DE19636112A1 - Trägerelement für einen Halbleiterchip - Google Patents

Trägerelement für einen Halbleiterchip

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Description

Die Erfindung betrifft ein Trägerelement für einen Halblei­ terchip mit einer auf eine elektrisch isolierende Folie la­ mierten elektrisch leitfähigen Folie, bei dem die leitfähige Folie derart strukturiert ist, daß mit dem Chip elektrisch verbindbare Kontaktflächen für eine über das Trägerelement erfolgende externe Kontaktierung des Chips ausgebildet sind.
Derartige Trägerelemente sind beispielsweise für den Einsatz in den sogenannten Chipkarten üblich. Dabei wird das Trägere­ lement mit dem Halbleiterchip versehen, der üblicherweise von einer auch die elektrischen Verbindungen mit den Kontaktflä­ chen bedeckenden schützenden Umhüllung umgeben wird. Das Trä­ gerelement mit dem Chip und der Umhüllung wird auch als Elek­ tronikmodul bezeichnet. Das Elektronikmodul ist in eine Ver­ tiefung eines kartenförmigen Grundkörpers, der das eigentli­ che Gehäuse der Chipkarte bildet, einsetzbar. Dabei bilden die Kontaktflächen der leitfähigen Folie für gewöhnlich mit einer Hauptfläche des Kartengrundkörpers eine Ebene.
Wie beispielsweise in der DE-C1 43 40 996 beschrieben, ist es üblich, die isolierende Folie und die leitfähige Folie des Trägerelementes zur Herstellung des Laminats miteinander zu verkleben. Dafür werden lange Bahnen der isolierenden Folie und der leitfähigen Folie strukturiert und dann aneinanderge­ fügt, wobei eine Vielzahl von Trägerelementen erzeugt werden, die anschließend noch zu vereinzeln sind.
Die Verwendung von Klebstoff für das Aneinanderfügen der bei­ den Folien hat jedoch folgende Nachteile: Es ist ein zusätz­ licher Herstellungsschritt notwendig, da eine Klebstoff­ schicht aufgetragen werden muß. Zur Aushärtung des Klebstof­ fes bedarf es einer gewissen Zeitspanne, die den Herstel­ lungsprozeß verlängert. Um diese zu verkürzen, können zwar schnell aushärtende Klebstoffe verwendet werden. Diese haben jedoch Zusätze, die bei einer Erwärmung (wie z. B. bei der Durchführung der Kontaktierung des Chips) ausgasen und dabei Probleme verursachen können.
Aufgabe der Erfindung ist es, ein Trägerelement der genannten Art zu schaffen, bei dem die genannten Nachteile vermieden sind.
Diese Aufgabe wird durch ein Trägerelement gemäß Anspruch 1 und ein Herstellungsverfahren für ein Trägerelement gemäß An­ spruch 5 gelöst.
Erfindungsgemäß ist es vorgesehen, zur Herstellung des Lami­ nats aus isolierender und leitfähiger Folie keinen Klebstoff zu verwenden, sondern durch Zusammenpressen der Folien einen Formschluß zwischen ihnen zu erreichen.
Eine Ausführungsform der Erfindung sieht vor, daß die mit der isolierenden Folie verbundene Seite der leitfähigen Folie ei­ ne Oberflächenstruktur hat, die sehr große Unebenheiten in Form von Anformungen aufweist. Zur Bildung des Formschlusses werden die beiden Folien aufeinandergepreßt, wobei die Anfor­ mungen der leitfähigen Folie in das Material der isolierenden Folie eingepreßt werden und sich mit diesem verzahnen.
Als geeignetes Material für die isolierende Folie kommt ins­ besondere ein Hochtemperatur-Thermoplast in Frage. Diese Stoffe weisen die notwendige Elastizität auf, um ein Eindrin­ gen der Anformungen der leitfähigen Folie beim Zusammenpres­ sen der beiden Folien zu ermöglichen. Andererseits sind sie so temperaturstabil, daß bei Fertigungsprozessen auftretende Erwärmungen (beispielsweise durch Befestigung bzw. Kontaktie­ rung eines Chips auf dem Trägerelement) für sie unschädlich sind. Die leitfähige Folie läßt sich besonders günstig aus elektrolytisch abgeschiedenem Kupfer herstellen, welches durch entsprechende Impfung eine stengelkristalline bzw. den­ dritische Oberflächenstruktur hat, die abschließend naßche­ misch oxidiert ist. Auf diese Weise erhält man eine leitfähi­ ge Folie, die auf derjenigen Seite, auf der sich die zu kon­ taktierende Seite der Kontaktflächen befindet, eben ist (diese Seite ist später mit Nickel und Gold beschichtbar, um dauerhafte Kontakte mit guten elektrischen Eigenschaften her­ zustellen), während die hiervon abgewandte Seite der Folie Stengelkristalle aufweist, deren verbreiterte Spitzen aus Kupferoxid bestehen. Die an der Spitze oxidierten Stengelkri­ stalle bilden die Anformungen zur Herstellung des Mikroform­ schlusses zwischen den beiden Folien. Der durch ihr Zusammen­ pressen erzielte formschlüssige Verbund erfolgt ähnlich einem Druckknopf-Effekt.
Besonders günstig ist es, wenn die leitfähige Folie bereits vor dem Zusammenpressen der Folien zur Ausbildung der Kon­ taktflächen strukturiert wird. Dies kann ohne großen Aufwand durch Stanzen erreicht werden. Nimmt man dagegen einen höhe­ ren Aufwand in Kauf, ist es auch möglich, zunächst die Folien durch Zusammenpressen zu verbinden und eine Strukturierung der leitfähigen Folie erst hiernach durch Beschichten mit ei­ nem Fotolack, Belichten und anschließendes Ätzen vorzunehmen.
Günstigerweise wird auch die isolierende Folie bereits vor dem Zusammenfügen der beiden Folien durch Stanzen struktu­ riert, wobei beispielsweise Löcher gebildet werden, die der späteren elektrischen Verbindung des Chips mit den Kontakt­ flächen der leitfähigen Folie dienen. Die isolierende Folie kann beispielsweise aus glasfaserverstärktem Epoxidharz, aus Kapton oder Polyester bestehen.
Die Erfindung wird im folgenden anhand der Figuren beschrie­ ben, die folgendes zeigen:
Fig. 1 ein Ausführungsbeispiel eines erfindungsgemäßen Trägerelementes für ein Elektronikmodul einer Chip­ karte,
Fig. 2 die Rückseite des Trägerelementes aus Fig. 1,
Fig. 3 eine stark vergrößerte Darstellung der formschlüs­ sigen Verbindung zwischen der isolierenden und der leitfähigen Folie.
Das Trägerelement 1 in Fig. 1 zeigt eine auf eine isolieren­ de Folie 3 laminierte leitfähige Folie 4. Die leitfähige Fo­ lie 4 ist so strukturiert, daß Kontaktflächen 5 für eine spä­ tere Kontaktierung des Trägerelementes 1 ausgebildet sind. Wird ein derartiges Trägerelement 1 in den Kartengrundkörper einer Chipkarte eingesetzt bzw. implantiert, sind die Kon­ taktflächen 5 plan mit einer Hauptseite des Kartengrundkör­ pers.
Fig. 2 zeigt das Trägerelement 1 aus Fig. 1 von der Unter­ seite. In der Fig. 2 ist das Trägerelement 1 bereits mit ei­ nem Halbleiterchip 2 versehen, der von einer ihn umgebenden Umhüllung geschützt wird. Die Figur zeigt nur die Umhüllung, während der darin befindliche Chip 2 nicht sichtbar ist. Die Umhüllung kann beispielsweise durch Gießen oder Spritzen her­ gestellt sein. Meist wird sie aus einem Duroplasten herge­ stellt. Außer dem Chip 2 umgibt sie auch elektrische Verbin­ dungen, die zwischen Anschlüssen des Chips 2 und der Unter­ seite der Kontaktflächen 5 der leitfähigen Folie 4 gebildet sind. Der in Fig. 2 dargestellte Gegenstand aus Trägerele­ ment 1, Chip 2 und dessen Umhüllung wird auch als Elektronik­ modul bezeichnet.
Die Erfindung betrifft nun die Art des Zusammenfügens der isolierenden Folie 3 und der leitfähigen Folie 4. Fig. 3 zeigt, auf welche Weise diese erfolgt. Dargestellt ist ein stark vergrößerter, nicht maßstäblicher Ausschnitt der beiden Folien 3, 4 während des Zusammenfügens, das durch Zusammen­ pressen der Folien durch eine Kraft F erfolgt. Die isolieren­ de Folie 3 ist im oberen Teil der Figur dargestellt und be­ steht aus einem im Vergleich zum Material von noch zu erläu­ ternden, in der leitfähigen Folie 4 befindlichen Anformungen 4a, 4b relativ weichem Material, beispielsweise einem Hochtemperatur-Thermoplasten.
Die leitfähige Folie 4 ist im unteren Teil der Fig. 3 darge­ stellt und besteht bei diesem Ausführungsbeispiel aus elek­ trolytisch abgeschiedenem Kupfer, welches durch entsprechende Impfung an seiner einen Seite Stengelkristalle 4a ausgebildet hat. Die Spitzen der Stengelkristalle 4a wurden oxidiert, so daß sich dort aus Kupferoxid bestehende Verbreiterungen 4b befinden. Die Stengelkristalle 4a bilden mit den Verbreite­ rungen 4b die pilzförmigen Anformungen 4a, 4b an der der iso­ lierenden Folie 3 zugewandten Seite der leitfähigen Folie 4.
Fig. 3 ist auch zu entnehmen, daß die Kontaktflächen 5 der leitfähigen Folie 4 auf der den Anformungen 4a, 4b abgewand­ ten, ebenen Seite der leitfähigen Folie 4 angeordnet sind.
Die Verbreiterung 4b aus Kupferoxid ermöglicht eine gute Ver­ zahnung mit dem Material der isolierenden Folie 3. Werden nun die beiden Folien 3, 4 zusammengepreßt, dringen die Anformun­ gen 4a, 4b in das relativ weichere Material der isolierenden Folie 3 ein, wodurch ein Mikroformschluß erreicht wird.
Die Erfindung ermöglicht auf die beschriebene Weise eine Klebstoff freie Verbindung zwischen den beiden Folien 3, 4. Hierdurch werden alle durch die Verwendung von- Klebstoff an­ sonsten bedingten Nachteile, wie sie in der Beschreibungsein­ leitung genannt wurden, vermieden.

Claims (6)

1. Trägerelement (1) für einen Halbleiterchip (2)
  • - mit einer auf eine elektrisch isolierende Folie (3) lami­ nierten elektrisch leitfähigen Folie (4),
  • - die leitfähige Folie (3) ist derart strukturiert, daß mit dem Chip (2) elektrisch verbindbare Kontaktflächen (5) für eine über das Trägerelement (1) erfolgende externe Kontaktie­ rung des Chips (2) ausgebildet sind,
  • - die isolierende Folie (3) und die leitfähige Folie (4) sind durch einen Formschluß klebstofffrei miteinander verbunden.
2. Trägerelement nach Anspruch 1, bei dem die mit der isolierenden Folie (3) verbundene Seite der leitfähigen Folie (4) eine Oberflächenstruktur hat, An­ formungen (4a, 4b) aufweist, die zur Bildung des Formschlus­ ses in das Material der isolierenden Folie (3) gepreßt sind.
3. Trägerelement nach Anspruch 2,
  • - bei dem die leitfähige Folie (4) aus elektrolytisch abge­ schiedenem Kupfer mit stengelkristalliner Oberflächenstruktur besteht,
  • - bei dem Enden (4b) der Stengelkristalle (4a) oxidiert sind und mit den Stengelkristallen (4a) die Anformungen (4a, 4b) bilden.
4. Trägerelement nach einem der vorstehenden Ansprüche, bei dem die isolierende Folie (3) ein Hochtemperatur-Ther­ moplast ist.
5. Herstellungsverfahren für ein Trägerelement (1) nach einem der vorstehenden Ansprüche, bei dem die leitfähige Folie (4) und die isolierende Folie (3) durch Zusammenpressen klebstofffrei miteinander verbunden werden.
6. Verfahren nach Anspruch 5, bei dem vor dem Zusammenpressen der Folien (3, 4) die leitfä­ hige Folie (4) derart strukturiert wird, daß die Kontaktflä­ chen (5) gebildet werden.
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