DE1902782A1 - Fotorepetierkamera - Google Patents

Description

Dipl.-Ing. ERICH E. WALTHER

Patenten««» ??

Anmeltisr: N. V. PHiLJPS¹ GLOElLAMPEfJFABRIEKEN f 90*2 782

Akte: hu- 3032

Anmeldung vom: 20· JUXUSJC 19(9

"Fotorepetierkanera".

Diβ Erfindung bezieht sioh auf eint Fotorepetierkamera, die mindectens einen auf fotografische» Wege erhaltenen Gegenstand mit einem gewünschten Musttr, unter Anwendung einer optischen Beduktion, repetierend auf Bindentens einer Platte au« fotogrsfitthea Material mit hohes AuflSaungaveraSgea festliegt, wo»ei dl· Foterepetie»- kaserft mit ein«r forrichtvtng sum Auerlehten de· mit einer ApPrieht· marke versehenen Gegenstände« gegenüber den Koordinatenrichtunc·» von Schlitten versehen ist, wobei sieh auf eine· der Schlitten dl· Platte bzw* Platten au« fotografischem Material befinden, auf d«Mtt

PHH.3032 -Z-

nacheinander an verschiedenen Stellen eine elichtung durchgeführt wird, wobei auf der Fotorepetierkamera ein Tragfliche für den Gegen» stand mit dem gewünschten Muster vorhanden ist.

Die Herstellung integrierter elektronischer Schaltungen ist durch Anwendung fotolithograflecher Techniken aBglloh geworden« Dazu sind aogenannte Fotoaasken unentbehrlich· Eime Fotooaske ist ein mikrofotografisches Negativ oder Positiv, da« eine Vielzahl in Reihen geordneter identischer Muster enthält,w eiche- Muster einen Bt hohen Kontrast und eine groeee Auslösung aufweisen nüssen, line derartige Fotomaske wird fflr die geoaetrisohe Begrenzung der Muster verwendet, die in einer dünnen Fotolackschicht angebracht werdea müssen, welohe sich auf einer Scheibe aus Halblelteraaterial (beispielsweise Silizium) befindet· Scr Fotolack wird in der Regel in Kontakt nit der Fotomaske belichtet, wobei, je nach Tcrwendung eines negativen bzw. positiven Lackes, die unbelichteten bzw· belichteten Teile des Fotolacks löslich sind. Die löslichen Teile werden nach

■φ·

der Belichtung durch Entwickeln entfernt« Der ungelöste Fotolack der auf der Scheibe zurückbleibt, ist als selektive Maske gegen ™ die Einwirkung der bei der Herstellung der integrierten Schaltungen verwendeten Chemikalien wirksam. Ee gibt eine Anzahl aufeinanderfolgender Maskieruncssohritte und soe.it 1st eine Anzahl Foto* masken erforderlich ua zur endgültigen integrierten Schaltung zu gelangen. Sie Geometrie der Muster in einer derartigen Anzahl von Fotomasken ist verschieden, die Muster jeder folgenden Fotoaasken ρ Ils sen selbstverständlich genau zur Deckung gebracht werden können mit den Mustern, die durch die vorhergehenden Uaskierungebearbeitung auf der lohe!be angebracht worden sind.

900339/0923

PHN.3032

-3-

Bei der Herstellung einer Fotomaske verfährt man in der Hegel wie folgt. ZunSchet stellt »an ein Original des einfachen Musters in etarlc »ergrCssertem Uaβatab (beispielsweise 200 ι 1) her. Dann verkleinert man dieses Original alt Hilfe einer speziellen Erste-Schritt-Reduzierkamera (beispielsweise 20-fach) auf einer fotografischen Platte. Dieses verkleinerte Luster wird ä.an als Gegenstand in eine Fotorepetier-('st«p and repeat")-Kamera gebracht und verkleinert (beispielsweise 10-fach auf einer Platte aus fotografischem Material mit einem Äualösungavermögen von mehr als 500 Linien/mm repetiert. Die entwickelte Platte kann dann beispielsweise 20 Reihen von 20 einfachen Mustern enthalten . Zur Zeit werden meistens Fotorepetierkaaeras mit 4 oder 6 Projektionssystemen verwendet und auf diese Weise lassen sich 4 oder 6 gegebenenfalls zu einem Satz gehörende Fotoaasken gleichseitig herstellen (siehe beispielsweise T.G. Maplej integrated circuit seek fabrication(in) 3.C.P. and Solid State Technology, August 1966₉ Seiten 23-34*

Es dürfte einleuchten, dass die alt Hilfe einer ein- oder mehrfachen Fotorepetierkamera zu verkleinernden und zu repetierenden Gegenstände genau linear und angular ausgerichtet werden müssen. Bei einer bekannten Fotorepetierkamera erfolgt das Ausrichten des Gegenstandes auf einem Metallrahmen in einem gesonderten Ausrichtgerlt alt Hilfe eines Jdikroaanipulators und eines Mikroskop· alt einen fadenkreuz- Die Gegenstande werden danach auf dem lahmen festgeklebt· Mit Hilfe von Anschlagstiften wird die Lage des Rahmens in der Fotorepetierkamera übernommen. Die dazu erforderlichen Rahmen sind teuer» Ausserdetn ist das Festkleben des egenstandes auf dem Rahmen zeit* raubend und beeinträchtigt die Genauigkeit. Auch kann die genaue Uber-

909839/0923

ΡΠΗ.3Ο32 -4-

nahme der Lage mit Hilfe der Anechlagstifte durch Staubteilchen leicht gestört werden.

Bei einer anderen bekannten Fotorepetierkamera, bei der das Ausrichten auf der aaera erfolgt, wird der Gegenstand durch da· Objektiv für die optische Reduktion alt einem mit dem Gehäuse der Fotorepetierkaaera fest verbundenen Mikroskop mit einem Fadenkreuz betrachtet. Ein Nachteil dabei ist, dass die Winkelausrichtung nicht genau genug erfolgen kann.

Die Erfindung bezweckt, eine Fotorepetierkamera zu schaffen, bei der das Ausrichten des Gegenstandes mit einem gewünschten Muster auf eine besonders genaue und schnelle Weise erfolgt Bit Hilfe von Mitteln, an die nur einfache Anforderungen gestellt zu verden brauchen. Um dieses Ziel zu erreichen, ist naoh der Erfindung auf der tragfläche der Fotorepetierkaaera mindesten· eine Ausriohtaark* in materiellen Sinne angebracht, die alt* der Ausriohtaarke auf jede« der Gegenstände zur Deckung gebracht werden kann, wlhrend fiber Ji dtr der Ausrichtstellen zugleich ein Uikronanipulator und ein mit dieses gekuppeltes Mikroskop gebracht werden kann, üb die Ausrichtmarke Ib ψ Gegenstand mit der der .Tragfläche zur Deckung zu bringen·

Sie Ausrichtmarke in materiellen Sinne kann beispielsweise die Form eine· Kreuzes aufweisen, das mit Hilfe einer fotollthofxa-» fischen Technik auf beispielsweise einer Glasplatte angebracht i«t_t die auf der Tragfliehe befestigt wird. Dft die Ausriohta*rke alt ss*r grosser Genauigkeit in bezug auf die Bewegungsriohtungen der Schlitten und in bezug auf einander im Falle einer mehrfachen Fotorepetierkamera in der Tragfläche des ^uegenstandes angebracht werden kann, ist eine Susserst genaue Ausrichtung mSglich. Dieses Anbringen braucht

909839/0923

PHH.3032

nur einmal zu geschehen, di« Harke (dit Marken) ist (sind) loser auf der Tragfläche vorhanden.

Es dürfte einleuchten, dass die gegenseitigen Ausrichtung der zur Deckung zu bringenden ^arken la Gegenstand und Inder Tragfläche nun auf einfache und schnelle Weise erfolgen kann· äowohl an das Mikroskop als auch an den Mikromanipulator brauchen keine besonderen Anforderungen gestellt zu werden· Das Mikroskop braucht wader ein Fadenkreuz noch andere genau anzubringende Ausrichtaarken zu enthalten, es braucht auch nicht in einer ausserst genauen Lage über die Auerichtmarken gebracht zu werden. Es braucht nur eine derartige ^ualitfit aufzuweisen, dass die in einemsehr kleinen Abstand übereinander liegenden Ausrichtmarke la Gegenstand und in der Tragfllohe mit ausreichender BildqualitSt beobachtet werden klnnen. Der Mikromanipulator braucht auch nur sehr einfach zu sein, so dass man den Gegenstand genau genug verschieben kann, sowohl in zwei Koordinatenrichtungen, als auch angular. Me Arbeitsgeschwindigkeit wird dadurch gefördert, dass das Mikroskop und der Mikromanipulator miteinander verbunden sind, so da·· sie iaaer gleichzeitig fiber dl· Ausrichtstelle gebracht werden kSnnen. Ba dieses in dl· riohtig« La· ge Bringen bei der erfindungsge^Sssen Fotorepetierkamera nioht kritisch ist, brauchen an die Mittel dazu, wie z.B ein· Schlittenführung* nur geringe Anforderungen gestellt zu werden. 91« Genauigkeit der Ausrichtung wird dadurch nicht b«eintrichtig*. Da· Mikroskop kann eia einzig·· Objektiv enthalten, da· beispielsweise alt 111. fe einer Schlittenführung über zwei Stellen der Ausrichtmarke bewegbar ijt. Bei einer bevorzugten Ausführungsform ist > doch im oh der Erfindung das Mikroskop zur gleichzeitigen Beobachtung zweier Stellen der Ausrichtssarken beim Ausrichten mit zwei nebeneinander liegenden

809839/0923

BAD ORlGj_NAL

PHlI. 3OJ2

Objektiven versehen. Dadurch, daas da« Mirkoekop zwei nebeneinanderliegende Objektive enthalt, werden gleichzeitig zwei voneinander ent· lernte Stellen der Auerichtmarken beobachtet. Auch dadurch lat ein· sehr schnelle Ausrichtung möglich» wobei auch da· angular· Ausrichten, das äusserst wiohtig ist, mit einer sehr grossen Genauigkeit •rf «Igen- kann·

Bei einer weiteren Aueführungefora der Potorepetierkamera ist nach der Erfindung an der Seite des Gehäuses der Fotor·p·- tierkaaera ein· Fuhrung befestigt, über die ein Führungsblock v«rschiebbar ist in einer Richtung parallel sur Tragfliche, vKhrend am Führungsblock ein weiterer FührungskSrper gelenkig um eine Ache« befestigt isti die parallel zur genannten Verschi«bungsrichtung liegt, wobei as FührungskSrper ein Tragare verschiebbar angeordnet ist, dessen Verschiabungerlohtung quer sur V«rsohi«bung*riohtuaf des Führungeblocke liegt, und mit de» das Mikroskop und der Mi« kromanipulator feet verbunden sind. Di· miteinander verbundenen Mikroskop und Mikromanipulator können nit Hilf· der quer aufainan· der stehenden Führungen lehne11 und in einfacher Weis« auf J«d· gewünscht« Stelle Über <d«r Fotorep«ti«rkaa«ra in ihr· richtig· La»

ge gebracht werden. Mit Hilfe der gelenkigen Verbindung kBnn*n das Mikroskop mit des Mikromanipulator sur Seit· geschwenkt werden, so dass dann über der Tragflfehe «in frlientungekopf angebracht werden kann. *" . *■*"*

Sin Ausf^hrungebeiepiel der Erfindung i*t in den Zeiohnungen dargestellt und wird im folgenden nlher beschrieben. Xs zeig«m

Fig· 1 «in· sehaubildliohe Ansieht ein·· Teil·.der Foto«

609839/0823

BAD ORIGiNAL

PHN.5032

repetierkamera,

Fig. 2 eine schaubildliche Ansicht in verkleinertem Kaastab,.

Fig. 3 eine achaubildliohe Ansicht der Einstellmittel, wobei die Teile der Deutlichkeit halber auseinander gesogen darge stellt sind,

Fig. 4 eine schaubildliche Ansicht der Führungsmittel des Mikroskops und des Mikromanipulator *

^ie Fig. 1 und 2 zeigen eine, sechsfache Fotorepeticrkaasra. Auf einer ^aaie 1 sind zwei Schlittenfährungen 2 und J befestigt. In der Führung 2 ist ein Schlitten 4 bewegbar, während in der FIk* rung 3 ein Schlitten 5 bewegbar angeordnet ist* Die Jk^gungevorrichtungen der Schlitten 4 und 5 stehen in dem dargestellten Ausfünrungsbeispiel senkrecht aufeinander* Auf dem Schlitten 4 befindet sich ein Tisch 6 auf dem seohs Trfiger 7 vorhanden sind. Auf ,jeden diesen Träger wird eine nicht dargestellte Platt« aus fotografisch·* Material gelegt. Jedes geeignete Material llsst sich dasu verwenden, wenn das AusiSaungsvermSgsn höher als 300 linien/oa ist. Diese Platten dienen nach der Beleuchtung als Fotomaske bei der Herstellung von integrierten Schaltungen. Am Schlitten 5 ist eine Stütze β (siehe Fig. 2) befestigt", die ein ^Gehfiuse 9 tragt, in dem sich sechs nicht dargestellte Projektionsobjektive befinden. Diese Projektionsobjektive erzeugen auf den Platten aus fotografischem Material eine verkleinerte Abbildung eines llusters in einen Gegenstand, der auf eine Tragfläche 1U des ^ehSuses 9 gelegt werden kann.

In der TragflSche 10 sind sechs Offnungen 11 vorhanden, die über den Trägern 7 liegen. Zwischen jeder dieser Offnungen 11

909839/0923

BAD ORIGINAL

PHM.3032

und den TrSgera 7 befindet sich eines der genannten Projektioneobjektive. An einer Seite der Öffnung 11 ist in der Tragfläche 10 eine Auerichtmarke 12 angebracht. Die Auerichtmarke kann beispielsweise ait Hilfe einer fotolithogrefischen Technik auf einer Glasplatte angebracht sein, die auf der TragflSche befestigt wird. Weiter Münden bei j? der öffnung 11 eine Anzahl Kanllchen 13 aus, in denen ein Unterdrück βrzeegt werden kann. Wenn fiber die Öffnung 11 ein Gegenstand gebracht wird, kann dieser nit Hilfe des Vorzügeweise geringen Unterdrücke in den Xanälohen 13 an der Tragfliehe 10 festgesauft werden.

Fig. 1 zeigt ein Mikroskop 14 mit Objektiven 15, die fiber einer der Ausrichtmarken 12 in der TragflSche 10 angeordnet sind« Bas Mikroskop ist an einem Tragant 16 befestigt, an des auch ein Mikromanipulator 1? befestigt ist« Der Mikromanipulator ent hü It einen Arm 18, dessen Ende einen Halter 19 tragt· Die Unterseite des Halters 19 enthält Kanülehen, die fiber eine biegsam· Leitung 20 alt einer Unterdruckquelle verbunden sind. Mit Hilfe der KnSpfs 21 und 22 aa Uanipulator lfisst sich eine genau· ^veretellung des Halters 19 i» den *ewegungsrichtungcn der beiden Schlitten 4 und 5 ereielen. Mit da« Knopf 25 liest sich der. Halter 19 zur Erhaltung einer gewflnsohten Winkeleinstellung verdrehen..In Fig. 2 ist der Tragarm 16 mit dem damit verbundenen Uanipulator und Mikroskop zur Seite des Geniuses 9 geschwenkt. In dieser Lag· kann «In nicht dargestellter Beliohtungskopf fiber das Sehluse 9 gebracht werden.

Fig. 5 ist eine Darstellung der auseinandergezogenen am·· richtmittel. Die Ausrichtmarke 12 1st Inder Tragfllche 10 fest angeordnet. Ein ^uegenstand 24, beispielsweise eine fotografische Platt·« enthält ein Muster, das repetierend und verkleinert auf einer auf

909839/0923

HIN. 3032

den Träger 7 vorhandenen Platte au· fotografischen Material abgebildet werden muss. 0er ^egenetand 24 i6t beim Anbringen de· lluster· ebenfall· mit einer Ausrichtmarke 23 versehen, die der Auerichtmarke 12 auf der TragflSche 10 entspricht. Der Gegenstand 24 wird derart auf die TragflSche 10 gelegt, dass die Ausrichtaarken 12 und 25 einander in angemessenem ^asse decken, wobei der Gegenstand mit Hilfe eines geringen Unterdruck? in den Kanülen 13 auf der TragflSche gehalten wird. Dann werden der Mikromanipulator 17 und das Mikroskop 14 über den Gegenstand gebracht. Das Mikroskop wird derart eingestellt, dass das Bildfeld eines der Objektive bei der Kreuzung in der Marke 12 liegt und da· Bildfeld de« anderen Objektiv· «ich etwa au Ind· des langen Kreusbalkena befindet» Die Leitung 20 wird nun an die Unterdruckquell· angeschlossen, wodurch der Gegenstand 24 fest gegen den Halter 19 ge»äugt wird. Durch Verdrehung der Knöpf· 21 - 23 (·1·η· Fig. 1) de· Mikromanipulator· 17 wird nun der Gegenstand 24 derart ausgerichtet, da·· die Ausrichtmarke 25 de· Gegenstandes mit der Ausrichtmarke 12 Inder Trag fliehe 10 zur Deekung gcbr&cht wird. Di· XkBpfe 21 und 22 «organ dabei für eine Teraehl·· hung de· Gegenstandes 24 in den Richtungen der zwei Schlitten 4 und 5 (siehe Fig. 2). Dabei wird der Mikromanipulator» 18 in seiner Läi.gsrichtung bzw. in einer senkrecht daraufstehenden Richtung ver-•ohoben. Der Halter 19 dreht sich dabei nicht» Sie Susaerst wichtig·. Winkeleinstellung der Ausrichtmarke 25 gegenüber der Auerichtmark· 12 wird durch Betfitigung de· Knopfe· 23 «rreicht. Der ua einen Drehpunkt 26 urehbar am Arn 1Θ angeordnet« Halter 19 «rha'lt dadurch «in· Winkelverdrehung, dass ein stab 27 in dar mit einem doppalten Pfeil angegebenen Richtung verschoben werden kann. Der Stab 27 iat derart

909839/0923 _ΒΔη „

BAD ORIG|_NAL

PHH.3032 -10-

mit dem Mikromanipulator verbunden, dass er bein Einstellen alt Hilfe der Knöpfe 21 und 22 keine WinkelTerdrehung de· Halter· rerur-■acht.

Wenn nun die Ausrichtaarken 12 und 2$ genau *ur Deokung gebracht sind, wird der Unterdruck in der Leitung 20 eingestellt. Der Gegenstand 24 wird dabei mit Hilfe dea unterdruck· la den Kanülen in der ausgerichteten Lage gegen die Tragfliehe 10 gepresst. Wenn nacheinander über jeder der sechs Offnungen 11 Inder Tragf liehe ein Gegenstand 24 auegerichtet ist, werden der Mikromanipulator und da· Mikroskop aufwXrts geschwenkt und ein Beliohtungsknopf wird auf die Tragf Hohe gestellt. Danach wird das Muster der ^uegenetfnde 24 repetierend und verkleinert auf den Platten aus fotografische» Material die sich auf den fflgern 7 befinden, abgebildet» so da·· dl··· flat» ten nach Entwicklung al· Totoaasken bei der Herstellung tob Integrierten Schaltungen dienen kennen. Diese Platten kSnnen dann beispielsweise 20 Reihen Ton 20 einfaohen Mustern enthalten, dl· in einen luesers t genau bestiaaten Abstand roneiander liegen und alle in der ge· wünschten Winkellage stehen.'Die Auerichtmarken 12 sind derart auf der Tragf lSche 10 angebracht, dass in der Anfangslage der Schlitten und 5 die Abbildung des Gegenstandes 24 auf den auf den Trlgem 7 liegenden Platten aus fotografisches Material, sich sowohl an der gewünschten Stelle als auch in der. gewünschten Winkellage befindet.

Fig. 4 zeigt die führung, durch die die Kombination tob Mikroskop und Mikromanipulator in die richtige Lage die Ausriohtstellen gebracht werden kann· An einer Seite des ^eehSuses 9 sind zwei Stützplatten 28 angeordnet. Zwischen diesen Stfltxplattea befinden sich zwei Führung·stangen 29ι über die ein Blook. 30 verschieb-

909839/0923

BAD ORIGINAL

FHS.3032

bar ist. In üem Block J>o ist eine S jjLndel 31 angeordnet, an der ein FShrungskörper 52 gelenkig befestigt ist. Aa Tragarm 16, an des das Mikroskop und der llikromanipulator fest angeordnet sind, sind mit Hilfe von Stützen 33 zwei Fuhrung·stangen 34 befestigt, Sie*· Ftthrungestangen sind in Bohrungen de« FfihrungskSrpare 32 verechiel»- bar. Der Hikroaanipulator ist in Fig. 4 nicht sichtbar.

In der dargestellten Lage befinden sich da* Mikroskop «4 der Mikromanipulator über der Tregfliehe 10 der Fotorepetierkamera (siehe auch Fig. i). Durch Yerachiebung des Tragarms 16 gegenüber dem FührungskBrper 32 und durch Verschiebung des Blocke 30 «·£·»- über den Stangen 29 können das Mikroskop und der Mikromanipulator in eine gewünschte Aueriehtlage gebracht «erden. Sa die Einstellung des !mikroskope und des Mikromanipulator in die Auerichtlagen nicht kritisch ist, brauchen die an die Genauigkeit der Führungen itt stellenden Anforderungen nicht hoch zu sein« Wenn ein Belichtungekopf auf die Fotorepetierkaaera gestellt werden buss, wird der Tragarm 16 sit den damit verbundenen Mikroskop und Mikromanipulator um die Spindel 31 geschwenkt, wodurch die obere Seite der Fotorepetierkaaera Töllig frei ist. Diese Lage ist in Fig. 2 dargestellt. Sie angegebene Konstruktion ermöglicht somit eine schnelles und einfaches arbeiten.

In den Zeichnungen ist ein Ausführungsbeispiel der erfindung8eecSü8en Fotorepetiefkaaera dargestellt· Es dürfte einleuchten, dass im Rahmender Erfindung änderungen einer Anzahl bauartlicher Einzelheiten mSglich sind. Es dürfte ebenfalls einleuchten,d ass die erfindungeceiuS.sse Fotorepetierkamera nicht sechsfach ausgebildet zu sein braucht. Auch andere Ausbildungen, wie x.B. eine einfache

909839/0923

BAD ORIGINAL

Claims (1)

PHN.3032 Ausführung, sind möglich. PATENTAKSFRÜCHE:

1. Fotorepetierkamera, die mindestens einen auf fotografischem Wege erhaltenen Gegenstand mit einem gewünschten Muster, unter Anwendung einer optischen Reduktion, repetierend auf mindestens einer Platte aus fotografischem Material mit hohem Auflösungsvermögen festlegt, wobei die Kamera mit einer Vorrichtung zum Ausrichten dee mit einer Ausrichtmarke versehenen Gegenstandes gegenüber den Koordinatenrichtungen von Schlitten versehen ist, wobei sich auf einem der Schlitten die Platte bzw. die Platten aus fotografischem Material befinden, auf der bzw. auf denen nacheinander an verschiedenen Stellen eine belichtung durchgeführt wird, und wobei auf der Fotorepetierkaaera eine Tragiliehe für den Gegenstand mit dem gewünschten Küster vorhanden ist, dadurch gekennzeichnet, dass auf der Tragfliehe mindestens eine, uer Ausrichtmarke auf Ji dt· der OegenstSnde entsprechende Ausrichtmark· in Materiellem Sinn« angebracht ist, wShrend über Jeder der Aueriohtetellen zugleich ein Iilikromanipulator und ein mit diesem gekuppelte· Mikroskop anbringbar sind, um die Ausrichtmarke im Gegenstand mit der der fragflSche zur Deckung zu bringen*

2, Fotorepetierkamera nach Anspruch 1, daduroh gekennzeichnet, dass das kikroskop zur gleichzeitigen Beobachtung zweier dtellen der Ausrichtmarken bein Ausrichten mit zwei nebeneinanderliegenden Objektiven versehen ist.

3· Fotorepetierkamera nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, dass an einer Seite des ^Geh5uses der Fotorepetierkamera eine Führung befestigt ist, über die ein Führungsblock in einer Rioh-

9098 39/092 3

BAD ORIGINAL

tung parallel zur Tragfläche verschiebbar ist, während am Pührungsblock ein weiterer Fuhrungskorper gelenkig um ein· Spindel befestigt ist, die parallel zur genannten Verschiebungsrichtung liegt, und da β β am FdhrungskSrper ein Tragarm verschiebbar angeordnet ist, deseer Verschiebungsrichtung quer zur Verschiebungerichtung des Führungsblocks liegt, und mit dem das Mikroskop und der Manipulator fest verbunden sind.

9 0 9 8 3 9/ 092 3 ^BAD original