DE1786430U - Vakuum-schleuse. - Google Patents

Vakuum-schleuse.

Info

Publication number
DE1786430U
DE1786430U DES28164U DES0028164U DE1786430U DE 1786430 U DE1786430 U DE 1786430U DE S28164 U DES28164 U DE S28164U DE S0028164 U DES0028164 U DE S0028164U DE 1786430 U DE1786430 U DE 1786430U
Authority
DE
Germany
Prior art keywords
rotor
vacuum
cylinder
vacuum lock
inlet
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired
Application number
DES28164U
Other languages
English (en)
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Siemens AG
Original Assignee
Siemens AG
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Siemens AG filed Critical Siemens AG
Priority to DES28164U priority Critical patent/DE1786430U/de
Publication of DE1786430U publication Critical patent/DE1786430U/de
Expired legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16KVALVES; TAPS; COCKS; ACTUATING-FLOATS; DEVICES FOR VENTING OR AERATING
    • F16K51/00Other details not peculiar to particular types of valves or cut-off apparatus
    • F16K51/02Other details not peculiar to particular types of valves or cut-off apparatus specially adapted for high-vacuum installations

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • General Engineering & Computer Science (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Compressors, Vaccum Pumps And Other Relevant Systems (AREA)
  • Applications Or Details Of Rotary Compressors (AREA)

Description

  • Siemens-Schuckertwerke
    Aktiengesschaft'.-
    Vakuum-Schleuse..
    N s
    In der Vakuuni-Verfahrenstechnik tritt. oft das Problem'auf, Gegen--
    stände, aus dem Vakuumraum kontinuierlich und ohne Schädigung. des
    Vakuums in den.Außenraum zu schleusen und'umgekehrt Gegenstände
    ..,.,...',.''.
    vom-AußenraulK'i.ndenyakuumra-um'einzuschleusen.''Es sind. verschie-
    dene-SchLeu-sensysteme'bekannt geworden,-u. a. auch solche mit
    - einem rotierendenSchleusepmechanismus-'*'..'.
    Die Neuerung'betrifft eine Vakuum-Schleuse mit rotierendem
    Schleusenmechanismus,"'die sich besonders für die Vakuum-Verfah-
    renstechnik im Großen eignet.. Sie zeichnet sich durch einen ver-
    hältnismäßig einfachen und sehr wenig störanfälligen Mechanismus aus und bietet Gewähr dafür, daß beim Schleusungsvorgang keine Beeinträchtigung der'Güte des Vakuums im Vakuumraum eintritt.
    Beiderneuen'-Vakuüm-Schleuse ist der Ein-und Auslaßstutzen mit
    einem Hohlzylinder verbunden und in diesem ein Rotor trocken gelagert. Am Rotor ist in Höhe des Ein-und Auslaßstutzens eine Aussparung zur Aufnahme des zu schleusenden Gutes und am Zylinder sind Saugschlitze und Anschlüsse für Saugleitungen vorgesehen.
    Die axiale Abdichtung zwischen Zylinder und Rotor ist beiderseitig
    durch je.. zwei Simmerringe'durchgeführt.
    i
    Mit der erwähnten trockenen Lagerung des Rotors ist gemeint, daß
    zwischen Rotor und Zylinder keine 01-oder Fettschicht vorliegt ;
    der Rotor ist also'in den Zylinder eng eingepaßt und zwar so, daß der Ringspalt höchstens eine Stärke von 10 bis 20/u aufweist.
  • Dadurch wird erreicht, daß die Dichtung des Rohres auch bei längerem Betrieb. erhalten bleibt ; größere fettgedichtete Rohre nei-' gen stets zur Undichtigkeit durch Schlierenbildung. Abgesehen davon besteht keine Gefahr, daß Öl- oder Fettdämpfe in den Vakuum-
    raumeindringen.
    EinAusführungsbeispielder neuen Vakuum-Schleuse ist in der
    Zeichnung in. drei'Ansichten'dargestellt. Der Hohlzylinder ist
    mit 1,'der Ein-und Auslaßstutzen mit 2 und 3, der Rotor mit 4, dessen Aussparung'zur Aufnahme des zu schleusenden Gutes mit 5, die Saugschlitze im Zylinder sind mit 6 und 7 und die Saugleitungen mit 8 und 9. bezeichnete Simmerringe zur axialen Abdichtung zwischen Zylinder und Rotor sind bei 10 angedeutet. Bei 11 ist ein mit dem Rotor verbundenes Antriebsrad dargestellt zum mechanischen Antrieb des Rotors, z. B. mit einem Elektromotor.
  • Die Vakuum-Schleuse kann auch so ausgebildet sein, daß die Drehung des Rotors von Hand durchzuführen ist. Diese einfachere Ausführung wird man z. B. dann vorziehen, wenn die Schleusungsvorgänge in größeren Zeitabständen erfolgen. Dagegen erlaubt die mechanische Verstellung eine völlige Automatisierung des Schleusungsvorganges.
  • Durch die Saugschlitze (6,7) des Zylinders wird im Zusammenwirken mit den an eine Vakuumpumpe angeschlossenen Saugleitungen verhindert, daß beim Schleusungsvorgang atmosphärische Luft vom Außenraum in den, Vakuumraum gelangt. ES gelingt, die mittlere freie Weglänge der Gasmoleküle im Ringspalt so groß zu halten, daß eine Beeinträchtigung der Güte des Vakuums im Vakuumraum praktisch völlig unterbleibt. Über die Saugschlitze wird außerdem bei jedem Schleusungsvorgang die Evakuierung der Aussparung de s Rotors bewerkstelligt.
  • 1. Figur 3 Ansprüche

Claims (1)

  1. S c h u t z a n s p r ü c h e 1. Vakuum-Schleuse mit rotierendem Schleusenmechanismus, dadurch gekennzeichnet, daß der Ein-und Auslaßstutzen (2, 3) mit einem Hohlzylinder (1) verbunden. und in diesem ein Rotor (4) trocken gelagert ist und daß am Rotor in Höhe des Ein-und Auslaßstutzens eine Aussparung (5) zur Aufnahme des zu schleusenden Gutes und am
    Zylinder Saugschlitze (6, 7) und Anschlüsse für Saugleitungen (8,9) vorgesehen sind und daß die axiale Abdichtung zwischen Zylinder und Rotor beiderseitig durch je zwei Simmerringe (10) durchgeführt'ist.' 2. Vakuum-Schleuse nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß am Rotor eine Vorrichtung zur Drehung von Hand'angebracht ist.
    3. Vakuum-Schleuse nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß mit 'dem Rotor ein Antriebsrad (11) zum mechanischen Antrieb des Rotors, z.B. mit einem Elektromotor, verbunden ist.
DES28164U 1958-08-27 1958-08-27 Vakuum-schleuse. Expired DE1786430U (de)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DES28164U DE1786430U (de) 1958-08-27 1958-08-27 Vakuum-schleuse.

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DES28164U DE1786430U (de) 1958-08-27 1958-08-27 Vakuum-schleuse.

Publications (1)

Publication Number Publication Date
DE1786430U true DE1786430U (de) 1959-04-09

Family

ID=32862700

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
DES28164U Expired DE1786430U (de) 1958-08-27 1958-08-27 Vakuum-schleuse.

Country Status (1)

Country Link
DE (1) DE1786430U (de)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP0011160A1 (de) * 1978-11-15 1980-05-28 Klöckner Ionon GmbH Verbindungsstück für Vakuumbehälter zum Wärmebehandeln von Werkstücken

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP0011160A1 (de) * 1978-11-15 1980-05-28 Klöckner Ionon GmbH Verbindungsstück für Vakuumbehälter zum Wärmebehandeln von Werkstücken

Similar Documents

Publication Publication Date Title
DE2255618C2 (de) Molekular-Vakuumpumpe
DE2624156C1 (de) Einrichtung zur Behandlung von flachen Werkstücken mit Strömungsitteln
DE2242916C3 (de) Einrichtung zum Transportieren von zu beschichtenden Substraten durch eine Vakuumanlage
DE2034213A1 (de) Magnetische Flüssigkeitsdichtung
DE4210110A1 (de) Verschlusseinrichtung fuer eine halbleitereinrichtung-herstellungsvorrichtung und verfahren zum herstellen einer halbleitereinrichtung
DE3410905A1 (de) Einrichtung zur foerderung von gasen bei subatmosphaerischen druecken
DE2119558C2 (de) Verfahren zur Expansion flüssigen Kältemittels in einer Kälteanlage mit einem Schraubenkompressor sowie Schraubenkompressor zur Durchführung des Verfahrens
DE2908829C2 (de) Verfahren zum Hartlöten von Aluminium
EP0365695B1 (de) Zweiwellenvakuumpumpe mit Schöpfraum
DE102010031252A1 (de) Substratbehandlungseinrichtung
DE2848480C2 (de) Vorrichtung zum Aufbringen von Schichten auf Träger unter Vakuum
WO1992014060A1 (de) Trockenlaufende zweiwellenvakuumpumpe
DE4038587A1 (de) Transportvorrichtung fuer substrate
DE69727111T2 (de) Halterantriebseinheit
DE69914203T2 (de) Anlage zum verarbeiten von gewerbeabfall aus gummi und kunststoff
DE1786430U (de) Vakuum-schleuse.
DE1519971A1 (de) Verfahren und Vorrichtung zur Trennung eines Gasgemisches durch Streuung an einer bewegten Wand
DE457303T1 (de) Vorrichtung zum konzentrieren einer verunreinigten fluessigkeit aus einem photographischen verfahren.
DE2844664A1 (de) Verbrennungsmotorisch betriebene waermepumpe
DE2204621A1 (de) Schleifverfahren und Doppelscheibenschleifmaschine
DE69503230T2 (de) Säuberung der elektronenkanone von kathodenstrahlröhren mittels kohlendioxidschnee
DE2100690B2 (de) Einbaublock zum einbau in einen mehrstufigen radialverdichter
DE1728328B1 (de) Vorrichtung zum abdichten der stufen einer mehrstufigen fluessigkeitsring vakuumpumpe
DE3415012A1 (de) Verfahren und vorrichtung zum kontinuierlichen bearbeiten von substraten mit niederdruck-plasma
EP0332741B1 (de) Mehrstufige Vakuumpumpe