verläuft und diese miteinander verbindet, gekoppelt sind, derart, daß die Kettenräder in der gleichen Richtung und mit ungefähr der gleichen Geschwindigkeit gleichzeitig drehbar sind, und daß ein Handgriff vorgesehen ist, der direkt mit der Schraubspindel einer der Hebeeinrichtungen koaxial verbunden ist.

14. Testkopf-Positioniereinrichtung nach Anspruch 12, dadurch gekennzeichnet, daß die Schraubspindeln der Hebeeinrichtungen über Zahnräder, die mit den jeweiligen Schraubspin­ deln fest verbunden sind, und eine Getriebeeinrichtung, die zwischen den Zahnrädern angeordnet ist und diese miteinander verbindet, miteinander gekoppelt sind, derart, daß die Zahnräder in der gleichen Richtung und mit ungefähr der gleichen Geschwindigkeit gleichzeitig drehbar sind, und daß ein Handgriff vorgesehen ist, der direkt mit der Schraubspindel einer der Hebeeinrichtungen koaxial verbunden ist.

15. Testkopf-Positioniereinrichtung nach einem der Ansprüche 12 bis 14, dadurch gekennzeichnet, daß jede Hebeeinrichtung einen angetriebenen Arm umfaßt, der ungefähr die gleiche Form und Größe wie der antreibende Arm aufweist und bewegbar ist, wenn der antrei­ bende Arm bewegt wird, daß der antreibende Arm und der angetriebene Arm im wesentlichen an ihren Mittelpunkten schwenkbar miteinander verbunden sind und verschwenkt werden, wenn das bewegliche Schraubelement entlang der Schraubspindel bewegt wird, um hierdurch den Testkopf vertikal nach oben und/oder unten zu bewegen.

16. Testkopf-Positioniereinrichtung nach einem der Ansprüche 12 bis 15, dadurch gekennzeichnet, daß eine Mehrzahl von beweglichen Schraubelementen mit jeder der Schraub­ spindeln der Hebeeinrichtungen in Gewindeeingriff steht, und daß jedes der beweglichen Schraubelemente mit einem feststehenden Zapfen versehen ist, an dem ein Ende des entspre­ chenden antreibenden Arms schwenkbar angelenkt ist.

17. Testkopf-Positioniereinrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 16, dadurch gekennzeichnet, daß zwei bewegliche Trägereinrichtungen vorgesehen sind, von denen jeweils eine an den beiden sich gegenüberliegenden Seitenwänden des Testkopfs angebracht ist, daß die Hebeeinrichtung (1, 1B) jeweils an den beiden beweglichen Trägereinrichtungen angebracht ist, und daß der Testkopf an den beiden beweglichen Trägereinrichtungen angebracht ist.