DE1598025A1 - Verfahren und Vorrichtung zur massenspektrometrischen Analyse von Stoffen - Google Patents
Verfahren und Vorrichtung zur massenspektrometrischen Analyse von StoffenInfo
- Publication number
- DE1598025A1 DE1598025A1 DE19671598025 DE1598025A DE1598025A1 DE 1598025 A1 DE1598025 A1 DE 1598025A1 DE 19671598025 DE19671598025 DE 19671598025 DE 1598025 A DE1598025 A DE 1598025A DE 1598025 A1 DE1598025 A1 DE 1598025A1
- Authority
- DE
- Germany
- Prior art keywords
- electrode
- electrodes
- spark
- ion source
- ion
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J49/00—Particle spectrometers or separator tubes
- H01J49/02—Details
- H01J49/10—Ion sources; Ion guns
- H01J49/12—Ion sources; Ion guns using an arc discharge, e.g. of the duoplasmatron type
-
- H—ELECTRICITY
- H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
- H03K—PULSE TECHNIQUE
- H03K3/00—Circuits for generating electric pulses; Monostable, bistable or multistable circuits
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J49/00—Particle spectrometers or separator tubes
- H01J49/02—Details
- H01J49/022—Circuit arrangements, e.g. for generating deviation currents or voltages ; Components associated with high voltage supply
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J49/00—Particle spectrometers or separator tubes
- H01J49/02—Details
- H01J49/10—Ion sources; Ion guns
- H01J49/18—Ion sources; Ion guns using spark ionisation
-
- H—ELECTRICITY
- H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
- H03K—PULSE TECHNIQUE
- H03K5/00—Manipulating of pulses not covered by one of the other main groups of this subclass
- H03K5/01—Shaping pulses
- H03K5/02—Shaping pulses by amplifying
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Plasma & Fusion (AREA)
- Nonlinear Science (AREA)
- Other Investigation Or Analysis Of Materials By Electrical Means (AREA)
- Electron Tubes For Measurement (AREA)
Description
5158
Associated Electrical Industries .ümited,London
■Verfahren und Vorrichtung zur massenspektrometrischen
Analyse von Stoffen
Die Erfindung betrifft ein Verfahren und eine Vorrichtung
sur.massenspektrometrisclien Analyse von Stoffen und bezieht
sich insbesondere auf'ein Massenspektrometer ait einer funken
strecken-Soaenquelle»
Bei der quantitativen Analyse mit Hilfe eines Masaenspektro
iJietsrs mit einer Punkenionenquelle war es Ms jetzt wichtig,
das.3 die zu analysierendan Verunreinigungen in dem Proben
material homogen verteilt waren f weil die Funken nur aus ein&\«i
kleinen Bereich der Probe gesogen wurden. Die Ionen des Speltro
meterstrahls rührten daher nur von diesar kleinen Fläche her»
Die Verunreinigungen sind jedoch in vielen Stoffen, die vorzugsweise
massenspektrometrisoh analysiert werden t nicht homogen
verteilt» Bs waräaber nicht möglich, diese Stoffe massen spektrometrisch
mit genügender Genauigkeit zu analysieren.
Me .Aufgabe der Erfindung besteht darin, ein Verfahren zu sohaf
fen, naoh dem relativ inhomogene Proben mit größerer Genauig keit
analysiert werden können. Ferner soll ein Gerät oder eine Vorrichtung geschaffen werden, die dieses Verfahren benutzt.
Sin Verfahren zur Analyse von Stoffen mit Hilfe eines Massenspectrometers
mit einer jpunkenionenquelle ist eriindungs gemäß
dadurch gekennzeichnet, daß mindestens eine von mehreren
lunkeneletetroden der Ionenquelle sin© Probe des zu analysis-
senden Stoffes enthält und daömindsstens eine der ,llektroden
clerart feetjegt wird j daß die Probenf läüh© 0 aus d©r die JFunken
gssog©ii werden, fortwälireiscl verändert %·?Ϊ3?'.1»
109809/18Ö0
Weiterhin ist gemäss der Erfindung für ein Massenspektrometer·
eine'Funkenionenquelle mit einer lonenkammer vorgesehen,
in der die Ionen aus dem zu analysierenden Stoff unter verwendung
von mehreren Funkenelektroden erzeugt werden? wobei zumindest
eine der Elektroden eine Probe des zu analysierenden Stoffes enthält und --φμ&© mindestens eine der Elektroden derart
bewegbar ist, dass sich die Probenfläche, aus der die !Tunken
gezogen werden, fortwährend ändert.
Aufgrund dieses Verfahrens wird die Probenflaches aus der die
Ionen stamoien, im Vergleich mit den bekannten Verfahren, die
ruhende Elektroden benutzen,- vergrößert. Wenn zwei ajlindrische
Probenelektroden vorhanden sinds wie es im allgemeinen der
IPaIl ist, darm Immn. die Elektrodetibewegung darin bestehen,
dass eine oder beide Elektroden um ihre Achse gedreht werden. Die Drehrichtung und die Drehgeschwindigkeit hängt dabei 'von
dem Probenstof£3 der Beliühti ng3ciauer9 aber auch von eier Art
der j?urikencLU8l.le ab» Es kann sioh beispielsweise um einen
Hooaxrec[uearf ausen5 CfIe iehs tr oiaf unken oder andere !Tunken
handalii. jlieae Veränderungen ti sr Drehgeschwindigkeit und bezw°
oder Drehriehtung werden zur Einstellung der Empfindlichkeit
benutzt} wenn es notwendig sein sollte» So können s.B. die
beiden Elektroden in derselben Hiehtung und in einem anderen
Fall in entgegengesetzten Richtungen gedreht werden. Die Elektrode oder jede Elektrode wird vorzugsweise in einer solchen
V/eise gedreht, daß die Stelle oder der Ort auf der Elektrode j aus dem die funken gezogen werden9 sich in derselben
Richtung bewagt, wie die aus a©r Ionenquelle abfliegenden Ionens
also in Richtung auf den Spektrometerspalto
Eine Veränderung des Ortes, an dem die Ionen erzeugt
kann in anderer Weise dadurch srraioht XT?erden9 daß man
zumindest ©in© der Elektroden in Bezug auf die ander© Elektrode
Tdezw»Elektroden vibrierend hin- und herbewegt.= Biese Vibration
Iz&nn in einer von drei aufeinander sentereshtstehenden Sichtungen
C die la allgemsiaen x-9- j- imü. a--Aob.se d@e lonenstrahls b®s©i©fe-
©rf-olgen» Bis Titsationsrishtuiig Isarai abar auoh ©ine
' BAD ORiGiNAL
109809/1600
Kombination aus diesen drei Richtungen sein Vorzugsweise
verläuft die Vibrationsrichtung längs der y Achse. Eine derartige
Anordnung hat den Vorteil, daß man beispielsweise keine Motoren und Schleifringe benötigt und daß ein Vibrations
mechanismus * der innerhalb oder ausserhalb der Ionenkammer angeordnet sein kann, relativ einfach aufzubauen und zu
befestigen ist.
Das Verfahren, die Elektroden zu drehen, kann für alle Stoffe unter der Voraussetzung verwendet werden, daß die Stoffe
in die dazu geeignete Elektrodenform gebracht werden können.
Dies ist nicht notwendig, wenn die Elektroden vibriert werden sollen. Ebenso kann die Kühlung bei vibrierenden
Elektroden einfacher durchgeführt werden als bei drehbaren Elektra
Efcn erwartet, daß durch den Gebrauch dieser Funkenionenquellen
die Genauigkeit der Analyse bei bestimmten Massenspektrometern
um ein solches Maß vergrößert wird, dass man dabei die Genau igkeit erreicht, die man bei der Emissionsspektroskopie er
hält.
Die Erfindung wird nun anhand von Figuren im einzelnen be schrieben.
Fig. 1 und Fig. 2 zeigen einen Querschnitt durch erfindungs
gemässe Funkenionenquellen für Massenspektrometer, wobei die
Elektrodenhalter mittels Elektromotoren drehbar sind.
Fig. 3 zeigt einen Querschnitt in vergrößertem Maßstab durch eiTE
bevorzugtem Ausführungsform einer drehbaren Elektrodenhalterung gemäss der Erfindung.
Fig. 4 und Fig 5 zeigen teilweise geschnittene Ansichten
einer vibrierenden Elektrodenhalterung.
Die in Fig. 1 gezeigte Funkenionenquelle enthält eine evakuierbare
Ionenkammer 2, in die sich zwei einstellbare Tragarme 4 mit isolierenden Probenträgern 6 erstrecken, auf
denen jeweils eine Funkenelektrode 8 angeordnet ist. Die,, Funken
109809/1600 ' BAD QB&häL
elektroden 8 enthalten den zu analysierenden Stoff. Elektrodenhalter 10 ,die vorzugsweise zylindrisch ausgebildet
sind, sind mit je einem Läufer, von kleinen Gleichstrommotoren
12 verbunden, so daß die Elektroden von den Moübor-en
um ihre Achsen gedreht werden können. Die Ständer der Motoren sind auf den Isolatoren 6 befestigt. Die Elektrodenhalter
sind über die Motoren mit-entsprechenden S/peiseleitungen 14
verbunden, die über eine Hochspannungsdurchführung 16 aus der Kammer herausgeführt sind.
Infolge der Hochspannung ( normalerweise 20 klT Gleichspannung
mit überlagerter Hochwechselspannung oder -gleichspannung), die an die Elektroden gelegt ist, werden die Motoren 12 von
kleinen Batterien 18 versorgt, die an den Hochspannungsenden der Isolatoren 6 auf Tragarmen 20 angeordnet sind. Die
Batterien, die entweder Primär- oder Sekundärzellen enthalten können, sind für den Betrieb im Hochvakuum abgedichtet und
sind in der lage, die Motoren ununterbrochen für einige Stunden zu betreiben, solange eine Analyse andauert. Die Batterien
können bei jeder neuen Analyse durch, neue Batterien ersetzt werden. 1"1Ur diesen Zweck sind handliche Klemmverbindungen 22
vorgesehen.
Die in Fig. 2 gezeigte Funkenionenquelle enthält eine Ionenkammer
21 , einstellbare Tragarme 41 , Isolatoren 6' , auf
denen die Elektroden ö! mittels Elektrodenhalter 10' ange
ordnet sind, sowie eine Hochspannungsdurchführung Ib1 für die
Versorgungsdrähte 14.' · Im Gegensatz zu der in Fig. 1 gezeigten
Anordnung enthalten die einstellbaren Tragarme drehbare Wellen 30,
die die Isolatoren 6' tragen. Die Elektroden können mittels ·
Elektromotoren 32 gedreht werden,>deren Läufer 34 von den dazugehörigen
Wellen 30 getragen werden oder an diese Wellen angekuppelt sind. Die Elektrodenhalter 10' sind über Schleifringe
an die Speiseverbindungen 14' angeschlossen. Die Motorenetänder
sind vorzugsweise ausserhalb des' evakuierbaren Bereiches des
109809/1600
Gerätes angeordnet .Die Wellen können von Lageaxi. 40
getragen sein, die wiederum in einer dünnwandigen unmagnetischen
Hülse 42 angeordnet sind, die sich vom Innenende des biegsamen Teils 44 des einstellbaren Tragarmes 41
durch, den Spalt zwischen dem Ständer 38 und dem Läufer 34 nach aussen erstreckt und deren äusseres Ende dann vakuumdicht
abgeschlossen ist.
Die Motoren können mit Gleichspannung oder Wechselspannung betrieben werden. Im letzteren lall würde es sich dann um
Käfigläufermotoren oder Synchronmotoren handeln. Beim Antrieb der Motoren mit Wechselspannung kann die Drehgeschwindigkeit
der Elektroden 81 verändert werden, indem man die
den Motorständern zugeführte Frequenz verändert. Wenn die Ständer der Motoren ausserhalb des evakuierten Bereiches des
G-erätes angeordnet sind, dann wird eine Verunreinigung des Hochvakuums durch die Ständerwicklungen vermieden. Die
Lager des Läufers, die notwendigerweise im Vakuum angeordnet sein müssen, bestehen-vorzugsweise aus gefülltem ( filled)
Polytetrafluoräthyleh oder einem ähnlichen Material, das
im Hochvakuum hinreichend gute Betriebsbedingungen zeigt.
Während sich die in !ig. 1 gezeigte Anordnung durch Einfachheit
auszeichnet, kann man bei der in lig. 2 gezeigten Anordnung die Drehgeschwindigkeit verändern und bessere
Hochvakuumbedingungen aufrechterhalten, Dazu ist selbstver
ständlich ein aufwendigerer Aufbau notwendig. Da bei der zweiten Anordnung awch die Elektrodenhalterisolatoren gedreht
werden, müssen die Motoren für eine höhere Leistung ausgelegt sein. Dies ist jedoch unbedeutend, da die Motoren von aussen
mit Energie versorgt werden.
3 zeigt eine bevorzugte Ausführungsform einer drehbaren
Elektrodenhalterungsanordnung. Diese Anordnung enthält einen
50, der über einen Bund 52 an dem einen Ende
BAD ORIGINAL
/ 1 es rt rt
598Ü25
einer Metallwelle 54 koaxial befestigt ist. Die Metallwelle wird von Kugellagern 56 getragen, die innerhalb des inneren
Endes einer Isolierhülse 58 angeordnet sind, die sich "lose durch ein röhrenförmiges Bauteil 60 erstreckt, das vakuumdicht
mit einer Ionenkammer 62 verbunden ist. Das Bauteil weist einen Gewindeflansch 64 auf, auf den ein röhrenförmiges
Paßstück 66 aufgeschraubt ist. Auf das röhrenförmige Paßstück 66 ist ein weiteres röhrenförmiges Einstellglied
aiigeschraubt·. Das äuiSere Ende des einstellbaren Gliedes 68
nimmt ein Lager 70 auf, in das ein Zentrieransatz 72 eingepaßt i ist, der zu einer Druckplatte 74 gehört. Auf der Druck ■
platte 74'befinden sich Druckkissen 76, gegen die drei einstellbare
Mikrometerschrauben 78 drücken können. Die Mikro .meterschrauben 78 sind an einer Einstellplatte 80 befestigt,
die das äussere Ende eines Tragblockes 82 in sich aufnimmt, der über einen vakuumdicht befestigten Balg 84 mit dem
röhrenförmigen Bauteil 60 an der Ionenkammer verbunden/ist.
Der Tragblock 82 hat einen röhrenförmigen Ansatz 86, der sich
in das äussere Ende der Isolierhülse 58 einpaßt. In dem röhrenförmigen Ansatz 86 sind Lager 88 aus Polytetrafluoräthylen
eingepasst, in denen eine weitere Metallwelle 90 gelagert ist. Die Metairwelle 90 1st über eine Welle 92 aus Polytetrafluoräthy!
len mit der. Welle 54 verbunden. Das äussere Ende der Welle trägt den angetriebenen Teil einer magnetischen Kupplung94·
Der treibende Teil der Magnetkupplung wird von einer Welle
getragen, die in den Kugellagern 98 gelagert ist. Db Kugel
lager 98 befinden sich in einer röhrenförmigen Verlängerung 100 der Einstellplatte 80. Die Einstellplatte 80 bildet
einen Teil des Gehäuses für die magnetische Kupplung. Die Welle 96 ist mit einem biegsamen Bauteil 102 verbunden«.
Das biegsame Bauteil 102 wird von einem Motor 104 angetrieben, so daß der Probenaalter 50 gedreht werden kann.
ORIGINAL
1 0 9 Ü Q i / 1 g 0 ß
1698025
Eine Gummi dichtung 106 zwischen dem Tragblock 82 und einem
Plansch 108 aus nichtmagnetischem Material sorgt für eine
vakuumdichte Abdichtung. Eine röhrenförmige Verlängerung
des Flansches 108, die aussen mit einer Kappe abgeschlosse-n
ist, erstreckt sich zwischen die beiden Teile der magnetischen Kupplting 94 und umschliesst den inneren Teil der
Kupplung innerhalb des evakuierbaren Bereiches des Gerätes. Eine Hochspannung führende Leitung ilO ist mit dem Probenhalter
über eine Kohlebürste 112 verbunden. Die Bürste 112 wird von einer Sperrfeder 114 in ihrer Lage gehalten. Die Bürste
steht mit einer Kupferhülse 116 in Verbindung, die auf der Welle 54 befestigt ist.
Die Pig 4 und 5 zeigen vibrierende Elektrodenhalterungsanoränungen.
Ein Probenhalter 120 ist am inneren Ende eines Glasisolators 122 befestigt. Der Glasisolator 122 ist an
seinem anderen Ende mit einem Stab 124 verbunden, der von einem Tragkörper Ϊ26 unterstützt wird. Der Tragkörper
ist lose in einen Hals 128 in einem Befestigungsblock 130 eingepasst. Der Block 130 ist vakuumdicht mit einer Ionenkammer
132 verbunden. Der Tragkörper 126 isx derart geformt, daß
er zur Vibration des Probenhalters 120 eine Schwenkbewegung (_ see-saw movement) des Stabes um den Tragkörper herum er
laubt. Der Stab 124 erstreckt sich durch eine Öffnung in einer Befestigungsplatte 134 und durch einen Balg 135, der
mit der Platte I34 verbunden ist. Das äussere Ende des Balges weist eine Kappe I56 auf, die mit dem Stab 124 vakuumdicht
verfcmnden ist. Die Befestigungsplatte 1^4 ist mit Hilfe
von Schrauben 137, die durch Schlitze 1^8 in der Befestigungsplatte
hindurchgehen, vakuumdicht an dem Befestigungsblock befestigt. Die Schlitze 138 erlauben eine winke!mäßige Ein ~
stellung der Platte. Das äussere Stabende ist an einem Winkelstück i40 befestigt, durch das der Stab mit einem Vibra-
109809/1600
tionsmotor 142 verbunden ist. Der Motor ist an einer feststehenden Halterung 144 befestigt und rechtwinklig inbezug
auf den Stab angeordnet, so daß die Vibration des äusseren
Stabendes in den !Figuren 4 und 5 im wesentlichen in senkrechter
Richtung erfolgt, und zwar um die Spitzen von zwei einstellbaren Drehschrauben 146 herum. Die Schrauben 146
sind in V förmigen Hüten 148 in der Befestigungsplatte 134 gelagert. Die Einstellschrauben sind am Winkelstück 140
mittels eingepaßter Hülsen 150 befestigt. Sperrmuttern 152 dienen
dazu, die Einstellshrauben zu sperren, nachdem die Einstellung mit Hilfe von RändelM3pfen 154 vorgenommen wurde.
Die Befestigung des Motors 142 am Winkelstück 140"ist ebenfalls einstellbar, und zwar mit Hilfe einer einstellbaren
Schraube 156, die einen Rändelknopf 158 aufweist. Die Schraube 156 ist an dem Winkelstück 140 mit Hilfe von Rändelmuttern
und Sechskantsperrmuttern 162 feststellbar. Die Befestigung des Stabes 124 am Winkelstück ist mittels einer Schraube mit
einem Rändelknopf 164 einstellbar.
Mit Hilfe der vorgesehenen Einstellungen ist es möglich,
die Lage einer Probenelektrode, die auf einem Probenhalter befestigt ist, in Bezug auf die L .ge der anderen Elektrode
in der Ionenkammer 132 einzustellen, und zwar vorzugsweise
derart, daß die Elektroden längs der y -Achse voneinander getrennt sind. In den Pig. 4 und Ό sind die senkrecht auf
einanderstehenden Achsen x,y und ζ gezeigt. Eine Vibrationsbewegung
des äusseren Endes des.Stabes 124 in der vorher erwähnten Richtung bewirkt, dass die Probenelektrode in einer
Richtung vibriert, die im wesentlichen parallel zur y-Achse verläuft'.
10980 9/1600
Claims (1)
159Ή025
Patentansprüche
1. Verfahren zur Analyse von Stoffen mit Hilfe eines
Massenspektrometer^ mit einer lunkenionenquelle, dadurch gekennzeichnet, daß mindestens
eine von mehreren Funkenfölektroden der Ionenquelle eine
•^robe des zu analysierenden Stoffes enthält und daß mindestens
eine der Elektroden derart bewegt wird, daß die Probenfläche, aus der die Funken gezogen "werden, fortwährend verändert
wird ·
2. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet,
daß die Elektrode, sofern sie zylinder-förmig ist, um ihre Achse gedreht wird·
3. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet , daß beide Elektroden, sofern sie zylin··-
derförmig sind und Proben des zu analysierenden Stoffes
r ι
enthaltenj, um ihre entsprechenden Achsen gedreht v/erden«
4„ Verfahren nach einem oder bei den der Ansprüche 2 und 3}
dadurch gekennzeichnet, daß die
Elektrode oder jede Elektrode in einer solchen Eichtung gedreht wird, daß die Stelle oder de-r Ort auf der Elektrode ,,
aus dem die 'Funken gesogen werden, in' derselben Eichtung
bewegt wird, in: dor die Ionen von der■Ionenquelle weg -
BAD ORlGiNAL
109809/160-0
1698U25-10
5. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch geke nnzeichnet,
daß zumindest eine der Elektroden in Bezug auf die andere Elektrode oder Elektroden in Vibration
versetzt oder hin- und herbewegt wird.
ü. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch.ge ken nzeichnet
, daß zumindest eine der Elektroden in Bezug auf die andere oder anderen Elektroden in Vibration
versetzt wird, so daß diese Elektrode im wesentlichen parallel zur y-Achse des Ionenstrahls hin- und herbewegt wird.
7· Funkenionenquelle für ein Massenspektrometer, dadurch
gekennzeichnet , daß in einer Ionenkammer mehrere
Funkenelektroden Ionen aus dem zu analysierenden Stoff erzeugen, daß mindestens eine der Elektroden eine Probe
des zu analysierenden Stoffes enthält und daß mindestens eine der Elektroden derart bewegbar ist, daß sich die Probenflache,
aus der die Funken gezogen werden, fortwährend ändert.
8. Funkenionenquell 3 nach Anspruch 7., dadurch gekennzeichnet,
daß ein die Probenelektrode haltender Elektrodenhalter drehbar ist. Lind zwar derart, daß eine
zylindrische Probenelektrode um ihre Achse drehbar ist.
9« Funkenionenquelle nach Anspruch 8, dadurch, gekennzeichnet
j, daß die Drehgeschwindigkeit und bezw» oder Drehrichtung des Elektrodenhalters veränderbar sind.
10. Funkenionenquelle nach Anspruch 75 dadurch gekennzeichnet } daß ein die Probenelektrode hai- &,
tender Elektrodenhalter vibrierbar oder hin- und herbewegbar ist j und zwar derart } daß der Ort auf der Elektrode 9 aus dem
die Funken austreten, fortwährend veränderbar ist.
BAD
IS98Ü25 AA
I·.. Funkenionenguelle nach Anspruch 10, dadurch
gekennzeichnet , daß die vibrierende Elektrode
im wesentlichen parallel zur y-Achse des Ionenstrahis hin- und
herbewegbar ist.
12. Funkenionenquelle nach Anspruch 8, dadurch gekennzeichnet , -daß eine Vorrichtung
zur Drehung der Elektrode einen Elektromotor enthält, der innerhalb der Ionenkammer angeordnet ist.
l'j>. Funkenionenquelle nach Anspruch 12, dadurch
gekennzeichnet , daß eine innerhalb der Ionenkammer
angeordnete Batterie den Motor mit Energie versorgt.
14· Funkenionenquelle nach einem oder beiden Ansprüchen 12
und 13, dadurch gekennzeichnet, daß der drehbare Elektrodenhalter "zum Erzeugen der funken an
eine Energiequelle angeschlossen ist.
Ip. Funkenionenquelle nach einem oder beiden Ansprüchen
8 und 9> dadurch gekennzeichnet, daß
eine Vorrichtung zur Drehung der Elektrode einen Elektromotor enthält, dessen Läufer von einer vakuundichten unmagnetischen
Hülse, die sich zwischen dem Läufer und dem Ständer erstreckt, umgeben ist, so daß der Läufer innerhalb
der evakuierbaren Ionenkammer angeordnet ist, und daß sich der Ständer ausserhalb der Ionenkammer befindet.
16. Funkenionenquelle nach einem oder mehreren der Ansprüche bis 15, dadurch gekennzeichnet , daß der
Motor einen Teil einer einstellbaren befestigungsvorrichtung
für den drehbaren Elektrodenhalter bildet und daß die Lage der Elektrode in Bezug auf die Lage der anderen Elektrode
bezw.Elektroden mit Hilfe dieser Befestigungsvorrichtung einstellbar ist.
SAD 109809/1600
-j? - ■
Ii
Ii
17· Funkenionenquelle nach einem oder beiden Ansprüchen 8 und 9,
dadurch gekennzeichnet, daß ein Motor, der ausserhalb der Ionenkammer angeordnet ist, den Elektrodenhalter
über eine magnetische Kupplung antreibt, daß dBr angetriebene
Teil der magnetischen Kupplung von einer vakuumdichten unmagnetischen Hülse mmgeben ist, die sich zwischen
dem angetriebenen Teil und dem treibenden Teil der Magnetkupplung erstreckt und aussen vakuumdicht verschlossen ist,
so daß der angetriebene Teil innerhalb der Ionenkamtner und der antreibende Teil der magnetischen Kupplung außerhalb der Ionenkammer
angeordnet ist.
18. Funkenionenquelle nach Anspruch 17, dadurch gekennzeichnet
, daß eine biegsame Antriebsverbindung zwischen dem Motor und dem treibenden Teil
der Magnetkupplung besteht.
19· lunkenionenquelle nach einem oder beiden der Ansprüche
und 18, dadurch gekennzeichnet , daß die
magnetische Kupplung innerhalb £iner einstellbaren Befestigungsvorrichtung
für den drehbaren Elektrodenhalter angeordnet ist und daß die Lage der Elektrode mit Hilfe der Befestigungsvorrichtung
in Bezug-auf die Lage der anderen Elektrode bezw.
Elektroden einstellbar ist.
2Oe 3?unkenionenquelle nach Anspruch 19, d a "d u r-c h gekennzeichnet, daß die einstellbare Befestigungsvorrichtung
mehrere-Mikrometergehrauben trägt, die auf die
Befestigungsvorrichtung und einen Bauteil einwirken, der
fest mit der Ionenkammer verbunden ist, und daß ein beugsames
und ausdehnbares Bauteil die einsteilbare Befestigungsvorrichtung
mit d©r Ionenkammer verbindet.
1098097 1600
Leerseite
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
GB21825/66A GB1161431A (en) | 1966-05-17 | 1966-05-17 | Improvements Relating to Mass Spectrometry |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
DE1598025A1 true DE1598025A1 (de) | 1971-02-25 |
Family
ID=10169445
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
DE19671598025 Pending DE1598025A1 (de) | 1966-05-17 | 1967-05-16 | Verfahren und Vorrichtung zur massenspektrometrischen Analyse von Stoffen |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US3603787A (de) |
DE (1) | DE1598025A1 (de) |
FR (1) | FR1523031A (de) |
GB (1) | GB1161431A (de) |
Families Citing this family (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4213051A (en) * | 1978-09-08 | 1980-07-15 | Nasa | Dual acting slit control mechanism |
JP5716346B2 (ja) * | 2010-10-13 | 2015-05-13 | 株式会社リコー | 信号バッファ回路とセンサ制御基板と画像読取装置および画像形成装置 |
CN113539782A (zh) * | 2021-06-15 | 2021-10-22 | 杭州谱育科技发展有限公司 | 基于竖直炬管的电感耦合等离子体质谱仪和分析方法 |
CN114373670B (zh) * | 2021-12-24 | 2024-03-22 | 天津国科医工科技发展有限公司 | 一种质谱仪高压输电结构以及质谱仪 |
Family Cites Families (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US2724056A (en) * | 1942-06-19 | 1955-11-15 | Westinghouse Electric Corp | Ionic centrifuge |
US2690521A (en) * | 1953-04-24 | 1954-09-28 | Clarence M Turner | Ion source unit |
US2956169A (en) * | 1956-12-07 | 1960-10-11 | Rutledge F King | Ion pulse generation |
US3337728A (en) * | 1964-10-09 | 1967-08-22 | Friedman Lewis | Mass spectrograph ion source wherein a pulsed arc is produced by vibrating one electrode |
-
1966
- 1966-05-17 GB GB21825/66A patent/GB1161431A/en not_active Expired
-
1967
- 1967-05-16 US US638857A patent/US3603787A/en not_active Expired - Lifetime
- 1967-05-16 DE DE19671598025 patent/DE1598025A1/de active Pending
- 1967-05-17 FR FR106710A patent/FR1523031A/fr not_active Expired
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
FR1523031A (fr) | 1968-04-02 |
US3603787A (en) | 1971-09-07 |
GB1161431A (en) | 1969-08-13 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
DE2856364A1 (de) | Vorrichtung zur kathodenzerstaeubung | |
DE68926167T2 (de) | Hochauflösendes plasmamassenspektrometer | |
DE3914838A1 (de) | Ionen-zyklotron-resonanz-spektrometer | |
DE1521273A1 (de) | Glimmentladungsapparat | |
DE69430088T2 (de) | Röntgenstrahlen-Beugungsgerät mit Kühlmittel-Verbindung zur Röntgenröhre | |
DE2143200C3 (de) | Reifenprüfgerät | |
DE2455974A1 (de) | Drehanoden-roentgenroehre | |
DE2628422C3 (de) | Verfahren zur Massenspektroskopie | |
DE1236097B (de) | Elektronenlinse zum Korrigieren einer drehsymmetrischen, magnetischen Elektronenlinse | |
DE1598025A1 (de) | Verfahren und Vorrichtung zur massenspektrometrischen Analyse von Stoffen | |
DE1498507C3 (de) | Probeneinführvorrichtung für eine Massenspektrometer-Ionenquelle | |
DE2103113C3 (de) | Vorrichtung zur elektrostatischen Aufladung | |
DE1938722B2 (de) | Kernresonanz-sondensystem | |
DE1297476B (de) | Corona-Aufladegeraet | |
DE862205C (de) | Anordnung zur Speisung von Geraeten mit einem gebuendelten Elektronenstrahl, insbesondere von Elektronenmikroskopen | |
DE2014542C3 (de) | Gleichspannungsgenerator | |
DE956290C (de) | Fernmesseinrichtung zur oszillographischen Aufnahme bzw. Registrierung von elektrischen oder mechanischen Vorgaengen | |
EP1212768B1 (de) | Vorrichtung zur innendruckmessung, spannungskonditionierung und stromkonditionierung von vakuumschaltröhren und verfahren hierfür | |
DE60312396T2 (de) | Verfahren zur messung und quantitative profilbestimmung geladener teilchenstrahlen | |
DE835170C (de) | Vorrichtung zum Entfernen von elektrostatischen Ladungen, insbesondere von bewegten Gegenstaenden bzw. Stoffen, die bei ihrer maschinellen Bearbeitung eine elektrostatische Ladung erhalten | |
DE639743C (de) | Vorrichtung zur Farbanalyse | |
EP0217741A2 (de) | Haltevorrichtung für einen Bild- oder Objektivrahmen einer Fachkamera | |
DE963821C (de) | Massenspektrometer | |
DE1816431A1 (de) | Vorrichtung zur Kathodenzerstaeubung | |
DE2259173B1 (de) | Vorrichtung zur Erzeugung eines elektrostatischen Gleichfeldes, insbe sondere fur Elektrokhmaanlagen |