DE1598891C - Vorrichtung zur Rontgenemissions analyse - Google Patents

Description

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wenigstens ein Filter aus einer gasdichten Kammer stellten Ausführungsform weist die Kammer 17 mit Fenstern zum Ein- und Austritt der emittierten Kapillarrohre 23 und 24 auf. Das Kapillarrohr 23 ist Strahlenbündel sowie mit Zu- und Abführungen für mit einer Gasflasche 25 über einen Hahn 26 verbundas Filtergas. Die Fenster bestehen bevorzugt aus den. Das Kapillarrohr 24 ist mit einer Pumpe 27 über einem Film aus Kollodium und Stützgittern für diesen 5 einen Hahn 28 verbunden. Durch ein Manometer 29 Film. In einer besonders vorteilhaften Ausführungs- wird jederzeit der Wert des Druckes im Inneren der form bestehen die Zu- und Abführungen der gasdich- Kammer 17 gemessen. Es versteht sich, daß andere ten Kammer aus Kapillarrohren, von denen die eine Mittel dem Fachmann zur Verfügung stehen, um den aus einer Gasflasche über einen Hahn und die andere Druck im Inneren der einen oder anderen Kammer mit einer Pumpe über einen Hahn verbunden ist. io oder beider Kammern beliebig zu steuern.
Zweckmäßigerweise ist an der gasdichten Kammer ein Die Vorrichtung umfaßt noch gleiche Nachweis-Manometer angebracht. mittel, welche die die Filter durchsetzenden Strahlen-Weitere vorteilhafte Ausbildungen des Erfindungs- bündel empfangen und die in ihrem Empfindlichgegenstandes sind Gegenstand der Unteransprüche. keitsbereich die Intensität der Strahlung messen. Die Anwendung eines Gases als Filter beseitigt die 15 Weiterhin sind Mittel vorgesehen, um die Differenz bei den festen oder flüssigen Filtern auftretenden Pro- der beiden Messungen zu bilden. Da die Intensitäten bleme im Falle, daß sehr weiche Strahlung untersucht der beiden gefilterten Strahlenbündel außerhalb des werden soll. Die Schwierigkeiten rühren daher, daß Untersuchungsbereiches gleich sind, ergibt diese die Filter dann extrem dünn und aufeinander abge- Differenzbildung einen Aufschluß über die Absorpstimmt sein müssen. Ein gasförmiges Filter kann 20 tion im Untersuchungsbereich, der zwischen den beischnell und bequem den Bedingungen bezüglich der den Absorptionskanten der verwendeten Filter liegt. Gleichheit der Absorptionskoeffizienten der beiden Das das Filter 13 bzw. 14 durchsetzende Strahlen-Filter angepaßt werden. Diese Anpassung erfolgt für bündel wird zu diesem Zweck einem Proportionalalle Wellenlängen außerhalb des Untersuchungs- zähler 30 bzw. 31 (F i g. 1) zugeführt. Die Proportiobereiches, der durch die Filterelemente bestimmt 25 nalzähler 30 und 31 sind gleich und können aus einer wird. Ionisationskammer mit Fenster 32 bzw. 33 bestehen. In der nun folgenden Beschreibung wird an Hand Es sind Röhrchen 36, 37 bzw. 38, 39 vorgesehen, um der Zeichnungen ein Ausführungsbeispiel der Erfin- das ionisierbare Gas zu- und abzuführen. Die Zähler dung erläutert. Dabei zeigt liefern an ihrem Ausgang 34 bzw. 35 elektrische Im-F i g. 1 den schematischen Aufbau einer beispiels- 3° pulse. Die von den Zählern in einer bestimmten Zeit weisen Vorrichtung, abgegebenen Impulse werden gezählt, und es wird

F i g. 2 den schematischen Aufbau einer Steuer- die Differenz der beiden Zählwerte gebildet,

einrichtung eines Filters gemäß der Erfindung, Nach einer Variante werden die Impulse der beiden

F i g. 3 bis 6 Diagramme, Zähler einem elektronischen Vorwärts-Rückwärts-

F i g. 7 den schematischen Aufbau von einem Teil 35 Zähler zugeführt, welcher direkt an seinem Ausgang

der Apparatur, die Differenz der beiden übertragenen Intensitäten

F i g. 8 den schematischen Aufbau eines Filters, abgibt.

F i g. 9 den schematischen Aufbau eines weiteren Nach der in F i g. 1 gezeigten Ausführungsform Filters, sind die Ausgänge der Zähler 30 und 31 mit Vorver-Fig. 10 die Lage der Filter bei einer Mehrfachan- 40 stärkern 40 bzw. 41 verbunden, denen Linearverstärordnung, ker 42 bzw. 43 und weiterhin Amplitudendiskrimina-F i g. 11 eine erläuternde Tabelle. toren 44 bzw. 45 nachgeschaltet sind. Der Ausgang Es wird zunächst Bezug auf F i g. 1 genommen. Die jedes Diskriminators ist mit einer Zähleinrichtung 46 Elektronenkanone 10 beschießt durch eine Blende bzw. 47 und einem Integrator 48 bzw. 49 verbunden. 11 hindurch den zu analysierenden Körper oder die 45 Die Kammern 17 und 18 der Filter 13 und 14 entProbe 12. Aus der dadurch emittierten Strahlung wer- halten jeweils verschiedene Gase mit Bestandteilen, den zwei Bündel ausgeblendet und jeweils einem FiI- welche im periodischen System der Elemente beter 13 bzw. 14 zugeführt. Diese Filter 13 bzw. 14 nachbart sind. Es sei beispielsweise angenommen, sind so aufgebaut und/oder so angeordnet, daß sie an daß das in der Probe zu bestimmende Element Sauerihrem Eintrittsfenster 15 bzw. 16 gleiche Strahlen- 5° stoff sei: dann wird die Kammer 17 mit Sauerstoff bündel, insbesondere mit gleichem öffnungswinkel, gefüllt und die Kammer 18 mit Stickstoff. Die F i g. 3 empfangen. Die Strahlung der Bündel kann mehrere zeigt in Abhängigkeit von der Wellenlänge die Durchcharakteristische Wellenlängen und ein kontinuier- laßkoeffizienten für Sauerstoff. (Wenn im folgenden liches Spektrum enthalten. Die Filter 13 und 14 sind von Durchlaßkoeffizienten die Rede ist, dann soll daim Vakuum angeordnet; sie bestehen aus einer Kam- 55 mit der inverse Absorptionskoeffizient bezeichnet mer 17 bzw. 18, mit Eintrittsfenster 15 bzw. 16 und werden.) Es sind zwei mit wachsender Wellenlänge dem Austrittsfenster 19 bzw. 20, aus einem Gasstrom fallende Kurvenstücke 50, 51 sowie eine diese beiden

21 bzw. 22. Die Gasströme 21 bzw. 22 enthalten als Teile 50, 51 verbindende Vertikale 52 zu sehen. Bei Grundbestandteile verschiedene Gase; diese Gase ent- der Wellenlänge L_n tritt demnach eine Diskontinuität halten jeweils benachbarte Elemente des periodischen 60 des Durchlaßkoeffizienten (Absorptionskante) auf, Systems. Es wird Sorge getragen, daß die Filter auf was bei der Wellenlänge L₀ für Sauerstoff charakdas emittierte Spektrum gleich einwirken, außer in teristisch ist.

dem schmalen, durch die beiden Absorptionskanten Die F i g. 4 ist ein ähnliches Diagramm, aber in

der Filterelemente gegebenen Untersuchungsbereich. Beziehung auf die Durchlaßkoeffizienten des Stick-

Dicse gleiche Wirkung wird beispielsweise durch 65 stoffes, der im Filter 14 benutzt ist. Es sind ebenfalls

Steuerung des Druckes des Gasstromes 21 und/oder zwei fallende Kurvenstücke 53 und 54 zu sehen, die

22 erzielt. bei der Wellenlänge L_n durch eine Vertikale 55 ver-Nach einer in F i g. 2 ziemlich schematisch darge- bunden sind.

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Um die Durchlaßkoeffizienten zu steuern, wird der ten Elementes, beispielsweise Sauerstoff, in einem Druck in der Kammer 17 und/oder 18 so variiert, daß Körper oder Probestück wird dieser in den Elektrobezüglich der Kurvenstücke 50/53 und 51/54 gleiche nenstrahl 9 eingebracht. Die benutzte Beschleuni-Charakteristik erzielt wird, d. h., daß diese Kurven- gungspannung ist relativ schwach, in der Größenordstücke 50/53 bzw. 51/54 zusammenfallen oder zu- 5 nung von 2 Kilovolt. Die Möglichkeit, geringe mindest nahe benachbart sind. Ein derartiges Dia- Energien zu benutzen, folgt aus dem relativ großen gramm ist in F i g. 5 gezeigt. Durch Erhöhung des Öffnungswinkel der Röntgenstrahlen, die in die Zäh-Druckes in der Kammer 17 wird die Kurve nach ler eintreten. Die Korrekturen, die deshalb notwendig F i g. 3 parallel zur Ordinatenachse verschoben, wobei sind, weil die Röntgenstrahlen, welche von den tiefen zusätzlich eine gewisse Deformation eintritt. Durch io Schichten der Probe emittiert werden, teilweise von eine Verminderung des Druckes wird die Kurve in den weniger tiefen Schichten absorbiert werden, werentgegengesetztem Sinne verschoben. In gleicher den gleichzeitig vermindert, wenn nicht unterdrückt. Weise wirkt sich eine Vergrößerung des Druckes in Das Zählergebnis der Zähleinrichtung 47 wird vom der Kammer Ϊ 8 in einer Verschiebung der Kurven 53 Zählergebnis der Zähleinrichtung 46 abgezogen, und und 54 parallel zur Ordinatenachse nach unten und 15 die Differenz charakterisiert den Anteil des Sauereine Verringerung des Druckes in einer Verschiebung stoffes im analysierten Körper,
nach oben aus. Die Diskriminatoren 44 und 45 erlauben die Zäh-Die Absorptionskanten des Sauerstoffes und des lung verschiedener Energienniveaus für verschiedene Stickstoffes haben nicht genau den gleichen Wert; es Wellenlängen, z. B. abgestuft.

werden deshalb Mittel vorgesehen, um die Absorp- 20 ' Bei der Messung des Sauerstoffgehalts sind die

tion der beiden Filter gleichzeitig von beiden Seiten Filtergase jeweils Sauerstoff und Stickstoff. Die Fen-

des die Absorptionskanten trennenden Bandes aus- ster 15, 16 der Kammern 17, 18 sind für weiche

zugleichen. Das Gas der Filter wird zu diesem Zweck Röntgenstrahlen durchlässig und bestehen aus einer

mit -einer geringen Menge eines schweren Gases Schicht von Kollodium von 0,1 ,um Dicke, das auf

versetzt. 25 Trägergitter aufgebracht ist.

Um die Koinzidenz der Kurven 50 und 53 einer- Die beispielsweise Vorrichtung wurde auch mit Er-

seits und der Kurven 51 und 54 andererseits zu ver- folg für die Bestimmung von Stickstoff eingesetzt,

bessern, wird in die eine und/oder andere Kammer wobei die verwendeten Filtergase Stickstoff und Me-

ein Gas eingebracht, dessen Kurve der Massenabsorp- than waren.

tionskoeffizienten bzw. Durchlaßkoeffizienten keine 30 Es wurde festgestellt, daß dabei die Absorptions-

Absorptionskante im Empfindlichkeitsbereich des Verhältnisse außerhalb des Meßbereichs gleich sind,

Zählers aufweist (Massenabsorptionskoeffizient—μ/ρ, so daß die Einjustierung durch Zumischung eines

wobei μ der Schwächungskoeffizient und 0 die Dichte weiteren Gases, z. B. Krypton, nicht notwendig war.

des absorbierenden Körpers ist). Dieser Empfindlich- Für eine Probe auf der Basis von Kupfer, deren

keitsbereich des Zählers 30, 31 ist gewöhnlich größer 35 Gehalt an Stickstoff weniger als 4 Gewichtsprozent

als der Bereich zwischen"-·!/) und L_n, wobei die Pro- der Probe enthielt, konnte ein Verhältnis Signal/

portionalzähler eine Empfindlichkeit haben, die sehr Grundrauschen von 2,5 für die Spektrallinie des

schnell gegen Null geht, wenn man sich von der WeI- Stickstoffes erhalten werden. Es kann demnach ein

lenlänge, welche der Maximalempfindlichkeit ent- unter l°/o liegender Gehalt an Stickstoff in einer spricht, entfernt. Im speziell betrachteten Beispiel 40 Probe von mittlerem Atomgewicht nachgewiesen

wurde durch dosierte Einführung von Krypton eine werden.

zufriedenstellende Überlagerung der Kurven erreicht. (Es sei daran erinnert, daß die Qualität des NachWenn die in dem Inneren der Kammern 17 und weises einer charakteristischen Spektrallinie durch 18 herrschenden Drücke zugleich verändert werden, das Verhältnis Signal/Grundrauschen gegeben ist, werden die Kurven 50, 51 und 53, 54 gleichzeitig ver- 45 d. h. das Verhältnis zwischen der Intensität der schoben, ohne daß ihre relative Lage zueinander ver- charakteristischen Spektrallinie und der Störintensität, ändert wird. Dies wird ausgenutzt, um bei passenden welche entweder vom kontinuierlichen Spektrum her-Meßwertordinaten der Zähler Zu arbeiten, wobei die rührt oder von unerwünschten Reflexionen und Fehlerabweichung ein Minimum einnimmt. So mar- Diffusionen.)

kiert beispielsweise der Punkt 56 die Wellenlänge der 50 In F i g. 6 sind die Ergebnisse einer Anzahl von

K-Linie des Sauerstoffs, nämlich 23,6 A. Hierfür ist Messungen bezüglich verschiedener Bestandteile auf-

der passende Ordinatenwert t von der Größenordnung gezeichnet. Auf der Abszisse sind die wahren Anteile

von 30 bis 40%. an Sauerstoff und auf der Ordinate die gemessenen

Es kann in praxi wie folgt vorgegangen werden. Anteile an Sauerstoff aufgetragen. Die gemessenen

Es wird angenähert durch Rechnung der Druck 55 relativen Intensitäten des Sauerstoffes sind bezüglich

bestimmt, der z.B. in der Kammer 17 herrschen muß, des Grundrauschens korrigiert, wobei angenommen

damit die Absorptionskante eine passende Ordinate ist, daß die Intensität des Grundrauschens propor-

aufweist. Dieser Punkt ist der Punkt 56 im betrachte- tional der mittleren Atomzahl der Probe ist. Das

ten Fall-Die Apparatur wird in Gang gesetzt und der Grundrauschen wurde mit einer Probe mit bestimmter

Druck in der anderen Kammer 18 so verändert, daß 60 Ordnungszahl bestimmt. Das Diagramm zeigt eine

für das andere Filterelement (dessen charakteristische gute Linearität zwischen der Beziehung Emission—

Wellenlänge ebenfalls im Empfindlichkeitsbereich des Konzentration. Die Punkte für die verschiedenen Ver-

Zählers liegt) gleiche Zählergebnisse für beide Zähl- bindungen liegen nahe oder auf der Geraden von 45°.

ketten eintreten. In F i g. 5 ist beispielsweise die cha- Die Beschleunigungsspannung der Elektronen war

rakteristische Abszisse α der K-Linie des Stickstoffes 65 2000 Volt, damit die Korrektur der Absorption der

(für NB) eingezeichnet, die benutzt werden kann. Röntgenstrahlen in der Probe selbst gering bleibt; der

Die Vorrichtung ist dann für den Einsatz vorbe- Strom war 0,1 Mikro-Ampere; trotzdem wurde eine

reitet: Für die Bestimmung des Anteiles eines leich- Anzahl von 420 Impulsen pro Sekunde für reinen

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Sauerstoff gemessen (berechnet auf Grund einer Wulst aus Kollodium 105 sorgt für die Abdichtung

Extrapolation der Kurve). Es können noch mehr Im- der Membran in der Verbindungszone mit der Rippe,

pulse pro Zeiteinheit erhalten werden, wenn Bündel Eine Dichtung 106 ist vorgesehen zur Abdichtung des

mit größerer Öffnung benützt werden. Fensters und des Körpers des Filters.

Die Vorrichtung kann zur Bestimmung der Kon- 5 In einer derartigen Vorrichtung konnten gute Rezentration des einen oder mehrerer Bestandteile aus sultate erzielt werden, wenn das Filter ungefähr den Elementen Beryllium, Bor, Kohlenstoff, Stickstoff, 4 cm von der Probe entfernt und der Zähler ungefähr Sauerstoff, Fluor dienen. 12 cm von der Probe angeordnet waren. Das Fenster

In F i g. 7 ist ein Teil eines derartigen Apparates des Zählers hatte rechteckförmigen Umriß mit Seiten

schematisch gezeichnet. Er umfaßt zwischen der Elek- to zu jeweils 12 und 16 mm.

tronenkanone 10 und der Probe 12 einen Kondensa- Der Winkel, unter dem das Fenster von der Probe

tor 110, eine Blende 111 für die Regulation des Bün- zu sehen war, hatte einen Wert von ungefähr 9° an

dels, eine Tasteinrichtung 112, um den Beleuchtungs- der Stelle seiner größten Ausdehnung,

fleck zu verschieben, dessen Durchmesser von der Die neue Vorrichtung kann zur Bestimmung der

Größenordnung eines Mikrons auf der Probe liegt, ein 15 Konzentration von mehreren Elementen dienen und

Objektiv oder magnetische Linse 113, eine Kühlein- umfaßt dann mehrere Paare von Filtern, wobei ge-

richtung 114, Filter 115, Zähler 116 und einen ohm- wisse Filter in mehreren Paaren Verwendung finden

sehen Widerstand 117 zwischen der Probe und der können.

Masse. Der Spannungsabfall am Widerstand 117 wird In Fig. 10 ist schematisch eine Vorrichtung mit

einem Oszillographen zugeführt, was zur Kontrolle ao sechsfacher Symmetrie gezeigt. Bei dieser Anordnung

dient. wirken sich die Aberrationsfehler der Linsen wenig

Es wird nunmehr Bezug auf die F i g. 8 genommen, aus. Um die Probe 12 herum sind symmetrisch und

die eine beispielsweise Ausführungsform eines Filters abwechselnd Gasfilter 120, 122, 124 und Festfilter

zeigt. Er umfaßt einen Körper 90, der mit zwei Fen- 121, 123, 125 angeordnet. Zwei aufeinanderfolgende

stern 91 und 92 eine Kammer 93 begrenzt, die das 25 Filter haben einen Winkelabstand von 60°.

gasförmige Absorptionsmittel enthält, das auf vorbe- In F i g. 11 sind oben die Elemente aufgezeichnet,

stimmtem Druck gehalten wird. Ein Rohr 94 ist über deren Konzentration bestimmt werden soll, und

ein Kapillarrohr 95 mit einer Gasquelle verbunden, unten die hierfür bevorzugt verwendeten Filterstoffe,

während ein weiteres Rohr 96 über ein weiteres Zur Bestimmung von F wird als Filterpaar LiF/O₂,

Kapillarrohr 97 mit einer Senke (Vakuum) ver- 30 von O als Filterpaar O₂N₂, von N als Filterpaar

bunden ist. Die F i g. 9 zeigt eine Ausführungs- N.,/CH₄, von C als Filterpaär C/B und von B als FiI-

form eines Fensters. Dieses umfaßt eine Mem- terpaar B/LiF verwendet.

bran 100 aus Kollodium oder einem analogen In der vorliegenden Beschreibung wurden die Stoff. Die Membran sitzt auf einem Gitter 101, das spektral zu analysierenden Röntgenstrahlen von von einem weiteren Gitter 102 getragen wird. Das 35 einem Körper emittiert, der mit beschleunigten Elek-Gitter 102 ist auf einer Zarge 103 eines Flansches 104 tronen beschossen wurde. Emission von Röntgenbefestigt. Der Flansch 104 wird beispielsweise durch strahlen kann selbstverständlich auch durch andere Verschraubung mit dem Körper 90 verbunden. Ein Mittel als durch Bestrahlung erhalten werden.

Hierzu 2 Blatt Zeichnungen

Claims (1)

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der Elektronenkanone (10) und der Probe (12) ein

Patentansprüche: Kondensator (110) und/oder eine Blende (111)

für die Regulation des Bündels und/oder eine

1. Vorrichtung zur quantitativen Röntgen- Tasteinrichtung (112), um den Beleuchtungsfleck emissionsanalyse mit einem Rossschen Differenz- 5 zu verschieben, und/oder eine Magnetlinse (113) filterpaar (bei dem die Absorptionskanten der und/oder eine Kühleinrichtung (70, 114) angeord-Filter knapp oberhalb und unterhalb der Emis- net sind.

sionslinie des untersuchten Stoffes liegen), da- 14. Vorrichtung nach einem der vorstehenden

durch gekennzeichnet, daß das Filter- Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß eine

material wenigstens eines Filters gasförmig ist. io Vielfachanordnung von Empfangsstrahlengängen

2. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch ge- mit zugehörigen Filtern und Zähleinrichtungen kennzeichnet, daß die Emissionsanregung der ■ vorgesehen ist.

Untersuchungsprobe (12) durch Elektronenbeschuß (10) erfolgt.

3. Vorrichtung nach Anspruch 1 oder 2, da- 15 '

durch gekennzeichnet, daß wenigstens ein Filter

(13, 14) aus einer gasdichten Kammer (17,18, 93)

mit Fenstern (15, 16, 91, 92) zum Ein- und Aus- Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung zur

tritt der emittierten Strahlung sowie mit Zu- und quantitativen Röntgenemissionsanalyse mit einem

Abführungen (94, 96) für das Filtergas besteht. 20 Rossschen Differenzfilterpaar (bei dem die Absorp-

4. Vorrichtung nach Anspruch 3, dadurch ge- tionskanten der Filter knapp oberhalb und unterhalb kennzeichnet, daß die Fenster (15, 16) aus einem der Emissionslinie des untersuchten Stoffes liegen). Film (100) aus Kollodium bestehen und Stütz- Eine derartige Spektralanalyse dient dazu, die gitter (101, 102) für diesen Film aufweisen. Konzentration eines chemischen Elementes in einer

5. Vorrichtung nach Anspruch 3 und 4, da- 35 Probe festzustellen. Dabei wird die Probe mit Elekdurch gekennzeichnet, daß die Zu- und Abführun- tronen beschossen und die Emission einer für die gen (94, 96) der gasdichten Kammer (18, 17, 93) Probe charakteristischen Röntgenstrahlung beobachaus Kapillarrohren (23, 24) bestehen, von denen tet. Diese Röntgenstrahlung kann z. B. mit einem Kridie eine (23) mit einer Gasflasche (25) über einen stall dispergiert werden. Die so erhaltene Strahlung Hahn (26), und die andere mit einer Pumpe (27) 30 bestimmter Wellenlänge wird zum Zwecke der Intenüber einen Hahn (28) verbunden ist. . sitätsmessung einem Detektor zugeführt.

6. Vorrichtung nach Anspruch 3 bis 5, da- Bei den mit einem Monochromatorkristall arbeitendurch gekennzeichnet, daß an der gasdichten den Apparaten ist dieser so angeordnet, daß eine Kammer (17. 18, 93) ein Manometer (29) angc- Abtastung und Auswertung nach Wellenlängen vorbracht ist. 35 genommen werden kann. Der die dispergierte

7. Vorrichtung nach Anspruch 3 bis 6, dadurch Röntgenstrahlung aufnehmende Detektor weist eine gekennzeichnet, daß der Druck in der gasdichten Bewegung auf, die mechanisch mit der des Kristalls Kammer (17, 18, 93) so eingestellt wird, daß die gekoppelt ist.

Absorption außerhalb des schmalen Unter- Bei diesen Apparaturen ist jedoch die Apertur des

suchungsbereiches mit der des anderen Filters 40 in den Detektor eintretenden Bündels sehr klein, so

übereinstimmt. daß nur ein geringer Teil der auf einer bestimmten

8. Vorrichtung nach Anspruch 1 bis 7, dadurch Wellenlänge ausgestrahlten Energie in den Detektor gekennzeichnet, daß das Filtermaterial beider FiI- eintritt, wodurch die Nachweisempfindlichkeit der ter (13, 14) gasförmig ist. Einrichtung herabgesetzt ist. Das gleiche gilt für

9. Vorrichtung nach Anspruch 3 bis 8, dadurch 45 Apparate, welche für die Dispersion der Röntgengekcnnzcichnet, daß zwecks Übereinstimmung der strahlung ein Gitter verwenden wurden.
Absorptionskoeffizienten außerhalb des schmalen Es sind ferner Vorrichtungen bekannt, die ein so-Untersuchungsbereiches dem Filtergas bzw. einem genanntes Rosssches Differenzfilterpaar verwenden, der beiden eine Zumischung eines weiteren Gases d. h. jeweils zwei Filter, welche die gleichen Absorpzugegeben wird, das im Untersuchungsbereich 5° tionscigenschaften, außer für ein relativ schmales keine Absorptionskante aufweist. Wellenlängenband, aufweisen. Die Bestimmung der

K). Vorrichtung nach Anspruch 1 bis 9, da- Intensität einer Strahlung, deren Wellenlänge in die-

durch gekennzeichnet, daß zur Bestimmung des scm Band-enthalten ist, wird mittels zweier Zähler

Gehaltes an einem bestimmten Element einerseits erhalten, weiche mit der diese Filter durchsetzenden

dieses Element oder eine Verbindung hiervon, 55 Strahlung beaufschlagt werden,

andererseits das im periodischen System benach- Bei den bekannten Vorrichtungen bestehen die

harte, nächstleichtere Element oder eine Verbin- verwendeten Filter aus Festkörpern, hauptsächlich aus

dung hiervon verwendet sind. Metall. Die Hauptschwierigkeit besteht dabei in der

11. Vorrichtung nach Anspruch 1 bis 10, da- Herstellung einer exakten Schichtdicke, da die beiden durch gekennzeichnet, daß jedem Strahlengang 60 Filter außerhalb des Meßbereichs gleiche Absorption mit Filter (13, 14) eine Zähleinrichtung (30, 34, aufweisen sollen.

40, 42, 44, 46, 48 bzw. 31, 35, 41, 43, 45, 47, 49, Der vorliegenden Erfindung liegt die Aufgabe zu-

F i g. 1) zugeordnet ist. gründe, diese Schwierigkeit zu umgehen.

12. Vorrichtung nach Anspruch I bis 11, da- Diese Aufgabe wird dadurch gelöst, daß das Filterdurch gekennzeichnet, daß die Filter als Filter- 65 material wenigstens eines Filters gasförmig ist.
stoffe LiF, ().,, N.,, CH₄, C oder B enthalten. Es ist üblich, die Emissionsanregung der Untcr-

13. Vorrichtung nach einem der vorstehenden suchungsprobc durch Elektronenbeschuß zu erzeu-Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß zwischen gen. Als Ausführungsform enthält die Vorrichtung