DE1964470C - Einrichtung zur Erfassung von Führungsfehlern von beweglichen Teilen, insbesondere bei Werkzeug- oder Meßmaschinen - Google Patents

Description

^{1 2}

Die Erfindung betrifft eine Einrichtung /ur Br- Abbildlingsmaßstab fl' ---- I 1 als Richtungsdiskrimi-

fassung der I-üfirunysfehler von beweglichen Teilen natnr und stellt hiermit mit Hilfe der Markensysteme

insbesondere hei Werkzeug- oder Meßmaschinen. auf Richtungsuleichheit mit der gewallten Bewegungs-

Hei einer l.ängsverschiehung eines Schlittens aus richtung ein, so zeigt das afokale System mit dem

einer vorgegebenen Lage hinaus in eine konstruktion- 5 Abbildungsmaßstab ji' - I im Zusammenwirken

bedingte Richtung ergeben sich für seine wirklich mit dem Markensystem nur noch den Versal/ an,

erreichte neue Lage infolge der unvermeidlichen da der Richtungseinfluß bereits durch das afokale

Unvollkommenheilen der Führung stets folgende System mit dem Abbildlingsmaßstab/.'' H kom-

Fehler gegenüber der idealen Lage des Schlittens: pensiert wurde.

1. Zwei Lagefehler, entsprechend dem Seiten- und ¹⁰ . ^{Da die} verwendeten afokalen Abbildungssysleme Höhenversal/, des Schlittens. ^el»^ei1 konstanten Objekl-B.ld-Abstand haben können

2. Drei Richtungsfehler, entsprechend kleinen ^{die für die} Lagebestimmung erforderlichen Marken-Drehungen des Schlittens gegenüber den drei ^hzw- Empfängersysteme im F-uhrungsbett in festen Achsen eines raumfesten orthogonalen Bezugs- Lägen eingebaut werden, zwischen denen das bewepsystcms. ^{15 liche Teil mit dem damit} verbundenen afokalen

Abbildungssystem verschoben wird.

L^:s fehlt nicht an Vorschlägen, den Einfluß der- Ls wäre prinzipiell auch möglich, an Steüe des afoarliger Führungsfehler auf das Meßergebnis durch kalen Abbildungssystems mit dem Abbildungs-Einhaltung des kli'mperatorprinzips oder durch den maßstab ß' hl und der genannten Marken-Einsatz optischer Kompensationselemente auszu- 20 abbildung auch andere Richtungsdiskriminatoren, schalten. Zum Beispiel ist ein optisches Koordinaten- die sich z. B. aus einem Kollinator und einem Femmeßgerät in Kreuztischbauweise bekanntgeworden rohr zusammensetzen, zu verwenden, jedoch kommt (vgl. Optik, 28.. 1968/69, S. 242 bis 248), bei dem eine hierbei mindestens ein eine Abbildungsoptik entVerdrehung des Aufspanntisches um eine zur Ver- haltendes Teil, entweder Fernrohr oder Kollimator, schiebungsebenc senkrechte Achst bei punktweiser 25 im Fiihrungsbett zu liegen, was jedoch für die einÜbertragung der Koordinatenwerte von einem in wandfreic Funktion voraussetzt, daß das Führungsseiner Lage zum Maschinenbett optisch bedingten bett keinen Verbiegungen ausgesetzt ist, da sonst die Tastpunkie aus sich nicht auf die Richtigkeit des hiermit auftretenden Systemfehler im Richtungs-Ortes der Meßwert im vorgesehenen Koordinaten- diskriminator das Meßergebnis verfälschen würden, system auswirkt, sofern auch die Mcßebenc in einer 30 Bei der obengenannten Unterbringung der afokalen durch das Meßsysiem bedingten Höhe über dem Abbildungssysteme im beweglichen Teil selbst liegen Maschinenbett verbleibt. Die FeWera· sgleichsmöglich- dagegen lediglich die Markensysteme im Führungsbett, keilen sind hier jedoch durch aie genannten Neben- Die bei starken Belastungen der Führung etwa aufbcdingungen sehr eingeschränkt. tretenden Verbiegungen haben alsdann einen weit

Ziel der Erfindung ist es, eine weitergehende Be- 35 geringeren Einfluß auf das Meßsrgebnis.

seitigung der Führiingsfchlereinflüsse sowohl ihrer ' Ist das bewegliche Teil in mehreren Richtungen

Auswirkung als auch ihrer Ursache nach zu erzielen. verstellbar, so können enisprec.ier.de afokale Ab-

Daher ist es erforderlich, die Führungsfehler leicht bildungssystcme für jeden Verstellweg vorgesehen sein,

erkennbar und laufend erfaßbar zu machen. Selbstverständlich kann man bei Werkzeug- und

Erreicht wird dies durch die Erfindung dadurch, 40 Meßmaschinen außer dem Objektschlitten auch die

daß das bewegliche Teil mit Diskriminatorcn aus- Führung des Werk- bzw. Meßzeuges, z. B. Bohrer

gestattet wird, mit denen Versatz und Richtung der oder Taster, mit Richtungs- und versatzempfindlichen

Bewegung unterschieden werden können. Diskriminatoren ausrüsten.

Beispielsweise wird hierbei im Führungsbett eine Die mit den afc kalen Abbildungssystemcn zuSchar von zur Verschiebungsrichtung des beweglichen 45 sammenarbeitenden Markensysteme bestehen beiTeiles parallelen Bczugslinien optisch festgelegt und spielsweise aus Strichplatten mit zur Bewcgungsdas bewegliche Teil mit optischen Diskriminatoren richtung des beweglichen Teiles senkrecht und zu den versehen, welche die räumliche Lage des beweglichen übrigen Koordinatenrichtunsen prarallel verlaufenden Teiles gegenüber diesen Bezugslinien der Richtung Shicher.. Beispielsweise enthalten die durch die und dem Versatz nach bestimmen. 50 afokalen Systeme aufeinander abgebildeten Strichln einer bevorzugten Ausführungsform ist das platten Einfach- bzw. Doppelstrichc. Mit einem derbcweglicheTcil zwischen im Führungsbettangeorc'nctcn artigen Maik;nsystem lassen sich lediglich etva MarkcnsystcmverschicbbarundenthältKombinatioricn vorhandene Führungsfehler bzw. der Grad der Bevon afokalcn Abbildungssystemcn mit einem Ab- sciligung ihrer Ursache durch am bewegten Teil bildungsmaUstab ß' ■ 1 und//' 1, welche die 55 angreifende Justiermittel feststellen.
Markierungssysteme aufeinander abbilden. Für eine wertmäßige Erfassung der Führungsfehlcr

Dabei ist die Lage der Abbildung des afokalen sind zweckmäßig Skalen und tndexmarken (analoge Abbildungssystems mit einem Abbildungsmaßstab Erfassung) oder Rastermarken (digitale Erfassung)

von fl' -= +1 lediglich von der Richtung seiner vorgesehen.

optischen Achse abhängig und gegenüber einem 60 Die so ermittelten Fehlerwerte lassen, W12 noch

Parallelversalz unempfindlich. gezeigt werden wird, eine eindeutige Bestimmung

Die Lage der Abbildung des Systems mit einem der Lage des beweglichen Teiles zu. Abbildungsmaßstab/T — — 1 ist demgegenüber sowohl Man kann die gewonnenen Werte entweder rechvun der Richtung als auch vom Versatz seiner optischen nerisch verwerten, wenn man die Lagen des verAchse aus der ursprünglichen Lage heraus abhängig. 6j schieblichen Teiles den Zahlenwerten nach laufend

Benutzt man nun bei einem beweglichen Teil, welches ermitteln will, Will man jedoch etwa für die Be-

mit beiden Typen der genannten afokalen Abbildungs- arbeitung die festgestellten Fehler der Führung in

svsteme auseerüstet ist, zunächst das System mit dem ihrer Ursache beseitigen, so kann tnan diese auch zur

3 L/ 4

Steuerung ilcr an tier I iilming ItAv. dein beweglichen Weichlingen <//,, r//_a, <//_;l, </>',, (IY₂, JY-_A der Marken-

I eil seihst angreifenden Justiermittel heranziehen. bilder 5«¹, 5/)', 6«', 6/)', 7«', Tb', gegenüber der

Weitere l.in/elheiten der I^:.rt)iiüiintj s-eien nun an gcstriclv.lt eingezei.hneten Id.-all.ige, welche eine voli-

I land der in den 1· i g. I bis 10 dargestellten Aus- ständige Übereinstimmung der optischen Achse der

führungsbeispiele näher erläutert: 5 afokalen Abbildungssysteme 14, 15, lh mit den

In der I i g. I, welche eine schematiche Darstellung Richtungen der Uezugslinien 11, 12, 13 anzeigt,

eines langsschlilteiisystems in Draufsicht zeigt, ist Stellt man nun die Relalivlagen von Schlitten 1

mit 1 ein Schlitten bezeichnet, der im lührungsbelt 2 und Führungsbetl 2 (!·' i g. I) miileh nicht cin-

längs der V ersehiebungsriehtung χ verschiebbar ist. gezeichneter bekannter Justiermittel unter Beoabihnn.g

Die (irölk der Verschiebung ist an einer mit dem io der als Richtungsdiskriminaioi wirkenden Abbildung

Schlitten ! verbundenen Skala 3 mit Hilfe eines am der Marken 6 über das afokale Abbildungssystem 15

Rihrunusheit fest liegenden Indexes 4 ahlesbar. In auf das Markensystem 9 so ein, dall die abgebildeten

dem als Querhaupt abgebildeten Führungshüllen 2o Marken da' und 6 h' von den Doppelsirichmarken 9n

bzw. 2/i sind Gcbennarkensysleme 5, 6, 7 bzw. und ')/) symmetrisch eingefangen werden, wie in

Fmpfängermarkensysteme 8, 9, 10 eingefügt, welche 15 F i g 2d dargestellt, d. h. i/K,, dZ.₁ sind Null (F i g. 2c),

durch ihre gegenseitige Zuordnung drei unter sich so bedeutet dies, daß der Schlitten 1 parallel zu den

mit der gewollten Bewegungsrichtung .ν parallel- Bezugslinien 11, 12, 13 (F i g. 1) eingestellt ist. Etwa

gerichtete Uezugslinien 11, 12, 13 festlegen und zum dann noch vorhandene Abweichungen </K₁, dY_:i bzw.

beweglichen Schlitten 1 ein bettfestes Bezugssystem JZ₁, dZ₃ der Markenbilder 5«', Ta' bzw. 5h', Th' von

darstellen. 20 der gestrichelt eingezeichneten symmetrischen Einfang-

Mit dem Schlitten I sind drei afokale Abbildungs- lage (F i g. 2d) zeigen dann .ten Parallelversatz der

systeme 14,15,16 verbunden, von denen Gas System 14, zugeordneten nun als reine '..agediskriminaloren

Linsen 14a und 14h, und das System 16, Linsen Ί6α arbeitenden afokalen Systeme 14 und 16 an. Unter-

und 16/), einen Abbildungsmaßstab von ß' - -1 schiedliche Beträge von JZ₁, JZ₃ zeigen ferner an,

haben, während das System 15, Linsen 15a und 15b 25 da^ der Schlitten 1 um die optische Achse des afokalen

und das dazwischengeschaltete geradsichtige Umkehr- Abbildungssystems 15 (vgl Fig. 1) verkippt ist.

prisma 15c (z. B. ein sogenanntes Schmidt- oder An Stelle von Strichmarken lassen sich auch Skalen

Pcchan-System), einen Abbildungsmaßstab von 5c, Sd und !ndexmarken 8c, %d für eine analoge

/i' -■- i 1 aufweist. Die Einzelteile dieser afokalen Meßwertablesung oder auch Raster 7 c, Td und

Abbildungssysteme sind beispielsweise in Röhren 14i/, 30 Gegenraster IQc, 1Od für eine digitale Meßwert-

15J und 16</ zusammengefaßt, welche ihrerseits mit erfassung verwenden,

dem Schlitten 1 starr verbunden sind. Selbstverständlich lassen sich auch alle derartige

Die optischen Achsen der afokalen Abbildungs- Markenausführungen kombinieren, wie dies beispielssysteme 14, 15, 16 sind zueinander parallel und in der weise in den F i g. 3 a und 3 b dargestellt ist. Ferner Verschiebungsrich'.ung χ ausgerichtet, so daß diese im 35 kann man die Markeneinstellung durch nicht einldealfalle (d. h. keine Führungsfehler) genau in Rieh- gezeichnete optische Hilfseinrichtungen visuell betung der nezugslinien V 12, 13 zu liegen kommen. trachten oder durch nachgeschaltete ebenfalls nicht

Die diS[ afokalen Abbildungssysteme 14, 15, 16 eingezeichnete bekannte fotoelektrisch^ Empfänger-

iicgf-n beispielsweise in einer zur Oberfläche des systeme abtasten und elektronisch weiterverarbeiten,

Schlittens 1 parallelen Ebene und haben unterein- 4^J wie z. B. zur Steuerung von Justiermitteln zur relativen

ander den gleichen Abstand a. Einstellung von Schlitten und Führung benutzen.

Die Markensysteme 5, 6, 7 welche beispielsweise Das bisher lediglich für einen reinen Längsschlitten

beleuchtet sind oder selbstleuchtende Marken dar- dargestellte Verfahren kann sinngemäß auch für

stellen, werden über die afokalen Abbildungssystemc 14 Koordinaten-Meßtische angewendet werden, seien

und 16 höhen- und seitenverkehrt und durch das 45 sie nun nach dem Prinzip der gekreuzten Schlitten,

Abbildungssystem 15 höhen- und seitenrichtig auf die wofür sich eine besondere Darstellung erübrigt, oder

zugeordneten Empfängerrr.arkensysterne 8, 9, 10 ab- nach dem Prinzip des Kreuzschlittens aufgebaut,

gebildet. wofür in der F i g. 4 ein schematisches Beispie! dar-

Der Abstand der Markensysteme 5, 6, 7 von den gestellt ist.

Markensystemen 8, 9, 10 ist mit L bezeichnet und 5» Hierin bilden der Schlitten 21, die Führung 22,

entspricht dem konstanten Objckt-Bild-Abstand di.r die afokalen Sysieme 23,24und25mitden zugeordneten

verwendeten afokalen Abbildungssystemc 14, 15, 16. Markensystemen 26, 27 28 bzw. 29, 30, 31 eine der

Die Markensysteme 5, 6, 7 bzw. 8, 9, 10 können Anordnung nach F i g. 1 analoge Einrichtung, nur

beispielsweise, wie in den F i g. 2a und 2b in Richtung daß hier der Schlitten 21 gleichzeitig als Führung 32a

dci Hczugslinicn U₁ 12, 13 dargestellt, aus Strich- 55 für den in senkrechter Richtung /um Schlitten 21

platten bestehen, welche waagerechte. 5a. 6<7, Ta, verschiebbaren Schlitten 32 dient. Der Schlitten 32

und senkrechte Finzelstriche 5h, 6Λ, Th bzw. waage- enthält ebenfalls zwei afokale Abbildungssystemc 33

rechte, 8«, 9a, 10a, und senkrechte Doppelstriche und 35 mit einem nbhildungsmaßstab/f -1 und

86, 9b, IQb aufweisen. Der Durchstoßpunkt der durch afokales Abbildungssystem 34 mit dem Abbildungs-

die Mari cnsysteme festgelegten Bezugslinien 11 bis 13 60 maßstab/)' = +1, welche wiederum die im Schlitten 21

(F i g. 1) ist in der Darstellung nach den Fig. 2a befestigten Markensysteme 36, 37, 38 auf die ebenfalls

und 2b mit gleichen Bezugszeichen wie die zugehörigen im Schlitten 21 angeordneten Markensysteme 39,40,41

Bezugslinien veräfhen. abbilden. Auch diese zweite darüberliegende An-

Bei einer Abbildung dei Marken 5, 6, 7 durch die Ordnung ist im Aufbau und Wirkungsweise die der

afokalen Abbildungssysteme 14, 15, 16 auf das gegen- 65 nach F i g. 1 völlig analog.

überliegende Markensystem 8, 9, 10 ergeben sich, Zum Umfang der Erfindung gehört unter anderem

wie in F i g. 2c dargestellt, je nach Lage des Schlittens 1 auch die zusätzliche Ausbildung der bekannten Ein-

gcgenüber den Bezugslinienil, 12, 13 kleine Ab- richtung (nach Optik 28, 1968/69, S. 242, bis 248) mit

^3£=^ί^ϊΑ *·-" und sei,e„ver_ken„. ineinander ,_b8ebi,de_t

mit 51 ein in zwei Koordinatenrichtungen {x-y- 5 ^we™^en^ _{d objekt}___Bild ist mit L bezeichnet. Die

S^U-A » « jj ^f7n n.ie in Fi₈. 8b d.,ge_s,e,U,

- 1 enthält, mit deren Hilfe die im mehl dar- *!* ™ ; , „,.,,„ _{mm (es(sl}ehenden

» « AhHld^jj-ö-bir ^L^f™7n n'.ie in Fi₈. 8b d.,ge_s,e,U,
it deren Hilfe die im mehl dar- *!* ™ ; , ,,,„ _{mm (es(sl}ehenden

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5£rSSSSS^t SÄ

systeme 64f 65r des sogenannten Schmidt- oder 30 _welche j_{n e}i_nem Abstand ₂ parallel zur Bildebene

ÄlEbT^^^^ ^enüb_C; dem in F i g. 8a

l ei ung 00a Dzw. 01 u imi j j dargestellten System zwischen den Linsen L₁ und L_x

und den anderen mit «"«"JJ^g V_ymmetrie- noch zusätzlich eine geradsichtiges Prismenumkehr-

den ^γ}^^^^^^^^Ί^_χναα, systeme für das z.B. ein sogenanntes Schmidt-

lagen m der Bildebene iMaOst^ 67 ^bzW _£ ^ ^die _y ⁿ _o ^y _der p_echan-S_ystem gewählt worden ist. Die Abdabe, wiederum als Kntenen fuΓ J^ ^ J[_{e 40 bildung des} Objektes O₂ nach O₂' im Abstand L

;S^ngenb:ⁿS^h « Ä^ÄTaffwch- erfolgtem MaBstab 1:1. Das Bild O₂' des Objektes O₂

dienen, a,s Kriterium für den ^^^^Α* _SyM ^ _p, ^

Wiiim_anauf die doppelte Bestimmung des Höhen- gemäß F ig 9b und bei einer Verschiebung längs versa zeT verachten, so kann man die verwendeten 45 seiner optischen Achse A bleibt das B₁IdO₂ des Smensylteme entsprechend vereinfachen. Objektes O₂ nach Große und Lage unverändert De,

St™ der Einfach- oder Doppellängslinien in einer Richtungsänderung A, des Systems L₁. P L₁,

TcHungsridltunE der Maßstäbe kann man für die z.B. durch Kippung semer opUschen Achse am der

elektronische H₁StCNCcI₁HiSChC Abwertung hierfür Lage A in du Lage/J nach F ■ g 9c tritt cm ß.ld-

.urh mchrzciliec I uiasstriche verwenden, wodurch 50 versatz ein. der nur von der Große der Richtungs-

d"nn -ιZ Z iSntral.sierungsmöglichkct der änderung A, und der Größe des Objekt-Bild-Abstand«

für die elektronische Auswcrtune erforderliche Signal- L abhängt. Die einzelnen B.ldpunkte liegen auf Gerader

gäbe emc weitere Vereinfachung der gekreuzten paralbU.ur optischen Achse ,f .

lokalen Systeme möelich erscheint. Die Erfindung Wie die durch die ernndungigcm-ißcni-.inruhtungcr

Ui keineswegs _an die dargestellten A\usfuhrungs- 55 ermittelten Anzeigewerk mit d;r taUarhl.ch.-n Lage de:

be.sniele gebunden, sondern es sind im Rahmen des beweglichen Tdlcs zusammenhängen, se, am Beispic

[•rfmdung.gedankcns noch mannigfache Variationen eines Langsschlittensystcrns nach F , g 1 aufgezeigt

... ^{b B} In der F 1 g. 10 ist ein derartiges Langsschlutcn

^nU7^g.,l^C1„äh-^n !rri.iicning der Wirkungsweise der system in einer prinzipiellen Skizy.e vereinfacht dar

Finnchtünecn' nach der Frfindune sei noch am die 6₀ gestellt. Hierin sind mit I u id III afokale Abbildungs

blonderen Fiecnschailen eier ver"wendcten afokalen sysu.ne mit einem Abhildungsmaßstab ß' - -l.z. B

Ahbildungssvsremc eingegangen: entsprechend I- . g. 8a. und mit Il ein afokale

Dis if(ik"'ile Mibildungssystem mit einem Ab- Ahrnldungssystem mit einem Abbildungsmaßsial

b.lduncsmaßstah /Γ - 1 nach F i g. 8a besteht aus ß' 1, z.B. cntsprech?nd F i g. 9a. angcdeatei

zwei in einem R.ihr I gefaßten positiven Linsen/., C₅ Af₁. Af₂ und ΛΛ, sind die Mittelpunkte dieser Systems

und / Bleicher Brennweite, deren einander zugekehrten Der gegenseitige Abttand der Systeme is! a.

!kennpunkte F₁' und f. zusammenfallen. _ !-»as fuhrun^bcttf«ti Bez.ugskoordinatcnsvstem ,

Am Ort der abgekehrten Brennpunkte/-, und F₁ ν. ζ ,st der Lmfachh;it halber so gelegt, daß dl

Cl

.Y-Achse die Bezugslinic für das System Il dargestellt und die Marken A_x, A₂. A₃ auf der v-Achse zu liegen kommen.

Die Koordinatendarstellung ist hiermit für die Marken:

A₁ (OaO)

A₂(OOO)

A₃(O -aO)

und für die in der Ebene χ = L entworfencnen Bilder ία dieser Marken:

A_x (La t dY_x dZ_t)

A₂ (L i/Kj i/Z₂)

A₃' (L -a I (IY₃(IZ₃)

wobei die einzelnen dY bzw. dZ die Anzeigewerle (vgl. zum Beispiel F i g. 2c), der Systeme darstellen.

Aus den Anzeigewerten lassen sich nun z. B. der Versatz, (dy, dz) des Mittelpunktes M₂ (des mittleren Systems Il in F i g. 10) und der Drehvektor D (J)₁, D₂. D₃), welcher Richtung und Betrag der durch eine Kippung hervorgerufenen Drehung angibt, berechnen.

Der Dreh vektor D greife im Punkt M₂ an, und seine Komponenten D₁, D₂, D₃ sind Drehungen um zu den Koordinatenrichtungen x, y, ζ parallele Achsen.

Unter diesen Gegebenenheiten ergibt sich Versatz und Drehung als Funktion der Anzeigewerte zu:

dv - ^λ (dY, + dY₃) 4

dz --= (dZ_x -Y dZ₃)
4

D₁ ■= (dZ_x - dZ₃)
4a

D₂= — dZ_%

Ui-)

L \ 2

x\-dY_t x\ · dZ₂

D₃ = dY₂

Claims (10)

Patentansprüche: 35 40 45

1. Einrichtung zur Erfassung von Führungslehlern von beweglichen Teilen insbesondere bei Werkzeug-oder Meßmaschinen, dadurch gekennzeichnet, daß das bewegliche Teil ;■-Versatz und Richtung der Bewegung anzeigende Diskriminatoren enthält.

2. Einrichtung nach Anspruch 1. dadurch gekennzeichnet, daß im Führungsbett (2) eine Schar zur Vcrschiebungsrichtung des beweglichen Teiles paralleler Bezugslinien (11. 12, 13) optisch festgelegt ist und das bewegliche Teil (I) optische Diskriminatoren (14, 15, 16) enthält, welche gemeinsam die räumliche Lage des beweglichen Teiles(1) gegenüber diesen Bczugslinien (11. 12. 13) der Richtung und dem Versatz nach bestimmen.

3. Einrichtung nach Anspruch 2. dadurch gekennzeichnet, daß das bewegliche Teil (I) zwischen den im Führungsbett (2) angeordneten Markensystemen (5. 6, 7, 8. 9, 10) verschiebbar ist und Kombinationen von afokalen Abbildungssyslemen (14,-.15, 16) mit einem Abbildungsmaßstab von ß' \ 1 und ß' 1 enthält, welche die Markensysteme (5, 6, 7. 8. 9, 10) aufeinander lbbilden.

4. Einrichtung nach Anspruch 3. dadurch gekennzeichnet, daß drei zur Bewegungsrichtung (v) parallelgerichtete afokale Abbildungssysteme (14. 15. 16) im beweglichen Teil (1) angeordnet sind, von denen zwei (14. 16) einen Abbildungsmaßstab von ß' 1 aufweisen und sich im gleichen Abstand (α) von dem dritten dazwischenliegenden afokalen Abbildungssystem (13) mit einem Abbildungsmaßstab von ß' - \ \ befinden.

5. Einrichtung nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, daß das afokale Abbildungssystem (15) mit dem Abbildungsmaßstab ß' +1 ein geradsichtiges Prismenumkehrsystem (15r) enthält.

6. Einrichtung nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, daß die im Führungsbett (2) angeordneten und aufeinander abgebildeten Markensysteme (5. 6. 7, 8, 9. 10) aus Strichplatten mit zur Bewegungsrichtung (.v) des beweglichen Teiles (I) senkrecht und zu den übrigen Koordinatenrichtungen parallel verlaufenden Strichen besteht.

7. Einrichtung nach Anspruch 6. iadurch gekennzeichnet, daß von den aufeinander abgebildeten Markensystemen (5. 6. 7. 8, 9, 10) mindestens eines Einfach- (6a, 6b) und das Gegenüberliegende Doppelstriche (9o. 9b) enthält.

8. Einiichlung nach Anspruch 6. dadurch
kennzeichnet, daß von den aufeinander
gebildeten Markensystemen (5. 6. 7. 8. 9.
mindestens eines eine Skala (5<\ 5d) und
Gegenüberliegende eine Indexmarke (8 c. 8J) aufweist.

9. Einrichtung nach Anspruch 6. dadurch gekennzeichnet, daß die Markensysteme (5. 6. 7. 8. 9. 10) Rastermarken (lc, Id. 10c. 10</) aufweisen.

10. Einrichtung nach Anspruch I >der folgenden, dadurch gekennzeichnet, daß für jede vorgegebene Bewegungsrichtung (Meßrichtung bzw. Einstcllrichtung) richtungs- und \ersatzabhängice Diskriminatoren vorgesehen sind.

Hierzu 4 Blatt Zeichnungen