DE1503544A1 - Rotierende Vakuumpumpe - Google Patents

Description

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Hanau, 2. Februar 1965 PA - Ke/mt

W.C. HERAEUS GMBH, Hanau (Main). Patent- und Gebrauchsmusterhilfsanmeldung.

"Rotierende Vakuumpumpe"

An rotierende Vakuumpumpen, die als Vorvakuumpumpe einen Druck unter 2o Torr, vorzugsweise unter Io , erzeugen sollen, werden sehr hohe Ansprüche gestellt, da sie imstande sein müssen, ein sehr großes Druckverhältnis zwischen Ansaug- und Atmosphären-

-H druck (mindestens Ho, z.B. bei einem Endvakuum von Io Torr

aber bis rund Io ) zu erzeugen.Man benutzt in der Regel Drehschieberpumpen mit Drehzahlen, die bei kleinen Pumpen bis etwa 15oo pro Minute betragen, oder Sperrschieberpumpen mit Drehzahle von etwa 5oo pro Minute. Bei Drehschieberpumpen werden die Schieber mittels Federkraft oder Zentrifugalkräften an die Innenwand des Gehäuses gedrückt. Dies führt im Verein mit hoher Tourenzahl zu einer starken Abnutzung; auch können die Schieber schon bei relativ geringer Verschmutzung klemmen.

Die Sperrschieberpumpen können wegen der hin- und hergehenden Bewegung des Sperrschiebers, der gleichzeitig zum Einlass der abzusaugenden Gase dient, keinen vollständigen dynamischen Massenausgleich erreichen; dies beschränkt die verwendbaren höchstei Drehzahlen und lässt damit -bei gegebenen Außenmaßen- das Saugvermögen gewisse, relativ geringe Werte nicht übersteigen. Dabei ist die Sperrschieberpumpe als Vakuumpumpe besonders geeignet, denn sie besitzt in dem Sperrschieber einen Einlasskanal relativ großen Querschnitts. Auch ist die Bewegung der rotierenden Teile mit geringer Abnutzung verbunden, denn der Sperrschieber wird nur in einem zugehörigen Sperrschieberlager mit geeigneter

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Passung hin- und hergeschoben. Der Kolben rotiert im Gehäuse mit geringem Spiel, das durch Ql abgedichtet wird. Die Pumpe arbeitet also mit sogenannter "schwimmender" Dichtung. Eine volle Ausnutzung dieser guten Eigenschaften wird aber behindert durch den oben erwähnten Nachteil merkbarer Unwucht.

Aufgabe der vorliegenden Erfindung ist es, diese Nachteile zu vermeiden. Es soll eine Pumpe geschaffen werden, die eine "schwimmende" Dichtung, aber möglichst geringe Unwucht besitzt. Damit sollen größere Umdrehungszahlen und eine entsprechend große Saugleistung ermöglicht werden. Es soll auch ein großer Ansaugquerschnitt vorhanden sein, und zur Erreichung eines guten Endvakuums sollen die Volumina der Förderkammern stets von Null aus jedesmal neu gebildet werden.

Nun sind seit einiger Zeit Trochoxdenmaschxnen bekannt, die infolge des möglichen vollen dynamischen Massenausgleichs hohe Drehzahlen zulassen. Sie haben in Form des "Wankelmotors" auch im Automobilbau Eingang gefunden und bewähren sich hier offenbar gut. Die Rotoren werden beim Automobilmotor an ihren (drei) Kanten gut abgedichtet; es wäre aber möglich - und dies ist dem Fachmann von vornherein klar -, diese Kanten "schwimmend", d.h. mit geringes, ölgedichtetem Spiel im Gehäuse rotieren zu lassen.

Trotz dieser zu erwartenden Vorteile gelang es bisher nicht, aus Trochoidenmaschinen eine Vakuumpumpe zu machen und dies ungeachtet der Tatsache, dass einige Formen dieser Maschinen schon als Verdichter gebraucht wurden. Dies hängt offenbar damit zusammen, dass beim Verdichter eine Kompression von etwa Atmosphärendruck nur auf einige (z.B. zehn) Atmosphären Oberdruck gefordert wird, während bei einer rotierenden Vakuumpumpe als Vorpumpe eine Kompression von mindestens Io Torr auf etwa 76o Torr, also eine rund loo.ooo-fache Verdichtung gefordert wird. Der Unterschied in der Größenordnung war nur durch eine besondere Lehre zum Handeln ' zu überwinden.

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Die Lösung der gestellten Aufgab* besteht in der Schaffung einer Vakuumpumpe in Form einer Trochoidenpumpe, wobei deren Rotor die Form einer Hypotrochoide besitzt, das Gehäuse als Hüllkurve aller Rotorstellungen mit mindestens einem festen Gehäusepunkt als Berührungspunkt zwischen Rotor und Gehäuse ausgebildet ist und die Ansaugöffnung auf der einen, die Ausstoßöffnung auf der anderen Seite dieses Punktes angeordnet sind. Weitere Merkmale werden im nachfolgenden Teil der Beschreibung und in den Ansprüchen herausgestellt.

Die so gekennzeichnete Erfindung geht von einer recht trivialen Überlegung aus. Ansaugöffnung und Druckauslass der Pumpe müssen zur Erzeugung einer genügend großen Verdichtung voneinander getrennt sein, so c\ss ein Kurzschluss und eine rückwärts gerichtet« Gasströmung unmöglich ist. Dies erfordert - wie es bei z.B. Drehschieberpumpen realisiert ist - einen am Gehäuse festen, durch Berührung (oder "schwimmend") gedichteten Punkt zwischen Rotor und Gehäuse, der bei der Bewegung des Rotors mit dem Abstand Null an diesem entlanggleitet. Es bedurfte der Erkenntnis, dass sich dieser Gedanke auf bestimmte Trochoidünformen übertragen lässt, um zu der nachstehenden Lehre zum Handeln zu kommen. Die Erkenntnis besteht darin, dass nicht ein Gehäuse, sondern ein Rotor in Trochoidenform gewählt werden und dass die Rotorenform einer Hypotrochoida entsprechen muss. Es gibt ja bekanntlich die folgenden vier möglichen Formen:

1. Gehäuse als Epitrochoide

2. Rotor als Epitrochoide

3. Gehäuse als Hypotrochoide H. Rotor als Hypotrochoide

Bei den Formen 1 und 3 ist die Forderung unerfüllbar, dass es einen festen Punkt des Gehäuses geben muss, der bei der Rotor-, «igung am Rotor mit dem Abstand Null entlanggleitet. Bei den For-«., >λ 2 und U ist diese Forderung erfüllbar. Bei der Form 2 ist al- ' die Pumpwirkung genau die gleiche wie bei einer altbekannten λ , : j da Schöpf- und Verdichtungsraum nicht _,._

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umlaufen. Ebensowenig wie bei der Kolbenpumpe kann daher ein sogenanntes schädliches Volumen vermieden werden. Bei der Form H läuft Schöpf- und Verdichtungsraum mit dem Rotor um; deshalb sind diese Ausführungsformen für Vakuumpumpen brauchbar. Der Ausbau dieser Erkenntnis zur Schaffung einer Vakuumpumpe ist die Lösung der gestellten Aufgabe. Diese Lehre ist Gegenstand der Ansprüche.

Zur Erläuterung der Erfindung sind in den beigegebenen Figuren

dargestellt:

Fig. 1 Entstehung der Kurvenzüge von Epi- und Hypotrochoiden Fig. 2 Rotoren in Form verschiedener Hypotrochoiden Fig. 3 Querschnitt durch ein Ausführungsbeipiel Fig. H Längsschnitt durch Fig. 3

Fig. 5 Querschnitt durch ein zweites Ausführungsbeispiel Fig. 6 Schemata von Vakuumpumpsätzen, in denen Trochoidenpumpen benutzt werden.

Fig. 1 zeigt ein Zeichenverfahren für Epi- und Hypotrochoiden, die vielfach auch mit Epi- und Hypozyeloiden bezeichnet werden.

Rollt ein Kreis (1) aussen auf einem kleineren Kreis (2) ab, (Fig. IA) so beschreibt ein fest mit dem Rollkreis verbundener Punkt (3) eine Epitrochoide (H). Es entstehen nur dann geschlossene Bahnkurven, wenn das Durchmesserverhältnis von Roll- und Abrollkreis sich wie zwei aufeinanderfolgende Zahlen verhält,

i = 1:2; 2:3; 3:4; u.s.w.

Rollt ein Kreis (5) von innen auf einem festen Kreis (6) ab, so beschreibt ein fest mit dem Rollkreis verbundener Punkt (7) eine Hypotrochoide t9) (Fig. IB). Geschlossene Hypotrochoiden entsteh«η nur dann, wenn das Durchmesserverhältnis eine ganz Zahl ist. Für ein Durchmesserverhältnis K = 2 ist die Hypotrochoide ta.B. mit einer Ellipse identisch, für K = 3 ähnelt die Hypotrochoide einem Dreieck, für K=H einem Viereck.

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In Fig. 2 sind Rotoren (16, 17, 18) dargestellt, deren ämßere Begrenzungen verschiedenen Hypotrochoiden entsprechen. Ihre Bewegung wird durch die beiden Kreise (9) und (lo) bestimmt, die aufeinander abrollen. Da jeder Punkt der Rotoren (16, 17, 18) eine Epitrochoide nach Fig. IA beschreibt, kann das Durchmesserverhältnis der Kreise (9) und (lo) sich wie zwei aufeinanderfolgende ganze Zahlen verhalten, entspricht also dem obigen Symbol i In der Darstellung wurde der größere Kreis (9) für alle Formen gleich gewählt, je nach dem Zahlenverhältnis i hat der innere Kreis einen bestimmten Durchmesser. Für i = 1:2 (Fig. 2A) hat der innere Kreis (lo) den halben Durchmesser des großen Kreises (9). Entsprechend ist für i = 2:3 (Fig. 2B) der Durchmesser des Kreises (11) gleich Zweidrittel des großen Kreises (9) und für i s 3:4 (Fig. 2C) entsprechend gleich Dreiviertel.

Zur Schaffung des Rotors einer Pumpe wird ein Punkt (13) festgelegt, und zwar als Dichtungs- oder Berührungspunkt zwischen einem Einlass (14) und einem Auslass (15). Aus kinematischen Gründen werden die inneren Kreise (lo), (11) und (13) jeweils festgehalten und der äußere Kreis (9) auf ihnen abgerollt. Dabei ergeben sich für die Rotoren die gezeichneten Formen. Für i = 1:2 (Fig.2A hat der Rotor (16) die Form einer Ellipse, für i = 2:3 (Fig. 2B) hat der Rotor (17) die Form eines abgestumpften und ausgebauchten Dreiecks, für i = 3:4 (Fig. 2C) hat der Rotor (18) die Form eines abgestumpften Vierecks mit etwas eingezogenen Seiten. Die Reihe setzt sich über weitere Werte von i = 4:5; 5:6; usw. fort, die zugehörigen Rotoren sind nicht mehr dargestellt. Die Begrenzung aller für Vakuumpumpen geeigneten Rotoren ist eine Hypotrochoide, also auch die Begrenzung der Rotoren (16), (17) und (18).

Es sei darauf hingewiesen, dass es beim Übersetzungsverhältnis i = 2:3, wenn ein fester Punkt (13) gewählt wurde, noch einen weiteren festen Punkt (13¹) gibt, der ebenfalls ein Dichtungspunkt zwischen einem Einlass (14 ) und Auslass (15 ) ist. Analog gibt es beim Obersetzungsverhältnis i = 3:4 neben dem Punkt (13) zwei weitere Punkte (13¹) und (13 ), die Dichtungspunkte sind.'

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Von der Pumpe selbst sind zunächst nur die Rotoren in ihrer Form, die Dichtungspunkte (13), (13 ) und (13 ) und die Lage von Einlass (11), (IU¹) und (14¹¹) sowie Auslass (15), (15¹) und (15 ) festgelegt. Zur Schaffung einer arbeitsfähigen Pumpe bedarf es noch eines Gehäuses (19), dessen innere Gehäusebegrenzung noch festgelegt werden muss. Sie ergibt sich als Hüllkurve aller Rotorstellungen und ist für i = 1:2 ein "Eineck¹¹, für i s 2:3 ein "Zweieck", für i = 3:4 ein "Dreieck" usw.

In diesen Fällen wurde also zunächst der Rotor als Hypotrochoide erzeugt. Es geschah dies mittels der drei Bestimmungsstücke

a) großer Kreis (9)

b) kleiner Kreis Uo,11,12) im Verhältnis i = 1:2, 2:3, 3:4

c) Wahl des Berührungspunktes (13).

Eine Bewegung eines zunächst in der Form unbestimmten Rotors durch Abrollen der Kreise aufeinander an dem Punkt (13) vorbei liefert dann die in Fig. 2 gezeigten Rotorformen.

Die Pumpe bedarf aber außer dem Rotor noch eines Gehäuses, in dem der Rotor sich bewegt und das Volumen mindestens eines Pumpenschöpfraums von der Ansaug- zur Ausstoßseite bringt. Die Form des Gehäuses wird, wie schon oben gesagt, als Hüllkurve aller RotorStellungen gewonnen.

Der Rotor der vorgeschlagenen Vakuumpumpe hat die Fora einer Hypotrochoide, entspricht also dem obigen Fall H. Ahnlich gewinnt man den Rotor der Fälle 3 und 1 sowie das Gehäuse des Falles als Hüllfigur. Die obige kurze Aufzählung wäre also folgender·» maßen zu ergänzen:

Gehäuse Epitrochoide äußere Hüllkurve Hypotrochoide äußere Hüllkurve

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Fall	Rotor
1.	innere Hüllkurve
2.	Epitrochoide
3.	innere Hüllkurve
4.	Hypotrochoide

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Eine Darstellung dieser Fälle gibt z.B. E. Schmidt in der VDI-Zeitschrift Io2 (196o) Nr. 8, Seite 29 3 ff, Figuren 7 bis 22.

Die als "Wankelmotor" bekannte Maschine entspricht dem Fall 1. Hier geschieht die Abdichtung der einzelnen Kammervolumina bekanntlich durch Dichtleisten am Rotor. Eine solche Maschine ist als Vakuumpumpe nicht geeignet, da diese eine Abdichtung an einer bestimmten Btelle (13) des Gehäuses zwischen Ansaug- und Ausstoßöffnung erfordert. Aus demselben Grunde ist der Fall 3 ebenfalls nicht verwendbar.

Eine Abdichtung an einer bestimmten, fest an dem Gehäuse befindlichen Stelle (13) liefern also nur die Fälle 2 und 4 mit einer Trochoide als Rotor und einer äußeren Hüllfigur als Gehäuse, d.h, einem Gehäuse mit mindestens einer festen Abdichtungsstelle. Sie stellt eine dach innen gerichtete) "Ecke" der inneren Gehäusebegrenzung dar. Für i = 1:2 gibt es beim Fall U eine solche "Ecke", für i = 2:3 derer zwei, für i = 3:U deren drei, im Falle 3 jeweils eine "Ecke" mehr.

Der Fall 2 scheidet für die Verwendung als Vakuumpumpe aus folgendem Grunde aus: Zwischen den Ecken (mindestens 2 für den einfachsten Fall i = 1:2) besitzt die innere Begrenzung des Gehäuses nach außen gewölbte Bogen. Sie werden vom Rotor nacheinander vollständig erfüllt oder freigegeben. Dies entspricht ungefähr der Bewegung des Kolbens in einer Kolbenpumpe, zeigt also alle Nachteile dieser Pumpenform. Vor allem besitzt diese Pumpe ein schädliches Restvolumen. Dies würde die Arbeit als Vakuumpumpe mit dem erforderlichen großen Kompressionsverhältnis (-^5oooo) unmöglich machen, d.h. sie könnte nur ein sehr schlech- ! tes Vakuum erzeugen. Jeder der erwähnten Bogenräume, die als PuRpi'äume dienen, bedarf wie eine Kolbenpampe zweier Ventile, aines Ansaug- und eines Ausstoßventiles. Da ein Ansaugventil ojx der gewünschten großen Zahl von Umdrehungen aber nur einen j?«eils relativ kleinen Ansaugquerschnitt freigeben kann, würde ein- solche Pumpe auch aus diesem Grunde kein gutes Vakuum erzeugen ^«n,

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Der Fall 4 unterscheidet sich von dem eben diskutierten Fall 2 aber grundsätzlich. Bei ihm werden die freien Räume zwischen Rotor und Gehäuse nicht - wie im Fall 2- immer wieder an denselben Stellen erzeugt« Die freien Räume rotieren, so dass sie an einer Stelle, d.h. an einer Seite des Punktes (13) entstehen und an der anderen Seite verschwinden. D adurch gibt dieser Fall 4, und nur dieser Fall 4 die Möglichkeit, eine Vakuumpumpe zu schaffen. Die Erfindung besteht also darin, dass aus den bekannten vier Fällen der Fall 4 ausgewählt wird, um unter Benutzung von an sich bekannten Rotor- und Gehäuseformen eine Vakuumpumpe zu schaffen. Eine arbeitsfähige Pumpe für i = 1:2 ist in den Fig. 3 und dargestellt. Hierbei werden die aufeinander abrollenden Kreise (9) und (lo) der Fig. 2A als Zahnräder ausgebildet. Das kleine Zahnrad (2o) der halbschematischen Fig. 3 ist fest angeordnet. Auf ihm wälzt sich der innenverzahnte Kreis (21) mit der doppelten Zahnzahl ab und nimmt den ellxpsenförmigen Trochoiden-Rotor (22) mit. Seine Oberfläche (23) entspricht einer Hypotrochoide mit K = 2. Der umgebende Gehäusekörper (24) hat als innere Begrenzung (25) ein "Eineck".

Die "eine Ecke" ist der Punkt (26), der dem Punkt (13) in Fig. 2 entspricht und in Berührung mit der Oberfläche (23) oder ihr jedenfalls immer sehr nahe ist (infolge von Passungen bei der erstellung). Auf der einen Seite des Punktes (26) befindet sich ie Ansaugöffnung (27), die sich in der Ansaugleitung (29) fortetzt. Auf der anderen Seite des Punktes (26) liegt die Ausstoßffnung (28), die mit einem Auslaßventil (3o) versehen sein kann, ie anschließende Kammer (31) dient in diesem Falle der Aufnahme des Dichtungsöles (32). Die abgesaugten Gase werden über die Ausstoßleitung (33) in eine nicht gezeichnete weiterführende Leitung gefördert.

Oie Fig. 4 zeigt einen Schnitt durch die in Fig. 3 dargestellte Pumpe. In diesem Schnitt ist zu sehen, dass das Gehäuse aus dem Körper (24) und den Stirnwänden (34) und (35) besteht. Der totor (22) wird von der Antriebsachse (36) und dem fest auf ihr

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sitzenden Exzenter (37) angetrieben. Die Achse (36) und das kleine Zahnrad (2o) (das auf der Stirnwand (3U) befestigt ist) sind koaxial, daher wurde in der praktischen Durchführung die Achse (36) durch das Zahnrad (2o) hindurchgeführt und ihr Ende in der Stirnwand (34) gelagert. Die Achse (36) geht durch die Stirnwand (35) hindurch und ist in ihr durch eine der bekannten D ichtungen (38) abgedichtet. Auf dem äußeren Ende der Aehse (36) ist das Gegengewicht (39) angebracht, das die Exzentrizität statisch ausgleicht. Zum dynamischen Ausgleich kann die Achse (36) durch die Stirnwand (3U) hindurchgeführt werden und dort ein weiteres Gegengewicht tragen.

Anstelle der Gegengewichte können selbstverständlich auch zusätzliche Pumpstufen verwendet werden, die alle ähnlich aufgebaut sind und deren Rotorlänge und Phasenlage in an sich bekannter Weise so gewählt sind, dass ein voller dynamischer Massenausgleich erzielt wird.

Fig. 5 zeigt ein weiteres Ausführungsbeispiel mit i = 2:3, der Rotor hat also ungefähr dreieckige Form. Das kleine Zahnrad (Uo) ist fest, auf ihm rollt der Zahnkreis (Ul) ab, ihre Zahnzahlen verhalten sich wie 2:3. Der Bahnkreis (Ul) begrenzt den Hohlraum des Rotors (U2), dessen Außenfläche einer Hypotrochoide mit K = entspricht. Er rotiert in einem "zweieckigen" Hohlraum (U3) im Gehäuse (UU). Die zwei Hohlraumecken (U5A) und (U5B) liegen einander gegenüber. An jeder von ihnen kann eine Ansaugöffnung (U6A) und (U6B) sowie eine Ausstoßöffnung (U7A) und (U7B) angebracht werden. Die Ansaugöffnung (U6A) setzt sich in der Ansaugleitung (U8) fort. Die Ausstoüöffnung (U7A) kann mit einem Auslaßventil (U9) versehen sein. Die anschließende Kammer (507 dient in diesem Falle der Aufnahme des Dichtungsöles (51). Die abgesaugten Gase werden über die Ausstoßleitung (53) in eine nicht gezeichnete weiterführende Leitung gefördert. Die Ausstoßöffnung (U7B) und die Ansaugleitung (46B) können miteinander durch einen Raum verbunden sein. Die Pumpe arbeitet dann zweistufig. Es kann natürlich auch der Auslaßkanal (U7B) über ein Ventil direkt ine Freie

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-logeführt werden, wodurch eine doppelt wirkende Pumpe entsteht. Da das öl (51) im Auspuffraum mit Luft in inniger Berührung steht, ist es günstiger, eine zweistufige Pumpe, nicht wie in Fig. 5 angedeutet, zu bauen, sondern die Pumpe doppelwirkend arbeiten zu lassen und eine gleiche Pumpstufe als erste Pumpstufe zu verwenden. Selbstverständlich ist es sowohl im Fall der Fig. 3 als auch im Fall der Fig. 4 möglich, zweistufige Pumpen zu bauen, bei denen das Abstufungsverhältnis der Pumpstufen verschieden ist, beispielsweise 2:1.

Ein Längsschnitt durch die Fig,5 entspräche bis auf einige schon aus Fig. 5 bekannte Einzelheiten der Fig. U, so dass der Längsschnitt überflüssig erscheint und nicht dargestellt wurde.

Die in den Fig. 3 und 5 dargestellten Pumpen arbeiten mit öldichtung, auch überlagert das öl (32) - bzw. (51) - das Ventil (31) - bzw. (H9). Derartige Pumpen sind als Vorpumpen geeignet. Ihre Verwendung ist in den Fig. 6A und 6B dargestellt. Eine zweistufige Pumpe (55) gemäss der Erfindung evakuiert in Fig. 6A den Rezipienten (53) über die Vakuumleitung (5H). In Fig. 6B evakuiert eiae einstufige Pumpe (56) über eine öldiffusionepumpe (57) einen lezipienten (58). Das Symbol der Pumpe (55) bzw. (56) wurde an die genannte Darstellung einer mechanischen Pumpe angeschlossen. Als Symbol einer Trochoidenpumpe wurde ein Dreieck (59) gewählt und ein Querbalken (6o) als Symbol für die öldichtung und das Auslaßventil.

Eine Trochoidenpumpe kann auch ohne öldichtung und eventuell auch ohne Auslaßventil arbeiten. Sie gehört zu jenen Pumpenarten, die wie eine Rootspumpe infolge möglicher hoher Drehzahlen eine große volumetrische Förderung ergeben. Die nicht ölgedichtete Spalte zwischen den Außenflächen der Rotoren und den Innenflächen der Gehäuse können durch eine größere freie Weglänge genügend abgedich tet werden, d.h., wenn eine übliche Vorpumpe naengeachaltet wird. Dieser Fall ist in Fig. 6C dargestellt. Die eventuell ventillose,

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iicht ölgedichtete, einstufige oder zweistufige Trochoidenpumpe (61) (der Querbalken ist im Symbol weggelassen) evakuiert den ^ezipienten (62), ihr ist eine zweistufige Sperrschieberpumpe (6 3) \achgeschaltet. Anstelle der Sperrschieberpumpe kann natürlich luch die ölgedichtete Trochoidenpumpe (55) oder (56) entsprechend ig, 6A und 6B benutzt werden.

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Claims (5)

1. PATENTANSPROCHE !

   ssssssssssssssrsrssssssssssssss

   i.) Vakuumpumpe in Form einer Trochoidenmaschine, dadurch gekennzeichnet, dass a) der Rotor die Form einer Hypotrochoide besitzt und mit einem Innenzahnrad auf einem festen Zahnrad abrollt, b) das Gehäuse als Hüllkurve aller Rotorstellungen mit mindestens einem festen Gehäusepunkt als Berührungspunkt zwischen Rotor und Gehäuse ausgebildet ist, c) die Ansaugöffnung auf der einen und die Ausstoßöffnung auf der anderen Seite dieses Berührungspunktes angeordnet sind und d) Rotor und Gehäuse mit an sich bekannter ölabdichtung aufeinander gleiten.
2. 2.) Vakuumpumpe nach Anspruch 1,dadurch gekennzeichnet, dass der Rotor einer Hypotrochoide mit dem Obersetzungsverhältnis K = 2 entspricht und Ellipsenform hat.
3. 3.) Vakuumpumpe nach Anspruch 1,dadurch gekennzeichnet, dass der Rotor einer Hypotrochoide mit dem Übersetzungsverhältnis K = 3 entspricht und die Pumpe zweistufig ist.
4. «*.) Vakuumpumpe nach Anspruch 1 bis 3,dadurch gekennzeichnet, dass sie in an sich bekannter Weise an der Ausstoßöffnung ein Auslaßventil besitzt.
5. 5.) Vakuumpumpe nach Anspruch 1 bis U,dadurch gekennzeichnet, dass sie eine an sich bekannte Gasballasteinrichtung besitzt.

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