DE1202905B - Device for measuring and sorting semiconductor components - Google Patents

Description

BUNDESREPUBLIK DEUTSCHLANDFEDERAL REPUBLIC OF GERMANY

DEUTSCHESGERMAN

PATENTAMTPATENT OFFICE

AUSLEGESCHRIFTEDITORIAL

Int. α.:Int. α .:

HOIlHOIl

Deutsche Kl.: 21g-11/02German class: 21g-11/02

Nummer: 1202905Number: 1202905

Aktenzeichen: J 23606 VIII c/21 gFile number: J 23606 VIII c / 21 g

Anmeldetag: 26. April 1963 Filing date: April 26, 1963

Auslegetag: 14. Oktober 1965Opening day: October 14, 1965

Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung zum Messen und Sortieren von Halbleiterbauelementen, bei der die zu messenden Bauelemente in einem Vorratsbehälter untergebracht sind und jeweils ein Bauelement aus diesem Behälter durch Freigabe einer Öffnung nach unten in einen Meßplatz fällt, gemessen wird und durch kurzzeitige Freigabe einer Öffnung im Meßplatz nach unten in einen Auffangbehälter gelangt, wobei bewegbare, in ihrer Bewegung aufeinander abgestimmte Schieber das öffnen und Schließen der beiden Öffnungen bewirken.The invention relates to a device for measuring and sorting semiconductor components which the components to be measured are housed in a storage container and one component each falls from this container by releasing an opening down into a measuring station, measured and by briefly releasing an opening in the measuring station down into a collecting container arrives, with movable, in their movement coordinated slide opening and closing of the two openings.

Bei zahlreichen Halbleiterbauelementen ist es notwendig, diese nach der Fertigung zu messen und hinsichtlich ihrer Brauchbarkeit oder nach ihren elektrischen Daten zu sortieren. Zu diesem Zweck ist es notwendig, Halbleiterbauelemente aus einem Vorratsbehälter an einen Meßplatz zu führen und von dort in einen dem Meßergebnis entsprechenden Vorratsbehälter zu leiten. Es ist bekannt, zu diesem Zweck mittels geeigneter aufeinander abgestimmter Schieber, die Öffnungen freigeben und schließen, aus einem Vorratsbehälter jeweils ein Bauelement an einen Meßplatz zu führen und nach der Messung von dem Meßplatz in einen Auffangbehälter zu leiten. Es kommt bei derartigen Vorrichtungen darauf an, daß as die den Rhythmus der Messung bestimmenden Schieber in ihrer Bewegung genau aufeinander abgestimmt sind. Zu diesem Zweck hat man bisher die beweglichen Teile durch einen zentralen Motor angetrieben und ihre Bewegung über geeignet ausgebildete Nockenwellen und Gestänge gesteuert. Es ist leicht einzusehen, daß es verhältnismäßig umständlich ist, von einem örtlich zentralen Antriebsaggregat mechanische Kräfte an verschiedene Stellen zu übertragen. Da eine Meßanordnung der beschriebenen Art genau arbeiten muß, ist sie auch verhältnismäßig störanfällig. With numerous semiconductor components, it is necessary to measure them after production and with regard to according to their usefulness or according to their electrical data. To that end it is necessary to lead semiconductor components from a storage container to a measuring station and from there to lead into a storage container corresponding to the measurement result. It is known to this end by means of suitably coordinated slides that open and close openings from one To lead storage container each a component to a measuring station and after the measurement of the To lead the measuring station into a collecting container. With such devices it is important that as the movement of the slide that determines the rhythm of the measurement is precisely coordinated with one another are. For this purpose, the moving parts have hitherto been driven by a central motor and their movement is controlled by suitably designed camshafts and linkages. It is easy understand that it is relatively cumbersome to mechanically drive a locally central drive unit To transfer forces to different places. Since a measuring arrangement of the type described is accurate has to work, it is also relatively prone to failure.

Die Erfindung vermeidet die Nachteile der bekannten Anordnung, indem sie die mechanische Kraftübertragung zur Betätigung der Schieber nicht mehr von einem zentralen Motor aus vornimmt, sondern den Antrieb der zu steuernden beweglichen Teile in die Nähe dieser Teile legt und lediglich diese Antriebe von einer zentralen Stelle aus mittels elektrischer Impulse steuert. Erfindungsgemäß wird das dadurch erreicht, daß die beiden Schieber an einem Drehmagneten befestigt sind, der durch elektrische Impulse gegenüber einer rücktreibenden Feder angezogen wird und dabei die Schieber bewegt, und daß an einem zweiten, ebenfalls durch elektrische Impulse der gleichen Impulsquelle betätigten Drehmagneten ein Schieber befestigt ist, der das Bauelement während Vorrichtung zum Messen und Sortieren
von HalbleiterbauelementenThe invention avoids the disadvantages of the known arrangement in that it no longer carries out the mechanical power transmission for actuating the slide from a central motor, but places the drive of the moving parts to be controlled in the vicinity of these parts and only these drives from a central point controls by means of electrical impulses. According to the invention this is achieved in that the two slides are attached to a rotary magnet, which is attracted by electrical impulses to a restoring spring and thereby moves the slide, and that a slide is attached to a second rotary magnet, also actuated by electrical pulses from the same pulse source is that the component during device for measuring and sorting
of semiconductor components

Anmelder:Applicant:

IntermetallIntermetall

Gesellschaft für MetallurgieMetallurgy Society

und Elektronik m. b. H.,and electronics m. b. H.,

Freiburg (Breisgau), Hans-Bunte-Str. 19Freiburg (Breisgau), Hans-Bunte-Str. 19th

Als Erfinder benannt:Named as inventor:

Gerhard Herold, Freiburg (Breisgau)Gerhard Herold, Freiburg (Breisgau)

seines Aufenthaltes im Meßplatz an die Meßkontakte drückt.his stay in the measuring station presses against the measuring contacts.

Die weiteren Merkmale und Vorteile der Erfindung werden im folgenden an Hand der Zeichnung näher erläutert. Die Zeichnung gibt eine vereinfachte schematische Darstellung in Form eines Querschnitts einer Vorrichtung zum Messen und Sortieren nach der Erfindung. The further features and advantages of the invention are explained in more detail below with reference to the drawing explained. The drawing gives a simplified schematic representation in the form of a cross section of a Device for measuring and sorting according to the invention.

Auf einem Montagetisch 1 sind zwei Drehmagnete 2 und 3 befestigt. An dem einen Drehmagneten 2 sind mittels eines Kurbelmechanismus 16 zwei Schieber 4 und 5 befestigt, die durch eine Führungshalterung 8 laufen und die Öffnung im unteren Teil des Vorratsbehälters 9 sowie die Öffnung im unteren Teil des Meßplatzes 12 verschließen können. An dem anderen Drehmagneten 3 ist ebenfalls durch einen Kurbelmechanismus 17 ein Schieber 6 mit einem Isolierkörper 18 befestigt. Der Schieber läuft durch eine Führungshalterung 7. Die Drehmagneten 2 und 3 werden durch eine Feder in einer Ruhestellung gehalten. Durch elektrische Impulse bestimmter Reihenfolge und bestimmter Impulsdauer werden die beiden Drehmagneten in einem bestimmten vorgegebenen Rhythmus angezogen und wieder freigegeben.Two rotary magnets 2 and 3 are attached to an assembly table 1. On one rotary magnet 2 there are two by means of a crank mechanism 16 Slider 4 and 5 attached, which run through a guide bracket 8 and the opening in the lower part of the storage container 9 and the opening in the lower part of the measuring station 12 can close. To the other rotary magnet 3 is also by a crank mechanism 17, a slide 6 with a Insulating body 18 attached. The slide runs through a guide bracket 7. The rotary magnets 2 and 3 are held in a rest position by a spring. By electrical impulses in a certain order and a certain pulse duration, the two rotary magnets are set in a certain Rhythm tightened and released again.

Die beiden Schieber 4 und 5 sind an dem Drehmagneten 2 derart befestigt, daß bei der Ruhestellung des Drehmagneten der Schieber 5 die Öffnung im unteren Teil des Meßplatzes 12 verschließt, während der Schieber 4 die Öffnung im unteren Teil des Vorratsbehälters 9 freigibt. Bei der Ruhestellung des Drehmagneten 3 ist der Schieber zurückgezogen, und der Isolierkörper 18 gibt die volle Öffnung des Meßplatzes 12 frei.The two slides 4 and 5 are attached to the rotary magnet 2 in such a way that in the rest position of the rotary magnet of the slide 5 closes the opening in the lower part of the measuring station 12, while the slide 4 releases the opening in the lower part of the storage container 9. When the Rotary magnet 3, the slide is retracted, and the insulating body 18 is the full opening of the measuring station 12 free.

Die Halbleiterbauelemente 13 befinden sich in dem Vorratsbehälter 9, der zweckmäßig in Form eines Einfüllstutzens ausgebildet ist, in dem die zu messenden Halbleiterbauelemente 13 übereinandergeschichtet sind.The semiconductor components 13 are located in the storage container 9, which is expediently in the form of a Filler neck is formed in which the semiconductor components to be measured 13 are stacked one on top of the other are.

509 717/325509 717/325

Im Meßplatz 12 berühren die Zuleitungsdrähte des Halbleiterbauelementes die Meßkontakte 10 und 11, die zu einem nicht dargestellten Meßgerät führen, das die gewünschten elektrischen Daten feststellt und gleichzeitig einen im Zusammenhang mit der Eriindung nicht näher beschriebenen Steuermechanismus betätigt, der dafür sorgt, daß das aus dem Meßplatz 12 herausgleitende Bauelement 15 in den für seine elektrischen Meßdaten maßgebenden Vorratsbehälter gelangt. Zu diesem Zweck ist der Vorratsbehälter, der sich unterhalb der öffnung in dem Meßplatz und unterhalb des in der Zeichnung dargestellten Tisches 1 befindet, häufig in Form eines Klappenschrankes aufgebaut, bei dem durch die elektrischen Meßdaten die jeweils zuständigen Klappen geöffnet werden.In the measuring station 12, the lead wires of the semiconductor component touch the measuring contacts 10 and 11, which lead to a measuring device, not shown, which determines the desired electrical data and at the same time a control mechanism not described in more detail in connection with the invention operated, which ensures that the sliding out of the measuring station 12 component 15 in the for his electrical measurement data relevant storage container arrives. For this purpose, the storage container, the below the opening in the measuring station and below the table 1 shown in the drawing located, often built in the form of a flap cabinet, in which the electrical measurement data relevant flaps are opened.

Die Funktion der Vorrichtung ist leicht zu verstehen. Zu Beginn des Meß- und Sortierablaufs werden die Bauelemente 13 in den Einfüllstutzen 9 gefüllt. Die Drehmagneten 2 und 3 befinden sich in Ruhestellung. In dieser Stellung gibt der Schieber 6 mit dem Isolierkörper 18 den vollen Raum des Meßplatzes 12 frei. Ferner ist die Öffnung im unteren Teil des Einfüllstutzens 9 bei Ruhestellung des Drehmagneten 2, in der der Schieber 4 zurückgezogen ist, freigegeben. Dagegen ist die Öffnung im unteren Teil des Meßplatzes 12 durch den Schieber 5 verschlossen. Es befindet sich demnach ein Bauelement 14 im Meßplatz. The function of the device is easy to understand. At the beginning of the measuring and sorting process the components 13 are filled into the filler neck 9. The rotary magnets 2 and 3 are in Rest position. In this position, the slide 6 with the insulating body 18 gives the full space of the measuring station 12 free. Furthermore, the opening is in the lower part of the filler neck 9 when the rotary magnet is in the rest position 2, in which the slide 4 is withdrawn, released. In contrast, the opening is in the lower part of the measuring station 12 closed by the slide 5. There is accordingly a component 14 in the measuring station.

Beim Einschalten zieht der Drehmagnet 3 in Pfeilrichtung an, so daß der Schieber 6 sich mit dem Isolierstück 18 in der Zeichenebene nach rechts bewegt und das Bauelement 14 im Meßplatz 12 gegen die Meßkontakte 10 und 11 drückt. Das Bauelement, das im vorliegenden Fall z.B. eine Halbleiterdiode darstellt, wird gemessen. Nach Beendigung der Messung zieht der Drehmagnet 2 in Pfeilrichtung an. Dadurch wird die untere Öffnung des Einfüllstutzens geschlossen, so daß zur Zeit weitere Bauelemente aus dem Vorratsbehälter nicht in den Meßplatz gelangen können. Gleichzeitig fällt der Magnet 3 ab, so daß die untere Öffnung im Meßplatz geöffnet ist und das gemessene Bauelement nach unten in den dafür vorgesehenen Auffangbehälter gelangt. Anschließend fällt der Drehmagnet 2 wieder ab. Die untere Öffnung im Einfüllstutzen ist wieder freigegeben und die untere Öffnung am Meßplatz geschlossen. Ein neues Bauelement gelangt somit in den Meßplatz. Anschließend wiederholt sich der Vorgang. Der Drehmagnet 3 zieht verzögert an, da die Fallzeit des Bauelementes vom Einfüllstutzen in den Meßplatz berücksichtigt werden muß.When you turn on the rotary magnet 3 pulls in the direction of the arrow, so that the slide 6 with the Insulating piece 18 moved to the right in the plane of the drawing and the component 14 in the measuring station 12 against the measuring contacts 10 and 11 presses. The component, which in the present case is e.g. a semiconductor diode is measured. After completion of the measurement, the rotary magnet 2 attracts in the direction of the arrow. Through this the lower opening of the filler neck is closed, so that further components are currently out the storage container cannot get into the measuring station. At the same time, the magnet 3 falls off, so that the The lower opening in the measuring station is open and the measured component is pushed down into the designated area Collecting container arrives. The rotary magnet 2 then falls off again. The lower opening in the filler neck is released again and the lower opening at the measuring station is closed. A new The component thus arrives at the measuring station. The process is then repeated. The rotary magnet 3 picks up with a delay, as the fall time of the component from the filler neck into the measuring station is taken into account must become.

Nach der Erfindung ist es also lediglich notwendig, elektrische Impulse so auszusenden, daß der Drehmagnet 3 angezogen ist, wenn der Drehmagnet 2 sich in Ruhestellung befindet. Ferner ist es notwendig, die Impulsdauer so einzurichten, daß die verschiedenen Öffnungen hinreichend lange geöffnet bzw. geschlossen sind. Gegebenenfalls können die Betätigungsimpulse für die Drehmagneten durch die Meßeinrichtung gesteuert werden.According to the invention, it is only necessary to send out electrical pulses in such a way that the rotary magnet 3 is attracted when the rotary magnet 2 is in the rest position. It is also necessary to use the Set up the pulse duration so that the various openings are open or closed for a sufficiently long time are. If necessary, the actuation pulses for the rotary magnets can be provided by the measuring device being controlled.

Der Vorteil der Erfindung besteht darin, daß nur wenige mechanisch bewegliche Teile verwendet werden und daß deren Antrieb unmittelbar in der Nähe ihres Wirkungsbereiches erfolgt, so daß eine winkelige Führung der mechanischen Kraftübertragung mittels Gelenken und Gestängen vermieden wird. Als Antriebsteile werden Drehmagneten verwendet, die durch eine zentrale Stelle elektrisch gesteuert werden. Diese zentrale Stelle übernimmt einen Teil der Funktion des zentralen Antriebsmotors bei den bisher bekannten Anordnungen. Nach der Erfindung werden also die Steuerungsfunktion und die Antriebsfunktion voneinander getrennt und durch verschiedene in ihrer Ausführung einfachere Mittel übernommen.The advantage of the invention is that only a few mechanically moving parts are used and that their drive takes place in the immediate vicinity of their area of action, so that an angular Guiding the mechanical power transmission by means of joints and rods is avoided. as Drive parts are using rotary magnets that are electrically controlled by a central point. This central point takes over part of the function of the central drive motor in the previously known Arrangements. According to the invention, the control function and the drive function separated from each other and taken over by various means which are simpler in their execution.

Claims (5)

Patentansprüche:Patent claims: 1. Vorrichtung zum Messen und Sortieren von Halbleiterbauelementen, bei der die zu messenden Bauelemente in einem Vorratsbehälter untergebracht sind und jeweils ein Bauelement aus diesem Behälter durch Freigabe einer öffnung nach unten in einen Meßplatz fällt, gemessen wird und danach durch kurzzeitige Freigabe einer Öffnung im Meßplatz nach unten in einen Auffangbehälter gelangt, wobei bewegbare in ihrer Bewegung aufeinander abgestimmte Schieber das Öffnen und Schließen der beiden Öffnungen bewirken, dadurch gekennzeichnet, daß die beiden Schieber (4 und 5) an einem Drehmagneten (2) befestigt sind, der durch elektrische Impulse gegenüber einer rücktreibenden Feder angezogen wird und dabei die Schieber bewegt, und daß an einem zweiten, ebenfalls durch elektrische Impulse der gleichen Impulsquelle betätigten Drehmagneten (3) ein Schieber (6) befestigt ist, der das Bauelement (14) während seines Aufenthaltes im Meßplatz (12) an die Meßkontakte (10 und 11) drückt.1. Device for measuring and sorting of semiconductor components, in which the to be measured Components are housed in a storage container and each one component from this Container falls by releasing an opening downwards into a measuring station, is measured and then by briefly releasing an opening in the measuring station down into a collecting container arrives, with movable slides coordinated in their movement opening and Cause closing the two openings, characterized in that the two Slides (4 and 5) are attached to a rotary magnet (2) that is driven by electrical impulses is attracted to a restoring spring and thereby moves the slide, and that on a second rotary magnet, also actuated by electrical pulses from the same pulse source (3) a slide (6) is attached, which the component (14) during its stay in Measuring station (12) presses against the measuring contacts (10 and 11). 2. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Schieber (4 und 5) an dem Drehmagneten (2) derart befestigt sind, daß bei der Ruhestellung des Magneten der untere Schieber (5) die Öffnung des Meßplatzes (12) verschließt und gleichzeitig der obere Schieber (4) die öffnung des Vorratsbehälters (9) freigibt und daß beim Anziehen des Magneten durch einen elektrischen Impuls die Verhältnisse umgekehrt sind.2. Apparatus according to claim 1, characterized in that the slide (4 and 5) on the Rotary magnets (2) are attached in such a way that when the magnet is in the rest position, the lower slide (5) the opening of the measuring station (12) closes and at the same time the upper slide (4) the Opening of the storage container (9) releases and that when the magnet is attracted by an electric Momentum the proportions are reversed. 3. Vorrichtung nach den Ansprüchen 1 und 2, dadurch gekennzeichnet, daß eine Impulsquelle die Impulse für die beiden Drehmagneten (2 und 3) derart liefert, daß der Drehmagnet (3) während der Meßdauer durch einen Impuls angezogen wird und der Schieber (6) das Bauelement (14) gegen die Meßkontakte (10 und 11) drückt, während der Drehmagnet (2) während der Meßdauer sich in Ruhestellung befindet und nach beendeter Messung kurzzeitig angezogen wird.3. Device according to claims 1 and 2, characterized in that a pulse source supplies the pulses for the two rotary magnets (2 and 3) in such a way that the rotary magnet (3) is attracted by a pulse during the measuring period and the slide (6) the component (14) presses against the measuring contacts (10 and 11), while the rotary magnet (2) during the measuring period is in the rest position and is tightened briefly after the measurement is complete. 4. Vorrichtung nach den Ansprüchen 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, daß der den Schieber (6) bewegende Magnet (3) entsprechend der Fallzeit des Bauelementes von dem Vorratsbehälter (9) in den Meßplatz (12) verzögert anzieht.4. Device according to claims 1 to 3, characterized in that the slide (6) moving magnet (3) according to the time the component falls from the storage container (9) in the measuring station (12) attracts with a delay. 5. Vorrichtung nach einem oder mehreren der Ansprüche 1 bis 4, dadurch gekennzeichnet, daß der Auffangbehälter nach Art eines Klappenschrankes unterteilt ist und die gemessenen Bauelemente entsprechend den Meßwerten in bestimmte Teile des Klappenschrankes gleiten.5. Device according to one or more of claims 1 to 4, characterized in that the collecting container is subdivided like a flap cabinet and the measured components slide into certain parts of the flap cabinet according to the measured values. In Betracht gezogene Druckschriften:
USA.-PatentschriftNr. 3 080 053.Considered publications:
U.S. Patent No. 3,080,053. Hierzu 1 Blatt Zeichnungen1 sheet of drawings 509 717/325 10.65 © Bundesdruckerei Berlin509 717/325 10.65 © Bundesdruckerei Berlin