DE10355068A1 - Integriertes Schaltkreispackage mit vergrößerter Chip-Klebefläche - Google Patents
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Abstract
Es wird ein Herstellungsverfahren mit vergrößerter effektiver Chip-Klebefläche offenbart. Eine flüssige A-Zustandspaste (121) wird auf ein Substrat (110) aufgebracht und zu einer B-Zustandsfilmschicht (122) teilweise ausgehärtet. Die B-Zustandsfilmschicht (122) wird während eines Chip-Befestigungsschritts und eines elektrischen Verbindungsschritts aufrechterhalten, ohne dabei vollständig auszuhärten. Während eines Einformens ist der Zusammenpressdruck für das entsprechende Kapselmaterial (150) größer (6,89 x 106 bis 10,34 x 106 Pa bzw. 1000 bis 1500 psi) als der Chip-Befestigungsdruck. Hierdurch wird die B-Zustandsfilmschicht (122) dünn zusammengedrückt und die effektive Chip-Klebefläche vergrößert. Die B-Zustandsfilmschicht (122) und das Kapselmaterial (150) werden beim Einformen gleichzeitig ausgehärtet.
Description
- Gebiet der Erfindung
- Die Erfindung bezieht sich auf ein Verfahren zur Herstellung eines integrierten Schaltkreispackages und insbesondere auf ein Verfahren zur Herstellung eines solchen Packages (Pakets) zur Verbesserung der effektiven Chip-Klebefläche unter Verwendung einer B-Zustandsfilmschicht als Chip-Klebematerial.
- Eine gebräuchliche Technik besteht darin, ein B-Zustandsmaterial als Chip-Klebematerial zu verwenden, wie dies in dem taiwanesischen Patent Nr. 455,970 mit dem Titel "Multi-Chip Stacked Package" offenbart wird. Das herkömmliche B-Zustandsmaterial wird dazu verwendet, zwei Chips miteinander zu verbinden. Es verursacht keine Spannungen zwischen den Chips, da diese den gleichen Wärmekoeffizienten besitzen. Zudem ist das B-Zustandsmaterial in einem Verbund abgedichtet, so dass die Adhesivkraft des B-Zustandsmaterials nicht stark beansprucht wird.
- Wird ein B-Zustandsmaterial unmittelbar dazu eingesetzt, um einen Chip
20 an einem Substrat eines integrierten Schaltkreispackages zu befestigen, so wird zunächst, wie in1 gezeigt, das B-Zustandsmaterial13 an einer Chip-Befestigungsfläche11 des Substrats10 aufgetragen. - Anschließend wird die Rückseite
23 des Chips20 gegen die Chip-Befestigungsfläche11 des Substrats10 gedrückt. Das B-Zustandsmaterial13 wird während des Zusammendrückens erhitzt, um eine vollausgehärtete C-Zustandsfilmschicht13 zu bilden, die den Chip20 während des Chip-Befestigungsschritts an dem Substrat10 festlegt. Die C-Zustandsfilmschicht13 erfährt keine Veränderung ihrer physikalischen Eigenschaften bzw. ihres Zustands oder chemische Reaktionen im nachfolgenden Prozess wie z. B. einem Einkapseln. Haftdrähte30 , die durch ein Drahtklebe- oder -löttechnik gebildet werden, verbinden Anschlussmarken21 an der aktiven Oberfläche22 des Chips20 mit entsprechenden Marken12 des Substrats10 , worauf hin der Gusseinkapselungsschritt folgt. Da das B-Zustandsmaterial13 durch eine Drucktechnik oder eine andere Flüssigspendetechnik aufgebracht wird, ist die Befestigungsfläche nicht vollständig eben, so dass der Chip20 und das Substrat10 durch den Anpressdruck nicht vollständig verbunden werden. Hierdurch kann sehr leicht ein Popkorn-Defekt entstehen, wenn ein Zuverlässigkeitstest wie beispielsweise ein Feuchtigkeitstest oder ein Einbrenntest nach dem Zusammenpacken vorgenommen wird. Wird nämlich der Chip20 vor dem Einkapseln in einem Test von dem Substrat10 entfernt, so zeigt sich, dass die C-Zustandsfilmschicht13 an dem Substrat10 eine geringe effektive Chip-Klebefläche von lediglich etwa 50 Prozent in bezug auf die insgesamt mögliche Chip-Befestigungsfläche an dem Substrat10 aufweist. Zum Teil liegt diese sogar unter 30 Prozent, wie dies in2 gezeigt is. Aus diesem Grund ist die C-Zustandsfilmschicht13 , die in dem Chip-Befestigungsschritt des herkömmlichen Verfahrens gebildet wird, nicht ausreichend gut genug, um den Chip20 und das Substrat10 miteinander zu verbinden, da hierbei Hohlräume und Lücken zwischen dem Chip20 und dem Substrat10 verbleiben. - Aufgabe der Erfindung ist es, hier Abhilfe zu schaffen. Diese Aufgabe wird durch die in den Patentansprüchen angegebenen Verfahren gelöst.
- Gemäß der Erfindung wird ein Verfahren zur Herstellung eines Packages mit einem integrierten Schaltkreis vorgeschlagen, bei dem eine verbesserte effektive Chip-Klebefläche erzielt werden. Hierbei wird ein Chip-Klebematerial an einem Substrat als B-Zustandsfilmschicht aufrechterhalten, um den Chip anzukleben, und zwar während eines Chip-Befestigungsschritts sowie eines elektrischen Verbindungsschritts. Anschließend wird eine Kapselung auf dem Substrat vorgesehen. Da der Zusammenpressdruck für die Kapsel größer ist, als der Chip-Anpressdruck, kann die B-Zustandsfilmschicht sich zusätzlich enger mit dem Chip verbinden, so dass in dem Kapselungsschritt die effektive Chip-Befestigungsfläche vergrößert wird.
- Gemäß einem zweiten Ziel der Erfindung wird ein Zusammenpackverfahren geschaffen, dass eine B-Zustandsfilmschicht als Chip-Klebematerial verwendet. Die B-Zustandsschicht verbindet den Chip und das Substrat eng miteinander. Da die B-Zustandsfilmschicht eine Glasübergangstemperatur (Tg) aufweist, die kleiner ist, als die Chip-Befestigungstemperatur und weiterhin eine Aushärtetemperatur, die kleiner ist, als die Aushärtetemperatur des Kapselmaterials, kann die B-Zustandsfilmschicht zwischen dem Chip und dem Substrat dünn zusammengedrückt werden, wobei Lücken und Hohlräume in dem Kapselungsschritt vermindert oder entfernt werden.
- Gemäß der Erfindung umfasst ein Zusammenpackverfahren zur Verbesserung der effektiven Chip-Klebefläche eine Vielzahl von Schritten wie folgt: Der erste Schritt besteht darin, ein Substrat mit einer Chip-Befestigungsfläche zu schaffen. Als nächstes wird eine flüssige Paste im A-Zustand, welche ein aushärtbares Material und ein Lösungsmittel enthält, auf die Chip-Befestigungsfläche des Substrats aufgebracht. Nachfolgend wird das Substrat erhitzt, um das Lösungsmittel aus der flüssigen A-Zustandspaste auszutreiben, so dass diese in eine trockene B-Zustandsfilmschicht überführt wird, ohne vollständig auszuhärten. Ein Chip wird an der Chip-Befestigungsfläche des Substrats durch Adhäsion der B-Zustandsfilmschicht befestigt, wobei allerdings die B-Zustandsfilmschicht während des Chip-Befestigungsschritts nicht vollständig aushärtet. Der Chip wird dann elektrisch mit dem die B-Zustandsfilmschicht aufweisenden Substrat verbunden. Schließlich wird eine Kapsel in einem Kapselungsschritt gefertigt. Während dieses Kapselungsschritts ist die B-Zustandsfilmschicht aktiv. Der Zusammenpressdruck für die Kapsel beträgt in etwa 1000 bis 1500 psi (6,89 × 106 bis 10,34 × 106 Pa) und ist damit größer, als der Chip-Anpressdruck, so dass die B-Zustandsfilmschicht enger zusammengedrückt wird und sich mit dem Chip vereinigt, um die effektive Chip-Klebefläche zu vergrößern. Vorzugsweise ist die Heiztemperatur in dem Kapselungsschritt etwa 150°C bis 200°C höher als die Temperatur zum vollen Aushärten der B-Zustandsfilmschicht, so dass die B-Zustandsfilmschicht und die Kapsel gleichzeitig aushärten.
- Beschreibung der Figuren
-
1 zeigt eine Querschnittsansicht eines Substrats mit einem an diesem angebrachten Chip, der in einem herkömmlichen Zusammenpackenverfahren für integrierte Schaltkreise befestigt worden ist. -
2 zeigt ein Foto der effektiven Chip-Klebefläche an dem Substrat in dem herkömmlichen integrierten Schaltkreispackage. -
3 zeigt ein Ablaufdiagramm für ein Zusammenpackverfahren zur Erhöhung der effektiven Chip-Klebefläche gemäß einem Ausführungsbeispiel der vorliegenden Erfindung. -
4A bis4F zeigt jeweils eine Querschnittsansicht des Substrats während des Zusammenpackverfahrens gemäß dem Ausführungsbeispiel der vorliegenden Erfindung. -
5 zeigt eine Querschnittsansicht des Packages mit einem integrierten Schaltkreis, das in dem Zusammenpackverfahrens gemäß dem Ausführungsbeispiel der vorliegenden Erfindung hergestellt worden ist. -
6 zeigt in eine Querschnittsansicht eines Substrats mit einem befestigten Chip in einer Form gemäß einem Ausführungsbeispiel der vorliegenden Erfindung. - Detaillierte Beschreibung der vorliegenden Erfindung
- Die vorliegende Erfindung wird nachfolgend anhand der in der Zeichnung dargestellten Ausführungsbeispiele näher erläutert.
- Gemäß einem Ausführungsbeispiel der vorliegenden Erfindung umfasst das Zusammenpackverfahren zur Erhöhung der effektiven Chip-Klebefläche die in
3 dargestellten Schritte. - Wie in den
3 und4A gezeigt, besteht der erste Schritt 101 darin, ein Substrat110 zu schaffen wobei dieses Substrat110 ein Substrat mit einer hohen Leitungsdicht für integrierte Schaltkreispackages ist, wie beispielsweise eine gedruckt BT-Schaltkreisplatine, eine Dünnfilmleiterplatte und oder ein TAB-Band. In das Substrat110 weist eine Chip-Befestigungsfläche111 sowie eine Vielzahl von Anschlussmarken112 (oder -Litzen) an der Chip-Befestigungsfläche111 zu elektrischen Verbindung mit dem Chip130 auf. Die Anordnung der Anschlussmarken112 ist nicht auf das Ausführungsbeispiel beschränkt; vielmehr können die Anschlußmarken112 beispielsweise auch an der anderen Seite des Substrats110 vorgesehen sein. Bevorzugt ist die andere Fläche des Substrats110 , die mit der Chip-Befestigungsfläche111 korrespondiert, eine Bestückungsfläche113 , die elektrisch mit der Chip-Befestigungsfläche111 über Durchgangsleitungen verbunden ist. - Als nächstes wird, wie in den
3 und4B gezeigt, ein Applikationsschritt102 ausgeführt. Dabei wird eine flüssige A-Zustandspaste121 auf die Chip-Befestigungsfläche111 des Substrats110 aufgebracht und als Chip-Klebematerial verwendet. Die flüssige A-Zustandspaste121 kann in einem Flüssigkeitsbeschichtungsverfahren aufgebracht werden, beispielsweise durch Bedrucken, Siebdruck, Schablonendruck, ein Sprühverfahren, Schleuderbeschichten oder ein Tauchverfahren. In dem dargestellten Ausführungsbeispiel wird die flüssige A-Zustandspaste121 durch ein Siebdruckverfahren aufgebracht, ohne dass hierbei die Anschlussmarken112 bedeckt werden. Die flüssige A-Zustandspaste121 weist in mehreren Zuständen aushärtende Kunststoffe wie Polyimid, Polyquinolin und Benzocyclobuten und ein Lösungsmittel auf, das die vorstehend genannten Aushärtbahren Kunststoffe löst, wie beispielsweise ein Lösungsmittelgemisch aus Butyrolacton und Cyclopentanon oder 1, 3, 5 Mesitylen. Die Glasübergangstemperatur (Tg) der flüssigen A-Zustandpaste121 soll zwischen – 40°C und 10°C liegen. - Als nächstes wird, wie in den
3 und4C gezeigt, ein Heizschritt103 ausgeführt. Dabei wird das Substrat110 auf die Voraushärtetemperatur der flüssigen A-Zustandpaste121 erhitzt. Das Lösungsmittel der flüssigen A-Zustandspaste121 wird durch Erwärmung, Vakuumstrocknung oder UV-Strahlung entfernt, so dass die A-Zustandspaste121 in eine trockene, adhesive B-Zustandsfilmschicht121 umgewandelt wird. Diese B-Zustandsfilmschicht122 ist thermoplastisch und weist Aushärteigenschaften auf; sie wird üblicherweise als "Prepreg" bezeichnet. Die B-Zustandsfilmschicht122 besitzt eine Glasübergangstemperatur (Tg) und eine Vollaushärttemperatur. Die B-Zustandsfilmschicht122 ist aktiv und besitzt verschiedene Klebeeigenschaften bei verschiedenen Temperaturen. Die Glasübergangstemperatur (Tg) der B-Zustandsfilmschicht122 liegt in etwa zwischen –10°C und 100°C, vorzugsweise zwischen 35°C und 70°C. Besitzt die B-Zustandsfilmschicht122 eine Temperatur, die höher ist, als die Glasübergangstemperatur (TG) der B-Zustandsfilmschicht122 , jedoch geringer als die Vollaushärttemperatur, so wird die B-Zustandsfilmschicht122 viskos und adhesiv zur Befestigung eines Chips. Besitzt die B-Zustandsfilmschicht122 auf dem Substrat110 eine Temperatur unterhalb der Glasübergangstemperatur an der B-Zustandsfilmschicht122 (etwa kleiner 35°C), beispielsweise Raumtemperatur, so wird die B-Zustandsfilmschicht122 zu einem trockenen, nicht-adhesiven Film, so dass das Substrat110 gut transportiert oder gelagert werden kann. Die Vollaushärttemperatur der B-Zustandsfilmschicht122 liegt bei etwa 175°C nahe der Formgebungstemperatur in dem Kapselungsschritt106 . - Anschließend wird der in den
3 und4D dargestellte Chip-Befestigungsschritt104 ausgeführt. Dabei wird ein Chip130 an der Chip-Befestigungsfläche111 des Substrats110 bei erhöhter Temperatur und erhöhtem Druck angebracht, wobei die Temperatur zur Befestigung des Chips130 höher ist, als die Glasübergangstemperatur der B-Zustandsfilmschicht122 . Die B-Zustandsfilmschicht122 wird dabei adhesiv, um den Chip130 mit dem Substrat110 zu verkleben. Bei dem dargestellten Ausführungsbeispiel wird die Rückseite123 des Chips120 mit der Chip-Befestigungsfläche111 des Substrats110 mittels der B-Zustandsfilmschicht122 verklebt. Eine Vielzahl von Anschlussmarken131 befinden sich an der aktiven Seite 132 des Chips130 . Während des Chip-Befestigungsschritts104 und des elektrischen Verbindungsschritts105 ist es wichtig, dass die B-Zustandsfilmschicht122 in einem teilweise ausgehärteten Zustand gehalten wird, ohne dabei vollständig auszuhärten. - Danach wird, wie in den
3 und4E gezeigt, der elektrische Verbindungsschritt105 ausgeführt. Hierbei werden die Anschlussmarken131 des Chips130 elektrisch mit den Anschlussmarken112 des Substrats110 über Metalldrähte140 verbunden, die in einem Drahtklebeverfahren gebildet werden. Zu diesem Zeitpunkt wird die B-Zustandsfilmschicht122 in einem nicht vollständig ausgehärteten Zustand gehalten. Alternativ können auch automatisierten Verfahren wie zum Beispiel TAB (tape automated bonding) oder herkömmliche Techniken wie Löten, etc. für die elektrische Verbindung eingesetzt werden. - Schließlich wird, wie in den
3 und4F gezeigt, der Kapselungsschritt106 ausgeführt. Der Kapselungsschritt106 umfasst einen Füll-Teilschritt und einen Zusammenpress-Teilschritt zur Anformung einer Kapsel150 an dem Substrat110 mittels Formwerkzeugen151 und152 . In dem Füll-Teilschritt wird das Substrat110 mit dem applizierten Chip130 und der B-Zustandsfilmschicht122 in den Formhohlraum zwischen dem oberen Formwerkzeug151 und dem unteren Formwerkzeug152 eingebracht. Anschließend wird ein Kapselmaterial150 unter einem Fülldruck in den Formhohlraum eingefüllt, bis über 80 Volumenprozent des Formhohlraums ausgefüllt sind. Das Kapselmaterial150 enthält aushärtbaren Kunststoff, einen Härter, Silikatfüllmaterial, Entformungswachs und einige Farbstoffe. In dem Zusammenpress-Teilschritt wird an dem Kapselmaterial150 innerhalb des Formhohlraums ein Zusammenpressdruck erzeugt, der größer ist, als der Fülldruck, so dass Hohlräume in dem Kapselmaterial150 und in der B-Zustandsfilmschicht122 entfernt werden. Der Zusammenpressdruck ist etwa 1000 bis 1500 psi (6,89 × 106 bis 10,34 × 106 Pa) größer als der Chip-Anpressdruck in dem Chip-Befestigungsschritt104 . Nach Beendigung des Chip-Befestigungsschritts104 und des elektrischen Verbindungsschritts105 befindet sich die B-Zustandsfilmschicht122 immer noch in einem lediglich teilweise ausgehärteten Zustand und kann deswegen geeignet verformt werden. Die B-Zustandsfilmschicht122 wird unter dem hohen Zusammenpressdruck für das Kapselmaterial150 zusammengedrückt, so dass Hohlräume und Lücken innerhalb der B-Zustandsfilmschicht122 entfernt werden, um die effektive Chip-Klebefläche zwischen dem Chip130 und dem Substrat110 zu erhöhen. Vorzugsweise beträgt die Heiztemperatur in dem Kapselungsschritt106 zum Aushärten des Kapselmaterials150 etwa 150°C bis 200°C, welche der Vollaushärttemperatur des Kapselmaterials150 entspricht, so dass die B-Zustandsfilmschicht122 und das Kapselmaterial150 gleichzeitig ausgehärtet werden. Nach dem Kapselungsschritt106 wird die B-Zustandsfilmschicht122 in eine C-Zustandsfilmschicht123 umgewandelt (vgl.5 ), die eine stabile Befestigungsfilmschicht ist. In diesem Ausführungsbeispiel folgt dem Kapselungsschritt106 ein weiterer Schritt, mit dem eine Vielzahl von Lötkugeln160 an der Bestückungsfläche113 des Substrats110 angebracht werden. Anschließend wird das Substrat würfelartig zerteilt und getrennt, um ein Kugelgittermusterpackage (BGA: ball grid array) mit exzellenter Zuverlässigkeit zu bilden. - Das Zusammenpackverfahren zur Vergrößerung der effektiven Chip-Klebefläche gemäß der vorliegenden Erfindung eignet sich für unterschiedliche Packages, insbesondere für Packages in der Größenordnung eines Chips, d. h. sogenannte "Chip scale packages" (CSP). Die B-Zustandsfilmschicht
122 kontaminiert dabei nicht die Anschlussmarken112 des Substrats110 , so dass die Anschlussmarken112 nahe an dem Chip130 angeordnet werden können. In vorteilhafter Ausgestaltung sind daher nach dem Zerteilen des Substrats110 in separate integrierte Schaltkreispackages die Chip-Befestigungsflächen111 des Substrats110 nicht größer, als das 1,5-fache der aktiven Oberfläche132 des Chips130 , so dass sich Packages in der Größenordnung eines Chips (CSP) ergeben. - Das Zusammenpackverfahren zur Erhöhung der effektiven Chip-Klebefläche gemäß der Erfindung kann auch für andere Packages verwendet werden.
6 zeigt ein Substrat210 mit einem Fenster214 , wobei eine B-Zustandsfilmschicht222 auf eine Chip-Befestigungsfläche211 des Substrats210 gedruckt ist, um die aktive Fläche232 des Chips230 anzukleben. Die B-Zustandsfilmschicht222 besitzt einen Beschichtungsbereich, der größer ist, als die aktive Oberfläche232 des Chips230 . Weiterhin sind Anschlussmarken231 an der aktiven Oberfläche232 des Chips230 ausgebildet. Die aktive Oberfläche232 des Chips230 ist derart an der Chip-Befestigungsfläche211 des Substrats210 angebracht, dass die Anschlussmarken231 über das Fenster214 zugänglich sind. Die Anschlussmarken231 des Chips230 sind elektrisch mit den Anschlussmarken212 des Substrats210 über Haftleitungen240 verbunden. Die B-Zustandsfilmschicht222 ist während des Chip-Befestigungsschritts104 und des elektrischen Verbindungsschritts105 noch nicht vollständig ausgehärtet. Wenn das Substrat210 zwischen einem oberen Formwerkzeug251 und einem unteren Formwerkzeug250 aufgenommen wird, sorgt der Zusammenpressdruck für das Kapselmaterial250 auch dafür, das die B-Zustandsfilmschicht222 dünn zusammengedrückt wird, um die effektive Chip-Klebefläche zu vergrößern. - Verallgemeinert ergibt sich ein Herstellungsverfahren mit vergrößerter effektiver Chip-Klebefläche. Eine flüssige A-Zustandspaste
121 wird auf ein Substrat110 aufgebracht und zu einer B-Zustandsfilmschicht122 teilweise ausgehärtet. Die B-Zustandsfilmschicht122 wird während eines Chip-Befestigungsschritts und eines elektrischen Verbindungsschrittes aufrechterhalten, ohne dabei vollständig auszuhärten. Während eines Einformens ist der Zusammenpressdruck für das entsprechende Kapselmaterial150 größer 1000 bis 1500 psi (6,89 × 106 bis 10,34 × 106 Pa), als der Chip-Befestigungsdruck. Hierdurch wird B-Zustandsfilmschicht122 dünn zusammengedrückt und die effektive Chip-Klebefläche vergrößert. Die B-Zustandsfilmschicht122 und das Kapselmaterial150 werden beim Einformen gleichzeitig ausgehärtet. - Die vorstehend erläuterten Ausführungsbeispiele dienen dazu, die Erfindung zu veranschaulichen. Eine Beschränkung ist hiermit nicht verbunden. Weiterer Ausgestaltungen ergeben sich für den Fachmann ohne weiteres anhand der beigefügten Patentansprüche.
Claims (18)
- Verfahren zur Herstellung eines integrierten Schaltkreispackages, umfassend: – Schaffung eines Substrats (
110 ,210 ) mit einer Chip-Befestigungsfläche (111 ,211 ); – Applikation einer flüssigen A-Zustandspaste (121 ) an der Chip-Befestigungsfläche (111 ,211 ) des Substrats (110 ,210 ), wobei die flüssige A-Zustandspaste (121 ) ein thermisch aushärtbares Material und ein Lösungsmittel enthält; – Heizen des Substrats (110 ,210 ) zum Austreiben des Lösungsmittel aus der flüssigen A-Zustandspaste (121 ) und Umwandeln der flüssigen A-Zustandspaste (121 ) in eine trockene B-Zustandsfilmschicht (122 ,222 ); – Anbringung eines Chips (130 ,230 ) an der Chip-Befestigungsfläche (111 ,211 ) des Substrats (110 ,210 ) mittels der B-Zustandsfilmschicht (122 ,222 ), wobei die B-Zustandsschicht (122 ,222 ) in einem nicht-vollausgehärteten Zustand aktiv ist; – elektrische Verbindung des Chips (130 ,230 ) mit dem mit der B-Zustandsfilmschicht (122 ,222 ) versehenen Substrat (110 ,210 ); – Formung von Kapselmaterial (150 ) an der Chip-Befestigungsfläche (111 ,211 ) des Substrats (111 ,211 ), wobei der Zusammenpressdruck für das Kapselmaterial (150 ) größer ist, als der Chip-Anpressdruck, derart, dass die B-Zustandsfilmschicht (122 ,222 ) weiter mit dem Chip (130 ,230 ) verklebt, wobei die effektive Chip-Klebefläche vergrößert wird. - Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass der Zusammenpressdruck bei der Formung des Kapselmaterials (
150 ) 6,89 × 106 bis 10,34 × 106 Pa bzw. 1000 bis 1500 psi beträgt. - Verfahren nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, dass die Temperatur während der Formung des Kapselmaterials (
150 ) 150°C bis 200°C beträgt und die B-Zustandsfilmschicht (122 ,222 ) dabei in eine C-Zustandsfilmschicht (123 ) umgewandelt wird. - Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, dass die Temperatur bei der Formung des Kapselmaterial (
150 ) höher ist, als die Temperatur in dem Heizschritt des Substrats (110 ,210 ). - Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 4, dadurch gekennzeichnet, dass die B-Zustandsfilmschicht (
122 ,222 ) eine Glasübergangstemperatur größer als –10 Grad Celsius aufweist. - Verfahren nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, dass die Chip-Befestigungstemperatur größer ist, als die Glasübergangstemperatur der B-Zustandsfilmschicht (
122 ,222 ). - Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 6, dadurch gekennzeichnet, dass die flüssige A-Zustandpaste (
121 ) durch Drucken, insbesondere Siebdruck oder Schablonendruck, ein Sprühverfahren, Schleuderbeschichten oder ein Tauchverfahren aufgebracht wird. - Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 7, dadurch gekennzeichnet, dass die B-Zustandsfilmschicht (
122 ,222 ) mit der Rückseite (123 ) des Chips (130 ) verklebt wird. - Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 8, dadurch gekennzeichnet, dass B-Zustandsfilmschicht (
122 ,222 ) mit der aktiven Oberfläche (232 ) des Chips (230 ) verklebt wird. - Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 9, dadurch gekennzeichnet, dass die B-Zustandsfilmschicht (
122 ,222 ) und das Kapselmaterial (150 ) gleichzeitig während des Formungsschritts des Kapselmaterials (150 ) ausgehärtet werden. - Verfahren zur Herstellung eines integrierten Schaltkreispackages, umfassend: – Schaffung eines Substrats (
110 ,210 ) mit einer Chip-Befestigungsfläche (111 ,211 ); – Applikation einer flüssigen A-Zustandspaste (121 ) an der Chip-Befestigungsfläche (111 ,211 ) des Substrats (110 ,210 ); – Heizen des Substrats (110 ,210 ) zum Umwandeln der flüssigen A-Zustandspaste (121 ) in eine B-Zustandsfilmschicht (122 ,222 ), wobei die B-Zustandsfilmschicht (122 ,222 ) eine Glasübergangstemperatur (Tg) besitzt; – Anbringung eines Chips (130 ,230 ) an der Chip-Befestigungsfläche (111 ,211 ) des Substrats (110 ,210 ), wobei das Substrat (110 ,210 ) über die Glasübergangstemperatur (Tg) der B-Zustandsfilmschicht (122 ,222 ) erhitzt wird, derart, dass die B-Zustandsschicht (122 ,222 ) für das Substrat (110 ,210 ) und dem Chip (130 ,230 ) adhesiv wird und in einem nichtvollausgehärteten Zustand aktiv ist; – elektrische Verbindung des Chips (130 ,230 ) mit dem mit der B-Zustandsfilmschicht (122 ,222 ) versehenen Substrat (110 ,210 ); – Formung von Kapselmaterial (150 ) an der Chip-Befestigungsfläche (111 ,211 ) des Substrats (111 ,211 ), wobei der Zusammenpressdruck für das Kapselmaterial (150 ) größer ist, als der Chip-Anpressdruck, derart, dass die B-Zustandsfilmschicht (122 ,222 ) weiter mit dem Chip (130 ,230 ) verklebt, wobei die effektive Chip-Klebefläche vergrößert wird. - Verfahren nach Anspruch 11, dadurch gekennzeichnet, dass der Zusammenpressdruck bei der Formung des Kapselmaterials (
150 ) 6,89 × 106 bis 10,34 × 106 Pa bzw. 1000 bis 1500 psi beträgt. - Verfahren nach Anspruch 11 oder 12, dadurch gekennzeichnet, dass die B-Zustandsfilmschicht (
122 ,222 ) und das Kapselmaterial (150 ) gleichzeitig während des Formungsschritts des Kapselmaterials (150 ) ausgehärtet werden. - Verfahren nach einem der Ansprüche 11 bis 13, dadurch gekennzeichnet, dass die Temperatur während der Formung des Kapselmaterials (
150 ) 150°C bis 200°C beträgt und die B-Zustandsfilmschicht (122 ,222 ) dabei in eine C-Zustandsfilmschicht (123 ) umgewandelt wird. - Verfahren nach einem der Ansprüche 11 bis 14, dadurch gekennzeichnet, dass die Glasübergangstemperatur der B-Zustandsfilmschicht (
122 ,222 ) größer als –10°C ist. - Verfahren nach einem der Ansprüche 11 bis 15, dadurch gekennzeichnet, dass die Chip-Befestigungsfläche (
111 ,211 ) des Substrats (111 ,210 ) weniger als das 1,5-fache der aktiven Oberfläche (132 ,232 ) des Chips (130 ,230 ) beträgt. - Verfahren zur Herstellung eines integrierten Schaltkreispackages, umfassend: – Schaffung eines Substrats (
110 ,210 ) mit einer Chip-Befestigungsfläche (111 ,211 ); – Aufdrucken eines Chip-Klebematerials (121 ) auf die Chip-Befestigungsfläche (111 ,211 ) des Substrats (110 ,210 ); – Teilaushärten des Chip-Klebematerials (121 ) auf dem Substrat (110 ,210 ) in einen B-Zustand; – Anbringung eines Chips (130 ,230 ) an der Chip-Befestigungsfläche (111 ,211 ) mittels des Chip-Klebematerials (121 ); – elektrische Verbindung des Chips (130 ,230 ) mit dem Substrat (110 ,210 ), das mit dem Chip-Klebematerial (121 ) im B-Zustand versehen ist; – Formung eines Kapselmaterials (150 ) und vollständiges Aushärten des Chip-Klebematerials (121 ) an dem Substrat (111 ,211 ) unter Umwandlung in einen C-Zustand. - Verfahren nach Anspruch 17, dadurch gekennzeichnet, dass das Chip-Klebematerials (
121 ) eine Glasübergangstemperatur größer als –10°C aufweist.
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