DE1946385A1 - Vorrichtung zur Verhinderung einer unerwuenschten Rueckdiffusion von Gasen in das Praeparationsrohr von Rohroefen - Google Patents

Description

• Vorrichtung zur Verhinderung einer unerwünschten Rückdiffusion von Gasen in das Präparationsrohr von Rohröfen Die ErSindung betrifft eine Vorrichtung zur Verhinderung einer unerwünschten Rückdiffusion von Gasen, insbesondere der atmosphärischen Luft, in das offene, von einer Schutz gas- und/oder Transportströmung durchflossene Präparations rohr von Rohröfen insbesondere der Halbleitertechnik sowie von horizontalen Rohranlagen der Epitaxie0 Durch die bisherige technische Praxis wird zwar bestätigt daß sich der ideale, aus technologischen Gründen geforderte Zustand eines nur mit Schutzgas gefüllten Präparationsrohres weningstens angenähert in tolerierbaren Grenzen realisieren läßt. Für die Präparationstechnik insbesondere von Halbleiterkristallen ist jedoch eine quantitative Steuerung der Rückdiffusion einer äußeren Gasphase gegen die Strömung des Schutzgases im Präparationsrohr wegen der verbreiteten und vielseitigen technologischen Anwendungen von grundsätzlichem Interesses Nach dem bisherigen Stand der Technik hat man bei offene; haltenem Rohrausgang eines Präparationsrohres die Rückdif fusion z.B. der tuft in das Präparationsrohr durch die Geschwindigkeit v der gesamten Schutzgasströmung reguliert.
• Diese Geschwindigkeit v ist jedoch relativ klein (einige Zentimeter pro Sekunde), und es wird hierbei die gesamte Gasmenge der Schutzgasströmung zur Regulierung verwendet Es sei darauf hingewiesen, daß die Strömungsgeschwindigkeit v an der inneren Rohrwand des Präparationsrohres sowohl im laminaren als auch im turbulenten Strömungszustand verschwin det Demzufolge dringt die tuft in das Rohrinnere in der Nähe der inneren Rohrwand praktisch unbeeinflußt von der steuernden Strömungsgeschwindigkeit v ein. Hieraus erhellt, daß die Abwendung einer unerwünschten Rückdiffusion der atmösphärischen Luft in das Innere des Präparationsrohres in der nach dem Stande der Technik üblichen Weise qualitativ schwerfällig und ohne große Variationsmö'glichkeiten in der Steuerung ist0 In quantitativer Hinsicht sind die Verhältnisse sogar im allgemeinen unbekannt und werden mehr oder weniger gefühlsmäßig gehandhabt. In manchen Fällen wird der Ausgang des Präparationsrohres wenigstens zeitweilig mit einer Kappe versehen. Die Ausströmung des Schutzgases erfolgt hierbei durch ein in der Kappe steckendes Röhrchen. Diese Methode ist jedoch ebenfalls aus verschiedenen Gründen unbefriedigend. Das Problem der unerwünschten Rückdiffusion der tuft in das Innere des Präparationsrohres existiert prinzipiell auch für die in der Abschlußkappe steckenden Rohrausgänge der Schutzgasströmung.
• Eine Variatioflsfähigkeit in der Regulierung der unerwünsch ton Rückdifusion der tuft ist auch bei dieser Maßnahme ebenso wenig gegeben wie ohne Abschlußkappe. In der Praxis muß aber die Kappe bisweilen abgenommen werden Die sivh bei ergebenden Verhältnisse hinsichtlich der Anwesenheit unerwünschter- tuftmengen im Präparationsrohr entziehen sich praktisch einer quantitativen Kontrolle Außerdem wird die ungehinderte Betätigung eines Schiebers zum Einfügen der Haibleiterkörper durch eine Abschlußkappe am Ausgang des Präparationsrohres sehr erheblich eingeschränkt.
• Der vorliegenden Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, aus Gründen einer Verbesserung der Qualität insbesondere der Halbleiterpräparate und einer Anhebung der fabrikationsmäßigen Ausbeutezahlen sowie allgemein wegen einer erwünschten Er höhung der Sicherheit und Reinheit von im Präparationsrohr durchgeführten Verfahren die Rückdiffusion eines unerwüns ch ten Gases wie z.B. ruft, in das Rohrinnere noch wesentlich mehr als bisher zu unterdrücken oder ganz zu vermeiden Bei einer Vorrichtung der eingangs genannten Art ist gemäß der Erfindung zur lösung der vorstehenden Aufgabe vorgesehen, daß eine das Präparationsrohr verlägernde, dem Präparationsrohrdurchmesser entsprechende, auf das offene Präparations rohrende lückenlos aufsteckbare Rohrmanschette vorgesehen ist, daL die Rohrmanschette von einem feststehenden Röhrchen durchdrungen ist, das ungefähr in die Mitte des Querschnittes der Rohrmanschette radial hineinragt und in einem bestimmten Abstand vom äußeren Rand der Rohrmanschette so abgekrümmt ist, daß durch mindestens eine im Ende des Röhrschens angebrachte Düsenöffnung ein kegelförmiger Strahl eines Schutzgases aus der das Präparationsrohrende verlägernden Rohrmanschette herausblasbar ist, der die ganze Öffnung der Rohrmanschette und die Randzone der inneren Wand der Rohrmanschette überdeckt, und daß der Schutzgasstrahl durch eine Druckregekeinrichtung derart regulierbar ist, daß die Strahlgeschwindigkeit im Querschnitt des Ausgangs der Rohrmanschette überall größer ist als die hiervon unabhängig einstellbare Strömungsgeschwindigkeit der Schutzgas- und/oder Transportströmung im Präparationsrohr.
• Die Vorrichtung gemaß der Erfindung kann bei richtig dimensioniertem Durchmesser der Rohrmanschette an jeder bereits im 3etrieb befindlichen Ofen- oder Epitaxieanlage mit norizontalem Präparationsrohr ohne Schwierigkeiten und ohne bemerkmenswerte Unkosten engabracht werden. Wesentlich ist hierbei, daß bestehende Ofen- oder Epitaxieanlagen deshalb nicht verändert zu werden brauchen. Eine Vorrichtung gemäß der Drfindung ermöglicht eine Realisierung des technischen Zweckes einer Abschirmung der Rückdiffusion von tuft in das Präparationsrohr bei höchstmöglicher Unabhängigkeit von der bestehenden technischen Anlage des Rohrofens. Die bisherigen technol logischen Verhältnisse des Rohrofens brauchen somit in keiner Weise gestört oder verändert zu werden. Eine Vorrichtung gemäE der Erfindung ist wegen er hiermit erreichbaren quantitativen 2räzisierung von im Präparationsrohr durchgeführten Verfahren sowie wegen der Erhöhung der Sicherheit und Reinheit von grundsätzlicher Bedeutung sowohl im Laborbetrieb als auch für die fabrikationsmäßige Ausbeute Weitere Merkmale und Einzelheiten der Erfindung ergeben sich aus den nachfolgenden Erläuterungen sowie aus der Bescheibung eines Ausführungsbeispieles anhand der Figuren 1 bis 3.
• In Fig. ' ist eine Vorrichtung gemäß der erfindung in einem Längsschnitt längs der Rohrachse des Präparatiosrohres R eines Rohrofens dargestellt. Die Wand des Präparationsrohres R ist mit dem Bezugszeichen 11 versehen, er offene Ausgang des Präparationsrohres R befinde sich an der Stelle xo.
• Eine Tirnterlage 12 für Halbleiterpräparate kann durch den Schieber 17 an eine gewünschte Stelle im Inneren des Präparationsrohres R geschoben werden. Die rechte oeite von Fig0 stellt nicht die Begrenzung des Präparationsrohres R dar Dieses ist vielmehr wesentlich länger zu denken0 Für eine Darstellung der vorliegenden Erfindung wird jedoch nur das hier gezeichnete linke Endstück des Rohres R in der Nähe seines offenen Ausganges bei xO benötigt. Die Rohrströmung des von rechts nach links durch das Präparationsrohr R mit einer Geschwindigkeit v strömenden Schutzgases wird in Fig0 durch den Geschwindigkeitspfeil v veranschaulicht0 Diese Geschwindigkeit v bedeutet beispielsweise die maximale Geschwin.
• digkeit in der parabolischen Geschwindigkeitsverteilung einer laminaren Schutzgassströmung. Bei turbulenter Schutzgasströ mung ist die Geschwindigkeitsverteilung nicht mehr parabolisch, sondern sie besitzt einen hierge-gen abgeplatteten Verlauf, Auch in diesem Falle kann v als die maximale Geschwindigkeit der abgeplatteten Geschwindigkeitsverteilung angesehen werden0 Die Geschwindigkeit v kann aber auch als die mittlere Strö mungsgeschwindigkeit in der Rohrströmung des Schutzgases an gesehen werden Dies ist in jedem Falle eine Frage der Vereinbarung. Im allgemeinen ist die durch v charakterisierte Schutzgasströmung jedoch laminar, Die Vorrichtung gemäß der Erfindung besteht nach Fig. 1 aus einer Rohrmanchette 17, die mit dei Manschettenhalterung 170 auf das Präparationsrohr R gesteckt wird. Hierzu dient ersichtlich eine kleine Aussparung in er Manschette, so daß diese lückenlos an den Rand xO des Rohres R anschließt. Die Manschette 17 stellt somit eine Verlängerung des Präparations rohres R mit gleichbleibendem Rohrdurchmesser dar. Durch die Wand der Manschette 17 ist von oben das Röhrchen 14 geführte in welchem Schutzgas G für den kegelförmigen Strahl des Schutzgases der Geschwindigkeit vN herangeführt wird0 Dieser kegelförmige Strahl mit der Geschwindigkeit v bildet den Abschluß der Schutzgasströmung im Präparationsrohr R mit der Geschwindigkeit vO Die Geschwindigkeit v des kegelförmigen Strahles von Schutzgas muß so eingestellt werden, daß v > v ist0 Ersichtlich hat das Röhrchen 14 etwa in Höhe der Rohrachse des Präparationsrohres R eine Umbiegung, an deren Ende sich eine kleine Düsenöffnung 15 befindet, die mit einem trichterförmigen Ausgang 16 umgeben ist0 Die Dusenöffnung 15 zeigt ersichtlich in Richtung der Schutzgasströmung aus dem durch die Manschette 17 verlängerten Präparationsrohr R heraus0 Die Manschette 17 (einschließlich 170) besteht vorzugsweise aus Metall oder aus feuerfestem Glas oder quarz Desgleichen ist auch das Röhrchen 14 mit Ausgang 16 aus feuerfestem Glas, aus Quarz oder aus einem Metall, Das Röhrchen 14 hat einen äußeren Durchmesser von etwa 4 mm Dicke und einen inneren Durchmesser von etwa 2 - 3 mm Die Öffnung der Düse 15 hat einen Durchmesser von etwa 1 mm Die Winkelöffnung des trichterförmigen Ausganges 16, der ersichtlich über die Düsenöffnung 15 des Röhrchens 14 um etwa 1 cm hinaussteht, beträgt ungefähr 45°. Diese Winkelöffnung und die Entfernung der Düse 15 vom äußeren Rohrrand 171 der Man schette 17 sind so dimensioniert, daß der mit der Geschwindigkeit v" ausströmende kegelförmige Schutzgasstrahl die ganze Rohröffnung der Mansche-tbe 17 vollständig ausfüllt und sogar in einer gewissen Tiefe h noch auf die innere Rohrwand der Manschette auftrifft. Die Tiefe h soll etwa 2 cm betra genO In Fig. 2 ist die Vorrichtung gemäß der Erfindung im längs schnitt längs ser Rohr- bzw. RJanschettenachse nochmals allein ohne das Präparationsrohr R und ohne den kegelförmigen Strahl des Schutzgases mit ißer Geschwindigkeit #\ dargestell-tc In Fig. 1 sind das Präparationsrohr R mit Schutzgasströmung der Geschwindigkeit v sowie -?er kegelförmige Strahl aus der Düse 15 mit der Geschwindigkeit v# zu der Vorrichtung gemäß der Erfindung im bilde hinzugefügt, damit zugleich mit die ser Vorrichtung auch ihre Wirkungsweise und der technologische Zweck anschaulich verständlich werden. In Fig. 2 hingegen ist nur die Vorrichtung gemäß der Erfindung selbst in ihrcr einfachen technischen Ausführung im Längsschnitt ge sehen aufgezeichnet.
• Dieselbe Vorrichtung zeigt Fig. 3 in einer Querschnittsdarstellung, wenn man von außen in Richtung der Rohrachse des Präparationsrohres R in die Rohröffnung der auf das Präparationsrohr R aufzusteckenden Manschette 17 hineinschæutD In Fig. 2 und Fig. 3 bedeutet 17 mit der Halterung 170 die Manschette des Präparationsrohres R. Der Manschettenrand der Rohröffnung der Manschette ist mit dem Bezugszeichen 17 versehen Das Schutzgasröhrchen 14 für den kegelförmigen Schutzgasstrahl besitzt eine Düsenöffnung 15, die mit einem trichterförmigen Ausgang 16 umgeben ist. Die Halterung 170 der Manschette 17 zeigt eine kleine Aussparung für das Präparationsrohr R. An Stelle einer Düsenöffnung 15 kann die Vorrichtung der vorliegenden Erfindung auch mit mindestens 2 Düsenöffnungen am verbreiterten Ende des hakenförmig gekrümmten Röhrchens 14 ausgestattet werden0 Durch die vorliegende Erfindung werden die bereits erwähnten Schwierigkeiten, die nach dem Stande der Technik auftreten, beseitigt Aus der Darstellung in Fig. 1 ist zu ersehen) daß durch das in der Manschette 17 befestigte Röhrchen 14 ein kegelförmiger Strahl eines Schutzgases G aus dem das Präparationsrohr R verlängernden offenen Rohrausgang der Manschette 17 herausgeblasen wird. Der Strahlkegel trifft noch etwa 2 cm vor dem Ausgang des Manschettenrohres auf dessen innere Rohrwand Somit überdeckt der kegelförmige Strahl des Schutzgases a die ganze Rohröffnung des Ausganges des Manschettenrohres. Auf diese Weise wird gemäß der Erfindung die unerwünschte Rückdiffusion der Luft in das Präparationsrohr mit sehr einfachen Mitteln unabhängig von der Rohrströmung des Schutzgases gesteuert und kann in gewünschter Weise auch quantitativ reguliert werden. Mit diesen mitteln kann die Rückdiffusion der Tuft in das Präparationsrohr rein auf strömungsmeschanischem Nege gesteuert und nach Belieben gedrss elt werden. Der kegelförmige Strahl repräsentiert hier bei ein ärodynamisches Ventil. Es ergeben sici folgende technische Vorzüge: Die unerwünschte Rückdiffusion der atmosphärischen Luft in das Präparationsrohr R des Rohrofens kann quantitativ gesteuert und schließlich vollständig verhindert werden; Diese Steuerung ist von der Schutzgasströmung des Präparationsrohres R mit der Strömungsgeschwindigkeit v unabhängig. Die quantitative Regulierung der Drosselung der Rückdiffusion der luft in das Präparationsrohr kann über ein Hahnventil erfolgen er aus der Düse 5 des orchens 14 austretende kegelförmige Strahl eines Schutzgases soll erfindungsgemäß so eingestellt werden, daß die Strahlgeschwindigkeit v in Ausgang des Manschettenrohres überall in dessen Rohrouerschnitt rößer als die maximale Geschwindigkeit v der Rohrströmung des Schitzgases im Präparationsrohr R ist0 Diese Einstellung erfolgt durch den manipulierbaren Druck an der Gaszuführungs des Röhrchens 14, z.B. durch ein Hahnventil.
• Zur Wirkungsweise des kegelförmigen Strahles ist noch folgendes zu bemerken. Die Gasmenge des aus der Düse 5 des Röhrchens 14 austetenden Schutzgases ist gering im Vergleich zu der im Präparationsrohr R transportierten Schutzgasmenge.
• Wesentlich für die Wirkung des kegelförmigen Schutzgasstrahles auf die Rückdiffusion er Luft in das Präparationsrohr ist der Umstand, daß mit geringem Aufwand die Strahlgeschwindigkeit v# im Vergleich zur Strömungsgeschwindigkeit v beträchtlich erhöht eingestellt werden kann. Die in dem kegelförmigen ?chutzgasstrahl mit der Strahlgeschwindigkeit v# ausgeblasene Gasmenge wird außerdem von der viel größeren Gasmenge des im Präparationsrohr R mit der Geschwindigkeit v strömenden Schutzgases gespeist, da der kegelförmige Schutzgasstrahl einen Teil des Schutzgases der Rohrströmung im Präparationsrohr an sich reißt0 Wie aus Fig. 1 zu ersehen ist, trifft der kegelförmige, aus der Düse 15 des Röhrchens 14 austretende Schutzgasstrahl auf die innere Rohrwand der Manschette 17 auf Durch diese Maßnahme wird erreicht, daß der Schutzgasstrahl mit wesentlich größerer Geschwindigkeit als diejenige in der Rohrströmung des Präparationsrohres direkt an der inneren Rohrwand entlang streicht. Hierdurch wird die Strömungsgeschwindigkeit besonders in der Nähe der inneren Rohrwand noch vor dem offenen Rohrausgang des Manschettenorhres 17 wesentlich und in steuer barer Weise vergrößert Dieser Sachverhalt ist deshalb von besonderer Bedeutung, weil ohne den kegelförmigen Schutz gasstrahl die Rohrströmung des Praparationsrohres in der Nähe der inneren Rohrwand praktisch verschwindet, so daß gerade in diesem Bereich die Rückdiffusion der Luft in das Präparationsrohr von der Strömungsgeschwindigkeit ungehindert vorbringen kann0 Die erfindungsgemäße Vorrichtung wird zweckmäßig derart betrieben, daß durch das feststhende Röhrchen der Rohrmanschette ein Schutzgasstrom geleitet wird, wobei die Strömung geschwindigkeit des Schutzgasstromes im Röhrchen von der Strömungsgeschwindigkeit der Schutzgss- und/oder Transportströmung im Präparationsrohr unabhängig ist, so daß die Ein stellung der Strömungsgeschwindigkeit der Schutzgas- und/oder Transportströmung im Präparationsrohr nur für den Präparationsprozeß selbst verfügbar wird, wobei diese Einstellung durch den maninulierbaren Druck an der Schutzgaszuführung des Röhrchens vorgenommen wird, so daß insbesondere in der Nähe der inneren Rohrwand der Rohrmanschette die resultierende Strömungsgeschwindigkeit einstellbar so weit vergrößert wird, daß der in die das Rpäparationsrohr verlängern de Rohrmanschette eindringende Luftstrom quantitativ steuerbar auf ein bestimrates Maß reduziert und praktisch abgedrosselt wird.
• 14 Patentansprüche 3 Figuren

Claims (1)

1. P a t e n t a n s p r ü c h e 1. Vorrichtung zur Verhinderung einer unerwünschten Rück diffusion von Gasen, insbesondere er atmosphärischen Luft, in das offene, von einer Schutzgas- und/oder Transportströmung durchflossene Präparationsrohr von Rohröfen insbesondere der Halbleitertechnik sowie von horizontalen Rohranlagen der Epitaxie, d a d u r c h g e k e n nz e i c h n e t, daß eine das Präparationsrohr verlängernde, dem Präparationsrohrdurchmesser entsprechende, auf das offene Präparationsrohrende lückenlos aufsteckbare Rohrmanschette vorgesehen ist, daß die Rohrmanschette von einem feststehenden Röhrchen durchdrungen ist, das ungefähr in die Mitte des Querschnittes der Rohrmanschette radial hineinragt und in einem bestimmten Abstand vom äußeren Rand der Rohrmanschette so abgekrümmt ist, daß durch mindestens eine im Ende des Röhrchens angebrachte Düsenöffnung ein kegelförmiger Strahl eines Schutzgases aus der das sräparationsrohrende verlängernden Rohrinans chet te herausblasbar ist, der die ganze öffnung der Rohrinanschette überdeckt, und daß der Schutzgasstrahl durch eine Druckregeleinrichtung derart regulierbar ist, daß die Strahlgeschwindigkeit im Querschnitt des Ausgangs der Rohrmanschette überall größer ist als die hiervon unabhängig einstellbare Strömungsgeschwindigkeit der schutz gas und/oder Transportströmung im Präparationsrohro 2. Vorrichtung nach Anspruch 1, d a d u r c h g e k e n nz e i c h n e t, daß die am Ende des feststehenden ELöhrchens angebrachte Düsenöffnung einen über die Düsenöffnung trichterförmig hinausragenden, den Strahl begrenzenden Ausgang aufweist0 3. Vorrichtung nach Anspruch 1 oder 2, d a d u r c h g ek e n n z e i c h n e t, daß das feststehende Röhrchen und die Rohrmanschette aus feuerfestem Glas bestehen 4. Vorrichtung nach Anspruch 1 oder 2, d a du r c h g ek e n n z e i c h n e t, daß das feststehende Röhrchen und die Rohrmanschette aus Quarz bestehen.

   5. Vorrichtung nach Anspruch 1 oder 2, d a d u r c h g e -k e n n z e i c h ii e t, daß das feststehende Röhrchen und die Rohrmanschette aus einem Metall bestehen.

   6. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 5, d a d u r c h g e k e n n z e i c h n e t, daß das feststehende Röhrchen einen äußeren Durchmesser von etwa 4 mm Dicke und einen inneren Durchmesser von etwa 2 - 3 min aufweist.

   7. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 6, d a d u r c h g e k e n n z e i c h n e t, daß die Düsenöffnung einen Durchmesser von etwa j m!n aufweist . Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 7, d a d u r c h g e k e n n s e i c h n e t, daß die Winkelöffnung des trichterförmigen Ausgangs, der über die Düsenöffnung des Röhrschens um etwa ' cm hinaussteht. ungefähr 450 beträgt.

   9 Vorriohtung nach einem der ansprüche 1 bis 8, d a d u r c h 5 e k e n n z e i c h n e t, daß das feststehende Röhrchen 21 seinem Ende zwei auf leicher Höhe nebeneinanderstehende Düsenöffnungen aufweist und daß der trichterförmige Ausgang entsprechend abgeflacht und seitlich verbreitert ist.

   O. Vorrichtung nach Anspruch 9? d a d u r c h g e k e n nz e i c h n e t, daß der Abstand zweier Düsenöffnungen ungefähr 0,8 - 1 cm beträgt.

   . Vorrichtung nach Anspruch 1, d a d u r c h g e k e n nz e i c h n e t, daß die Druckregeleinrichtung ein Hahn; ventil ist 12. Verfahren zum Betrieb einer Vorrichtung nach einem der ansprüche 1 bis 11, d a d u r c h g e k e n n z e i c hn e t, daß durch das feststehende Röhrchen der Rohrmanschet te ein Schutzgass1:rom geleitet wird, wobei die Strömungs geschwindigkeit des Schutzgasstromes im Röhrchen von der Strömungsgeschwindigkeit der Schutzgases und/oder Transportströmung im Präparationsrohr unabhängig ist, so daß die Einstellung der Strömungsgeschwindigkeit der Schutzgas-und/oder Transportströmung im Präparationsrohr nur für den Präparationsprozess selbst verfügbar wird.

   30 Verfahren nach Anspruch 12, d a d u r c h g e k e n nz e i c h n e G, daß der aus der Düse des feststehenden Röhrchens austretende Schutzgasstrahl so eingestellt wird, daß die Strahlges-chwindigkeit im Rohrmanschettenausgang an allen Stellen des Rohrquerschnittes größer als die maximale Geschwindigkeit der Schutzgas- und/oder Transportatrömung im Präparationsrohr ist, wobei diese Einstellung durch den manipulierbaren Druck an der Schutzgaszuführung des Röhrchens vorgenommen wird, so daß insbesondere in der Nähe der inneren Rohrwand der Rohrwand schette die resultierende Strömungsgeschwindigkeit ein stellbar so weit vergrößert wird, daß der in die das Präparationsrohr verlängernde Rohrmanschette eindringende luftstrom quantitativ steuerbar auf ein bestimmtes ya!3 reduziert und praktisch abgedrosselt wird.

   Verfahren nach Anspruch 12 oder 13, d-a d u r c h g e -k e n n z e i c h n e t, daß die Düsenöffnung ungefähr im Zentrum des Rohrouerschnittes der auf das Präparationsrohr aufsteckbaren Rohrmanschette in einemsolchen Abstand vom Rohrmanschettenausgang angeordnet wird und durch die Düsen öffnunng ein Schutzgasstrom mit einer solchen Strömungsgeschwindigkeit in Richtung des Rohrmanschettenausgangs geblasen wird, daß der Mantel des Strahlkegels noch etwa 1 - 3 cm vor dem Ausgang auf die innere Rohrwand der Rohrmanschette auftrifft, so daß der Strahl mit seiner kegelförmigen räumlichen Ausdehnung die ganze Xffnung des Rohrmanschettenausganges voll ausfüllt und eine Strecke der inneren Rohrwand des Rohrmanschettenausganges von etwa 1 ;- 7 cm Tiefe überdeckt.

   L e e r s e i t e