DE1124472B - Verfahren und Vorrichtung zur Herstellung von Siliciumdioxyd - Google Patents

Verfahren und Vorrichtung zur Herstellung von Siliciumdioxyd

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DE1124472B
DE1124472B DEB52354A DEB0052354A DE1124472B DE 1124472 B DE1124472 B DE 1124472B DE B52354 A DEB52354 A DE B52354A DE B0052354 A DEB0052354 A DE B0052354A DE 1124472 B DE1124472 B DE 1124472B
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silicon tetrachloride
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Arthur Wallace Evans
William Hughes
Bernard Harris
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British Titan Ltd
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British Titan Ltd
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    • B82YSPECIFIC USES OR APPLICATIONS OF NANOSTRUCTURES; MEASUREMENT OR ANALYSIS OF NANOSTRUCTURES; MANUFACTURE OR TREATMENT OF NANOSTRUCTURES
    • B82Y30/00Nanotechnology for materials or surface science, e.g. nanocomposites
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    • C01INORGANIC CHEMISTRY
    • C01BNON-METALLIC ELEMENTS; COMPOUNDS THEREOF; METALLOIDS OR COMPOUNDS THEREOF NOT COVERED BY SUBCLASS C01C
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Description

  • Verfahren und Vorrichtung zur Herstellung von Siliciumdioxyd Das Hauptpatent betrifft ein Verfahren zum Erzeugen von Siliciumdioxyd durch Reaktion von Siliciumtetrachlorid mit Sauerstoff oder sauerstoffhaltigem Gas in der Dampfphase. Nach dem Hauptpatent wird diese Reaktion in einem Fließbett, auch Wirbelschicht genannt, aus feinverteiltem, festem, inertem Stoff durchgeführt.
  • Die Erfindung betrifft eine Verbesserung dieses Verfahrens, welche insbesondere seine Anwendung in großtechnischem Maßstab ermöglicht; sie besteht darin, daß beide Reaktionsteilnehmer in das Fließbett bzw. die Wirbelschicht durch eine Vielzahl von am Boden des Reaktors in gemischter Verteilung angeordneten Eintrittsöffnungen mit Verengungen eingeführt werden und die Verengungen einer jeden Eintrittsöffnung so bemessen sind, daß gegenüber dem Druck der vorgeschalteten Gasversorgungen ein Druckabfall eintritt, der mindestens gleich dem halben Druckabfall zwischen dem Boden und dem oberen Ende des Fließbettes ist.
  • Nach dem Hauptpatent werden die Reaktionsteilnehmer durch je eine Eintrittsöffnung in das Fließbett eingeführt, und zwar einer von ihnen durch eine über dem Boden des Fließbettes gelegene Eintrittsöffnung. Dabei strömt der eine Reaktionsteilnehmer mit einer Strömungskomponente entgegen der Strömungsrichtung des anderen. Erfindungsgemäß wird die Durchmischung der Reaktionsteilnehmer durch die gemischte Verteilung der Eintrittsöffnungen am Boden des Fließbettes erreicht.
  • Die Maßnahme, Reaktionsteilnehmer durch Eintrittsöffnungen mit Verengungen zuzuführen und den Druckabfall in diesen Verengungen so einzustellen, daß er mindestens gleich dem halben Druckabfall zwischen dem Boden und dem oberen Ende des Fließbettes ist, ist insofern wesentlich, als sie den gleichmäßigen Fließzustand in dem Bett sichert.
  • Der Druckabfall an den Einengungen ist in der Regel größer als 0,14 kg/cm2. Der Gesamtdruckabfall an den Einengungen und in dem Bett ist in der Regel größer als 0,21 kg/cm2 und kaum größer als 7 kg/cm2.
  • Da die Oxydation von Siliciumtetrachlorid exotherm verläuft, ist es möglich, in dem Fließbett die Reaktionstemperatur ausschließlich durch die bei der exothermen Reaktion frei werdende Wärme aufrechtzuerhalten, indem man den Reaktor isoliert und entsprechend groß auslegt, so daß das Fließbett auf einer vorzugsweisen Temperatur von 1l00° C gehalten werden kann. Im allgemeinen ist bei autothermischem Reaktionsablauf der Fließbettinnendurchmesser mehr als 38 cm.
  • Um zu verhindern, daß das Si C14 bei Eintritt in das Fließbett hochmal kondensiert wird, führt man den Sauerstoff erwärmt mit einer Temperatur von vorzugsweise 50 bis 100° C zu.
  • Die Einstellung der Temperatur des Fließbettes kann durch Kühlung erfolgen, etwa durch Einführung eines gasförmigen oder flüssigen Kühlmittels oder durch kontinuierliche oder intermittierende Einführung von kaltem, festem, inertem Fließbettmaterial und durch Entnahme einer gleichen Menge heißem Fließbettmaterial.
  • Die Gasgeschwindigkeit in dem Fließbett wird zweckmäßig zwei- bis fünfzehnmal so groß gehalten wie die für die Herbeiführung des Fließzustandes erforderliche Minimalgeschwindigkeit.
  • Das Hauptpatent befaßt sich auch mit der Reinigung des durch die Oxydation entstehenden Siliciumdioxyds; es wird dort das Siliciumdioxyd nach dem Abtrennen von den bei der Reaktion entstehenden Gasen, von denen es mitgerissen wird, mit Wasser behandelt oder mit Wasserdampf bei einer Temperatur von nicht unter 250° C.
  • Auch in dieser Beziehung schafft die Erfindung eine Verbesserung, welche die großtechnische Durchführung erleichtert. Erfindungsgemäß wird das entstehende Siliciumdioxyd nämlich bei erhöhter Temperatur von vorzugsweise 300 bis 600° C mit einem Strom von Luft, Sauerstoff oder einem anderen unschädlichen Gas gereinigt, vorzugsweise in Verbindung mit Ammoniak und/oder Wasserdampf. Das Siliciumdioxyd kann durch den Behandlungsstrom im Fließzustand gehalten werden, und zwar kann die Fließbettbehandlung intermittierend durchgeführtwerden, indem eine bestimmte Menge von Siliciumdioxyd in ein Fließbett gebracht, behandelt und nach einer bestimmten Behandlungszeit wieder entnommen wird, oder aber kontinuierlich. Die erforderliche Behandlungstemperatur kann durch Erwärmung des Behandlungsstromes aufrechterhalten werden.
  • Der Behandlungsstrom kann nach dem Reinigungsvorgang zur Gewinnung von Silieiumdioxyd durch Reaktion mit Siliciumtetrachlorid verwendet werden.
  • Zur Durchführung der Oxydation im großtechnischen Maßstab bedient man sich zweckmäßig einer Vorrichtung mit Eintrittsöffnungen für Sauerstoff und Siliciumtetrachlorid in Form von Durchbrechungen in einer Bodenplatte des Fließbettreaktors; diese Durchbrechungen sind dabei an ein Sauerstoff- bzw. Siliciumtetrachlorid-Versorgungssystem angeschlossen.
  • DieDurchbrechungen derBodenplattekönnendurch gasdurchlässige, poröse Scheiben abgedeckt sein, um einen Durchfall von Fließbettmaterial zu verhindern.
  • Die Eintrittsöffnungen können auch unmittelbar über dem Boden des Fließbettreaktors in Rohren vorgesehen sein, welche durch die Bodenplatte hindurchgeführt, über dem Boden des Fließbettreaktors nach oben abgeschlossen und mit seitlichen, von der Innenwand nach der Außenwand der Rohre hin nach unten verlaufenden Bohrungen versehen sind.
  • In den Zuführungsleitungen nach den Eintrittsöffnungen sind die den Druckabfall erzeugenden Drosselstellen vorgesehen, welche gleichzeitig die richtige Proportionierungder Reaktionsteilnehmer übernehmen können.
  • Unterhalb der Bodenplatte des Fließbettreaktors können zwei untereinander angeordnete Versorgungskammern für die Sauerstoff- bzw. Siliciumtetrachloridzufuhr vorgesehen sein, wobei die Austrittsöffnungen mit der einen bzw. der anderen Versorgungskammer verbunden sind und Drosselstellen an der Einmündung der Rohre in diese Kammern angebracht sind.
  • Wenn die Kühlung durch Umwälzen des Fließbettmaterials erfolgen soll, so sind im Bereich des Fließbettes eine Entnahmeöffnung und eine Einführungsöffnung für das Fließbettmaterial vorgesehen.
  • Der Boden des Fließbettreaktors kann von einer perforierten Metallplatte und einem auf dieser Metallplatte ruhenden, vorzugsweise keramischen, ebenfalls perforierten Isolierblock gebildet sein.
  • Die Zeichnungen zeigen Ausführungsbeispiele der Erfindung. Es stellt dar Fig. 1 einen Aufriß, teilweise im Schnitt, eines als Schachtofen ausgebildeten Reaktionsraumes mit einer Zuführungsvorrichtung für die das Bett bildenden Feststoffe, einer Sammelvorrichtung für die Feststoffe und einer Kühlanlage, Fig. 2 einen Grundriß des in der Darstellung der Fig.1 gewählten Gaseinführungsgerätes, Fig. 3 eine vergrößerte Teilansicht zu Fig. 1, Fig. 4 eine Draufsicht zu Fig. 3, Fig.5 einen vergrößerten Aufriß, teilweise im Schnitt, einer geänderten Ausführungsform, Fig. 6 einen Grundriß zu Fig. 5, Fig.7 eine schematische Darstellung im Schnitt einer Anlage für die Trennung der in dem Reaktionsraum gewonnenen Stoffe, Fig. 8 einen Schnitt durch eine Behandlungskammer für die Aufarbeitung der in der Anlage nach Fig. 7 gewonnenen Stoffe, Fig. 9 ein Schaltschema der vorstehenden Anlage. In Fig. 1 ist mit der Bezugsziffer 1 eine Reaktionskammer bezeichnet, welche mit einer chlorbeständigen Auskleidung 2 versehen ist. Die chlorbeständige Auskleidung 2 ist auf ihrer Außenseite von einer Isolierschicht 3 umgeben, und das Ganze befindet sich in einem Stahlmantel 5 mit einer oberen Öffnung 6 und einer Bodenöffnung 7. In diese beiden Öffnungen sind Halsrohre 8 eingeschweißt, welche in Flansche 9 auslaufen. Die Reaktionskammer ist senkrecht aufgestellt. Auf einer metallischen Grundplatte 10 ist ein keramischer Block 11 angebracht. Die Form dieses keramischen Blockes ist so gewählt, daß die Grundplatte 10 in die Bodenöffnung der Reaktionskammer eingesetzt werden kann, wobei der keramische Block 11 genau in die Bodenöffnung dieser Grundplatte hineinpaßt. Der keramische Block 11 dient als Isolierung zwischen dem Reaktionsraum und der Grundplatte 10. Die Grundplatte 10 ist mit Durchbrechungen 13 versehen. Diese Durchbrechungen decken sich mit Durchbohrungen 12 des keramischen Blockes 11. Die öffnungen 13 und die Durchbohrungen 12 sind in der Platte bzw. dem Block nach dem in der Fig. 2 gezeichneten Muster verteilt.
  • Die Durchbohrungen 12 staffeln sich in eine Gruppe 112 für die Einführung von Siliciumtetrachlorid und in eine Gruppe 212, 312 für die Einführung von Sauerstoff. Die Durchbohrungen der Gruppe 112 sind in Form eines regelmäßigen Achtecks angeordnet. Desgleichen sind die Durchbohrungen 212 in Form eines größeren regelmäßigen Achtecks angeordnet; schließlich befindet sich eine Durchbohrung 312 im Zentrum des keramischen Blockes 11; die Durchbrechungen 12 decken sich mit den Durchbohrungen 112, 212, 312.
  • In die oberen Ausgänge der Durchbohrungen des keramischen Blockes 11 können gasdurchlässige Körper eingesetzt sein, welche das Eindringen von Feststoffen des Bettes in die Durchbohrungen verhindern. Vorzugsweise verzichtet man aber auf derartige gasdurchlässige Körper und macht die Durchbohrungen 12 so eng, daß die Geschwindigkeit der Reaktionsteilnehmer ausreicht, um ein Herabfallen von festen Stoffen des Bettes in die Durchbohrungen zu verhindern. In der Ausführungsform der Fig. 1 ist auf die gasdurchlässigen Körper in den Durchbohrungen 12 verzichtet.
  • Die Durchbohrungen 12 werden nach Fig.1 von einem Sammelleitungssystem her gespeist. In Fig. 2 erkennt man den Grundriß des Gaszuführungssystems. Ein ähnliches Gaszuführungssystem ist in vergrößertem Maßstab in Fig.3 dargestellt. Allerdings sind dort gasdurchlässige poröse Kappen in die oberen Ausgänge der Durchbohrungen 12 eingesetzt. Fig. 4 zeigt einen Grundriß des Gaseinführungssystems der Fig. 3.
  • Eine Sammelleitung 25 liefert Sauerstoff nach den Durchbohrungen 212 und 312, während über eine andere Sammelleitung 26 Siliciumtetrachloriddampf in die Durchbohrungen 112 eingeleitet wird. An alle Durchbohrungen 12 sind Rohre 41 angeschlossen. Diese sind in die Platte eingespeist und mit Flanschen 104 (vgl. Fig. 3) an ihren unteren Enden ausgerüstet. An jeden der Flansche ist ein Gegenflansch 105 angeschlossen, von dem eine Leitung 24 nach den Sammelleitungen 25 bzw. 26 für Sauerstoff bzw. Siliciumtetrachlorid führt. Eine Scheibe 43 mit einer Drosselstelle 47 ist zwischen jedem der Flanschpaare 104 und 105 eingelegt.
  • In Fig. 3 ist die Verwendung von gasdurchlässigen Körpern 102, 202 und 302 dargestellt. Diese haben die Aufgabe, das Eindringen von Feststoffen aus dem Fließbett in die Durchbohrungen zu verhindern, und sind in die oberen Ausgänge der Durchbohrungen eingesetzt. Die Durchbohrungen sind zu diesem Zweck an ihren oberen Ausgängen erweitert. Die gasdurchlässigen Körper 202 und 302 in den Durchbohrungen 212 bzw. 312 des Sauerstoffsystems besitzen größere Durchmesser als die gasdurchlässigen Körper 102 in den Durchbohrungen 112 des Siliciumtetrachloridsystems. Die Form der gasdurchlässigen Körper kann natürlich auch eine andere sein als die hier dargestellte. Vorzugsweise verwendet man jedoch überhaupt keine gasdurchlässigen Sperrkörper, sondern sucht das Eindringen von Feststoffen durch die Strömung der aufsteigenden Gase zu verhindern.
  • In den Fig. 5 und 6 ist eine geänderte Ausführungsform dargestellt. Man findet hier hitzebeständige Rohre 400, welche z. B. aus Aluminiosilicat bestehen. Diese sind in Bohrungen des isolierenden Blockes 11 eingesetzt und an ihren oberen Enden bei 410 mit Austrittsöffnungen versehen. Rohre 41 sind in die Grundplatte 10 eingeschweißt und reichen in die Rohre 400 hinein. An den unteren Enden der Rohre 41 sind Rohransätze 401 befestigt; diese nehmen Schraubenstöpsel mit den Drosselstellen 403 auf. Einige der Rohre sind an untere Verlängerungsstücke angeschlossen. Bei diesen Rohren sind die Rohransätze erst am Ende der Verlängerungsstücke angesetzt. Die nicht verlängerten Rohre münden in eine Druckkammer 404, während die verlängerten Rohre in eine Druckkamer 405 münden.
  • Die Druckkammer 404 wird mit Sauerstoff über einen Einlaß 406 versorgt; der Druckkammer 405 wird Siliciumtetrachlorid über einen Zufluß 407 zugeführt. Die für Sauerstoff bestimmten Gasdurchtritte bilden Gruppen 408, während die für Siliciumtetrachlorid bestimmten Gasdurchtritte dazwischenliegende Gruppen 409 bilden. Auch in dieser Ausführungsform können natürlich die Druckkammern durch Sammelleitungen ersetzt werden, wobei die Drosselstellen wieder in Scheiben untergebracht sein können, welche etwa zwischen Paare von Flanschen eingelegt sind. Die Verwendung von Sammelleitungen bietet sich in der hier beschriebenen Ausführungsform sogar an; denn die Sammelleitungen nehmen hier einen geradlinigen Verlauf an und können von entgegengesetzten Seiten hergeführt sein, wie dies in Fig. 6 durch Pfeile dargestellt ist.
  • In der Fig. 1 ist die Reaktionskammer an ihrem oberen Ende durch eine Verschlußplatte 40 abgedeckt. Diese ist auf dem oberen Flansch 9 befestigt. Ein keramischer Isolierblock 140 deckt die Verschlußplatte 40 gegen das Innere des Reaktionsraumes hin ab. In der Verschlußplatte ist ein Durchgang 24 für die Einführung des Bettmaterials vorgesehen. Das Bettmaterial wird von einer Beschickungsvorrichtung 71 zugeführt, welche in Fig. 1 schematisch dargestellt ist. Die Beschickungsvorrichtung besteht aus einem etwa 1,5 m langen Stahlrohr mit einem Innendurchmesser von etwa 15 cm. Der untere Teil dieses Stahlrohres ist konisch verjüngt. An den konisch verjüngten Teil schließt sich ein Rohr 72 von etwa 5 cm Durchmesser an. Durch das Rohr 72 wird Druckluft an die Stelle des bergarges von dem konisch verjüngten Teil nach dem zylindrischen Teil des Rohres 71 geführt. Über dem verjüngten Teil befindet sich eine perforierte Platte mit Durchbrechungen von etwa 1,6 mm Durchmesser, die in Abständen von 1,25 cm nach einem quadratischen Muster angeordnet sind.
  • Der obere Teil des Rohres 71 ist auf eine Länge von etwa 90 cm halbiert. Dort, wo die Halbierung beginnt, ist das volle Rohr 71 durch eine Stahlplatte 74 abgedeckt. Ein Rohr 70 mit 5 cm Durchmesser führt von der Beschickungsvorrichtung schräg nach unten zu der Reaktionskammer 1. Eine Stahlplatte 75 unterteilt den vollzylindrischen Abschnitt des Rohres 71. Diese Stahlplatte reicht bis etwa 19 cm über die perforierte Platte 73. Die Aufgabe der Stahlplatte in dem vollzylindrischen Teil des Rohres 71 ist es, zu verhindern, daß Gase von dem Reaktionsraum in die Beschickungsvorrichtung eindringen.
  • In der Seitenwand des Ofens 1 ist eine Öffnung 126 vorgesehen. Durch diese Öffnungen 126 gelangen die Reaktionsprodukte in die weiteren Verarbeitungsapparaturen. In Fig. 7 ist ein konisches Gefäß 35 dargestellt, in welches die Reaktionsprodukte, von der Öffnung 126 kommend, durch eine Leitung 27 und einen Einführungsstutzen 36 gelangen. In diesem Gefäß schlägt sich der größte Teil der groben Siliciumdioxydanhäufungen nieder, das Siliciumdioxyd wird periodisch oder kontinuierlich durch eine Klappe 28 entnommen. Unter Umständen ist zur Entnahme des Siliciumdioxydes ein Vibrator erforderlich, welcher auf die Seitenwände des Gefäßes 35 einwirkt. Aus dem Gefäß 36 treten die Gase über eine Leitung 29 in einen Zyklonabscheider oder in mehrere Zykionabscheider 30 ein. In diesen Zyklonabscheidern werden die Sihciumdioxydanhäufungen aus dem Gasstrom abgetrennt. Der Gasstrom wird anschließend durch eine Leitung 34 weitergeleitet. Das in dem Zyklonabscheider abgeschiedene feine Material gelangt durch ein Rohr 32 in einen Sammelbehälter 33, welcher unterhalb des Zyklonabscheiders angeordnet ist. Durch eine Klappe 31 kann es entweder periodisch oder kontinuierlich entnommen werden. Der Hauptbestandteil der von den Feststoffen befreiten Gase ist gewöhnlich Chlor. Dieses wird zur Chlorierung von siliciumhaltigen Material, z. B. von Ferrosilicium, verwendet. Die Gase können aber natürlich auch den bekannten Anlagen zur Wiedergewinnung des Chlors zugeführt werden. Die Wiedergewinnung erfolgt in diesen Anlagen entweder durch Kühlung, Kompression und Verflüssigungsmittel des Bestandteiles oder durch Absorption der gekühlten Gase in Schwefelchlorid oder einem anderen Absorber. Die aus dem unteren Teil des Behälters 35 durch die Klappe 28 oder aus dem Zyklonabscheider 30 durch die Klappe 31 austretenden Feststoffe werden anschließend einer Behandlung zur Entfernung ihres Säuregehaltes unterworfen. Sie werden der entsprechenden Anlage entweder direkt zugeführt oder zunächst in einem Speichergefäß aufbewahrt.
  • Fig. 8 zeigt in schematischer Form. eine Anlage 51 zur Entfernung des Säuregehalts aus den gewonnenen Feststoffen. Diese Anlage besteht aus einem zylindrischen Behälter mit einer perforierten Grundplatte 55, durch welche Reinigungsgase eingeführt werden. Die Reinigungsgase versetzen dabei ein innerhalb des Behälters aufgeschüttetes Bett in Fließzustand. Der Behälter wird von außen durch einen Wärmemantel 52 aufgeheizt, etwa durch elektrische Widerstandsbeheizung oder durch Gas- oder Flüssigkeitszirkulation. Die bei 53 in die Anlage eintretenden Gase können kalt oder auch warm sein. Sie treten zunächst in eine Druckkammer 54 und gelangen von dieser durch die Platte 55 hindurch in das Bett 56. Die Temperatur des Bettes 56 wird auf Temperaturen innerhalb eines Bereiches von 300 bis 600° C gehalten.
  • Das Verfahren kann intermittierend oder kontinuierlich ausgeführt werden. Im Falle einer intermittierenden Ausführung des Verfahrens wird das Material in das Gefäß 51 durch eine Leitung eingeführt und für eine bestimmte Zeit in diesem Gefäß gehalten. Während dieser Zeit wird es erhitzt. Die in das Fließbett eingeführten Gase treten, nachdem sie reinigend gewirkt haben, durch die Öffnung 57 aus dem Gefäß wieder aus. Durch ein Ventil 60 können die gereinigten Stoffe aus dem Gefäß entnommen werden.
  • In der Fig. 8 ist eine Zwischenwand 63 in dem Gefäß eingezeichnet. Diese Zwischenwand ist wesentlich, wenn das Reinigungsverfahren kontinuierlich ausgeführt wird. In diesem Falle werden die zu reinigenden Stoffe durch eine Leitung 58 eingeführt; sie können dann nicht unmittelbar bei 61 austreten, sondern müssen durch den Teil 64 des Bettes zunächst nach unten wandern und sodann im Teil 65 des Bettes nach oben. Während dieser Wanderung sind sie der Reinigung unterworfen. Die zur Trocknung und Reinigung verwendeten Gase können vorgewärmt sein; sie können sogar die einzige Wärmequelle des Reinigungsverfahrens darstellen. Gereinigt kann werden mit Luft, vorzugsweise aber mit einem ammoniakhaltigen Sauerstoff, dem unter Umständen Wasserdampf zugesetzt ist. Das Gas wird durch die Leitung 53, die Druckkammer 54 und die perforierte Platte 55 in den Reinigungsraum eingeführt und strömt durch die Öffnung 57 aus dieser wieder aus, um der in Fig.l dargestellten Sammelleitung zugeführt zu werden und in den Reaktionsraum (vgl. Fig. 1) einzudringen. Die bei 61 austretenden Stoffe sind von ihrem unerwünschten Säuregehalt im wesentlichen befreit. Ihr pH-Wert liegt über 3,5, vorzugsweise zwischen 4,0 und 5,0.
  • Von dem Reaktionsraum der Fig. 1 steigt etwa 60 cm über dessen Boden eine Leitung 77 ab. Diese Leitung ist aus einem hitze- und chlorbeständigen Werkstoff hergestellt und verläuft unter einem Winkel von 45° gegen die Horizontale geneigt nach unten. Diese Leitung mündet, wenn festes Bettmaterial dauernd ausgetauscht werden soll, mit ihrem unteren Ende in eine seitliche Abzweigung 170 eines vertikalen Rohres 79. Das Rohr 79, dessen Innendurchmesser etwa 8 cm beträgt, ist in einen Deckel 80 eines Flußstahlgefäßes 81 dicht eingesetzt. Das Flußstahlgefäß 81 hat einen Durchmesser von 20 cm und ist 60 cm hoch. Das Rohr 79 reicht bis auf eine Höhe von 8 cm über dem verjüngten Ende des Gefäßes 86 in dieses hinein. Unmittelbar unterhalb des unteren Endes des Rohres 79 ist eine Platte 82 aus rostfreiem Stahl mit einer Wandstärke von 1,25 mm angebracht. Die Durchbrechungen dieser Platte besitzen einen Durchmesser von 1,6 mm und sind nach einem quadratischen Muster in Abständen von 5 cm angeordnet. In einer Höhe von etwa 15 cm unter dem oberen Abschluß des Gefäßes 81 ist eine kleine Abzweigung 84 vorgesehen, durch welche die Gase aus dem Fließbett abgeleitet werden können. An das untere Ende des Gefäßes 81 schließt sich ein Rohr 85 an, das nach einem Druckluftbehälter führt. Der über der perforierten Platte 82 gelegene Raum ist in einen Kühlmantel 86 eingeschlossen, durch welchen Kühlwasser strömt.
  • In Fig. 9 ist dargestellt, wie die einzelnen Teile der Gesamtanlage zusammenhängen; der Sand oder das Bettmaterial gegebenenfalls nach erfolgter Vorbehandlung kontinuierlich in den Reaktionsraum eingeführt wird, dem außerdem die Reaktionsteilnehmer Sauerstoff und Siliciumtetrachlorid zugeführt werden. Wenn das Bettmaterial nicht kontinuierlich zugeführt wird, so kann es von Zeit zu Zeit von dem angesammelten Silieiumdioxyd gereinigt und ersetzt werden.
  • Die aus dem Reaktionsraum abströmenden Gase tragen Siliciumdioxyd mit sich. Sie werden einem Kühl- und Abscheidevorgang unterworfen. Das Siliciumdioxyd wird nach der Abtrennung von den Gasen mittels Luft oder Sauerstoff unter gleichzeitiger Erhitzung gereinigt. Dem Reinigungsgas kann Ammoniak oder Wasser zugesetzt sein. Das Siliciumdioxyd wird anschließend gemahlen.
  • Es folgen Ausführungsbeispiele der Erfindung: Beispiel 1 Die Reaktionskammer ist von einem vertikalen Schachtofen 1 gebildet, der im wesentlichen dem in der Fig.1 dargestellten Schachtofen entspricht. Er besitzt einen Innendurchmesser von 38 cm und eine Gesamthöhe von 2,13 m, der mit einem chlorbeständigen Mauerwerk von 22 cm Wandstärke ausgekleidet ist. Die chlorbeständige Auskleidung ist von einem wärmeisolierenden Mauerwerk 3 mit einer Wandstärke von 7,6 cm äußerlich umgeben. Beide Auskleidungen sind in einen Stahlmantel 5 mit oberen und unteren Öffnungen 6 bzw. 7 eingeschlossen.
  • Die Bodenöffnung 7 ist durch eine durchbrochene Platte 10 verschlossen, wie sie in Fig. 1 dargestellt ist. Auf der Platte 10 ruht ein chlorbeständiger Betonblock von 23 cm Wandstärke mit siebzehn Durchgängen 12, welche entsprechend der Darstellung der Fig. 2 verteilt sind. Entsprechende siebzehn Durchbrechungen 13 sind in der Platte 10 vorgesehen. Auf der Unterseite der Platte 10 sind die Leitungen und Sammelleitungen installiert, die in Fig. 1 und 3 dargestellt sind. Die für die Einführung von Siliciumtetrachloriddampf bestimmten Zuführungen sind mit Drosselstellen von 2,4 mm Durchmesser versehen, während in den Zuführungen für Sauerstoff Drosselstellen mit 1,6 mm Durchmesser untergebracht sind.
  • Die obere Öffnung 6 des Ofens ist mit einer isolierten Platte 40 von 15 cm Wandstärke verschlossen. In dieser Platte befindet sich eine Öffnung 24, durch welche das Fließbettmaterial eingeführt wird und welche außerdem ein Beheizungsgerät zur Vorwärmung des Bettes aufnimmt. Durch eine zweite Öffnung 126 in der Wand der Reaktionskammer werden die Reaktionsprodukte aus dieser abgezogen. Die schräg nach unten führende Leitung 77 ist an ihrem Endflansch abgeschlossen.
  • Siliciumdioxyd (Sand) mit einer durchschnittlichen Teilchengröße von 250 #t wird in solcher Menge in den Reaktionsraum eingeführt, daß die Tiefe des Bettes ungefähr 91 cm beträgt. Dieser Sand wird mit Luft, welche durch sämtliche siebzehn Zuleitungen eingeführt wird, in Fließzustand versetzt. Durch Einführung einer Heizvorrichtung durch die Öffnung 24 wird das Bett auf eine Temperatur von 1250° C gebracht. Nunmehr wird die Heizvorrichtung entnommen und die Öffnung 24 verschlossen. Gleichzeitig wird die Luftzufuhr durch eine Sauerstoffzufuhr über die Sammelleitung 25 ersetzt; es strömt also nun durch den äußeren Kranz von Durchgängen Sauerstoff, und zwar in einer Menge von 1551/Min. Als Vorsichtsmaßnahme wird durch die nach den acht inneren Durchgängen führende Sammelleitung 26 Stickstoff geleitet, so daß das ganze Siliciumtetrachlorid-Einlaßsystem von Sauerstoff frei gemacht wird. Hierauf wird der Stickstoffstrom unterbrochen und durch einen Siliciumtetrachloridstrom ersetzt, der in das bereits fließende Bett eingeführt wird. 375 ccm flüssiges Siliciumtetrachlorid werden minütlich in ein von einem Dampfmantel umgebendes Verdampfungsrohr eingeleitet. In diesem Rohr wird das Siliciumtetrachlorid in die gasförmige. Phase übergeführt, um dann in das Fließbett eingeführt zu werden. Das Molverhältnis von Siliciumtetrachlorid zu Sauerstoff beträgt 1:2. Dieses Verhältnis wird im wesentlichen beibehalten. Es können aber geringfügige Änderungen möglich sein, um den Temperaturwert der 5stündigen Betriebsperiode auf einem Wert zwischen 1000 und 1050° C zu halten. Durch die Reaktion des Siliciumtetrachlorids mit dem Sauerstoff in dem Fließbett entstehen Chlor und Siliciumdioxyd. Die entstehenden Stoffe werden durch die Öffnung 126 aus dem Reaktionsraum entnommen und Kühl- und Abscheideanlagen zugeführt. Das Siliciumdioxyd wird gesammelt. Das Chlor wird in Schwefelchlorid absorbiert und regeneriert.
  • Die Teilchengröße des Siliciumdioxydes beträgt 0,002 Beispiel 2 In diesem Falle ist der Reaktor dem im Beispiel 1 verwendeten ähnlich. Es bestehen aber die folgenden Unterschiede: Der Innendurchmesser beträgt 46 cm, die Gesamthöhe 2,13 m. Der Durchmesser der Drosselstellen in dem Zuführungssystem für Siliciumtetrachlorid ist 2,30 mm, der Durchmesser der Drosselstellen in dem Sauerstoffzuführungssystem 2 mm.
  • Die in der Fig. 1 dargestellte Leitung 77 ist auf ihrer Innenseite mit einer chlorbeständigen Verkleidung von 7,5 cm Wandstärke ausgemauert und befindet sich etwa 101 cm über dem Boden des Reaktionsraumes.
  • Siliciumdioxyd (Sand) mit einem durchschnittlichen Durchmesser von 250 @u wird mittels eines Förderbandes in den oberen Teil des in Fig. 1 dargestellten Beschickungsgerätes eingeführt, und zwar in einer Menge von 13 kg/Std. Der Sand sammelt sich über dar perforierten Platte 73 an und wird in Fließzustand vexsetzt. Dabei expandiert das Bett auf eine Höhe von ungefähr 0,76 m auf der von der Ausflußleitung 70 abgelegenen Seite der Zwischenwand 76. Der Fließzustand wird durch Zufuhr von Druckluft in einer Menge von 1301/Min. herbeigeführt; durch eine Leitung 72 strömt diese Druckluft in den Boden ein. Ein Teil des expandierten Bettes fließt durch die Ausflußleitung 37 aus dem Fließbett heraus und tritt in den Reaktionsraum ein. Der Zufluß nach dem Reaktionsraum ist so bemessen, daß die Temperatur im erwünschten Ausmaß geregelt wird. Die Höhe des Fließbettes in dem Reaktionsraum ist durch den von dem geneigten Rohr gebildeten Ausfluß von etwa 1 m festgelegt. Das Bett innerhalb des Ofens wird durch die ständige Zufuhr von Bettmaterial erneuert.
  • Das aus dem Bett ausfließende Bettmaterial gelangt in das Gefäß 81 und sammelt sich dort auf der perforierten Platte 82 an; auf dieser Platte wird es durch Einleiten eines Druckluftstromes über eine Leitung 85 in Fließzustand versetzt. Durch diese Behandlung werden aus dem Sand Spuren von Chlor und anderen unerwünschten Gasen beseitigt. Ein Teil des in Fließzustand befindlichen Bettes fließt durch das Rohr 83 aus dem Gefäß 81 ab.
  • Das Bett in dem Reaktionsraum, das, wie vorstehend beschrieben, mit Reaktionsteilnehmern und Bettmaterial beliefert wird, wird auf eine Temperatur von etwa 1200° C vorgewärmt, wie im Beispiel 1. Sauerstoff wird in einer Menge von 2091/Min., Siliciumtetrachlorid in einer Menge von 654 ccm/Min. Flüssigkeit zugeführt. Das flüssige Siliciumtetrachlorid wird zunächst in das von einem Dampfmantel umgebene Verdampfungsrohr eingeführt und dort verdampft. Das Molverhältnis des Siliciumtetrachlorids zum Sauerstoff beträgt 1:1,5. Die Temperatur wird auf 1000 bis 1050° C 5 Stunden lang gehalten. Zur Ermittlung der Temperatur bedient man sich des kontinuierlichen Austausches des Fließbettsandes. Das durch die Öffnung 126 austretende feine Siliciumdioxyd wird gekühlt und von den Gasen, die es tragen, abgetrennt. Sodann wird es einer Heizbehandlung unterworfen, in deren Verlauf es von dem adsorbiertem Chlor und/oder der Salzsäure befreit wird.
  • Das feine Siliciumdioxyd besitzt eine durchschnittliche Teilchengröße von weniger als 0,005 [u und eine Packungsdichte von 0,1 g/ecm.
  • Beispiel 3 Die Reaktionskammer ist genauso gebaut, wie die im Beispie12 beschriebene. Der das Bett bildende Siliciumdioxydsand besitzt einen mittleren Durchmesser von 250 #t und wird in den Ofen im Fließzustand bis auf eine Höhe von 1 m aufgefüllt. Der Sauerstoff wird in einer Menge von 2091/Min. (bei Zimmertemperatur) zugeführt. Die Siliciumtetrachloridflüssigkeit wird in einer Menge von 654 ccm/Min. zugeführt, und zwar zunächst über ein dampfbeheiztes Verdampfungsrohr. Das Molverhältnis von Siliciumtetrachlorid zu Sauerstoff beträgt 1:1,5. Dem Sauerstoff ist ein Feuchtigkeitsgehalt von 1,3 Molprozent, bezogen auf die Sauerstoffmenge, zugeführt. Diesen Feuchtigkeitsgehalt gewinnt man dadurch, daß man pro Minute 111 der gesamten Sauerstoffmenge von 2091 abzweigt und durch Wasser aufsteigen läßt, welches in zwei Stahlgefäßen enthalten ist: Die Wasserhöhe in diesen Stahlgefäßen ist 1,05 m. Die Temperatur des Wassers beträgt 70° C. Die Temperatur innerhalb des Reaktionsraumes wird auf 1000 bis 1050° C 7 Stunden lang gehalten. Zur Regelung der Temperatur dient der kontinuierliche Austausch des Siliciumdioxydbettes. Das auf dem Austausch des -Bettmaterials beruhende Kühlsystem funktioniert folgendermaßen: Mittels einem schraubenförmig gewickelten, die Außenseite des Kessels 71 umgebenden. Heizdraht wird dieser Kessel mit einer Heizleistung von 5 kW erhitzt. Der kalte Sand wird in einer Menge von 18 kg/Std. in den oberen Teil des Beschickungsgerätes eingeführt, wird erhitzt und innerhalb des Gefäßes 71 in Fließzustand versetzt. Zur Herbeiführung des Fließzustandes läßt man Luft in einer Menge von 1301/Min. durch das Rohr 72 in den Raum unter der perforierten Platte 73 einströmen. Die Temperatur des Sandes wird auf etwa 400° C hin geregelt. Der überfließende Teil des Sandes gelangt durch die Leitung 70 in den Reaktionsraum 1. Auf diese Weise wird der Ofen 1 auf der erwünschten Temperatur von 1000 bis 1050° C gehalten. Diese Zufuhr von Bettmaterial und die gleichzeitig vor sich gehende entsprechende Entnahme solchen Bettmaterials -bedeutet eine ständige Erneuerung des Bettes, so daß eine übermäßige Ansammlung von Reaktionsprodukten in dem Bettmaterial nicht eintreten kann.
  • Das Siliciumdioxyd tritt aus dem Reaktionsraum 1 durch die Öffnung 126 aus und wird in Form von kleinen Anhäufungen nach dem Kühlvorgang in einem Zyklonabscheider gesammelt.
  • Die Durchschnittsgröße des Siliciumdioxyds beträgt 0,004 #t. Die Packungsdichte des angehäuften Materials beträgt 2,2 kg.
  • Mischt man 2 g dieses Siliciumdioxydes mit 20 ccm Wasser und schüttelt man dieses Gemisch, so daß sich eine Suspension ergibt, so hat diese einen pH-Wert von 4,1, verglichen mit einem pH-Wert von 2,2 vor der Heißbehandlung. Messungen nach dem B.E.T.-Verfahren ergeben eine Oberfläche von 260 qm/gr.
  • Das nach dem erfindungsgemäßen Verfahren gewonnene Siliciumdioxyd ist ein sehr locker gepackter Stoff, wie sich aus der Packungsdichte von 0,03 bis 0,3 g/ccm ersehen läßt.

Claims (21)

  1. PATENTÄNSPRÜCHE: 1. Verfahren zur Herstellung von Siliciumdioxyd durch Reaktion von Siliciumtetrachlorid mit Sauerstoff oder einem sauerstoffhaltigen Gas in einem aus feinverteiltem, festem, inertem Stoff bestehenden Fließbett nach Patent 1012 901, da- durch gekennzeichnet, daß beide Reaktionsteilnehmer in das Fließbett durch eine Vielzahl von am Boden des Reaktors in gemischter Verteilung angeordneten Eintrittsöffnungen mit Verengungen eingeführt werden und die Verengungen einer jeden Eintrittsöffnung so bemessen sind, daß gegenüber dem Druck der vorgeschalteten Gasversorgungen ein Druckabfall eintritt, der mindestens gleich dem halben Druckabfall zwischen dem Boden und dem oberen Ende des Fließbettes ist.
  2. 2. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß in dem Fließbett die Reaktionstemperatur ausschließlich durch die bei der exothermen Reaktion frei werdende Wärme aufrechterhalten wird, indem der Reaktor isoliert oder entsprechend groß ausgelegt wird.
  3. 3. Verfahren nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß das Fließbett auf einer Temperatur von 1100° C gehalten wird.
  4. 4. Verfahren nach Anspruch 1 oder 3, dadurch gekennzeichnet, daß die Einstellung der Temperatur des Fließbettes durch Kühlung erfolgt.
  5. 5. Verfahren nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, daß das Fließbett durch Einführung eines gasförmigen oder flüssigen Kühlmittels gekühlt wird.
  6. 6. Verfahren nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, daß die Kühlung durch kontinuierliche oder intermittierende Einführung von kaltem, festem, inertem Fließbettmaterial und durch Entnahme einer gleichen Menge heißen Fließbettmaterials- erfolgt.
  7. 7. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 6, dadurch gekennzeichnet, daß die Gasgeschwindigkeit in dem Fließbett zwei- bis fünfzehnmal so groß ist wie die für die Herbeiführung des Fließzustandes erforderliche Minimalgeschwindigkeit. B.
  8. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 7, dadurch gekennzeichnet, daß durch die den Wänden des Reaktionsraums zunächst liegenden Einlässe Sauerstoff oder sauerstoffhaltige Gase eingeführt werden.
  9. 9. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 8, dadurch gekennzeichnet, daß das bei der Reaktion entstandene Siliciumdioxyd bei erhöhter Temperatur von vorzugsweise 300 bis 600° C mit einem Strom von Luft, Sauerstoff oder einem anderen unschädlichen Gas gereinigt wird, vorzugsweise in Verbindung mit Ammoniak und/oder Wasserdampf.
  10. 10. Verfahren nach Anspruch 9, dadurch gekennzeichnet, daß das Siliciumdioxyd durch den Behandlungsstrom im Fließzustand gehalten wird.
  11. 11. Verfahren nach Anspruch 10, dadurch gekennzeichnet, daß die Behandlung intermittierend durchgeführt wird, indem eine bestimmte Menge von Siliciumdioxyd in ein Fließbett gebracht, behandelt und nach einer bestimmten Behandlungszeit wieder entnommen wird.
  12. 12. Verfahren nach Anspruch 9 oder 10, dadurch gekennzeichnet, daß die Behandlung kontinuierlich durchgeführt wird.
  13. 13. Verfahren nach einem der Ansprüche 9 bis 12, dadurch gekennzeichnet, daß die Behandlungstemperatur durch Erwärmung des Behandlungsstroms aufrechterhalten wird.
  14. 14. Verfahren nach einem der Ansprüche 9 bis 13, dadurch gekennzeichnet, daß der sauerstoffhaltige Behandlungsstrom nach dem Reinigungsvorgang zur Gewinnung von Siliciumdioxyd durch Reaktion mit Siliciumtetrachlorid verwendet wird.
  15. 15. Vorrichtung zur Durchführung der Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 8, dadurch gekennzeichnet, daß die Eintrittsöffnungen für Sauerstoff und Siliciumtetrachlorid Durchbrechungen in einer Bodenplatte des Fließbettreaktors sind, die an ein Sauerstoff- bzw. Siliciumtetrachlorid-Versorgungssystem angeschlossen sind.
  16. 16. Vorrichtung nach Anspruch 15, dadurch gekennzeichnet, daß die Durchbrechungen der Bodenplatte durch gasdurchlässige, poröse Scheiben abgedeckt sind.
  17. 17. Vorrichtung nach Anspruch 15 oder 16, dadurch gekennzeichnet, daß die Eintrittsöffnungen unmittelbar über dem Boden des Fließbettreaktors in Rohren vorgesehen sind, die durch die Bodenplatte hindurchgeführt, über dem Boden des Fließbettreaktors nach oben abgeschlossen und mit seitlichen, von der Innenwand nach der Außenwand der Rohre hin nach unten verlaufenden Bohrungen versehen sind.
  18. 18. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 15 bis 17, dadurch gekennzeichnet, daß in den Zuführungsleitungen nach den Eintrittsöffnungen einen Druckabfall erzeugende Drosselstellen vorgesehen sind.
  19. 19. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 15 bis 18, dadurch gekennzeichnet, daß unterhalb der Bodenplatte des Fließbettxeaktors zwei untereinander angeordnete Versorgungskammern für die Sauerstoff- bzw. Siliciumtetrachloridzufuhr vorgesehen sind, wobei die Austrittsöffnungen mit der einen bzw. der anderen Versorgungskammer verbunden sind und daß die Drosselstellen an der Einmündung der Rohre in diese Kammern angebracht sind.
  20. 20. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 15 bis 19, dadurch gekennzeichnet, daß im Bereich des Fließbettes eine Entnahmeöffnung und eine Einführungsöffnung für das zum Zwecke der Kühlung zu entnehmende bzw. wieder einzuführende Fließbettmaterial vorgesehen sind.
  21. 21. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 15 bis 20, dadurch gekennzeichnet, daß der Boden des Fließbettreaktors von einer perforierten Metallplatte und einem auf dieser Metallplatte ruhenden, vorzugsweise keramischen, ebenfalls perforierten Isolierblock gebildet ist. In Betracht gezogene Druckschriften: Deutsche Auslegeschrift Nr. 1012 901.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2018019599A1 (de) 2016-07-29 2018-02-01 Evonik Degussa Gmbh Verfahren zur herstellung eines hydrophoben, wärmedämmenden materiales
RU2759942C2 (ru) 2017-01-18 2021-11-18 Эвоник Оперейшенс ГмбХ Гранулированный теплоизоляционный материал и способ его получения
DE102017209782A1 (de) 2017-06-09 2018-12-13 Evonik Degussa Gmbh Verfahren zur Wärmedämmung eines evakuierbaren Behälters
US11987528B2 (en) 2018-07-18 2024-05-21 Kingspan Insulation Limited Process for hydrophobizing shaped insulation-material bodies based on silica at ambient pressure
CN110745832A (zh) * 2019-11-29 2020-02-04 河南骏化发展股份有限公司 一种沉淀法白炭黑生产的节水装置及工艺

Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE1012901B (de) * 1955-07-25 1957-08-01 British Titan Products Verfahren zum Erzeugen von Siliciumdioxyd

Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE1012901B (de) * 1955-07-25 1957-08-01 British Titan Products Verfahren zum Erzeugen von Siliciumdioxyd

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