DE1490391A1

DE1490391A1 - Verfahren zur Herstellung von gedruckten elektrischen Schaltungen

Info

Publication number: DE1490391A1
Application number: DE19631490391
Authority: DE
Original assignee: Societe dElectronique et dAutomatisme SA
Current assignee: Societe dElectronique et dAutomatisme SA
Priority date: 1961-10-23
Filing date: 1963-04-09
Publication date: 1969-02-13
Also published as: CH391811A; BE630656A; BE623296A; GB1030925A; FR1327824A; NL291372A

Description

Verfahren zur Herstellung von gedruckten elektrischen

Schaltungen

Die Erfindung betrifft die Herstellung von sogenannten gedruckten elektrischen Schaltungen, in denen, um eine Schaltungsform zu definieren, die flachen Leiterbahnen eng mit der einen und/oder der anderen isolierenden Fläche eines Trägers verbunden sind. Gewöhnlich bezeichnet man mit dem Ausdruck "Drucken von Schaltungen" alle Verfahren, die zur Herateilung derartiger Produkte eine Reproduzierung von Konfigurationen vorbestimmter Leiterbahnen auf einer ieolierenden Fläche ermöglichen.

Gegenstand der Erfindung ist ein Verfahren zur Herstellung dieser Produkte, welches eine wirtschaftliche Herstellung in industriellem Massatab geetattet und Produkte hoher Qualität liefert.

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Das Verfahren besteht im wesentlichen in der Ausbildung erhabener Teile in einer leitenden Schicht, welche die Umrisse der Leiterbahnen in der fertigen Schaltung begren-_ zen, in der Befestigung zumindest einer derartigen geformten Sc/iicht auf einem isolierenden Träger und in der Wegnahme zumindest der erhabenen Teile, um in dem Fertigprodukt die gewünschte Konfiguration zu erhalten. Zur Herstellung einer doppelseitigen Schaltung werden zwei vorgeformte Schichten gleichzeitig auf einem isolierenden Träger befestigt, der dann als Zwischenstück dient, wobei die relativen Stellungen der Pollen zueinander für diese Befestigung mit Marken bezeichnet sind. Die Verbindungen von der einen zur anderen Seite werden entweder vor oder nach der V/egnahme der erhabenen Teile in zusätzlichen Verf aiirensstuf en.gebildet, wobei je nach Bedarf Aussparungen für derartige Verbindungen in dem Isolator vorgesehen werden können. Die erhabenen Teile können so angeordnet werden, dass sie sämtliche Zwischenräume zwischen- den Leiterbahnen umfassen, wenn es sich um Schaltungen handelt, in denen die Leiterbahnen nicht aneinander angrenzen müssen, Nach Wegnahme der erhabenen Teile verbleiben dann auf dem Träger nur die Leiterbahnen der Schaltung. Die erhabenen Teile können stattdessen geinäss einer anderen· Auaf ührungsform so/angeordnet werden, dass sie nur Erhebungen längs der Ränder der Leiterbahnen darstellen, und in diesem Pail

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werden auf dem Isolator noch "tote" Flächen vorhanden sein, die ±"ür die Schaltung überflüssig sind. In den meisten Fällen wird man diese toten Stellen belassen können. Y/enn jedoch ihre Anwesenheit nicht wünschenswert ist, werden sie in einer weiteren Verfanrensstufe weggenommen, beispielsweise auf chemiscftem \fege.

Die reliefartige Ausbildung der leitenden Schichten getaäss der ersten Verfahrensstufe des erfindungsgemassen Verfahrens kann entweder durch mechanisches Prägen der leitenden Folien mittels Matrizen oder durch Niederschlagen leitender Schichten auf den im umgekehrten Sinne vorspringenden ReliefOberflächen von Übertragungsmatrizen erfolgen, d.h. von Matrizen, auf deren Oberfläche die Leiterniederschläge nur schlecht haften. Natürlich bestünde auch die Möglichkeit einer doppelseitigen Gravierung der leitenden Folien. Jedoch würde diese Verfahrensweise komplizierter sein und das Produkt schwierig zu erhalten sein. Ausserdem würde mit diesem letzteren Verfahren das Erfordernis von ausgehöhlten Matrizen für die folgende Stufe der Befestigung der reliefartig ausgebildeten Schichten auf ihren isolierenden Unterlagen nicht vermieden. Diese zweite Verfahrensstufe besteht vorzugsweise in der Anbringung einer geformten Schicht auf der isolierenden Fläche, die mit einem hitzehärtbaren oder polymerisierbaren, nur in

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GeIforη vorliegenden Harz überzogen ist, wobei man die erhabenen Teile dieser Schicht mittels einer Pressmatrize festhält und dann Druck und Wärme anwendet, um das Harz zu härten und damit eine innige Verbindung zwischen der Schicht und der Unterlage herzustellen. Wenn die Schicht auf einer Ubertragungsmatrize moduliert wurde, wird sie sich bei der Zurücknahme der Matrize von dieser lösen, da sie ja fest an dem isolierenden Träger und wenig an der Oberfläche dieser Matrize haftet. Ausserdem wird die isolierende Unterlage vorzugsweise aus Faserschichten bestehen, die mit einem Harz der oben genannten Art imprägniert sind, welche sich in der Presse befinden, so dass also während dieser zweiten Stufe gleichzeitig die Unterlage gebildet wird. Die Wegnahme der erhabenen Teile erfolgt vorzugsweise durch einfachen mechanischen Abrieb, ZoB. durch Abschleifen. Man könnte die erhabenen Teilenatürlich auch auf chemischem Weg entfernen. Dies würde jedoch eine zusätzliche Verf ahrensstufe erforderlich machen, und zwar das Niederschlagen eines gegen Säure widerstandsfähigen Schutzüberzugs auf die auf der Isolatorunterlage enthaltenen vertieften Teile der leitenden Reliefschicht.

Bei den doppelseitigen gedruckten Schaltungen können die Verbindungen zwischen den Leiterbahnen der beiden Flächen

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nach dem mit metallisierten Durchbohrungen arbeitenden bekannten Verfahren hergestellt werden, wobei die Herstellung der Bohrungen und die Abscheidung von Metall in den Bohrungen entweder vor oder nach Wegnahme der erhabenen Teile erfolgt. Anstatt die Durchbohrungen zu metallisieren, kann man dort leitende Nieten einführen, wie sie ebenfalls in der Technik bekannt sind« Gemäss einer anderen Ausführungsweise kann man, um die Verbindungen an den Bäraern der Schaltung herzustellen, metallische Schienten vorsehen, die über die isolierende Unterlage hinausreichen, zumindestens an kleine Zungen an vorher bestimmten Stellen, wobei diese kleinen Zungen gegebenenfalls nach der Befestigung der Schichten mit der Unterlage abgeschnitten werden können. Die betreffenden kleinen Zungen müssen dann nur noch paarweise durch Schv/eissen, beispielsweise durch Punktschweissen, miteinander verbunden werden. Zur Herstellung der Verbindungen zwischen den von den Rändern entfernten Leiterbahnen kann man anstatt des Verfahrens, das von metallisierten oder anderweitig ausgestatteten Löchern bekannt ist, in der isolierenden Unterlage während der Befestigungsstufe Aussparungen vorsehen, dann an den Stellen dieser Aussparungen die Teile der Leiterbahnen auf beiden Seiten deformieren und sie durch elektrisches Punktschweissen verbinden. Es ist im übrigen möglich, das Relief der Leiterschichten so zu modulieren,

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dass diese Teile der Leiterbahnen derart verformt Hind, dass sie bei der Verbindung der Schienten mit der Unterlage miteinander in Berührung kommen.

Im folgenden wird die Urfindung unter Bezugnahme auf die Zeichnung beschrieben.

Pig. 1A ist eine Teilansicht und zeigt im Schnitt eine Auηführungsv/eise der ersten Verfahrensstufe, d.h. die Formung einer leitenden Folie durch Prägen mittels einer Matrize, wobei der Folie die in Fig. 2Λ gezeigte reliefartige Form verliehen wird.

Fig. 5A zeigt die Stufe der Befestigung der beiden so ausgebildeten Folien auf einer isolierenden Unterlage zur Herstellung einer doppelseitigen gedruckten Schaltung und die

Fig. 4A zeigt im Schnitt aas in dieser zweiten Stufe erhaltene Produkt.

Die Fig. 5A zeigt dann im Schnitt die Schaltung, die man nach Abtragen der erhabenen Teile des in Fig. 4A gezeigten Produkts erhält.

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Die 909807/0933

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Din Figuren 1B bis 5B zeigen dieselben LTüufen in einer anderen Auaführungsweise.

Die Fig. 6 zeigt in Schnitt ein Produkt, das aus dem in Fig. !?A gezeigten Produkt durch selektive Wegnahme von leitenden, -als überflüssig und schädlich angesehenen Flächen hergestellt werden kann.

Die Fig. 7 ist eine Teilansicht und zeigt im Schnitt eine andere Ausführungsweise der ersten Verfahrensstufe, und zwar die Verformung einer leitenden Schicht auf einer "übertragungsinatrize.

Die Fig. b, eine Teilansicht, zeigt dann im Schnitt die zweite Verfahrensstufe, und das bei dieser Stufe erhaltene Produkt ist im Schnitt in I'ig. 9 gezeigt.

Die Fig. 10 zeigt das fertige Produkt nach Wegnahme der erhabenen Teile.

Die aus drei Schemazeichnungen, a), b) und c), bestehende Fig. 11 zeigt eine Ausführungsweise der Erfindung zur Herstellung der Verbindungen in einer doppelseitigen gedruckten Uehaltung.

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Die Fig. 12 zeigt in zwei Schemazeichnungen, a) und b), eine Verfahrensweise zur Herstellung von Zwischenflächenverbindungen durch Lochmetallisierung.

Die Fig. 13 zeigt im Schnitt eine besondere Ausführungsweise zur Herstellung von Zwischenflächenverbindungen in einer erfindungsgemässen Schaltung.

In Fig. 1A sieht man eine ebene und dünne leitende Folie 1 in genau der Dicke, wie sie für die Leiterbahnen der fertigen Schaltung gewünscht ist. Die Folie liegt auf einer Unterlage 3 aus Kautschuk oder einem ähnlichen Material. Eine Matrize 2 liegt auf der Folie 1. Diese Matrize ist mit Aushöhlungen versehen, wie sie in 4 gezeigt sind. Die Anordnung wird in eine nicht gezeigte Presse gegeben. Mach dem Pressen ist die Folie 1 deformiert, genau wie es in Fig. 2A gezeigt ist, und weist G-rate 6 auf, welche die Umrisse der Leiterbahnen in der gewünschten Schaltung begrenzen. Diese Folie könnte auch mit der 'Umkehrmatrize" erhalten werden, wobei Fig. 2A eine Ansicht der dann "umgekehrten" Folie ist.

Die beispielsweise dargelegte Ausführungsform bezieht sich auf eine doppelseitige Schaltung. Die Fig. 3A zeigt zwei bereits 'in der reliefartigen Form ausgebildete Folien 1

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und 11, die auf "beiden Seiten eines Isolators ö angebracht sind, der z.B. aus Schichten von Fasern besteht, die mit einem nur in Gelform vorliegenden Harz imprägniert sind. Jede Folie wird durch eine Form 2 büw. 12 gehalten, welche dieselben Matrizen sein können, die zur vorherigen Ausbildung der Folien gedient haben oder gleichartige Matrizen. Bei der Anwendung von Druck und Wärme, wobei die Presse nicht eigens dargestellt ist, formt sich der Isolator ö zwischen die Metallfolien ein, deren Deformierung durch die Matrizen verhindert wird, und gleichzeitig kommt es zu einer Polymerisierung oder Erhärtung des Isolators, wobei die Folien auf einem ein Zwischenstück bildenden isolierenden Träger befestigt werden. Das dabei erhaltene Produkt ist im Schnitzln Fig. 4A dargestellt.

Zur Trennung der leitenden Teile voneinander genügt es dann, die Grate der reliefartig ausgebildeten Metallfolien zu entfernen, was vorzugsweise durch mechanischen Abrieb, z.B. durch Abschleifen, erfolgt. Nach der Wegnahme der Grate 6 weist die doppelseitige gedruckte Schaltung dann die in Fig. 5A gezeigte Form auf. Die Leiterbahnen 1 auf der einen Fläche und die Leiterbahnen 11 auf der anderen Fläche sind jetzt durch schmale Zwischenräume 13 getrennt, in welchen der Isolator freiliegt und sich genau in einer Ebene mit dem Niveau der leitenden Flächen befindet.

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Bei

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Bei gewissen Schaltungsformen and die leiterbalinen nicht unbedingt aneinander angrenzend und tote, d.h. inactive leitende Flächen verbleiben in dem Clement. In den meisten Fällen wirkt die Anwesenheit dieser toten Flächen nicht utörend. Möglicherweise ist ihre Entfernung trotzdem erwünscht. In diesem Fall v/erden diese toten Flächen in einer zusätzlichen Verfahrensstufe weggenommen, entweder einfach auf mechanischem yegsdurch Auskratzen oder Ausziselieren, oder auf chemischem V/ege, indem man Säure auf diese leitenden Flächen einwirken lässt, nachdem man vorher einendünnen säurewiderstandsfähigen überzug auf den tatsächlichen Leiterbahnen der Schaltung niedergeschlagen hat. Die Fig. b zeigt das Element der Fig. 5A, bei dem die störenden leitenden Flächen weggenommen wurden, wobei man die Vertiefungen 15 erhält.

Um in den besonderen Fällen, in denen die toten Flächen in dem fertigen Produkt nicht erwünscht sind, eine solche zusätzliche Massnahme zu vermeiden, ist eine Verfahrensweise, wie sie in den Figuren 1B bis 5B dargestellt ist, vorzuziehen. Bei dieser Verfanrensweise sind alle Verfahrensstufen und Zwischenprodukte der Ausführungsweise des Verrfahrens der Erfindung gemäss den Figuren 1A bis 5A wiedergegeben, doch ist die flatrize 2 in der ersten Verfahrensstufe, Fig. 1B, mit solchen Vertiefungen ausgebildet, wie

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sie in ί? dargestellt sind, welche je nach. Bedarf die gesamte Fläche einnehmen, die auf dem fertigen Produkt zwischen den Leiterbahnen freiiiegen soll. Derartige Fläcnen werden daher in Form reliefartiger Erhebungen 7, Fig. 2B, erscheinen. Nach Befestigung auf aer Unterlage, Figuren 5B und 4B, werden aiese getriebenen Flächen ebenso wie die Grate 6 vorhanden sein und sie werden gleichzeitig mit den Graten weggenommen, wodurcn man die in Fig. 5B gezeigte 'Jchaltung erhält, welche ausser den Trennbahnen 13 zwischen den aneinanaergrenzenden Leiterbahnen Aussparungen 14 aufweist, in welchen sich die isolierende Unterlage ebenfalls mit den verbleibenden leitenden Flächen in einer Ebene befindet.

Anstatt von leitenden Folien auszugehen, icann man auch nach einer anderen Ausführungsweise ein Übertragungsverfahren anwenden: man verwendet eine Matrize, in die Aushohlungen entsprechend dem gewünschten Relief 22, Fig. 7, eingeschnitten sind, und lagert auf dieser, beispielsweise auf elektrolytischem Wege, einen leitenden Überzug 2b ab, der nur sehr schwach auf der Matrizenoberfläche haftet. Zu diesem Zweck besteht die Matrize beispielsweise aus nicht oxydierendem Stahl oder aus Messing und weist einen Überzug 24 aus Chrom oder einer chromrexchen Legierung auf. Die Ablagerung erfolgt so lange, biü man eine leitende

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Schicht 21 der gewünschten Dicke erhalten hat, welche Grate 26 aufweist, die den reliefartigen Aushöhlungen der Matrize entsprechen.

Zwei derartige, mit leitenden Schichten versehene Matrizen werden dann auf beide Seiten einer isolierenden Faserschichtung 28 aufgebracht, die mit einem in Gelform vorliegenden Harz imprägniert ist (Fig. 8). Me zweite Matrize 32 trägt auf ihrer Chrom- bzw. Chromlegierungsschicht 34 nicht-haftend die metallische Schicht 31 mit ihren Graten 36. Wie vorher bringt man diese Matrizen mit Hilfe von angebrachten Marken in geeignete Stellungen zueinander. Bei Anwendung von Druck und Wärme kommt es zur Befestigung der Faserschichten miteinander und der metallischen Schichten auf der isolierenden Unterlage. Dann werden die Matrizen weggenommen. Die fest an der Unterlage und wenig an den Matrizen haftenden leitenden Schichten ergeben das im Schnitt in Fig. y gezeigte Produkt. Die Wegnahme der Grate durch Abtragen führt alsdann zu der in Fig. 10 gezeigten gedruckten Schaltung, welche Zwischenräume 23 und 33 zwischen den Leiterbahnen auf der Oberfläche des Isolators aufweist.

Anstelle der ungeformten Unterlage kann man in der zweiten Verfahrensstufe auch einen vorgeformten isolierenden Lack

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verwenden und diesen mit einem Harz in Gelform überziehen. Hierbei erhält man ein gleichwertiges Ergebnis, mit der Ausnahme, dasa die isolierenden Flächen, was den Grundkörper des isolierenden Trägers betrifft, nicht in der gleichen Ebene liegen wie die leitenden Flächen des Endproduktes.

Jede nach dem Verfahren der Erfindung hergestellte Schaltung kann dann gegebenenfalls mit einem Schutzbelag versehen v/erden, wie es bei der Herstellung derartiger Schaltungen üblich ist, beispielsweise mit einem Belag aus Nickel oder einer Nickellegierung.

Das beschriebene Verfahren ermöglicht ferner gegebenenfalls die Herstellung nicht ebener gedruckter Schaltungen, und zwar ebenso leicht wie die Herstellung ebener gedruckter Schaltungen, da es genügt, am Anfang die Matrizen zur Formung der metallischen Schichten und Folien auszubilden, um die gewünschten gekrümmten, gebogenen, konischen oder zylindrischen etc. Formen zu erhalten, unabhängig davon, ob eine einfache oder doppelseitige Schaltung hergestellt werden soll.

Es sei noch kurz angegeben, wie bei den doppelseitigen Schaltungen die Verbindungen zwischen den Leiterbahnen der beiden gegenüberliegenden Flächen hergestellt werden

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können. Die Herstellung derartiger Verbindungen ist an sich bereits "bekannt und es genügt, hier anzugeben, wie praktisch bei der Herstellung der Schaltungen nach dem Verfahren der Erfindung vorgegangen werden soll.

Die Verbindungen können am Rand angebracht werden, und zwar durch Metallisierung der Ränder des fertigen Produkts und anschliessende Wegnahme der überflüssigen Metallteile durch Abkratzen oder auf chemischem Vfege. Die Verbindungen können auch beispielsweise durch elektrisches Verschweissen von leitenden kleinen Zungen hergestellt werden, welche so vorgeformt sind, dass sie über die Ränder des isolierenden Zwischenteiles hinausragen. Zu diesem Zweck sieht man während der zweiten Verfahrensstufe an dem Isolator einen Abstand vor, indem man die Abmessungen der metallischen Schichten grosser hält als diejenigen des Isolators, damit diese über den.Isolator an den Seitenflächen der Schaltung hinausragen. VTie in Pig. 11, Zeichnung a) von oben und Zeichnung b) von der Seite gezeigt, kann man auch kleine Zungen, wie in 52 und 53 dargestellt, zuschneiden, welche die Leiterbahnen wie 50 bzw. 51 über die Flächen der isolierenden Zwischenschicht 58 hinaus verlängern und dann die betreffenden Zungen beispielsweise durch elektrisches Punktsohweissen, Zeichnung c), 3?ig. 11, vereinen.

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Zur Herstellung dieser Verbindungen kann man die kleinen Zungen an den leitenden Folien vor deren Ausbildung zu einem Relief vorformen oder sie bei Verwendung von Übertragungsmatrizen bei der Ablagerung bilden. Wenn man sie nicht so vorgeformt hat, kann man sie vor oder naoh der Wegnahme der erhabenen Teile zuschneiden und man kann die eine wie die andere Verfahrensstufe wählen. In jedem Falle werden die kleinen Zungen dann durch Purfcbveraohweissen vereint.

Zur Herstellung der quer durch die isolierende Zwischenschicht verlaufenden Zwischenflächenverbindungen bohrt man vor oder nach der Wegnahme der erhabenen Teile zuerst Löcher, wie sie in 5A, Zeichnung a) der Fig. 12 gezeigt sind, und sensibilisiert dann die Innenwände dieser Löcher unter Anwendung eines an sich bekannten, nicht elektrolytisohen Verfahrens, wobei man die blossgelegten Isolatorteile schützt, wenn man diese Massnahme nach der Wegnahme der erhabenen Teile durchführt. Dann gibt man die Schaltung in ein einen Elektrolyten enthaltendes G-efäss, in welchem die Ablagerung einer ununterbrochenen, die gewünschten Verbindungen darstellende Metallschicht auf die Innenwände der Löcher 55, Zeichnung b), und auf die Oberflächenleiterbahnen 56 und 57 erfolgt. Die dabei entstehende Verdickung der Leiterbahnen kann bei der Wahl der Dicke der leitenden

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Folien bzw. der auf die ÜbertragungBmatrizen niedergeschlagenen Schichten berücksichtigt werden.

Eine andere Ausführi^ngsweise zur Herstellung von Verbin-

düngen besteht darin, Aussparungen in dem Isolator 58 an den gewünschten Stellen vorzusehen, wie es in Fig. 13 gezeigt ist, dann die teiterbahnen an diesen Stellen zu deformieren, um sie miteinander in Berührung zu bringen und, wie in 59 gezeigt, durch elektrisches Punktsohweissen miteinander zu verbinden. Die Vertiefungen können durch Zusammenziehen der Backen dee elektrischen Schweissgerätes erhalten werden. Nach einer anderen Ausführungsweiee können die Vertiefungen bei der Ausbildung der Schichten und Folien duroh eine entsprechende Anpassung der Matrizen an diese Verfahrensstufe vorgesehen werden.

Patentansprüche

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Patentansprüche

1) Verfehren sur Herstellung gedruckter elektrischer Schaltungen, dadurch gekennzeichnet, dass mindestens eine leitende Sohlcht zu einem Belief ausgebildet wird, dessen Grate die Umrisse der Leiterbahnen des fertigen Produktes begrenzen, dass mindestens eine derart ausgebildete Schicht auf einer isolierenden Unterlagen befestigt wird, und dass die Grate dieses leitenden Reliefs sur Trennung der Leiterbahnen in der Schaltung entfernt werden,

2) Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet,

dass bei der «weiten Verfahrensstufe die geformte Schicht mittels einer Matrize zur Aufreohterhaltung der Porm auf die fläche einer isolierenden Unterlage gehalten wird, welche mindesten« eine oberflächliche Sohioht eines nur in Gelform Torliegenden Harzes enthält, und dass die Anordnung zur Härtung des Harzes und Gewährleistung der innigen Haftung zwischen der geformten leitenden Sohioht und der Unterlage ohne Deformierung der Grate des Belief· Wärme und Brück ausgesetzt wird.

3) Verfahren nach Anspruch 1, daduroh gekennzeichnet, dass sur formung der leitenden Schicht eine leitende folie

zwischen

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zwischen eine Matrize mit einem Hegativrelief und eine Unterlage aus Hartkautschuk gebracht wird, und dass but Deformierung der Folie entsprechend dem Hohlrelief der - Matrize Druck angewandt wird.

4) Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass zur formung der leitenden Schicht eine dem Negativ des Beliefs der leitenden Schicht entsprechende Matrize mit einem chromhaltigen Überzug angefertigt wird, worauf man elektrolytisch die Lederschicht in der gewünschten Dioke auf diesem Überzug, an welchem sie nur schwach haftet, niederschlägt, aqdass bei der anschilessenden Wegnahme der Matrize die Leitersohloht fest haftend auf dem Isolierenden Träger zurückbleibt.

5) Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass bei der zweiten Verfahrens stufe die Unterlage aus mit einem hlteehärtbaren und nur in Gelform vorliegenden Harz imprägnierten Pasern hergestellt wird, dass die die leitende Schicht enthaltende Matrize auf eine Fläch· dieser Unterlage gebracht wird, und dass Druck und Wärm· angewandt werden, um gleichzeitig die Unterlage starr zu formen und ihre innige Haftung an der leitenden Sehloht zu gewährleisten.

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6) Verfahren naoh Anspruoh 1, daduroh gekennzeichnet, dam in der dritten Stufe die Grate dee reliefartig ausgebildeten Leiters mechanisch abgetragen werden.

7) Verfahren naoh Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass Tor WegnahiM der Grate des Beliefs die beizubehaltenden Teile Bit einem säurewiderstandsfählgen Produkt übersogen werden, und dass die duroh diesen Überzug nicht geschützten Teile mit Säure behandelt werden, bis die isolierende Unterlage freigelegt ist.

8) Verfahren naoh Anspruch 1« daduroh gekennzeichnet, dass die bei der ersten Stufe verbleibenden toten leitenden Häohen in der Schaltung in der dritten Stufe zusätzlich zur Entfernung der Grate des Reliefs entfernt werden·

9) Verfahren naoh Anspruch 1, daduroh gekennzeichnet, dass cur Herstellung einer doppelseitigen Schaltung in der zweiten Stufe die beiden geformten leitenden Schichten gleichseitig auf den gegenüberliegenden Flächen eines isolierenden Trägers befestigt werden, und dass zusätzlich« Stufen zur Herstellung der Verbindungen zwischen den beiden Selten in der Schaltung vorgesehen werden.

10) Verfahren nach Anspruch 9, daduroh gekennzeichnet, dass bei diesen zusätzlichen Stufen vor der Befestigung der

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leitenden

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leitenden Schichten an dem isolierenden Träger in diesem Löcher vorgesehen werden, und dass die leitenden Schichten an diesen Stellen so deformiert werden, dass sie quer durch diese Löcher in positiven Kontakt miteinander kommen.

11) Verfahren nach Anspruch 10, dadurch gekennzeichnet, dass bei der Formung der leitenden Schicht in reliefartige, die Leiter trennende Grate ausserdem ein Relief in umgekehrter Richtung gebildet wird, welches die Ausbildung der Zwisohenfläohenverbindungen zumindest vorbereitet, die in der zweiten Stufe durch Eindringen in die zu diesem Zweok in dem Träger vorbereiteten Löcher hergestellt werden.

12) Verfahren nach Anspruch 10, dadurch gekennzeichnet, dass die Kontaktstellen nach oder während des Zusaanenbringens der Schichten quer durch die Löcher des Isolators durch elektrische Funktversohweisaung unter Druck verbunden werden·

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