DE19806282C1 - Vorrichtung und Verfahren von zum Belüften einer Vakuum-Bearbeitungskammer mit einer Transportkammer - Google Patents
Vorrichtung und Verfahren von zum Belüften einer Vakuum-Bearbeitungskammer mit einer TransportkammerInfo
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- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
- C23C14/22—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the process of coating
- C23C14/56—Apparatus specially adapted for continuous coating; Arrangements for maintaining the vacuum, e.g. vacuum locks
- C23C14/564—Means for minimising impurities in the coating chamber such as dust, moisture, residual gases
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Description
Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung und ein Verfahren
zum Belüften einer Vakuum-Bearbeitungskammer, wobei zu bear
beitende Werkstücke über eine Schleuse oder Beschickungskam
mer und dann über eine Transportkammer der Bearbeitungskam
mer zugeführt werden. Insbesondere kann in der Vakuum-Bear
beitungskammer die Kathode mit einem Zerstäubungstarget
einer Kathodenzerstäubungsanlage angeordnet sein, in der
z. B. CDs (Compact Discs) oder DVDs (Digital Versatile Discs
oder vielseitig beschreib- und lesbare Informationsträger)
beschichtet werden können.
Bei Kathodenzerstäubungsanlagen tritt das Problem auf, daß
das Target sich mit der Zeit verbraucht und durch ein neues
Target ersetzt werden muß. Durch den Austausch des Targets,
das in einer Bearbeitungskammer unter Vakuum angeordnet ist,
muß diese Bearbeitungskammer belüftet werden, um z. B. von
einer Transportkammer gelöst zu werden.
Aus der US-A-5 135 635 ist es bekannt, die Öffnung von der
Transportkammer zur Bearbeitungskammer, z. B. einer Katho
denzerstäubungsanlage, durch Anheben eines Werkstückträgers
abzudichten. Danach wird die Bearbeitungskammer über ent
sprechende Ventile belüftet und abgehoben, so daß z. B. das
Target ausgewechselt werden kann. Dabei sind zusätzliche
Ventile für das Belüften und das Anpumpen der Bearbeitungs
kammer erforderlich.
Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, eine verbesserte
Vorrichtung und ein verbessertes Verfahren zum Belüften
einer Vakuum-Bearbeitungskammer mit einer Transportkammer
zur Verfügung zu stellen, wobei zusätzliche Ventile für die
Belüftung und des Anpumpen der Bearbeitungskammer entfallen.
Diese Aufgabe wird mit den Merkmalen der Patentansprüche ge
löst.
Bei der Lösung geht die Erfindung von folgenden Grundgedan
ken aus.
An der Unterseite eines Schwenkträgers zum Transportieren
von Werkstücken, insbesondere CDs und DVDs in der Transport
kammer ist mindestens ein Deckel angeordnet, der durch Ab
senken des Schwenkträgers mindestens eine Öffnung, die mit
einer Vakuumpumpe, insbesondere einer Turbomolekularpumpe,
verbunden ist, abdichtet. Auf diese Weise kann die Bearbei
tungskammer, z. B. ein Kathodenraum, über einen Kanal zur Be
lüftung oder Evakuierung einer Schleuse am Eingang der Be
schickungskammer belüftet werden.
Ein Vorteil der Erfindung liegt in einer schnellen und ein
fachen Belüftung und - nach dem Targetwechsel - raschen Eva
kuierung der Vakuum-Bearbeitungskammer, wobei kostenaufwen
dige zusätzliche Einrichtungen vermieden werden. Dadurch
wird der Targetwechsel beschleunigt, da die Hochvakuumpumpe
(Turbomolekularpumpe) nicht belüftet werden muß.
Im folgenden wird die Erfindung anhand der Zeichnung näher
erläutert. Es zeigen:
Fig. 1 einen Schnitt durch eine erfindungsgemäße Ausfüh
rungsform zur Belüftung einer Vakuum-Bearbeitungs
kammer, und
Fig. 2 ein Prinzipbild zur erfindungsgemäßen Anordnung von
Öffnungen für Vakuumpumpen und Deckel in einer Be
schickungskammer.
Fig. 1 zeigt eine Transport- oder Übergabekammer 2 für eine
angeschlossene Vakuum-Bearbeitungskammer 1. Eine solche Va
kuum-Bearbeitungskammer kann eine Kathodenzerstäubungsanlage
mit einer Kathode und Target zur Beschichtung von z. B. CDs
oder DVDs sein. Das Werkstück (CDs und DVDs) 12 werden bei
geöffnetem Schleusendeckel 8 in den Beschichtungs- oder
Schleusenraum 10 eingefahren und auf einem Werkstückträger
3a auf der Oberseite eines Schwenkträgers 3 abgelegt. Dabei
wird der Schleusendeckel 8 geschlossen, und danach wird der
Schleusenraum 10 über einen Kanal 9 durch die Vorvakuumpumpe
15 evakuiert. Der Schwenkträger 3 ist um eine vertikale
Achse X drehbar und z. B. längs dieser Achse verschiebbar.
Nach dem Evakuieren des Schleusenraums 10 und Schließen des
Vorvakuumventils 14 wird der Werkstückträger 3a abgesenkt
und um z. B. 180° gedreht und angehoben und schließlich in
einer Bearbeitungsstation 7, z. B. mittels eines Targets, be
schichtet. Durch Drehen des Schwenkträgers 3 zurück zur
Schleuse wird das bearbeitete Werkstück 12 nach dem Belüften
der Schleuse aus der Transportkammer 2 herausgefahren.
Erfindungsgemäß sind unterhalb der Werkstückträger 3a an der
Unterseite des Schwenkträgers 3, ausgerichtet zu je einer
Öffnung 4, die mit je einer Vakuumpumpe 5 (z. B. eine Hochva
kuumpumpe, insbesondere eine Turbomolekularpumpe) verbunden
ist, Deckel 3b angeordnet. Beim von Zeit zu Zeit erforderli
chen Auswechseln z. B. eines abgebrannten Targets werden die
Deckel 3b durch Absenken des Schwenkträgers 3 nach unten ge
fahren, so daß sie die Öffnungen 4 abdichten. Danach besteht
eine Verbindung zwischen der Vakuum-Bearbeitungskammer und
der Öffnung des Kanals 9 im Schleusenraum 10. Durch Öffnen
eines Ventils 13 im Kanal 9 (bei geschlossenem Vorvakuumven
til 14) wird die Bearbeitungskammer 1 belüftet und kann da
nach von dem Rand 2a der Transportkammer 2 abgehoben werden,
um z. B. ein Target auszutauschen.
Der Schleusendeckel 8, die Werkstückträger 3a und die Deckel
3b weisen Dichtungsringe 11 auf, alternativ können die Dich
tungsringe auch an der stationären Innenwand der Transport
kammer 2 angeordnet sein.
Nach dem Austauschen z. B. eines Targets wird die Vakuum-Be
arbeitungskammer 1 wieder auf die Transportkammer 2 gesetzt;
nach Schließen des Ventils 13 und Öffnen des Vorvakuumven
tils 14 zu einer Vorvakuumpumpe 15 wird in der Bearbeitungs
kammer 1 sowie der Transportkammer 2 über den Kanal 9 ein
Vorvakuum erzeugt. Nach Erreichen eines gewünschten Drucks
werden nach Schließen des Ventils 14 die Deckel 3b von den
Öffnungen 4 durch Anheben des Schwenkträgers 3 abgehoben und
der Druck in der Transportkammer und der Bearbeitungskammer
durch die Hochvakuumpumpe 5 weiter erniedrigt.
Erfindungsgemäß kann somit das Belüften und das Evakuieren
der Bearbeitungskammer 1 ohne weitere Einrichtungen durch
eine einfache strukturelle Änderung der Transportkammer er
reicht werden, wobei die Stillstandszeiten bei z. B. einem
Target- oder Maskenwechsel bei einer Beschichtung reduziert
werden; vorteilhaft ist dabei insbesondere, daß die Hochva
kuumpumpen (Turbomolekularpumpen) 5 beim Targetwechsel nicht
belüftet werden müssen und dadurch die Stillstandszeit er
heblich reduziert wird.
Wie in Fig. 2 gezeigt wird, können die Öffnungen 4, die mit
Vakuumpumpen in Verbindung stehen, auch an anderen Positio
nen als in Fig. 1 dargestellt auf dem Schwenkkreis der Werk
stückträger 3a und der Deckel 3b um die Achse X angeordnet
sein.
Die Öffnungen 4 und die Deckel 3b können auch bezüglich der
Mittelachse der Werkstückträger 3a radial versetzt angeord
net sein.
Claims (13)
1. Vorrichtung zum Belüften einer Vakuum-Bearbeitungskammer
(1), mit:
- (a) einer Transportkammer (2),
- (b) einem in der Transportkammer (2) um eine vertikale Achse (X) drehbaren und längs der Achse (X) ver schiebbaren Schwenkträger (3) mit mindestens einem Werkstückträger (3a) auf seiner oberen Seite zum Transportieren eines Werkstücks von einem Schleusen eingang (6) zu einer Bearbeitungsstation (7) gegen über der Bearbeitungskammer (1),
- (c) mindestens einer Öffnung (4) in der Transportkammer (2), an die eine Vakuumpumpe (5) angeschlossen ist,
- (d) wobei die Öffnung (4) zum Belüften der Bearbeitungs kammer (1) durch einen Deckel (3b) auf der unteren Seite des Schwenkträgers durch Absenken des Schwenkträgers (3) verschließbar ist.
2. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß
die Bearbeitungskammer (1) eine Beschichtungseinrichtung
für CDs oder DVDs (Compact Discs oder Digital Versatile
Discs), ist.
3. Vorrichtung nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß
in der Bearbeitungskammer (1) das Target einer Katho
denzerstäubungsanlage angeordnet ist.
4. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch
gekennzeichnet, daß der Schleuseneingang (6) mit einem
Schleusendeckel (8) verschließbar ist, der zwischen sich
und dem Werkstoffträger (3a) einen durch einen Kanal (9)
evakuierbaren oder belüftbaren Hohlraum (Schleusenkammer
10) ausbildet.
5. Vorrichtung nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, daß
der Schleusendeckel (8), der Werkstückträger (3a) und
der Deckel (3b) Dichtungsringe (11) aufweisen.
6. Vorrichtung nach Anspruch 4 oder 5, dadurch gekennzeich
net, daß die Bearbeitungskammer (1) über den Kanal (9)
belüftbar ist, wenn der Werkstückträger (3a) am Schleu
seneingang (6) und an der Bearbeitungsstation (7) abge
senkt ist.
7. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 6, dadurch
gekennzeichnet, daß die Bearbeitungskammer (1) über
einen Dichtring (11) lösbar mit der Wand (2a) der Trans
portkammer (2) in der Nähe der Bearbeitungsstation (7)
verbunden ist.
8. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 7, dadurch
gekennzeichnet, daß der Schwenkträger (3) zwei vorzugs
weise im Winkel von 180° angeordnete Werkstückträger
(3a) und Deckel (3b) aufweist.
9. Vorrichtung nach Anspruch 8, dadurch gekennzeichnet, daß
je eine Öffnung (4) vorzugsweise im Winkel von 180° be
züglich der Achse X auf dem Schwenkkreis der Deckel (3b)
angeordnet ist.
10. Vorrichtung nach Anspruch 9, dadurch gekennzeichnet, daß
die Öffnungen (4) jeweils unterhalb des Schleusenein
gangs (6) und der Bearbeitungsstation (7) versetzt oder
gegenüber diesen auf dem Schwenkkreis der Deckel (3b) in
Drehrichtung versetzt angeordnet sind.
11. Verfahren zum Belüften einer Vakuum-Bearbeitungskammer
(1) mit einer Transportkammer (2) mittels der Vorrich
tung nach einem der Ansprüche 1 bis 10 mit den Schrit
ten:
- (a) Drehen des Schwenkträgers (3) in eine Position, so daß die mindestens eine Öffnung (4) mit dem Deckel (3b) ausgerichtet ist,
- (b) Absenken des Schwenkträgers (3), so daß der Deckel (3b) die Öffnung (4) abdichtet, und
- (c) Belüften der Transportkammer (2) und der Bearbei tungskammer (1) über den Kanal (9).
12. Verfahren nach Anspruch 11, dadurch gekennzeichnet, daß
die Bearbeitungskammer nach dem Belüften abgenommen oder
geöffnet wird.
13. Verfahren nach Anspruch 12, dadurch gekennzeichnet, daß
bei Verwendung einer Kathodenzerstäubungsanlage das ver
brauchte Target gegen ein neues Target ausgetauscht
wird.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE1998106282 DE19806282C1 (de) | 1998-02-16 | 1998-02-16 | Vorrichtung und Verfahren von zum Belüften einer Vakuum-Bearbeitungskammer mit einer Transportkammer |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE1998106282 DE19806282C1 (de) | 1998-02-16 | 1998-02-16 | Vorrichtung und Verfahren von zum Belüften einer Vakuum-Bearbeitungskammer mit einer Transportkammer |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
DE19806282C1 true DE19806282C1 (de) | 1999-03-25 |
Family
ID=7857852
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
DE1998106282 Revoked DE19806282C1 (de) | 1998-02-16 | 1998-02-16 | Vorrichtung und Verfahren von zum Belüften einer Vakuum-Bearbeitungskammer mit einer Transportkammer |
Country Status (1)
Country | Link |
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Date | Code | Title | Description |
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8100 | Publication of the examined application without publication of unexamined application | ||
D1 | Grant (no unexamined application published) patent law 81 | ||
8363 | Opposition against the patent | ||
8331 | Complete revocation |