DE1590870A1 - Elektrischer Bauteil,insbesondere Widerstand - Google Patents

Elektrischer Bauteil,insbesondere Widerstand

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DE1590870A1 DE1966V0030114 DEV0030114A DE1590870A1 DE 1590870 A1 DE1590870 A1 DE 1590870A1 DE 1966V0030114 DE1966V0030114 DE 1966V0030114 DE V0030114 A DEV0030114 A DE V0030114A DE 1590870 A1 DE1590870 A1 DE 1590870A1
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Description

PATENTANWALT
Elektrischer Bauteil, insbesondere Widerstand
Die Erfindung betrifft elektrische Bauteile, insbesondere Widerstände, und zwar im besonderen Bauteile hoher Genauigkeit, wie Widerstände mit sehr hoher Stabilität sowie mit einem niedrigen genau bestimmten Widerstandskoeffizienten.
Bisher wurde versucht, Präzisionswiderstände durch Aufwickeln eines Drahtes aus einer besonders gewählten Legierung auf eine starre Form herzustellen, wobei die gewählte Legierung ein Material mit einem geringen Widerstandstemperaturkoefi'izienten war. Es hat sich gezeigt, dass Temperaturänderungen eine Änderung der Abmessungen der Form zur Folge haben, woduroh · Änderungen der Abmessungen des Widerstandselements und somit ungewünschte Widerstandsänderungen entstehen. Derartige Einheiten besitzen nicht nur den Bachteil, temperaturempfindlich zu
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sein, sondern sind auch schwer und teuer herzustellen und auf einen genauen Widerstandswert einzustellen.- Ferner können sie nur sehr schwer so ausgebildet werden, dass sie keine merkliche Induktivität haben. Ausserdem sind sie nicht gedrängt genug. Jeder Versuch einer Miniaturisierung vergrössert erheblieh die Schwierigkeiten der Herstellung und somit die Kosten derartiger Widerstände.
Ein Versuch der Ausscheidung der Wirkung der Änderungen der Abmessungen des Halters eines Präzisionswiderstandsdrahtes aus einer Legierung war der Portfall des starren Halters für den Draht· Der Widerstandsdraht wurde lose in einer Masse in einer ölgefüllten Kammer aufgehängt, so dass er keinen Beanspruchungen unterlag. Eine derartige Anordnung ist jedoch schwer herzustellen und bietet Abdichtungsprobleme. Ferner tritt bei ihr die besondere Aufgabe der gegenseitigen Isolierung der Widerstandsdrahtabschnitte auf.
Es ist ferner bekannt, einen Widerstand durch
photοgraphisches Ätzen eines Metallfilms auf einer Unterlage herzustellen. Bei einem derartigen Widerstand treten jedoch, insbesondere bei kleinen Grossen, die Probleme des Temperaturausgleichs und der Stabilität auf.
Die Erfindung bezweckt die Herstellung eines elektrischen Präzisionsbauteils, z.B. eines Widerstands, bei welchem die obigen Nachteile vermieden werden.
Die Erfindung bezweckt ferner die Herstellung eines Präzisionswiderstands, welcher zuverlässig ist, wirtschaftlich hergestellt werden kann, in äusserst kleinen Grossen herstellbar ist, im wesentlichen frei von Induktivität ist, eine grosse elektrische und mechanische Stabilität auf kurze und
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lange Sicht besitzt, und einen vorbestimmten genauen Widerstandstemperaturkoeffizient en besitzt.'
Die Erfindung bezweckt ferner die Herstellung
eines Widerstands, welcher eine äusserst hohe Stabilität gegen Temperaturänderungen und feuchtigkeit besitzt.
Hierfür wird erfindungsgemäss ein Hochpräzisionswiderstand dadurch hergestellt, dass eine dünne Schicht einer gewählten Metallegierung auf eine Unterlage mit bekannten physikalischen Eigenschaften aufgebracht wird, welche vietaaLs dicker als der Metallfilm ist (vorzugsweise grössenordnungsmässig 100 bis 1000 mal dicker). Dem Metallfilm wird ein bestimmtes Muster gegeben, derart, dass der elektrische Strom auf einem leitenden Weg sehr grosser länge und äusserst geringer Breite fliesst, wobei dieses Muster vorzugsweise eine grosse Zahl von parallelen schmalen linearen Wegabschnitten in einer ebenen Anordnung aufweist. Die Seite der Unterlage, auf v/elcher sich der Widerstandsfilm bestimmter Anordnung befindet, ist mit einem Epoxyharz überzogen, und die entgegengesetzte Seite der Unterlage ist in gleicher Weise und in gleicher Dicke mit dem gleichen Epoxyharz überzogen. Diese einander gegenüberliegenden überzüge aus einem Epoxyharz erzeugen eine Symmetrie hinsichtlich ihrer mechanischen Wirkungen auf die Unterlage, so dasB diese keine Neigung hat, sich zu verbiegen. Ein gleiches Gleichgewicht kann mit ungleichen überzügen mit verschiedenen KenngrÖssen erzielt werden. Ausserdem verstärkt das Epoxyharz auf der leitenden Schicht den Widerstandsweg und schützt ihn gegen mechanische Beschädigungen sowie gegen jede Hautsäure, welche ihn sonst während der Handhabungen erreichen könnte.
Die Erfindung ist nachstehend unter Bezugnahme auf die Zeichnung beispielshalber erläutert.
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Pig· 1 ist eine Draufsicht eines erfindungs-
gemäasen Widerstands.
Pig. 2 ist ein Schnitt längs der Linie 2-2
der Fig. 1.
Fig. 3 ist ein vergrösserter Querschnitt,
v/elcher den in Fig. 2 eingekreisten Abschnitt mit mehr Einzelheiten zeigt.
Fig. 4 ist eine vergrösserte Teilansicht,
welche schematisch ein Verfahren zur Abgleichung des Widerstandsweges zeigt.
Fig. 5 und 6 sind schaubildliche Ansichten, welche unter Wegbrechung von Teilen bzw. in einer Schnittansicht einen erfindungsgemässen gekapselten Widerstand zeigen.
Bei der in Fig. 1, 2 und 3 dargestellten
bevorzugten Ausführungsform eines erfindungsgemässen Widerstands besitzt dieser eine Unterlage 11, auf welcher ein Metallfilm befestigt ist, in welchem der Widerstand durch ein geätztes Muster gebildet wird, überzüge 13 und 14 aus einem harten Epoxyharz sind auf die Widerstandsfläche und die entgegengesetzte Fläche der Unterlage aufgebracht. Die beiden einander gegenüberliegenden Epoxyüberzüge sind so ausgebildet, dass eine geschichtete Anordnung entsteht, welche sich bei Temperaturänderungen oder einer Aufnahme von Feuchtigkeit durch die Überzüge weder verbiegt noch wirft.
Die Unterlage 11 kann aus Glas mit einem Ausdehnungstemperaturkoeffizienten in der Grössenordnung von 5»4. 10" ie Celsiuagrad bestehen. Bei einem derartigen Widerstand kann z.B. die Unterlage 11 die Abmessungen 6,35 mm χ 6,35 mm mit einer Dicke von 1,02 mm haben·
DeijMetallfilm 12 kann aus einer Widerstands-
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_ 5 —
legierung bestehen, z.B. Chromnickellegierung^ja., in v/elcher Nickel und Chrom die Hauptmetalle bilden. Dieser Film kann grossenordnungsmassig eine Dicke von 0,254.10" mm haben·
Dieser Hetallfilm 12 wird photographisch z,u
einem Mister geätzt, welches einen schmalen leitenden Weg ergibt, dessen Gesamtlänge erheblich grosser als die Abmessungen der Seitender Unterlage 11 ist. Diese Bearbeitung kann vorgenommen werden, nachdem der PiIm an der Unterlage durch eine darunter liegende Kunststoffschicht 13f (Fig. 3) befestigt wurde, oder auch nach der Befestigung des Metallfilms auf einem dünnen !Präger, zJ3· einer Kunststoffschicht 13', jedoch vor seiner Befestigung auf der Unterlage 11. Zur Vornahme der photographischen Ätzung wird die der Schicht 13! abgewandte Seite des dünnen legierungsfilms mit einem lichtempfindlichen Abdeckmittel überzogen, z.B. Kodak Photo-Resist (K P E). Durch photographische Belichtung und Entwicklung wird das KPR an der Oberfläche des Films nur in dem gewünschten Widerstandsmuster zurückgehalten, während es an den Abschnitten entfernt wird, an welchen der Legierungsfilm weggeätzt werden soll· Bs wird dann ein Ätzverfahren benutzt, um die belichteten Abschnitte des dünnen Legierungsfilms zu entfernen.
Ein Beispiel eines geeigneten Musters für den Film nach der Ätzung ist in Fig. 1 dargestellt. Die Anschlüsse der biegsamen leiter 15 und 20 sind bei 16 und 17 gezeigt. Diese Anschlüsse können Schweißstellen mit einem verstärkenden Epoxyauftrag sein· Bei dem in fig. 1 dargestellten Muster iei ein Weg mit einem sehr geringen Widerstand zwischen diesen beiden Anschlüssen vorhanden, welcher längs der linken Sy-eite, über den oberen Teil und nacijabwärts auf der rechten Seite des Eilms
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12 verläuft. Durch Verlängerung des langen schmalen Zwischenraums 18 längs der gestrichelten linie 18' bis zu der oberen Kante des Films durch Durchschneiden mit einem Reisswerkzeug . oder einem feinen Schaber muss der S^rom über die schmalen linearen Wegabschnitte 19 und 21 fliessen. Durch die Verlängerung des nächsten langen schmalen Zwischenraums 22 bis zu der oberen Kante des Musters durch Ritzen längs der gestrichelten Linie 22' wird der Stromweg noch weiter verlängert, da er ausserdem über die schmalen linearen Abschnitte 23 und 24 verläuft. Mittels dieses Verfahrens können beliebig viele lange schmale Abschnitte in den Stromweg zwischen den Anschlussflächen 16 und 17 eingeschaltet werden. Um einegrosse Zahl der langen schmalen| den Abschnitten 19, 21, 23 und 24 gleichen Abschnitte in den Stromweg einzuschalten, kann offenbar ein Schnitt in der Querrichtung über mehrere Zwischenräume der bei 18 und 22 gezeigten Art in der Nahe ihrer Enden geführt werden.
Wie auf der rechten Seite der Pig. 1 dargestellt, kann das Muster, gemäss welchem der Film belichtet und geätzt wurde, mehrere breitere Abschnitte und kürzere Abschnitte enthalten, so dass der Bearbeiter' den gewünschten Widerstandswert dadurch herstellen kann, dass er in den Stromweg die erforderliche Zahl der kleinen Zusatzwiderstände einschaltet. Beispiele für derartige breitere und kürzere Abschnitte in dem Filmmuster für verschiedene Werte der Zusatzwiderstände sind bei 27, 28, 29, 31» 32 und 33 dargestellt.
Nachdem der legierungsfilm gemaBS dem gewünschten Muster geätzt und auf eine Fläche der Unterlage 11 durch einen geeigneten Epoxykitt 13' aufgeklebt wurde, wird weiteres Epoxymaterial 13 aufgebracht, welches die Oberfläche des Metall-
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films überzieht. Dies erfolgt vor der Abgleichung des Widerstands durch die oben erläuterten Schnitte. Fig. 4 zeigt die Verstärkung des Schutzes durch den Epoxykunststoff 13, 15'» in welchen der Hetallfilm 12 eingebettet ist. Wenn der Schnitt durch die äussere Kunststoffschicht 13 und wenigstens z.T. durch den legierungsfilm 12 entweder mittels eines Griffels 25 oder eines Schabers ο»dgl. geführt wird, hält der Kunststoff den Film 12 längs der Ränder des Schnitts in seiner Stellung und verhindert jede Ablösung des Films von der Unterlage.
Der obere,die Schichten 13 und 131 umfassende
Epoxyschutzüberzug kann eine Gesamtdieke von 2,54.10 mm haben. Auf die entgegengesetzte Seite der Unterlage 11 wird ebenfalls ein Epoxyüberzug 14 aufgebracht. Die Bpoxyüberzüge 13, 131 und der entgegengesetzte Epoxyüberzug 14 können gleiche Dicke und gleiche Eigenschaften haben, damit sich die von ihnen auf die flachen Flächen der Glasunterlage ausgeübten Beanspruchungen ausgleichen und kein Verbiegen oder Werfen derselben erzeugen. Gleichzeitig mit dieser Unterdrückung eines Verbiegens wird jede Tendenz einer Unstabilität der Abmessungen auf lange Sicht infolge der Auslösung von Spannungen verhindert. Ggfs. kann das gleiche Ergebnis durch überzüge aus Materialien mit verschiedenen Eigenschaften erzielt werden, vorausgesetzt, dass ihre Dicken entsprechend bemessen sind.
Die Glasunterlage hat einen Ausdehnungstemperaturkoeffizienten in der Grössenordnung von 5,4·1θ" je Celsiusgrad. Die Überzüge 13, 13' und 14 aus Epoxy oder einem anderen Kunststoff auf der Oberseite und Unterseite der Glasunterlage haben einen erheblich höheren Ausdehnungstemperaturkoeffizienten in der Grössenordnung von 72.10"° je Oelsiusgrad. Ferner sucht
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sich der Epoxyüberzug bei einer Veränderung seines Feuchtigkeitsgehalts auszudehnen oder zusammenzuziehen. Infolgedessen verhindert die abgeglichene Aufbringung des Überzugs aus Epoxy oder einem anderen Kunststoff auf beiden Seiten die Erzeugung eines Verbiegens der Vorrichtung.
Der Elastizitätsmodul der Glasunterlage beträgt ein Vielfaches des Moduls des Epoxymaterials. Die Ausdehnung und die Zusammenziehung der Anordnung der länge und der Breite nach sind daher hauptsächlich durch den Ausdehnungstemperaturkoeffizienten des Glases bestimmt. Da die Gesamtdicke der Epoxyschichten bei der beschriebenen Ausführungsform grössenordnungsmässig 1/20 der Dicke der Glasunterlage und der Elastizitätsmodul des Epoxys grössenordnungsmässig 1/30 des Elastizitätsmoduls der Glasunterlage beträgt, wird die Neigung des Epoxys, sich mit der Temperatur zehnmal mehr als das Glas auszudehnen, durch die relativ geringe Dicke des Epoxymaterials und seinen erheblich kleineren Elastizitätsmodul verhältnismässig klein gemacht.
Der Widerstandslegierungsfilm, welcher gemäss seinem bestimmten Muster geätzt und an der Glasunterlage befestigt ist, übt, da seine Dicke grössenordnungsmässig I/IOO bis I/IOOO der Dicke des Glases beträgt, einen äusserst geringen Einfluss auf die Empfindlichkeit der Abmessungen der Anordnung für Temperaturänderungen und Feuchtigkeit aus. Die Änderung des Widerstands des schliesslich zwischen den Anschlüssen 16 und 17 bestimmten Weges wird durch folgende Faktoren beeinflusst.
a) Den Widerstandstemperaturkoeffizienten der Legierung, aus welchem der zu einem Muster geformte Metallfilm besteht;
b1) die Verlängerung und Verschmälerung und
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somit die Zunahme des Widerstands des legierungsfilms infolge der Ausdehnung der symmetrisch überzogenen Unterlage mit der Zunähme der Temperatur (und umgekehrt die Zusammendrückung und Verbreiterung der Iiegierungsschicht bei einer Zusammenziehung der symmetrisch überzogenen Unterlage bei abnehmender Temperatur);
b") die Änderung des Widerstands in Funktion der Beanspruchungen, welche in dem Legierungsfilm auftreten, wenn sich die symmetrisch überzogene Unterlage bei Temperaturänderungen ausdehnt oder zusammenzieht.
Die obigen Paktoren b1 und b" stellen offenbar die resultierende Wirkung der in der Unterlage und in den überzügen derselben erzeugten Kräfte dar·
Durch Auswahl einer Chromnickellegierung mit
geringen Zusätzen,, welche die gewünschte Abhängigkeit des spezifischen Widerstands von der Temperatur und einen gewünschten Ausdehnungstemperaturkoeffizienten erzeugen, kann man es erreichen, dass der Widerstand einen zuverlässigen Temperaturkoeffizienten des spezifischen Widerstands von nur 1.10- je Celsiusgrad in der Nähe einer gewünschten Betriebstemperatur von z.B· 25° C und einen äusserst geringen Gesamttemperaturkoeffizienten des spezifischen Widerstands in einem Bereich von -55° C bis +1750O hat. Im allgemeinen hat eine hauptsächlich aus Nickel und Chrom bestehende legierung einen grosseren Ausdehnungstemperaturkoeffizienten als die Glasunterlage. Infolgedessen verlängert sich bei zunehmender Temperatur die Glasunterlage und nimmt den legierungsfilm mit, so dass dieser eine Druokbeanspruohung erfährt. Umgekehrt ,wenn sich die Glasunterlage bei abnehmender Temperatur zusammenzieht und die legierungsschioht eine grössere Zusammenziehung erfahrt, wird der Metallwiderstandsfilm, weloher
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an dem Glas befestigt ist und die Zusammenziehung desselben mitmachen muss, einer Dehnungsbeanspruchung unterworfen.
Wenn die Gesaugwirkung der Änderung des
Widerstands infolge der sich ändernden Beanspruchung in dem Legierungsfilm und der Widerstandsänderung infolge der Ausdehnung oder Zusammenziehung des Films im vresentlichen gleich dem Widerstandstemperaturkoeffizienten der legierung in unbeanspruchtem Zustand ist und das entgegengesetzte Zeichen hat, ist der Gesamtwiderstandstemperaturkoeffizient der Vorrichtung im wesentlichen gleich null. Da der zuletzt genannte Faktor nicht line/ar ist, besitzt die Vorrichtung eine voraussehbare Änderung ihres Widerstandstemperaturkoeffizienten in dem Betriebstemperaturbereich.
Für die meisten Anwendungen ist es zweckmässig, den Prazisionswiderstand zu verkapseln. Wie in Pig. 5 und 6 dargestellt, kann der erfindungsgemässe Widerstand in einem Gehäuse 36 aus Kunststoff oder Metall verkapselt v/erden, welches ein geeignetes Füllmaterial oder Füllmaterialien enthalt, in v/elches ein oder mehrere Widerstände der Obigen Art eingebettet werden. Um die Widerstandseinheit gegen mechanische Kräfte zu schützen, welche von dem Füllmaterial oder durch dieses hindurch ausgeübt werden, ist die Widerstandseinheit mit einer Hülle aus einem weichen Gummipolyurethanschaum oder einem anderen sehr weichen Material versehen. Bin derartiges weiches Material 37 kann allein zur Ausfüllung des Innenraums des die überzogene Unterlage umgebenden Gehäuses 36 benutzt werden, wenn dies gewünscht wird. Das weiche Material 37 kann jedoch auch von einem harten Füllmaterial 38 umgeben werden, z.B. einem Epoxyharz. Das weiche
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Material 37, dessen Dicke vorzugsweise ein Vielfaches der Dicke der Epoxyschichten auf der Unterlage beträgt, dient als Schutzkissen infolge seines sehr niedrigen Elastizitätsmoduls.
Wie in 3?ig. 5 und 6 dargestellt, ^ehen die
biegsamen bandförmigen leiter 15 und 20 von dem Widerstandselement zu Klemmen 39 und 41. Infolge des weichen Kissens 37 und der biegsamen Leiter 15 und 20 sind die Änderungen der Abmessungen des erhärteten Püllmaterials, welche grössenordnungsmässig das Fünf- bis Zehnfache der Änderungen der Abmessungen der Widerstandseinheit selbst betragen können, isoliert und verhindert, eine Abweichung der ICenngrössen des Widerstands von ihrem Sollwert zu erzwingenβ
Die dargestellte Anwendung der Grundsätze
der Erfindung zur Herstellung von Prazisionswiderstanden zeigt viele wesentliche Vorteile« Infolge des äusserst gedrängten Aufbaus v/erden kleinste Werte der Induktivität und der verteilten Kapazität erreicht. Ein sehr grosser Bereich von Widerstandswerten kann leicht erzielt werden. Ein gegebenes Metallfilmmuster kann in einem sehr weiten Bereich genau auf einen beliebigen gewünschten Widerstand eingestellt werden.
* Eine erhebliche Erwärmung des Widerstands
durch elektrische leistung kann ohne Schaden zugelassen werden. Da der Widerstand sehr klein ist, eignet er sich für Anwendungen, bei welchen ein geringer Platzbedarf wesentlich ist. Er kann einen feil einer miniaturisierten Schaltung bilden. Andere Teile der Schaltung können unmittelbar auf der Unterlage des Widerstands aufgebaut werden. Zwei oder mehr Widerstände können auf einer gemeinsamen Unterlage hergestellt werden· Ggfs. kann ein zweiter Widerstand oder Widerstandsweg auf der Seite der Unter-
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lage ausgebildet werden, welche der den ersten Widerstandsweg tragenden Seite gegenüberliegt.
Wenn der verfügbare Raum dies gestattet und
eine grössere Leistungsaufnahme gewünscht wird, können die Elemente des Widerstands grosser gemacht werden. Die erfindungsgemässen Prinzipien können in einer Vorrichtung benutzt v/erden, deren Dicke einen beträchtlichen Bruchteil eines Zolls beträgt, wobei die Fläche der Unterlage 65O mm oder mehr betragen kann. Ferner kann die Unterlage ein Metallkörper sein, wobei der Widerstandsmetallfilm von diesem durch die mit der Unterlage in Berührung stehende Kunststoffschicht 13' isoliert ist.
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Claims (20)

Patentanspruch
1.) Elektrischer Bauteil mit einem Widerstandsmetallfilm auf einer ebenen Unterlage, dadurch gekennzeichnet, dass Überzüge (13, 14) auf den gegenüberliegenden Seiten der Unterlage (11) vorgesehen sind, wobei die überzüge, der Metallfilm (12) und die Unterlage so gewählt sind, dass die Veränderungen des ohmschen Werts des Widerstands durch die Wirkung äusserer Faktoren (Temperatur, Feuchtigkeit usw.) im wesentlichen ausgeglichen werden.
2·) Elektrischer Bauteil nach Anspruch 1,
dadurch gekennzeichnet, dass die Einflüsse folgender Faktoren im wesentlichen ausgeglichen sind, derart, daß die Widerstandsänderung mit der Temperatur auf einen Kleinstwert herabgedrückt wird:
a) Änderung des Widerstandstemperaturkoeffizienten des Metalls;
b) Ausdehnung und Zusammenziehung des Metallfilms infolge üer Ausdehnung und der Zusammenziehung der Unte»- · lage;
c) Ausdehnung und Zusammenziehung des Bauteils infolge der überzüge, und zwar im wesentlichen infolge des Elastizitätsmoduls, der Dicke und des Ausdehnungstemperatur-
koeffizienten der überzüge im Verhältnis zu dem Elastizitätsmodul, der Dicke und dem Ausdehnungstemperaturkoeffizienten der Unterlage;
d) Beanspruchungen! welche in dem Widerstandsmetallfilm erzeugt werden, welcher die Ausdehnung und Zusammenziehung der Fläche der Unterlage mitmachen muss.
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3·) Elektrischer Bauteil nach Anspruch 1,
dadurch gekennzeichnet, dass der Metallfilm (12) ein Itegierungsfilm ist, dessen Widerstandstemperaturkoeffizient in dem Temperaturbereich zwischen -50° C -und +175° C so bemessen ist, dass er den Ausgleich der Widerstandsänderung gewährleistet, welche durch die Inderung der Beanspruchungen erzeugt wird, welchen der Metallfilm ausgesetzt wird, wenn sich die Unterlage (11) mit ihren Überzügen (13, H) bei Temperaturänderungen ausdehnt und ausammenzieht.
4·) Elektrischer Bauteil nach Anspruch 1,
dadurch gekennzeichnet, dass die überzüge, von denen der eine (13) an den legierungsfilm (12) angrenzt und diesen umschliesst, dicker sind, als der Metallfilm, aber dünner als die Unterlage, wobei diese Überzüge in Bezug auf ihre Empfindlichkeit gegen Temperaturänderungen und Feuchtigkeit abgeglichen sind.
5.) Elektrischer Bauteil nach Anspruch 1
und 4, dadurch gekennzeichnet, dass die Dicke der Überzüge 1/100 bis 1/1000 der Dicke der Unterlage betrag-t.
6») Elektrischer Bauteil nach Anspr^eh. 1 und
4, dadurch gekennzeichnet, dass die Unterlage (11) einen Glaskorper aufweist, dessen Dicke zwischen 0,1 mm und 12,5 mm liegt.
7.) Elektrischer Bauteil nach einem der
Ansprüche 1 bis 6, dadurch gekennzeichnet, dass der Metallfilm eine legierung enthält, deren Hauptbestandteile Nickel und Chrom sind.
8.) Elektrischer Bauteil nach Anspruch 1, 4 und 7» dadurch gekennzeichnet, dass die Unterlage (11) einen Glaskörper enthält, dessen Dicke zwischen 0,5 mm und 2,5 mm
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liegt, wobei der Metallfilm eine Legierung enthält, deren Hauptbestandteile Nickel und Chrom sind, welche mehr ä.s 90 fo des Metallgehalts bilden, wobei die Dicke des Metallfilms grössenordnungsmässig 0,0025 mm beträgtβ
9·) Elektrischer Bauteil nach Anspruch 1 und
4, dadurch gekennzeichnet, dass die überzüge aus Epoxyharz bestehen.
10·) Elektrischer Bauteil nach Anspruch 1,
8 und 9» dadurch gekennzeichnet, dass die Epoxyüberzüge eine Dicke haben, welche grossenordnungsmässig das Zehnfache der Dicke des Metallfilms beträgt.
11.) Elektrischer Bauteil nach AnspruchTund
4, dadurch gekennzeichnet, dass die Unterlage (11) einen Metallkörper enthält, und dass der Metallfilm an dieser durch ein Material befestigt ist, welches ihn von der Unterlage elektrisch isoliert.
12.) Elektrischer Bauteil nach Anspruch 1 und 4, dadurch gekennzeichnet, dass er in einem Gehäuse (36) angeordnet ist, welches die Unterlage mit ihrem Hetallfilm und ihren überzügen umgibt, wobei das Gehäuse von der Unterlage durch Füllmittel (38) öntfernt gehalten wird, welche ein nachgiebiges Kissen zwischen der Unterlage und dem Gehäuse bilden.
13.) Elektrischer Bauteil nach Anspruch 12,
dadurch gekennzeichnet, dass das nachgiebige Kissen aus einem Material mit einem sehr niedrigen Elastizitätsmodul besteht und im wesentlichen die überzogene Unterlage einschliesst und mit dieser in Berührung steht, derart, dass ijich die Unterlage unabhängig von den Gehäuse ausdelren oder zusammenziehen kann.
14.) Elektrischer Bauteil nach Anspruch 13,
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dadurch gekennzeichnet, dass elektrische Leiter (39, 41) von vorbestimmten- Anschlußzonen auf dem Metallfilm ausgehen und aus dem Gehäuse herausgeführt sind, wobei diese Leiter biegsame Leiterabschnitte (15, 2q) innerhalb des Gehäuses (36) aufweisen.
15·) Verfahren zur Herstellung eines elektrischen Bauteils nach einem der Ansprüche 1 bis 14» dadurch gekennzeichnet, dass auf einem dünnen flachen Metallfilm (12) durch photographisches Ätzen ein kontinuierlicher metallischer Weg erzeugt v/ird, dessen Länge ein Vielfaches der Länge und Breite des He'uallfilms ist, und dass eine geschichtete Anordnung gebildet wird, in welcher der Metallfilm zwischen einer Seite einer Unterlage (11) und einem Kunststoffüberzug (13) liegt, wobei der Metallfilm in den überzug eingebettet ist.
16.) Verfahren nach Anspruch 15, dadurch gekennzeichnet, dass auf die Seite der Unterlage (11), welche nicht den Metallfilm (12) trägt, ein Kunststoffüberzug (14) aufgebracht wird, dessen Art und/oder Dicke so gewählt sind, dass die von dem Kunststoffüberzug auf dieser Seite ausgeübten Kräfte praktisch die Kräfte ausgleichen, welche von dem Kunststoffüberzug auf der den Metallfilm tragenden Seite ausgeübt werden.
17.) Verfahren nach Anspruch 15 > dadurch gekennzeichnet, dass der Widerstand des Metallfilms (12) dadurch eingestellt wird, dass wenigstens ein Schnitt (18·) durch den den Film einhüllenden Kunststoffüberzug (13) und wenigstens ein Schnitt teilweise durch den Metallfilm gebildet wird.
18.) Verfahren nach Anspruch 15» dadurch gekennzeichnet, dass der Gesamtwiderstand des Metallfilms nach der Einbettung desselben in den Kunststoffüberzug dadurch eingestellt wird, dass eine gewisse Zahl von Schnitten (181, 22·) durch das
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umhüllende Epoxymaterial und durch den Metallfilm geführt werden, derart, dass der S^romweg verlängert und der Widerstand vergrössert wird, wobei die den Metallfilm umhüllende Kunststoffschicht dazu dient, den Film an den Grenzen der Schnitte in seiner lage zu halten»
19.) Verfahren zur Herstellung eines elektrischen Bauteils, dadurch gekennzeichnet, dass ein sehr dünner Metallfilm (12) durch einen Kunststoff an einer Unterlage (11) befestigt wird, wobei der Film eine der Fläche der Unterlage naheliegende Oberflächenzone aufweist, wobei der Film gemäss einem bestimmten Stromwegmuster photographisch geätzt wird, wobei ein den Metallfilm einbettender Kunststoffüberzug (13) auf diesen aufgebracht wird, wobei auf die entgegengesetzte Seite der Unterlage, welche den Film nicht trägt, ein praktisch symmetrischer Kunststoffüberzug (14) aufgebracht wird, welcher mechanisch die Kräfte in dem dem Metallfilm benachbarten und diesen einbettenden Kunststoffmaterial ausgleicht.
20.) Verfahren nach Anspruch 19» dadurch gekennzeichnet, dass der Film photographisoh geätzt wird, bevor derselbe mittels des Kunststoffs an der Unterlage befestigt wird.
21·) Verfahren nach Anspruch 19» dadurch gekennzeichnet, dass der Metallfilm an der Unterlage vor dem Itzen desselben befestigt wird.
22·) Verfahren zur Herstellung eines elektrischen Bauteils, dadurch gekennzeichnet, dass ein Metallfilm (12) an
einer Unterlage (11) befestigt wird, dass der Film gemass einem bestimmten S-fcromwegmuster photographisch geätzt wird, dass ein den Metallfilm einbettender Kunststoffüberzug (13) auf diesen aufgebracht wird, und dass der Widerstand des Films zwischen zwei
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bestimmten Punkten (16, 17) in dem Film dadurch eingestellt wird, dass das Kunststoffmaterial bis zu dem eingebetteten Film durchgeschnitten wird, und dass wenigstens ein Teil des Metallfilms eingeschnitten wird.
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Le e rs e
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