DE2209667B2 - Einrichtung zur berührungslosen Messung - Google Patents
Einrichtung zur berührungslosen MessungInfo
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Description
Die Erfindung bezieht sich auf eine Einrichtung zur berührungslosen Messung der Geschwindigkeit oder
des Weges von Objekten ohne spezielle optische Markierungen gegenüber einer Bezugslage nach einer
oder zwei Meßkoordinatenrichtungen.
Es sind bereits optische Geschwindigkeitsmeßeinrichtungen bekannt, bei denen das bewegte Objekt
auf ein Gitter mit Linienzahl k pro mm abgebildet wird, hinter dem ein Fotoempfänger das vom Objekt
kommende Licht aufnimmt und vorzugsweise bei Vorliegen einer bestimmten Ortsfrequenz in der Helligkeitsverteilung
des Objektes eine Wechselspannung abgibt, deren Frequenz / der Geschwindigkeit des Objektbildes ν relativ zum Gitter und zu k proportional
ist. Es gilt
/ = ν ■ k
Dieses Signal ist überlagert von längerperiodischen Signalen (Gleichlicht) entsprechend dem Integral über
die Bildanteile mit Ortsfrequenzen, die k nicht entsprechen. Zur Unterdrückung dieses Gleichlichtanteils
ist eine Einrichtung mit einem speziellen Fotoempfängerpaar mit ineinandergeschachtelten streifenförmigen
Elektroden bekannt (DE-OS 1673408), die nur aus Bildanteilen mit k entsprechender Ortsfrequenz ein Gegentaktsignal liefert und bei der sich
die Gleichtaktanteile anderer Signale durch eine differenzbildende Brückenschaltung herausheben. Die
speziellen Fotoempfänger dieser bekannten Einrichtung bedingen infolge ihrer schwierigen Geometrie
wiederum hohen Aufwand, und sie begrenzen, da sie sich nicht mit beliebiger Feinheit herstellen lassen, die
Streifenzahl, welche in unmittelbarem Zusammenhang mit der Meßgenauigkeit des Systems steht.
Des weiteren ist eine Einrichtung zur Kompensation der Bewegung eines Bildes in einer Luftbildkamera
während der Belichtungszeit bekannt (GB-PS 1249302), bei der mittels eines Dachkanten- oder
Pyramidenrasters und diesem nachgeschalteter fotoelektrischer Empfänger Steuersignale abgeleitet werden,
welche entweder den Film in der Kamera oder das abbildende optische System dieser Kamera derart
nachführen, daß ein abzubildendes Objekt während der Belichtungszeit stets auf die gleiche Stelle des
Films abgebildet wird. Diese vorbekannte Einrichtung erbringt keine Richtungsinformation, so daß ihre Anwendung
nur in einer vorgegebenen Bewegungsrichtung möglich ist.
Durch die FR-PS 2044366 ist weiterhin ein Geschwindigkeitsmesser bekannt, der mit einem Gitter
arbeitet und dessen fotoelektrischer Empfänger eine geschwindigkeitsproportionale Frequenz erzeugt.
Zwischen Gitter und fotoelektrischem Empfänger dieser Einrichtung ist eine Optik sowie eine in deren
Brennebene montierte Schlitzblende angeordnet. Bei paralleler Relativbewegung zwischen Meßobjekt und
Meßeinrichtung wird die geschwindigkeitsproportionale Frequenz aus den vom Objekt ausgehenden
Lichtflüssen, die aufgrund der durchlässigen bzw. un-
durchlässigen Gitterzonen den fotoelektrischen Empfänger beaufschlagen, erzeugt. Die Messung erfolgt
durch direkte Objektabtastung. Die Einrichtung ist technisch aufwendig und erbringt keine Richtungsinformation.
Ihre Anwendung ist ebenfalls nur in einer vorgegebenen Bewegungsrichtung möglich.
Letztlich ist durch die DE-PS 2 144437 auch eine
Einrichtung mit einem optischen Korrelator zur berührungslosen Messung der Geschwindigkeit von Objekten
ohne spezielle Markierung gegenüber einer Bezugslage geschützt, deren Ausgangssignale im Gegentakt
sind und die bei bewegtem Objekt eine Zeitfrequenz liefert, die je nach Bewegungsrichtung des
Objektes entweder der Summe oder der Differenz von Objekt- und Gitterbewegungsgeschwindigkeit proportional
ist. Die Messung der Objektbewegung ist mit dieser Einrichtung jedoch nur in einer Koordinatenrichtung
möglich.
Der vorliegenden Erfindung lag die Aufgabe zugrunde, eine Einrichtung zur berührungslosen Messung
der Geschwindigkeit von Objekten ohne spezielle optische Markierungen gegenübtr einer Bezugslage
zu schaffen, mit der in äußerst einfacher Weise Richtungsinformationen auch entsprechend
zwei sich kreuzenden Koordinatenrichtungen gewonnen werden können. Dabei ist darauf zu achten, daß
die neue Einrichtung sich mit handelsüblichen optischen und elektronischen Bauteilen leicht realisieren
läßt.
Gegenstand der Erfindung ist eine Einrich ung gemäß
des Oberbegriffs der Ansprüche 1 und 2. die sich dadurch auszeichnet, daß ein das Gitter des optischen
Korrelators senkrecht zur optischen Achse in oszillierende Bewegung versetzender elektrischer Antrieb
vorgesehen ist.
Die neue Einrichtung ist ferner dadurch gekennzeichnet, daß ein Kreuzgitter verwendet ist, welches
ein Antrieb kontinuierlich senkrecht zur optischen Achse bewegt.
Bei Verwendung eines Kreuzgitters bewirkt der Antrieb eine Bewegung parallel zu den Rasterelementen.
Es kann aber auch vorgesehen sein, daß bei Verwendung eines Kreuzgitters der Antrieb eine Bewegung
bewirkt, deren Richtung mit der Diagonalen der Rasterelemente einen Winkel einschließt.
Es wird weiterhin vorgeschlagen, daß der Antrieb bei Verwendung eines einkoordinatigen Dachkantenrasters
derart erfolgt, daß die Bewegung senkrecht zur optischen Achse und zu den Dachkanten verläuft.
Es ist jedoch aber auch möglich, daß bei Verwendung eines einkoordinatigen Dachkantenrasters der
Antrieb derart erfolgt, daß die Richtung der Bewegung mit der optischen Achse und/oder den Dachkanten
einen Winkel +90° einschließen.
Ausführungsbeispiele für die neue Einrichtung sind in den Zeichnungen schematisch dargestellt und nachfolgend
beschrieben. Es zeigt
Fig. 1 eine Einrichtung zum Messen nach einer Koordinatenrichtung,
Fig. 2 eine Einrichtung zum Messen nach zwei Koordinatenrichtungen.
In Fig. 1 ist mit dem Bezugszeichen 1 ein bewegtes transparentes Objekt bezeichnet, dessen Relativgeschwindigkeit
im Durchlicht gemessen werden soll. Dieses Objekt 1 wird von einer Lampe 2 über einen
Kondensor 3 beleuchtet. Ein Objektiv 4 bildet das Objekt 1 in die Ebene eines Gitters 5 ab. Dieses Gitter
5 ist als Furchengitter mit dreieckförmigem Furchenquerschnitt 6 ausgebildet. Dadurch, daß die
Flanken der Gitterfurchen abwechselnd ungleiche Neigungen aufweisen, wird eine Energieaufspaltung
zwischen um eine halbe Gitterkonstante gegeneinander versetzten Bildpunkten durch die unterschiedliche
Lichtablenkung benachbarter Flanken erzeugt. Die Energie je einer Ablenkungsrichtung wird über Kondensoren
8, 9 je einem der fotoelektrischen Empfänger 10, 11 zugeführt.
Da die Objektstruktur, wie auf dem Objekt 1 durch dunkle Bereiche angedeutet, das Licht verschieden
stark hindurchläßt, enthalten die Ausgangssignale der Fotozellen 10, 11 veränderliche Gleichanteile entsprechend
der zeitlichen Änderung der Helligkeitsverteilung in cer Ebene des Gitters 5 infolge der Bewegung
des Objektes 1. Durch die überlagerung der Objektstruktur mit der Struktur des Gitters ergibt sich
eine Ausfilterung der Bildstrukturanteile, deren Ortsfrequenz der Gitterkonstante entspricht. Dabei werden
zusätzliche niederfrequentere Bildanteile als störender Gleichlichtanteil durchgelassen. Für um eine
halbe Gitterkonstante versetzte Bildpunkte gilt das gleiche, aber mit dem Unterschied, daß nur die der
Gitterkonstante entsprechende Ortsfrequenz gegenüber dem erstgenannten Ortssignal um 180° in der
Phase verschoben ist Durch anschließende Differenzbildung der aus den beiden Bildanteilen gewonnenen
elektrischen Signale erhält man eine Elimination der gleichphasigen Gleichlichtanteile und eine
Addition der gegenphasigen Signalanteile der ausgefilterten Ortsfrequenz. Bei Bewegung des Objektes
relativ zum Raster wird dann, wie bekannt, die Ortsfrequenz in geschwindigkeitsproportionale Zeitfrequenz
umgesetzt und gemessen.
Das Gitter 5 ist in Pfeilrichtung verschieblich gelagert. Ein in der Zeichnung gestrichelt dargestellter
elektrischer Antrieb 15 gestattet es, das Gitter relativ zur optischen Achse definiert zu bewegen. Tut man
solches, so erhält man auch bei ortsfester Lage des Objektes am Ausgang der Empfänger eine Zeitfrequenz,
die je nach Bewegungsrichtung des Objektes entweder der Summe oder der Differenz von Objekt-
und Gitterbewegungsgeschwindigkeit proportional ist.
Aus diesen Signalen lassen sich in bekannter Weise durch Vergleich mit einem nur von der Gitterbewegung
abgeleiteten Signal (z B. mittels eines phasenempfindlichen
Gleichrichters) Größe und Richtung der Objektbewegung bestimmen. Soll die Ortslage
gemessen werden, so muß die Anzahl der durchlaufenden Perioden am Ausgang des Vergleichers unter
Berücksichtigung der ebenfalls vorhandenen Richtungsinformation gezählt werden.
InFig. 2 ist eine Abwandlung des in Fig. 1 Gezeigten
dargestellt. Hier weisen gleichlautende Bezugszeichen auf gleiche Bauteile hin. Das Gitter 25 besteht
hier jedoch aus auf einem Träger 26 in einer Vielzahl vorhandenen gleichartigen, mit den Kanten ihrer
Grundflächen parallel zueinander und nebeneinander liegenden Pyramiden 27. Durch die Normalen der Pyramidenflächen
sind in der Ebene des Gitters zwei Richtungspaare definiert, denen vier fotoelektrische
Empfänger 28 bis 31 mit vitr Kondeii ,oren 32 bis
35 zugeordnet sind. Es ist also möglich, mittels dieses Gitters in der Gitterebene nach zwei zueinander nicht
parallelen Richtungen zu messen. Darüber hinaus laßt
sich mit Hilfe dieser Gitteranordnung für jede Koordinatenrichtung ein Gegentaktsignalpaar gewinnen.
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die es in der oben beschriebenen Weise ermöglichen, tungsdefinierende Signale ableiten, und zwar für jed
Gleichlichtanteile aus den anfallenden Meßsignalen der durch die Rasterelementeanordnung vorbe
zu eliminieren. stimmten Koordinatenrichtungen.
Wie angedeutet, ist auch hier ein Antrieb 15 vor- Selbstverständlich ist es möglich, die jeweils eine
handen, der aber in Abweichung vom in Fig. 1 Ge- "> Koordinatenrichtung zugeordneten fotoelektrische
zeigten derart am beweglich gelagerten Gitter 25 an- Empfänger durch einen einzigen fotoelektrische
greift, daß dieses senkrecht zur optischen Achse und Empfänger zu ersetzen, der beispielsweise mittels ei
vorzugsweise in Richtung der Diagonalen seiner Ra- nes oszillierenden Spiegels wechselweise den beidei
sterelemente bewegt wird. Aus dieser Bewegung las- Richtungen der das Gitter verlassenden Strahlenbün
sen sich in bereits oben beschriebener Weise rieh- m del zugeordnet ist.
Hierzu 1 Blatt Zeichnungen
Claims (5)
1. Einrichtung zur berührungslosen Messung
der Geschwindigkeit oder des Weges von Objekten ohne spezielle optische Markierungen gegenüber
einer Bezugslage nach einer oder zwei Meßkcordinatenrichtungen unter Verwendung eines
optischen !Correlators, der eine Abbildungsoptik, mindestens ein vorzugsweise in der Bildebene dieser
Optik angeordnetes Gitter sowie ein mindestens einen fotoelektrischen Empfänger enthaltendes
Empfängersystem umfaßt und Signale mit einer der Bewegungsgeschwindigkeit proportionalen
Frequenzkomponenten erzeugt und dessen als Ortsfrequenzfilter wirkendes Gitter im Querschnitt
dreieckförmig dreidimensionale Strukturen aufweist, die zeilenweise nebeneinanderliegend
angeordnet sind, und in welchem diesem Gitter je Meßkoordiantenrichtung vorzugsweise
zwei fotoelektrische Empfänger zugeordnet sind, deren Ausgangssignale aufgrund der geometrischen
Ausbildung des Gitters für dessen Ortsfrequenz im Gegentakt sind, dadurch gekennzeichnet,
daß ein das Gitter (6; 25) des optischen !Correlators senkrecht zur optischen
Achse in oszillierende Bewegung versetzender elektrischer Antrieb (15) vorgesehen ist.
2. Einrichtung zur berührungslosen Messung der Geschwindigkeit oder des Weges von Objekten
ohne spezielle optische Markierungen gegenüber einer Bezugslage nach einer oder zwei Meßkoordinatenrichtungen
unter Verwendung eines optischen !Correlators, der eine Abbildungsoptik,
mindestens ein vorzugsweise in der Bildebene dieser Optik angeordnetes Giiter sowie eine mindestens
einen fotoelektrischen Empfänger enthaltendes Empfängersystem umfaßt und Signale mit
einer der Bewegungsgeschwindigkeit proportionalen Frequenzkomponenten erzeugt und dessen
als Ortsfrequenzfilter wirkendes Gitter im Querschnitt dreieckförmige, dreidimensionale Strukturen
aufweist, die zeilenweise nebeneinanderliegend angeordnet sind, und in welchem diesem
Gitter je Meßkoordinatenrichtung vorzugsweise zwei fotoelektrische Empfänger zugeordnet sind,
deren Ausgangssignale aufgrund der geometrischen Ausbildung des Gitters für dessen Ortsfrequenz
im Gegentakt sind, dadurch gekennzeichnet, daß ein Kreuzgitter (25) verwendet ist,
weichesein Antrieb(15) kontinuierlich senkrecht zur optischen Achse bewegt.
3. Einrichtung nach den Ansprüchen 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß bei Verwendung eines
Kreuzgitters (25) der Antrieb (15) eine Bewegung parallel zur Diagonalen der Rasterelemente
bewirkt.
4. Einrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß der Antrieb bei Verwendung
eines einkoordinatigen Dachkantenrasters (6) derart erfolgt, daß die Bewegung senkrecht zur
optischen Achse und zu den Dachkanten verläuft.
5. Einrichtung nach den Ansprüchen 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß bei Verwendung eines
Kreuzgitters (25) der Antrieb eine Bewegung bewirkt, deren Richtung mit der Diagonalen der
Rasterelemente einen Winkel einschließt.
ft. Einrichtung nach Anspruch 1. dadurch ge-
kennzeichnet, daß der Antrieb bei Verwendung eines einkoordinatigen Dachkantenrasters (6)
derart erfolgt, daß die Richtung der Bewegung mit der optischen Achse und/oder den Dachkanten
einen Winkel Φ 90° einschließt.
Priority Applications (8)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE2209667A DE2209667C3 (de) | 1972-03-01 | 1972-03-01 | Einrichtung zur beruhrungslosen Messung |
JP1385973A JPS5712104B2 (de) | 1972-03-01 | 1973-02-05 | |
CH175073A CH556029A (de) | 1972-03-01 | 1973-02-07 | Einrichtung zur beruehrungslosen messung der geschwindigkeit oder des verschiebungsweges von objekten. |
NL7301793A NL7301793A (de) | 1972-03-01 | 1973-02-08 | |
IT67321/73A IT977774B (it) | 1972-03-01 | 1973-02-12 | Dispositivo di misurazione senza contatto particolarmente per la determinazione della velocita o dello spostamento di un oggetto |
GB751273A GB1421571A (en) | 1972-03-01 | 1973-02-15 | Apparatus for measuring the speed and direction of movement of an object |
US00333514A US3856401A (en) | 1972-03-01 | 1973-02-20 | A paratus for no-contact measurement using an oscillating grating |
FR7306777A FR2174064B1 (de) | 1972-03-01 | 1973-02-26 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE2209667A DE2209667C3 (de) | 1972-03-01 | 1972-03-01 | Einrichtung zur beruhrungslosen Messung |
Publications (3)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
DE2209667A1 DE2209667A1 (de) | 1973-09-06 |
DE2209667B2 true DE2209667B2 (de) | 1979-12-20 |
DE2209667C3 DE2209667C3 (de) | 1980-09-04 |
Family
ID=5837494
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
DE2209667A Expired DE2209667C3 (de) | 1972-03-01 | 1972-03-01 | Einrichtung zur beruhrungslosen Messung |
Country Status (8)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US3856401A (de) |
JP (1) | JPS5712104B2 (de) |
CH (1) | CH556029A (de) |
DE (1) | DE2209667C3 (de) |
FR (1) | FR2174064B1 (de) |
GB (1) | GB1421571A (de) |
IT (1) | IT977774B (de) |
NL (1) | NL7301793A (de) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE4035039A1 (de) * | 1990-10-05 | 1992-04-09 | Christofori Klaus | Verfahren und einrichtung zur erfassung der bewegung strukturierter objekte |
EP0682230A2 (de) * | 1994-05-13 | 1995-11-15 | Canon Kabushiki Kaisha | Apparat zur Verschiebungsmessung eines Gegenstandes unter Verwendung eines Beugungsgitters |
Families Citing this family (24)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE2354491C2 (de) * | 1973-10-31 | 1983-12-29 | Ernst Leitz Wetzlar Gmbh, 6330 Wetzlar | Verfahren und Einrichtung zur Ermittlung der maximalen Bremswirkung |
US3992099A (en) * | 1973-12-12 | 1976-11-16 | Varo, Inc. | Source discriminator for measuring angle of arrival and wavelength of radiant energy |
GB1605012A (en) * | 1974-02-19 | 1981-12-16 | Marconi Co Ltd | Range responsive apparatus |
GB1516972A (en) * | 1974-05-16 | 1978-07-05 | Bang & Olufsen As | Phonographs |
DE2425466C2 (de) * | 1974-05-27 | 1985-05-30 | Ernst Leitz Wetzlar Gmbh, 6330 Wetzlar | Einrichtung zur Überwachung von Räumen durch optisch-elektronische Meßmittel |
DE2528515C3 (de) * | 1975-06-26 | 1978-06-08 | Ernst Leitz Wetzlar Gmbh, 6330 Wetzlar | Verfahren und Vorrichtung zur automatischen Fokussierung eines optischen Gerätes mit einem Abtastgitter |
US4027970A (en) * | 1975-10-28 | 1977-06-07 | Sanders Associates, Inc. | Method and apparatus for passive optical fusing and distance measurement |
DE2637844C2 (de) * | 1976-08-23 | 1986-06-26 | Ernst Leitz Wetzlar Gmbh, 6330 Wetzlar | Verfahren und Anordnung zur getrennten Auswertung von Bildinhalten nach zwei Koordinatenrichtungen der Bewegung |
JPS53144366A (en) * | 1977-05-23 | 1978-12-15 | Akira Kobayashi | Movement measuring method of objects |
DE2835390A1 (de) * | 1978-08-12 | 1980-02-21 | Leitz Ernst Gmbh | Optischer korrelator |
DE2905483C2 (de) * | 1979-02-13 | 1984-08-16 | Gesellschaft für Strahlen- und Umweltforschung mbH, 8000 München | Verfahren und Einrichtung zur berührungslosen Messung der Geschwindigkeit von Teilchen |
DE3002580C2 (de) * | 1980-01-25 | 1987-07-09 | Messerschmitt-Bölkow-Blohm GmbH, 8000 München | Optisches Zielgerät |
US4397559A (en) * | 1981-02-19 | 1983-08-09 | University Of Pittsburgh | Apparatus for processing electromagnetic radiation and method |
ATE47232T1 (de) * | 1982-08-06 | 1989-10-15 | Bosch Gmbh Robert | Sensor fuer relativbewegungen. |
US4808807A (en) * | 1986-12-04 | 1989-02-28 | General Signal Corp. | Optical focus sensor system |
JPH0327407U (de) * | 1989-07-21 | 1991-03-19 | ||
US5124548A (en) * | 1990-05-03 | 1992-06-23 | Canon Kabushiki Kaisha | Encoder for detecting relative displacement having first and second scales and a light receiving device |
GB9114206D0 (en) * | 1991-06-29 | 1991-08-21 | Lucas Ind Plc | Displacement sensor |
GB9115096D0 (en) * | 1991-07-12 | 1991-08-28 | Lucas Ind Plc | Speed sensor |
US6043869A (en) * | 1993-10-27 | 2000-03-28 | Omron Corporation | Optical device for measuring speed |
US5815267A (en) * | 1994-09-09 | 1998-09-29 | Canon Kabushiki Kaisha | Displacement information measuring apparatus in which a light-receiving condition on a photodetector is adjustable |
US6803560B1 (en) * | 1999-06-10 | 2004-10-12 | Canon Kabushiki Kaisha | Optical encoder |
DE102007038013B4 (de) * | 2007-08-10 | 2009-06-25 | Fraba Ag | Verfahren zur optischen Messung von Geschwindigkeiten und Sensor zur optischen Messung von Geschwindigkeiten |
DE102007063355B4 (de) * | 2007-12-28 | 2012-03-29 | Fraba Ag | Verfahren zur optischen Messung von Geschwindigkeiten nach dem Ortsfrequenzfilterverfahren und Sensor zur optischen Messung von Geschwindigkeiten |
Family Cites Families (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US3511150A (en) * | 1966-01-13 | 1970-05-12 | Theodore R Whitney | Image motion devices |
CH474766A (fr) * | 1966-06-17 | 1969-06-30 | Marconi Co Ltd | Appareil pour mesurer la vitesse d'un organe |
GB1144488A (en) * | 1966-07-19 | 1969-03-05 | Marconi Co Ltd | Improvements in or relating to measuring apparatus |
DE1548707C3 (de) * | 1966-07-26 | 1979-02-15 | Ernst Leitz Wetzlar Gmbh, 6330 Wetzlar | Fotoelektrischer Schrittgeber |
GB1249302A (en) * | 1968-01-16 | 1971-10-13 | Secr Defence | Improvements in or relating to optical beam splitter devices and apparatus |
FR2044366A5 (de) * | 1969-05-19 | 1971-02-19 | Schnerb Gilbert | |
JPS5322469A (en) * | 1976-08-13 | 1978-03-01 | Seiko Instr & Electronics Ltd | Colo r coded display digital watch |
-
1972
- 1972-03-01 DE DE2209667A patent/DE2209667C3/de not_active Expired
-
1973
- 1973-02-05 JP JP1385973A patent/JPS5712104B2/ja not_active Expired
- 1973-02-07 CH CH175073A patent/CH556029A/de not_active IP Right Cessation
- 1973-02-08 NL NL7301793A patent/NL7301793A/xx active Search and Examination
- 1973-02-12 IT IT67321/73A patent/IT977774B/it active
- 1973-02-15 GB GB751273A patent/GB1421571A/en not_active Expired
- 1973-02-20 US US00333514A patent/US3856401A/en not_active Expired - Lifetime
- 1973-02-26 FR FR7306777A patent/FR2174064B1/fr not_active Expired
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE4035039A1 (de) * | 1990-10-05 | 1992-04-09 | Christofori Klaus | Verfahren und einrichtung zur erfassung der bewegung strukturierter objekte |
EP0682230A2 (de) * | 1994-05-13 | 1995-11-15 | Canon Kabushiki Kaisha | Apparat zur Verschiebungsmessung eines Gegenstandes unter Verwendung eines Beugungsgitters |
EP0682230A3 (de) * | 1994-05-13 | 1996-09-04 | Canon Kk | Apparat zur Verschiebungsmessung eines Gegenstandes unter Verwendung eines Beugungsgitters. |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
DE2209667A1 (de) | 1973-09-06 |
IT977774B (it) | 1974-09-20 |
NL7301793A (de) | 1973-09-04 |
US3856401A (en) | 1974-12-24 |
DE2209667C3 (de) | 1980-09-04 |
JPS4925971A (de) | 1974-03-07 |
CH556029A (de) | 1974-11-15 |
JPS5712104B2 (de) | 1982-03-09 |
GB1421571A (en) | 1976-01-21 |
FR2174064A1 (de) | 1973-10-12 |
FR2174064B1 (de) | 1976-06-11 |
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---|---|---|
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C3 | Grant after two publication steps (3rd publication) | ||
8327 | Change in the person/name/address of the patent owner |
Owner name: WILD LEITZ GMBH, 6330 WETZLAR, DE |
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