DE1085393B - Verfahren zum Abscheiden von Metallschichten in Rohren aus keramischem Werkstoff - Google Patents

Verfahren zum Abscheiden von Metallschichten in Rohren aus keramischem Werkstoff

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DE1085393B
DE1085393B DED22301A DED0022301A DE1085393B DE 1085393 B DE1085393 B DE 1085393B DE D22301 A DED22301 A DE D22301A DE D0022301 A DED0022301 A DE D0022301A DE 1085393 B DE1085393 B DE 1085393B
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DE
Germany
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metal
pipes
tube
furnace
platinum
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DED22301A
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English (en)
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Dr Ernst Wagner
Dr Friedrich Endter
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Evonik Operations GmbH
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Degussa GmbH
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Publication date
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    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C23COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23CCOATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C16/00Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes
    • C23C16/04Coating on selected surface areas, e.g. using masks
    • C23C16/045Coating cavities or hollow spaces, e.g. interior of tubes; Infiltration of porous substrates

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  • Chemical & Material Sciences (AREA)
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  • Materials Engineering (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Metallurgy (AREA)
  • Organic Chemistry (AREA)
  • Chemical Vapour Deposition (AREA)
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Description

  • Verfahren zum Abscheiden von Metallschichten in Rohren aus keramischem Werkstoff Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Abscheidung von vorzugsweise dünnen Metallschichten aus in der Wärme leicht zersetzlichen flüchtigen Metallverbindungen durch Erwärmung der Rohre auf die Zersetzungstemperatur der Metallverbindung mittels eines das Rohr umgebenden Ofens.
  • Die Aufgabe, geschlossene Metallüberzüge im Innern von Rohren anzubringen, tritt besonders häufig auf bei der Vorbereitung von rohrförmigen Reaktionsräumen für katalytische Umsetzungen, in denen das katalytisch wirksame Metall in dünner Schicht gleichmäßig auf die Innenseite des Rohres aufgebracht werden muß. Es kann sich hier um Metalle verschiedener Art handeln, je nachdem, für welchen Prozeß derartige Rohre verwendet werden sollen. Häufig ist es erforderlich, Edelmetallüberzüge, insbesondere solche aus Platinmetallen, zu erzeugen, wobei Verluste an einem hochwertigen Metall tunlichst gering gehalten oder vermieden werden müssen. Beispielsweise führt man nach neueren Vorschlägen die Synthese von Blausäure aus Ammoniak und Methan oder anderen Isohlenwasserstoffen in verhältnismäßig langen keramischen Rohren durch, die mit einer Auskleidung von metallischem Platin versehen werden müssen. Auch für andere Spalt- oder Crackprozesse benötigt man ähnliche Vorrichtungen. Man ist dabei so verfahren, daß man die Rohre zur Aufbringung des katalytisch wirkenden Platinüberzuges mit einer leicht zersetzlichen Platinverbindung in gelöster Form gefüllt und durch Erhitzung unter lebhaftem Drehen des Rohres aus diesen Verbindungen metallisches Platin abgeschieden hat. Es bedarf dabei besonderer Vorsichtsmaßnahmen, um den Edelmetallüberzug gleichmäßig über die ganze Rohrlänge zu erzeugen, was jedoch trotz aller erdenklichen Vorsicht nicht immer in zufriedenstellender Weise gelingt.
  • Es ist auch schon bekannt, auf metallischen Rohren eine Schutzschicht von Ferrosilicium zu erzeugen, indem man Siliciumtetrachloriddampf bei der Herstellung der Rohre durch Verschweißen bandförmige Werkstoffe in das glühende Rohr einführt und hier sich zersetzen läßt. Weiterhin ist es bekannt, Rohre aus keramischem Werkstoff mit einer Heizvorrichtung zu umgeben und durch solche Rohre Reduktionsmittel, z. B. Alkali- oder Erdalkalimetalldämpfe, hindurchzuleiten, um den silikatischen Werkstoff an der Oberfläche teilweise zu reduzieren und durch chemische Reaktion auf der Oberfläche einen Überzug von elementarem Silicium herzustellen.
  • Bei der letztgenannten Maßnahme handelt es sich zwar um die Abscheidung einer metallartigen Schicht auf einem keramischen Werkstoff, jedoch wird hier nicht ein Fremdmetall in dünner, gleichmäßiger Schicht aufgebracht, sondern der Überzug aus dem keramischen Werkstoff selbst in Form von elementarem Silicium erzeugt. Diese bekannte Arbeitsweise ist also für die vorliegende Aufgabenstellung nicht brauchbar. Auch die Zersetzung von Siliciumtetrachlorid in der Wärme zum Überziehen metallischer Rohre mit Ferrosilicium läßt sich nicht ohne weiteres auf Rohre aus keramischem Werkstoff und auf die Abscheidung von Metallen übertragen. Es hat sich nämlich gezeigt, daß die für keramische Rohre auf Grund der geringen Temperaturwechselbeständigkeit naheliegende gleichmäßige Erwärmung der Rohre auf eine möglichst lange Strecke nicht zur Abscheidung gleichmäßiger Überzüge führt. Die Abscheidung des Überzugsmetalles findet nämlich bevorzugt am Beginn der Heizzone statt, so daß für die übrige Länge der Rohre die Dämpfe in unkontrollierbarer Weise an dem abzuscheidenden Metall verarmen.
  • Es wurde nun gefunden, daß sich alle diese Schwierigkeiten wirksam vermeiden lassen und die Erzeugung eines gleichmäßigen Metallüberzuges auch in langen, engen Rohren sichergestellt werden kann, wenn die Dämpfe der Metallverbindung, gegebenenfalls mit einem Trägergas, durch die Rohre geleitet werden und die Erwärmung der zu überziehenden Rohre durch einen Ofen erfolgt, dessen Heizlänge wesentlich geringer ist als die Rohrlänge, wobei das Rohr und der Ofen relativ zueinander bewegt werden. Erfindungsgemäß erfolgt also die Zersetzung der durch das Rohr strömenden flüchtigen Metallverbindung infolge der geringen Heizlänge des Ofens abschnittsweise. Trotzdem hat sich gezeigt, daß infolge der Relativbewegung zwischen Rohr und Ofen nach der Erfindung vollständig gleichmäßige Überzüge zu erzielen sind, wobei entweder der Ofen längs des Rohres bewegt oder das Rohr durch den feststehenden Ofen langsam hindurchgezogen werden kann. Es ergibt sich dabei der Vorteil,-daß die Dicke der Beschichtung durch die Geschwindigkeit der Verschiebung der Erhitzungszone willkürlich geregelt werden kann. Verwendet man nach einer anderen Ausführungsform der Erfindung den Dampf der abzuscheidenden flüchtigen Verbindung zusammen mit einem Trägergas, so kann man auch durch Art und Menge des Trägergases, das unter Umständen eine wirksame Hilfe für die Gleichmäßigkeit der 1Ietallabscheidung bedeutet, Zusammensetzung und Aufbau des Niederschlags weiterhin beeinflussen.
  • Die partielle Erhitzung von langen keramischen Rohren auf indirektem Wege durch Öfen, deren Länge wesentlich geringer ist als die gesamte Rohrlänge, bedeutet ein gewisses Risiko für die Stabilität des Rohres, da die Temperatursprünge, die sich bei dieser Arbeitsweise ergeben können, mit den bisherigen Anschauungen über die Wärmebehandlung von keramischen Körpern keineswegs vereinbar erscheinen. Trotzdem hat sich gezeigt, daß die Rohre bei der erfindungsgemäßen Behandlung, obwohl hierbei eine lokale Erhitzung eines im Vergleich zur Rohrlänge kurzen Bereichs eintritt, in keiner Weise geschädigt werden und daß auch entgegen den Erwartungen Dickenunterschiede des abgeschiedenen Metallüberzuges in den einzelnen Phasen des Vorganges mit Sicherheit ausgeschlossen werden können.
  • Nach neueren Vorschlägen werden bei den obenerwähnten katalytischen Verfahren, etwa der Blausäurebildung, verhältnismäßig enge Reaktionsrohre in größerer Zahl zu Rohrbündeln zusammengefaßt, so daß verhältnismäßig große Reaktionsflächen geschaffen werden, ohne die Vorteile der als günstig erkannten Abmessungen der Einzelrohre aufgeben zu müssen. Derartige Rohrbündel werden in bestimmter Anordnung in einem Haltekopf befestigt, der später mit dem gesamten Rohrbündel in den eigentlichen Reaktionsofen eingeführt wird. Wendet man das Verfahren der Erfindung an, so ergibt sich ein wesentlicher Vorteil dadurch, daß es nicht mehr erforderlich ist, jedes Rohr einzeln mit dem katalytischen Innenüberzug zu versehen; vielmehr kann man den kurzen Ofen durch eine Vielzahl von Heizöffnungen so ausgestalten, daß das Rohrbündel als Ganzes in ihn eingeführt bzw. in den Öffnungen bewegt werden kann, oder daß bei feststehenden bzw. in den Ofenkopf schon eingesetzten Rohrbündeln der Ofen entlang den mit dem Strom der flüchtigen Metallverbindungen beaufschlagten Rohrbündeln geführt werden kann. Es ist also möglich, die Gesamtzahl der Reaktionsrohre bereits in den Haltekopf zu montieren und dann das Rohrbündel gemeinsam und gleichmäßig im Innern mit der katalytisch wirkenden Metallschicht zu überziehen. Eine derartige Arbeitsweise bringt gerade bei der Verwendung empfindlicher keramischer Rohre erhebliche Erleichterungen und erhöht die Sicherheit bei der Vorbereitung solcher Rohreinsätze.
  • Es wurde schcn erwähnt, daß der Abscheidung von ;Metallen der Platingruppe für viele Zwecke besondere Bedeutung zukommt, da diese Metalle zu den am häufigsten verwendeten Katalysatoren gehören. Man verfährt z. B. zur Erzeugung von Platinüberzügen so, daß durch das zu überziehende Rohr Platincarbonylchlorid hindurchgeleitet und das Rohr auf Temperaturen zwischen 200 und 500° C indirekt erhitzt wird, wobei in der jeweils heißen Zone des Rohres ein zusammenhängender Überzug von Platin sich festhaftend an der Rohrwand abscheidet. Zweckmäßig wird man den Platincarbonylchloriddampf mit Kohlenoxyd verdünnen bzw. Kohlenoxyd als Traggas für den Dampf verwenden. Auch kann zur Erleichterung der Abscheidung bzw. Reaktion dem Gas-Dampf-Gemisch noch Wasserstoff zugesetzt werden. Sofern dabei nicht der gesamte Platingehalt des Carbonylchlorides zur Abscheidung gelangt, läßt sich das überschüssige Platin aus den das Rohr verlassenden Gasen in einfacher Weise zurückgewinnen.
  • Auch wenn Überzüge aus Gemischen oder Legierungen von Platinmetallen benötigt werden, läßt sich das Verfahren der Erfindung mit Vorteil anwenden, indem ein Gemisch von Carbonylchloriden der Platinmetalle oder mehrere solcher Carbonyle nacheinander in den Rohren umgesetzt werden. In ähnlicher Weise lassen sich selbstverständlich auch Unedelmetallüberzüge herstellen oder Überzüge, die Edelmetalle und Unedelmetalle in Mischung enthalten. Für die mehrfach erwähnte Blausäuresynthese hat sich beispielsweise ein Platinkatalysator als sehr vorteilhaft erwiesen, der noch geringe Mengen an Aluminium enthält. Um derartige katalytische Überzüge zu erzeugen, kann man entweder so verfahren, daß dem Platincarbonylchlorid noch flüchtige Aluminiumverbindungen, die ebenfalls unter Zersetzung metallisches Aluminium bilden, beigegeben werden, oder aber daß das Rohr zunächst mit Platincarbonylchlorid und dann mit einer flüchtigen Aluminiumverbindung behandelt wird. Als Aluminiumverbindungen kommen besonders die Alumniumalkyle, wie Aluminiumtributyl oder Aluminiumtripropyl, in Betracht, die uniersetzt flüchtig sind und bei höheren Temperaturen Aluminium in reiner Form abscheiden.
  • Obwohl das Verfahren der Erfindung vorstehend im wesentlichen für die Innenauskleidung von Rohren beschrieben und erläutert wurde, ist es nicht unbedingt auf diesen Anwendungszweck beschränkt. Man kann in. entsprechender Weise auch auf die Außenseite eines Rohres Metallüberzüge aufbringen, wenn man das zu überziehende Rohr in ein weiteres Rohr gasdicht einführt und in den so entstandenen Mantelraum den Dampf der Metallverbindung einleitet, wobei das Rohrsystem von außen durch einen kurzen Ofen auf Zersetzungstemperatur erhitzt wird.
  • Da für die Zersetzung der durch die Rohre geführten flüchtigen Metallverbindungen in den meisten Fällen Temperaturen zwischen etwa 200 und etwa 500° C genügen, kann der relativ zum Rohr bewegte Zersetzungsofen in beliebiger Weise beheizt werden. Vielfach wird es ausreichen, einen verhältnismäßig flachen Kupferblock mit einer der Rohrzahl entsprechenden Anzahl von Bohrungen zu versehen und den Block in an sich bekannter Weise durch elektrische Beheizung, durch durchgeleiteten überhitzten Dampf, durch Anbringung von Heizkörpern oder durch Heizöl auf die gewünschte Temperatur zu bringen. Auch Gasbeheizung ist selbstverständlich für diese Zwecke möglich.

Claims (1)

  1. PATENTANSPRÜCHE: 1. Verfahren zum Abscheiden von Metallschichten in Rohren aus keramischem Werkstoff aus in der Wärme leicht zersetzlichen flüchtigen Metallverbindungen durch Erwärmung der Rohre auf die Zersetzungstemperatur der Metallverbindung mittels eines das Rohr umgebenden Ofens, dadurch gekennzeichnet, daß die Dämpfe der Metallverbindung, gegebenenfalls mit einem Trägergas, insbesondere mit einem reduzierenden Gas, z. B. Wasserstoff, durch die Rohre geleitet werden und die Zersetzung der flüchtigen Verbindung im Rohr zonenweise durch Relativbewegung zwischen Rohr und dem im Vergleich zur Rohrlänge kurzen Ofen erfolgt: 2. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß Bündel aus nebeneinander angeordneten Rohren durch einen im Verhältnis zur Rohrlänge kurzen beweglichen Ofen mit einer der Rohrzahl entsprechenden Anzahl von Heizöffnungen erhitzt werden. 3. Verfahren nach Ansprüchen 1 und 2, dadurch gekennzeichnet, daß als Metallverbindung Carbonylchloride von Metallen der Platingruppe, insbesondere Platin, gegebenenfalls im Gemisch mit Alkylen von Unedelmetallen, verwendet werden. In Betracht gezogene Druckschriften: Deutsche Patentschrift Nr. 593 931.
DED22301A 1956-02-11 1956-02-11 Verfahren zum Abscheiden von Metallschichten in Rohren aus keramischem Werkstoff Pending DE1085393B (de)

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