DE1104284B - Vorrichtung zum Aufbringen eines Metallueberzugs auf ein erhitztes Werkstueck durch Zersetzung einer fluechtigen Metallverbindung im elektrischen Hochspannungsfeld - Google Patents

Vorrichtung zum Aufbringen eines Metallueberzugs auf ein erhitztes Werkstueck durch Zersetzung einer fluechtigen Metallverbindung im elektrischen Hochspannungsfeld

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DE1104284B
DE1104284B DEC9216A DEC0009216A DE1104284B DE 1104284 B DE1104284 B DE 1104284B DE C9216 A DEC9216 A DE C9216A DE C0009216 A DEC0009216 A DE C0009216A DE 1104284 B DE1104284 B DE 1104284B
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Herman Nack
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Commonwealth Engineering Company of Ohio
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Commonwealth Engineering Company of Ohio
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    • C23CCOATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C16/00Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes
    • C23C16/44Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes characterised by the method of coating
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    • CCHEMISTRY; METALLURGY
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Description

  • Vorrichtung zum Aufbringen eines Metallüberzugs auf ein erhitztes Werkstück durch Zersetzung einer flüchtigen Metallverbindung im elektrischen Hochspannungsfeld Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung zum Aufbringen eines Metallüberzugs auf ein erhitztes Werkstück durch Zersetzung einer flüchtigen Metallverbindung im elektrischen Hochspannungsfeld.
  • Die Ablagerung dünner Filme eines Schutzmetalls, z. B. von Nickel, Kobalt, Wolfram und Molybdän oder ihren Verbindungen auf metallischer Grundlage, hat man bereits in der Weise ausgeführt, daß man den Gegenstand, der mit einem Metallüberzug versehen werden sollte, in einer Kammer einschloß, die Kammer mit einem zersetzlichen, das Metall tragenden Gas füllte, den Gegenstand auf die Zersetzungstemperatur des erwähnten Gases erhitzte und dafür Sorge trug, daß das metallbeladene Gas in Berührung mit dem erhitzten Gegenstand trat und auf ihm niedergeschlagen wurde.
  • Dabei haben sich erhebliche Schwierigkeiten insoweit ergeben, als es schwierig war, dichte Metallniederschläge mit Hilfe eines solchen Verfahrens zu erzielen.
  • Man hat verschiedene Maßnahmen vorgeschlagen, um die der Ausbildung der bekannten Apparate anhaftenden Mängel zu beseitigen. Diese Mängel rühren von zwei wesentlichen Ursachen her. Die erste Ursache besteht darin, daß die Zersetzung des gasförmigen Mittels vorzeitig eintreten kann, d. h. ehe das Gas mit dem zu plattierenden Gegenstand in Berührung getreten ist. Dadurch wird es ermöglicht, daß Metallteilchen auf die zu plattierende Fläche fallen, was eine Rauhigkeit des Plattierungsüberzuges zur Folge hat.
  • Ferner entsteht ein Widerstand zwischen zwei Oberflächen, nämlich zwischen der Oberfläche des auftreffenden Plattierungsgasstromes einerseits und der Oberfläche des zu plattierenden Gegenstandes andererseits. Dieser unmittelbar an der freien Oberfläche des Gegenstandes auftretende Widerstand wirkt der Zersetzung entgegen.
  • Das Ergebnis dieser ungeregelten Beeinflussung der Zersetzung führt zur Erzeugung dünner, poröser, unregelmäßiger Überzüge des niedergeschlagenen Metalls. Obwohl man, wie oben bemerkt, bereits versucht hat, diese unerwünschten Erscheinungen zu bekämpfen, erfordert dies besondere Fachkunde sowie die Verwendung besonders eingerichteter Vorrichtungen.
  • Man hat auch bereits ein Verfahren zur Herstellung von metallischen Überzügen, insbesondere aus Alkali- oder Erdalkalimetallen, auf Elektroden von Entladungsgefäßen durch Abscheidung aus der Gasphase ihrer Verbindungen in Vorschlag gebracht, wobei das Abscheiden durch eine Entladung hervorgerufen wird, bei welcher an der zu überziehenden Elektrode negative Spannung liegt. Für die Bildung eines Überzugs aus Schwermetallen hat man ein solches Verfahren indes bisher nicht angewendet.
  • Die Erfindung bezweckt, die zum Aufbringen der Metallüberzüge auf einem erhitzten Werkstück dienende Vorrichtung so auszubilden, daß die obenerwähnten Nachteile beseitigt werden. Insbesondere sollen fest anhaftende Metallüberzüge von hoch gesteigerter Dichte, die auch bei erhöhten Temperaturen widerstandsfähig sind, so daß sich bei ihnen keine Blasenbildung zeigt, geschaffen werden.
  • In diesem Sinne geht die Erfindung von einer bekannten Vorrichtung zum Aufbringen eines Metallüberzuges auf ein erhitztes Werkstück durch Zersetzung einer flüchtigen Metallverbindung aus, bei welcher die zu überziehenden Gegenstände in einem elektrischen Hochspannungsfeld als Kathode gegenüber einer Anode angeordnet sind und wobei die Zersetzungsprodukte des Plattierungsgases abgesaugt werden.
  • Eine solche Vorrichtung wird zwecks Erfüllung der vorstehend erläuterten Zwecke dadurch verbessert, daß zwecks Erzielung glatter Schwermetallüberzüge auf den in einer Glasplattierungskammer gehaltenen Werkstücken durch diese Kammer eingeführtes Schwermetallkarbonylgas die Anode an der Auslaßöffnung oder Abführungsöffnung dem Werkstück benachbart sowie der Kathode diametral entgegengesetzt angeordnet wird. Dabei wird zur Abführung des Gases eine hohle Anode mit siebartig ausgebildeter Öffnung vorgesehen, deren Größe im wesentlichen der Oberfläche des Werkstückes entspricht.
  • Der Behandlungskammer -kann zweckmäßig eine Ionisationskammer für das Plattierungsgas vorgeschaltet sein, die mit radioaktiven Stoffen, wie Ra oder U, gefüllt ist. Dadurch wird die Zersetzung des Gases beschleunigt, vervollständigt sowie der Niederschlag des Plattierungsmetalls begünstigt.
  • Auf Grund der Zeichnungen, welche zweckmäßige Ausführungsformen der Erfindung beispielsweise veranschaulichen, soll der Erfindungsgegenstand im einzelnen beschrieben werden.
  • Fig. 1 zeigt eine Schnittdarstellung einer erfindungsgemäß ausgebildeten Vorrichtung; Fig.2 veranschaulicht in Ansicht einen Teil einer Vorrichtung, die bei der Ausführung der Erfindung benutzt wird.
  • Gemäß Fig. 1 ist eine Kammer 1 vorgesehen, die einen Gaseinlaß 2 und einen Gasauslaß 3 besitzt, die gegenüber der Kammerwandung elektrisch isoliert angeordnet sind. In der Kammer ist eine Heizvorrichtung 4 angebracht, die mit einer nicht dargestellten Energiequelle durch eine isolierte Leitung 14 verbunden ist, die durch die Wandung 5 der Kammer 1 hindurchgellt. Auf der Heizvorrichtung 4 ist mit elektrisch isolierenden Stützen 15 ein Werkstück 6 gelagert, mit welchem eine elektrische Leitung 7 verbunden ist, die durch die Wandung 5 hindurchgeht und gegenüber dieser elektrisch isoliert ist.
  • Die Verbindung zwischen dem Werkstück 6 und der Leitung 7 kann mit Hilfe beliebiger Kontaktanordnungen, z. B. Klemmen, Fassungen u. dgl., ausgebildet sein. Mit dem entgegengesetzten Ende der Leitung 7 ist der negative Pol einer Gleichstromquelle, die allgemein mit 8 bezeichnet ist, elektrisch leitend verbunden. Der positive Pol der Stromquelle 8 ist durch eine Leitung 9 mit dem leitenden Teil des Auslasses 3 verbunden. Hierdurch wird ein elektrostatisches Feld zwischen dem inneren Ende des Auslasses 3 und dem Werkstück 6 erzeugt. Das äußere Ende des Auslasses 3 besteht vorzugsweise aus isolierendem Material. Indes kann es in einigen Fällen auch leitend ausgebildet und dann gegenüber dem Untergrund isoliert sein.
  • Beim praktischen Gebrauch der Vorrichtung werden metallhaltige Gase zusammen mit einem Trägergas durch den Einlaß 2 aus geeigneten Behältern oder Mischkammern in die Kammer 1 geleitet. Die Behälter oder Mischkammern -sind nicht dargestellt, da sie in diesem Zusammenhang an sich bekannt sind und keinen Teil der vorliegenden Erfindung bilden.
  • Die eintretenden Gase werden infolge ihrer Geschwindigkeit und ihrer häufigen Zusammenstöße in einem verhältnismäßig kleinen Ausmaß ionisiert. Sie werden von dem als Kathode wirkenden Werkstück 6 angezogen. Die negativ geladene Kathode nimmt die positiv geladenen Moleküle an, indem sie dadurch die Zersetzung der metallbeladenen Gase in metallische Ionen und negativ geladene Ionen der gasförmigen Zersetzungsprodukte bewirkt. Die metallischen Ionen verlieren ihre Ladung an der Kathode, so daß sich ein fester Metallniederschlag ergibt, während die negativ geladenen Zersetzungsprodukte an der Kathode mit großer Kraft zurückgestoßen werden und mit hoher Geschwindigkeit aus dem Bereich der zu plattierenden Fläche entweichen.
  • Diese abgestoßenen Ionen bewegen sich unter dem Einfluß des elektrostatischen Feldes nach dem positiv geladenen Auslaß der Kammer. Hierbei treffen sie zusammen- öder kollidieren sie mit nicht ionisierten Gasteilen, indem sie hierdurch die allgemeine Ionisation des Gases in der Kammer befördern. Dementsprechend wird die Kammer, wenn sie sich in voller Tätigkeit befindet, große Mengen positiv geladener Metallionen enthalten neben negativ geladenen Zersetzungsgasen, die sich im ionisierten Zustand befinden oder als geladene Moleküle von Kohlenoxyd, Kohlendioxyd u. dgl. vorhanden sein können. Die geladenen Metallionen bewegen sich mit hoher Geschwindigkeit nach dem die Kathode bildenden Werkstück und schlagen sich an demselben in Form eines feinen, gleichmäßigen, dichten Überzugs nieder, so daß auf diese Weise der oben bemerkte Mangel des langsamen Absetzens der Teilchen unter Bildung einer rauhen Oberfläche vermieden wird. Aus dem vorhergehenden ergibt sich, daß, während es zweckmäßig ist, das elektrostatische Feld zwischen dem Werkstück und dem Auslaß der Kammer zu erzeugen, die einzige Bedingung für das Aufprallenlassen der metallischen, positiv geladenen Ionen auf dem Werkstück darin besteht, daß das Werkstück als Kathode ausgebildet wird. Als positive Elektrode des elektrostatischen Feldes kann dabei ein beliebiger anderer, geeigneter, leitend ausgebildeter Teil der Vorrichtung dienen.
  • Die zur Durchführung des neuen Plattierungsprozesses erforderliche elektrostatische Spannung ist ein veränderlicher Faktor, der von der Entfernung zwischen den Feldelektroden, der Natur des Plattierungsgases, dem Druck und der Temperatur dieses Gases usw. abhängig ist. Unter sonst gleichen Bedingungen nimmt die Feldstärke in dem Maße ab, wie die Entfernung von einer Elektrode wächst. Ein elektrostatisches Potential von 1000 Volt an den Elektroden wird mit Sicherheit bei einer Entfernung von etwa 1 mm (1/s ") zwischen den Elektroden wirksam sein. Wenn die Anode und das kathodische Werkstück durch eine Entfernung von etwa 60 cm (2 Fuß) voneinander getrennt sind, so können etwa 200 000 Volt zur Erzielung maximaler Wirksamkeit erforderlich werden. Indes können, wie bereits bemerkt, Gasdruck, die Art des Gases und andere Einflüsse weitere Änderungen bedingen.
  • Die Heizvorrichtung 4 dient dazu, die Temperatur des kathodischen Werkstücks derart zu steigern, daß sich vollständige Zersetzung des metallbeladenen Gases an der Werkstückoberfläche ergibt. Diese Temperatur ist ein variabler Faktor, der von dem Plattierungsgas abhängt. Im Falle der Verwendung von Nickelkarbonylgas sollte sie über 180° C liegen.
  • Metallische Unterlagen, die in der beschriebenen Weise plattiert werden können, sind z. B. Stahl, Kupfer, Aluminium, Gußeisen, Messing, Magnesium u. dgl.
  • Das erfindungsgemäße Verfahren und die entsprechende Vorrichtung sind für Plattierungsvorgänge mit allen Metallen, die gasförmige Karbonyle bilden, anwendbar, z. B. mit den Karbonylen von Chrom, Eisen, Wolfram, Kobalt, Molybdän, Tellur, Rhenium und Nickel. Die Karbonyle dieser Metalle weisen eine bestimmte Temperatur auf, bei welcher die Zersetzung vollständig stattfindet, obwohl Zersetzung in gewissem Grad auch bei niedrigeren Temperaturen eintritt. Die ungünstige Wirkung solcher Zersetzung bei niedrigerer Temperatur wird durch die große Geschwindigkeit ausgeglichen, welche die Teilchen im elektrostatischen Feld annehmen.
  • Im Falle der Verwendung der Karbonyle von Wolfram, Nickel, Chrom und Eisen ist es Zweckmäßig, die Temperatur des Werkstücks im Bereich von 350 bis 425° F (etwa 175 bis etwa 180° C) zu halten, obwohl auch Temperaturen unterhalb und oberhalb dieses Bereichs verwendet und zu einem guten Plattierungsergebnis führen können. Die Anwendung des elektrostatischen Feldes mit dem Ziel hoher Teilchengeschwindigkeit ermöglicht eine Verringerung der Temperatur des Werkstücks, wenn andere Bedingungen dies erforderlich machen.
  • Gemäß Fig. 2 ist ein röhrenförmiges Glied 10 dargestellt, das einen Einlaß 11 und einen Auslaß 12 besitzt und radioaktives Material, z. B. Uran oder Radium, enthält. Die Wirkung des Gliedes 10 ist darauf gerichtet, eine vorläufige Ionisation entweder des Trägergases zu erhalten, das in die Plattierungskammer mit dem Metallkarbonvl eintritt, oder eine anfängliche Ionisation sowohl des Trägergases wie des Karbonyls zu erzielen. Zu letzterem Zweck kann der Auslaß 12 des Gliedes 10 unmittelbar mit dem Auslaß 2 der Kammer 1 verbunden sein.
  • Um die Wirkung des radioaktiven Materials einzuleiten, ist es zweckmäßig, eine Aufspaltung des ILarbonylmolelcüls M (C04) in positiv geladene M-Ionen und negativ geladene (C04)-Ionen herbeizuführen. Da die metallischen Ionen nunmehr von den schwereren (C04)-Ionen disoziiert sind, kann die denselben durch das elektrostatische Feld vor Berührung mit dem Werkstück erteilte Geschwindigkeit beträchtlich größer sein, als die Disoziation sein würde, wenn sie näher an dem zu plattierenden Gegenstand stattfindet.
  • Das elektrisch geladene Trägergas dient dazu, um die Zersetzungsgase aus dem Bereich der zu plattierenden Fläche wirksam anzuziehen. Dies trägt ferner dazu bei, den Zwischenflächenwiderstand zwischen dem Strom des Plattierungsgases und der Oberfläche des kathodischen Werkstücks zu überwinden.
  • Trägergase, die sich für den in Rede stehenden Zweck eignen, sind z. B. Stickstoff, Helium, Wasserstoff, Kohlensäure und andere inerte Gase. Wasserstoff ist, wie bemerkt werden soll, insbesondere brauchbar, da er eine reduzierende Wirkung ausübt und dementsprechend vorteilhaft in solchen Fällen verwendet werden kann, wenn sich Eisenrost entwickeln könnte, der den Prozeß stört.
  • Die vorstehend beschriebenen Ausführungsformen beziehen sich insbesondere auf die Verwendung von Karbonylen. Indes ist zu bemerken, daß auch andere metalltragende, gasförmige Verbindungen, wie z. B. Metallhydride, Metallalkyde, Metallhalide, ferner Nitroxale, insbesondere des Kupfers, Nitroxalkarbonyle und Karbonylhalogen in den Rahmen der Erfindung fallen und mit ähnlichen Vorteilen verwendet werden können.
  • Zweckmäßig kann man die Werkstücke für die Aufbringung des Überzugs in geeigneter Weise vorbereiten, z. B. unter Benutzung an sich bekannter Mittel reinigen, z. B. durch Behandlung von Säuren, Alkalien oder durch eine elektrochemische Behandlung. Die einzige Bedingung ist hierbei, daß eine saubere Metallfläche für die Aufnahme des Metallniederschlags erhalten wird, um die Vorteile des erfindungsgemäßen Verfahrens in vollem Maße zur Auswirkung zu bringen.
  • Es sei noch bemerkt, daß das erfindungsgemäße Verfahren auch in anderer Hinsicht, z. B. bezüglich verschiedener Anwendungsformen und Bedingungen, weitgehend abgeändert und ausgestaltet werden kann.

Claims (2)

  1. PATENTANSPRÜCHE: 1. Vorrichtung zum Aufbringen eines Metallüberzugs auf ein erhitztes Werkstück durch Zersetzung einer flüchtigen Metallverbindung, bei welcher die zu überziehenden Gegenstände in einem elektrischen Hochspannungsfeld als Kathode gegenüber einer Anode angeordnet sind und wobei die Zersetzungsprodukte des Plattierungsgases abgesaugt werden, dadurch gekennzeichnet, daß zwecks Erzielung glatter Schwermetallüberzüge auf den in einer Gasplattierungskammer gehaltenen Werkstücken durch in diese Kammer eingeführtes Schwermetallkarbonylgas die Anode an der Auslaßöffnung oder Abführungsöffnung dem Werkstück - benachbart sowie der Kathode diametral entgegengesetzt angeordnet ist, wobei zur Abführung des Gases eine hohle Anode mit siebartig ausgebildeter Öffnung vorgesehen ist, deren Größe im wesentlichen der Oberfläche des Werkstücks entspricht.
  2. 2. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß der Behandlungskammer eine Ionisationskammer für das Plattierungsgas vorgeschaltet ist, die mit radioaktiven Stoffen, wie Ra oder U, gefüllt ist. In Betracht gezogene Druckschriften: Deutsche Patentschrift Nr. 571504.
DEC9216A 1954-04-14 1954-04-14 Vorrichtung zum Aufbringen eines Metallueberzugs auf ein erhitztes Werkstueck durch Zersetzung einer fluechtigen Metallverbindung im elektrischen Hochspannungsfeld Pending DE1104284B (de)

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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE2830134A1 (de) * 1978-07-08 1980-01-17 Wolfgang Kieferle Verfahren und vorrichtung zum auflagern einer metall- oder legierungsschicht auf ein elektrisch leitendes werkstueck

Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE571504C (de) * 1928-06-10 1933-03-01 Osram G M B H Komm Ges Verfahren zur Herstellung von metallischen UEberzuegen, insbesondere aus Alkali- oder Erdalkalimetallen auf Elektroden

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