DE19733885A1 - Verfahren zum Messen von Wegen und Drehwinkeln an bewegten Gegenständen mit einer hartmagnetischen Oberfläche und Vorrichtung zur Durchführung des Verfahrens - Google Patents

Verfahren zum Messen von Wegen und Drehwinkeln an bewegten Gegenständen mit einer hartmagnetischen Oberfläche und Vorrichtung zur Durchführung des Verfahrens

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DE19733885A1
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Horst Dr Nahr
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Description

Die Erfindung betrifft ein Verfahren zum Messen von Wegen und Drehwinkeln an bewegten Gegenständen mit einer hartmagnetischen Oberfläche und eine Vorrichtung zur Durchführung des Verfahrens.
Derartige Verfahren und Vorrichtungen sind aus der Patentliteratur bekannt.
In der Offenlegungsschrift DE 44 24 633 A1 wird ein elektrischer Positionsantrieb, insbesondere für Schiebedächer von Kraftfahrzeugen beschrieben, das ein Schaltrad aufweist, auf dem dauermagnetische Markierungen in verschiedenen Positionen und in verschiedener Ausdehnung aufgebracht sind. Jeder dauermagnetischen Markierung ist ein Hallsensor zugeordnet. Die Hallsensor-Signale ermitteln die Position des Antriebs und werden in einer Elektronik mit den Betätigungssignalen zusammen zu Motorsteuersignalen verarbeitet. Die dauermagnetischen Markierungen können aus Plastoferritstreifen bestehen, die in Nuten eingeklebt sind.
In der Offenlegungsschrift DE 43 11 267 wird ein Positionsgeber zur Überwachung der Radialwinkelstellung und/oder der Winkelgeschwindigkeit und/oder der Drehrichtung einer angetriebenen Welle beschrieben, der einen mit der Welle verbundenen, am Umfang mehrpolig lateral magnetisierten Läufer aufweist, der mit Magnetfeldsensoren zusammenwirkt, die auf einer sich senkrecht zur Wellenachse erstreckenden Platine angeordnet sind und deren Ausgangssignale in entsprechenden Auswerteschaltungen ausgewertet werden.
Aus der Offenlegungsschrift DE 35 10 651 A1 ist ein inkrementaler Weggeber, insbesondere Drehwinkelsensor hoher Auflösung bekannt, bei dem einem Inkrementrad mit gebrochener Umfangsstruktur (Zahnung) eine auf die Strukturänderung mit einer Änderung ihrer Ausgangsspannung reagierende Sensoreinheit im vorgegebenen Abstand berührungsfrei gegenüberliegt. Die Sensoreinheit umfaßt zwei Sensorsysteme, die zueinander um eine viertel Periode der elektrischen Ausgangssignale räumlich versetzt sind oder die bei gleicher Umfangslage entsprechend räumlich versetzte Rotorstrukturbereiche abtasten, wobei die in eine Rechteckwellenform umgewandelten Ausgangssignale der beiden Sensorsysteme durch eine Gatterschaltung (exklusives ODER) so miteinander verknüpft werden, daß sich die doppelte Impulszahl bei sonst beibehaltenen räumlichen Abmessungen ergibt.
Aus den Offenlegungsschriften DE 39 40 505 A1 und DE 196 14 165 A1 sind Magnetdetektoren bekannt, bei denen ein Impulszahnrad ein Magnetfeld am Magnetfeldsensor verändert und wobei aus der Veränderung des Sensorsignales die Position des Impulszahnrades ermittelt wird.
Aufgabe der Erfindung ist es, ein Verfahren zur Weg- und Winkelmessung von bewegten Gegenständen zu schaffen, das gleichermaßen für Linear- und Rotationsbewegungen von hartmagnetischen Werkstücken geeignet ist und das bei Einzel- und Massenartikeln kostengünstig realisierbar ist.
Die Aufgabe der Erfindung wird durch das nachstehend beschriebene Verfahren und die auf dem Verfahren basierende Vorrichtung gelöst.
Auf die Oberfläche eines permanentmagnetischen Materials wird eine Magnetspur aufmagnetisiert, deren Feldstärke in bestimmter Weise moduliert ist. Die Modulationsfunktion F(x) ist streng periodisch mit der Periodenlänge Lm. Die Beschreibung bezieht sich zunächst auf eine einzige Magnetspur in linearer Anordnung (Nachfolgend Meßspur genannt). Zusätzlich können weitere Magnetspuren aufgebracht werden, um eine weitergehende Positionsauswertung zu ermöglichen. Eine Maßverkörperung für Winkel wird erreicht durch Abwicklung der Magnetspur(en) auf dem Umfang eines Kreises. Mindestens zwei Magnetfeldsensoren tasten die Meßspur ab. Sie sind in einem Meßkopf mechanisch so angeordnet, daß sie die Magnetspur versetzt abtasten. Der räumliche Versatz ist so gewählt, daß er vorzugsweise 1/4 Lm beträgt, alternativ auch (n + 1/4) Lm. Wird der Meßkopf in Längsrichtung der Magnetspur bewegt, so liefern die beiden Magnetfeldsensoren zwei periodische Signale A und B. Ist die Modulationsfunktion eine Sinusfunktion, und sind beide Sensoren linear mit der Feldstärke, so sind auch die Signale A und B Sinusfunktionen, die zueinander phasenversetzt sind. Bei einem Versatz der Magnetsensoren um Lm/4 beträgt die Phasenversiebung gerade 90°. Eine nachfolgende Auswerte-Elektronik gewinnt daraus in bekannter Weise die Information über die zurückgelegte Wegstrecke. Ein herkömmliches Zählverfahren arbeitet mit Schwellwert-Diskriminatoren und Vierfach-Auswertung und liefert:
Xrel = (N.Lm/4).
Die Feinposition innerhalb der Lm/4 Stufung erhält man z. B. durch
Xabs = Lm/360°.arctan(A/B).
Hier ist A und B das sinusförmige Signal der beiden Magnetsensoren. Der zurückgelegte Weg setzt sich aus Xrel und Xabs zusammen.
Die meisten Anwendungen, z. B. im Maschinenbau, verlangen eine Positions- oder Winkelangabe in Bezug auf einen vorgegebenen Nullpunkt oder Referenzpunkt. Dieser Referenzpunkt wird dadurch gewonnen, daß eine zweite Magnetspur aufgebracht wird, nachfolgend Referenz- oder Hilfsspur genannt. Die Referenzspur braucht im einfachsten Fall nur eine einzige Singularität zu enthalten (z. B. einen Vorzeichenwechsel), deren Position von einem Magnetsensor erkannt wird und den Referenzpunkt darstellt. Die Anforderung an die Genauigkeit dieser Position stellt sich folgendermaßen dar:
Erfindungsgemäß ist die Funktion F(x) streng periodisch mit der Periodenlänge Lm. Das Meßsystem liefert nach dem Einschalten zunächst keine Information darüber, in welcher Periode sich die Meßköpfe befinden. Daher wird das System zunächst so lange verfahren, bis der Meßkopf die Singularität findet. Die zughörige Periode soll die Null-Periode genannt werden. Innerhalb der Null-Periode wird nun der Quadrant und anschließend Xabs bestimmt. Das System ist somit referenziert.
Die Anforderung an die Positionsgenauigkeit der Singularität und an die Justiergenauigkeit des Magnetkopfes braucht nur so weit zu gehen, daß eine sichere Erkennung der Null-Periode erfolgt.
Die Erfindung wird anhand der Abbildungen näher beschrieben. Fig. 1 stellt einen Schnitt durch ein Schwerlast-Wälzlager mit einem erfindungsgemäßen Drehwinkelmeßkopf dar. An einer Halterung (22) ist ein Statorring (23) gelagert, an dem durch Wälzkörper (25) ein Wälzlagerring (20) drehbar gelagert ist. Der Wälzlagerring (20) trägt einen Drehkranz (21). An der äußeren Mantelfläche des Wälzlagerringes sind magnetisch codierte Spuren angebracht, denen gegenüber ein Mantelmeßkopf (10) angeordnet ist, der an einer Meßkopfhalterung (18) gehalten ist, welche mit der Halterung (22) starr verbunden ist.
Fig. 2 stellt eine schematische Darstellung eines Wälzlagerringes (20) dar. An der Mantelfläche der Wälzlagerringes (20) ist ein Mantelmeßkopf (10) angeordnet, der die Sensoren M1, M2, M11, M12, den Referenzsensor R und den Störfeldsensor S trägt. Die Sensoren M1 und M2 sind der Meßspur 1 (31), die Sensoren M11 und M12 der Meßspur 2 (32) und der Referenzsensor R der Referenzspur (33) zugeordnet. Alle Sensoren bis auf den Störfeldsensor (17) sind im geringen Abstand zu der Meßfläche (34) angeordnet. Die Erfindung sieht ferner vor, daß der Meßkopf an der Stirnseite eines Wälzlagerringes angeordnet ist. In diesem Fall ist der Stirnmeßkopf (11) mit allen Sensoren analog dem Mantelmeßkopf der Spur (30) auf der Stirnfläche des Wälzlagerringes zugeordnet.
Fig. 3 zeigt die räumliche Anordnung der magnetisch codierten Spuren auf der Meßfläche (34). Bei der Meßfläche kann es sich um die Mantelfläche eines Wälzlagerringes, um die Stirnfläche eines Wälzlagerringes oder um die Oberfläche eines Linearmaßstabes handeln. Dargestellt sind die Bereiche gleicher Magnetisierungsrichtung N und S auf einer Referenzspur R (33) und auf den Meßspuren 1 und 2 (31, 32). wobei die Meßspuren sich durch unterschiedliche Periodenlängen Lm auszeichnen.
In Fig. 4 ist die Schaltungsanordnung des Drehwinkelmeßsystemes im Prinzip dargestellt. Die Signale von den Sensoren (12, 13, 14, 15, 16, 17) werden über Meßverstärker (42, 43, 44, 45, . . .) einer elektronischen Auswerteschaltung zugeführt. In dieser Auswerteschaltung werden von den Signalen der Meßsensoren und von dem Signal des Referenzsensors das Signal des Störfeldsensors subtrahiert und die Amplituden der Modulationssignale normiert. Über eine Schnittstelle werden entweder analoge Spannungen an eine Steuerung (41) weitergeleitet oder mittels eines bekannten Datenprotokolles die Position der Referenzmarke bezüglich eines festen Punktes des Meßkopfes übergeben.
In Fig. 5 sind die Ausgangssignale der Sensoren M1 und M2 als Funktion des Weges x auf der Meßfläche längs der jeweiligen Spur dargestellt. Die phasenverschobenen Sinuskurven A und B sind von (hier als konstant angenommenen) Störfeld Ss(x) überlagert. Der Betrag des Störfeldes kann in der Praxis die Amplitude der Modulationsfunktionen A und B übersteigen, weshalb in einem Störfeldsensor der nicht von den magnetisch codierten Spuren herrührende Teil des Magnetfeldes gemessen wird. Es ist auch möglich, das Meßsystem durch einen Kalibrierlauf zu kalibrieren und das Störfeld rechnerisch zu eliminieren. Dazu werden die Signale SM1(x) und SM2(x) über mehrere Perioden Lm hinweg gemessen und durch Bestimmung der jeweiligen Maxima und Minima in der Auswerteelektronik (40) die Meßkurven auf die Nullinie symmetrisiert.
In Fig. 6 sind Ausführungsformen der Leseköpfe dargestellt. Fig. 6a) zeigt einen aufgeschnittenen Ferritkern (53), der einen Luftspalt (52) aufweist, der im Abstand von einigen Mikrometern über die Meßfläche (34) geführt wird. Der Magnetfeldsensor (51) mißt den magnetischen Fluß im Querschnitt des Ferritkernes. Die Breite des Luftspaltes muß dabei klein gegenüber der Periodenlänge Lm gewählt werden. Die Periodenlänge Lm beträgt je nach Genauigkeitsanforderungen 0,01 bis 8 mm; bei einer Periodenlänge von 0,5 mm erhält man eine Genauigkeit der Winkelposition von 0,001 mm, sofern der Abstand des Lesekopfes von der Meßfläche im Bereich 0,03 mm konstant gehalten wird und der Analog-Digital-Wandler eine Auflösung von 8 bit besitzt.
In Fig. 6b) ist eine Lesekopfanordnung gezeigt, bei der der magnetische Fluß in einem Bandkern aus amorphem Metall (54) geführt, wobei der Fluß im Bandkern in dem Magnetfeldsensor (51) gemessen wird.
In Fig. 7a) ist ein Lesekopf dargestellt der einen Mehrzellen-Magnetschluß (55) aufweist, der mit der gleichen Periodenlänge Lm Ausformungen aufweist, die mit den Bereichen gleicher Magnetisierungsrichtung N zur Deckung bringbar sind. Ein weiterer Mehrzellen-Magnetschluß (56) der mit den Bereichen S zur Deckung bringbar ist, ist in einem Abstand von wenigstens einer Periode Lm längs der Meßfläche angeordnet. An dem Mehrzellen-Magnetschluß (55) ist ein Joch (57) angeordnet, das mit dem Mehrzellen-Magnetschluß (56) einen Spalt bildet, in dem der Magnetfeldsensor angeordnet ist.
Fig. 7b) zeigt eine einfache Anordnung des Lesekopfes, bei der ein Magnetfeldsensor mit kleinem aktivem Meßvolumen direkt in kleinem Abstand über der Meßfläche (34) verschiebbar angeordnet ist.
Fig. 8 stellt eine Anordnung der Drehwinkelmeßkopf-Halterung dar, bei der der Mantelmeßkopf (10) auf einer Sensorträgerplatte (80) die Sensoren M1, M2 und S trägt. Die Sensorträgerplatte ist mittels Abstützrollen (81, 82) an der Meßfläche verschiebbar gelagert. Der Mantelmeßkopf ist mittels Druckfedern (83, 84) an der Meßkopfhalterung (18) derart angebracht, daß bei Abstandsänderungen zwischen einem raumfesten Bezugspunkt und der Wälzlagerring-Mantelfläche der Abstand der Sensoren zur Meßfläche (34) stets konstant bleibt. Anstelle der Rollen können auch Gleitschienen vorgesehen sein. Bei Schwerlastlagern mit Drehkranzdurchmessern von über 0,5 m können in der Praxis die Abstandsänderungen bis zu 0,3 mm betragen; der Abstand der Meßsensoren zur Meßfläche muß jedoch je nach Genauigkeitsanforderungen an das Meßsystem auf 0.01 bis 0,03 mm konstant gehalten werden.
Durch die z. Teil erheblichen Verformungen des Wälzlagerringes bei Belastung, kann es zu Gefügeveränderungen im Bereich der Meßfläche (34) kommen, wodurch die Magnetisierung der magnetisch codierten Spur verändert werden kann. Um den Einfluß der Walkbewegung auf die Magnetisierung zu verkleinern, ist vorgesehen, in den Wälzlagerring (20) eine Nut (26) in der Nähe des Außenumfanges einzustechen und die Sensoren M1 und M2 an der Meßfläche im Bereich der Nut anzuordnen. Bei dem dargestellten Querschnitt des Wälzlagerringes (20) ist die Meßfläche keinen mechanischen Belastungen ausgesetzt, sofern die Wälzkörper nicht in den Bereich der Nut hineinreichen.
In Fig. 9 ist eine Anordnung zum Aufbringen der magnetischen Codierung mittels eines Mastergoniometers schematisch dargestellt. Auf einem Goniometersockel (70) ist ein Goniometertisch /1) drehbar gelagert, welcher den zu codierenden Wälzlagerring (20) trägt. Der Goniometertisch wird von einem Antriebsmotor angetrieben gedreht, wobei die jeweilige Winkelposition an eine elektronische Codiersteuerung (47) übergeben wird. Wird die Winkelposition in digitaler Form übergeben, so weist die Steuerung (47) einen Digital-Analog- Wandler mit Verstärker auf, der den Schreibstrom durch die Schreibspule im Schreibmagnet (92) synchron zur Drehung des Goniometers steuert. Ebenso wird der Schreibmagnet für die Referenzspur SMr (91) gesteuert. Wird vom Goniometer ein Analogsignal, das mit der Winkelposition korreliert ist, übergeben, so wird dieses in der Steuerung (47) phasenrichtig verstärkt und der Schreibspule zugeführt. Bei einem Winkelmeßsystem wird die Referenzspur derart codiert, daß die Magnetisierungsfunktion R(x) einen Vorzeichenwechsel von Minus nach Plus beim Winkel Null (genauer: zur Null-Periode) aufweist, während ein umgekehrter Vorzeichenwechsel einer anderen Periode, z. B. der bei 180° zugeordnet ist. Die Vorzeichendefinition ist hier insofern willkürlich, als sie ohne Verletzung der Allgemeingültigkeit sowohl dem Nord- als auch dem Südpol zugeordnet sein kann. Der Betrag der Funktion R(x) ist über den gesamten Bereich der Spur konstant und erzeugt im Referenzsensor ein Signal, dessen Betrag zu Diagnosezwecken verwendet werden kann.
In Fig. 10 ist ein Schreibkopf (90) schematisch dargestellt, wobei eine Schreibspule (94) über ein Magnetjoch (93) gewickelt ist, das im Bereich der Meßfläche (34) zwei spitz zulaufende und durch einen Luftspalt getrennte Polschuhe aufweist. Der Schreibstrom ist bei dem Schreibkopf derart zu wählen, daß das zu codierende Material an der Meßoberfläche bis zur Sättigung magnetisiert wird. Jeweils vor einem Schreibvorgang wird die Meßfläche wenigstens im Bereich der Spuren mittels eines Magnetischen Wechselfeldes entmagnetisiert.
Das Codieren der Spuren erfolgt in der Regel vor Zusammenbau des Wälzlagers; es ist jedoch auch möglich, die Codierung am eingebauten Wälzlager vorzunehmen, sofern dies die räumlichen Verhältnisse erlauben.
Verzeichnis der Abbildungen:
Fig. 1 Schnitt durch ein Schwerlast-Wälzlager mit Drehwinkelmeßkopf
Fig. 2 Schematische Darstellung eines Wälzlagerringes mit Drehwinkelmeßköpfen
Fig. 3 Räumliche Anordnung der magnetisch codierten Spuren auf der Meßfläche
Fig. 4 Schaltungsanordnung für Drehwinkelmeßsystem
Fig. 5 Signalverläufe an den Magnetfeldsensor-Ausgängen
Fig. 6 Leseköpfe
  • a) mit Ferritkern und Hallsensor
  • b) mit Band aus amorphem Metall und Hallsensor
Fig. 7 Leseköpfe
  • a) Magnetschluß über mehrere gleichartige Magnetbereiche
  • b) ohne Magnetschluß
Fig. 8
  • a) Ansicht der Drehwinkel-Meßkopfhalterung
  • b) Wälzlagerring mit eingestochener Nut
Fig. 9 Anordnung zum Aufbringen der magnetischen Codierung mittels Mastergoniometer
Fig. 10 Schematische Darstellung des Schreibkopfes
Bezugszeichenliste
10
Mantelmeßkopf
11
Stirnmeßkopf
12
Sensor M1
13
Sensor M2
14
Sensor M11
15
Sensor M12
16
Referenzsensor R
17
Störfeldsensor S
18
Meßkopfhalterung
20
Wälzlagerring
21
Drehkranz
22
Halterung
23
Statorring
24
Wälzkörper
25
Wälzkörper
26
Nut
30
magnetisch codierte Spur
31
Meßspur 1
32
Meßspur 2
33
Referenzspur
34
Meßfläche
40
elektronische Auswerteschaltung
41
Steuerung
42
Meßverstärker
43
Meßverstärker
45
Meßverstärker
46
Meßverstärker
47
elektronische Codiersteuerung
50
Lesekopf
51
Magnetfeldsensor (Hallsensor)
52
Luftspalt
53
Ferritkern
54
Bandkern aus amorphem Metall
55
Mehrzellen-Magnetschluß
56
Mehrzellen-Magnetschluß
57
Joch
60
Grenze der Magnetisierungsrichtung
61
Bereich gleicher Magnetisierungsrichtung (S)
62
Bereich gleicher Magnetisierungsrichtung (N)
70
Goniometersockel
71
Goniometertisch
80
Sensorträgerplatte
81
Abstützrolle
82
Abstützrolle
83
Druckfeder
84
Druckfeder
90
Schreibkopf
91
Schreibmagnet für Referenzspur
92
Schreibmagnet für Meßspur
93
Magnetjoch
94
Schreibspule
Lm Periodenlänge.

Claims (33)

1. Verfahren zum Messen von Wegen und Drehwinkeln an bewegten Gegenständen mit einer hartmagnetischen Oberfläche mit einer magnetisch codierten Spur in der Meßfläche (34) und eines, im Bereich der magnetisch codierten Spur angeordneten Meßkopfes mit wenigstens zwei Magnetsensoren (12, 13), dadurch gekennzeichnet, daß die magnetisch codierte Spur direkt auf die Meßfläche (34) des wenigstens im Bereich der Spur entmagnetisierten Gegenstandes mittels eines Schreibkopfes (90) aufmagnetisiert wird und die Spur aus wenigstens einer Meßspur (31) mit einer mit der Periodenlänge Lm periodisch sich ändernden Magnetisierung besteht und daß der Meßkopf in konstantem Abstand zur Meßfläche (34) geführt wird, wobei der Abstand im Bereich zwischen 0,01 mm und 0.05 mm liegt und daß die Magnetsensoren (12, 13) das statische Magnetfeld der codierten Spur messen und die die Signale der Magnetsensoren (12, 13) einer elektronischen Auswerteschaltung zugeführt werden.
2. Verfahren zum Messen von Wegen und Drehwinkeln nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die magnetisch codierte Spur aus wenigstens zwei Meßspuren mit unterschiedlichen Periodenlängen Lm besteht.
3. Verfahren zum Messen von Wegen und Drehwinkeln nach einem der Ansprüche 1-2, dadurch gekennzeichnet, daß auf die Oberfläche eines aus nichtmagentisierbarem Material bestehenden Gegenstandes eine magnetisierbare Schicht im Bereich der Meßfläche wahlweise durch Aufdampfen, Sputtern, Kleben, Galvanisieren oder Siebdrucken aufgebracht wird und mittels eines Schreibkopfes magnetisch codiert wird.
4. Verfahren zum Messen von Wegen und Drehwinkeln nach einem der Ansprüche 1-3, dadurch gekennzeichnet, daß auf der Oberfläche eines aus weichmagnetischen Material bestehenden Gegenstandes wahlweise durch Legieren, Diffusion und/oder geeignete Gefügeänderung, z. B. Laserhärten eine hartmagnetische Schicht im Bereich der Meßfläche erzeugt wird.
5. Verfahren zum Messen von Wegen und Drehwinkeln nach einem der Ansprüche 1-4 dadurch gekennzeichnet, daß die Spur wenigstens aus einer Meßspur (31) mit einem periodischen Magnetfeld F(x), welche die Maßverkörperung darstellt, und wenigstens einer Referenzspur (33) besteht.
6. Verfahren zum Messen von Wegen und Drehwinkeln nach einem der Ansprüche 1-, dadurch gekennzeichnet, daß der periodische Verlauf F(x) der Magnetfeldstärke längs der Meßspur (31) eine Sinusfunktion ist.
7. Verfahren zum Messen von Wegen und Drehwinkeln nach einem der Ansprüche 1-6, dadurch gekennzeichnet, daß der periodische Verlauf F(x) der Magnetfeldstärke längs der Meßspur (31) eine Dreiecksfunktion ist.
8. Verfahren zum Messen von Wegen und Drehwinkeln nach einem der Ansprüche 1-7, dadurch gekennzeichnet, daß die Meßspur (31) in Richtung senkrecht zur Bewegungsrichtung des Gegenstandes eine solche Ausdehnung hat, daß die Sensoren M1 und M2 um vorzugsweise 90° phasenverschoben nebeneinander angeordnet und die Meßspur mit der Feldstärkenverteilung F(x) phasenverschoben abtasten.
9. Verfahren zum Messen von Wegen und Drehwinkeln nach einem der Ansprüche 1-8, dadurch gekennzeichnet, daß der Meßkopf wenigstens zwei Leseköpfe (50) enthält, die jeweils aus einem Ferritkern (53) mit zwei Halbschalen bestehen, die auf der der Meßfläche (34) zugewandten Seite einen schmalen Luftspalt (52) bilden und auf der der Meßfläche (34) abgewandten Seite einen Spalt aufweisen, in dem ein Magnetfeldsensor (51) zur Messung des magnetischen Flusses angeordnet ist.
10. Verfahren zum Messen von Wegen und Drehwinkeln nach einem der Ansprüche 1-9, dadurch gekennzeichnet, daß der Meßkopf wenigstens zwei Leseköpfe (50) enthält, die jeweils aus einem Bandkern aus amorphem Metall (54) mit zwei Halbschalen bestehen, die auf der der Meßfläche (34) zugewandten Seite einen schmalen Luftspalt (52) bilden und auf der der Meßfläche (34) abgewandten Seite einen Spalt aufweisen, in dem ein Magnetfeldsensor (51) zur Messung des magnetischen Flusses angeordnet ist.
11. Verfahren zum Messen von Wegen und Drehwinkeln nach einem der Ansprüche 1-10, dadurch gekennzeichnet, daß die Magnetfeldsensoren magnetoresistive Halbleiter (Feldplatten) sind und dem Magnetfeld der magnetisch codierten Spur ein magnetisches Gleichfeld überlagert wird.
12. Verfahren zum Messen von Wegen und Drehwinkeln nach einem der Ansprüche 1-11, dadurch gekennzeichnet, daß der Lesekopf (50) aus einem Ferritkern (53) mit zwei Halbschalen aufgebaut ist und daß die Breite des Luftspaltes der x-fachen Periodenlänge Lm entspricht, wobei x derart festgelegt ist, daß das Meßsignal F(x) eine einfach auszuwertende Funktion ergibt.
13. Verfahren zum Messen von Wegen und Drehwinkeln nach einem der Ansprüche 1-, dadurch gekennzeichnet, daß der Lesekopf einen Mehrzellen-Magnetschluß (55) aufweist der eine Anzahl n (1 < n < 15) Magnetpole mit der Breite Lm/2 auf der der Meßfläche zugewanden Seite trägt und auf der der Meßfläche abgewandten Seite ein Joch (57) trägt, das mit einem weiteren, gleichartig ausgebildeten Mehrzellen-Magnetschluß (56) einen Spalt bildet in dem ein Magnetfeldsensor (51) zur Messung des magnetischen Flusses angeordnet ist und daß die beiden Mehrzellen-Magnetschlüsse (55, 56) in einem Abstand, der einem ganzzahligem Vielfachen der Periodenlänge Lm entspricht, längs der magnetisch codierten Spur angeordnet sind.
14. Verfahren zum Messen von Wegen und Drehwinkeln nach einem der Ansprüche 1-13, dadurch gekennzeichnet, daß die Breite des Luftspaltes des Lesekopfes (50) gleich Lm/4 beträgt, und die Magnetisierungsfunktion F(x) eine Rechteckfunktion mit der Periodenlänge Lm ist.
15. Verfahren zum Messen von Wegen und Drehwinkeln nach einem der Ansprüche 1-14 dadurch gekennzeichnet, daß die Breite des Luftspaltes des Lesekopfes (50) gleich Lm/4 beträgt, und die Magnetisierungsfunktion F(x) eine Funktion mit der Periodenlänge Lm ist, deren Verlauf so gewählt ist, daß das Meßsignal angenähert eine Sinusfunktion ergibt.
16. Verfahren zum Messen von Wegen und Drehwinkeln nach einem der Ansprüche 1-15, dadurch gekennzeichnet, daß die beiden Sensoren (12, 13) zur Abtastung der Meßspur (31) leicht versetzt in Bewegungsrichtung nebeneinander angeordnet sind, wobei die beiden Luftspalte einen Abstand haben, der gerade 1/4 der Periodenlänge F(x) beträgt.
17. Verfahren zum Messen von Wegen und Drehwinkeln nach einem der Ansprüche 1-16, dadurch gekennzeichnet, daß die beiden Sensoren (12, 13) zur Abtastung der Meßspur (31) in Bewegungsrichtung hintereinander angeordnet sind, wobei die beiden Luftspalte einen Abstand haben, der gerade (n + 1/4) der Periodenlänge Lm beträgt.
18. Verfahren zum Messen von Wegen und Drehwinkeln nach einem der Ansprüche 1-17, dadurch gekennzeichnet, daß die Referenzspur (33) eine Magnetisierung mit der Feldstärke R(x) trägt, die einen Vorzeichenwechsel an einem Nullpunkt und einen weiteren Vorzeichenwechsel an weiteren Referenzpunkten aufweisen kann, ansonsten aber über den gesamten Verlauf der Referenzspur betragsmäßig konstant ist.
19. Verfahren zum Messen von Wegen und Drehwinkeln nach einem der Ansprüche 1-18, dadurch gekennzeichnet, daß das Meßsignal des Referenzsensors R (16) zur Kompensation der Temperaturabhängigkeit der Magnetisierung, insbesondere bei Annäherung an die Curietemperatur verwendet wird.
20. Verfahren zum Messen von Wegen und Drehwinkeln nach einem der Ansprüche 1-19, dadurch gekennzeichnet, daß das Signal des Referenzsensors R (16) in der Auswerteschaltung dazu verwendet wird, die durch Temperatur und andere Einflüsse bewirkte Drift von Nullpunkt und Verstärkung der Magnetfeldsensoren oder deren Auswerte-Elektronik zu erfassen und gegebenenfalls zu kompensieren, wobei die Sensoren und die Elektronik der Auswerteschaltung thermisch gekoppelt sind und die Auswerteschaltungen für die Referenzspur und die Meßspuren gleichartig aufgebaut sind.
21. Verfahren zum Messen von Wegen und Drehwinkeln nach einem der Ansprüche 1-20, dadurch gekennzeichnet, daß die Referenzspur (33) mehrere Singularitäten, z. B. Vorzeichenwechsel - nachfolgend "Marken" genannt - aufweist die es gestatten, mehrere Perioden Lm in sinnvollem Abstand zu markieren, die jeweils als Referenzpunkte verwendbar sind.
22. Verfahren zum Messen von Wegen und Drehwinkeln nach einem der Ansprüche 1-, dadurch gekennzeichnet, daß die Referenzmarken in unterschiedlichem Abstand angebracht sind und die Abstandsstufung so gewählt ist, daß jeweils eine unterschiedliche Zahl von Lm's eingeschlossen werden, etwa in aufsteigender Reihe. Damit ist eine Referenzierung bereits möglich, sobald mindestens zwei Marken überstrichen wurden. Die Anzahl der dazwischen gezählten LM's erlaubt eine eindeutige Zuordnung zum aktuellen Abstand vom Nullpunkt.
23. Verfahren zum Messen von Wegen und Drehwinkeln nach einem der Ansprüche 1-22, dadurch gekennzeichnet, daß die Referenzmarken so angebracht sind, daß der Abstand eine Binärkodierung darstellt, die die Absolutposition wiedergibt.
24. Verfahren zum Messen von Wegen und Drehwinkeln nach einem der Ansprüche 1-23, dadurch gekennzeichnet, daß die Spur mehr als eine Meßspur enthält, die derart codiert sind, daß in der Auswerteschaltung (40) eine absolute Weg- bzw. Winkelposition errechnet werden kann.
25. Verfahren zum Messen von Wegen und Drehwinkeln nach einem der Ansprüche 1-24, dadurch gekennzeichnet, daß der Gegenstand im Bereich der Meßfläche (34) mit einem hochfrequenten Magnetfeld entmagnetisiert wird.
26. Vorrichtung zur Durchführung des Verfahrens nach einem der o.g. Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die Meßfläche die äußere Mantelfläche eines Wälzlagerringes (20) ist und daß der Mantelmeßkopf in konstantem Abstand zur Meßfläche mit Abstützrollen (81, 82) längs dieser geführt wird.
27. Vorrichtung zur Durchführung des Verfahrens nach einem der o.g. Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die Meßfläche die äußere Mantelfläche eines Wälzlagerringes (20) ist und daß der Mantelmeßkopf in konstantem Abstand zur Meßfläche mit Gleitlagern längs dieser geführt wird.
28. Vorrichtung zur Durchführung des Verfahrens nach einem der o.g. Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß der Meßkopf mit Druckfedern (83, 84) zwischen der Halterung (18) und der Sensorträgerplatte (80) an die Meßfläche angedrückt wird.
29. Vorrichtung zur Durchführung des Verfahrens nach einem der o.g. Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die Meßfläche die äußere Mantelfläche eines Wälzlagerringes ist und daß der Wälzlagerring (20) im Abstand von 2-15mm von der Mantelfläche eine Nut (26) aufweist, deren Tiefe die Breite der magnetisch codierten Spur übersteigt.
30. Vorrichtung zur Durchführung des Verfahrens nach einem der o.g. Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die Meßfläche (34) die Stirnfläche eines Wälzlagerringes (20) ist und die Spur (30) mit einem Stirnmeßkopf (11) abgetastet wird.
31. Vorrichtung zur Durchführung des Verfahrens nach einem der o.g. Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die Meßfläche ein mechanisch nicht belasteter Teil einer Linearführung ist und ein Stirnmeßkopf an einem längs der Linearführung verschiebbaren Schlitten angeordnet ist.
32. Vorrichtung zur Durchführung des Verfahrens nach einem der o.g. Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die Meßfläche einen mechanisch nicht belasteten Teil einer gehärteten Welle darstellt.
33. Vorrichtung zur Durchführung des Verfahrens nach einem der o.g. Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß das Material des Gegenstandes Kugellagerstahl ist.
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Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE10024850A1 (de) * 2000-05-19 2001-11-22 Dlr Ev Messanordnung, Messkopf und Verfahren zur Herstellung eines Messkopfes
FR2851650A1 (fr) * 2003-02-25 2004-08-27 Skf Ab Dispositif de detection de parametre de rotation et palier a roulement.
DE102004024406A1 (de) * 2004-05-14 2005-12-08 Schenck Rotec Gmbh Verfahren zum Anbringen einer magnetischen Marke an einem zu positionierenden drehbaren Gegenstand und entsprechende Vorrichtung
DE10337646B4 (de) * 2003-08-16 2013-09-12 Fsg Automotive Holding Ag Verfahren zur Herstellung einer Schaltgabel
EP2581713A3 (de) * 2011-10-14 2017-09-27 Canon Kabushiki Kaisha Codierer und Vorrichtung damit

Citations (17)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE3218352A1 (de) * 1981-05-15 1982-12-09 Fuji Jukogyo K.K., Tokyo Vorrichtung zum messen einer position
DE3126806A1 (de) * 1981-07-07 1983-01-27 Siemens Ag Digitaler messsensor, seine verwendung und verfahren zu seiner herstellung
US4510371A (en) * 1982-03-18 1985-04-09 Toshiba Kikai Kabushiki Kaisha Metallic scales and method of manufacturing the same
US4603365A (en) * 1982-03-10 1986-07-29 Copal Company Limited Magnetic detection apparatus
DE2907797C2 (de) * 1978-02-28 1988-10-06 Nippon Electric Co., Ltd., Tokio/Tokyo, Jp
DE4017954C1 (de) * 1990-06-05 1991-08-29 Pav Praezisions-Apparatebau Ag, Vaduz, Li
DE4128807A1 (de) * 1991-08-30 1993-03-04 Hoesch Ag Vorrichtung zum ueberwachen von waelzlagern
DE9203727U1 (de) * 1992-03-20 1993-04-15 Siemens Ag, 8000 Muenchen Dreh- oder Linearpositionsgebereinrichtung für ein bewegliches Geräteteil
DE4233331A1 (de) * 1992-10-05 1994-04-07 Inst Mikrostrukturtechnologie Anordnung zur Bestimmung von Positionen
DE4344290C2 (de) * 1992-12-24 1995-07-20 Kayaba Industry Co Ltd Axialer Positionsdetektor für eine Stange
DE19507304A1 (de) * 1994-03-02 1995-09-07 Nippon Denso Co Magnetfelddetektor
DE4233332C2 (de) * 1992-10-05 1995-10-19 Inst Mikrostrukturtechnologie Magnetoresistive Sensoranordnung auf einem Chip zur Messung örtlicher Verteilungen von Magnetfeldgradienten
DE4442682A1 (de) * 1994-11-30 1996-06-05 Bogen Electronic Gmbh Kodierkopf zum Magnetisieren von Schichten
DE19501617A1 (de) * 1995-01-20 1996-08-01 Stegmann Max Antriebstech Gerät zur Bestimmung eines drehwinkelabhängigen Meßwertes
DE19533120A1 (de) * 1995-09-07 1997-03-13 Interelectric Ag Magnetischer Positionsgeber
DE19521617C1 (de) * 1995-06-14 1997-03-13 Imo Inst Fuer Mikrostrukturtec Sensorchip zur Bestimmung eines Sinus- und eines Cosinuswertes sowie seine Verwendung zum Messen eines Winkels und einer Position
DE4440214C2 (de) * 1994-11-10 1997-08-14 Itt Ind Gmbh Deutsche Drehgeber mit Hallsensoren

Patent Citations (17)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE2907797C2 (de) * 1978-02-28 1988-10-06 Nippon Electric Co., Ltd., Tokio/Tokyo, Jp
DE3218352A1 (de) * 1981-05-15 1982-12-09 Fuji Jukogyo K.K., Tokyo Vorrichtung zum messen einer position
DE3126806A1 (de) * 1981-07-07 1983-01-27 Siemens Ag Digitaler messsensor, seine verwendung und verfahren zu seiner herstellung
US4603365A (en) * 1982-03-10 1986-07-29 Copal Company Limited Magnetic detection apparatus
US4510371A (en) * 1982-03-18 1985-04-09 Toshiba Kikai Kabushiki Kaisha Metallic scales and method of manufacturing the same
DE4017954C1 (de) * 1990-06-05 1991-08-29 Pav Praezisions-Apparatebau Ag, Vaduz, Li
DE4128807A1 (de) * 1991-08-30 1993-03-04 Hoesch Ag Vorrichtung zum ueberwachen von waelzlagern
DE9203727U1 (de) * 1992-03-20 1993-04-15 Siemens Ag, 8000 Muenchen Dreh- oder Linearpositionsgebereinrichtung für ein bewegliches Geräteteil
DE4233331A1 (de) * 1992-10-05 1994-04-07 Inst Mikrostrukturtechnologie Anordnung zur Bestimmung von Positionen
DE4233332C2 (de) * 1992-10-05 1995-10-19 Inst Mikrostrukturtechnologie Magnetoresistive Sensoranordnung auf einem Chip zur Messung örtlicher Verteilungen von Magnetfeldgradienten
DE4344290C2 (de) * 1992-12-24 1995-07-20 Kayaba Industry Co Ltd Axialer Positionsdetektor für eine Stange
DE19507304A1 (de) * 1994-03-02 1995-09-07 Nippon Denso Co Magnetfelddetektor
DE4440214C2 (de) * 1994-11-10 1997-08-14 Itt Ind Gmbh Deutsche Drehgeber mit Hallsensoren
DE4442682A1 (de) * 1994-11-30 1996-06-05 Bogen Electronic Gmbh Kodierkopf zum Magnetisieren von Schichten
DE19501617A1 (de) * 1995-01-20 1996-08-01 Stegmann Max Antriebstech Gerät zur Bestimmung eines drehwinkelabhängigen Meßwertes
DE19521617C1 (de) * 1995-06-14 1997-03-13 Imo Inst Fuer Mikrostrukturtec Sensorchip zur Bestimmung eines Sinus- und eines Cosinuswertes sowie seine Verwendung zum Messen eines Winkels und einer Position
DE19533120A1 (de) * 1995-09-07 1997-03-13 Interelectric Ag Magnetischer Positionsgeber

Cited By (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE10024850A1 (de) * 2000-05-19 2001-11-22 Dlr Ev Messanordnung, Messkopf und Verfahren zur Herstellung eines Messkopfes
DE10024850C2 (de) * 2000-05-19 2003-01-23 Deutsch Zentr Luft & Raumfahrt Messanordnung, Messkopf und Verfahren zur Herstellung eines Messkopfes
FR2851650A1 (fr) * 2003-02-25 2004-08-27 Skf Ab Dispositif de detection de parametre de rotation et palier a roulement.
DE10337646B4 (de) * 2003-08-16 2013-09-12 Fsg Automotive Holding Ag Verfahren zur Herstellung einer Schaltgabel
DE102004024406A1 (de) * 2004-05-14 2005-12-08 Schenck Rotec Gmbh Verfahren zum Anbringen einer magnetischen Marke an einem zu positionierenden drehbaren Gegenstand und entsprechende Vorrichtung
US7505242B2 (en) 2004-05-14 2009-03-17 Schenck Rotec Gmbh Method for applying a magnetic mark to a rotatable article to be positioned and corresponding device
EP2581713A3 (de) * 2011-10-14 2017-09-27 Canon Kabushiki Kaisha Codierer und Vorrichtung damit

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