DE112016003448T5 - Tischvorrichtung, Positionierungsvorrichtung, Flachtafelanzeigen-Herstellungsvorrichtung und Präzisionsmaschine - Google Patents

Tischvorrichtung, Positionierungsvorrichtung, Flachtafelanzeigen-Herstellungsvorrichtung und Präzisionsmaschine Download PDF

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Abstract

Eine Tischvorrichtung umfasst einen ersten Treiber, der in der ersten Achsenrichtung Kraft auf den Tisch ausübt; und einen zweiten Treiber, der in der zweiten Achsenrichtung Kraft auf den Tisch ausübt. Der erste Treiber umfasst einen ersten Aktor, der Leistung zum Bewegen des Tisches in der ersten Achsenrichtung erzeugt, und ein erstes bewegliches Element, das sich durch Betätigung des ersten Aktors entlang einer ersten Antriebsachse, die parallel zu der ersten Achse ist, bewegt. Das erste bewegliche Element umfasst: ein erstes Linearlager, das sich entlang der ersten Antriebsachse bewegt; ein erstes Drehlager, das um ein erstes Stangenelement, das an dem ersten Linearlager fixiert ist, angeordnet ist und relativ zu dem ersten Stangenelement drehbar ist; und ein zweites Linearlager, das mit dem ersten Drehlager verbunden ist und das in der zweiten Achsenrichtung durch ein zweites Führungselement, das an einer Kante des Tisches in der ersten Axialrichtung fixiert ist, geführt wird.

Description

  • Gebiet
  • Die vorliegende Erfindung bezieht sich auf eine Tischvorrichtung, eine Positionierungsvorrichtung, eine Flachtafelanzeigen-Herstellungsvorrichtung und eine Präzisionsmaschine.
  • Hintergrund
  • Eine Tischvorrichtung mit einem Tisch, der ein Werkstück trägt, wird bei Prozessen zum Herstellen oder Vermessen einer Einrichtung verwendet. Die Tischvorrichtung bewegt den Tisch, um die Position des Werkstücks, das auf dem Tisch gelagert ist, zu bestimmen. Es ist eine Tischvorrichtung bekannt, die in der Lage ist, einen Tisch in drei Richtungen, d. h. eine X-Achsenrichtung, eine Y-Achsenrichtung und eine θZ-Richtung, zu bewegen, wie es in den Patentdokumenten 1 und 2 offenbart ist.
  • Entgegenhaltungsliste
  • Patentdokumente
    • Patentdokument 1: Japanische Patentoffenlegungsschrift Nr. 2012-112715
    • Patentdokument 2: Japanische Patentoffenlegungsschrift Nr. 2015-117958
  • Zusammenfassung
  • Technisches Problem
  • Unzureichende Genauigkeit beim Positionieren des in die drei Richtungen beweglichen Tisches kann das Leistungsvermögen einer Einrichtung, die hergestellt werden soll, verringern. Dementsprechend besteht ein Bedarf an einer Technologie zum Verhindern unzureichender Genauigkeit beim Positionieren des in die drei Richtungen beweglichen Tisches.
  • Ein Aspekt der vorliegenden Erfindung richtet sich auf ein Bereitstellen einer Tischvorrichtung, einer Positionierungsvorrichtung, einer Flachtafelanzeigen-Herstellungsvorrichtung und einer Präzisionsmaschine, die die unzureichende Positionierungsgenauigkeit verhindern können.
  • Lösung des Problems
  • Gemäß einem ersten Aspekt der vorliegenden Erfindung ist eine Tischvorrichtung vorgesehen, die Folgendes umfasst: ein Basiselement, das eine Führungsoberfläche aufweist; einen Tisch, der auf dem Basiselement gelagert ist und der in einer ersten Achsenrichtung, die parallel zu einer ersten Achse ist, in einer vorbestimmten Ebene, die parallel zu der Führungsoberfläche ist, in einer zweiten Achsenrichtung, die parallel zu einer zweiten zu der ersten Achse orthogonalen Achse in der vorbestimmten Ebene ist, und um eine mittlere Achse des Tisches, die parallel zu einer dritten zu der vorbestimmten Ebene orthogonalen Achse ist, drehbar ist; einen ersten Treiber, der in der ersten Achsenrichtung Kraft auf den Tisch ausübt; und einen zweiten Treiber, der in der zweiten Achsenrichtung Kraft auf den Tisch ausübt. Der erste Treiber umfasst Folgendes: einen ersten Aktor, der durch das Basiselement getragen wird und Leistung zum Bewegen des Tisches in der ersten Achsenrichtung erzeugt; ein erstes bewegliches Element, das mit dem Tisch gekoppelt ist und sich entlang einer ersten Antriebsachse, die parallel zu der ersten Achse ist, durch Betätigung des ersten Aktors bewegt. Der zweite Treiber umfasst Folgendes: einen zweiten Aktor, der durch das Basiselement getragen wird und Leistung zum Bewegen des Tisches in der zweiten Achsenrichtung erzeugt; und ein zweites bewegliches Element, das mit dem Tisch gekoppelt ist und sich entlang einer zweiten Antriebsachse, die parallel zu der zweiten Achse ist, durch Betätigung des zweiten Aktors bewegt. Der erste Treiber ist nur ein erster Treiber und der nur eine erste Treiber ist so bereitgestellt, dass in der zweiten Achsenrichtung eine Position der mittleren Achse des Tisches auf eine Position der ersten Antriebsachse ausgerichtet ist. Der zweite Treiber umfasst mindestens zwei zweite Treiber und die mindestens zwei zweiten Treiber sind so bereitgestellt, dass sich in der ersten Achsenrichtung eine Position der mittleren Achse des Tisches von einer Position von jeweiligen zweiten Antriebsachsen unterscheidet. Das erste bewegliche Element umfasst Folgendes: ein erstes Linearlager, das durch ein erstes Führungselement, das auf dem Basiselement bereitgestellt ist, geführt wird und sich entlang der ersten Antriebsachse bewegt; ein erstes Drehlager, das um ein erstes Stangenelement, das an dem ersten Linearlager fixiert ist, angeordnet ist und relativ zu dem ersten Stangenelement um eine mittlere Achse der ersten Stange, die parallel zu der dritten Achse ist, drehbar ist; und ein zweites Linearlager, das mit dem ersten Drehlager verbunden ist und das in der zweiten Achsenrichtung durch ein zweites Führungselement, das an einer Kante des Tisches in der ersten Axialrichtung fixiert ist, geführt wird.
  • Gemäß einem ersten Aspekt der vorliegenden Erfindung können der eine erste Treiber und die mindestens zwei zweiten Treiber den Tisch in drei Richtungen bewegen, d. h. in der ersten Achsenrichtung, der zweiten Achsenrichtung und der Drehrichtung um die mittlere Achse des Tisches. Der erste Treiber ist so bereitgestellt, dass die Position der mittleren Achse des Tisches auf die Position der ersten Antriebsachse in der zweiten Achsenrichtung ausgerichtet ist, wodurch gegenseitige Störungen zwischen dem zweiten Führungselement, das an der Kante des Tisches in der ersten Achsenrichtung fixiert ist, und dem zweiten Linearlager verhindert werden, wenn sich der Tisch dreht. Darüber hinaus sind das erste Linearlager, das sich entlang der ersten Antriebsachse auf dem Basiselement bewegt, und das zweite Linearlager, das an dem Tisch fixiert ist und sich in die zweite Achsenrichtung bewegt, miteinander über das erste Stangenelement und das erste Drehlager verbunden. Somit verhindert selbst dann, wenn sich der Tisch um die mittlere Achse des Tisches bewegt, die relative Drehung zwischen dem ersten Stangenelement und dem ersten Drehlager, dass ein Moment auf das zweite Linearlager und das zweite Führungselement wirkt. Dies verhindert eine unzureichende Positionierungsgenauigkeit der Tischvorrichtung.
  • Gemäß einem ersten Aspekt der vorliegenden Erfindung ist bevorzugt, dass das zweite bewegliche Element Folgendes umfasst: ein drittes Linearlager, das durch ein drittes Führungselement, das auf dem Basiselement bereitgestellt ist, geführt wird und sich entlang einer zweiten Antriebsachse bewegt; ein zweites Drehlager, das um ein zweites Stangenelement, das an dem dritten Linearlager fixiert ist, angeordnet ist und das relativ zu dem zweiten Stangenelement um eine mittlere Achse der zweiten Stange, die parallel zu der dritten Achse ist, drehbar ist; und ein viertes Linearlager, das mit dem zweiten Drehlager verbunden ist und in der ersten Achsenrichtung durch ein viertes Führungselement, das an einer Kante des Tisches in der zweiten Achsenrichtung fixiert ist, geführt wird.
  • Das dritte Linearlager, das sich entlang der zweiten Antriebsachse auf dem Basiselement bewegt, und das vierte Linearlager, das an dem Tisch fixiert ist und sich in der ersten Achsenrichtung bewegt, sind miteinander über das zweite Stangenelement und das zweite Drehlager gekoppelt. Somit verhindert selbst dann, wenn sich der Tisch um eine mittlere Achse des Tisches bewegt, die relative Drehung zwischen dem zweiten Stangenelement und dem zweiten Drehlager, dass ein Moment auf das vierte Linearlager und das vierte Führungselement wirkt. Dies verhindert die unzureichende Positionierungsgenauigkeit der Tischvorrichtung.
  • Gemäß dem ersten Aspekt der vorliegenden Erfindung kann der zweite Treiber mit einer Kante des Tisches in der zweiten Achsenrichtung verbunden sein und die Tischvorrichtung kann ferner Folgendes umfassen: ein fünftes Linearlager, das durch ein fünftes Führungselement, das auf dem Basiselement bereitgestellt ist, geführt wird und sich in der zweiten Achsenrichtung bewegt; ein drittes Drehlager, das um ein drittes Stangenelement, das an dem fünften Linearlager fixiert ist, angeordnet ist und relativ zu dem dritten Stangenelement um eine mittlere Achse des dritten Stangenelements, die parallel zu der dritten Achse ist, drehbar ist; und ein sechstes Linearlager, das mit dem dritten Drehlager verbunden ist und in der ersten Achsenrichtung durch ein sechstes Führungselement, das an der anderen Kante des Tisches in der zweiten Achsenrichtung fixiert ist, geführt wird.
  • Der zweite Treiber ist mit der einen Kante des Tisches in der zweiten Achsenrichtung verbunden, während eine Hilfsführung, die das fünfte Linearlager, das dritte Drehlager und das sechste Linearlager umfasst, an der anderen Kante des Tisches in der zweiten Achsenrichtung bereitgestellt ist, wodurch die unzureichende Genauigkeit beim Positionieren des Tisches in der Richtung der Drehung um die mittlere Achse des Tisches verhindert wird, wenn sich der Tisch in die erste Achsenrichtung bewegt.
  • Gemäß dem ersten Aspekt der vorliegenden Erfindung kann einer der mindestens zwei zweiten Treiber mit der einen Kante des Tisches in der zweiten Achsenrichtung verbunden sein und der andere der mindestens zwei Treiber kann mit der anderen Kante des Tisches in der zweiten Achsenrichtung verbunden sein.
  • Der eine der zweiten Treiber ist mit der Kante des Tisches in der zweiten Achsenrichtung verbunden, während der andere der zweiten Treiber mit der anderen Kante des Tisches in der zweiten Achsenrichtung verbunden ist, wodurch die unzureichende Positionierungsgenauigkeit der Tischvorrichtung verhindert wird und verhindert wird, dass die Tischvorrichtung in der Größe wächst und eine komplexere Struktur aufweist.
  • Gemäß dem ersten Aspekt der vorliegenden Erfindung kann die Tischvorrichtung ferner eine Ebenenführung umfassen, die zwischen einer unteren Oberfläche des Tisches und einer Führungsoberfläche des Basiselements angeordnet ist und den Tisch in einer Richtung, die parallel zu der vorbestimmten Ebene ist, in einem Zustand, in dem die untere Oberfläche des Tisches der Führungsoberfläche des Basiselements über einen Spalt zugewandt ist, führt.
  • Somit kann sich der Tisch problemlos in einer horizontalen Richtung bewegen.
  • Gemäß einem ersten Aspekt der vorliegenden Erfindung kann die Ebenenführung ein Gleitelement in einer Stangenform umfassen. Die Tischvorrichtung kann ferner ein Führungslager umfassen, das durch den Tisch getragen wird und das Gleitelement in einer dritten Achsenrichtung, die parallel zu der dritten Achse ist, beweglich trägt.
  • Dies ermöglicht es der Ebenenführung, sich relativ zu dem Tisch nach oben zu bewegen, wenn sich der Tisch so nach unten bewegt, dass die untere Oberfläche des Tisches mit einer oberen Oberfläche des Basiselements in einem Zustand in Kontakt kommt, in dem die Ebenenführung mit der oberen Oberfläche des Basiselements in Kontakt ist.
  • Gemäß einem ersten Aspekt der vorliegenden Erfindung kann die Tischvorrichtung ferner ein Antriebselement umfassen, das die Ebenenführung in der dritten Achsenrichtung bewegt.
  • Als Ergebnis wird eine Last, die auf die Ebenenführung in einer dritten Richtung wirkt, eingestellt. Zum Beispiel wird verhindert, dass eine übermäßige Last auf die Ebenenführung wirkt.
  • Gemäß einem zweiten Aspekt der vorliegenden Erfindung ist eine Positionierungsvorrichtung bereitgestellt, die die Tischvorrichtung des ersten Aspekts umfasst und eine Position eines Werkstücks, das auf dem Tisch der Tischvorrichtung gelagert ist, bestimmt.
  • Gemäß dem ersten Aspekt der Erfindung kann die Tischvorrichtung ferner eine Vorbelastungseinrichtung umfassen, die im Voraus in einer Richtung der Drehung um die mittlere Achse des Tisches Kraft auf den Tisch ausübt.
  • Dies bewirkt, dass konstant ein Moment in der Richtung der Drehung auf den Tisch einwirkt, und beseitigt Spiel in einem Mechanismus der Tischvorrichtung, wodurch die unzureichende Positionierungsgenauigkeit verhindert wird.
  • Gemäß dem ersten Aspekt der vorliegenden Erfindung kann die Vorbelastungseinrichtung Folgendes umfassen: einen Vorbelastungsaktor, der von dem Basiselement getragen wird und Leistung zum Bewegen des Tisches in der zweiten Achsenrichtung erzeugt; ein bewegliches Vorbelastungselement, das mit dem Tisch gekoppelt ist und sich durch Betätigung des Vorbelastungsaktors entlang einer Vorbelastungs-Antriebsachse, die parallel zu der zweiten Achse ist, bewegt. Die Vorbelastungseinrichtung kann derart bereitgestellt sein, dass sich in der ersten Achsenrichtung eine Position der mittleren Achse des Tisches von einer Position der Vorbelastungs-Antriebsachse unterscheidet.
  • Als Ergebnis kann die durch den Vorbelastungsaktor erzeugte Kraft bewirken, dass das Moment sanft auf den Tisch wirkt.
  • Gemäß dem ersten Aspekt der vorliegenden Erfindung kann das bewegliche Vorbelastungselement Folgendes umfassen: ein siebtes Linearlager, das durch ein siebtes Führungselement, das auf dem Basiselement bereitgestellt ist, geführt wird und sich entlang der Vorbelastungs-Antriebsachse bewegt; ein viertes Drehlager, das um ein viertes Stangenelement, das an dem siebten Linearlager fixiert ist, angeordnet ist und das relativ zu dem vierten Stangenelement um eine mittlere Achse der vierten Stange, die parallel zu der dritten Achse ist, beweglich ist; und ein achtes Linearlager, das mit dem vierten Drehlager verbunden ist und das in der ersten Achsenrichtung durch ein achtes Führungselement, das an einer Kante des Tisches in der zweiten Achsenrichtung fixiert ist, geführt wird.
  • Somit verhindert selbst dann, wenn sich der Tisch um die mittlere Achse dreht, die relative Drehung zwischen dem vierten Stangenelement und dem fünften Drehlager, dass ein Moment auf das achte Linearlager und das achte Führungselement wirkt. Dies verhindert die unzureichende Positionierungsgenauigkeit der Tischvorrichtung.
  • Gemäß dem ersten Aspekt der vorliegenden Erfindung kann die Vorbelastungseinrichtung mindestens zwei Vorbelastungseinrichtungen umfassen und die mindestens zwei Vorbelastungseinrichtungen können derart bereitgestellt sein, dass sich in der ersten Achsenrichtung die Position der mittleren Achse des Tisches von einer Position der jeweiligen Vorbelastungsantriebsachsen unterscheidet. Die mindestens zwei Vorbelastungseinrichtungen können jeweils verschiedene Kräfte auf den Tisch ausüben.
  • Als Ergebnis können die zwei Vorbelastungseinrichtungen jeweils eine andere Kraft auf eine unterschiedliche Position des Tisches anwenden und können somit ein Moment auf den Tisch ausüben, während gleichzeitig die unzureichende Positionierungsgenauigkeit des Tisches in der Richtung der Drehung verhindert wird.
  • Gemäß dem zweiten Aspekt der vorliegenden Erfindung wird die unzureichende Genauigkeit beim Positionieren eines Werkstücks, das auf dem Tisch gelagert ist, verhindert.
  • Gemäß einem dritten Aspekt der vorliegenden Erfindung ist eine Flachtafelanzeigen-Herstellungsvorrichtung bereitgestellt, die Folgendes umfasst: die Tischvorrichtung gemäß dem ersten Aspekt; und eine Verarbeitungseinheit, die ein Werkstück, das auf dem Tisch gelagert ist, verarbeitet.
  • Gemäß dem dritten Aspekt der vorliegenden Erfindung kann die Flachtafelanzeigen-Herstellungsvorrichtung das Werkstück, das durch den Tisch positioniert wird, verarbeiten, wodurch ein Herstellen eines defekten Produkts aus dem Werkstück verhindert wird. Die Flachtafelanzeigen-Herstellungsvorrichtung umfasst eine Verbindungseinrichtung, die zwei Substrate miteinander verbindet und beispielsweise mindestens in einem Teil der Herstellungsprozesse für eine Flachtafelanzeige verwendet wird. Die Flachtafelanzeige umfasst mindestens eine der folgenden Anzeigen: eine Flüssigkristallanzeige, eine Plasmaanzeige und eine organische LD-Anzeige.
  • Gemäß einem vierten Aspekt der vorliegenden Erfindung ist eine Präzisionsmaschine bereitgestellt, die Folgendes umfasst: die Tischvorrichtung gemäß dem ersten Aspekt; und eine Verarbeitungseinheit, die ein Werkstück, das auf dem Tisch gelagert ist, verarbeitet.
  • Gemäß dem vierten Aspekt der vorliegenden Erfindung kann die Präzisionsmaschine das auf dem Tisch positionierte Werkstück verarbeiten, wodurch verhindert wird, dass ein defektes Produkt aus dem Werkstück hergestellt wird. Die Präzisionsmaschine umfasst beispielsweise ein Präzisionsmessinstrument und/oder eine Präzisionsverarbeitungsmaschine.
  • Das Präzisionsmessinstrument kann das durch den Tisch positionierte Werkstück vermessen und kann somit das Werkstück mit Präzision vermessen. Die Präzisionsverarbeitungsmaschine kann das durch den Tisch positionierte Werkstück verarbeiten und kann somit das Werkstück mit Präzision verarbeiten.
  • Vorteilhafte Effekte der Erfindung
  • Gemäß Aspekten der vorliegenden Erfindung sind die Tischvorrichtung, die Positionierungsvorrichtung, die Flachtafelanzeigen-Herstellungsvorrichtung und die Präzisionsmaschine bereitgestellt, die die unzureichende Positionierungsgenauigkeit verhindern können.
  • Figurenliste
    • 1 ist eine Draufsicht, die ein Beispiel einer Tischvorrichtung gemäß einer ersten Ausführungsform zeigt.
    • 2 ist eine seitliche Querschnittsansicht, die ein Beispiel der Tischvorrichtung gemäß der ersten Ausführungsform zeigt.
    • 3 ist eine Darstellung, die ein Beispiel eines Kopplers gemäß der ersten Ausführungsform zeigt.
    • 4 ist eine Darstellung, die eine Tischvorrichtung gemäß einem Vergleichsbeispiel zeigt.
    • 5 ist eine Darstellung, die einen Betrieb der Tischvorrichtung gemäß dem Vergleichsbeispiel zeigt.
    • 6 ist eine schematische Darstellung, die einen Positionskorrekturbetrag für eine Tischvorrichtung, die eine herkömmliche Struktur aufweist, mit einem Positionskorrekturbetrag für die Tischvorrichtung gemäß der ersten Ausführungsform vergleicht.
    • 7 ist eine Draufsicht, die ein Beispiel einer Tischvorrichtung gemäß einer zweiten Ausführungsform zeigt.
    • 8 ist eine Draufsicht, die ein Beispiel einer Tischvorrichtung gemäß einer dritten Ausführungsform zeigt.
    • 9 ist eine seitliche Querschnittsansicht, die ein Beispiel einer Tischvorrichtung gemäß einer vierten Ausführungsform zeigt.
    • 10 ist eine vergrößerte Ansicht, die einen Bereich in der Nachbarschaft eines Führungslagers gemäß der vierten Ausführungsform zeigt.
    • 11 ist eine seitliche Querschnittsansicht, die ein Beispiel einer Tischvorrichtung gemäß einer fünften Ausführungsform zeigt.
    • 12 ist eine vergrößerte Ansicht, die einen Bereich in der Nachbarschaft einer Ebenenführung und eines Antriebselements gemäß der fünften Ausführungsform zeigt.
    • 13 ist eine Draufsicht, die ein Beispiel einer Tischvorrichtung gemäß einer sechsten Ausführungsform zeigt.
    • 14 ist eine Darstellung, die aus einer Pfeilrichtung einer B-B-Linie von 13 betrachtet ist.
    • 15 ist eine Draufsicht, die ein Beispiel einer Tischvorrichtung gemäß einer siebten Ausführungsform zeigt.
    • 16 ist eine Draufsicht, die ein Beispiel einer Tischvorrichtung gemäß einer achten Ausführungsform zeigt.
    • 17 ist eine Draufsicht, die ein Beispiel einer Tischvorrichtung gemäß einer neunten Ausführungsform zeigt.
    • 18 ist eine seitliche Querschnittsansicht, die ein Beispiel der Tischvorrichtung gemäß der neunten Ausführungsform zeigt.
    • 19 ist eine Draufsicht, die ein Beispiel einer Tischvorrichtung gemäß einer zehnten Ausführungsform zeigt.
    • 20 ist eine Darstellung, die ein Beispiel einer Flachtafelanzeigen-Herstellungsvorrichtung gemäß einer elften Ausführungsform zeigt.
    • 21 ist eine Darstellung, die ein Beispiel einer Präzisionsmaschine gemäß einer zwölften Ausführungsform zeigt.
    • 22 ist eine Darstellung, die ein Beispiel einer Präzisionsmaschine gemäß einer dreizehnten Ausführungsform zeigt.
  • Beschreibung von Ausführungsformen
  • Nachstehend sind Ausführungsformen der vorliegenden Erfindung unter Bezugnahme auf die Zeichnungen beschrieben, doch die vorliegende Erfindung ist nicht auf die Ausführungsformen beschränkt. Komponenten in den folgenden Ausführungsformen können in geeigneter Weise kombiniert werden und ein Teil der Komponenten kann in manchen Fällen entfallen.
  • Nachstehend wird eine Positionsbeziehung verschiedener Komponenten durch Festlegen und Referenzieren eines orthogonalen XYZ-Koordinatensystems beschrieben. Eine Richtung, die parallel zu einer ersten Achse in einer vorbestimmten Ebene ist, wird als eine X-Achsenrichtung (eine erste Achsenrichtung) definiert. Eine Richtung, die parallel zu einer zweiten zu der ersten Achse in der vorbestimmten Ebene orthogonalen Achse ist, wird als eine Y-Achsenrichtung (eine zweite Achsenrichtung) definiert. Eine Richtung, die parallel zu einer dritten zu der vorbestimmten Ebene orthogonalen Achse ist, wird als Z-Achsenrichtung (eine dritte Achsenrichtung) definiert. Eine Richtung der Drehung (Neigung) um die X-Achse (erste Achse) wird als eine θX-Richtung definiert. Eine Richtung einer Drehung (Neigung) um eine Y-Achse (zweite Achse) wird als eine θY-Richtung definiert. Eine Richtung einer Drehung (Neigung) um die Z-Achse (dritte Achse) wird als eine θZ-Richtung definiert. Die vorbestimmte Ebene umfasst eine XY-Ebene. In den Ausführungsformen ist die vorbestimmte Ebene parallel zu einer horizontalen Ebene. Die Z-Achsenrichtung ist eine vertikale Richtung. Die X-Achse ist orthogonal zu einer YZ-Ebene. Die Y-Achse ist orthogonal zu einer XZ-Ebene. Die Z-Achse ist orthogonal zu der XY-Achse. Die XZ-Ebene enthält die X-Achse und die Z-Achse. Die YZ-Ebene enthält die Y-Achse und die Z-Achse.
  • <Erste Ausführungsform>
  • Eine erste Ausführungsform wird beschrieben. 1 ist eine Draufsicht, die ein Beispiel einer Tischvorrichtung 100A gemäß der vorliegenden Ausführungsform zeigt. 2 ist eine seitliche Querschnittsansicht, die ein Beispiel der Tischvorrichtung 100A gemäß der vorliegenden Ausführungsform zeigt. 2 ist eine Darstellung, die aus der Pfeilrichtung einer Linie A-A von 1 betrachtet ist.
  • Wie in 1 und 2 gezeigt umfasst die Tischvorrichtung 100A: einen Tisch 1 mit einer oberen Oberfläche 1A und einer unteren Oberfläche 1B; ein Basiselement 2 mit einer oberen Oberfläche 2A, die der unteren Oberfläche 1B des Tisches 1 zugewandt ist; und ein sich Bewegungssystem 8 mit einem Aktor 7, der den Tisch 1 bewegen kann.
  • Der Tisch 1 trägt ein Werkstück S. Das Werkstück S ist auf der oberen Oberfläche 1A des Tisches 1 gelagert. Der Tisch 1 wird durch das Basiselement 2 beweglich gelagert. Die obere Oberfläche 2A des Basiselements 2 ist parallel zu der XY-Ebene. Die obere Oberfläche 2A des Basiselements 2 ist eine Führungsoberfläche, die den Tisch 1 in der XY-Ebene führt. Der Tisch ist in drei Richtungen beweglich, während er auf dem Basiselement 2 gelagert ist, wobei die drei Richtungen die X-Achsenrichtung, die Y-Achsenrichtung und die Richtung der Drehung (die θZ-Richtung) um eine mittlere Achse AX des Tisches, die parallel zu der Z-Achse ist, sind. Die mittlere Achse AX des Tisches verläuft durch den Schwerpunkt des Tisches 1.
  • Die Tischvorrichtung 100A umfasst eine Ebenenführung 30, die zwischen der unteren Oberfläche 1B des Tisches 1 und der oberen Oberfläche (Führungsfläche) 2A des Basiselements 2 angeordnet ist, um den Tisch 1 in einer Richtung, die parallel zu der XY-Ebene ist, in einem zu Zustand, in dem sich die untere Oberfläche 1B des Tisches 1 und die obere Oberfläche 2A des Basiselements 2 sich jeweils mit einem Spalt G dazwischen zugewandt sind, zu führen. Die Ebenenführung 30 weist mehrere Kugeln auf, die sich wälzen können, während sie mit der oberen Oberfläche 2A in Kontakt sind. Die mit der oberen Oberfläche 2A in Kontakt stehenden Kugeln halten den Spalt G zwischen der unteren Oberfläche 1B des Tisches 1 und der oberen Oberfläche (Führungsoberfläche) 2A des Basiselements 2 aufrecht. Die Ebenenführung 30 kann ein statisches Druckgaslager umfassen.
  • Die Tischvorrichtung 100A fungiert als eine Positionierungsvorrichtung, die die Position des Werkstücks S bestimmt. Eine Positionierungsvorrichtung, die die Tischvorrichtung 100A umfasst, bestimmt die Position des Werkstücks S, das auf dem Tisch 1 gelagert ist.
  • Das Bewegungssystem 8 umfasst einen ersten Treiber 9, der in der X-Achsenrichtung Kraft auf den Tisch 1 ausübt, und einen zweiten Treiber 10, der in der Y-Achsenrichtung Kraft auf den Tisch 1 ausübt. Der erste Treiber 9 und der zweite Treiber 10 werden durch das Basiselement 2 getragen.
  • Der erste Treiber 9 umfasst einen ersten Aktor 7X, der durch das Basiselement 2 getragen wird und Leistung zum Bewegen des Tisches 1 in der X-Achsenrichtung erzeugt, und ein erstes bewegliches Element, das mit dem Tisch 1 gekoppelt ist und sich durch Betätigung des ersten Aktors 7X entlang einer ersten Antriebsachse DX, die parallel zu der X-Achse ist, bewegt.
  • Der zweite Treiber 10 umfasst einen zweiten Aktor 7Y, der durch das Basiselement 2 getragen wird und Leistung zum Bewegen des Tisches 1 in der Y-Achsenrichtung erzeugt, und ein zweites bewegliches Element, das mit dem Tisch 1 gekoppelt ist und sich durch Betätigung des zweite Aktors 7Y entlang einer zweite Antriebsachse DY, die parallel zu der Y-Achse ist, bewegt.
  • Wie in 1 gezeigt ist nur ein erster Treiber 9 so bereitgestellt, so dass die Position der mittleren Achse AX des Tisches der Position der ersten Antriebsachse DX in der Y-Achsenrichtung entspricht. Mindestens zwei zweite Treiber 10 sind so bereitgestellt, dass sich die Position der mittleren Achse AX des Tisches von den Positionen der zweiten Antriebsachsen DY in der X-Achsenrichtung unterscheidet.
  • In der vorliegenden Ausführungsform ist der eine erste Treiber 9 mit einer Kante des Tisches 1 auf einer +X-Seite gekoppelt. Die zwei zweiten Treiber 10 sind mit einer Kante des Tisches 1 auf einer -Y-Seite gekoppelt.
  • Der Aktor 7 des Bewegungssystems 8 umfasst den ersten Aktor 7X und den zweiten Aktor 7Y. Der Aktor 7 der vorliegenden Ausführungsform umfasst einen Servomotor.
  • Das Bewegungssystem 8 weist einen Kugelgewindemechanismus 15 auf, der mit dem Aktor 7 verbunden ist. Der Kugelgewindemechanismus 15 umfasst einen ersten Kugelgewindemechanismus 15X, der mit dem ersten Aktor 7X verbunden ist, und einen zweiten Kugelgewindemechanismus 15Y, der mit dem zweiten Aktor 7Y verbunden ist. Der erste Kugelgewindemechanismus 15X umfasst ein Kugelgewinde, das sich durch von dem ersten Aktor 7X erzeugte Leistung dreht, und eine Mutter, die um das Kugelgewinde herum angeordnet ist. Der zweite Kugelgewindemechanismus 15Y umfasst ein Kugelgewinde, das sich durch von dem zweiten Aktor 7Y erzeugte Leistung dreht, und eine Mutter, die um das Kugelgewinde herum angeordnet ist. Der Aktor 7 und der Kugelgewindemechanismus 15 sind über eine Kopplung 16 verbunden.
  • Der erste Treiber 9 umfasst: den ersten Aktor 7X; ein erstes Linearlager 11, das mit der Mutter des ersten Kugelgewindemechanismus 15X verbunden ist und entlang der ersten Antriebsachse DX beweglich ist; ein erstes Führungselement 12, das auf dem Basiselement 2 bereitgestellt ist und das erste Linearlager 11 in der X-Achsenrichtung führt; ein zweites Linearlager 19, das in der Y-Achsenrichtung durch ein zweites Führungselement 18, das an der Kante des Tisches 1 auf der +X-Seite mittels eines Verbindungselements 22 fixiert ist, geführt wird; und einen Koppler 3, der das erste Linearlager 11 und das zweite Linearlager 19 miteinander koppelt.
  • Der zweite Treiber 10 umfasst: den zweiten Aktor 7Y; ein drittes Linearlager 13, das mit der Mutter des zweiten Kugelgewindemechanismus 15Y verbunden ist und entlang der zweiten Antriebsachse DY beweglich ist; ein drittes Führungselement 14, das auf dem Basiselement 2 bereitgestellt ist und das dritte Linearlager 13 in der Y-Achsenrichtung führt; ein viertes Linearlager 21, das in der X-Achsenrichtung durch ein viertes Führungselement 20, das an der Kante des Tisches 1 auf der -Y-Seite mittels eines Verbindungselements 23 befestigt ist, geführt wird; und den Koppler 3, der das dritte Linearlager 13 und das vierte Linearlager 21 miteinander koppelt.
  • Der Koppler 3 des ersten Treibers 9 umfasst ein Stangenelement 5, das an dem ersten Linearlager 11 fixiert ist, und ein Drehlager 4, das um das Stangenelement 5 angeordnet ist und sich relativ zu dem Stangenelement 5 in der θZ-Richtung um eine mittlere Achse J der Stange, die parallel zu der Z-Achse ist, drehen kann. In der vorliegenden Ausführungsform ist ein erstes Trägerelement 6X an dem ersten Linearlager 11 fixiert. Das Stangenelement 5 ist an dem ersten Trägerelement 6X fixiert. Das Stangenelement 5 ist so bereitgestellt, dass es aus einer oberen Oberfläche des ersten Trägerelements 6X nach oben ragt. Das Drehlager 4 ist mit dem zweiten Linearlager 19 verbunden.
  • Der Koppler 3 des zweiten Treibers 10 umfasst das Stangenelement 5, das an dem dritten Linearlager 13 fixiert ist, und das Drehlager 4, das um das Stangenelement 5 herum angeordnet ist und das sich relativ zu dem Stangenelement 5 in der θZ-Richtung um die mittlere Achse J der Stange, die parallel zu der Z-Achse ist, drehen kann. In der vorliegenden Ausführungsform ist ein zweites Trägerelement 6Y an dem dritten Linearlager 13 fixiert. Das Stangenelement 5 ist an dem zweiten Trägerelement 6Y fixiert. Das Stangenelement 5 ist so bereitgestellt, dass es aus einer oberen Oberfläche des zweiten Trägerelements 6Y nach oben ragt. Das Drehlager 4 ist mit dem vierten Linearlager 21 verbunden.
  • Die Betätigung des ersten Aktors 7X bewirkt, dass sich das Kugelgewinde des ersten Kugelgewindemechanismus 15X dreht. Als Ergebnis bewegt sich das erste Linearlager 11 in der X-Achsenrichtung. Das erste Linearlager 11 wird in der X-Achsenrichtung durch das erste Führungselement 12, das auf dem Basiselement 2 bereitgestellt ist, geführt und bewegt sich entlang der ersten Antriebsachse DX. Wenn sich das erste Linearlager 11 bewegt, bewegt sich das an dem ersten Linearlager 11 mittels des ersten Trägerelements 6X fixierte Stangenelement 5 zusammen mit dem ersten Linearlager 11 in der X-Achsenrichtung. Wenn sich das Stangenelement 5 bewegt, bewegt sich das Drehlager 4, das um das Stangenelement 5 herum angeordnet ist, zusammen mit dem Stangenelement 5 in der X-Achsenrichtung. Wenn sich das Drehlager 4 bewegt, bewegt sich das zweite Linearlager 19, das mit dem Drehlager 4 verbunden ist, zusammen mit dem Drehlager 4 in der X-Achsenrichtung. Wenn sich das zweite Linearlager 19 bewegt, bewegt sich der Tisch 1, der mit dem zweiten Linearlager 19 über das zweite Führungselement 18 und das Verbindungselement 22 verbunden ist, zusammen mit dem zweiten Linearlager 19 in der X-Achsenrichtung.
  • Die Betätigung des zweiten Aktors 7Y bewirkt, dass sich das Kugelgewinde des zweiten Kugelgewindemechanismus 15Y dreht. Als Ergebnis bewegt sich das dritte Linearlager 13 in der Y-Achsenrichtung. Das dritte Linearlager 13 wird in der Y-Achsenrichtung durch das dritte Führungselement 14, das auf dem Basiselement 2 bereitgestellt ist, geführt und bewegt sich entlang der zweiten Antriebsachse DY. Wenn sich das dritte Linearlager 13 bewegt, bewegt sich das an dem dritten Linearlager 13 mittels des zweiten Trägerelements 6Y fixierte Stangenelement 5 zusammen mit dem dritten Linearlager 13 in der Y-Achsenrichtung. Wenn sich das Stangenelement 5 bewegt, bewegt sich das Drehlager 4, das um das Stangenelement 5 herum angeordnet ist, zusammen mit dem Stangenelement 5 in der Y-Achsenrichtung. Wenn sich das Drehlager 4 bewegt, bewegt sich das vierte Linearlager 21, das mit dem Drehlager 4 verbunden ist, zusammen mit dem Drehlager 4 in der Y-Achsenrichtung. Wenn sich das vierte Linearlager 21 bewegt, bewegt sich der Tisch 1, der mit dem vierten Linearlager 21 über das vierte Führungselement 20 und das Verbindungselement 23 verbunden ist, zusammen mit dem vierten Linearlager 21 in der Y-Achsenrichtung.
  • Das Bewegungssystem 8 kann somit den Tisch 1 in der X-Achsenrichtung durch Betätigen des ersten Aktors 7X des ersten Treibers 9 bewegen. Ebenso kann das Bewegungssystem 8 den Tisch 1 in der Y-Achsenrichtung durch Betätigen des zweiten Aktors 7Y des zweiten Treibers 10 bewegen. Das Bewegungssystem 8 kann den Tisch 1 auch in der θZ-Richtung (Drehrichtung) bewegen, indem der Betätigungsbetrag der zweiten Aktoren 7Y der mehreren (zwei) zweiten Treiber 10 variiert wird.
  • In der vorliegenden Ausführungsform umfasst das erste bewegliche Element, das mit dem Tisch 1 gekoppelt ist und sich durch die Betätigung des ersten Aktors 7X entlang der ersten Antriebsachse DX bewegt, Folgendes: das erste Linearlager 11; den Koppler 3, der das Stangenelement 5 und das Drehlager 4 umfasst; und das zweite Linearlager 19. Das zweite bewegliche Element, das mit dem Tisch 1 gekoppelt ist und sich durch die Betätigung des zweiten Aktors 7Y entlang der zweiten Antriebsachse DY bewegt, umfasst: das dritte Linearlager 13; den Koppler 3, der das Stangenelement 5 und das Drehlager 4 umfasst; und das vierte Linearlager 21.
  • 3 ist eine Darstellung, die ein Beispiel des Kopplers 3 des ersten Treibers 9 gemäß der vorliegenden Ausführungsform darstellt. Wie in 3 gezeigt umfasst der Koppler 3: das Stangenelement 5, das so bereitgestellt ist, dass es aus der oberen Oberfläche des ersten Trägerelements 6X, das an dem ersten Linearlager 11 fixiert ist, nach oben ragt; und das Drehlager 4, das um das Stangenelement 5 herum angeordnet ist.
  • Das Stangenelement 5 weist einen Stangenabschnitt 5L und einen Flanschabschnitt 5F, der jeweils an einem oberen Ende und einem unteren Ende des Stangenabschnitts 5L angeordnet ist, auf.
  • Das Drehlager 4 ist im Wesentlichen zylindrisch. Das Drehlager 4 ist um den Stangenabschnitt 5L herum angeordnet. Das Drehlager 4 wird von einem Gehäuse 17 getragen. Das zweite Linearlager 19 ist über das Gehäuse 17 mit dem Drehlager 4 verbunden.
  • Das Drehlager 4 umfasst ein Kugellager. Das Drehlager 4 umfasst: einen Innenring 4A, der so angeordnet ist, dass er in Kontakt mit dem Stangenabschnitt 5L steht; einen Außenring 4B, der um den Innenring 4A angeordnet ist; und eine Kugel 4C, die zwischen dem Innenring 4A und dem Außenring 4B angeordnet ist. In der vorliegenden Ausführungsform sind zwei Kugellager, die jeweils den Innenring 4A, den Außenring 4B und die Kugel 4C umfassen, entlang der vertikalen Richtung (der Richtung, die parallel zu einer mittleren Achse des Stangenabschnitts 5L ist) angeordnet.
  • Das Drehlager 4 ermöglicht, dass sich das Stangenelement 5 in der vertikalen Richtung bewegt. Der Betrag der Vorbelastung, die auf das Drehlager 4 aufgebracht wird, ist angepasst, um die Bewegung des Stangenelements 5 in der vertikalen Richtung zu ermöglichen. Das Stangenelement 5 wird durch das Drehlager 4 so getragen, dass es sich in der vertikalen Richtung bewegen kann. In der vorliegenden Ausführungsform ist der Tisch 1 in der vertikalen Richtung in Bezug auf den ersten Treiber 9 und ein Trägerelement 6 bewegbar. Mit anderen Worten ist die Verschiebung des Tisches 1 in der vertikalen Richtung in Bezug auf den ersten Treiber 9 und das Trägerelement 6 ermöglicht. Wenn jedoch ein Problem auftritt, bei dem die Positionierungsgenauigkeit des Tisches 1 in der X-Achsenrichtung aufgrund des Drehlagers 4, das die Bewegung des Stangenelements 5 in der vertikalen Richtung ermöglicht, verringert ist, kann ein Nadellager, auf das eine Vorbelastung ausgeübt wird, so dass es keine Lücke in einer radialen Richtung hat, verwendet werden, um die Bewegung des Stangenelements 5 in der vertikalen Richtung zu ermöglichen. Wenn alternativ das Ausmaß der Bewegung des Stangenelements 5 klein ist, kann die Bewegung des Stangenelements 5 in der vertikalen Richtung durch die axiale Steifigkeit des Drehlagers 4 ermöglicht werden. Alternativ dazu kann die Bewegung des Stangenelements 5 in der vertikalen Richtung durch die Drehung in der θY-Richtung einer Lagereinheit, die aus den Drehlagern 4 gebildet ist, die einer zugewandt paarig angeordnet sind, und die Drehung des ersten Linearlagers 11 in der Y-Richtung ermöglicht werden.
  • Der Koppler 3 des zweiten Treibers 10 hat eine Struktur, die zu der des Kopplers 3 des ersten Treibers 9 äquivalent ist. Die Beschreibung des Kopplers 3 des zweiten Treibers 10 entfällt.
  • Als Nächstes wird ein Beispiel für den Betrieb der Tischvorrichtung 100A gemäß der vorliegenden Ausführungsform beschrieben. Das Bewegungssystem 8 passt die Position des auf dem Tisch 1 gelagerten Werkstücks S in der XY-Ebene an. Wenn die Position des Werkstücks S in der X-Achsenrichtung angepasst wird, betätigt das Bewegungssystem 8 den ersten Aktor 7X des ersten Treibers 9. Wenn die Position des Werkstücks S in der Y-Achsenrichtung angepasst wird, betätigt das Bewegungssystem 8 den zweiten Aktor 7Y des zweiten Treibers 10. Wenn die Position des Werkstücks S in der θZ-Richtung angepasst wird, betätigt das Bewegungssystem 8 die beiden zweiten Aktoren 7Y der beiden zweiten Treiber 10 durch Variieren des Betätigungsbetrags der zweiten Aktoren 7Y.
  • In der vorliegenden Ausführungsform ist der erste Treiber 9 so bereitgestellt, dass die Position der mittleren Achse AX des Tisches auf die Position der ersten Antriebsachse DX in der Y-Achsenrichtung ausgerichtet ist. Die erste Antriebsachse DX umfasst den Punkt des Tisches 1, auf den durch den ersten Treiber 9 Kraft ausgeübt wird. In der vorliegenden Ausführungsform umfasst die erste Antriebsachse DX eine mittlere Achse der Kugelumlaufspindel des ersten Kugelumlaufspindelmechanismus 15X und ist parallel zu der X-Achse. Die Position der ersten Antriebsachse DX ist auf die mittlere Achse des Drehlagers 4 (die mittlere Achse J der Stange) in der Y-Achsenrichtung ausgerichtet. Die Position der mittleren Achse AX des Tisches ist auf die Position der ersten Antriebsachse DX in der Y-Achsenrichtung ausgerichtet, wodurch eine gegenseitige Störung zwischen dem zweiten Linearlager 19 und dem zweiten Führungselement 18 des ersten Treibers 9 selbst dann verhindert wird, wenn sich der Tisch 1 in der θZ-Richtung um die mittlere Achse AX des Tisches dreht. Dies ermöglicht, dass das zweite Führungselement 18 eine problemlose Führung des zweiten Linearlagers 19 aufrechterhält. Als Ergebnis wird die unzureichende Positionierungsgenauigkeit der Tischvorrichtung 100A verhindert.
  • In der vorliegenden Ausführungsform sind die beiden zweiten Treiber 10 so bereitgestellt, dass sich die Position der mittleren Achse AX des Tisches von den Positionen der zweiten Antriebsachsen DY in der X-Achsenrichtung unterscheidet. Die zweite Antriebsachse DY umfasst den Punkt des Tisches 1, auf den durch den zweiten Treiber 10 Kraft ausgeübt wird. In der vorliegenden Ausführungsform umfasst die zweite Antriebsachse DY die mittlere Achse des Kugelgewindes des zweiten Kugelgewindemechanismus 15Y und ist parallel zu der Y-Achse. Die Position der zweiten Antriebsachse DY ist auf die mittlere Achse des Drehlagers 4 (die mittlere Achse J der Stange) in der X-Achsenrichtung ausgerichtet. Der Unterschied zwischen der Position der mittleren Achse AX des Tisches und den Positionen der zweiten Antriebsachsen DY in der X-Achsenrichtung ermöglicht, dass sich der Tisch 1 in der Y-Achsenrichtung und der θZ-Richtung bewegen kann.
  • Wenn sich der Tisch 1 in der θZ-Richtung um die mittlere Achse AX des Tisches dreht, unterscheidet sich die Position der mittleren Achse AX des Tisches von der Position der ersten Antriebsachse DX in der Y-Achse (ist dazu versetzt). Der Versatz kann bewirken, dass ein Moment auf das zweite Linearlager 19 und das zweite Führungselement 18 wirkt. In der vorliegenden Ausführungsform ist der Koppler 3, der das Drehlager 4 umfasst, zwischen dem ersten Linearlager 11, das mit ersten Aktor 7X gekoppelt ist und sich in der X-Achsenrichtung bewegt, und dem zweiten Linearlager 19, das mit dem Tisch 1 gekoppelt ist und sich in der Y-Achsenrichtung bewegt, angeordnet. Das erste Linearlager 11 und das zweite Linearlager 19 sind über den Koppler 3, der das Drehlager 4 umfasst, gekoppelt. Somit verhindert selbst dann, wenn sich der Tisch 1 in der θZ-Richtung um die mittlere Achse AX des Tisches dreht, die relative Drehung zwischen dem Stangenelement 5 und dem Drehlager 4 des Kopplers 3, dass das Moment auf das zweite Linearlager 19 und das zweite Führungselement 18 wirkt. Dies verringert einen Positionierungsfehler der Tischvorrichtung 100A und macht es für den ersten Treiber 9 einfacher, einen Positionskorrekturbetrag zum Vermeiden der gegenseitigen Störung zu berechnen.
  • 4 ist eine Darstellung, die eine Tischvorrichtung 100J gemäß einem Vergleichsbeispiel zeigt. In der Tischvorrichtung 100J, die in 4 gezeigt ist, ist das Stangenelement 5 an dem Tisch 1 fixiert und das Drehlager 4 ist um das Stangenelement 5 herum angeordnet. Das Drehlager 4 ist mit dem zweiten Führungselement 18 verbunden und das zweite Linearlager 19 und das erste Linearlager 11 sind aneinander fixiert.
  • 5 ist eine Darstellung, die ein Beispiel des Betriebs der Tischvorrichtung 100J gemäß dem Vergleichsbeispiel veranschaulicht. Wenn sich der Tisch 1 in der θZ-Richtung von einem in 5(A) dargestellten Zustand aus gedreht wird, weicht die Position der mittleren Achse AX des Tisches von der Position der ersten Antriebsachse DX in der Y-Achsenrichtung ab (oder ist von dieser versetzt), wie es in 5(B) dargestellt ist. Um das in dem in 5(B) dargestellten Zustand auf das zweite Linearlager 19 und das zweite Führungselement 18 wirkende Moment zu reduzieren, muss die Position des zweiten Linearlagers 19 in der X-Achsenrichtung korrigiert werden, indem der erste Aktor 7X des ersten Treibers 9 unter Berücksichtigung eines Versatzbetrags OF zwischen der mittleren Achse AX des Tisches und der ersten Antriebsachse DX betätigt wird.
  • In der Tischvorrichtung 100J gemäß dem Vergleichsbeispiel kann die Berechnung des Positionskorrekturbetrags zum Korrigieren der Position des zweiten Linearlagers 19 in der X-Achsenrichtung kompliziert werden. Zum Beispiel muss der Betrag der Bewegung des Tisches 1 in der Y-Achsenrichtung durch den zweiten Treiber 10 in die Berechnung des Positionskorrekturbetrags einbezogen werden. Die Verwendung der Struktur der Tischvorrichtung 100A gemäß der vorliegenden Ausführungsform vereinfacht die Berechnung des Positionskorrekturbetrags .
  • 6 ist eine schematische Darstellung, die einen Positionskorrekturbetrag durch einen Aktor einer Tischvorrichtung mit einer herkömmlichen Struktur, wie sie beispielsweise in JP 2012-112715 A offenbart ist, mit dem Positionskorrekturbetrag durch den ersten Aktor 7X der Tischvorrichtung 100A gemäß der vorliegenden Ausführungsform vergleicht. 6 ist eine Ansicht, die schematisch den Tisch darstellt, der sich um einen Winkel θ um die mittlere Achse AX des Tisches dreht.
  • In dem Fall der Tischvorrichtung mit der herkömmlichen Struktur muss der Tisch um [OaX × tanθ] als Positionskorrekturbetrag DJ bewegt werden. Andererseits muss in dem Fall der Tischvorrichtung 100A gemäß der vorliegenden Ausführungsform der Tisch nur um [L (1 - 1/cosθ)] als Positionskorrekturbetrag D bewegt werden. Der Positionskorrekturbetrag kann ignoriert werden, wenn der Winkel θ klein ist. Die Korrektur ist jedoch in Abhängigkeit von dem Gleichgewicht zwischen dem Versatzbetrag OF, dem Betrag der Drehung des Tisches und der Positionierungsgenauigkeit nötig. Um beispielsweise eine Positionierungsgenauigkeit von 1 [µm] mit einem Betrag der Drehung von 0,1 [°] zu erhalten, muss der Versatzbetrag OF 0,57 [mm] oder weniger, nämlich im Grunde null, betragen und auf ein Fehlerniveau, das durch die Verarbeitung von Teilen oder aufgrund einer Montagetoleranz verursacht wird, reduziert werden, um den Positionskorrekturbetrag von 1 [µm] oder weniger zu erhalten.
  • Wie oben beschrieben kann sich der Tisch 1 gemäß der vorliegenden Ausführungsform durch einen ersten Treiber 9 und mindestens zwei zweite Treiber 10 in den drei Richtungen, d. h. der X-Achsenrichtung, der Y-Achsenrichtung und der Drehrichtung um die mittlere Achse AX des Tisches, bewegen. Der erste Treiber 9 ist derart bereitgestellt, dass die Position der mittleren Achse AX des Tisches auf die Position der ersten Antriebsachse DX in der Y-Achsenrichtung ausgerichtet ist, wodurch die gegenseitige Störung zwischen dem zweiten Führungselement 18, das an der Kante des Tisches 1 in der X-Achsenrichtung fixiert ist, und dem zweiten Linearlager 19 verhindert wird, wenn sich der Tisch 1 dreht. Das erste Linearlager 11, das sich entlang der ersten Antriebsachse DX auf dem Basiselement 2 bewegt, und das zweite Linearlager 19, das an dem Tisch 1 fixiert ist und sich in der Y-Achsenrichtung bewegt, sind über das Stangenelement 5 und das Drehlager 4 des ersten Treibers 9 miteinander gekoppelt. Somit verhindert die relative Drehung zwischen dem Stangenelement 5 und dem Drehlager 4 des ersten Treibers 9 selbst dann, wenn sich der Tisch 1 um die mittlere Achse AX des Tisches dreht, dass das Moment auf das zweite Linearlager 19 und das zweite Führungselement 18 wirkt. Als Ergebnis wird die unzureichende Positionierungsgenauigkeit der Tischvorrichtung 100A verhindert.
  • In der vorliegenden Ausführungsform sind das dritte Linearlager 13, das sich entlang der zweiten Antriebsachse DY auf dem Basiselement 2 bewegt, und das vierte Linearlager 21, das an dem Tisch 1 fixiert ist und sich in der X-Achsenrichtung bewegt, über das Stangenelement 5 und das Drehlager 4 des zweiten Treibers 10 miteinander gekoppelt. Somit verhindert selbst dann, wenn sich der Tisch 1 um die mittlere Achse AX des Tisches dreht, die relative Drehung zwischen dem Stangenelement 5 und dem Drehlager 4 des zweiten Treibers 10 verhindert, dass das Moment auf das vierte Linearlager 21 und das vierte Führungselement 20 wirkt. Als Folge wird die unzureichende Positionierungsgenauigkeit der Tischvorrichtung 100A verhindert.
  • <Zweite Ausführungsform>
  • Eine zweite Ausführungsform wird beschrieben. In der folgenden Beschreibung wird eine Komponente, die identisch oder äquivalent zu derjenigen in der vorstehenden Ausführungsform ist, mit den gleichen Bezugszeichen wie in der vorstehenden Ausführungsform bezeichnet und die Beschreibung einer solchen Komponente wird vereinfacht oder weggelassen.
  • 7 ist eine Draufsicht, die ein Beispiel einer Tischvorrichtung 100B gemäß der vorliegenden Ausführungsform darstellt. Die Tischvorrichtung 100B gemäß der vorliegenden Ausführungsform ist dadurch gekennzeichnet, dass eine Hilfsführung 50 in der Tischvorrichtung 100A, die in der vorstehenden Ausführungsform beschrieben ist, bereitgestellt ist.
  • Die Tischvorrichtung 100B umfasst: einen ersten Treiber 9, der mit der Kante des Tisches 1 auf der +X-Seite verbunden ist; zwei zweite Treiber 10, die mit der Kante des Tisches 1 auf der -Y-Seite verbunden sind; und zwei Hilfsführungen 50, die mit der Kante des Tisches 1 auf einer +Y-Seite verbunden sind.
  • Die Hilfsführung 50 umfasst: ein fünftes Linearlager 13B, das von einem fünften Führungselement 14B, das an dem Basiselement 2 bereitgestellt ist, geführt wird und sich in der Y-Achsenrichtung bewegt; das Drehlager 4, das um das Stangenelement 5, das an dem fünften Linearlager 13B fixiert ist, herum angeordnet ist und sich relativ zu dem Stangenelement 5 um die mittlere Achse J der Stange, die parallel zu der Z-Achse ist, drehen kann; und ein sechstes Linearlager 21B, das mit dem Drehlager 4 verbunden ist und in der X-Achsenrichtung durch ein sechstes Führungselement 20B, das an der Kante des Tisches 1 auf der +Y-Seite fixiert ist, geführt wird.
  • Das heißt, die Hilfsführung 50 weist eine Struktur auf, bei der der zweite Aktor 7Y, die Kopplung 16 und der zweite Kugelgewindemechanismus 15Y von dem zweiten Treiber 10 entfernt sind. Das fünfte Linearlager 13B, das sich in der Y-Achsenrichtung bewegt, und das sechste Linearlager 21B, das sich in der X-Achsenrichtung bewegt, sind durch den Koppler 3, der das Stangenelement 5 und das Drehlager 4 umfasst, miteinander gekoppelt.
  • Die zwei zweiten Treiber 10 sind entlang der X-Achsenrichtung in einem Raum auf der -Y-Seite des Tisches 1 angeordnet. Die zwei Hilfsführungen 50 sind entlang der X-Achsenrichtung in einem Raum auf der +Y-Seite des Tisches 1 angeordnet.
  • Die Position eines der beiden zweiten Treiber 10 in der X-Achsenrichtung ist auf die Position in der X-Achsenrichtung einer der beiden Hilfsführungen 50 ausgerichtet. Die Position des anderen der beiden zweiten Treiber 10 in der X-Achsenrichtung ist mit der Position in der X-Achsenrichtung der anderen der beiden Hilfsführungen 50 ausgerichtet. Das heißt, die X-Koordinaten der Koppler 3 (die mittleren Achsen J der Stangen) der beiden zweiten Treiber 10 sind gleich den X-Koordinaten der Koppler 3 (der mittleren Achsen J der Stangen) der beiden Hilfsführungen 50.
  • Auch in der vorliegenden Ausführungsform ermöglicht die Betätigung des Aktors 7 des Bewegungssystems 8, dass sich der Tisch 1 in drei Richtungen, d. h. In der X-Achsenrichtung, der Y-Achsenrichtung und der θZ-Richtung, bewegt.
  • Wie oben beschrieben sind gemäß der vorliegenden Ausführungsform die zweiten Treiber 10 mit der Kante des Tisches 1 auf der -Y-Seite verbunden und die Hilfsführungen 50 sind mit der Kante des Tisches 1 auf der + Y-Seite verbunden. Dies verhindert die unzureichende Positionierungsgenauigkeit der Tischvorrichtung 100B in der Drehrichtung um die mittlere Achse AX des Tisches, wenn sich der Tisch 1 in der X-Achsenrichtung bewegt. Zusätzlich tritt von dem ersten Aktor 7X aus gesehen Reibung der gleichen Größe in regelmäßigen Intervallen auf, was die Erzeugung eines Moments verhindern kann, das zu einem Positionierungsfehler in der θZ-Richtung führt, wenn sich der Tisch 1 in der X-Achsenrichtung bewegt.
  • <Dritte Ausführungsform>
  • Eine dritte Ausführungsform wird beschrieben. In der folgenden Beschreibung wird eine Komponente, die identisch oder äquivalent zu derjenigen in der vorstehenden Ausführungsform ist, mit den gleichen Bezugszeichen wie in der vorstehenden Ausführungsform bezeichnet und die Beschreibung einer solchen Komponente wird vereinfacht oder weggelassen.
  • 8 ist eine Draufsicht, die ein Beispiel einer Tischvorrichtung 100C gemäß der vorliegenden Ausführungsform darstellt. Die Tischvorrichtung 100C gemäß der vorliegenden Ausführungsform ist eine Abwandlung der Tischvorrichtung 100A, die in der vorstehenden Ausführungsform beschrieben ist.
  • Wie in 8 gezeigt ist einer der beiden zweiten Treiber 10 mit der Kante des Tisches 1 auf der +Y-Seite verbunden und der andere der zweiten Treiber 10 mit der Kante des Tisches 1 auf der -Y-Seite verbunden.
  • Die Position des zweiten Treibers 10, der auf der +Y-Seite in Bezug auf die mittlere Achse AX des Tisches 1 angeordnet ist, in der X-Achsenrichtung unterscheidet sich von der Position des zweiten Treibers 10, der auf der -Y-Seite in Bezug auf die mittlere Achse AX des Tisches 1 angeordnet ist, in der X-Achsenrichtung. Das heißt, die X-Koordinaten der Koppler 3 (der mittleren Achsen J der Stangen) der zweiten Treiber 10, die in der Y-Achsenrichtung auf beiden Seiten bezüglich der mittleren Achse AX des Tisches 1 angeordnet sind, sind voneinander verschieden.
  • Die vorliegende Ausführungsform verhindert ebenfalls die unzureichende Positionierungsgenauigkeit der Tischvorrichtung 100C, wodurch verhindert wird, dass die Tischvorrichtung 100c größer wird und dass sie eine komplexere Struktur aufweist.
  • <Vierte Ausführungsform>
  • Eine vierte Ausführungsform wird beschrieben. In der folgenden Beschreibung wird eine Komponente, die identisch oder äquivalent zu derjenigen in der vorstehenden Ausführungsform ist, mit den gleichen Bezugszeichen wie in der vorstehenden Ausführungsform bezeichnet und die Beschreibung einer solchen Komponente wird vereinfacht oder weggelassen.
  • 9 ist eine seitliche Querschnittsansicht, die einen Teil einer Tischvorrichtung 100D gemäß der vorliegenden Ausführungsform darstellt. Die vorliegende Ausführungsform beschreibt eine Ebenenführung 30B, die eine Abwandlung der Ebenenführung 30 ist.
  • Die Ebenenführung 30B ist zwischen der unteren Oberfläche 1B des Tisches 1 und der oberen Oberfläche 2A des Basiselements 2 angeordnet und führt den Tisch 1 in einer Richtung, die parallel zu der XY-Ebene ist, in einem Zustand, in dem die untere Oberfläche 1B des Tisches 1 und die obere Oberfläche 2A des Basiselements 2 einander mit dem Spalt G dazwischen zugewandt sind.
  • Die Ebenenführung 30B ist in einem Innenraum 1H angeordnet, der in dem Tisch 1 ausgebildet ist. Die Ebenenführung 30B umfasst eine Trägerplatte 32, die mehrere Kugeln 31 trägt, und ein stangenartiges Gleitelement 33, das mit der Trägerplatte verbunden ist. Die Kugeln 31 sind auf einer unteren Oberflächenseite der Trägerplatte 32 angeordnet. Die Kugeln 31 werden drehbar (wälzbar) durch die Trägerplatte 32 getragen. Die Kugeln 31 der Ebenenführung 30B sind so angeordnet, dass sie zumindest teilweise aus der unteren Oberfläche 1B des Tisches 1 nach unten ragen.
  • Das Bewegungssystem 8 wird betätigt, um den Tisch 1 auf der oberen Oberfläche 2A des Basiselements 2 zu bewegen. Wenn der Spalt G ausgebildet ist, können sich die Kugeln 31 der Ebenenführung 30B wälzen, während sie in Kontakt mit der oberen Oberfläche 2A des Basiselements sind. Als Ergebnis wird der Tisch 1 in der X-Achsenrichtung, die parallel zu der oberen Oberfläche 2A ist, der Y-Achsenrichtung und/oder der θZ-Richtung geführt.
  • Das Gleitelement 33 ist an einer oberen Oberfläche der Trägerplatte 32 fixiert. Das Gleitelement 33 ist so bereitgestellt, dass es aus der oberen Oberfläche der Trägerplatte 32 nach oben ragt. Das Gleitelement 33 hat einen Stangenabschnitt 33L und einen Flanschabschnitt 33F, der an jeweils dem oberen und unteren Ende des Stangenabschnitts 33L angeordnet ist.
  • In der vorliegenden Ausführungsform umfasst die Tischvorrichtung 100D ein Führungslager 34, das von dem Tisch 1 getragen wird und das Gleitelement 33 in der Z-Achsenrichtung beweglich lagert.
  • 10 ist eine vergrößerte Ansicht, die einen Bereich in der Nähe des Führungslagers 24 gemäß der vorliegenden Ausführungsform darstellt. Das Führungslager 34 ist um den Stangenabschnitt 33L herum angeordnet. Das Führungslager 34 wird durch eine Innenfläche des Tisches 1 in dem Innenraum 1H getragen.
  • Das Führungslager 34 umfasst ein Kugellager. Das Führungslager 34 enthält: einen Innenring 34A, der so angeordnet ist, dass er in Kontakt mit dem Stangenabschnitt 33L steht; einen Außenring 34B, der um den Innenring 34A angeordnet ist; und eine Kugel 34C, die zwischen dem Innenring 34A und dem Außenring 34B angeordnet ist. In der vorliegenden Ausführungsform sind zwei Kugellager, die jeweils den Innenring 34A, den Außenring 34B und die Kugel 34C umfassen, entlang der Z-Achsenrichtung (der Richtung, die parallel zu einer mittleren Achse des Stangenabschnitts 33L ist) angeordnet.
  • Das Führungslager 34 ermöglicht, dass sich das Gleitelement 33 (die Ebenenführung 30B) in der Z-Achsenrichtung bewegt. Das Gleitelement 33 ist durch das Führungslager 34 so gelagert, dass es sich in der Z-Achsenrichtung bewegen kann. Die Ebenenführung 30B der vorliegenden Ausführungsform ist in der Z-Achsenrichtung in Bezug auf den Tisch 1 bewegbar. Mit anderen Worten ist die Verschiebung der Ebenenführung 30B in der Z-Achsenrichtung in Bezug auf den Tisch 1 ermöglicht.
  • In einem Prozess zum Herstellen einer Einrichtung unter Verwendung der Tischvorrichtung 100D kann beispielsweise eine nach unten gerichtete Last in der vertikalen Richtung (-Z-Richtung) auf den Tisch 1 wirken. Wenn die Last, die auf den Tisch 1 in der Z-Achsenrichtung wirkt, null ist, sind die untere Oberfläche 1B des Tisches 1 und die obere Oberfläche 2A des Basiselements 2 einander mit dem Spalt G dazwischen zugewandt. Wenn die Last, die auf den Tisch 1 in der Z-Achsenrichtung wirkt, kleiner als ein vorbestimmter Wert ist, senkt sich der Tisch 1 ab, um die Abmessung des Spaltes G zu verringern. Wenn die Last, die auf den Tisch 1 in der Z-Achsenrichtung wirkt, kleiner als der vorbestimmte Wert ist, trägt das Führungslager 34 den Tisch 1 derart, dass die untere Oberfläche 1B des Tisches 1 nicht mit der oberen Oberfläche 2A des Basiselements 2 in Kontakt kommt.
  • In dem Zustand, in dem die Last, die auf den Tisch 1 in der Z-Achsenrichtung wirkt, kleiner als der vorbestimmte Wert ist und der Spalt G ausgebildet ist, befindet sich zumindest ein Teil der durch den Tisch 1 getragenen Ebenenführung 30B mit der oberen Oberfläche des Basiselements in Kontakt. Wenn das Bewegungssystem 8 betätigt wird, um den Tisch 1 in der XY-Ebene zu bewegen, wird der Tisch 1 auf der oberen Oberfläche 2A des Basiselements 2 mittels der Ebenenführung 30B geführt. Der Tisch 1 kann sich somit problemlos in der horizontalen Richtung bewegen.
  • Das Führungslager 34 ermöglicht, dass sich der Tisch 1 in der Z-Achsenrichtung um die Abmessung des Spalts G bewegen kann. Die Abmessung des Spalts G ist ein Abstand zwischen der unteren Oberfläche 1B und der oberen Oberfläche 2A, wenn die Last, die auf den Tisch 1 in der Z-Achsenrichtung wirkt, null beträgt (wenn keine Last anliegt). Wenn die nach unten gerichtete Last in der vertikalen Richtung (-Z-Richtung) auf den Tisch 1 wirkt, bewegt sich der Tisch 1 nach unten (in der -Z-Richtung), während er durch das Führungslager 34 geführt wird. Wenn sich der Tisch 1 nach unten bewegt, kommt die untere Oberfläche 1B des Tisches 1 mit der oberen Oberfläche 2A des Basiselements 2 in Kontakt. Wenn die nach unten gerichtete Kraft in der vertikalen Richtung, die auf den Tisch 1 wirkt, gleich einem vorbestimmten Wert ist, kommt die untere Oberfläche 1B des Tisches 1 mit der oberen Oberfläche 2A des Basiselements 2 in Kontakt. Wenn die nach unten gerichtete Last in der vertikalen Richtung, die auf den Tisch 1 wirkt, gleich dem vorbestimmten Wert oder größer ist, führt das Führungslager 34 den Tisch 1 in der Z-Achsenrichtung so, dass die untere Oberfläche 1B des Tisches mit der oberen Oberfläche 2A des Basiselements 2 in Kontakt kommt. Dass die untere Oberfläche 1B des Tisches 1, die mit der oberen Oberfläche 2A des Basiselements 2 in Kontakt kommt, ermöglicht, dass der Tisch 1 auf der oberen Oberfläche 2A des Basiselements 2 getragen wird.
  • Die Abmessung des Spaltes G ist derart bestimmt, dass die untere Oberfläche 1B mit der oberen Oberfläche 2A in Kontakt kommt, bevor eine übermäßige Last (Überlastung) auf das Führungslager 34 wirkt. Mit anderen Worten ist die Abmessung des Spaltes G derart bestimmt, dass keine Überlastung auf das Führungslager 34 ausgeübt wird, wenn sich der Tisch 1 innerhalb eines Bereichs der Abmessung des Spaltes G in der vertikalen Richtung bewegt. Der Zustand, in dem die Überlastung auf das Führungslager 34 wirkt, bezieht sich beispielsweise auf einen Zustand, in dem eine Last, die eine statische Tragzahl überschreitet, auf das Führungslager 34 wirkt, und einen Zustand, in dem eine Last, die bewirkt, dass die Kugel 34C aus einer Führungsnut des Innenrings 34A und des Außenrings 34B läuft, auf das Führungslager 34 wirkt.
  • Der vorbestimmte Wert bezieht sich auf einen Wert der Last, die auf den Tisch 1 in der -Z-Richtung wirkt, bei dem die Last, die auf den Tisch 1 in der -Z-Richtung wirkt, das Führungslager 34 unfähig macht, die Position des Tisches 1 in der Z-Achsenrichtung aufrechtzuerhalten, wodurch bewirkt wird, dass sich der Tisch 1 in der -Z-Richtung bewegt, die untere Oberfläche 1B des Tisches 1 mit der oberen Oberfläche 2A des Basiselements 2 in Kontakt kommt und die Abmessung des Spalts G gleich null wird. Der Tisch 1 bewegt sich nicht in der -Z-Richtung, wenn die Last, die auf den Tisch 1 wirkt, null beträgt (wenn keine Last ausgeübt wird), so dass die Position des Tisches 1 in der Z-Achsenrichtung beibehalten wird und der Spalt G zwischen der unteren Oberfläche 1B und der oberen Oberfläche 2A aufrechterhalten wird. Wenn die Last auf den Tisch 1 in der -Z-Richtung wirkt, beginnt sich der Tisch 1 in der -Z-Richtung zu bewegen. Wenn die Last, die auf den Tisch 1 wirkt, kleiner als der vorbestimmte Wert ist, bewegt sich der Tisch 1 in der -Z-Richtung, was bewirkt, dass die Abmessung des Spaltes G allmählich abnimmt, aber die untere Oberfläche 1B des Tisches 1 ist von der oberen Oberfläche 2A des Basiselements 2 getrennt. Wenn die Last, die auf den Tisch 1 wirkt, den vorbestimmten Wert erreicht, kommt die untere Oberfläche 1B des Tisches 1, die sich in der -Z-Richtung bewegt hat, mit der oberen Oberfläche 2A des Basiselements 2 in Kontakt, wodurch die Abmessung des Spalts G gleich null ist.
  • Die Abmessung des Spalts G, die es ermöglicht, dass die untere Oberfläche 1B mit der oberen Oberfläche 2A in Kontakt ist, bevor eine Überlastung auf das Führungslager 34 wirkt, sowie der vorbestimmte Wert der Last können im Voraus durch ein Experiment oder eine Simulation erhalten werden. Die Abmessung des Spalts G, die für das zu verwendende Führungslager 34 geeignet ist, und der vorbestimmte Wert der Last werden gemäß den erhaltenen Daten bestimmt.
  • Ähnlich wie das Führungslager 34 trägt das Drehlager 4 des Kopplers 3 den Tisch 1 derart, dass die untere Oberfläche 1B des Tisches 1 nicht mit der oberen Oberfläche 2A des Basiselements 2 in Kontakt kommt, wenn die Last, die auf den Tisch 1 in der Z-Achsenrichtung wirkt, kleiner als der vorbestimmte Wert ist. Das Drehlager 4 ermöglicht, dass sich der Tisch 1 in der Z-Achsenrichtung um die Abmessung des Spaltes G bewegen kann. Wenn die nach unten gerichtete Last in der vertikalen Richtung (-Z-Richtung) auf den Tisch 1 wirkt, bewegt sich der Tisch 1 nach unten (in der -Z-Richtung), während er durch das Drehlager 4 geführt wird. Wenn die nach unten gerichtete Last in der vertikalen Richtung, die größer oder gleich dem vorbestimmten Wert ist, auf den Tisch 1 wirkt, führt das Drehlager 4 den Tisch 1 in der Z-Achsenrichtung derart, dass die untere Oberfläche 1B des Tisches 1 mit der oberen Oberfläche 2A des Basiselements 2 in Kontakt kommt.
  • In der vorliegenden Ausführungsform ermöglicht das Führungslager 34, dass sich das Gleitelement 33 (die Ebenenführung 30B) in der Z-Achsenrichtung bewegen kann. Wenn die nach unten gerichtete Last in der vertikalen Richtung, die größer oder gleich dem vorbestimmten Wert ist, auf den Tisch 1 wirkt, um den Tisch 1 nach unten zu bewegen, kann sich die von dem Führungslager 34 getragene Ebenenführung 30B relativ zu dem Tisch 1 nach oben bewegen. Als Ergebnis wird die Ebenenführung 30B vollständig in dem Innenraum 1H des Tisches 1 aufgenommen.
  • In der vorliegenden Ausführungsform ist die Steifigkeit des Führungslagers 34 in der Z-Achsenrichtung kleiner als die Steifigkeit der Ebenenführung 30B in der Z-Achsenrichtung. Die Abwärtsbewegung des Tisches 1 bewirkt, dass eine nach oben gerichtete Last in der vertikalen Richtung auf die Ebenenführung 30B wirkt. Die Abmessung des Spaltes G ist so bestimmt, dass die untere Oberfläche 1B mit der oberen Oberfläche 2A in Kontakt kommt, bevor eine übermäßige Last (Überlastung) auf die Ebenenführung 30B wirkt. Mit anderen Worten ist die Abmessung des Spaltes G derart bestimmt, dass keine Überlastung auf die Ebenenführung 30B wirkt, wenn sich der Tisch 1 in der vertikalen Richtung innerhalb des Bereichs der Abmessung des Spalts G bewegt.
  • Wie oben beschrieben ist gemäß der vorliegenden Ausführungsform die Ebenenführung 30B so bereitgestellt, dass sich der Tisch 1 in dem Zustand, in dem die untere Oberfläche 1B des Tisches 1 und die obere Oberfläche 2A des Basiselements 2 einander über den Spalt G dazwischen zugewandt sind, problemlos in der horizontalen Richtung, die parallel zu der oberen Oberfläche 2A des Basiselements 2 ist, bewegen kann.
  • Darüber hinaus umfasst die Ebenenführung 30B in der vorliegenden Ausführungsform das stangenartige Gleitelement 33. Das Gleitelement 33 ist durch das von dem Tisch 1 getragene Führungslager 34 so gelagert, dass es sich in Z-Achsenrichtung bewegen kann. Wenn sich der Tisch 1 also so nach unten bewegt, dass die untere Oberfläche 1B des Tisches 1 mit der oberen Oberfläche 2A des Basiselements 2 in dem Zustand, in dem das Führungslager 34 mit der oberen Oberfläche 2A des Basiselements 2 in Kontakt ist, in Kontakt kommt, kann sich die Ebenenführung 30B relativ zu dem Tisch 1 nach oben bewegen. Als Ergebnis wird die Ebenenführung 30B in dem Innenraum 1H des Tisches 1 aufgenommen.
  • <Fünfte Ausführungsform>
  • Eine fünfte Ausführungsform wird beschrieben. In der folgenden Beschreibung wird eine Komponente, die identisch oder äquivalent zu derjenigen in der vorstehenden Ausführungsform ist, mit den gleichen Bezugszeichen wie in der vorstehenden Ausführungsform bezeichnet und die Beschreibung einer solchen Komponente wird vereinfacht oder weggelassen.
  • 11 ist eine seitliche Querschnittsansicht, die ein Beispiel einer Tischvorrichtung 100E gemäß der vorliegenden Ausführungsform darstellt. Der größte Teil der Tischvorrichtung 100E gemäß der vorliegenden Ausführungsform ist identisch mit der Tischvorrichtung 100D, die in der vorstehenden Ausführungsform beschrieben ist. In der vorliegenden Ausführungsform enthält die Tischvorrichtung 100E ein Antriebselement 35, das die Ebenenführung 30B in der Z-Achsenrichtung bewegt.
  • 12 ist eine vergrößerte Ansicht, die einen Bereich in der Nähe der Ebenenführung 30B und des Antriebselements 35 gemäß der vorliegenden Ausführungsform darstellt. Die Ebenenführung 30B umfasst das stangenartige Gleitelement 33, das an der Trägerplatte 32 fixiert ist. Das Führungslager 34 zum beweglichen Lagern des Gleitelements 33 in der Z-Achsenrichtung ist in dem Innenraum 1H des Tisches 1 bereitgestellt. Das Führungslager 34 wird von der Innenfläche des Tisches 1 in dem Innenraum 1H getragen.
  • Das Führungslager 34 umfasst das Kugellager. Das Führungslager 34 umfasst: den Innenring 34A, der so angeordnet ist, dass er mit dem Stangenabschnitt 33L in Kontakt ist; den Außenring 34B, der um den Innenring 34A angeordnet ist; und die Kugel 34C, die zwischen dem Innenring 34A und dem Außenring 34B angeordnet ist. In der vorliegenden Ausführungsform sind zwei Kugellager, die jeweils den Innenring 34A, den Außenring 34B und die Kugel 34C umfassen, entlang der Z-Achsenrichtung (der Richtung, die parallel zu der mittleren Achse des Stangenabschnitts 33L ist) angeordnet.
  • In der vorliegenden Ausführungsform ist ein Abstandselement 37 zwischen den zwei Innenringen 34A angeordnet, die entlang der vertikalen Richtung angeordnet sind. Die Innenringe 34A sind in Kontakt mit dem Abstandselement 37. Die zwei Außenringe 34B, die entlang der vertikalen Richtung angeordnet sind, sind einander mit einem Spalt dazwischen zugewandt.
  • Das Antriebselement 35 umfasst beispielsweise ein piezoelektrisches Element. Das Antriebselement 35 ist zwischen der oberen Oberfläche des Führungslagers 34 und einem festen Element 36, das an der Innenfläche des Tisches 1 fixiert ist, in dem Innenraum 1H angeordnet.
  • Das Antriebselement 35 kann die Position eines unteren Endes der Ebenenführung 30B (ein unteres Ende der Kugel 34C in der vorliegenden Ausführungsform) in der Z-Achsenrichtung anpassen. Wenn sich das Antriebselement 35 zusammenzieht, bewegt sich das untere Ende der Ebenenführung 30B nach oben. Wenn sich das Antriebselement 35 ausdehnt, bewegt sich das untere Ende der Ebenenführung 30B nach unten.
  • In der vorliegenden Ausführungsform ist das Antriebselement 35 zwischen dem festen Element 36 und dem oberen Außenring 34B der zwei Außenringe 34B, die entlang der vertikalen Richtung des Führungslagers 34 angeordnet sind, angeordnet. Das Antriebselement 35 wird betätigt, um den Abstand der beiden Außenringe 34B zu ändern. Als Ergebnis wird die Position des unteren Endes der Ebenenführung 30B angepasst.
  • Gemäß der vorliegenden Ausführungsform kann das Antriebselement 35 die Position des unteren Endes der Ebenenführung 30B in der vertikalen Richtung anpassen. Als Ergebnis wird die auf die Ebenenführung 30B wirkende Last angepasst. Dies verhindert beispielsweise, dass eine übermäßige Last auf die Ebenenführung 30B wirkt.
  • Wenn die Last, die in der Z-Achsenrichtung auf den Tisch 1 wirkt, kleiner als ein vorbestimmter Wert ist, sind die untere Oberfläche 1B des Tisches 1 und die obere Oberfläche 2A des Basiselements 2 einander mit dem Spalt G dazwischen zugewandt. In dem Zustand, in dem der Spalt G ausgebildet ist, steht das untere Ende der von dem Tisch 1 getragenen Ebenenführung 30B mit der oberen Oberfläche 2A des Basiselements 2 in Kontakt. Das Antriebselement 35 passt die Position des unteren Endes der Ebenenführung 30B in der Z-Achsenrichtung an, wodurch die Last angepasst wird, die auf das untere Ende der Ebenenführung 30B in Kontakt mit der oberen Oberfläche 2A wirkt.
  • Wenn die nach unten gerichtete Last in der vertikalen Richtung (-Z-Richtung), die größer oder gleich dem vorbestimmten Wert ist, auf den Tisch 1 wirkt, bewegt sich der Tisch 1 nach unten (in der -Z-Richtung), während er durch das Drehlager 4 geführt wird. Wenn sich der Tisch 1 nach unten bewegt, kommt die untere Oberfläche 1B des Tisches 1 mit der oberen Oberfläche 2A des Basiselements 2 in Kontakt. Dass die untere Oberfläche 1B des Tisches 1 mit der oberen Oberfläche 2A des Basiselements 2 in Kontakt kommt, ermöglicht, dass der Tisch 1 auf der oberen Oberfläche 2A des Basiselements 2 getragen wird. Wenn sich der Tisch 1 nach unten bewegt, nimmt das untere Ende der Ebenenführung 30B, die von dem Tisch 1 über das Führungslager 34 getragen wird, eine Last von der oberen Oberfläche 2A des Basiselements 2 auf. Die Last auf dem unteren Ende der Ebenenführung 30B, die von der oberen Oberfläche 2A des Basiselements 2 aufgenommen wird, nimmt zu, wenn sich der Tisch 1 nach unten bewegt. Wenn sich in der vorliegenden Ausführungsform der Tisch 1 nach unten bewegt, um die auf das untere Ende der Ebenenführung 30B wirkende Last zu erhöhen, bewegt das Antriebselement 35 das untere Ende der Ebenenführung 30B relativ zu dem Tisch 1 nach oben. Dies verhindert eine Zunahme der auf das untere Ende der Ebenenführung 30B wirkenden Last.
  • Wie oben beschrieben, verhindert gemäß der vorliegenden Ausführungsform das Bereitstellen des Antriebselements 35, das die Ebenenführung 30B in der Z-Achsenrichtung bewegen kann, dass eine übermäßige Last auf die Ebenenführung 30B wirkt. Die Last, die auf die Ebenenführung 30B wirkt, kann verringert werden, wodurch eine Zunahme der Größe der Ebenenführung 30B verhindert wird.
  • In der vorliegenden Ausführungsform können die Ebenenführung 30B, das Führungslager 34 und das Antriebselement 35 in dem Innenraum des Basiselements 2 angeordnet sein.
  • Das Antriebselement 35 der vorliegenden Ausführungsform kann ein Kraftsteuerungsaktor wie etwa ein Luftzylinder sein.
  • In der vorliegenden Ausführungsform kann die Abmessung des Spalts G zwischen dem Tisch 1 und dem Basiselement 2 durch das Antriebselement 35 auf null eingestellt werden, wenn keine Last in der Z-Achsenrichtung auf den Tisch 1 wirkt.
  • <Sechste Ausführungsform>
  • Eine sechste Ausführungsform wird beschrieben. In der folgenden Beschreibung wird eine Komponente, die identisch oder äquivalent zu derjenigen in der vorstehenden Ausführungsform ist, mit den gleichen Bezugszeichen wie in der vorstehenden Ausführungsform bezeichnet und die Beschreibung einer solchen Komponente wird vereinfacht oder weggelassen.
  • 13 ist eine Draufsicht, die ein Beispiel einer Tischvorrichtung 100F gemäß der vorliegenden Ausführungsform veranschaulicht. 14 ist eine Darstellung, die aus einer Pfeilrichtung einer B-B-Linie von 13 betrachtet ist. Die Tischvorrichtung 100F gemäß der vorliegenden Ausführungsform ist eine Abwandlung der Tischvorrichtung 100A, die in der vorstehenden Ausführungsform beschrieben ist.
  • Ähnlich wie die Tischvorrichtung 100A, die in der vorstehenden Ausführungsform beschrieben ist, umfasst die Tischvorrichtung 100F einen ersten Treiber 9 und zwei zweite Treiber 10. Der erste Treiber 9 ist mit der Kante des Tisches 1 auf der +X-Seite verbunden. Die zweiten Treiber 10 sind mit der Kante des Tisches 1 auf der -Y-Seite verbunden. Die Position der mittleren Achse AX des Tisches ist auf die Position der ersten Antriebsachse DX des ersten Treibers 9 in der Y-Achsenrichtung ausgerichtet. Die Position der mittleren Achse AX des Tisches unterscheidet sich von den Positionen der zweiten Antriebsachsen DY der zweiten Treiber 10 in der X-Achsenrichtung.
  • Die Tischvorrichtung 100F gemäß der vorliegenden Ausführungsform enthält eine Vorbelastungseinrichtung 60, die im Voraus eine Kraft in der Drehrichtung (θZ-Richtung) um die mittlere Achse AX des Tisches auf den Tisch 1 ausübt. Die Vorbelastungseinrichtung 60 übt konstant die Kraft in der θZ-Richtung auf den Tisch 1 aus, indem Kraft in der Y-Achsenrichtung ausgeübt wird. Die Vorbelastungseinrichtung 60 übt in einem Zustand, in dem der erste Treiber 9 und/oder der zweite Treiber 10 eine Kraft zum Bewegen des Tisches 1 erzeugen, weiterhin eine konstante Kraft in einer festen Richtung um die mittlere Achse AX des Tisches 1 aus. Die Kraft (Vorbelastungskraft), die von der Vorbelastungseinrichtung 60 erzeugt wird, ist kleiner als die Kraft (Antriebskraft), die von dem ersten Treiber 9 erzeugt wird, und die Kraft (Antriebskraft), die von dem zweiten Treiber 10 erzeugt wird.
  • Die Vorbelastungseinrichtung 60 umfasst: einen Vorbelastungsaktor 7P, der von dem Basiselement 2 getragen wird und Leistung zum Bewegen des Tisches 1 in der Y-Achsenrichtung erzeugt; und ein bewegliches Vorbelastungselement, das mit dem Tisch 1 gekoppelt ist und sich durch die Betätigung des Vorbelastungsaktors 7P entlang einer Vorbelastungs-Antriebsachse DP, die parallel zu der Y-Achse ist, bewegt. Die Vorbelastungseinrichtung 60 ist derart bereitgestellt, dass sich die Position der mittleren Achse AX des Tisches von der Position der Vorbelastungs-Antriebsachse DP in der X-Achsenrichtung unterscheidet.
  • Der Vorbelastungsaktor 7P der vorliegenden Ausführungsform ist ein Luftzylinder. Ein Zylinderabschnitt des Vorbelastungsaktors 7P ist an dem Basiselement 2 fixiert.
  • Das bewegliche Vorbelastungselement umfasst: ein siebtes Linearlager 63, das von einem siebten Führungselement 64, das an dem Basiselement 2 bereitgestellt ist, geführt wird und sich entlang der Vorbelastungs-Antriebsachse DP bewegt; das Drehlager 4, das um das Stangenelement 5, das an dem siebten Linearlager 63 fixiert ist, herum angeordnet ist und sich relativ zu dem Stangenelement 5 um die mittlere Achse J der Stange, die parallel zu der Z-Achse ist, drehen kann; und ein achtes Linearlager 71, das mit dem Drehlager 4 verbunden ist und in der X-Achsenrichtung durch ein achtes Führungselement 70, das an der Kante des Tisches 1 auf der +Y-Seite fixiert ist, geführt wird.
  • Das siebte Linearlager 63 ist mit einem Stangenabschnitt des Vorbelastungsaktors 7P verbunden und bewegt sich durch die Betätigung des Vorbelastungsaktors 7P entlang der Vorbelastungs-Antriebsachse DP. Das siebte Führungselement 64 ist an dem Basiselement 2 fixiert und führt das siebte Linearlager 63 in der Y-Achsenrichtung. Das achte Führungselement 70 ist an der Kante des Tisches 1 auf der +Y-Seite über ein Verbindungselement 73 fixiert. Das achte Linearlager 71 wird in der X-Achsenrichtung durch das achte Führungselement 70 geführt.
  • Der Stangenabschnitt des Vorbelastungsaktors 7P oder das siebte Linearlager 63 und das achte Linearlager 71 sind durch den Koppler 3, der das Drehlager 4 und das Stangenelement 5 umfasst, miteinander gekoppelt. Der Koppler 3 ist dem Koppler 3, der in der vorstehenden Ausführungsform beschrieben ist, ähnlich und wird daher nicht beschrieben.
  • Wie oben beschrieben bewirkt gemäß der vorliegenden Ausführungsform die Vorbelastungseinrichtung 60, dass konstant ein Moment in der Drehrichtung auf den Tisch 1 wirkt. Dies beseitigt das Spiel in dem Mechanismus der Tischvorrichtung 100F, wodurch die unzureichende Positionierungsgenauigkeit der Tischvorrichtung 100F verhindert wird.
  • Darüber hinaus unterscheidet sich gemäß der vorliegenden Ausführungsform die Position der mittleren Achse AX des Tisches von der Position der Vorbelastungs-Antriebsachse DP der Vorbelastungseinrichtung 60 in der X-Achsenrichtung. Als Ergebnis kann die Kraft, die durch den Vorbelastungsaktor 7P erzeugt wird, bewirken, dass das Moment problemlos auf den Tisch 1 wirkt.
  • Gemäß der vorliegenden Ausführungsform sind der Vorbelastungsaktor 7P und das achte Linearlager 71 durch den Koppler 3, der das Stangenelement 5 und das Drehlager 4 umfasst, miteinander gekoppelt. Daher verhindert selbst dann, wenn sich der Tisch 1 um die mittlere Achse AX des Tisches dreht, die relative Drehung zwischen dem Stangenelement 5 und dem Drehlager 4, dass ein Moment auf das achte Linearlager 71 und das achte Führungselement 70 wirkt. Dies verhindert, dass sich die Genauigkeit bei der Positionierung der Tischvorrichtung 100F verschlechtert.
  • Darüber hinaus wird gemäß der vorliegenden Ausführungsform die relative Bewegung zwischen dem achten Linearlager 71 und dem achten Führungselement 70 und zwischen dem siebten Linearlager 63 und dem siebten Führungselement 64 ermöglicht und der Zylinder übt die konstante Kraft aus, während seine Position nicht fixiert ist, was es dem Tisch 1 ermöglicht, sich problemlos zu drehen.
  • In der vorliegenden Ausführungsform wird angenommen, dass der Vorbelastungsaktor 7P der Luftzylinder ist. Der Vorbelastungsaktor 7P kann stattdessen ein Servomotor sein, der über einen Kugelgewindemechanismus eine Vorbelastung auf den Tisch 1 ausübt. Der Motor wird jedoch nicht in einem Positionierungsmodus, sondern in einem Drehmomentmodus gesteuert. Dies gilt auch für die folgenden Ausführungsformen.
  • <Siebte Ausführungsform>
  • Eine siebte Ausführungsform wird beschrieben. In der folgenden Beschreibung wird eine Komponente, die identisch oder äquivalent zu derjenigen in der vorstehenden Ausführungsform ist, mit den gleichen Bezugszeichen wie in der vorstehenden Ausführungsform bezeichnet und die Beschreibung einer solchen Komponente wird vereinfacht oder weggelassen.
  • 15 ist eine Draufsicht, die ein Beispiel einer Tischvorrichtung 100G gemäß der vorliegenden Ausführungsform darstellt. Die Tischvorrichtung 100G gemäß der vorliegenden Ausführungsform ist eine Abwandlung der Tischvorrichtung 100F, die in der vorstehenden Ausführungsform beschrieben ist.
  • Die Tischvorrichtung 100G ist mit zwei Vorbelastungseinrichtungen 60 versehen, so dass die Position der mittleren Achse AX des Tisches von den Positionen der Vorbelastungs-Antriebsachsen DP in der X-Achsenrichtung abweicht. In der vorliegenden Ausführungsform ist die Kraft, die jeweils von den zwei Vorbelastungseinrichtungen 60 auf den Tisch 1 ausgeübt wird, verschieden. Das heißt, dass sich die Ausgabe aus einem Vorbelastungsaktor 7Pa einer der Vorbelastungseinrichtungen 60 im Betrag von der Ausgabe von einem Vorbelastungsaktor 7Pb der anderen der Vorbelastungseinrichtungen 60 unterscheidet.
  • Wie oben beschrieben, ist die vorliegende Ausführungsform mit den zwei Vorbelastungseinrichtungen 60 versehen, so dass er möglich ist, eine unterschiedliche Kraft auf zwei Positionen an der Kante des Tisches 1 auf der +Y-Seite auszuüben und ein Moment auf den Tisch 1 in der θZ Richtung auszuüben, wodurch die ungenügende Genauigkeit beim Positionieren des Tisches 1 in der θZ Richtung verhindert wird. Darüber hinaus sind gemäß der vorliegenden Ausführungsform die zwei Vorbelastungseinrichtungen 60 so angeordnet, dass sie symmetrisch zu den zwei zweiten Treibern 10 sind, so dass die auf das dritte Führungselement 14 des zweiten Treibers 10 wirkende Reibungskraft mit der auf das siebte Führungselement 64 der Vorbelastungseinrichtung 60 wirkenden Reibungskraft um die X-Achse symmetrisch ist, was einen Fehler beim Positionieren des Tisches 1 in der θZ-Richtung verhindert. Darüber hinaus sind gemäß der vorliegenden Ausführungsform die zwei zweiten Treiber 10 und die zwei Vorbelastungseinrichtungen 60 derart angeordnet, dass die auf das vierte Führungselement 20 wirkende Reibungskraft zu der auf das achte Führungselement 70 wirkenden Reibungskraft symmetrisch ist, wenn sich der Tisch 1 durch die Betätigung des ersten Treibers 9 in der X-Achsenrichtung bewegt, wodurch ein Positionierungsfehler (Drehfehler) des Tisches 1 in der θZ-Richtung verhindert wird.
  • <Achte Ausführungsform>
  • Eine achte Ausführungsform wird beschrieben. In der folgenden Beschreibung wird eine Komponente, die identisch oder äquivalent zu derjenigen in der vorstehenden Ausführungsform ist, mit den gleichen Bezugszeichen wie in der vorstehenden Ausführungsform bezeichnet und die Beschreibung einer solchen Komponente wird vereinfacht oder weggelassen.
  • 16 ist eine Draufsicht, die ein Beispiel einer Tischvorrichtung 100H gemäß der vorliegenden Ausführungsform veranschaulicht. Die Tischvorrichtung 100H gemäß der vorliegenden Ausführungsform ist eine Ausführungsform, in der die Vorbelastungseinrichtung 60 in der Tischvorrichtung 100C, die unter Bezugnahme auf 8 beschrieben ist, bereitgestellt ist. Wie in 16 gezeigt ist einer der zwei zweiten Treiber 10 mit der Kante des Tisches 1 auf der +Y-Seite verbunden und der andere der zweiten Treiber 10 ist mit der Kante des Tisches 1 auf der -Y-Seite verbunden.
  • Die vorliegende Ausführungsform verhindert ebenfalls die unzureichende Positionierungsgenauigkeit der Tischvorrichtung 100H.
  • <Neunte Ausführungsform>
  • Eine neunte Ausführungsform wird beschrieben. In der folgenden Beschreibung wird eine Komponente, die identisch oder äquivalent zu derjenigen in der vorstehenden Ausführungsform ist, mit den gleichen Bezugszeichen wie in der vorstehenden Ausführungsform bezeichnet und die Beschreibung einer solchen Komponente wird vereinfacht oder weggelassen.
  • 17 ist eine Draufsicht, die ein Beispiel einer Tischvorrichtung 100I gemäß der vorliegenden Ausführungsform zeigt. 18 ist eine seitliche Querschnittsansicht, die ein Beispiel der Tischvorrichtung 100I gemäß der vorliegenden Ausführungsform darstellt. Ähnlich zu der vorstehenden Ausführungsform umfasst die Tischvorrichtung 100I den ersten Treiber 9, die zweiten Treiber 10 und die Vorbelastungseinrichtung 60.
  • In der vorliegenden Ausführungsform ist zumindest ein Teil der Tischvorrichtung 100I in einem Innenraum einer Kammervorrichtung 200 angeordnet. In der vorliegenden Ausführungsform sind der Tisch 1, die Führungselemente 18, 20 und 70 die Linearlager 19, 21 und 71, der Koppler 3 und dergleichen in dem Innenraum der Kammervorrichtung 200 angeordnet.
  • Der erste Aktor 7X, die zweiten Aktoren 7Y und der Vorbelastungsaktor 7P sind in einem Außenraum der Kammervorrichtung 200 angeordnet.
  • Die Kammervorrichtung 200 enthält ein Klimasteuersystem, das das Klima des Innenraums steuert. Das Klima des Innenraums umfasst eine Art von Gas in dem Innenraum, mit dem sich der Druck innerhalb und außerhalb der Kammervorrichtung 200 ändert. Das Klima des Innenraums kann eine Temperatur in dem Innenraum sein, mit der sich der Druck innerhalb und außerhalb der Kammervorrichtung 200 ändert. Das Klima des Innenraums kann ein Feuchtigkeitsgehalt in dem Innenraum sein, mit dem sich der Druck innerhalb und außerhalb der Kammervorrichtung 200 ändert. Das Klima des Innenraums kann ein Druck (einschließlich eines Grades an Unterdruck) in dem Innenraum sein, mit dem sich der Druck innerhalb und außerhalb der Kammervorrichtung 200 ändert. Das Klima des Innenraums kann eine Sauberkeit in dem Innenraum sein, mit der sich der Druck innerhalb und außerhalb der Kammervorrichtung 200 ändert.
  • Das Klimasteuersystem steuert beispielsweise so, dass der Innenraum der Kammervorrichtung 200 in einem Unterdruckzustand ist. Das Klimasteuersystem steuert ferner so, dass der Innenraum der Kammervorrichtung 200 eine konstante Temperatur aufweist.
  • Die Kammervorrichtung 200 weist mehrere Öffnungen 200K auf, die den Innenraum und den Außenraum verbinden. Der erste Treiber 9, die zweiten Treiber 10 und die Vorbelastungseinrichtung 60 sind in den jeweiligen Öffnungen 200K angeordnet.
  • Die Kammervorrichtung 200 umfasst einen Balg 250, der in der Öffnung 200K angeordnet ist, und eine Trägereinrichtung 260, die den Balg 250 trägt. Der Balg 250 verhindert die Erzeugung von Kraft durch einen Druckunterschied zwischen dem Innenraum und dem Außenraum der Kammervorrichtung 200. Der Balg 250 verhindert einen Gasstrom zwischen dem Innenraum und dem Außenraum.
  • Wie oben beschrieben ist die vorliegende Ausführungsform mit der Kammervorrichtung 200 versehen, die den Innenraum aufweist, in dem zumindest der Tisch 1 angeordnet ist, wodurch ein auf dem Tisch 1 gelagertes Werkstück S in dem Innenraum der Kammervorrichtung 200, deren Klima gesteuert wird, bearbeitet wird. Die Aktoren 7X, 7Y und 7P sind in dem Außenraum der Kammervorrichtung 200 angeordnet, wodurch verhindert wird, dass von den Aktoren 7X, 7Y und 7P erzeugte Wärme beispielsweise den Tisch 1 und das Werkstück S beeinflusst. Dies verhindert auch, dass Fremdstoffe, die von den Aktoren 7X, 7Y und 7P erzeugt werden, den Tisch 1 und das Werkstück S beeinflussen. Die Kammervorrichtung 200 nimmt nicht die gesamte Tischvorrichtung 100I in dem Innenraum auf. Die Kammervorrichtung 200 nimmt den Tisch 1, die Führungselemente 18, 20 und 70, die Linearlager 19, 21 und 71, den Koppler 3 und dergleichen in dem Innenraum auf und die Aktoren 7X, 7Y und 7P sind in dem Außenraum der Kammervorrichtung 200 angeordnet, was eine Steigerung der Größe der Kammervorrichtung 200 verhindert.
  • <Zehnte Ausführungsform>
  • Eine zehnte Ausführungsform wird beschrieben. In der folgenden Beschreibung wird eine Komponente, die identisch oder äquivalent zu derjenigen in der vorstehenden Ausführungsform ist, mit den gleichen Bezugszeichen wie in der vorstehenden Ausführungsform bezeichnet und die Beschreibung einer solchen Komponente wird vereinfacht oder weggelassen.
  • 19 ist eine Draufsicht, die ein Beispiel einer Tischvorrichtung 100J gemäß der vorliegenden Ausführungsform zeigt. Die Tischvorrichtung 100J umfasst eine Führung 80Y, die mit der Kante des Tisches 1 auf der +Y-Seite gekoppelt ist und den Tisch 1 in der Y-Achsenrichtung führt. Zwei Führungen 80Y sind entlang der X-Achsenrichtung angeordnet. Die Führung 80Y enthält keine Leistungsquelle wie etwa einen Aktor.
  • Die Führung 80Y umfasst ein neuntes Linearlager 82, das in der Y-Achsenrichtung durch ein neuntes Führungselement 81, das auf dem Basiselement 2 bereitgestellt ist, geführt wird. Das neunte Linearlager 82 ist mit dem achten Linearlager 71 über den Koppler 3 gekoppelt. Das achte Linearlager 71 wird durch das achte Führungselement 70, das auf dem Tisch 1 bereitgestellt ist, geführt. Das neunte Führungselement 81 ist an dem Basiselement 2 so fixiert, dass es sich in der Y-Achsenrichtung erstreckt. Das neunte Linearlager 82 ist in der Y-Achsenrichtung beweglich, während es durch das neunte Führungselement 81 geführt wird.
  • Eine Vorbelastungseinrichtung 60J der vorliegenden Ausführungsform weist keinen Vorbelastungsaktor auf. Die elastische Kraft des Balgs 250 übt in der Drehrichtung um die mittlere Achse AX des Tisches eine Kraft auf den Tisch 1 aus.
  • Der Balg 250 umfasst einen ersten Balg 250A zum Ausüben einer ersten elastischen Kraft auf den Tisch 1 und einen zweiten Balg 250B zum Ausüben einer zweiten elastischen Kraft auf den Tisch 1. Die Position der mittleren Achse AX des Tisches unterscheidet sich jeweils von der Position des ersten Balgs 250A und der Position des zweiten Balgs 250B in der X-Achsenrichtung. Die durch den ersten Balg 250A auf den Tisch 1 ausgeübte Kraft unterscheidet sich von der Kraft, die durch den zweiten Balg 250B auf den Tisch 1 ausgeübt wird. Indem die Fläche des Balgs 250A von der Fläche des zweiten Balgs 250B verschieden gemacht wird, kann beispielsweise die durch den ersten Balg 250A auf den Tisch 1 ausgeübte Kraft von der durch den zweiten Balg 250B auf den Tisch 1 ausgeübten Kraft verschieden gestaltet werden. Der Balg 250 ist ein zylindrisches Element, das in der Öffnung 200K angeordnet ist, und die Fläche des Balgs 250 entspricht der Fläche der Öffnung des Balgs 250, der das zylindrische Element ist.
  • Der erste Balg 250A ist bereitgestellt, um eine der zwei Führungen 80Y und die Kammervorrichtung 200 zu koppeln. Der zweite Balg 250B ist bereitgestellt, um die andere der zwei Führungen 80Y und die Kammervorrichtung 200 zu koppeln.
  • Wie oben beschrieben ist die durch die Vorbelastungseinrichtung 60J auf den Tisch 1 ausgeübte Kraft nicht auf die von dem Vorbelastungsaktor erzeugte Kraft beschränkt, sondern kann die durch den Balg 250 erzeugte elastische Kraft sein.
  • <Elfte Ausführungsform>
  • Eine elfte Ausführungsform wird beschrieben. In der folgenden Beschreibung wird eine Komponente, die identisch oder äquivalent zu derjenigen in der vorstehenden Ausführungsform ist, mit den gleichen Bezugszeichen wie in der vorstehenden Ausführungsform bezeichnet und die Beschreibung einer solchen Komponente wird vereinfacht oder weggelassen.
  • 20 ist eine Darstellung, die ein Beispiel einer Flachtafelanzeigen-Herstellungsvorrichtung 500, die die Tischvorrichtung 100A (oder eine beliebige der Vorrichtungen 100B bis 100J) gemäß der vorliegenden Ausführungsform umfasst, zeigt. Die Flachtafelanzeigen-Herstellungsvorrichtung 500 wird in mindestens einem Teil der Herstellungsprozesse für eine Flachtafelanzeige verwendet. Die Flachtafelanzeige umfasst eine Flüssigkristallanzeige, eine Plasmaanzeige und/oder eine organische EL-Anzeige.
  • Die Flachtafelanzeigen-Herstellungsvorrichtung 500 umfasst einen Förderer 600, der in der Lage ist, ein Werkstück S zu befördern, aus dem die Flachtafelanzeige hergestellt wird. Der Förderer 600 umfasst die Tischvorrichtung 100A gemäß der vorliegenden Ausführungsform.
  • 20 stellt die Tischvorrichtung 100A schematisch dar. Das Werkstück S lagert auf dem Tisch 1.
  • In der vorliegenden Ausführungsform ist das Werkstück S ein Substrat, das zur Herstellung der Flachtafelanzeige verwendet wird. Die Flachtafelanzeige wird aus dem Werkstück S hergestellt. Das Werkstück S kann eine Glasplatte umfassen. Wenn eine Flüssigkristallanzeige hergestellt wird, kann das Werkstück S ein TFT-Substrat oder ein Farbfiltersubstrat umfassen.
  • Die Flachtafelanzeigen-Herstellungsvorrichtung 500 führt die Herstellungsprozesse für die Flachtafelanzeige unter Verwendung des Werkstücks S durch, das an einer Verarbeitungsposition (Zielposition) PJ1 angeordnet ist. Die Tischvorrichtung 100A ordnet das auf dem Tisch 1 gelagerte Werkstück S an der Verarbeitungsposition PJ1 an. Der Förderer 600 umfasst eine Einbringvorrichtung 601, die in der Lage ist, das Werkstück S auf den Tisch 1 der Tischvorrichtung 100A zu befördern (hereinzubringen), und eine Ausbringvorrichtung 602, die in der Lage ist, das Werkstück S von dem Tisch weg zu befördern (herauszubringen). Die Einbringvorrichtung 601 befördert das Werkstück S, das noch zu bearbeiten ist, zu dem Tisch 1 (bringt es herein). Die Tischvorrichtung 100A befördert das auf dem Tisch 1 gelagerte Werkstück S zu der Verarbeitungsposition PJ1. Die Ausbringvorrichtung 602 befördert das Werkstück S, das bearbeitet worden ist, von dem Tisch 1 weg (bringt es heraus).
  • Die Tischvorrichtung 100A bewegt den Tisch 1, um das auf dem Tisch 1 gelagerte Werkstück S zu der Verarbeitungsposition PJ1 zu bewegen. Die Tischvorrichtung 100A kann das auf dem Tisch 1 gelagerte Werkstück S mit hoher Positionierungsgenauigkeit an der Verarbeitungsposition PJ1 anordnen.
  • Wenn die Flachtafelanzeigen-Herstellungsvorrichtung 500 eine Verbindungsvorrichtung zum Verbinden von zwei Substraten aufweist, enthält beispielsweise das auf dem Tisch 1 getragene Werkstück S eines der zwei Substrate. Die Verarbeitungsposition PJ1 enthält eine Verbindungsposition, an der das eine Substrat mit dem anderen Substrat verbunden wird. Das andere Substrat wird gegen das eine Substrat auf dem Tisch 1, das an der Verbindungsposition angeordnet ist, gedrückt.
  • In der vorliegenden Ausführungsform weist die Flachtafelanzeigen-Herstellungsvorrichtung 500 einen Substrathalter 501 zum Halten des anderen Substrats auf. Der Substrathalter 501 fungiert als eine Verarbeitungseinheit, die das auf dem Tisch 1 gelagerte Werkstück S (das eine Substrat) bearbeitet. Der Substrathalter 501 bewirkt, dass das eine an der Verbindungsposition angeordnete Substrat und das andere von dem Substrathalter 501 gehaltene Substrat einander zugewandt werden. Der Substrathalter 501 bewegt sich nach unten, um das andere Substrat gegen das auf dem Tisch 1 gelagerte Substrat zu drücken. Als Ergebnis werden die zwei Substrate miteinander verbunden.
  • Nachdem das Werkstück S an der Verarbeitungsposition PJ1 bearbeitet worden ist, befördert die Ausbringvorrichtung 602 das bearbeitete Werkstück S von dem Tisch 1 weg. Das von der Ausbringvorrichtung 602 beförderte (herausgebrachte) Werkstück S wird zu einem Prozessor, der nachfolgende Prozesse durchführt, befördert.
  • In der vorliegenden Ausführungsform kann die Tischvorrichtung 100A das Werkstück S an der Verarbeitungsposition PJ1 anordnen. Die vorliegende Ausführungsform verhindert auch die unzureichende Genauigkeit beim Positionieren des Tisches 1. Dies verhindert, dass ein defektes Produkt (eine defekte Flachtafelanzeige) hergestellt wird.
  • Die Tischvorrichtung 100A (oder eine beliebige der Vorrichtungen 100B bis 100J) kann in einer Halbleiterherstellungsvorrichtung verwendet werden. Die Halbleiterherstellungsvorrichtung umfasst beispielsweise eine Belichtungsvorrichtung, die durch ein optisches Projektionssystem ein Einrichtungsmuster auf einem Werkstück S bildet. Die Verarbeitungsposition PJ1 der Belichtungsvorrichtung enthält eine Bildflächenposition (Belichtungsposition) des optischen Projektionssystems. Das optische Projektionssystem arbeitet als eine Verarbeitungseinheit, die eine Belichtungsverarbeitung an dem auf dem Tisch 1 gelagerten Werkstück S durchführt. Wenn das Werkstück S an der Verarbeitungsposition PJ1 angeordnet ist, kann die Halbleiterherstellungsvorrichtung durch das optische Projektionssystem ein Vorrichtungsmuster auf dem Werkstück S ausbilden.
  • Die Halbleiterherstellungsvorrichtung kann eine Filmbildungsvorrichtung umfassen, die einen Film auf einem Werkstück S bildet. In dem Fall, in dem die Halbleiterherstellungsvorrichtung die Filmbildungsvorrichtung umfasst, umfasst die Verarbeitungsposition PJ1 eine Zufuhrposition (Filmbildungsposition), an der ein Material, das verwendet wird, um einen Film zu bilden, zugeführt wird. Eine Zufuhreinheit zum Zuführen des Materials fungiert als eine Verarbeitungseinheit, die eine Filmbildung auf dem auf dem Tisch 1 gelagerten Werkstück S durchführt. Wenn das Werkstück S in der Verarbeitungsposition PJ1 angeordnet ist, wird der Film zum Ausbilden des Einrichtungsmusters auf dem Werkstück S ausgebildet.
  • [Zwölfte Ausführungsform]
  • Eine zwölfte Ausführungsform wird beschrieben. 21 ist eine Darstellung, die ein Beispiel einer Präzisionsmaschine 700 zeigt, die die Tischvorrichtung 100A (oder eine beliebige der Vorrichtungen 100B bis 100J) gemäß der vorliegenden Ausführungsform umfasst. Die vorliegende Ausführungsform beschreibt ein Beispiel, in dem die Präzisionsmaschine 700 ein Präzisionsmessinstrument wie etwa ein Präzisionsinstrument, das ein Werkstück präzise vermisst, ist.
  • Das Präzisionsmessinstrument 700 vermisst ein Werkstück S2. Das Werkstück S2 kann eine Flachtafelanzeige, die durch die Flachtafelanzeigen-Herstellungsvorrichtung 500 hergestellt wird, und/oder eine Halbleitervorrichtung, die durch die oben beschriebene Halbleiterherstellungsvorrichtung hergestellt wird, umfassen. Das Präzisionsmessinstrument 700 umfasst einen Förderer 600B, der das Werkstück S2 befördern kann. Der Förderer 600B umfasst die Tischvorrichtung 100A gemäß der vorliegenden Ausführungsform.
  • 21 stellt die Tischvorrichtung 100A schematisch dar. Das Werkstück S2 ist auf dem Tisch 1 gelagert.
  • Das Präzisionsmessinstrument 700 vermisst das Werkstück S2, das an einer Messposition (Zielposition) PJ2 angeordnet ist. Die Tischvorrichtung 100A ordnet das auf dem Tisch 1 gelagerte Werkstück S2 an der Messposition PJ2 an. Der Förderer 600B umfasst eine Einbringvorrichtung 601B, die in der Lage ist, das Werkstück S2 auf den Tisch 1 der Tischvorrichtung 100A zu befördern (hereinzubringen), und eine Ausbringvorrichtung 602B, die in der Lage ist, das Werkstück S2 von dem Tisch 1 weg zu befördern (herauszubringen). Die Einbringvorrichtung 601B fördert das noch zu vermessende Werkstück S2 auf den Tisch 1 (bringt es herein). Die Tischvorrichtung 100A befördert das auf dem Tisch 1 gelagerte Werkstück S2 zu der Messposition PJ2. Die Ausbringvorrichtung 602B befördert das Werkstück S2, das vermessen worden ist, von dem Tisch 1 weg (bringt es heraus).
  • Die Tischvorrichtung 100A bewegt den Tisch 1, um das auf dem Tisch 1 gelagerte Werkstück S2 zu der Messposition PJ2 zu bewegen. Die Tischvorrichtung 100A kann das auf dem Tisch 1 gelagerte Werkstück S2 mit hoher Positionierungsgenauigkeit an der Messposition PJ2 anordnen.
  • Das Präzisionsmessinstrument 700 der vorliegenden Ausführungsform vermisst das Werkstück S2 unter Verwendung von Detektionslicht optisch. Das Präzisionsmessinstrument 700 umfasst eine Bestrahlungseinrichtung 701, die das Detektionslicht emittieren kann, und eine Lichtempfangseinrichtung 702, die zumindest einen Teil des von der Bestrahlungseinrichtung 701 emittierten und von dem Werkstück S2 reflektierten Detektionslichts empfangen kann. In der vorliegenden Ausführungsform umfasst die Messposition PJ2 eine Bestrahlungsposition des Detektionslichts. Die Bestrahlungseinrichtung 701 und die Lichtempfangseinrichtung 702 arbeiten jeweils als eine Verarbeitungseinheit, die das auf dem Tisch 1 gelagerte Werkstück S2 verarbeitet. In der vorliegenden Ausführungsform arbeiten die Bestrahlungseinrichtung 701 und die Lichtempfangseinrichtung 702 jeweils als eine Messeinheit, die das Werkstück S2, das auf dem Tisch 1 gelagert ist, vermisst. Wenn das Werkstück S2 an der Messposition PJ2 angeordnet ist, wird der Zustand des Werkstücks S2 optisch gemessen.
  • Nachdem das Werkstück S2 an der Messposition PJ2 gemessen worden ist, befördert die Ausbringvorrichtung 602B das Werkstück S2, das vermessen worden ist, von dem Tisch 1.
  • Die Tischvorrichtung 100A der vorliegenden Ausführungsform kann das Werkstück S2 an der Messposition (Zielposition) PJ2 anordnen und kann somit das Auftreten eines Messfehlers verhindern. Das heißt, das Präzisionsmessinstrument 700 kann exzellent bestimmen, ob das Werkstück S2 defekt ist. Dies verhindert, dass ein als fehlerhaft befundenes Werkstück S2 beispielsweise zu nachfolgenden Prozessen transportiert oder verschickt wird. Darüber hinaus kann das Präzisionsmessinstrument 700 das Werkstück S2, das durch den Tisch 1 an der Messposition PJ2 angeordnet wird, vermessen und kann somit das Werkstück S2 mit Präzision vermessen.
  • Eine Vorrichtung zum dreidimensionalen Vermessen kann die Tischvorrichtung 100A gemäß der vorliegenden Ausführungsform umfassen oder kann einen Förderer umfassen, der die Tischvorrichtung 100A umfasst. Wenn ein zu vermessendes Werkstück auf dem Tisch 1 gelagert ist, kann die Vorrichtung zum dreidimensionalen Vermessen das Werkstück, das an einer Zielposition angeordnet ist, vermessen und kann somit das Werkstück mit Genauigkeit vermessen.
  • <Dreizehnte Ausführungsform>
  • Eine dreizehnte Ausführungsform wird beschrieben. 22 ist eine Darstellung, die ein Beispiel einer Präzisionsmaschine 800, die die Tischvorrichtung 100A (oder eine beliebige der Vorrichtungen 100B bis 100J) gemäß der vorliegenden Ausführungsform umfasst, darstellt. Die vorliegende Ausführungsform beschreibt ein Beispiel, in dem die Präzisionsmaschine 800 eine Präzisionsverarbeitungsmaschine ist, die eine Präzisionsverarbeitung durchführen kann.
  • Die Präzisionsverarbeitungsmaschine 800 bearbeitet ein Werkstück S3. Die Präzisionsverarbeitungsmaschine 800 umfasst ein Bearbeitungszentrum und weist die Tischvorrichtung 100A und einen Bearbeitungskopf 801 auf. Der Bearbeitungskopf 801 fungiert als eine Verarbeitungseinheit, die das auf dem Tisch 1 der Tischvorrichtung 100A gelagerte Werkstück S3 verarbeitet. In der vorliegenden Ausführungsform fungiert der Bearbeitungskopf 801 als eine Verarbeitungseinheit, die das auf dem Tisch 1 der Tischvorrichtung 100A gelagerte Werkstück S3 verarbeitet. Der Bearbeitungskopf 801 weist ein Bearbeitungswerkzeug auf, das dazu verwendet wird, das auf dem Tisch 1 der Tischvorrichtung 100A gelagerte Werkstück S3 zu bearbeiten. Der Bearbeitungskopf 801 ist ein Mechanismus zum Schneiden des Werkstücks S3. Der Bearbeitungskopf 801 bewegt das Bearbeitungswerkzeug in der Z-Achsenrichtung, die orthogonal zu der Bewegungsrichtung des Tisches 1 ist.
  • Die Präzisionsverarbeitungsmaschine 800 kann das Bearbeitungswerkzeug und das Werkstück S3 relativ zueinander bewegen, indem das Werkstück S3 in der XY-Ebene mit der Tischvorrichtung 100A bewegt wird und der Bearbeitungskopf 801 in der Z-Achsenrichtung bewegt wird.
  • Die Präzisionsverarbeitungsmaschine 800 kann das Werkstück S3 auf dem Tisch 1, das an einer Verarbeitungsposition (Zielposition) angeordnet ist, bearbeiten und kann somit das Werkstück S3 mit Präzision bearbeiten.
  • In der vorliegenden Ausführungsform wird angenommen, dass sich der Tisch 1 in der XY-Ebene (in einer horizontalen Ebene) bewegt. In der vorliegenden Ausführungsform kann sich der Tisch 1 stattdessen in einer Richtung bewegen, die in Bezug auf die XY-Ebene geneigt ist. Das heißt, die XY-Ebene kann zu der horizontalen Ebene parallel sein oder in Bezug auf die horizontale Ebene geneigt sein.
  • Bezugszeichenliste
    • 1A
    OBERE OBERFLÄCHE
    1B
    UNTERE OBERFLÄCHE
    1H
    INNENRAUM
    2
    BASISELEMENT
    2A
    OBERE OBERFLÄCHE (FÜHRUNGSOBERFLÄCHE)
    3
    KOPPLER
    4
    DREHLAGER
    4A
    INNENRING
    4B
    AUSSENRING
    4C
    KUGEL
    5
    STANGENELEMENT
    5F
    FLANSCHABSCHNITT
    5L
    STANGENABSCHNITT
    6X
    ERSTES TRÄGERELEMENT
    6J
    ZWEITES TRÄGERELEMENT
    7
    AKTOR
    7X
    ERSTER AKTOR
    7Y
    ZWEITER AKTOR
    7P
    VORBELASTUNGSAKTOR
    8
    BEWEGUNGSSYSTEM
    9
    ERSTER TREIBER
    10
    ZWEITER TREIBER
    11
    ERSTES LINEARLAGER
    12
    ERSTES FÜHRUNGSELEMENT
    13
    DRITTES LINEARLAGER
    14
    DRITTES FÜHRUNGSELEMENT
    13B
    FÜNFTES LINEARLAGER
    14B
    FÜNFTES FÜHRUNGSELEMENT
    15
    KUGELGEWINDEMECHANISMUS
    15X
    ERSTER KUGELGEWINDEMECHANISMUS
    15Y
    ZWEITER KUGELGEWINDEMECHANISMUS
    16
    KOPPLUNG
    17
    GEHÄUSE
    18
    ZWEITES FÜHRUNGSELEMENT
    19
    ZWEITES LINEARLAGER
    20
    VIERTES FÜHRUNGSELEMENT
    21
    VIERTES LINEARLAGER
    20B
    SECHSTES FÜHRUNGSELEMENT
    21B
    SECHSTES LINEARLAGER
    22
    VERBINDUNGSELEMENT
    23
    VERBINDUNGSELEMENT
    30
    EBENENFÜHRUNG
    30B
    EBENENFÜHRUNG
    31
    KUGEL
    32
    TRÄGERPLATTE
    33
    GLEITELEMENT
    33F
    FLANSCHABSCHNITT
    33L
    STANGENABSCHNITT
    34
    FÜHRUNGSLAGER
    35
    ANTRIEBSELEMENT
    36
    FESTES ELEMENT
    37
    ABSTANDSELEMENT
    50
    HILFSFÜHRUNG
    60
    VORBELASTUNGSEINRICHTUNG
    63
    SIEBTES LINEARLAGER
    64
    SIEBTES FÜHRUNGSELEMENT
    70
    ACHTES FÜHRUNGSELEMENT
    71
    ACHTES LINEARLAGER
    73
    VERBINDUNGSELEMENT
    80Y
    FÜHRUNG
    81
    NEUNTES FÜHRUNGSELEMENT
    82
    NEUNTES LINEARLAGER
    100A
    TISCHVORRICHTUNG
    100B
    TISCHVORRICHTUNG
    100C
    TISCHVORRICHTUNG
    100D
    TISCHVORRICHTUNG
    100E
    TISCHVORRICHTUNG
    100F
    TISCHVORRICHTUNG
    100G
    TISCHVORRICHTUNG
    100H
    TISCHVORRICHTUNG
    100I
    TISCHVORRICHTUNG
    100J
    TISCHVORRICHTUNG
    200
    KAMMERVORRICHTUNG
    200K
    ÖFFNUNG
    250
    BALG
    260
    TRÄGEREINRICHTUNG
    500
    FLACHTAFELANZEIGEN-HERSTELLUNGSVORRICHTUNG
    700
    PRÄZISIONSMASCHINE (PRÄZISIONSMESSSINSTRUMENT)
    800
    PRÄZISIONSMASCHINE (PRÄZISIONSVERARBEITUNGSMASCHINE)
    AX
    MITTLERE ACHSE DES TISCHES
    DP
    VORBELASTUNGS-ANTRIEBSACHSE
    DX
    ERSTE ANTRIEBSACHSE
    DY
    ZWEITE ANTRIEBSACHSE
    G
    SPALT
    S
    WERKSTÜCK
  • ZITATE ENTHALTEN IN DER BESCHREIBUNG
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  • Zitierte Patentliteratur
    • JP 2012112715 A [0072]

Claims (14)

  1. Tischvorrichtung, die Folgendes umfasst: ein Basiselement, das eine Führungsoberfläche aufweist; einen Tisch, der auf dem Basiselement gelagert ist und der in einer ersten Achsenrichtung, die parallel zu einer ersten Achse ist, in einer vorbestimmten Ebene, die parallel zu der Führungsoberfläche ist, in einer zweiten Achsenrichtung, die parallel zu einer zweiten zu der ersten Achse orthogonalen Achse in der vorbestimmten Ebene ist, und um eine mittlere Achse des Tisches, die parallel zu einer dritten zu der vorbestimmten Ebene orthogonalen Achse ist, drehbar ist; einen ersten Treiber, der in der ersten Achsenrichtung Kraft auf den Tisch ausübt; und einen zweiten Treiber, der in der zweiten Achsenrichtung Kraft auf den Tisch ausübt, wobei der erste Treiber umfasst: einen ersten Aktor, der durch das Basiselement getragen wird und Leistung zum Bewegen des Tisches in der ersten Achsenrichtung erzeugt; und ein erstes bewegliches Element, das mit dem Tisch gekoppelt ist und sich durch Betätigung des ersten Aktors entlang einer ersten Antriebsachse, die parallel zu der ersten Achse ist, bewegt, der zweite Treiber umfasst: einen zweiten Aktor, der durch das Basiselement getragen wird und Leistung zum Bewegen des Tisches in der zweiten Achsenrichtung erzeugt; und ein zweites bewegliches Element, das mit dem Tisch gekoppelt ist und sich durch Betätigung des zweiten Aktors entlang einer zweiten Antriebsachse, die parallel zu der zweiten Achse ist, bewegt, der erste Treiber nur ein erster Treiber ist und der nur eine erste Treiber so bereitgestellt ist, dass in der zweiten Achsenrichtung eine Position der mittleren Achse des Tisches auf eine Position der ersten Antriebsachse ausgerichtet ist, der zweite Treiber mindestens zwei zweite Treiber umfasst und die mindestens zwei zweiten Treiber so bereitgestellt sind, dass sich in der ersten Achsenrichtung eine Position der mittleren Achse des Tisches von einer Position von jeweiligen zweiten Antriebsachsen unterscheidet, das erste bewegliche Element umfasst: ein erstes Linearlager, das durch ein erstes Führungselement, das auf dem Basiselement bereitgestellt ist, geführt wird und sich entlang der ersten Antriebsachse bewegt; ein erstes Drehlager, das um ein erstes Stangenelement, das an dem ersten Linearlager fixiert ist, angeordnet ist und relativ zu dem ersten Stangenelement um eine mittlere Achse der ersten Stange, die parallel zu der dritten Achse ist, drehbar ist; und ein zweites Linearlager, das mit dem ersten Drehlager verbunden ist und das in der zweiten Achsenrichtung durch ein zweites Führungselement, das an einer Kante des Tisches in der ersten Achsenrichtung fixiert ist, geführt wird.
  2. Tischvorrichtung nach Anspruch 1, wobei das zweite bewegliche Element umfasst: ein drittes Linearlager, das durch ein drittes Führungselement, das auf dem Basiselement bereitgestellt ist, geführt wird und sich entlang einer zweiten Antriebsachse bewegt; ein zweites Drehlager, das um ein zweites Stangenelement, das an dem dritten Linearlager fixiert ist, angeordnet ist und das relativ zu dem zweiten Stangenelement um eine mittlere Achse der zweiten Stange, die parallel zu der dritten Achse ist, drehbar ist; und ein viertes Linearlager, das mit dem zweiten Drehlager verbunden ist und in der ersten Achsenrichtung durch ein viertes Führungselement, das an einer Kante des Tisches in der zweiten Achsenrichtung fixiert ist, geführt wird.
  3. Tischvorrichtung nach Anspruch 1 oder 2, wobei der zweite Treiber mit einer Kante des Tisches in der zweiten Achsenrichtung verbunden ist und die Tischvorrichtung ferner umfasst: ein fünftes Linearlager, das durch ein fünftes Führungselement, das auf dem Basiselement bereitgestellt ist, geführt wird und sich in der zweiten Achsenrichtung bewegt; ein drittes Drehlager, das um ein drittes Stangenelement, das an dem fünften Linearlager fixiert ist, angeordnet ist und relativ zu dem dritten Stangenelement um eine mittlere Achse des dritten Stangenelements, die parallel zu der dritten Achse ist, drehbar ist; und ein sechstes Linearlager, das mit dem dritten Drehlager verbunden ist und in der ersten Achsenrichtung durch ein sechstes Führungselement, das an der anderen Kante des Tisches in der zweiten Achsenrichtung fixiert ist, geführt wird.
  4. Tischvorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 3, wobei einer der mindestens zwei zweiten Treiber mit der einen Kante des Tisches in der zweiten Achsenrichtung verbunden ist und der andere der mindestens zwei Treiber mit der anderen Kante des Tisches in der zweiten Achsenrichtung verbunden ist.
  5. Tischvorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 4, die ferner Folgendes umfasst: eine Ebenenführung, die zwischen einer unteren Oberfläche des Tisches und einer Führungsoberfläche des Basiselements angeordnet ist und den Tisch in einer Richtung, die parallel zu der vorbestimmten Ebene ist, in einem Zustand, in dem die untere Oberfläche des Tisches der Führungsoberfläche des Basiselements über einen Spalt zugewandt ist, führt.
  6. Tischvorrichtung nach Anspruch 5, wobei die Ebenenführung ein Gleitelement in einer Stangenform umfasst und die Tischvorrichtung ferner ein Führungslager umfasst, das durch den Tisch getragen wird und das Gleitelement in einer dritten Achsenrichtung, die parallel zu der dritten Achse ist, bewegbar trägt.
  7. Tischvorrichtung nach Anspruch 6, die ferner Folgendes umfasst: ein Antriebselement, das die Ebenenführung in der dritten Achsenrichtung bewegt.
  8. Tischvorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 7, die ferner Folgendes umfasst: eine Vorbelastungseinrichtung, die im Voraus in einer Richtung der Drehung um die mittlere Achse des Tisches Kraft auf den Tisch ausübt.
  9. Tischvorrichtung nach Anspruch 8, wobei die Vorbelastungseinrichtung umfasst: einen Vorbelastungsaktor, der von dem Basiselement getragen wird und Leistung zum Bewegen des Tisches in der zweiten Achsenrichtung erzeugt; ein bewegliches Vorbelastungselement, das mit dem Tisch gekoppelt ist und sich durch Betätigung des Vorbelastungsaktors entlang einer Vorbelastungs-Antriebsachse, die parallel zu der zweiten Achse ist, bewegt, und die Vorbelastungseinrichtung derart bereitgestellt ist, dass sich in der ersten Achsenrichtung eine Position der mittleren Achse des Tisches von einer Position der Vorbelastungs-Antriebsachse unterscheidet.
  10. Tischvorrichtung nach Anspruch 9, wobei das bewegliche Vorbelastungselement umfasst: ein siebtes Linearlager, das durch ein siebtes Führungselement, das auf dem Basiselement bereitgestellt ist, geführt wird und sich entlang der Vorbelastungs-Antriebsachse bewegt; ein viertes Drehlager, das um ein viertes Stangenelement, das an dem siebten Linearlager fixiert ist, angeordnet ist und das relativ zu dem vierten Stangenelement um eine mittlere Achse der vierten Stange, die parallel zu der dritten Achse ist, beweglich ist; und ein achtes Linearlager, das mit dem vierten Drehlager verbunden ist und das in der ersten Achsenrichtung durch ein achtes Führungselement, das an einer Kante des Tisches in der zweiten Achsenrichtung fixiert ist, geführt wird.
  11. Tischvorrichtung nach Anspruch 9 oder 10, wobei die Vorbelastungseinrichtung mindestens zwei Vorbelastungseinrichtungen umfasst und die mindestens zwei Vorbelastungseinrichtungen derart bereitgestellt sind, dass sich in der ersten Achsenrichtung die Position der mittleren Achse des Tisches von einer Position der jeweiligen Vorbelastungsantriebsachsen unterscheidet, und die mindestens zwei Vorbelastungseinrichtungen jeweils verschiedene Kräfte auf den Tisch ausüben.
  12. Positionierungsvorrichtung, die die Tischvorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 11 umfasst, wobei die Positionierungsvorrichtung eine Position eines Werkstücks, das auf dem Tisch der Tischvorrichtung gelagert ist, bestimmt.
  13. Flachtafelanzeigen-Herstellungsvorrichtung, die Folgendes umfasst: die Tischvorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 11; und eine Verarbeitungseinheit, die ein Werkstück, das auf dem Tisch gelagert ist, verarbeitet.
  14. Präzisionsmaschine, die Folgendes umfasst: die Tischvorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 11; und eine Verarbeitungseinheit, die ein Werkstück, das auf dem Tisch gelagert ist, verarbeitet.
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