DE112007002970T5 - Prüfvorrichtung und Vorrichtungsschnittstelle - Google Patents

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Atsunori Shibuya
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Abstract

Prüfvorrichtung, die mehrere geprüfte Vorrichtungen prüft, welche aufweist:
ein Prüfmodul, das Signale zu/von der geprüften Vorrichtung überträgt/empfängt;
eine austauschbare Vorrichtungsschnittstelle, die eine Verdrahtung enthält, die zwischen einen mit der geprüften Vorrichtung verbundenen Verbinder und das Prüfmodul geschaltet ist, sowie eine Identifikationsinformations-Ausgabeschaltung, die den Typ der Vorrichtungsschnittstelle anzeigende Identifikationsinformationen ausgibt; und
eine Steuervorrichtung, die das Prüfmodul steuert, wobei
das Prüfmodul enthält:
eine Leseschaltung, die die Identifikationsinformationen von der entsprechenden Vorrichtungsschnittstelle liest; und
eine Befehlsverarbeitungsschaltung, die die von der Leseschaltung gelesenen Identifikationsinformationen zu der Steuervorrichtung zurückführt.

Description

  • TECHNISCHES GEBIET
  • Die vorliegende Erfindung bezieht sich auf eine Prüfvorrichtung und eine Vorrichtungsschnittstelle. Insbesondere bezieht sich die vorliegende Erfindung auf eine Prüfvorrichtung enthaltend eine Vorrichtungsschnittstelle, die zwischen einen Verbinder eines Prüfkopfs und ein Prüfmodul geschaltet ist. Die vorliegende Anmeldung beansprucht die Priorität der Japanischen Patentanmeldung Nr. 2006-327421 , die am 4. Dezember 2006 eingereicht wurde und deren Inhalt hier einbezogen wird.
  • STAND DER TECHNIK
  • Eine Prüfvorrichtung, die eine DUT (geprüfte Vorrichtung) prüft, ist allgemein bekannt. Die Prüfvorrichtung enthält ein Prüfmodul, das ein Signal in die/aus der DUT eingibt und ausgibt, einen Prüfkopf, auf dem das Prüfmodul angeordnet ist, und eine Vorrichtungsschnittstelle, die zwischen einen Verbinder des Prüfkopfs und das Prüfmodul geschaltet ist, wie beispielsweise in der Japanischen Patentanmeldungs-Veröffentlichung Nr. 2006-275986 offenbart ist
  • OFFENBARUNG DER ERFINDUNG
  • DURCH DIE ERFINDUNG ZU LÖSENDE PRÜBLEME
  • Eine Prüfvorrichtung, die in der Lage ist, den Typ der darauf angeordneten Vorrichtungsschnittstelle auszutauschen, ist bekannt. Beispielsweise ist eine Prüfvorrichtung bekannt, die in der Lage ist, zwischen mehreren Vorrichtungsschnittstellen umzuschalten, bei denen jeweils die Drahtlänge zwischen dem Prüfmodul und der DUT einander unterschiedlich ist, und Anordnen derselben hierauf.
  • Bei der vorbeschriebenen Prüfvorrichtung werden Steuerprogramme (ein durch einen Benutzer geschaffenes Prüfprogramm und ein Diagnoseprogramm, das die Prüfvorrichtung diagnostiziert) gemäß dem Typ der auf dem Prüfkopf angeordneten Vorrichtungsschnittstelle geschaltet. Beispielsweise schaltet die Prüfvorrichtung mehrere Steuerprogramme, deren jeweilige Verzögerungszeit (Verzögerungszeit des Systems), bis eine Prüfwellenform eine DUT erreicht, nachdem ein Befehl zum Ausgeben eines Prüfsignals ausgegeben wurde, einander unterschiedlich eingestellt ist gemäß dem Typ der darauf angeordneten Vorrichtungsschnittstelle, und führt diese aus. Hierdurch kann die Prüfvorrichtung das Steuerprogramm mit einem optimal eingestellten Parameter ausführen und Prüfungen und Einstellungen durchführen.
  • Jedoch wird bei der vorbeschriebenen Prüfvorrichtung der Typ der Vorrichtungsschnittstelle durch den Benutzer bezeichnet, so dass ein nicht ordnungsgemäßes Steuerprogramm ausgeführt werden kann.
  • Somit besteht ein Vorteil eines Aspekts der vorliegenden Erfindung darin, eine Prüfvorrichtung und eine Vorrichtungsschnittstelle vorzusehen, die in der Lage sind, das den Stand der Technik begleitende Problem zu lösen. Die vorgenannte und andere Aufgaben können durch Kombinieren der in den unabhängigen Ansprüchen wiedergegebenen Merkmale gelöst werden. Abhängige Ansprüche definieren weitere wirksame spezifische Beispiele der vorliegenden Erfindung.
  • MITTEL ZUM LÖSEN DER PRÜBLEME
  • Um die vorbeschriebenen Probleme zu lösen, sieht ein erster Aspekt der vorliegenden Erfindung eine Prüfvorrichtung vor, die mehrere geprüfte Vorrichtungen prüft. Die Prüfvorrichtung enthält: mehrere Prüfmodule, die Signale zu/von geprüften Vorrichtungen übertragen/empfangen; einen Prüfkopf, auf dem die mehreren Prüfmodule angeordnet sind; mehrere Vorrichtungsschnittstellen, die zwischen dem Prüfkopf und den mehreren Prüfmodulen angeordnet sind, wobei jede von diesen eine Verdrahtung hat, die zwischen einen Verbinder des Prüfkopfs, der mit der entsprechenden geprüften Vorrichtung verbunden ist, und das Prüfmodul geschaltet ist, und eine Identifikationsinformations-Ausgabeschaltung, die den Typ der Vorrichtungsschnittstelle anzeigende Identifikationsinformationen ausgibt, und in der Lage ist, gemäß der entsprechenden geprüften Vorrichtung und dem Prüfmodul auszutauschen; und eine mit den mehreren Prüfmodulen verbun dene Steuervorrichtung, die die Prüfmodule steuert. Jedes der Prüfmodule enthält: eine Leseschaltung, die Identifikationsinformationen von der entsprechenden Vorrichtungsschnittstelle liest; und eine Befehlsverarbeitungsschaltung, die die von der Leseschaltung gelesenen Identifikationsinformationen zu der Steuervorrichtung als Antwort auf den Empfang eines Anforderungsbefehls, der die Rückführung der Identifikationsinformationen der entsprechenden Vorrichtungsschnittstelle von der Steuervorrichtung anfordert, zurückführt.
  • KURZBESCHREIBUNG DER ZEICHNUNGEN
  • 1 zeigt eine Konfiguration einer Prüfvorrichtung gemäß einem Ausführungsbeispiel der vorliegenden Erfindung zusammen mit DUTs;
  • 2 zeigt eine Konfiguration eines Prüfmoduls, einer Vorrichtungsschnittstelle und einer Steuervorrichtung gemäß einem Ausführungsbeispiel der vorliegenden Erfindung;
  • 3 zeigt eine Konfiguration einer Identifikationsinformations-Ausgabeschaltung und einer Leseschaltung gemäß einer ersten Modifikation eines Ausführungsbeispiels der vorliegenden Erfindung;
  • 4 zeigt eine Konfiguration des Prüfmoduls und der Vorrichtungsschnittstelle gemäß einer zweiten Modifikation eines Ausführungsbeispiels der vorliegenden Erfindung;
  • 5 zeigt eine Konfiguration der Identifikationsinformations-Ausgabeschaltung und der Leseschaltung gemäß einer dritten Modifikation eines Ausführungsbeispiels der vorliegenden Erfindung; und
  • 6 zeigt eine Konfiguration des Prüfmoduls, der Vorrichtungsschnittstelle und der Steuervorrichtung gemäß einer vierten Modifikation eines Ausführungsbeispiels der vorliegenden Erfindung.
  • BESTE ART DER AUSFÜHRUNG DER ERFINDUNG
  • Die Erfindung wird nun auf der Grundlage bevorzugter Ausführungsbeispiele beschrieben, die den Bereich der Erfindung nicht beschränken, sondern die Erfindung veranschaulichen sollen. Alle Merkmale und deren Kombinationen, die in den Ausführungsbeispielen beschrieben sind, sind nicht notwendigerweise wesentlich für die Erfindung.
  • 1 zeigt eine Konfiguration einer Prüfvorrichtung 10 gemäß dem vorliegenden Ausführungsbeispiel zusammen mit DUTs 100. Die Prüfvorrichtung 10 prüft mehrere DUTs (geprüfte Vorrichtungen) 100 (100-1, 100-2). Genauer gesagt, die Prüfvorrichtung 10 erzeugt Prüfsignale, liefert diese zu jeder DUT 100 und beurteilt, dass jede DUT 100 gut/schlecht ist auf der Grundlage dessen, ob ein von jeder DUT 100 als ein Ergebnis der Operation auf der Grundlage des Prüfsignals ausgegebenes Ausgangssignals einem erwarteten Wert entspricht.
  • Die Prüfvorrichtung 10 enthält eine Lastplatte 12, mehrere Prüfmodule 14 (14-1 bis 14-n, ..., worin n eine beliebige ganze Zahl gleich oder mehr als 2 ist), einen Prüfkopf 16, mehrere Vorrichtungsschnittstellen 18 (18-1, 18-2, ...) und eine Steuervorrichtung 20. Die mehreren DUTs 100 sind auf der Lastplat te 12 angeordnet und die Lastplatte 12 verbindet jedes der mehreren Prüfmodule 14 und die entsprechende DUT 100.
  • Jedes der Prüfmodule 14 (10-1 bis 14-n, ...) überträgt/empfängt Signale zu/von der entsprechenden DUT 100, um die entsprechende DUT beispielsweise auf der Grundlage des Prüfprogramms und der von der Steuervorrichtung 20 empfangenen Prüfdaten zu prüfen. Jedes Prüfmodul 14 erzeugt ein Prüfsignal aus den Prüfdaten gemäß einer durch das Prüfprogramm definierten Folge und liefert das Prüfsignal zu einem Anschluss der entsprechenden DUT 100. Darüber hinaus erfasst das Prüfmodul 14 ein von der entsprechenden DUT 100 ausgegebenes Ausgangssignal als das Ergebnis der Operation gemäß dem Prüfsignal von dem Anschluss der DUT 100 und vergleicht dieses mit dem erwarteten Wert. Dann überträgt das Prüfmodul 14 das durch Vergleichen des Ausgangssignals mit dem erwarteten Wert erhaltene Ergebnis als ein Prüfergebnis zu der Steuervorrichtung 20.
  • Die mehreren Prüfmodule 14 sind auf dem Prüfkopf 16 angeordnet. Beispielsweise hat der Prüfkopf 16 ein Gehäuse, die Lastplatte 12 ist auf dem oberen Bereich des Äußeren des Gehäuses angeordnet und die mehreren Prüfmodule 14 sind innerhalb des Gehäuses angeordnet.
  • Jede Vorrichtungsschnittstelle 18 befindet sich zwischen dem Prüfkopf 16 und den mehreren Prüfmodulen 14. Jede Vorrichtungsschnittstelle 18 verbindet den Verbinder 22 des Prüfkopfs 16 und das Prüfmodul 14 über eine elektrische Verdrahtung. Der Verbinder 22 des Prüfkopfs 16 ist elektrisch mit dem Anschluss der DUT 100 über die Lastplatte 12 verbunden. Ein Prüfmodul 14 kann mit einer Vorrichtungsschnittstelle 18 verbunden sein, oder zwei oder mehr Prüfmodule 14 können mit einer Vorrichtungsschnittstelle 18 verbunden sein.
  • Die Steuervorrichtung 20 ist mit den mehreren Prüfmodulen 14 verbunden und steuert die Prüfmodule 14. Die Steuervorrichtung 20 kann durch einen von dem Prüfkopf 16 unabhängigen Computer verkörpert werden.
  • Die Steuervorrichtung 20 speichert das Prüfprogramm und Prüfdaten, die zum Prüfen der DUTs 100 verwendet werden, beispielsweise in den Prüfmodulen 14. Als Nächstes weist die Steuervorrichtung 20 die Prüfmodule 14 an, die Prüfung auf der Grundlage des Prüfprogramms und der Prüfdaten zu starten, und bewirkt, dass die Prüfmodule 14 die Prüfung durchführen. Dann empfängt die Steuervorrichtung 20 ein Unterbrechungssignal, das die Beendigung der Prüfung anzeigt, ein Prüfergebnis usw. von den Prüfmodulen 14 und bewirkt, dass die Prüfmodule 14 die nächste Prüfung auf der Grundlage des Prüfergebnisses durchführen. Darüber hinaus kann die Steuervorrichtung 20 vor der Prüfung diagnostizieren, ob die Prüfmodule 14 normal arbeiten, indem beispielsweise ein Diagnoseprogramm ausgeführt wird.
  • Die Prüfvorrichtung 10 mit den vorbeschriebenen Merkmalen kann die DUTs 100 prüfen. Zusätzlich kann die Prüfvorrichtung 10 beispielsweise jedes Prüfmodul 14 vor der Prüfung diagnostizieren und das Prüfprogramm gemäß dem Diagnoseergebnis auswählen, um die Prüfung durchzuführen.
  • Die Prüfvorrichtung 10 enthält Vorrichtungsschnittstellen 18, die gemäß der entsprechenden DUT 100 und dem Prüfmodul 14 ausgetauscht werden können. Die Prüfvorrichtung 10 kann Vorrichtungsschnittstellen 18 enthalten, bei denen jeweils die Drahtlänge, das Verdrahtungsmuster usw. einander unterschiedlich sind in Abhängigkeit von dem Typ der DUTs 100 (z. B. dem Typ von Eingangs-/Ausgangssignalen, Stiftzuweisung, der Art des Inhalts der Signalverarbeitung usw.) und dem Typ der damit verbundenen Prüfmodule 14 (dem Typ von in den Eingangsanschluss eingegebenen Signalen, dem Typ von von dem Ausgangsanschluss ausgegebenen Signalen, Anschlusszuweisung usw. Hierdurch kann die Prüfvorrichtung 10 jede Vorrichtungsschnittstelle 18 mit der optimalen Drahtlänge und dem optimalen Verdrahtungsmuster für jede der DUTs 100 und jedes der Prüfmodule 14 enthalten.
  • 2 zeigt eine Konfiguration des Prüfmoduls 14, der Vorrichtungsschnittstelle 18 und der Steuervorrichtung 20 gemäß dem vorliegenden Ausführungsbeispiel. Jede Vorrichtungsschnittstelle 18 enthält eine Verdrahtung 32 und eine Identifikationsinformations-Ausgabeschaltung 34.
  • Die Verdrahtung 32 verbindet den Verbinder 22 des mit der entsprechenden DUT 100 verbundenen Prüfkopfs 16 und das Prüfmodul 14. Beispielsweise kann die Verdrahtung 32 ein Koaxialkabel sein, das den Verbinder des Prüfmoduls 14 und den Verbinder 22 des Prüfkopfs 16 verbindet. Die Signaleingangs-/-ausgangsschaltung 42 kann das Prüfsignal zu einem vorbestimmten Anschluss der entsprechenden DUT 100 liefern und das von dem vorbestimmten Anschluss der entsprechenden DUT 100 ausgegebene Ausgangssignal eingeben, weil die vorbeschriebene Verdrahtung 32 vorgesehen ist.
  • Die Identifikationsinformations-Ausgabeschaltung 34 gibt Identifikationsinformationen aus, die den Typ der Vorrichtungsschnittstelle 18 anzeigen. Beispielsweise gibt die Identifikationsinformations-Ausgabeschaltung 34 Identifikationsinformationen aus, die eindeutig für jeden Typ der Drahtlänge, des Verdrahtungsmusters usw. der Vorrichtungsschnittstelle 18 gesetzt sind. Die Identifikationsinformations-Ausgabeschaltung 34 kann die Identifikationsinformationen als binäre Daten, die in einem Speicher wie einem ROM gespeichert sind, beispielsweise über einen parallelen Bus, einen seriellen Bus und einen 12C Bus ausgeben.
  • Jedes Prüfmodul 14 enthält eine Signaleingangs-/-ausgangsschaltung 42, eine Leseschaltung 44 und eine Befehlsverarbeitungsschaltung 46. Hier enthält, wenn zwei oder mehr Prüfmodule 14 mit einer Vorrichtungsschnittstelle 18 verbunden sind, zumindest ein repräsentatives Prüfmodul 14 aus den mehreren Prüfmodulen 14, die mit einer Vorrichtungsschnittstelle 18 verbunden sind, die Leseschaltung 44 und die Befehlsverarbeitungsschaltung 46. D. h., die Prüfmodule 14, die nicht das repräsentative sind, enthalten nicht die Leseschaltung 44 und die Befehlsverarbeitungsschaltung 46. Hier ist das repräsentative Prüfmodul 14 ein Beispiel für das Prüfmodul gemäß der vorliegenden Erfindung.
  • Die Signaleingangs-/-ausgangsschaltung 42 gibt das Prüfsignal über die Verdrahtung 32 der Vorrichtungsschnittelle 18 zu der entsprechenden DUT 100 aus. Zusätzlich gibt die Signaleingangs-/-ausgangsschaltung 42 ein von der DUT 100 gemäß dem Prüfsignal ausgegebenes Ausgangssignal über die Verdrahtung 32 der Vorrichtungsschnittstelle 18 ein.
  • Die Leseschaltung 44 liest Identifikationsinformatio nen von der Identifikationsinformations-Ausgabeschaltung 34 der entsprechenden Vorrichtungsschnittstelle 18. Die Leseschaltung 44 kann Identifikationsinformationen als in einem Speicher wie einem ROM gespeicherte binäre Daten beispielsweise über einen Bus lesen.
  • Die Befehlsverarbeitungsschaltung 46 empfängt von der Steuervorrichtung 20 einen Anforderungsbefehl, der die Rückführung der Identifikationsinformationen der entsprechenden Vorrichtungsschnittstelle 18 anfordert. Dann führt die Befehlsverarbeitungsschaltung 46 die von der Leseschaltung 44 gelesenen Identifikationsinformationen als Antwort auf den Empfang des Anforderungsbefehls zu der Steuervorrichtung 20 zurück. Die Befehlsverarbeitungsschaltung 46 kann Befehle zu/von der Steuervorrichtung 20 über einen Bus wie beispielsweise einen PCI übertragen/empfangen. Bei Empfang des Anforderungsbefehls von der Steuervorrichtung 20 bewirkt die Befehlsverarbeitungsschaltung 46, dass die Leseschaltung 44 Identifikationsinformationen liest. Dann kann die Befehlsverarbeitungsschaltung 46 die als das Ergebnis des Lesevorgangs durch die Leseschaltung 44 erhaltenen Identifikationsinformationen erfassen und die erfassten Identifikationsinformationen zu der Steuervorrichtung 20 zurückführen.
  • Die Steuervorrichtung 20 enthält eine Prüfschaltung 52, eine Diagnoseschaltung 54, eine Befehlsübertragungsschaltung 56 und eine Beurteilungsschaltung 58. Die Prüfschaltung 52 führt Steuerungen der Prüfung der DUTs 100 durch. Beispielsweise führt die CPU der Steuervorrichtung 20 das durch den Benutzer der Prüfvorrichtung 10 geschaffene Prüfsteuerprogramm aus, so dass die Steuervorrichtung 20 als eine Prüfschaltung 52 arbeitet. Die Prüfschaltung 52 speichert das Prüfprogramm und die Prüfdaten, die zum Prüfen der DUTs 100 verwendet werden, in den Prüfmodulen 14 und bewirkt, dass die Prüfmodule 14 die DUTs 100 beispielsweise auf der Grundlage des Prüfprogramms und der Prüfdaten prüfen.
  • Die Befehlsübertragungsschaltung 56 überträgt einen Anforderungsbefehl, der die Rückführung der Identifikationsinformationen der verbundenen Vorrichtungsschnittstelle 18 anfordert, zu der Befehlsverarbeitungsschaltung 46 des zu steuernden Prüfmoduls 14. Die Befehlsübertragungsschaltung 56 kann den Anforderungsbefehl beispielsweise zu dem zu steuernden Prüfmodul 14 vor der Prüfung übertragen.
  • Die Diagnoseschaltung 54 führt Steuerungen der Diagnose der Prüfvorrichtung 10 durch. Damit die Steuervorrichtung 20 als die Diagnoseschaltung 54 arbeitet, führt die CPU der Steuervorrichtung 20 beispielsweise ein Diagnoseprogramm aus. Die Diagnoseschaltung 54 diagnostiziert die Operation der Prüfmodule 14 beispielsweise vor der Prüfung durch die Prüfschaltung 52.
  • Wenn die Prüfvorrichtung 10 diagnostiziert ist, beurteilt die Beurteilungsschaltung 58 den Typ der Vorrichtungsschnittstelle 18. Damit die Steuervorrichtung beispielsweise als die Beurteilungsschaltung 58 arbeitet, führt die CPU der Steuervorrichtung 20 das Diagnoseprogramm aus. Die Beurteilungsschaltung 58 erfasst die von der Befehlsverarbeitungsschaltung 46 des zu steuernden Prüfmoduls 14 zurückgeführten Identifikationsinformationen. Die Beurteilungsschaltung 58 beurteilt auf der Grundlage der von dem zu prüfenden Prüfmodul 14 zurückgeführten Identifikationsin formationen, ob die Vorrichtungsschnittstelle 18 entsprechend dem Steuerprogramm, das auf der Steuervorrichtung 20 zur Steuerung des zu steuernden Prüfmoduls 14 ausgeführt wird, mit dem zu steuernden Prüfmodul 14 verbunden ist.
  • Zusätzlich kann die Prüfschaltung 52 vorher mehrere Prüfsteuerprogramme gemäß dem Typ der Schnittstellenschaltung 18 speichern. Dann kann bei der Prüfung die Prüfschaltung 52 ein Prüfsteuerprogramm auswählen, das mit den Identifikationsinformationen assoziiert ist, die von dem gemäß dem Ergebnis der Beurteilungsschaltung 58 zu steuernden Prüfmodul 14 zurückgeführt wurden, und dieses ausführen. Zusätzlich kann die Prüfschaltung 52 vorher mehrere Programme gemäß dem Typ der Schnittstellenschaltung 18 beispielsweise als Prüfprogramme, die von den Prüfmodulen 14 ausgeführt werden sollen, speichern. Dann kann die Prüfschaltung 52 bei der Prüfung ein Prüfprogramm, das mit den von dem zu steuernden Prüfmodul 14 zurückgeführten Identifikationsinformationen assoziiert ist, auswählen und dieses zu dem entsprechenden Prüfmodul 14 gemäß dem Ergebnis durch die Beurteilungsschaltung 58 liefern.
  • Die Diagnoseschaltung 54 kann beispielsweise vorher mehrere Diagnoseprogramme gemäß dem Typ der Vorrichtungsschnittstellen 18 speichern. Dann kann die Diagnoseschaltung 54 bei der Diagnose das mit den von dem zu steuernden Prüfmodul 14 zurückgeführten Identifikationsinformationen assoziierte Diagnoseprogramm auswählen und dasselbe ausführen, um die durch die Identifikationsinformationen identifizierte Vorrichtungsschnittstelle 18 und das zu steuernde Prüfmodul 14 zu diagnostizieren.
  • Die Prüfvorrichtung 10 mit den vorbeschriebenen Merkmalen kann beurteilen, ob die Vorrichtungsschnittstelle 18 mit dem Typ entsprechend dem in der Prüfvorrichtung 10 auszuführenden Steuerprogramm (dem Prüfprogramm und dem Diagnoseprogramm) mit dem Prüfkopf 16 verbunden ist. Hierdurch kann verhindert werden, dass die Prüfvorrichtung 10 unter der Bedingung arbeitet, dass eine nichtordnungsgemäße Vorrichtungsschnittstelle 18 mit ihr verbunden ist. Darüber hinaus kann die Prüfvorrichtung 10 das Steuerprogramm (das Prüfprogramm und das Diagnoseprogramm) entsprechend dem Typ der mit dem Prüfkopf 16 verbundenen Vorrichtungsschnittstelle 18 auswählen und dieses ausführen. Hierdurch kann die Prüfvorrichtung 10 eine Prüfung entsprechend der mit dem Prüfkopf 16 verbundenen Vorrichtungsschnittstelle 18 durchführen.
  • 3 zeigt eine Konfiguration der Identifikationsinformations-Ausgabeschaltung 34 und der Leseschaltung 44 gemäß einer ersten Modifikation des vorliegenden Ausführungsbeispiels. Die Prüfvorrichtung 10 gemäß der vorliegenden Modifikation hat eine Konfiguration und eine Funktion, die angenähert dieselben wie diejenigen der in 1 gezeigten Prüfvorrichtung 10 sind. Nachfolgend haben Komponenten der Modifikation mit der Konfiguration und der Funktion angenähert denselben wie denjenigen der in 1 und 2 gezeigten Komponenten dieselben Bezugszahlen wie diejenigen der in 1 und 2 gezeigten Komponenten, so dass die Beschreibung mit Ausnahme des Unterschieds weggelassen wird.
  • Die Identifikationsinformations-Ausgabeschaltung 34 der Vorrichtungsschnittstelle 18 enthält einen Speicher 62, in welchem Identifikationsinformationen gespeichert sind, wie einen ROM. Jedes Prüfmodul 14 liefert eine Betriebsspannung zum Betreiben des Speichers 62 zu der entsprechenden Vorrichtungsschnittstelle 18.
  • Die Leseschaltung 44 jedes Prüfmoduls 14 kann beispielsweise eine Spannungsquelle 64, ein Erdpotential 66 und eine Erfassungsschaltung 68 enthalten. Die Spannungsquelle 64 und das Erdpotential 66 liefern die Betriebsspannung zu dem in der Identifikationsinformations-Ausgabeschaltung 34 der entsprechenden Vorrichtungsschnittstelle 18 enthaltenen Speicher 62. Die Erfassungsschaltung 68 liest die in dem Speicher 62 gespeicherten Identifikationsinformationen aus dem Speicher 62, zu dem die Betriebsspannung geliefert wird.
  • Die vorbeschriebene Prüfvorrichtung 10 kann Identifikationsinformationen aus jeder Vorrichtungsschnittstelle 18 ausgeben. Darüber hinaus benötigt in der vorbeschriebenen Prüfvorrichtung 10 die Vorrichtungsschnittstelle 18 keine Spannungsquelle, so dass die Vorrichtungsschnittstelle 18 eine einfache Konfiguration haben kann.
  • 4 zeigt eine Konfiguration des Prüfmoduls 14 und der Vorrichtungsschnittstelle 18 gemäß einer zweiten Modifikation des vorliegenden Ausführungsbeispiels. Die Prüfvorrichtung 10 gemäß der vorliegenden Modifikation hat die Konfiguration und die Funktion, die angenähert dieselben wie diejenigen der in 1 gezeigten Prüfvorrichtung 10 sind. Nachfolgend haben Komponenten der Modifikation mit der Konfiguration und der Funktion, die angenähert dieselben wie diejenigen der in 1 und 2 gezeigten Komponenten sind, dieselben Bezugszahlen wie diejenigen der in 1 und 2 gezeigten Komponenten, so dass die Beschreibung mit Ausnahme des Unterschieds weggelassen wird.
  • Die Identifikationsinformations-Ausgabeschaltung 34 jeder Vorrichtungsschnittstelle 18 enthält einen Speicher 62 wie einen ROM, in welchem Identifikationsinformationen gespeichert werden. Der Speicher 62 kann von dem Prüfmodul 14 vorgesehen sein, dessen Betriebsspannung entsprechend ist, wie der Speicher 62 gemäß der ersten Modifikation.
  • Jedes Prüfmodul 14 enthält weiterhin ein Identifikationsinformationsregister 70 und einen Schalterkreis 72. Das Identifikationsinformationsregister 70 speichert die von der Leseschaltung 44 gelesenen Identifikationsinformationen.
  • Der Schalterkreis 72 ist entsprechend zumindest einer Signaleingangs-/-ausgangsschaltung 42 in dem Prüfmodul 14 vorgesehen. Um die Identifikationsinformationen aus der entsprechenden Vorrichtungsschnittstelle 18 zu lesen, verbindet der Schalterkreis 72 die zumindest eine Signaleingangs-/-ausgangsschaltung 42 mit dem Speicher 62. Zusätzlich verbindet der Schalterkreis 72, um die entsprechende DUT 100 zu prüfen, die zumindest eine Signaleingangs-/-ausgangsschaltung 42 über die Verdrahtung 32 mit der DUT 100.
  • Bevor sie einen Anforderungsbefehl, der die Rückführung der Identifikationsinformationen anfordert, empfängt, verbindet die Leseschaltung 44 die zumindest eine Signaleingangs-/-ausgangsschaltung 42 durch den Schalterkreis 72 mit dem Speicher 62 und liest die Identifikationsinformationen über die zumindest eine Signaleingangs-/-ausgangsschaltung 42. Dann speichert die Leseschaltung 44 die gelesenen Identifikationsin formationen in dem Identifikationsinformationsregister 70. Die Befehlsverarbeitungsschaltung 46 führt die in dem Identifikationsinformationsregister 70 gespeicherten Identifikationsinformationen zu der Steuervorrichtung 20 zurück als Antwort auf den Empfang des Anforderungsbefehls von der Steuervorrichtung 20.
  • Die vorbeschriebene Prüfvorrichtung 10 kann Identifikationsinformationen durch Verwendung der Signaleingangs-/-ausgangsschaltung 42 lesen, so dass die Leseschaltung 44 eine einfache Konfiguration haben kann. Zusätzlich liest die Prüfvorrichtung 10 vorher die Identifikationsinformationen der Vorrichtungsschnittstelle 18, bevor der Anforderungsbefehl für die Identifikationsinformationen empfangen wird, so dass die Leseschaltung 44 nicht wieder über die Signaleingangs-/-ausgangsschaltung 42 zu lesen braucht.
  • 5 zeigt eine Konfiguration der Identifikationsinformations-Ausgabeschaltung 34 und der Leseschaltung 44 gemäß einer dritten Modifikation des vorliegenden Ausführungsbeispiels. Die Prüfvorrichtung 10 gemäß der vorliegenden Modifikation hat die Konfiguration und die Funktion, die angenähert dieselben wie diejenigen der Prüfvorrichtung 10 gemäß der ersten Modifikation sind.
  • Nachfolgend haben Komponenten der Modifikation mit der Konfiguration und der Funktion, die annähernd dieselben wie diejenigen der in 1 bis 3 gezeigten Komponenten sind, dieselben Bezugszahlen wie diejenigen der in 1 bis 3 gezeigten Komponenten, so dass die Beschreibung mit Ausnahme des Unterschieds weggelassen wird.
  • Die Identifikationsinformations-Ausgabeschaltung 34 jeder Vorrichtungsschnittstelle 18 enthält eine ID-Speicherschaltung 74 anstelle des Speichers 62. Die ID-Speicherschaltung 74 enthält mehrere Ein-/Ausschalter 90 (90-190-m) entsprechend jedem Bit (1-m) der Identifikationsinformationen Jeder Ein-/Ausschalter 90 wird eingeschaltet (geschlossen) oder ausgeschaltet (geöffnet) zwischen seinen beiden Anschlüssen gemäß dem entsprechenden Bitwert der Identifikationsinformationen. Beispielsweise kann jeder Ein-/Ausschalter 90 durch den Benutzer so eingestellt werden, dass jeder Ein-/Ausschalter 90 ausgeschaltet ist, wenn das entsprechende Bit der Identifikationsinformationen gleich 1 ist, und eingeschaltet, wenn das entsprechende Bit der Identifikationsinformationen gleich 0 ist.
  • Ein Anschluss jedes Ein-/Ausschalter 90 ist mit der entsprechenden Bitleitung unter mehreren Signalleitungen 82 (82-182-m) verbunden, die jeden Bitwert der Identifikationsinformationen parallel von der Identifikationsinformations-Ausgabeschaltung 34 zu der Leseschaltung 44 übertragen. Zusätzlich ist der andere Anschluss jedes Ein-/Ausschalters 90 mit einer Erdleitung 84 verbunden, mit der das Erdpotential 66 verbunden ist.
  • Die Leseschaltung 44 enthält weiterhin eine Hochziehschaltung 76. Die Hochziehschaltung 76 enthält mehrere Widerstände 92 (92-192-m) entsprechend jedem Bit (1-m) der Identifikationsinformationen. Ein Anschluss jedes Widerstands 92 ist mit der entsprechenden Bitleitung unter mehreren Signalleitungen 82 (82-182-m) verbunden. Zusätzlich ist der andere Anschluss jedes Widerstands 92 mit der Spannungsquelle 64 verbunden. Durch eine derartige Hochziehschaltung 76 ist die Signalleitung 82, deren Ein-/Aus schalter 90 ausgeschaltet (geschlossen) ist, auf Erdpotential, und die Signalleitung 82, deren Ein-/Ausschalter 90 ausgeschaltet (geöffnet) ist, ist auf Stromversorgungspotential.
  • Die Erfassungsschaltung 68 erfasst das Potential der mehreren Signalleitungen 82 (82-182-m) und beurteilt jeden Bitwert der Identifikationsinformationen auf der Grundlage des erfassten Potentials. Die Erfassungsschaltung 68 beurteilt beispielsweise, dass jedes Bit der Identifikationsinformationen gleich 1 ist, wenn das Potential der Signalleitung 82 entsprechend jedem Bit der Identifikationsinformationen das Stromversorgungspotential ist. Alternativ beurteilt die Erfassungsschaltung 68, dass jedes Bit der Identifikationsinformationen gleich 0 ist, wenn das Potential der Signalleitung 82 entsprechend jedem Bit der Identifikationsinformationen das Erdpotential ist.
  • Wie vorstehend beschrieben ist, bestimmt die in der Identifikationsinformations-Ausgabeschaltung 34 jeder Vorrichtungsschnittstelle 18 enthaltene ID-Speicherschaltung 74 das Potential für jede der mehreren Signalleitungen 82, die die Identifikationsinformations-Ausgabeschaltung 34 und die Leseschaltung 44 verbinden, auf der Grundlage jedes Bitwerts der Identifikationsinformationen. Hierdurch kann die Prüfvorrichtung 10 bewirken, dass die Identifikationsinformations-Ausgabeschaltung 34 eine einfache Konfiguration für die Ausgabe der Identifikationsinformationen hat.
  • Die Hochziehschaltung 76 braucht in der Leseschaltung 44 enthalten zu sein, sondern kann in der Identifikationsinformations-Ausgabeschaltung 34 enthalten sein. Zusätzlich kann die Identifikationsinformations-Aus gabeschaltung 34 die ID-Speicherschaltung 74 anstelle des Speichers 63 in der Prüfvorrichtung 10 enthalten, wie in 4 gezeigt ist. Wenn die Identifikationsinformations-Ausgabeschaltung 34 der Prüfvorrichtung 10 wie in 4 gezeigt die ID-Speicherschaltung 74 enthält, enthält das Prüfmodul 14 oder die Vorrichtungsschnittstelle 18 weiterhin die Hochziehschaltung 76.
  • 6 zeigt eine Konfiguration des Prüfmoduls 14, der Vorrichtungsschnittstelle 18 und der Steuervorrichtung 20 gemäß einer vierten Modifikation des vorliegenden Ausführungsbeispiels. Die Prüfvorrichtung 10 gemäß der vorliegenden Modifikation hat die Konfiguration und die Funktion, die angenähert dieselben wie diejenigen der in 1 gezeigten Prüfvorrichtung 10 sind. Nachfolgend haben Komponenten der Modifikation Mit der Konfiguration und der Funktion, die angenähert dieselben wie diejenigen der in 1 und 2 gezeigten Komponenten sind, dieselben Bezugszahlen wie diejenigen der in 1 und 2 gezeigten Komponenten, so dass die Beschreibung mit Ausnahme des Unterschieds weggelassen wird.
  • Die Steuervorrichtung 20 enthält weiterhin eine Speichervorrichtung 94 und eine Fehlererfassungsschaltung 96 anstelle der Beurteilungsschaltung 58. Die Speichervorrichtung 94 speichert eine Konfigurationsdatei, in der die Identifikationsinformationen, die die mit jedem Prüfmodul 14 zu verbindende Vorrichtungsschnittstelle 18 anzeigen, gespeichert sind. Die Speichervorrichtung 94 kann eine Konfigurationsdatei speichern, in der beispielsweise die Konfiguration und die Verbindungsbeziehung zwischen den Prüfmodulen 14, den Vorrichtungsschnittstellen 18 und der anderen Hardware, die in der Prüfvorrichtung 10 angeordnet werden soll, beschrieben sind. Die Fehlererfassungsschaltung 96 erfasst die von dem zu steuernden Prüfmodul 14 zurückgeführten Identifikationsinformationen. Die Fehlererfassungsschaltung 96 ruft die in der Speichervorrichtung 94 gespeicherte Konfigurationsdatei ab und erfasst die Identifikationsinformationen der Vorrichtungsschnittstelle 18, die mit dem zu steuernden Prüfmodul 14 zu verbinden ist. Dann erfasst die Fehlererfassungsschaltung 96 einen Fehler, der anzeigt, dass eine nicht ordnungsgemäße Vorrichtungsschnittstelle 18 verbunden ist, wenn die von dem zu steuernden Prüfmodul 14 zurückgeführten Identifikationsinformationen unterschiedlich gegenüber den Identifikationsinformationen, die die Vorrichtungsschnittstelle 18 anzeigen, die mit dem zu steuernden Prüfmodul 14 zu verbinden ist, welche in der Konfigurationsdatei gespeichert sind. Die vorbeschriebene Prüfvorrichtung 10 kann die nicht ordnungsgemäße Verbindung jeder Vorrichtungsschnittstelle 18 erfassen und vermeiden, dass eine Prüfung und Diagnose unter der Bedingung, dass die Vorrichtungsschnittstelle 18 nicht ordnungsgemäß verbunden ist, durchgeführt werden.
  • Während die Erfindung im Wege der beispielhaften Ausführungsbeispiele beschrieben wurde, ist darauf hinzuweisen, dass der Fachmann viele Änderungen und Substitutionen durchführen kann, ohne den Geist und den Bereich der Erfindung zu verlassen. Es ist anhand der Definition der angefügten Ansprüche offensichtlich, dass die Ausführungsbeispiele mit derartigen Modifikationen auch zu dem Bereich der Erfindung gehören.
  • Zusammenfassung:
  • Eine Prüfvorrichtung enthält: mehrere Prüfmodule (14), die Signale zu/von mehreren DUTs (100) übertragen/empfangen; einen Prüfkopf, auf dem die mehreren Prüfmodule angeordnet sind; mehrere Vorrichtungsschnittstellen (18), von denen jede zwischen dem Prüfkopf und den mehreren Prüfmodulen angeordnet ist, enthaltend eine Verdrahtung (32), die zwischen einen Verbinder (22) des mit der entsprechenden geprüften Vorrichtung verbundenen Prüfkopfs und as Prüfmodul geschaltet ist, und eine Identifikationsinformations-Ausgabeschaltung (34), die den Typ der Vorrichtungsschnittstelle anzeigende Identifikationsinformationen ausgibt, und in der Lage ist, gemäß der entsprechenden DUT und dem Prüfmodul ausgetauscht zu werden; und eine Steuervorrichtung (20), die mit den mehreren Prüfmodulen verbunden ist und das Prüfmodul steuert. Jedes Prüfmodul enthält: eine Leseschaltung (44), die die Identifikationsinformationen liest, und eine Befehlsverarbeitungsschaltung (46), die die Identifikationsinformationen zu der Steuervorrichtung zurückführt.
  • 10
    Prüfvorrichtung
    12
    Lastplatte
    14
    Prüfmodul
    16
    Prüfkopf
    18
    Vorrichtungsschnittstelle
    20
    Steuervorrichtung
    22
    Verbinder
    32
    Verdrahtung
    34
    Identifikationsinformations-Ausgabeschaltung
    42
    Signaleingangs-/-ausgangsschaltung
    44
    Leseschaltung
    46
    Befehlsverarbeitungsschaltung
    52
    Prüfschaltung
    54
    Diagnoseschaltung
    56
    Befehlsübertragungsschaltung
    58
    Beurteilungsschaltung
    62
    Speicher
    64
    Spannungsquelle
    66
    Erdpotential
    68
    Erfassungsschaltung
    70
    Identifikationsinformationsregister
    72
    Schalterkreis
    74
    ID-Speicherschaltung
    76
    Hochziehschaltung
    82
    Signalleitung
    84
    Erdleitung
    90
    Ein-/Ausschalter
    92
    Widerstand
    94
    Speichervorrichtung
    96
    Fehlererfassungsschaltung
    100
    DUT
  • ZITATE ENTHALTEN IN DER BESCHREIBUNG
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  • Zitierte Patentliteratur
    • - JP 2006-327421 [0001]
    • - JP 2006-275986 [0002]

Claims (12)

  1. Prüfvorrichtung, die mehrere geprüfte Vorrichtungen prüft, welche aufweist: ein Prüfmodul, das Signale zu/von der geprüften Vorrichtung überträgt/empfängt; eine austauschbare Vorrichtungsschnittstelle, die eine Verdrahtung enthält, die zwischen einen mit der geprüften Vorrichtung verbundenen Verbinder und das Prüfmodul geschaltet ist, sowie eine Identifikationsinformations-Ausgabeschaltung, die den Typ der Vorrichtungsschnittstelle anzeigende Identifikationsinformationen ausgibt; und eine Steuervorrichtung, die das Prüfmodul steuert, wobei das Prüfmodul enthält: eine Leseschaltung, die die Identifikationsinformationen von der entsprechenden Vorrichtungsschnittstelle liest; und eine Befehlsverarbeitungsschaltung, die die von der Leseschaltung gelesenen Identifikationsinformationen zu der Steuervorrichtung zurückführt.
  2. Prüfvorrichtung nach Anspruch 1, welche weiterhin aufweist: mehrere Prüfmodule; einen Prüfkopf, auf dem die mehreren Prüfmodule angeordnet sind; und mehrere Vorrichtungsschnittstellen, wobei jede der Vorrichtungsschnittstellen zwischen dem Prüfkopf und den mehreren Prüfmodulen angeordnet ist, eine Verdrahtung enthält, die zwischen einen Verbinder des mit der entsprechenden geprüften Vorrichtung verbundenen Prüfkopfs und das Prüfmodul geschaltet ist, und eine Identifikationsinformations-Ausgabeschaltung, die den Typ der Vorrichtungsschnittelle anzeigende Identifikationsinformationen ausgibt, enthält und in der Lage ist, gemäß der entsprechenden geprüften Vorrichtung und dem Prüfmodul ausgetauscht zu werden, die Steuervorrichtung mit den mehreren Prüfmodulen verbunden ist und die Prüfmodule steuert, und die Befehlsverarbeitungsschaltung die von der Leseschaltung gelesenen Identifikationsinformationen zu der Steuervorrichtung zurückführt als Antwort auf den Empfang eines Anforderungsbefehls, der die Rückführung der Identifikationsinformationen der entsprechenden Vorrichtungsschnittstelle anfordert, von der Steuervorrichtung.
  3. Prüfvorrichtung nach Anspruch 2, bei der die Identifikationsinformations-Ausgabeschaltung jeder Vorrichtungsschnittstelle einen Speicher enthält, in welchem die Identifikationsinformationen gespeichert sind.
  4. Prüfvorrichtung nach Anspruch 3, bei der jedes der Prüfmodule eine Betriebsspannung zum Betreiben des Speichers in der entsprechenden Vorrichtungsschnittstelle liefert.
  5. Prüfvorrichtung nach Anspruch 4, bei der jedes der Prüfmodule weiterhin enthält: mehrere Signaleingangs-/-ausgangsschaltungen, die ein Prüfsignal zu der entsprechenden geprüf ten Vorrichtung ausgeben und ein von der geprüften Vorrichtung gemäß dem Prüfsignal ausgegebenes Ausgangssignal aufnehmen; und einen Schalterkreis, der zumindest eine der Signaleingangs-/-ausgangsschaltungen mit dem Speicher verbindet, wenn die Identifikationsinformationen von der entsprechenden Vorrichtungsschnittstelle gelesen werden, und die zumindest eine Signaleingangs-/-ausgangsschaltung mit der geprüften Vorrichtung verbindet, wenn die entsprechende geprüfte Vorrichtung geprüft wird.
  6. Prüfvorrichtung nach Anspruch 5, bei der jedes der Prüfmodule weiterhin ein Identifikationsinformationsregister enthält, das die durch die Leseschaltung gelesenen Identifikationsinformationen speichert, die Leseschaltung die zumindest eine Signaleingangs-/-ausgangsschaltung durch den Schalterkreis mit dem Speicher verbindet, die Identifikationsinformationen über die zumindest eine Signaleingangs-/-ausgangsschaltung liest und diese in dem Identifikationsinformationsregister speichert, bevor der Anforderungsbefehl, der die Rückführung der Identifikationsinformationen anfordert, empfangen wird, und die Befehlsverarbeitungsschaltung die in dem Identifikationsinformationsregister gespeicherten Identifikationsinformationen zu der Steuervorrichtung zurückführt als Antwort auf den Empfang des Anforderungsbefehls von der Steuervorrichtung.
  7. Prüfvorrichtung nach Anspruch 2, bei der die Identifikationsinformations-Ausgabeschaltung jeder der Vorrichtungsschnittstellen das Potential für jede von mehreren Signalleitungen, die die Identifikationsinformations-Ausgabeschaltung mit der Leseschaltung verbinden, gemäß jedem Bitwert der Identifikationsinformationen bestimmt.
  8. Prüfvorrichtung nach Anspruch 2, bei der die Steuervorrichtung eine Befehlsübertragungsschaltung, die den Anforderungsbefehl zu dem zu steuernden Prüfmodul überträgt, und eine Beurteilungsschaltung, die beurteilt, ob die Vorrichtungsschnittstelle einem Steuerprogramm entspricht, das in der Steuervorrichtung ausgeführt wird, die das zu steuernde Prüfmodul steuert, mit dem zu steuernden Prüfmodul verbunden ist, auf der Grundlage der von dem zu prüfenden Prüfmodul zurückgeführten Identifikationsinformationen.
  9. Prüfvorrichtung nach Anspruch 2, bei der die Steuervorrichtung enthält: eine Befehlsübertragungsschaltung, die den Anforderungsbefehl zu dem zu steuernden Prüfmodul überträgt; und eine Diagnoseverarbeitungsschaltung, die ein Diagnoseprogramm, das mit den von den zu steuernden Prüfmodulen zurückgeführten Identifikationsinformationen assoziiert ist, auswählt und ausführt, und die durch die Identifikationsinformationen identifizierte Vorrichtungsschnittelle und das zu steuernde Prüfmodul diagnostiziert.
  10. Prüfvorrichtung nach Anspruch 2, bei der die Steuervorrichtung enthält: eine Speichervorrichtung, die eine Konfigurationsdatei speichert, in der die mit jedem der Prüfmodule zu verbindende Vorrichtungsschnittstelle anzeigende Identifikationsinformationen gespeichert sind; eine Befehlsübertragungsschaltung, die einen Befehl überträgt, der die Rückführung der der Identifikationsinformationen zu dem zu steuernden Prüfmodul anfordert; und eine Fehlererfassungsschaltung, die einen Fehler erfasst, der anzeigt, dass die nicht ordnungsgemäße Vorrichtungsschnittstelle verbunden ist, wenn die von dem zu steuernden Prüfmodul zurückgeführten Identifikationsinformationen unterschiedlich gegenüber den Identifikationsinformationen sind, die die Vorrichtungsschnittstelle anzeigen, die mit dem zu steuernden Prüfmodul zu verbinden ist, und die in der Konfigurationsdatei gespeichert sind.
  11. Vorrichtungsschnittstelle zur Verwendung in einer Prüfvorrichtung, die eine geprüfte Vorrichtung prüft, welche aufweist: eine Verdrahtung, die ein Prüfmodul, das ein Signal zu/von der geprüften Vorrichtung überträgt/empfängt, und einen mit der geprüften Vorrichtung verbundenen Verbinder verbindet; und eine Identifikationsinformations-Ausgabeschaltung, die den Typ Vorrichtungsschnittelle identifiziert und von dem Prüfmodul gelesene Identifikationsinformationen ausgibt.
  12. Vorrichtungsschnittstelle nach Anspruch 11, weiterhin aufweisend einen Speicher, der gemäß einer von dem Prüfmodul gelieferten Betriebsspannung arbeitet und die Identifikationsinformationen speichert.
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