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Technisches Gebiet
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Die
vorliegende Erfindung betrifft einen von einer Umhüllung umschlossenen
Linearmotoranker sowie einen von einer Umhüllung eingeschlossenen Linearmotor,
der zum Vorschub eines Tisches einer Halbleiterherstellungseinrichtung
oder einer Werkzeugmaschine eingesetzt wird, und bei welchen eine Verringerung
des Temperaturanstiegs und eine Langzeit-Isolierverlässlichkeit eines Linearmotorhauptkörpers erforderlich
sind.
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Technischer Hintergrund
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7 ist
eine Perspektivansicht eines üblichen,
von einer Umhüllung
umschlossenen Linearmotors, der ebenso beim Stand der Technik wie
bei der Erfindung eingesetzt wird.
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In 7 bezeichnet
das Bezugszeichen 1 ein Bewegungsteil, das Bezugszeichen 2 ein
Feldjoch, das Bezugszeichen 3 einen Permanentmagneten,
das Bezugszeichen 4 eine Feldjochhalterung, das Bezugszeichen 5 einen
Stator, das Bezugszeichen 6 eine Umhüllung, das Bezugszeichen 7 eine Ankerwicklung,
das Bezugszeichen 8 eine Kühlmittelzufuhröffnung,
das Bezugszeichen 9 eine Kühlmittelablassöffnung,
das Bezugszeichen 10 ein Gehäuse, das Bezugszeichen 20 einen
Bolzen zur Befestigung der Umhüllung,
das Bezugszeichen 12 eine Abdeckung, die einen Leitungsdraht
enthält,
und das Bezugszeichen 15 einen Verbinder.
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Das
bewegliche Teil 1 an einer Seite besteht aus zwei der Feldjoche 2 in
Form einer flachen Platte, den Permanentmagneten 3, die
an Oberflächen
des jeweiligen Feldjoches 2 angebracht sind, und insgesamt
vier Teilen der Feldjochhalterungen 4, die insgesamt zwischen
den beiden Feldjochen 2 eingeführt werden, und ist mit einem
Hohlraumabschnitt versehen, dessen beide Enden offen sind. Weiterhin
sind die Permanentmagneten 3 so ausgebildet, dass mehrere
Magneten durchgehend auf dem Feldjoch 2 angeordnet sind,
so dass sich ihre Polung abwechselnd ändert. Weiterhin wird das Bewegungsteil 1 durch
eine Linearführung
gehaltert, die ein Gleitstück und
eine Führungsschiene
aufweist, nicht dargestellt, und Kugeln oder eine Statikdruck-Lagerführung oder dergleichen
einsetzt.
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Ein
von einer Umhüllung
umschlossener Linearmotoranker, welcher den Stator 5 auf
jeder der beiden Seiten bildet, wird durch ein aus Metall bestehendes
Gehäuse 10 gebildet,
das eine rahmenartige Form aufweist, deren Inneres hohl ist, durch
die Umhüllung 6 mit
Plattenform, welche die Außenform
des Gehäuses 10 bildet,
um hermetisch die beiden Öffnungsabschnitte
des Gehäuses 10 zu
verschließen, die
Bolzenschraube 20 zur Befestigung der Umhüllung 6 an
dem Gehäuse 10,
und die Ankerwicklung 7 mit drei Phasen, die im Hohlraum
des Gehäuses 10 angeordnet
ist. Weiterhin wird die Ankerwicklung 7 dadurch vereinigt,
dass eine Wicklungsgruppe ausgeformt wird, die mehrere geformte
Wicklungen aufweist, und nachstehend wird der Stand der Technik im
Einzelnen geschildert. Weiterhin wird die Ankerwicklung 7 mit
dem Bezugszeichen 72 beim Stand der Technik und mit dem
Bezugszeichen 71 bei der Erfindung bezeichnet.
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Als
nächstes
erfolgt unter Bezugnahme auf die 4 bis 6 eine
Erläuterung
einer speziellen Ausbildung des von einer Umhüllung umschlossenen Linearmotorankers. 4 ist
eine Seitenschnittansicht des von einer Umhüllung umschlossenen Linearmotorankers
nach dem Stand der Technik entlang einer Linie A-A von 7, 5 ist
eine Seitenschnittansicht eines Ankerwicklungsabschnitts nach dem
Stand der Technik gemäß 4. 6 ist
eine Seitenschnittansicht des Verbinderabschnitts nach dem Stand
der Technik, der in 4 gezeigt ist.
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Zuerst
wird der Ankerwicklungsabschnitt 72 nach dem Stand der
Technik unter Bezugnahme auf 5 erläutert. Mehrere
ausgeformte Wicklungen 72c, welche die Form einer flachen
Platte aufweisen, werden verlötet
und fest auf einer Leiterplatte 72a angebracht, zur Verbindung
mit der Außenseite
des Ankers als Stromversorgungsleitung oder Signalleitung, und deren
Umgebung wird durch einen aus Harz hergestellten Rahmen 72b und
eine aus Harz hergestellte Abdeckung 72d abgedeckt. Ein
Luftspaltabschnitt an einem Umfang der ausgeformten Wicklung 72c, der
diesen umgibt, wird durch Spritzgießen durch eine Form oder ein
Vergießharz
(nicht dargestellt) ausgebildet, mit dem Ziel, die Isolierfähigkeit
der ausgebildeten Wicklung 72c gegen ein Kühlmittel
zu fördern.
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Als
nächstes
wird unter Bezugnahme auf 6 der Verbinder
nach dem Stand der Technik erläutert.
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Ein
Leitungsdraht 15c, der aus der Leiterplatte 72a herausgeführt ist,
ist mit einer hermetischen Dichtung 15a verlötet, um
eine Stromversorgungsleitung oder eine Signalleitung von der Leiterplatte 72a nach
außerhalb
des Ankers zu verbinden, und ein entsprechender Verdrahtungsabschnitt 15d wird durch
Spritzgießen
durch ein Harz 15b mit hoher Viskosität ausgeformt, um die Isoliereigenschaften
der ausgebildeten Wicklung 72c in Bezug auf das Kühlmittel
zu verbessern.
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Unter
Bezugnahme auf 4 erfolgt eine Erläuterung
der Vereinigung des Ankers unter Verwendung des Ankerwicklungsabschnitts 72 und
des Verbinders 15.
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Der
Ankerwicklungsabschnitt 72 wird an einem Hauptrahmen 11 unter
Verwendung einer Schraube oder dergleichen befestigt, die nicht
dargestellt ist, und der Verbinder 15 wird daran mittels
Laserschweißen
befestigt. Ein Harz 19 mit hoher Viskosität wird in
einen Luftspaltabschnitt an einem Umfang eines Verbindungsabschnitts 72e des
Ankerwicklungsabschnitts 72 und des Verdrahtungsabschnitts 15d des
Verbinders 15 eingefüllt,
zu dem Zweck, das Isoliervermögen
der ausgebildeten Wicklung 72c in Bezug auf ein Kühlmittel
zu verbessern. Weiterhin wird eine erste Abdeckung 13 an
dem Verdrahtungsabschnitt 72e des Ankerwicklungsabschnitts 72 befestigt,
unter Verwendung eines Klebemittels oder dergleichen, und wird die
zweite Abdeckung 12 an dem Verdrahtungsabschnitt 15e des Verbinders 15 mittels
Laserschweißen
befestigt. Die Umhüllung 6 wird
an einem Ort befestigt, der die Kühlmittelwege sicherstellen
kann, damit das Kühlmittel
an einer Oberfläche
und einer rückwärtigen Oberfläche des
Ankerwicklungsabschnitts 72 fließt, durch Anordnung eines O-Rings 16 dazwischen,
zu dem Zweck, ein Leck des Kühlmittels
nach außen
zu verhindern.
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Wenn
man Dreiphasen-Wechselstrom entsprechend relativer elektrischer
Positionen zum von einer Umhüllung
umschlossenen Linearmotoranker fließen lässt, wird ein Axialdruck an
dem Bewegungsteil, das nicht dargestellt ist, erzeugt, durch Einwirkung
eines Magnetfeldes, das von dem nicht dargestellten Magnetfeld erzeugt
wird. Hierbei wird die ausgebildete Wicklung 72c, welche
Wärme infolge von
Kupferverlusten erzeugt, durch das Kühlmittel gekühlt, das
in den Kühlmittelwegen 17 fließt, so dass
ein Temperaturanstieg an der Oberfläche der Umhüllung 6 begrenzt werden
kann (vgl. beispielsweise die Patentdokumente 1 bis 3).
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- Patentdokument 1: JP-B2-3592292
- Patentdokument 2: JP-A-2003-224961
- Patentdokument 3: JP-A-2004-312877
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Beschreibung der Erfindung
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Durch die Erfindung zu lösende Probleme
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Bei
dem in einer Umhüllung
eingeschlossenen Linearmotoranker nach dem Stand der Technik treten
folgende Probleme auf.
- (1) Obwohl der Ankerwicklungsabschnitt 72,
die Leiterplatte 72a und der aus Harz hergestellte Rahmen 72b und
die aus Harz hergestellte Abdeckung 72d unter Verwendung
eines Klebemittels oder dergleichen befestigt werden, wird der Luftspaltabschnitt
an der Umgebung der ausgebildeten Wicklung 72c sichergestellt,
und wird der Luftspaltabschnitt durch Spritzgießen durch eine Form oder ein
Vergießharz
ausgebildet, und ist der Positionierungsvorgang beim Befestigen schwierig,
um den aus Harz hergestellten Rahmen 72b und die aus Harz
hergestellte Abdeckung 72d zu befestigen, und ist darüber hinaus der
Fall vorhanden, bei welchem eine Beeinträchtigung der Isolierung oder
ein Durchschlag durch die Isolierung durch eine Grenzfläche zwischen Bestandteilen
des aus Harz hergestellten Rahmens 72b und der aus Harz
hergestellten Abdeckung 72d hervorgerufen wird.
- (2) Obwohl bei dem Verbinder 15 der Verdrahtungsabschnitt 15d der
hermetischen Abdichtung 15a durch Spritzgießen durch
das Harz 15b mit hoher Viskosität hergestellt wird, wird infolge
der Tatsache, dass das eingesetzte Harz eine hohe Viskosität aufweist,
die Betriebsfähigkeit
beim Spritzgießen
beeinträchtigt,
treten häufig
Luftblasen oder dergleichen auf, und tritt daher der Fall auf, dass
eine Beeinträchtigung
der Isolierung oder ein Durchbruch der Isolierung hervorgerufen wird.
- (3) Obwohl der Luftspaltabschnitt in der Umgebung des Verdrahtungsabschnitts 72e des
Ankerwicklungsabschnitts 72 und des Verdrahtungsabschnitts 15d des
Verbinders 15 mit dem Harz 19 mit hoher Viskosität ausgefüllt wird,
wird infolge der Tatsache, dass das Harz eine hohe Viskosität aufweist,
das Betriebsverhalten beim Füllen
beeinträchtigt,
treten häufig
Luftblasen oder dergleichen auf, und entsteht daher ein Fall, bei
welchem eine Beeinträchtigung
der Isolierung oder ein Durchbruch der Isolierung hervorgerufen
wird.
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Die
Erfindung wurde angesichts dieser Probleme entwickelt, und ihr Vorteil
besteht in der Bereitstellung eines von einer Umhüllung umschlossenen Linearmotorankers
und eines von einer Umhüllung umschlossenen
Linearmotors, bei welchen Grenzflächen verringert werden, durch
Verringerung der Anzahl an Teilen, welche Teile eines Ankerwicklungsabschnitts
bilden, und bei welchen darüber
hinaus verlässlich Spritzgießen und
Füllen
ermöglicht
werden, ohne dass Luftblasen oder dergleichen auftreten, durch Fördern des
Betriebsverhaltens beim Spritzgießen und beim Füllen, und
bei welchen eine Langzeit-Isolierfähigkeit einer Ankerwicklung
in Bezug auf ein Kühlmittel
vorhanden ist.
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Mittel zur Lösung der
Probleme
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Zur
Lösung
der voranstehend geschilderten Probleme ist die Erfindung folgendermaßen ausgebildet.
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Die
Erfindung nach Anspruch 1 ist ein von einer Umhüllung umschlossener Linearmotoranker,
mit einer Ankerwicklung, die durch eine Wicklungsgruppe gebildet
wird, die mehrere ausgebildete Wicklungen aufweist, die in Form
einer flachen Platte ausgebildet sind, ein aus Metall hergestelltes
Gehäuse,
das so vorgesehen ist, dass es die Ankerwicklung rahmenförmig umschließt, und
eine Umhüllung,
die hermetisch zwei Öffnungsabschnitte
des Gehäuses
verschließt,
wobei die Wicklungsgruppe so ausgebildet ist, dass sie durch eine
Leiterplatte und einen aus Harz hergestellten Rahmen in Form einer
Badewanne eingeschlossen ist, und durch Spritzgießen durch eine
Form oder ein Vergießharz
ausgebildet ist.
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Weiterhin
ist die Erfindung nach Anspruch 2 der von einer Umhüllung umschlossene
Linearmotoranker gemäß Anspruch
1, wobei ein Abschnitt, der mit einem Verbinder zum Verbinden des
von einer Umhüllung
umschlossenen Linearmotorankers nach außerhalb des Ankers als Stromversorgungsleitung oder
Signalleitung verdrahtet ist, dadurch ausgebildet wird, dass Spritzgießen durch
eine Form oder durch ein Vergießharz
mit einer Viskosität
bei einer Betriebstemperatur kleiner oder gleich 30 Pa·s ausgebildet
wird, bei einem Einsatzzeitzeitraum von 0,1 bis 24 Stunden, und
einem Elastizitätsmodul
von kleiner oder gleich 3000 MPa.
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Weiterhin
ist die Erfindung nach Anspruch 3 der von einer Umhüllung umschlossene
Linearmotoranker nach Anspruch 1, wobei ein Verdrahtungsabschnitt
zur Verbindung der Verdrahtungsplatte nach außerhalb der Verdrahtungsplatte
als Stromversorgungsleitung oder Signalleitung dadurch ausgebildet
ist, dass er durch eine Form oder ein Vergießharz ausgebildet wird, das
eine Viskosität
bei einer Betriebstemperatur von kleiner oder gleich 30 Pa·s aufweist,
einen nutzbaren Zeitraum von 0,1 bis 24 Stunden, und einen Elastizitätsmodul
von kleiner oder gleich 3000 MPa.
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Weiterhin
betrifft die Erfindung nach Anspruch 4 einen von einer Umhüllung umschlossenen Linearmotor
nach einem der Ansprüche
1 bis 3, mit dem von einer Umhüllung
umschlossenen Linearmotoranker gemäß einem der Ansprüche 1 bis
3, und mit einem Feldjoch, das so angeordnet ist, dass es dem Anker
gegenüberliegt, über einen
magnetischen Luftspalt, und so ausgebildet ist, dass es durchgehend
mit mehreren Permanentmagneten ausgerichtet ist, die abwechselnd
eine unterschiedliche Polung aufweisen, wobei entweder der Anker
oder das hermetische Joch als ein Stator ausgebildet ist, und das andere
Teil als ein Bewegungsteil ausgebildet ist, und sich das hermetische
Joch und der Anker relativ zueinander bewegen.
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Vorteil der Erfindung
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Gemäß der Erfindung
nach Anspruch 1 wird die Wicklungsgruppe durch Einschließen durch
die Verdrahtungsplatte und den aus Harz hergestellten Rahmen ausgebildet,
welcher badewannenförmig ausgebildet
ist, und durch Spritzgießen durch
die Form oder das Vergießharz
ausgebildet wird, so dass die Anzahl an Grenzflächen dadurch verringert werden
kann, dass die Anzahl an Bestandteilen verringert wird, das Betriebsverhalten
beim Spritzgießen verbessert
werden kann, und daher die Verlässlichkeit
der Isolierung der Ankerwicklung gegenüber einem Kühlmittel verbessert werden
kann.
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Bei
der im Anspruch 2 angegebenen Erfindung wird der Abschnitt, der
mit dem Verbinder zum Verbinden des von einer Umhüllung umschlossenen Linearmotorabschnitts
nach außerhalb
des Ankers als Stromversorgungsleitung oder Signalleitung verbunden
ist, durch Spritzgießen
durch die Form oder ein Vergießharz
hergestellt, das eine Viskosität
bei der Betriebstemperatur von kleiner oder gleich 30 Pa·s aufweist,
einen einsetzbaren Zeitraum von 0,1 bis 24 Stunden, und einen Elastizitätsmodul
von kleiner oder gleich 3000 MPa, so dass durch Einsatz des Harzes
mit niedriger Viskosität
der Verdrahtungsabschnitt fest durch Spritzgießen ausgebildet werden kann,
ohne dass Luftblasen oder dergleichen auftreten, durch Fördern des
Betriebsverhaltens beim Spritzgießen, und die Verlässlichkeit
der Isolierung der Ankerwicklung gegenüber dem Kühlmittel verbessert werden
kann.
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Gemäß der im
Anspruch 3 angegebenen Erfindung wird der Verdrahtungsabschnitt
zum Verbinden der Verdrahtungsplatte nach außerhalb der Verdrahtungsplatte
als Stromversorgungsleitung oder Signalleitung durch die Form oder
das Vergießharz gefüllt, welches
eine Viskosität
bei der Betriebstemperatur von kleiner oder gleich 30 Pa·s aufweist,
einen nutzbaren Zeitraum von 0,1 bis 24 Stunden, und einen Elastizitätsmodul
von kleiner oder gleich 3000 MPa, so dass durch Einsatz des Harzes
mit der niedrigen Viskosität
der Verdrahtungsabschnitt fest gefüllt wird, ohne dass Luftblasen oder
dergleichen auftreten, durch Fördern
des Betriebsverhaltens beim Einfüllen,
und die Verlässlichkeit
der Isolierung der Ankerwicklung gegenüber Einflüssen von den Kühlmittel
verbessert werden kann.
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Bei
der im Anspruch 4 angegebenen Erfindung kann ein äußerst verlässlicher,
von einer Umhüllung
umschlossener Linearmotor zur Verfügung gestellt werden, bei welchem
der Widerstand in Bezug auf die Isolierung der Ankerwicklung gegenüber dem
Kühlmittel
hoch ist, und der äußerst verlässlich ist,
durch Einsatz von Wasser mit einer erheblichen Kühlwirkung, und durch Anordnung
des Ankers und der Feldwicklung einander gegenüberliegen.
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Kurzbeschreibung der Zeichnungen
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1 ist
eine Ansicht eines von einer Umhüllung
umschlossenen Linearmotorankers, gemäß einer Ausführungsform
der Erfindung, entsprechend einer Seitenschnittansicht entlang einer
Linie A-A in 7;
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2 ist
eine Seitenschnittansicht eines Ankerwicklungsabschnitts gemäß der Erfindung
von 1;
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3 ist
eine Seitenschnittansicht eines Verbinderabschnitts der in 1 gezeigten
Erfindung;
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4 ist
eine Seitenschnittansicht eines von einer Umhüllung umschlossenen Linearmotorankers entlang
der Linie A-A von 7;
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5 ist
eine Seitenschnittansicht eines Ankerwicklungsabschnitts nach dem
Stand der Technik gemäß 4;
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6 ist
eine Seitenschnittansicht eines Verbinderabschnitts nach dem Stand
der Technik gemäß 4;
und
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7 ist
eine Perspektivansicht eines von einer Umhüllung umschlossenen Linearmotors
gemäß der Erfindung
und gemäß dem Stand
der Technik.
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Beste Art und Weise zur Ausführung der
Erfindung
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Eine
Ausführungsform
der Erfindung wird nachstehend unter Bezugnahme auf die Zeichnungen
erläutert.
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Ausführungsform
1
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1 zeigt
einen von einer Umhüllung
umschlossenen Linearmotoranker gemäß einer Ausführungsform
der Erfindung entsprechend der Seitenschnittansicht entlang der
Linie A-A von 7. 2 ist eine
Seitenschnittansicht eines Ankerwicklungsabschnitts gemäß der Erfindung
von 1, 3 ist eine Seitenschnittansicht
eines Verbinderabschnitts gemäß der Erfindung
von 1, und die wesentlichen Eigenschaften der Erfindung
sind so, wie dies voranstehend angegeben ist.
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Zuerst
wird der Ankerwicklungsabschnitt 71 gemäß der Erfindung erläutert.
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In 2 werden
mehrere der ausgebildeten Wicklungen 71c, die in Form einer
flachen Platte ausgebildet wurden, verlötet und fest auf der Verdrahtungsplatte 71a angebracht,
zur Verbindung mit außerhalb
des Ankers als Stromversorgungsleitung oder Signalleitung, und wird
deren Umgebung durch den aus Harz ausgebildeten Rahmen 71b in
Form einer Badewanne abgedeckt, deren Umgebung nur an einer Oberflächenseite
der Verdrahtungsplatte 71a geöffnet ist. Die Form 21 oder
ein Vergießharz
(nicht dargestellt) wird durch Spritzgießen in einen Luftspaltabschnitt
am Umfang der ausgebildeten Wicklung 71c eingeformt, die
von der Verdrahtungsplatte 71a und dem aus Harz hergestellten
Rahmen 71b in Form einer Badewanne umgeben ist, zu dem Zweck,
die Verlässlichkeit
der Isolierung der ausgebildeten Wicklung 71c gegenüber einem
Kühlmittel zu
verbessern. Wenn beispielsweise Epoxyharz durch Spritzgießen unter
Vakuum eingefüllt
wird, wird der Luftspaltabschnitt vollständig durch das Epoxyharz ersetzt.
Grenzflächen
können
durch Verringerung der Anzahl der Bestandteile verringert werden, darüber hinaus
kann das Betriebsverhalten beim Spritzgießen gefördert werden, und kann daher
die Verlässlichkeit
der Isolierung der Ankerwicklung in Bezug auf das Kühlmittel
gefördert
werden.
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Als
nächstes
wird der Verbinderabschnitt gemäß der Erfindung
erläutert.
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In 3 ist
der Leitungsdraht 14c, der von der Verdrahtungsplatte 71a herausgeführt ist,
mit der hermetischen Dichtung 14a verlötet, um eine Stromversorgungsleitung
oder eine Signalleitung von der Verdrahtungsplatte 71a nach
außerhalb
des Ankers anzuschließen,
und wird der Verdrahtungsabschnitt 14d durch Spritzgießen unter
Verwendung einer Form oder eines Vergießharzes ausgeformt, speziell unter
Verwendung des Harzes 14b mit niedriger Viskosität, zu dem
Zweck, die Verlässlichkeit
der Isolierung der ausgebildeten Wicklung 71c gegenüber dem
Kühlmittel
zu verbessern. Das Spritzgießen
wird beispielsweise mit Silikon mit einer Viskosität bei einer
Betriebstemperatur von kleiner oder gleich 30 Pa·s durchgeführt, bei
einem nutzbaren Zeitraum von 0,1 bis 24 Stunden, und einem Elastizitätsmodul
von kleiner oder gleich 3000 MPa. Spritzgießen kann so durchgeführt werden,
ohne dass Luftblasen oder dergleichen auftreten, durch Fördern des
Betriebsverhaltens beim Spritzgießen unter Einsatz des Harzes mit
niedriger Viskosität,
und es kann die Verlässlichkeit
der Isolierung der Ankerwicklung in Bezug auf das Kühlmittel
gefördert
werden.
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Unter
Bezugnahme auf 1 erfolgt eine Erläuterung
der Vereinigung eines Ankers unter Einsatz des Ankerwicklungsabschnitts 71 und
des Verbinders 14.
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Der
Hauptrahmen 11 wird an dem Ankerwicklungsabschnitt 71 unter
Verwendung einer Schraube oder dergleichen befestigt, nicht dargestellt,
und an dem Verbinder 14 mittels Laserschweißen. Das
Harz 18 mit niedriger Viskosität wird in den Luftspaltabschnitt
am Umfang des Verdrahtungsabschnitts 71e das Ankerwicklungsabschnitts 71 und des
Verdrahtungsabschnitts 14d des Verbinders 14 eingefüllt, mit
dem Ziel, die Verlässlichkeit
der Isolierung der ausgebildeten Wicklung 71c in Bezug
auf das Kühlmittel
zu verbessern. Beispielsweise wird das Spritzgießen mit Silikon durchgeführt, das
eine Viskosität
bei der Betriebstemperatur von kleiner oder gleich 30 Pa·s aufweist,
einen nutzbaren Zeitraum von 0,1 bis 24 Stunden, und einen Elastizitätsmodul
von kleiner oder gleich 3000 MPa. Durch Einsatz des Harzes mit niedriger
Viskosität
kann der Luftspalt vollständig
ausgefüllt
werden, ohne dass Luftblasen oder dergleichen auftreten, durch Fördern des
Betriebsverhaltens beim Spritzgießen, und kann die Verlässlichkeit
in Bezug auf die Isolierung der Ankerwicklung in Bezug auf das Kühlmittel
gefördert werden.
Die erste Abdeckung 13 wird an dem Verdrahtungsabschnitt 71e des
Ankerverdrahtungsabschnitts 71 unter Verwendung eines Klebemittels oder
dergleichen befestigt, und darüber
hinaus wird die zweite Abdeckung 12 an dem Verdrahtungsabschnitt 14d des
Verbinders 14 mittels Laserschweißen befestigt. Durch ein oder
mehrere Löcher,
die an der ersten Abdeckung 13 vorgesehen sind, kann bestätigt werden,
dass das Harz 18 mit niedriger Viskosität vollständig in den Luftspaltabschnitt
im Inneren des von einer Umhüllung
eingeschlossenen Linearmotorankers eingefüllt wird, wo das Kühlmittel
nicht hindurchgeht, so dass die Verlässlichkeit der Isolierung der
Ankerwicklung in Bezug auf das Kühlmittel verbessert
werden kann.
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Die
Umhüllung 6 wird
an einem Ort befestigt, der die Kühlmittelwege 17 sicherstellen
kann, damit das Kühlmittel
an der Oberfläche
und an der rückwärtigen Oberfläche des
Ankerwicklungsabschnitts 7 fließt, durch Anordnen des O-Rings 16 dazwischen, mit
dem Ziel, ein Leck des Kühlmittels
nach außerhalb
zu verhindern.
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Bei
dem von einer Umhüllung
umschlossenen Linearmotoranker mit dem geschilderten Aufbau wird
dadurch, dass man Dreiphasen-Wechselstrom entsprechend der elektrischen
Relativpositionen zur ausgebildeten Wicklung 71c fließen lässt, ein
Axialdruck an einem nicht dargestellten Bewegungsteil hervorgerufen,
durch Zusammenwirken mit einem Magnetfeld, das von einem nicht dargestellten
Permanentmagneten erzeugt wird. Hierbei wird die ausgebildete Wicklung 71c,
welche Wärme
infolge von Kupferverlusten erzeugt, durch das Kühlmittel gekühlt, das
in den Kühlmittelwegen 10 fließt, so dass ein
Temperaturanstieg an der Oberfläche
der Umhüllung 6 eingeschränkt werden
kann.
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ZUSAMMENFASSUNG
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Es
werden ein von einer Umhüllung
umschlossener Linearmotoranker und ein von einer Umhüllung umschlossener
Linearmotor zur Verfügung gestellt,
welche Grenzflächen
verringern können, durch
Verringerung der Anzahl an Teilen eines Ankerwicklungsabschnitts,
welche beständig
Spritzgießen und
Füllen
durchführen
können,
ohne dass Luftblasen oder dergleichen auftreten, durch Fördern des Betriebsverhaltens
beim Spritzgießen
und beim Füllen,
durch Einsatz eines Harzes mit niedriger Viskosität, und welche
eine Verlässlichkeit
der Isolierung über
lange Zeiträume
der Ankerwicklung gegenüber einem
Kühlmittel
aufweisen.
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Bei
dem von einer Umhüllung
umschlossenen Linearmotoranker ist eine Wicklungsgruppe, welche
mehrere ausgebildete Wicklungen (71c) aufweist, eingeschlossen
durch eine Verdrahtungsplatte (71a) und einen aus Harz
hergestellten Rahmen (71b) in Form einer Badewanne, wobei
Spritzgießen mit
einem Harz durchgeführt
wird. Weiterhin ist ein Verdrahtungsabschnitt (71e) durch
Spritzgießen
ausgeformt oder gefüllt,
durch ein Harz, das eine Viskosität von kleiner oder gleich 30
Pa·s
aufweist, einen nutzbaren Zeitraum von 0,1 bis 24 Stunden, und einen
Elastizitätsmodul
von kleiner oder gleich 3000 MPa.
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- 1
- Bewegungsteil
- 2
- Feldjoch
- 3
- Permanentmagnet
- 4
- Feldjochhalterung
- 5
- Stator
- 6
- Umhüllung
- 7
- Ankerwicklung
- 71
- Ankerwicklung
(gemäß der Erfindung)
- 71a
- Verdrahtungsplatte
- 71b
- Rahmen
- 71c
- Ausgebildete
Wicklung
- 71e
- Wicklungsabschnitt
- 72
- Ankerwicklung
(nach dem Stand der Technik)
- 72a
- Verdrahtungsplatte
- 72b
- Rahmen
- 72c
- Ausgebildete
Wicklung
- 72d
- Abdeckung
- 72e
- Wellenabschnitt
- 8
- Kühlmittelzufuhröffnung
- 9
- Kühlmittelablassöffnung
- 10
- Gehäuse
- 11
- Hauptrahmen
- 12
- Zweite
Abdeckung
- 13
- Erste
Abdeckung
- 14
- Verbinder
- 14a
- Hermetische
Abdichtung
- 14b
- Harz
mit niedriger Viskosität
- 14c
- Leitungsdraht
- 14d
- Wicklungsabschnitt
- 15
- Verbinder
- 15a
- Hermetische
Abdichtung
- 15b
- Harz
mit hoher Viskosität
- 15c
- Leitungsdraht
- 15d
- Wicklungsabschnitt
- 16
- O-Ring
- 17
- Kühlmittelweg
- 18
- Harz
mit niedriger Viskosität
- 19
- Harz
mit hoher Viskosität
- 20
- Bolzenschraube
- 21
- Form