DE6602891U - BODY BLASTING DEVICE WORKING ON THE PUMP, IN PARTICULAR ELECTRON MICROSCOPE, WITH ACTUATOR MOTORS FOR OBJECT ADJUSTMENT. - Google Patents

Description

SIEIiEKS IE^IEFG-ESEIiISCEAi¹TSIEIiEKS IE ^ IEFG-ESEIiISCEAi ¹ T

München, den 22. Mai 1967 jMunich, May 22, 1967 j

S 61 207/21 g Gbm PA 67/0539S 61 207/21 g Gbm PA 67/0539

An der Pumpe arbeitendes Korpuskularstrahlgerät, insbesondere Elektronenmikroskop, mit Stellmotoren zur ObjektverstellungCorpuscular beam device working on the pump, in particular Electron microscope, with servomotors for object adjustment

Es ist ein an der Pumpe arbeitendes Korpuskularatrahlgerät, insbesondere ein Elektronenmikroskop, mit einem zu untersuchende Objekte aufnehmenden Objekttisch vorgeschlagen worden, der mittels zwei vakuumdicht durch das Vakuumgehäuse des Gerätes hindurchgeführter Stößel in zwei zueinander und zurIt is a corpuscular beam device working on the pump, in particular an electron microscope, with one to be examined Objects receiving stage has been proposed, which is vacuum-tight by means of two through the vacuum housing of the Device passed through plunger in two to each other and to

Hu/AdtHu / Adt

Aclise des Korpuskularstrahles senkrechten Richtungen verschiebbar ist; zur Betätigung der Stößel sind fernbediente Stellmotoren vorgesehen.Aclise of the corpuscular beam can be displaced in perpendicular directions is; Remote servomotors are provided to operate the tappets.

Die Neuerung stellt zum Teil eine Erweiterung, zum Teil eine Spezialisierung eines derartigen Korpuskularstrahlgerätes dar. Sie "betrifft demgemäß ebenfalls ein an der Pumpe arbeitendes Korpuskularstralilgerät, also ein Elektronen- oder Ionenmikroskop oder aber eine Beugu-igs einrichtung oder ein sonstiges Gerät, in dem ein Objekt zu untersuchen ist, mit zur Verstellung des zu untersuchenden Objektes dienenden Einrichtungen und zu deren Betätigung vorgesehenen fernbedienten Stellmotoren. Neuerungsgemäß sind die Stellmotoren Schrittmotoren, denen Impulsgeber zugeordnet sind, die eine durch die Größe der gewünschten Objektverstellung gegebene Anzahl von Steuerimpulsen mit die Geschwindigkeit der Objektverstellung bestimmender Frequenz an die Schrittmotoren abgeben, und die je Impuls erfolgende Verstellung der Schrittmotoren ist im Hinblick auf die kleinste erforderliche Objek verstellung gewählt.The innovation is partly an extension and partly a specialization of such a corpuscular beam device It "accordingly also relates to a working on the pump Corpuscular instrument, i.e. an electron or ion microscope or a Beugu-igs device or a other device in which an object is to be examined, with serving to adjust the object to be examined Facilities and remote-controlled servomotors provided for their actuation. The servomotors are new Stepper motors to which pulse generators are assigned, which are given by the size of the desired object displacement Send the number of control pulses to the stepper motors with a frequency that determines the speed of the object movement, and the adjustment of the stepper motors per pulse is with regard to the smallest object required adjustment chosen.

Dabei können die Einrichtungen eine Objekthalterung für das zu untersuchende Objekt enthalten, die mittels vakuumdicht durch das Vakuumgehäuse des Gerätes hindurchgeführter Stößel durch Betätigen von den Stößeln zugeordneten SchrittmotorenThe facilities can provide an object holder for the The object to be examined contains the plunger that is passed through the vacuum housing of the device in a vacuum-tight manner by actuating stepper motors assigned to the rams

relativ zumrelative to

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Korpuskularstrahl verstellbar ist. Eine derartige Stößelbe-Corpuscular beam is adjustable. Such a ram elbow

Ueuerung tätigung ist für die Anwendung der ixTrfrmamzg. aber nicht unbedingt erforderlich; man könnte auch an eine stabförmige Objek halterung denken, die ebenfalls durch Verwendung von Schrittmotoren eine Verstellung des Objektes relativ zum Korpuskular strahl gestattet. Yf eitern in kann es sich auch um eine Verstellung des Objektes in Bichtung der Achse des Gerätes handeln, wie sie zur Erfüllung bestimmter ScharfStellbedingungen } erforderlich ist.New activity is required for the application of the ixTrfrmamzg. but not absolutely necessary; one could also think of a rod-shaped Objek holder, which also allows an adjustment of the object relative to the corpuscular beam by using stepper motors. It can also be an adjustment of the object in the direction of the axis of the device, as is necessary to meet certain focus conditions}.

!Teuerung
Weiterhin beinhaltet die SKtfissäccKg insofern eine Erweiterung! Price increases
Furthermore, the SKtfissäccKg contains an extension to this extent

, als die Objekthalterung eine Kipppatrone enthalten und durch Betätigen der Schrittmotoren der Winkel zwischen Objekt und Korpuskularstrahl verstellbar sein kann. In diesem Falle handelt es sich also nicht um die Durch führung von Bewegungen eines Objekttisches, sondern um die Durchführung von Bewegungen eines schwenkbaren, das Objekt haltenden Teiles einer Kippatrone, die allerdings auch in einen Objekttisch eingesetzt sein kann. Diesem Tisch können weitere Schrittmotoren oder Kupplungen zugeordnet sein, die ihn mit den für die Durchführung der Kippbewegung vorgesehene Schrittmotoren zu vorbinden gestatten, so daß dann auch eine Bewegung des Objekttischeö quer zum Korpuskularstrahl mittel Schrittmotoren vorgenommen werden kann., as the object holder contain a tilting cartridge and by actuating the stepper motors of the The angle between the object and the corpuscular beam can be adjustable. In this case it is not about the through guiding movements of an object table, but rather about carrying out movements of a pivotable, the object holding part of a tilt cartridge, which can, however, also be used in an object table. This table can be assigned further stepper motors or clutches that provide him with the intended for performing the tilting movement Allow stepping motors to pre-bind, so that then also a movement of the specimen table across the corpuscular beam is medium Stepper motors can be made.

Auch Objektdrehungen können mittels Schrittmotoren reproduzier bar durchgeführt v/erden.Object rotations can also be reproduced using stepper motors carried out in cash.

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Neuerung
Die SüKf&a&HKg bezieht sich also ganz allgemein auf die Durchführung von Objektbewegungen, wobei die Spezialisierung gegen<übcr dorn Gerät nach dem Hauptpatent in der speziellen Ver- „ wondung von Schrittmotoren zu sehen ist. Diese Auswahl bestimmter Fjtoren und ihre Steuerung mittels Impulsen bieten Wesentliche Vorteile. Wie im folgenden noch im einzelnen erläutert wird, ist es möglich, durch Verwendung von vorein stellbaren Impulozählern das Gerät so auszulegen, daß man auch während der Objektbewegung die Hände für die Durchführunginnovation
The SüKf & a & HKg thus relates quite generally to the implementation of object movements, whereby the specialization against over thorn device according to the main patent is to be seen in the special use of stepper motors. This selection of certain factors and their control by means of pulses offer significant advantages. As will be explained in more detail below, it is possible, by using preset adjustable pulse counters, to design the device so that you can use your hands for the implementation even while the object is moving

anderer Einstellungen am Korpuskularstrahlgerät, beispielsweise für die Nachfokussierung, von Linsen, frei hat. Weiterhin gibt die Bewegung des Objektes um diskrete Schritte die Möglichkeit, das Objekt praktisch in einem Koordinatensystem abzutasten, wobei die Koordinatenteilung durch die einzelnen Schritte reproduzierbar festliegt. Man kann also den einzelnen Objcktstollen Koordinatenwerte zuordnen und demgemäß diese Stellen nach Betrachtung anderer Objektstellen wieder aufsuchen.other settings on the corpuscular beam device, for example for refocusing of lenses. Farther gives the movement of the object by discrete steps the possibility of the object practically in a coordinate system to be scanned, the coordinate division being reproducibly fixed by the individual steps. So you can do the individual Assign coordinate values to the object tunnel and accordingly these points again after considering other object points to seek out.

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Eine vorteilhafte Eigenschaft derartiger Schrittmotoren, /r;·; nämiich die Regelbarkeit ihrer Schrittgeschwindigkeit in einem großen Bereich, beispielsweise zwischen 1 und 300 Schritten je Sekunde, macht sich hier insofern besonders günstig bemerkbar, als ohne Durchführung von Getriebeumschaltungen die Verstollgeschwindigkeit des Objektes den verschiedenen Vergrößerungen beispielsweise in einem Elektronen-An advantageous property of such stepper motors, / r; ·; namely the controllability of your walking speed in a large range, for example between 1 and 300 steps per second, is particularly useful here noticeably, as without carrying out gear changes, the speed of the object breaking the various Magnifications, for example in an electron

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mikroskop angepaßt v/erden kann. Es ist einzusehen, daß bei
einer starken Vergrößerung die Verstellgeschwindigkeit "beim Absuchen eines Objektes kleiner sein muß als tiei sehwacher
Vergrößerung, da sich ein Schritt des Schrittmotors bei einer hohen Vergrößerung als großer Sprung des Objektes im Endbild bemerkbar macht.microscope adapted to ground. It can be seen that with
a high magnification the adjustment speed "when searching for an object must be less than deeper
Magnification, since one step of the stepper motor at a high magnification is noticeable as a large jump of the object in the final image.

Wie im folgenden im einzelnen erläutert wird, ist es möglich» ( Anbriebsorgane für die Schrittmotoren mit geringem Aufwand zuAs will be explained in detail below, it is possible » (Anbriebsorgane for the stepper motors with little effort

konstruieren, die die koordinatenmäßige Einstellung bestimmter Objektpunkte dadurch kursseitig vornehmen} daß gleichzeitig eine Bewegung in Richtung beider Koordinatenachsen erfolgt.construct which the coordinate setting of certain Make object points on the course side by moving in the direction of both coordinate axes at the same time.

Bei der bevorzugten Ausführungsfoxm steht, wie an sich bekannt, die Objekthalterung, also beispielsweise ein Objekttisch oder eine Kippatrone, unter dem Einfluß von zwei senkrecht zueinander und zum Korpuskularstrahl verlaufendenIn the preferred embodiment, as is known per se, the object holder, so for example an object table or a tilt cartridge, under the influence of two perpendicular to each other and to the corpuscular beam

neuerungsr-Stößeln, die •gnPy-w-ä-HTcrgTagpmäß unabhängig voneinander mittelsinnovation rams that • gnPy-w-ä-HTcrgTa gp according to independently of each other by means of

der Schrittmotoren verstellbar sind. Dann ist die Möglichkeit gegeben, mittels der Schrittmotoren das Objekt entweder beliebig in einer Ebene quer zum Korpuskularstrahl oder in einem Raumwinkelbereich um die Achse des Korpuskularstrahles herum zu bewegen bzw. zu schwenken.the stepper motors are adjustable. Then there is the possibility of using the stepper motors to select the object in a plane transverse to the corpuscular beam or in a solid angle range around the axis of the corpuscular beam to move or swivel.

Die Unabhängigkeit der Einstellung in den beiden Richtungen läßt sich am einfachsten dadurch erzielen, daß jedem StößelThe independence of the setting in the two directions can be achieved most simply by the fact that each tappet

fl · ·· · ··· $ t * 4 ■ · f f « S S * 1 fl · ·· ··· $ t * 4 ■ · ff «SS * 1

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ein Schrittmotor zugeordnet ist. Man kann jedoch zur Verstellung "beider Stößel auch einen einzigen Schrittmotor und eine Kupplung vorsehen, durch die dieser eine Motor wahlweise mit dem einen oder dem anderen Stößel verbindbar ist.a stepper motor is assigned. However, you can also use a single stepper motor and to adjust "both plungers Provide a coupling through which this one motor can be optionally connected to one or the other tappet.

Es kann zweckmäßig sein, die Schrittmotoren über ihneü individuell zugeordnete Yeretellspindeln, deren Breh^ev/eguncen in Translationsbewegungen der Stößel umgesetzt v/erden, mit den O Stößeln verbindbar zu machen. Die Verwendung derartiger Verstellspindeln, die auf die Stößel wirken, ist an sich bekannt,It can be useful to individually control the stepper motors associated Yeretell spindles, whose Breh ^ ev / eguncen in Translational movements of the tappets implemented v / ground, to make connectable with the O tappets. The use of such adjusting spindles, which act on the tappets is known per se,

Neuerung und als ein besonderer Vorteil der Sx£fcßC&a«g: ist die Möglich-Innovation and as a special advantage of the Sx £ fcßC & a «g: is the possibility

" keit anzusehen, diese bewährte Konstruktion beizubehalten."ability to keep this tried and tested construction.

Weiterhin kann es zweckmäßig sein, zusätzlich Mittel zur Betätigung der Objektverstellung von. Hand vorzusehen, beispielsweise Handgriffe in solcher Anordnung, daß sie von der Bedienungsperson des Gerätes leicht zu erreichen sind. Sind derar-,-tige Handbetätigungsmittol vorgesehen, so wird man zwischenFurthermore, it can be useful to have additional means for actuating the object adjustment from. Hand to provide, for example Handles in such an arrangement that they are easily accessible by the operator of the device. Are that -, - kind Manual actuation means provided, so you will be between

den Schrittmotoren und den Verstellspindeln Magnetkupplungen vorsehen, um die Handbetätigung mit geringer Kraft erfolgen zu lassen.Provide magnetic couplings for the stepper motors and the adjustment spindles so that manual operation can be carried out with little force allow.

Aus Montagegründen ist es zweckmäßig, daß jeweils eine Verstellspindel mit dem ihr zugeordneten Schrittmotor sowie gegebenenfalls einer elektromagnetischen Kupplung und/oder einem Übersetzungsgetriebe eine selbständige Baueinheit bildet, dieFor assembly reasons, it is advisable that one adjusting spindle in each case with the stepper motor assigned to it and possibly an electromagnetic clutch and / or a Transmission gear forms an independent unit that

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dann beispielsweise an der Säule eines Elektronenmikroskope nach dem Zusammenbau derselben befestigt wird. Um hier gegebenenfalls auftretende Herstollungstoleranzen unwirksam zu machen, wird man die Verstollspindel vorteilhafterweise aus _v ,mehreren, durch Kardangelenke verbundenen Teilen zusamraen- ^; setzen. Dies wird insbesondere bei Korpuskularetrahlgeräten, -die ähnlich ISlGkhronfirmiikrQskQ-nen aufgebaut sind oder selber ^Elektronenmikroskope darstellen, deshalb zweckmäßig sein, ■ ") weil insbesondere bei Verwendung von Mitteln zur Handbetätigt) gung die Verstcllspindc-ln sich von einer für die Bedienungsperson bequem erreichbaren Höhe bis zum Bereich der Objekthalterung erstrecken müssen und hier, insbesondere bei einer mehrstufigen Abbildung in dem Gerät, bereits merkbare Toleranzen beinhaltende Abmessungen z\x überbrücken sind.then attached, for example, to the column of an electron microscope after it has been assembled. In order here possibly occurring Herstollungstoleranzen to make ineffective, it is advantageously of the Verstollspindel _v, more zusamraen- connected by universal joints ^parts; set. This is especially in Korpuskularetrahlgeräten, -the similar ISlGkhronfirmiikrQskQ-nen are constructed or herself ^ electron represent, therefore, be advisable ■ ") because, particularly when using resources at hand operated) the Verstcllspindc-ln supply from one convenient for the operator reach height must extend as far as the area of the object holder and here, in particular in the case of multi-level mapping in the device, dimensions z \ x which already contain noticeable tolerances must be bridged.

Das der elektromagnetischen Kupplung benachbarte Ende der Vcrstellspindel wird man mit einer Ausgangswelle der elektromagnetischen Kupplung durch eine Stift-Schlitz-Verbindung drehfest, aber in Achsrichtung der Verstellspindel Relativ- ^bewegungen zulassend verbinden. Da demgemäß das der elektromagnetischen Kupplung benachbarte Teil der Verstellspindel ohnehin besondere Arbeitsgänge bei der Herstellung erfordert, ist es zweckmäßig, bei Vorhandensein eines Handrades für die Betätigung der Objektverstellung von Hand dieses Handrad auch auf diesem Teil der Verstellspindel anzuordnen.The end of the adjusting spindle adjacent to the electromagnetic clutch is connected to an output shaft of the electromagnetic clutch through a pin and slot connection non-rotatably, but in the axial direction of the adjusting spindle relative ^ Connect to allow movements. Since accordingly that of the electromagnetic Coupling adjacent part of the adjusting spindle anyway requires special operations during manufacture, it is advisable, if a handwheel is available for actuating the object adjustment by hand, to also use this handwheel to be arranged on this part of the adjusting spindle.

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Bei der bevorzugten Ausführungsform der SgSSE&BESg ist die :In the preferred embodiment of the SgSSE & BESg this is:

elektromagnetische Kupplung mit dem Schrittmotor mittels eines \; das ihr benachbarte Teil der Verstellspindel mit dem Handrad, übergreifenden Bügels an dem Teil der Verstellspinciel gehalten, das den das Handrad tragenden Teil benachbart ist. Der Bügel ist mit seinem einen Ende an dem Gehäuse der Kupplung "befestigt und umgreift mit seinem anderen Ende hülsenartig und Relativdrohungen zulassend das von der Kupplung her gesehen zweite g ■i'eil der Verstellspindel. ]electromagnetic coupling with the stepper motor by means of a \; the part of the adjusting spindle that is adjacent to it with the handwheel, cross-bracket is held on the part of the adjusting spindle that is adjacent to the part carrying the handwheel. One end of the bracket is fastened to the housing of the coupling "and its other end encompasses the second part of the adjusting spindle, seen from the coupling, in a sleeve-like manner and allowing relative threats.]

v/ie bereits bemerkt, ist ein Vorteil der Verwendung von Schrittmotoren für die Objektverstellung darin zu sehen, daß die Verstellgeschwindigkeit den im Korpuskularstrahlgerät vorliegenden speziellen Verhältnissen, also in erster Linie der jeweils eingestellten Vergrößerung, in einfacher Weise angepaßt worden kann. Eine zweckmäßige diesbezügliche Aus-As v / ie noted, one benefit is to using Stepper motors for object adjustment can be seen in the fact that the adjustment speed corresponds to that in the corpuscular beam device present special conditions, i.e. primarily the magnification set in each case, in a simple manner can be customized. An appropriate training in this regard

!Teuerung
führung der SjrfSxÄamg zeichnet sich dadurch aus, daß der Impulsgeber Mittel, wie Potentiometer, zur Einstellung verschiedener Impulsfrequenzen enthält.! Price increases
The SjrfSxÄamg is characterized by the fact that the pulse generator contains means, such as a potentiometer, for setting different pulse frequencies.

Im einzelnen kann die Einstellvorrichtung für die Schrittmotoren so aufgebaut sein, daß in einem frequenzbestimmenden Stromkreis des Impulsgebers ein einstellbares elektrisches Schaltungselement, vorzugsweise ein Potentiometer, solcher Ausbildung liegt, daß sich aeine frequenzbestimmende Eigenschaft, vorzugsweise also der Widerstandswert, beim BewegenIn detail, the setting device for the stepper motors can be constructed so that in a frequency-determining Circuit of the pulse generator an adjustable electrical circuit element, preferably a potentiometer, such Training lies in the fact that there is a frequency-determining property, preferably the resistance value, when moving

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eines Einstellorgans, vorzugsweise eines Spannurigsabgriffs, ausgehend von einer die Abgabe von Impulsen an die Schrittmotoren verhindernde Nullstellung nach beiden Richtungen gleichsinnig ändert; ferner sind mit dem Einstellorgan Kontaktmittel verbunden, die in Abhängigkeit davon, in welche der beiden Richtungen das Einstellorgan aus der Nullstellung jeweils bewegt ist, entweder den Stromkreis für Linkslauf oder den Stromkreis für Rechtslauf des Schrittmotors schließen. Man benötigt dann nur ein einziges Einstellorgan sowohl für die Verstellgeschwindigkeit als auch die Verstellrichtung des Objektes, v/obei das Einstellprinzip darin besteht, daß das einstellbare elektrische Schaltungselement symmetrisch zu einer! Nullstellung ausgebildet ist. Die Nullstellung kann durch Rasten definiert sein.an adjusting element, preferably a Spannurigsabgriffs, starting from a zero position in both directions that prevents the delivery of pulses to the stepper motors changes in the same direction; furthermore there are contact means with the setting element connected, depending on which of the two directions the setting from the zero position in each case is moved, either close the circuit for counter-clockwise rotation or the circuit for clockwise rotation of the stepper motor. You then only need a single adjusting element for both the adjustment speed and the adjustment direction of the Object, where the setting principle is that the adjustable electrical circuit element symmetrical to one! Zero position is formed. The zero position can go through Be defined.

Verständlicherv/eise kann man als einstellbares Schaltungselement außer einem Potentiometer auch einen einstellbaren Kondensator oder ein einstellbares anderes Schaltungselement verwenden.Understandable can be used as an adjustable circuit element in addition to a potentiometer, there is also an adjustable capacitor or an adjustable other circuit element use.

Bei dieser Lösung sind das Einstcllorgan und die kontaktmittel zweckinäßigerwoisc auf einem in Richtung seiner Achse verschiebbar gelagerten stangenartigen Bauteil derart angeordnet, daß bei VerncViiobebewegungen des stangenartigen Baubeils das Einstcllorgan die frequences⁴·immendG elektrische !Eigenschaft des elektrischen Schaltungselemente^ ändert und die Kontakt-In this solution the Einstcllorgan and the contact means zweckinäßigerwoisc rod-like on a displaceably mounted in the direction of its axis component are arranged such that when VerncViiobebewegungen the rod-like Baubeils the Einstcllorgan electrical the frequences ⁴ · immendG! Characteristic of the electrical circuit elements ^ changes and the contact

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mittel üter Gegenkontakte in den Stromkreisen des Schrittmotors gleiten.by means of mating contacts in the circuits of the stepper motor slide.

Besonders bequem ist die Betätigung derartiger stangenartiger Bauteile, v/enn ein solches Bauteil unter Federwirkung mit einem Ende gegen einen in der Nullstellung zumindest ungefähr senkrecht zu ihm stehenden HeLeI drückt, der mit dem seinem als Handgriff dienenden Ende abgekehrten Ende in Achsrichtung des s£<ingenartigen Bauteils schwenkbar eingespannt ist. Eine derartige Anordnung läßt sich leicht im Bedienungspult beispielsweise eines Elektronenmikroskops so anordnen, daß der Hebel mit seinem als Handgriff dienenden Ende aus der lischplatte herausragt und die übrigen Elemente des Antriebs sich unterhalb der Tischplatte befinden.The actuation of such rod-like ones is particularly convenient Components, if such a component under spring action with one end presses against a helix which is at least approximately perpendicular to it in the zero position and which with its serving as a handle end facing away from the end is clamped pivotably in the axial direction of the s £ <ingen-like component. One Such an arrangement can easily be found in the control panel, for example Arrange an electron microscope so that the lever with its end serving as a handle out of the table top protrudes and the other elements of the drive are located below the table top.

Der Hebel kann mehreren Schrittmotoren in der Weise zugeordnet sein, daß mehrere stangenartige Bauteile aus verschiedenen Richtungen gegen ihn drücken und er in diesen Richtungen schwenkbar eingespannt ist. In dieser Weise kann man einen einzigen Hebel beispielsweise allen zur Durchführung von Bewegungen eines Objekttisches in einer senkrecht zum Korpuskularstrahl verlaufenden Ebene erforderlichen Schrittmotoren zuordnen. The lever can be assigned to several stepper motors in such a way that several rod-like components from different Press directions against him and he is clamped pivotably in these directions. This is how you can get one single lever, for example, all for carrying out movements of an object table in a direction perpendicular to the corpuscular beam Assign the required stepper motors to the running level.

Man kann aber die Zuordnung auch so treffen, daß mehrere stangenartige Bauteile in einer geraeinsamen, den Hebel enthalten-But you can also make the assignment so that several rod-like Components in a straight line containing the lever-

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den Ebene liegend gegen ihn drücken. In diesem l?ail hat man jedoch keine Unabhängigkeit; der durch die verschiedenen stan— genartigen Bauteile ausgelösten Bewegungen, da "bei senkrecht stehendem Hebel diese stangenartigen Bauteile übereinanderliegend gegen den Hebel von derselben Seite her drücken.press the plane against him while lying down. In this l? Ail one has but no independence; through the various standards Gen-like components triggered movements, since "when the lever is vertical, these rod-like components lie one on top of the other press against the lever from the same side.

Die bevorzugte Ausiührungsform der Erfindung mit mehreren aus verschiedenen Richtungen gegen einen Hebel drückenden stangen— artigen Bauteilen wird in der Hegel so aussehe?., daß zwei stangenartige Bauteile um vorzugsweise 90° gegeneinander ver~ .setzt gegen den Hebel drücken und dieser in allen Richtungen schwenkbar eingespannt ist. Zur Einspannung trägt der Hebel an seinem eingespannten Ende zweckmäßigerweise eine Kugel.The preferred embodiment of the invention with several from rod-like components pressing against a lever in different directions will in Hegel look like this ... that two Rod-like components, offset from one another by preferably 90 °, press against the lever and press it in all directions is clamped pivotably. For the purpose of clamping, the lever expediently carries a ball at its clamped end.

' Bei dieser Ausbildung hat man also die bereits eingangs genann'So that was already mentioned at the beginning of this training

te vorteilhafte Möglichkeit, unter Benutzung nur eines Hebels eine Einstellung des Objekttisches oder einer Kippatrone inner halb einer Ebene in beliebiger Richtung vorzunehmen, wobei Bewegungen in zwei Koordinatenrichtungen gleichzeitig vor sich gehen können.te advantageous possibility, using only one lever, an adjustment of the stage or a tilt cartridge inside half of a plane in any direction, with movements in two coordinate directions at the same time can walk.

Da bei dieser Einstellung der Hebel seine Lage relativ su den Enden der stangenartigen Bauteile, mit denen sich diese auf ihm abstützen, ändert, ist es zweckmäßig, dem Hebel ballige AuflagoflUchen für die Enden der stangenartigen Bauteile zu geben, die ihrerseits Auflageflachen solcher Größe tragen,Since in this setting the lever is relatively su the location Ends of the rod-like components with which they are supported on it changes, it is useful to convex the lever Support areas for the ends of the rod-like components give, which in turn carry support surfaces of such size,

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daß der Hobel in allen Stellungen die Lage aller stangenartigen Bauteile bestimmt. Dio verschiedenen Auflageflächen dürfen also nie aui?er Eingriff miteinander kommen.that the plane in all positions the position of all rod-like Components determined. The different contact surfaces must therefore never come out of engagement with one another.

Neuerung
Bei einer Weiterbildung der ExiittftKMg sind zwischen deninnovation
In a further development of the ExiittftKMg are between

Impulsgebern und den Schrittmotoren voreinstellbare Impuls-Pulse generators and the stepper motors presettable pulse

so wie Impulsgeber elektronischer oder elektrisch-mechanischer ^? just like electronic or electro-mechanical pulse generators ^?

/ Bauart, dem Fachmann wohlbekannt. Als Impulsgeber können j/ Design, well known to those skilled in the art. As a pulse generator j

^ L^ L

beispielsweise Einrichtungen verwendet v/erden, wie sie für ^ die Ablonkimpulse von Elektronenstrahl-Oszillographen Ver- ^. For example, devices used v / earth as they are used for ^ the Ablonkimpulse of electron beam oscillographs ^.

Wendung finden. · *'* Find a twist. · * '*

Die Verwendung voreinstellbarer Impulszähler gibt die Möglich- ₄|The use of presettable pulse counters enables ₄ |

keit, Objekteinzelheiten, deren Koordinaten in der Voreinstellung der Impulszähler gepseichert sind, direkt ansu-, 15 steuern, wobei außerdem nur eine Auslösetaste od.dgl. für ί den Einstellvorgang betätigt zu werden braucht.object details, the coordinates of which are saved in the presetting of the pulse counter, can be viewed directly, 15 control, and also only a shutter button or the like. for ί the setting process needs to be operated.

Eine derartige Objektvcrstellung kann außer zur gewünschten | Einstellung eines anderen Objektbereichs oder Objektwinkels auch dann mit Vorteil vorgenommen werden, wenn eine unerv/iinschte Objektwanderung kompensiert werden muß. Eine derartige Objektwanderung kann beispielsweise bei einer Objektkippung dann auftreten, wenn die Kippachse nicht, v/ie dies beispielsYfeise für Stereountersuchungen an sich erforderlich ist, genau im Objekt liegt. In diesem Palle kann man mittelsSuch an object positioning can be used in addition to the desired | Setting a different object area or object angle can also be carried out with advantage if one is not required Object migration must be compensated. Such a one Object migration can, for example, occur when the object is tilted when the tilt axis does not, v / ie this For example, Yfeise is required for stereo examinations per se, lies exactly in the object. In this Palle you can use

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der Schrittmotoren und insbesondere bei Verwendung voreinstoirbarer Impulszähler, die nur eine durch ihre Voreinstellung "bestimmte Anzahl von Impulsen an die Schrittmotoren gelangen lassen, eine Kompensation durchführen. Weiterhin können unerwünschte Objektwanderungen durch Temperatureinflüsse auftreten, Ist ein derartiger Temperatureinfluß, der sich in ;dcr Regol während eines gewissen Zeitraumes bemerkbar macht, quantitativ bekannt, so kann man ihn in den Impulszählern speichern und entsprechend dieser Speicherung gegenläufige Bewegungen des Objektes mittels der Stellmotoren vornehmen.the stepper motors and especially when using voreinstoirbaren Pulse counters that only get a number of pulses to the stepper motors that are preset " allow compensation to be carried out. Furthermore, unwanted object migration can be caused by temperature influences occur, is such a temperature influence, which becomes noticeable in; dcr Regol during a certain period of time, known quantitatively, it can be stored in the pulse counters and, according to this storage, counter-rotating Make movements of the object by means of the servomotors.

Neuerung
/„ Im folgenden wird die Saafctodtoig: an Hand der figuren erläutert, von denen die Figuren 1 und 2 zwei senkrecht zueinander liegende, teilweise im Schnitt Aviedergegebene Ansichten eines mit einer Verstellspindel über eine elektromagnetische Kupplung verbundenen Schrittmotors darstellen, während die Figuren 3innovation
/ "In the following the Saafctodtoig: explained on the basis of the figures, of which the figures 1 and 2 represent two mutually perpendicular, partially in section A reproduced views of a stepping motor connected to an adjusting spindle via an electromagnetic clutch, while the figures 3

und 4 eine erste konstruktive Möglichkeit für den Aufbau , einer Betätigungseinrichtung und Figur 5 eine andere Ausgestaltung der Betätigungseinrichtung zeigen» Die Anordnungenand 4 a first structural possibility for the structure , an actuating device and Figure 5 shows another embodiment of the actuating device show »The arrangements

{j nach den Figuren 1 und 2 sind um 90° im Uhrzeigersinn gedreht „ '; zu denken. {j according to Figures 1 and 2 are rotated 90 ° clockwise ""; to think.

In den Figuren 1 und 2 ist allgemein mit 1 eine Verstellspinel bezeichnet, die an ihrem oberen, nur in Figur 1 dargestellten Ende die Schräge 2 besitzt, die mit einer entsprechenden Gegenschräge an einem darüberliegenden, auf nicht dargestellte Stößel wirkenden, ebenfalls nicht dargestellten Spindelteil zusammenwirkt. Die beiden eine Kupplung bildendenIn FIGS. 1 and 2, 1 is generally an adjustment spindle referred to, which has the slope 2 at its upper end, shown only in Figure 1, which is associated with a corresponding Counter bevel on an overlying, also not shown, acting on the plunger (not shown) Spindle part cooperates. The two form a coupling

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schrägen Flächen v/erden mittels Überwurfmuttern 3 im zusammengebauten Zustand gegeneinander gepreßt.ground inclined surfaces by means of union nuts 3 in the assembled State pressed against each other.

Mio Figur 1 zeigt, setzt sich die Verstellspindel in ihrem dargestellten Verlauf aus vier Teilen 4,5,6 Und 7 zusammen, von denen die drei erstgenannten Teile durch Kardangelenke 8 ünu 9 iTritüirisnaer vorbanden sind, so daß etwaige Herstellungstoleranzen in den einzelnen Teilen der Mikroskopsäule 10, die in Figur 2 angedeutet und an der die Verstellstange 1 festgelegt ist, ausgeglichen werden.Mio Figure 1 shows, the adjusting spindle is in their The course shown consists of four parts 4, 5, 6 and 7, of which the first three parts are connected by universal joints 8 ünu 9 iTritüirisnaer are vorbanden, so that any manufacturing tolerances in the individual parts of the microscope column 10, which are indicated in Figure 2 and to which the adjusting rod 1 is fixed is to be balanced.

Das Teil 7 ist dagegen an seinen Enden in spezieller ¥eise ausgebildet. Mit seinem in Figur 1 unteren Ende ist es nämlich an der Ausgangswello 11 der allgemein mit 12 bezeichneten elektromagnetischen Kupplung drehfest, aber in Achsrichtung Relativbewegungen zulassend verbunden. Hierzu ist ic, der Ausgangswellc 11 der Schlitz 13 vorgesehen, durch den der Stift 14 in dem Spindolteil 7 hindurchragt,The part 7, on the other hand, is designed in a special way at its ends. With its lower end in FIG. 1 it is on the output shaft 11 of the generally designated 12 electromagnetic clutch rotatably connected, but permitting relative movements in the axial direction. For this purpose ic is the Output shaft 11 of the slot 13 is provided through which the pin 14 protrudes in the spindle part 7,

, Die Verbindung zwischen den Spindelteilen 6 und 7 ist ebenfalls durch einen Stift 15 vorgenommen, wobei das Teil 7 ebenfalls eine Ausnehmung 16 besitzt.The connection between the spindle parts 6 and 7 is also made by a pin 15, the part 7 also has a recess 16.

Der Zusammenhalt der Teile 7 und 12 in Achsrichtung wird durch den Bügel 17 gewährleistet. Er trägt an seinem in Figur 1 oberen Ende das hülsenfürmigo lager 18, in dem das Spindel-The cohesion of the parts 7 and 12 in the axial direction is ensured by the bracket 17. He wears on his in Figure 1 upper end of the sleeve-shaped bearing 18, in which the spindle

«60289 1«60289 1

?Λ 9/710/2784 - 15 -? Λ 9/710/2784 - 15 -

teil 6 drehb_ar gelagert ist. An seinem in Figur 1 unteren Ende
ist der Bügel 17 fest mit der elektromagnetischen Kupplung 12
verbunden. Der Bügel 17 umgreift den Handgriff 19, der zui
Objektverstellung von Hand dient. Die Kupplung 12 gibt diepart 6 rotatable _a r is mounted. At its lower end in FIG
the bracket 17 is fixed to the electromagnetic clutch 12
tied together. The bracket 17 engages around the handle 19, the zui
Object adjustment by hand is used. The clutch 12 is the

<-_h . 5 " , Möglichkeit, den Handgriff 155 zu betätigen, ohne daß der über % "das Übersetzungsgetriebe 20 mit der Kupplung 12 verbundene | <- _h . 5 ", the possibility to operate the handle 155, without the above%" associated with the transmission gear 20 of the clutch 12 |

„.Schrittmotor 21 bekannter Bauart mitgedreht werden muß. jl ". Stepper motor 21 of known type must be rotated. jl

/~\ Die wesentlichen Bestandteile der elektromagnetischen Kupp- ■[ / ~ \ The essential components of the electromagnetic coupling ■ [

~* t -r ~ * t -r . is;. is;

'■"lung 12 sind die aus magnetisch wirksamem Material bestehenden!⁵ - beiden Kupplungskörper 22 und 23, die mit Messingfuttern 24'■ "lung 12 are made of a magnetically active material ⁵ - two clutch bodies 22 and 23 with brass chucks 24

^v 'und 25 ausgekleidet sind. Die Kupplungskörper 22 und 23 sind $ ^v 'and 25 are lined. The coupling bodies 22 and 23 are $

'· ."",von einer Wicklung 26 zur Erzeugung des magnetischen Flusses | '· . "", Of a winding 26 for generating the magnetic flux |

'·{}'. '*';''-umcoben, der sich über die Kupplungskörper 22 und 23 sowie dep| ' ¹^ ' ,α "im Augenblick des Einschalt ens des Stromes durch die Wicklung ϊ '· {}'. '*';'' - umcoben, which extends over the coupling bodies 22 and 23 as well as dep | ' ¹ ^', α "at the moment the current is switched on through the winding ϊ

'■■ \) 5 '"«" 26 bestehenden kloinen luftspalt zv/ischen den Kupplungsteilen | ⁴·"Τ '" ^?ϊ"22 und 23 schließt.'■■ \) 5'"«"26 existing closed air gap between the coupling parts | ⁴ · "Τ '" ^? ϊ "22 and 23 closes.

.-"---Wie ersichtlich, ist am Gehäuse 27 der Kupplung 12 mittels.- "--- As can be seen, the coupling 12 is on the housing 27 by means of

Schrauben 28 der Bügel 17 festgelegt. §Screws 28 of the bracket 17 set. §

Ebenfalls mittels Schrauben 29 ist das in bekannter ¥eise
konstruierte Übersetzungsgetriebe 20 über Flansche an dem
Gehäuse 27 festgelegt, während Schrauben 30 ebenfalls über
Flansche den Schrittmotor 21 an dem Getriebe 20 halten. Die
ganze in den Figuren 1 und. 2 dargestellte Anordnung bildet alscThis is also done in a known manner by means of screws 29
constructed transmission gear 20 via flanges on the
Housing 27 set, while screws 30 also over
Flanges hold the stepper motor 21 to the gearbox 20. the
whole in Figures 1 and. 2 arrangement shown forms alsc

er c *he c *

ΡΛ 9/710/2784 - 16 -ΡΛ 9/710/2784 - 16 -

eine konstruktive Einheit, die nach Zusammenbau der Säule beispielsweise eines Elektronenmikroskops an dieser durch Anziehen der Überwurfmutter 3 und durch Befestigen beispielsweise in der in Figur 2 bei 31 angedeuteten Weise festgelegta structural unit which, after assembling the column, for example an electron microscope, is fixed to it by tightening the union nut 3 and by fastening it, for example in the manner indicated at 31 in FIG

•3 wird.• 3 will.

I:i dem behandelten Ausführungsbeispiel ist also jeder Verstell-I: i in the exemplary embodiment discussed here, every adjustment

spi.nd.cl ein Scaritt-isotor zugeordnet. Sine weitere Verstell- |spi.nd.cl assigned to a Scaritt isotor. Sine further adjustment |

spindel kann um 90° gegen die Spindel 1 versetzt angeordnet |Spindle can be offset by 90 ° from spindle 1 |

und einen anderen Stößel zugeordnet sein, wobei dann beide |and another tappet, both of which |

Versteilstangen zur Durchführung von Verstellbewegungen eines ^Adjusting rods for performing adjustment movements of a ^

Objekttisches in einer Ebene senkrecht zum Korpuskularstrahl |Object stage in a plane perpendicular to the corpuscular beam |

dienen können. Weitere derartige Verstelleinrichtungen können §can serve. Other such adjustment devices can be §

vorgesehen sein, um Kippbewegungen eines in einer Kippatrone | in den Objekttisch eingesetzten Objektes durchzuführen.be provided to tilt movements in a tilt cartridge | to carry out the object inserted in the stage.

Figur 3 zeigt die wesentlichen Teiles eines Betätigungsmechanismus in einer Seitenansicht, i'igur 4 die entsprechende Aufsicht. Wesentliche Bestandteile dieser Anordnung bilden
stangenartige Bauteile 40 und 41, von denen nur das Teil 40
so weit dargestellt ist, daß die Ausbildung des KontakteFIG. 3 shows the essential parts of an actuating mechanism in a side view, i'igur 4 the corresponding top view. Form essential components of this arrangement
rod-like components 40 and 41, of which only part 40
is shown so far that the formation of the contacts

tragenden Endes im einzelnen erkennbar ist. Die stangenartigen
Bauteile 40 und 41 sind in ihrer Achse verschiebbar bei 42
und 43 beispielsweise im Bedienungspult eines Elektronenmikroskops gelagert. Man erkennt, daß mittels Druckfedern 44 *ΐbearing end is recognizable in detail. The rod-like
Components 40 and 41 are displaceable in their axis at 42
and 43 stored, for example, in the control panel of an electron microscope. It can be seen that by means of compression springs 44 * ΐ

IS und 45 dio Bauteile 40 und 41 mit ihren Auflageflächen 46 | und 47 gegen die balligo Auflagefläche 48 des Hebels 49 ge-IS and 45 dio components 40 and 41 with their bearing surfaces 46 | and 47 against the balligo contact surface 48 of the lever 49

„. .. -17- i ". .. -17- i

·■ , · · It «I··· ■, · · It «I ··

9/710/2784 - 17 -9/710/2784 - 17 -

drückt v/erden, der, v/ie ?igur 3 zeigt, an. seinem unteren Ende die Kugel 50 trägt, die in der allgemein mit 51 bezeichneten Vorrichtung federnd festgeklemmt ist, so daß er eine durch Betätigung eingestellte winkeleinstellung α beibehält.presses v / erden, which shows figure 3. its lower end carries the ball 50, which is resiliently clamped in the device generally designated 51, so that it has a through Actuation maintains the set angle setting α.

Der linke Teil der I"igur 3 läßt die Vorgänge bei der Einstel-The left part of the figure 3 shows the processes involved in setting

lung eines bestimmten Winkels α für diejenige Koordinate erkennen, der das stangenartige Bauteil 40 zugeordnet ist. Sine entsprechende Kontaktanordnung ist für das stangenartige Bauteil 41 vorhanden, aber nicht dargestellt.development of a certain angle α for that coordinate recognize to which the rod-like component 40 is assigned. Its corresponding contact arrangement is for the rod-like Component 41 is present, but not shown.

Das stangenartige Bauteil 4-0 trägt an seinem in Pigur 3 linken Ende sv/ei Kontakte 52 und 53, von denen der Kontakt 52 mit Gegenkontakten 54 und 55 je nachdem zusammenwirkt, ob das stangenartige Bauteil 40 aus seiner figürlich dargestellten Nullstellung nach links oder rechts um eine dem jeweiligen Winkel α entsprechende Strecke bewegt ist. Von den Gegenkontakten 54 und 55 liegt der erstgenannte in dem Stromkreis für Linkölauf und der zweitgenannte in dem Stromkreis für Rechtslauf des im einzelnen nicht dargestellten Schrittmotors mit bekanntem Aufbau, so daß bei Bewegung des Hebels 49 in Figur 1 nach links der Stromkreis für Linkslauf und bei Bewegung des Hebels 49 nach rechts der Stromkreis für Rechtslauf des Motors geschlossen wird. Der Motor erhält dann aus dem Impulsgeber 56 über den voreinstellbaren Impulszähler 57 und den Schalter 58 Impulse, die eine Verstellung des Objektos durch Schritte des Motors zur Folge haben. Dabei ist die Größe der Objektverstellung von der Anzahl der an den Schritt-The rod-like component 4-0 carries on its left in Pigur 3 End sv / ei contacts 52 and 53, of which the contact 52 with Counter contacts 54 and 55 cooperate depending on whether the rod-like component 40 from its figuratively illustrated zero position to the left or right by one of the respective Angle α corresponding distance is moved. From the mating contacts 54 and 55, the first is in the circuit for Linkölauf and the second in the circuit for Clockwise rotation of the stepper motor, not shown in detail, with a known structure, so that when the lever 49 is moved in 1 to the left, the circuit for counterclockwise rotation and when the lever 49 is moved to the right, the circuit for clockwise rotation the motor is closed. The motor then receives from the pulse generator 56 via the presettable pulse counter 57 and the switch 58 pulses, which adjusts the object caused by steps of the motor. The size of the object adjustment depends on the number of steps

Ql -18-Ql -18-

ΡΛ 9/710/2784- - 18 -ΡΛ 9/710 / 2784- - 18 -

motor abgegebenen Impulse und die Geschwindigkeit der Objekt- \^rer st ellung von der Impulsfrequenz abhängig. Die Anzahl der Impulse wird in diesem Ausführungsbeispiel durch den voreinstellbaren Impulszähler 57 bestimmt, in dem beispielsweise eine bestimmte Anzahl von Impulsen gespeichert ist und der so viele der vom Impulsgeber 56 erzeugten Impulse über den Kontakt 52 an die Klemme A¹ bzw. B' des Motors gelangen läßt, wie der Differenz zwischen seiner Speicherkapazität und seiner Yoreinstellung entspricht. Dann öffnet er seinen Kontakt 58. A und B sind die jeweils anderen Klemmen am Motor. Die Impulse können beispielsweise eine Amplitude von 10 V haben; ihre frequenz kann beispielsweise zwischen 1 und 300 je Sekunde betragen.The impulses given by the motor and the speed of the object \ ^r creation depend on the impulse frequency. The number of pulses is determined in this embodiment by the presettable pulse counter 57, in which, for example, a certain number of pulses is stored and the number of pulses generated by the pulse generator 56 via the contact 52 to the terminal A ¹ or B 'of the motor lets get what corresponds to the difference between its storage capacity and its default setting. Then he opens his contact 58. A and B are the other terminals on the motor. The pulses can, for example, have an amplitude of 10 V; Their frequency can be between 1 and 300 per second, for example.

Zur Einstellung der frequenz ist in diesem Ausführungsbeispiel 1To set the frequency is in this embodiment 1

das Potentiometer 59 vorgesehen, das in diesem Jail als Drahtpotentiometer ausgebildet ist. Die Wicklung ist symmetrisch bezüglich der Nullstellung 60 ausgebildet, so daß bei Bewegung des Abgriffs 53 aus der dargestellten Nullage in Figur sowohl nach links als auch nach rechts die Impulsfrequenz von niedrigen Vierten auf hohe Vierte ansteigt. Daher ist es möglich, durch Betätigen dec Hebels 49 sowohl die Richtung als auch die Geschwindigkeit der Objektverstellung mittels des Schrittmotors zu ändern.the potentiometer 59 provided in this jail as a wire potentiometer is trained. The winding is symmetrical with respect to the zero position 60, so that when moving of the tap 53 from the zero position shown in the figure, both to the left and to the right, the pulse frequency increases from low fourth to high fourth. Therefore it is possible to change the direction by operating lever 49 as well as changing the speed of the object movement by means of the stepper motor.

Das Potentiometer 59 liegt im frequenzbestimmenden Stromkreis des Impulsgobers 56, der ferner die Speisespannungsquelle- 61 enthält.The potentiometer 59 is in the frequency-determining circuit of the pulse generator 56, which also controls the supply voltage source 61 contains.

PA 9/710/2784 - 19 -PA 9/710/2784 - 19 -

Wie Figur 4 zeigt, gestattet der Hebel 49 infolge seiner kugelartigen Ausbildung am Einspannende 50 die gleichzeitige Betätigung von zwei stangenartigen Bauteilen 40 und 41 und damit zwei Schrittiaotoren., so daß der Objekttisch oder die Kippatrone in zwei zueinander senkrechten Richtungen gleichzeitig mit voneinander unabhängigen Geschwindigkeiten verstollt werden können. Die Größe der Neigungswinkel α des Hebels in Richtung der beiden stangenartigen Bauteile 40 und 41 ist ein Haß für die Geschwindigkeit der Objektverstellung in diesen beiden Richtungen, das Vorzeichen dieser Winkel bestimmt die Richtung der Verstellung. Befindet sich der Winkel α in dem in ?igur 4 mit I bezeichneten Quadranten, so haben unter Zugrundelegung der für die Anschlüsse A' und B¹ oben definierten Bedeutungen (A¹ Linkslauf, B¹ Rechtslauf) beide Bauteile 40 und 41 dem R.echtslauf ihrer Motoren zugeordnete Stellungen. Befindet sieh der Hebel 49 im Quadranten II, so läuft der dem Bauteil 40 zugeordnete Schrittmotor im Rechtssinn, der dem Bauteil 41 zugeordnete Motor im Linkssinn. Im Quadranten III liegt bei beiden'Motoren Linkslauf vor, während im Quadranten IV das Bauteil 40 Linkslauf und das Bauteil 41 Rechtslauf veranlaßt.As FIG. 4 shows, the lever 49, due to its spherical design at the clamping end 50, allows the simultaneous actuation of two rod-like components 40 and 41 and thus two step motors, so that the object table or the tilting cartridge closes in two mutually perpendicular directions at the same time at independent speeds can be. The size of the angle of inclination α of the lever in the direction of the two rod-like components 40 and 41 is a hatred for the speed of the object adjustment in these two directions, the sign of these angles determines the direction of the adjustment. If the angle α is in the quadrant labeled I in Figure 4, then, based on the meanings defined above ^{for the connections A 'and B 1 (A 1} counter-clockwise, B ¹ clockwise), both components 40 and 41 are right-handed positions assigned to their engines. If the lever 49 is located in quadrant II, the stepping motor assigned to component 40 runs in the right direction, the motor assigned to component 41 runs in the left direction. In quadrant III, both motors are running counter-clockwise, while in quadrant IV component 40 causes counter-clockwise rotation and component 41 causes clockwise rotation.

Man kann die Zuordnung der Quadranten zum Bildschirm gegebenenfalls unter Berücksichtigung einer Mlddrehcmg in dem Korpuskularstrahlgerät so treffen, daß die Bewegung des Hebels in einer bestimmten Richtung eine im Bild beobachtete Objekt-You can assign the quadrants to the screen if necessary taking into account a Mld Drehcmg in the corpuscular beam device hit so that the movement of the lever an object observed in the picture in a certain direction

66U289166U2891

-20--20-

PA 9/710/2784 - 20 -PA 9/710/2784 - 20 -

Verstellung in derselben Richtung bewirkt. Bei elektromagnetischen Abbildungslinsen tritt bekanntlich eine Bilddrehung auf, die, soforn nicht zusätzliche Kompensationsmaßnahmen getroffen sind, von der Erregung der Linse und damit ihrer Vergrößerung abhängt. Um hier die genannte Zuordnung zwischen den Quadranten beibehalten zu können, kann es zweckmäßig sein, die in Figur 3 mit 51 bezeichnete Anordnung drehbar im Bedienungspult zu halten, so daß nach einer bei einer Änderung der Bilddrehung vorgenommenen Juotierung durch Drehung der die Quadranten enthaltenden Ebene um "äie Achse des Hebels 49 wiederum die gewünschte Zuordnung vorhanden ist.Adjustment causes in the same direction. With electromagnetic It is known that imaging lenses cause an image rotation which, unless additional compensation measures are taken depends on the excitation of the lens and thus its magnification. To here the mentioned assignment between To be able to retain the quadrant, it may be expedient for the arrangement denoted by 51 in FIG. 3 to be rotatable in the control panel to hold, so that after a Juotierung made when changing the image rotation by rotating the The plane containing quadrants about the axis of the lever 49 again the desired assignment is available.

Figur 5 zeigt eine andere Ausbildung der Einrichtung zur Steuerung der Impulsfrequenz und damit der Verstellgesc.hwindigkeit. Hier ist ein Drehpotentiometer 70 vorgesehen, das im '' frequenzbestiramenden, wiederum eine Speisespannungsquelle 71 enthaltenden Stromkreis des Impulsgebers 72 angeordnet ist und dessen als Schleifer ausgebildeter Abgriff 73 mittelsFIG. 5 shows another embodiment of the device for controlling the pulse frequency and thus the adjustment speed. Here, a rotary potentiometer 70 is provided in frequenzbestiramenden '', in turn, a supply voltage source 71 containing the circuit of the pulse generator 72 is disposed and its designed as a grinder tap 73 by means of

^ einer Schnur 74 od.dgl., die in der Rollenführung 75 verläuft,_; ^ a cord 74 or the like. Which runs in the roller guide 75 _;

an dem einen Ende eines stangenartigen Bauteils 76 analog den Bauteilen. 40 und 41 in den Figuren ^ und« 4 befestigt ist;« Dieses Ende des Bauteiles 76 trägt wiederum einen Kontakt 77 für die Auswahl der Verstellrichtung.at one end of a rod-like component 76 analogous to the components. 40 and 41 in Figures ^ and «4 is attached;" This end of the component 76 in turn carries a contact 77 for the selection of the adjustment direction.

Bei jeder Bewegung des stangenartigen Bauteils 76 in Figur 5 With every movement of the rod-like member 76 in Figure 5

ι nach links oder rechts bewirkt die E.ollenanordnung 75 eine . ι to the left or right causes the E.ollen arrangement 75 a.

• •»••■«βΜβ · H «Β »4 f ·• • »•• ■« βΜβ · H «Β » 4 f ·

'PA 9/710/2784 - 21 -'PA 9/710/2784 - 21 -

Umlenkung der Schnur 74» die dann gegen die Yfirkung einer nicht dargestellten Feder den Abgriff 73 aus der dargestellten Nullstellung in eine der Auslenkung α des in Figur 3 mit 49 bezeichneten Hebels entsprechende Stellung bewegt. Demgemaß wird eine bestimmte Impulsfrequenz des Impulsgebers 72 eingestellt.Deflection of the cord 74 »which then counteracts the effect of a spring, not shown, the tap 73 from the shown zero position into one of the deflection α of the in Figure 3 with 49 designated lever moves corresponding position. Accordingly becomes a certain pulse frequency of the pulse generator 72 set.

Neuerunginnovation

Hit der £&:£&»&»»$ ist es möglich, ein Objekt schrittweise gegebenenfalls in verschiedenen Richtungen abzutasten, wobei ; Neuerung
die XSiDtRASHS dahingehende Ausbaurnöglichkeiten besitzt, daß ,.· „diese Abtastung bzw. die Einstellung eines bestimmten Objektbcroic.hG automatisch nach Betätigen einer Taste vorgenommen wird. Die koordinatenartige Unterteilung des Objektes durch einen oder mehrere Schrittmotoren bringt den Vorteil einer ,' mit einfachen Mitteln erzielten Reproduzierbarkeit der lage interessierender Objektstellen.Hit the £ &: £ &»&» »$ it is possible to scan an object step by step, if necessary in different directions, whereby; innovation
the XSiDtRASHS has the possibility of expansion that. · “This scanning or the setting of a certain object overview is carried out automatically after pressing a key. The coordinate-like subdivision of the object by one or more stepper motors has the advantage of reproducibility of the position of interesting object locations achieved with simple means.

5 Figuren
27 Ansprüche5 figures
27 claims

-22--22-

0289102891

Claims (27)

PA 9/710/2784 - 22 - Schutz- ansprüchePA 9/710/2784 - 22 - Protection claims 1. An der Pumpe arbeitendes Korpuskularstrahlgerät, insbesondero Elektronenmikroskop, mit zur Verstellung eines zu untersuchenden Objektes dienenden Einrichtungen und zu dea:en Betätigung vorgesehenen fernbedienten Stellmotoren, jasids1. Corpuscular beam device working on the pump, in particular Electron microscope, with devices serving to adjust an object to be examined and to dea: s actuation provided remote servomotors, jasids ^ dadurch gekennzeichnet, daß die Stellmotoren Schrittmotoren (21) sind, denen Impulsgeber (56; 72) zugeordnet sind, die eine durch die Größe der gevrünschten Ob j ektver stellung gegebene Anzahl von Steuerimpulsen mit die Geschwindigkeit der Objektverstellung bestimmender Frequenz an die Schrittmotoren (21) abgeben, und daß die je Impuls erfolgende Verstellung der Schrittmotoren (21) im Hinblick auf die kleinste erforderliche Objektverstellung gewählt ist.^ characterized in that the servomotors are stepper motors (21), which pulse generators (56; 72) are assigned, the number given by the size of the desired object adjustment of control pulses with the frequency determining the speed of the object adjustment to the stepper motors (21) output, and that the adjustment of the stepper motors (21) taking place per pulse with regard to the smallest required Object adjustment is selected. 2. Korpuskularotrahlgerät nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Einrichtungen eine Objekthalterung für das au untersuchende Objekt enthalten, die mittels vakuumdicht durch das VakuumgehäU3c des Gerätes hindurchgeführter Stößel durch Betätigen von den Stößeln zugeordneten Schrittmotoren (21) relativ ziun Korpuskularstrahl verstellbar ist.2. corpuscular beam device according to claim 1, characterized in that that the devices contain an object holder for the object to be examined, which is vacuum-tight by means of plunger passed through the vacuum housing of the device can be adjusted relatively ziun corpuscular beam by actuation of the stepper motors (21) assigned to the plungers. 3. KorpuGkularstrahlgerät nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß die Objekthalterung eine Kippatrone enthält und durch Betätigen de&' Schrittmotoren (21) der Winkel zv/iachen Objekt und Korpuskularstrahl verstellbar ist.3. Corpuscular beam device according to claim 2, characterized in that that the object holder contains a tilt cartridge and by actuating the stepper motors (21) the angle zv / iachen Object and corpuscular beam is adjustable. -23--23- • β 1 ft «ft• β 1 ft «ft PA 9/710/2784 - 23 -PA 9/710/2784 - 23 - 4. Korpuskularstrahlgerät nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß die Objekthalterung einen gegebenenfalls eine Objektpatrone aufnehmenden Objekttisch enthält, der durch Betätigen der Schrittmotoren (21) senkrecht zum Korpuskularstrahl verschiebbar ist.4. corpuscular beam device according to claim 2, characterized in that that the specimen holder contains an specimen table which may receive an specimen cartridge and which is carried out by Actuation of the stepper motors (21) is displaceable perpendicular to the corpuscular beam. 5. PCorpusknlarstrahlgerät nach einem der /-/.isprüche 2 bis 4₅ dadurch gekennzeichnet, daß, wie an sich bekannt, die Objekthalterung unter dem Einfluß von zwei senkrecht zueinander und zum Korpuskularstrahl verlaufenden Stößeln steht, die unabhängig voneinander mittels der Schrittmotoren (21) verstellbar sind.5. PCorpusknlarstrahlgerät according to one of /-/.isprüche 2 to 4 _5, characterized in that, as known per se, the object holder is under the influence of two plungers perpendicular to each other and to the corpuscular beam, which are independent of each other by means of the stepper motors (21) are adjustable. 6. Korpuskularstrahlgerät nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, daß jedem Stößel ein Schrittmotor (21) zugeordnet6. corpuscular beam device according to claim 5, characterized in that that each ram is assigned a stepping motor (21) 7. Korpuskularstrahlgerät nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, daß zur Verstellung beider Stößel ein einziger Schrittmotor (21) und eine Kupplung vorgesehen sind, durch die er wahlweise mit dem einen oder dem anderen Stößel verbindbar ist.7. corpuscular beam device according to claim 5, characterized in that that a single stepping motor (21) and a coupling are provided for adjusting both tappets which he can optionally be connected to one or the other plunger. 8. Korpuskularstrahlgerät nach einem der Ansprüche 2 bis 7, dadurch gekennzeichnet, daß die Schrittmotoren (21) über ihnen individuoll zugeordnete Verstellspindeln (1), deren Drehbewegungen in Translationsbewegungen der Stößel umgesetzt werden, mit den Stößeln verbindbar sind.8. corpuscular beam device according to one of claims 2 to 7, characterized in that the stepping motors (21) over Adjusting spindles (1) assigned to them individually, the rotary movements of which are converted into translational movements of the ram can be connected to the tappets. σ y ισ y ι ■st tits si a ■ st tits si a • · » I lti|)• · »I lti |) ΡΛ ¹J/710/2784 - 24 -ΡΛ ¹ J / 710/2784 - 24 - 9. Korpuskularstrahlgerät nach einem der Ansprüche 1 "bio 8, dadurch gekennzeichnet, daß zusätzliche Mittel (19, 12) zur BetUtigung von Hand vorgesehen sind.9. corpuscular beam device according to one of claims 1 "bio 8, characterized in that additional means (19, 12) are provided for manual operation. 10. Korpuskularstrahlgcrat nach Anspruch 9, dadurch gekennzeichnet, daß zwischen den Schrittmotoren (2i) und den Yerstellspindeln (1) Magnetkupplungen (12) vorgesehen sind.10. Korpuskularstrahlgcrat according to claim 9, characterized in that that between the stepper motors (2i) and the Yerstellspindeln (1) Magnetic clutches (12) are provided. C C. 11. Korpuskularstrahlgerat nach einem der Ansprüche 1 Ms 10,11. Korpuskularstrahlgerat according to one of claims 1 Ms 10, dadurch gekennzeichnet, daß der Impulsgeber (56; 72) Mittel, wie Potentiometer (59; 70), zur Einstellung verschiedener Impulsfrequenzen enthält.characterized in that the pulse generator (56; 72) has means, such as potentiometers (59; 70), for setting various Contains pulse frequencies. 12. Korpuskularstrahlgerat nach Anspruch 11, dadurch gekennzeichnet, daß in einem frequenzbestimmenden Stromkreis des Impulsgebero (56; 72) ein einstellbares elektrisches Schaltungs-i element j vorzugsweise ein Potentiometer (59; 70), solcher Aus-12. Korpuskularstrahlgerat according to claim 11, characterized in that that in a frequency-determining circuit of the pulse generator (56; 72) an adjustable electrical circuit-i element j preferably a potentiometer (59; 70), such an • . : I•. : I. /"■ ^! bildung liegt, daß sich seine frequenzbestimmende elektrische f/ "■ ^! Education lies in the fact that its frequency-determining electrical f • ;:..,; ^Eigenschaft, vorzugsv/eise der \liderstandswert, beim Bewegen eines Einstellorgans, vorzugsweise eines Spannungsabgriffs (53; 73), ausgehend von einer die Abgabe von Impulsen an die Schrittmotoren (21) verhindernden Nullstellung nach beiden Richtungen gleichsinnig ändert, und dai3 mit dem Sinstellorgan (53; 73) Kontaktmittel (56; 77) verbunden sind, die in. Abhängigkeit davon, in welche der beiden Richtungen das Einstellorgan (53; 73) aus der Imllstellung jeweils bewegt ist, entweder den Stromkreis des betreffenden Schrittmotors (21) für linkslauf oder den Stromkreis für Rechtslauf des Schrittmotors schließen. jH f-| (\ ^/ O (Q "| -25-•;: ..,; ^ Property vorzugsv / else the \ l iderstandswert, when moving a setting member, preferably a voltage tap (53; 73) from a delivery of pulses to the step motors (21) preventing the zero position in both directions in the same direction changes, and dai3 with the Sinstellorgan (53; 73) contact means (56; 77) are connected, depending on which of the two directions the adjusting element (53; 73) is moved from the Imllstellung in each case, either the circuit of the relevant stepper motor (21) for counterclockwise or close the circuit for clockwise rotation of the stepper motor. jH f- | (\ ^ / O (Q "| -25- Il Il t * «ft« «ι «ftIl Il t * «ft« «ι« ft • t · f it * « «_t • t · f it * «« _t * l * ι ■ ti» ι ι* l * ι ■ ti »ι ι * tv t < · · »it·* tv t <· · »it · t · fit·· *t fit * PA 9/710/2784 - 25 -PA 9/710/2784 - 25 - 13. Korpuskularstrahlgerät nach Anspruch 12, dadurch gekennzeichnet, daß das Einstellorgan (53; 73) und die Kontaktmittel (52; 77) auf einem in Richtung seiner Achse verschiebbar gelagerten stungenartigen Bauteil (40, 41; 76) derart angeordnet sind, daß bei Verschiebebewegungen des stangenartigen Bauteils (40, 41; 76) das Einstellorgan (53; 75) die frequenabestiramendc elektrische Eigenschaft des elektrischen Schaltungselements (59: 70) ändert und die Kontaktmittol (52; 77) über Gegenkontakto (54, 55) in den Stromkreisen des Schrittmotors (21) gleiten.13. Corpuscular beam device according to claim 12, characterized in that that the adjusting member (53; 73) and the contact means (52; 77) are displaceable on one in the direction of its axis mounted stung-like component (40, 41; 76) in such a way are arranged that when the rod-like component (40, 41; 76) is displaced, the adjusting member (53; 75) the frequenabestiramendc electrical property of the electrical Circuit element (59: 70) changes and the Kontaktmittol (52; 77) via mating contacts (54, 55) in the circuits of the stepper motor (21) slide. 14- Korpuokularstrahlgerät nach Anspruch 13» dadurch gekennzeichnet, daß das stangenartige Bauteil (40, 41; 76) unter Feuerwirkung (44, 45) mit einem Ende gegen einen in der , Nullst ellung zuraindest-ungefähr senkrecht zu ihm stehenden /.■ Hebel (49) drückt, der mit dem seinem, als Handgriff dienenden Ende abgekehrten Ende (50) in Achsrichtung des stangenartigen Bauteils (40, 41; 76) schwenkbar eingespannt (51) ist.14- Corpus ocular beam device according to claim 13 »characterized in that the rod-like component (40, 41; 76) under the action of fire (44, 45) with one end against a lever which is at least approximately perpendicular to it in the zero position. 49), the end (50) facing away from its end serving as a handle is clamped (51) pivotably in the axial direction of the rod-like component (40, 41; 76). 15.,Korpuskularstrahlgerät nach Anspruch 14, dadurch gekennzeichnet, daß der Hebel (49) mehreren Schrittmotoren (21) in der Weise zugeordnet ist, daß mehrere stangenartige Bauteile (40, 41) aus -verschiedenen Richtungen gegen ihn drücken und er in diesen Richtungen schwenkbar eingespannt (51) ist.15., corpuscular beam device according to claim 14, characterized in that that the lever (49) is assigned to several stepper motors (21) in such a way that several rod-like components (40, 41) press against it from different directions and it is clamped (51) so that it can pivot in these directions. -26--26- • ·• · • ·• · PA 9/710/2784 - 26 -PA 9/710/2784 - 26 - 16. Korpuskularstrahlgerät nach Anspruch 14 oder 15, dadurch gekennzeichnet, daß der Hebel (49) mehreren Schrittmotoren (21) in der Weise- zugeordnet ist, daß mehrere stangenartige Bauteile in einer gemeinsamen, den Hebel enthaltenden Ebene liegend gegen ihn drücken.16. Corpuscular beam device according to claim 14 or 15, characterized characterized in that the lever (49) has several stepper motors (21) is assigned in such a way that several rod-like components in a common plane containing the lever press against him while lying down. 17. Korpuskularstrahlgerät nach Anspruch 15, dadurch gekennzeichnet, daß sv/ei stangenartige Bauteile (40, 41) um vorzugs-17. Corpuscular beam device according to claim 15, characterized in that that sv / ei rod-like components (40, 41) around preferential C ) weise 90° gegeneinander versetzt angeordnet gegen den HebelC) offset by 90 ° against the lever (49) drücken und dieser in allen Richtungen schv/enkbar eingespannt (51) ist.Press (49) and it is clamped so that it can be swiveled in all directions (51) is. 18. Korpuskularstrahlgerät nach Anspruch 17, dadurch gekennzeichnet, daß der Hebel (49) an seinem eingespannten Ende eine18. Corpuscular beam device according to claim 17, characterized in that that the lever (49) at its clamped end a ; Kugel (53) trägt.; Ball (53) carries. 19. Korpuskularstrahlgerät nach Anspruch 18, dadurch gekennzeichnet, daß der Hebel (49) ballige Auflageflächen (48) für die Enden der stangenartigen Bauteile (40, 41) besitzt, die ihrerseits Auflageflächen (46, 47) solcher Größe tragen, daß der Hebel (49) in allen Stellungen die Lage aller stangenartigen Bauteile (40, 41) bestimmt.19. Corpuscular beam device according to claim 18, characterized in that that the lever (49) has spherical bearing surfaces (48) for the ends of the rod-like components (40, 41) which in turn, bear bearing surfaces (46, 47) of such a size that the lever (49) in all positions the position of all rod-like Components (40, 41) determined. 20. Korpuskularstrahlgerät nach einem der Ansprüche 1 bis 19, dadurch gekennzeichnet, daß zwischen dem Impulsgeber (56) und den Schrittmotoren (21) voreinstellbare Impulszähler (57) angeordnet sind.20. Corpuscular beam device according to one of claims 1 to 19, characterized in that between the pulse generator (56) and the stepper motors (21) presettable pulse counters (57) are arranged. - e- e PA 9/710/2784 - 27 -PA 9/710/2784 - 27 - 21. Korpuskularstrahlgerät nach einem der Ansprüche 8 bis 20, dadurch gekennzeichnet, daß jeweils eine Verstellspindel (1) mit dem ihr zugeordneten Schrittmotor (21) sowie gegebenenfnllü einer elektromagnetischen Kupplung (12) und/oder einem übersetzungsgetriebe (20) eine selbständige Baueinheit bildet.21. Corpuscular beam device according to one of claims 8 to 20, characterized in that in each case one adjusting spindle (1) with the stepping motor (21) assigned to it and, if applicable, an electromagnetic clutch (12) and / or a transmission gear (20) forms an independent structural unit. 22. Korpuskularstrahlgcrät nach Anspruch 21, dadurch gekenn- .* zeichnet, daß die Verstellsgdndc-l (1) aus mehreren, durch _:^*22. Corpuscular beam device according to claim 21, characterized in that the adjustment gdndc-l (1) consists of several, by _: ^ * /"Λ , Kardangelenke (8, 9) verbundenen Teilen (4-7) zusammengesetzt ■ i/ ,'-ist./ "Λ, universal joints (8, 9) connected parts (4-7) composed ■ i / , '- is. 23. Korpuskularstrahlgerät nach den Ansprüchen 8, 9 und 22, 'dadurch gekennzeichnet, daß einco der Teile (7) ein Handrad •?(19) trägt. ' '^:-"23. Corpuscular beam device according to claims 8, 9 and 22, 'characterized in that one of the parts (7) carries a handwheel •? (19). '' ^: - " •24. Korpuskularstrahlgerät nach einem der Ansprüche 10 bis 23,' '^'"dadurch gekennzeichnet, daß das der elektromagnetischen Kupp--^; • lung (12) benachbarte Ende der Verstollspindol (1) mit s^i!iier ^ I.Ausgangsv/elle (11) der elektromagnetischen Kupplung (12) '· - -'durchweine Stiit-Schlitz-Verbindung-(13, 14) ■ drehtest ΐ «after in Achsrichtung der Yerstellspindel (1) Relativbewegungen zulassend verbunden ist.• 24. Charged particle beam device according to any one of claims 10 to 23, '' ^ '' characterized in that the electromagnetic Kupp - ^{^;!} • lung (12) adjacent the end of the Verstollspindol (1) with s ⁱ ^ IIER I.Ausgangsv / elle ( 11) of the electromagnetic clutch (12) '· -' durchweine Stiit-Schlitz-Anschluss- (13, 14) ■ turning test ΐ «after is connected in the axial direction of the adjusting spindle (1) permitting relative movements. 25- Korpuskularstrahlgerät nach den Ansprüchen 23 und 24, dadurch gekennzeichnet, daß das der elektromagnetischen Kupplung (12) benachbarte Teil (7) der Yerstellspindel (1) ; ^f* das Handrad (19) trägt.25- corpuscular beam device according to claims 23 and 24, characterized in that the part (7) of the adjusting spindle (1) which is adjacent to the electromagnetic coupling (12); ^f * carries the handwheel (19). -28- j-28- j \ß\ ß PA 9/710/2784 - 28 -PA 9/710/2784 - 28 - 26, Korpuskularstrahlgerät nach den Ansprüchen 21 und 25, dadurch gekennzeichnet, daß die elektromagnetische Kupplung (12) mit dem Schrittmotor (21) mittels eines das ihr26, corpuscular beam device according to claims 21 and 25, characterized in that the electromagnetic clutch (12) with the stepper motor (21) by means of a her benachbarte Seil (7) der Verstellspingel mit dem Handrad (1S) übergreifenden Bügels (17) an dem Teil (6) der Verstellspindel gehalten ist, das dem das Handrad (19) tragenden 2cil (7) benachbart ist.Adjacent rope (7) of the adjusting spindle with the handwheel (1S) overlapping bracket (17) on the part (6) of the adjusting spindle is held, which is adjacent to the 2cil (7) carrying the handwheel (19). 27. KörpuGrCularstrahlgerät nach einem der Ansprüche 15 bis 26, | dadurch gekennzeichnet, daß zur Veruieidung einer Änderung der Zuordnung zwischen Schwenkrichtung (α) des Hebels (49) und dadurch "bewirkter, im Bild beobachteter Ob j ektvers teilung infolge Änderungen einer im Gerät hervorgerufenen Bilddrehung die stangenartigen Bauteile (40, 41) um die Achse des Hebels (49) drehbar gelagert sind.27. Body / circular beam device according to one of claims 15 to 26, | characterized in that to avoid a change the assignment between the pivoting direction (α) of the lever (49) and the resulting object distribution observed in the image as a result of changes in an image rotation caused in the device, the rod-like components (40, 41) about the axis of the lever (49) are rotatably mounted. . ι .· , .1 . ι· ,·■ t A ! Λ tflit ',Λ 'ίιΛ A^.ttO^!ί^ C ' te .-t » ·. ι ■ ··· ί!. ι. ·, .1. ι ·, · ■ t A! Λ tflit ', Λ ' ίιΛ A ^ .ttO ^! Ί ^ C 'te.-T »·. ι ■ ··· ί! . » . . - < " j-.it.it * o!iv;o;eln;n vw^n AuI Λ/ι!?03 ιηύχι l.'er>oo. ». . - <" j-.it.it * o! iv; o; eln; n vw ^ n AuI Λ / ι !? 03 ιηύχι l.'er> oo uu um uuitihe^i PiW^n -ieliefed. Deubohc* fulenloml, um uuitihe ^ i PiW ^ n -ieliefed. Deubohc * fulenloml, 0289102891