DE1029221B - Secondary radiation diaphragm for X-ray exposures - Google Patents

Description

Sekundärstrahlenblende für Röntgenaufnahmen Die Erfindung bezieht sich auf Sekundärstrahleiiblenden für Röntgenaufnahmen, wie sie auch unter dem Namen »Bucky-Blenden« bekannt sind und zur Verbesserung der Bildschärfe bei Röntgenaufnahmen benutzt werden. Insbesondere betrifft die Erfindung eine Verbesserung von Sekundärstrahlenblenden aus photoempfindlichem Glas, wie sie in der deutschen Patentschrift 966890 beschrieben sind.Secondary radiation diaphragm for x-ray exposures The invention relates to secondary radiation diaphragms for x-ray exposures, as they are also known under the name "bucky diaphragms" and are used to improve the image sharpness in x-ray exposures. In particular, the invention relates to an improvement in secondary radiation diaphragms made of photosensitive glass, as described in German patent specification 966890 .

Die erstmals von Gustav Bucky vorgeschlagenen Sekundärstrahlenblenden für Röntgenaufnahmen finden allgemein Verwendung, um Röntgenbilder größerer Schärfe und Klarheit zu erhalten. Die bisher bekannten Blenden bestehen im allgemeinen aus streifenförmigen, dünnen, für Röntgenstrahlen undurchlässigen Metallfolien und dazwischenliegenden dünnen Lagen aus Holz oder einem anderen Röntgenstrahlen durchlässigen Material. Dabei müssen die undurchlässigen Metallfolien, die mit den Röntgenstrahlen durchlässigen Schichten zu einer kompakten Platte zusammengesetzt sind, genau in Richtung der primären Strahlung liegen, damit diese auf den hinter der Blende liegenden Schirm oder Film gelangen kann. Die Herstellung dieser Blenden ist jedoch in Anbetracht der Schwierigkeit, die außerordentlich dünnen Metallfolien in genau, einzuhaltenden Winkellagen anzuordnen, sehr kostspielig.The secondary ray diaphragms first proposed by Gustav Bucky for x-rays are generally used to provide x-ray images with greater sharpness and get clarity. The previously known apertures generally consist of strip-shaped, thin, X-ray-opaque metal foils and intervening ones thin sheets of wood or other X-ray permeable material. In doing so, the impermeable metal foils that allow the X-rays to permeate Layers are assembled into a compact plate, precisely in the direction of the primary radiation, so that it hits the screen behind the screen or film can get. However, the manufacture of these diaphragms has to be taken into account the difficulty of precisely adhering to the extremely thin metal foils To arrange angular positions, very expensive.

In der ohengenannten deutschen Patentschrift ist ein Verfahren zur Herstellung von Sekundärstrahlenblenden für Röntgenaufnahmen vorgeschlagen worden, das darin besteht, daß eine durch Röntgenstrahlen oder ultraviolettes Licht hinsichtlich ihrer Löslichkeit in einer Säure beeinflußbare Glasplatte in derselben Entfernung, wie die Entfernung Antikathode-Schirm in der Röntgenanlage beträgt, durch eine Maske hindurch einer Belichtung seitens einer punktförmigen Quelle von Röntgenstrahlen oder ultraviolettem Licht ausgesetzt wird, das Glas sodann durch Wärmebehandlung an den belichteten Stellen kristallisiert und anschließend in einem Säurebad durch Ätzen entfernt wird und daß schließlich die entstandenen Hohlräume mit einem Röntgenstrahlen absorbierenden Material gefüllt werden.In the aforementioned German patent is a method for Manufacture of secondary beam diaphragms for X-ray exposures has been proposed, that is, one with respect to X-rays or ultraviolet light Glass plate that can be influenced by its solubility in an acid at the same distance, how the distance between the anticathode and the screen is in the X-ray system, through a mask through exposure from a point source of X-rays or to ultraviolet light, then heat treatment of the glass crystallized in the exposed areas and then passed through in an acid bath Etching is removed and that finally the resulting cavities with an X-ray absorbent material to be filled.

Glassorten, die nach Belieben mit ultravioletter Strahlung und anschließender Wärmebehandlung an den belichteten Stellen eine wesentlich größere Löslichkeit für gewisse Säuren besitzen, sind bekannt. Es ist auch bekannt, aus dünnen Scheiben dieses sogenannten »Photoglases« Viellochblenden für Farbfernsehwiedergaberöhren herzustellen, wobei die Belichtung mittels einer im Abstand des Ablenkzentrums angeordneten punktförmigen Lichtquelle durch eine Lochmaske hindurch erfolgt. Die bisher bekanntgewordenen Photogläser sind alle für Röntgenstrahlen durchlässig. Die erfindungsgemäße Sekundärstrahlenblende für Röntgenaufnahmen ist im Gegensatz dazu gekennzeichnet durch eine Scheibe aus an sich bekanntem, hinsichtlich seiner Löslichkeit in einer Säure durch Bestrahlung beeinflußbarem Glas (Photoglas), das jedoch einen Röntgenstrahlen absorbierenden Stoff enthält und in dem sich eine Vielzahl von feinen, alle auf einen Punkt gerichteten Kanälen befindet.Types of glass treated at will with ultraviolet radiation and subsequent Heat treatment in the exposed areas for a much greater solubility have certain acids are known. It is also known to be made from thin slices this so-called "photo glass" multi-hole diaphragms for color television display tubes produce, the exposure by means of a arranged at a distance from the deflection center point-shaped light source takes place through a shadow mask. The ones that have become known so far Photo glasses are all transparent to X-rays. The secondary beam diaphragm according to the invention for x-rays, in contrast, is characterized by a disk made of known per se, with regard to its solubility in an acid by irradiation Influenceable glass (photoglass), which, however, absorbs an X-ray Contains substance and in which there is a multitude of fine, all focused on one point Channels.

Das Herstellungsverfahren derartiger Blenden ist besonders einfach und billig. Die geätzten Lochkanäle können zur Erhöhung der Stabilität der Platte mit einem strahlendurchlässigen Material gefüllt werden. Die Lochkanäle lassen also die auffallenden Röntgenstrahlen durch; während die die Kanäle umgebenden Teile der ursprünglichen Glasplatte- Röntgenstrahlen absorbieren.The manufacturing process for such diaphragms is particularly simple and cheap. The etched hole channels can increase the stability of the plate be filled with a radiolucent material. So leave the perforated channels the incident X-rays through; while the parts surrounding the channels the original glass plate absorb X-rays.

Ein bevorzugtes Verfahren zur Herstellung einer erfindungsgemäßen Sekundärstrahlenblende besteht darin, daß eine Scheibe aus Röntgenstrahlen absorbierendem Photoglas seitens einer punktförmigen Strahlungsquelle, die sich in demselben Abstand von der Scheibe befindet, wie sie die Antikathode der Röntgenröhre von der Sekundärstrahlenblende bei der Röntgenaufnahme besitzt, durch eine Maske hindurch bestrahlt wird und daß anschließend das Glas an den belichteten Stellen durch Atzen in einem Säurebad entfernt wird. Die Maske oder Schablone kann dabei ein beliebiges, gewünschtes Muster besitzen. Die Erfindung soll nun an Ha- nd der Zeichnung näher erläutert werden, dabei bedeutet Fig. 1 eine schematische Darstellung einer Röntgenanlage mit einer erfindungsgemäßen Sekundärstrahlenblende, Fig. 2 die Schnittansicht einer nach dem erfindungsgemäßen Verfahren hergestellten Blende, Fig. 3 den Querschnitt durch einen Teil einer derartigen Blende im vergrößerten Maßstab, Fig. 4 und 5 zwei verschiedene Ausführungsformen der Blende in einem waagerechten Schnitt durch die Ebene 4-4 in Fig. 3, Fig.6 eine stark vergrößerte Schnittansicht eines Teiles der erfindungsgemäßen Sekundärstrahlenblende. Die in Fig. 1 dargestellte Röntgenanlage enthält eine Röntgenröhre 11 mit einer Antikathode 12, die eine angenähert punktförmige Strahlenquelle darstellt. von der das Röntgenstrahlenbüsche113 ausgeht. Der auf dem Objekttisch 14 liegende Körper 15 wird von den Strahlen durchsetzt, schließlich fallen die Strahlen nach Durchlaufen der Sekundärstrahlenblende 16 auf den in der Kassette 18 befindlichen Röntgenfilm 17.A preferred method of making one according to the invention Secondary radiation diaphragm consists of a disk made of X-ray absorbent Photoglass on the part of a point source of radiation that is at the same distance from the disk, as is the anticathode of the X-ray tube from the secondary radiation diaphragm possesses in the X-ray exposure, is irradiated through a mask and that then the glass at the exposed areas is removed by etching in an acid bath will. The mask or stencil can be used any desired Own pattern. The invention will now be explained in more detail with the aid of the drawing 1 means a schematic representation of an X-ray system with a secondary beam diaphragm according to the invention, FIG. 2 shows the sectional view of a Aperture manufactured according to the method according to the invention, FIG. 3 shows the cross section through part of such a diaphragm on an enlarged scale, Figs. 4 and 5 two different embodiments of the aperture in a horizontal section through the Line 4-4 in FIG. 3, FIG. 6 is a greatly enlarged sectional view of part of the Secondary ray diaphragm according to the invention. The X-ray system shown in FIG. 1 contains an X-ray tube 11 with an anticathode 12, which is approximately punctiform Represents radiation source. from which the X-ray bush 113 emanates. The on The body 15 lying on the object table 14 is penetrated by the rays, finally the rays fall after passing through the secondary beam diaphragm 16 on the in X-ray film 17 located in cassette 18.

In dein durchleuchteten Körper 15 entstehen beispielsweise an den Stellen 19 durch die Primärstrahlen des Büschels 13 ausgelöste sekundäre Röntgenstrahlen, die durch die Blende 16 abgefangen werden sollen. Da die Sekundärstrahlen unter einem anderen Winkel als die Primärstrahlen auf die Blende auffallen, können sie nicht durch diese durchtreten und die Klarheit und Schärfe des von den Primärstrahlen gebildeten Röntgenbildes beeinträchtigen.In your x-rayed body 15, for example, arise at the Locations 19 secondary X-rays released by the primary rays of the cluster 13, which are to be intercepted by the aperture 16. Since the secondary rays under They can strike the diaphragm at a different angle than the primary rays do not pass through this and the clarity and sharpness of the primary rays affect the formed X-ray image.

Die gemäß der Erfindung vorgesehene Sekundärstrahlenblende besteht aus Röntgenstrahlen absorbierendem Photoglas, in dein eine bisher nicht erreichte Artzahl von feinen Kanälen mit einer bisher unerreichten Genauigkeit der Winkellagen angeordnet sind. Das hierfür zu verwendende photoempfindliche Glas enthält Zusätze oder Bestandteile, die imstande sind, photographische Bilder in dem sonst klaren Glas zu erzeugen, wenn dieses der Wirkung von Röntgenstrahlen oder ultraviolettem Licht ausgesetzt und sodann einer Wärmebehandlung unterworfen wird.The secondary beam diaphragm provided according to the invention consists made of X-ray absorbing photoglass, in which a previously unachieved one Number of species of fine channels with a previously unattained accuracy of the angular positions are arranged. The photosensitive glass to be used for this purpose contains additives or components that are capable of producing photographic images in the otherwise clear Create glass when exposed to the action of X-rays or ultraviolet rays Exposed to light and then subjected to a heat treatment.

Dies rührt daher, daß solche Glassorten kleine Teilchen. z. B. aus Gold, Silber oder Kupfer, in sehr feiner Verteilung enthalten, die nach Belichtung und anschließender Wärmebehandlung als Kristallisationskerne für die Bildung von Glaskristallen dienen. Die physikalischen Eigenschaften solcher Glaskristalle, z. B. die Dichte, der Expansionskoeffizient, der Brechungsindex u. a., wie speziell auch die Löslichkeit in verdünnter Flußsäure, sind andere als die des nicht belichteten Glases. Die verschiedene Löslichkeit der belichteten und unbelichteten Glasteile der Platte ermöglicht, aus derselben Lochkanäle in fast jeder gewünschten Größe, Form und beliebigem Muster herauszuätzen. Dies erreicht man dadurch, daß man auf die aus photoempfindlichem Glas bestehende Platte eine Schablone mit dem gewünschten Muster auflegt und durch die Aussparungen derselben die Platte mit Röntgenstrahlen oder ultraviolettem Licht belichtet. Das dadurch in der Platte 20 entstehende dreidimensionale Bild der Lochkanäle 21 wird dann durch eine Wärmebehandlung entwickelt und anschließend durch Behandeln mit verdünnter Flußsäure herausgeätzt.This is because such types of glass have small particles. z. B. off Gold, silver or copper, contained in a very fine distribution, after exposure and subsequent heat treatment as nuclei for the formation of Glass crystals serve. The physical properties of such glass crystals, e.g. B. the density, the expansion coefficient, the refractive index and others, as specific also the solubility in dilute hydrofluoric acid are different from that of the unexposed Glass. The different solubility of the exposed and unexposed glass parts the plate allows you to use the same perforated channels in almost any desired size, Etch out shape and any pattern. This is achieved by clicking on the plate made of photosensitive glass a template with the desired Lay on the pattern and through the recesses of the same the plate with X-rays or exposed to ultraviolet light. The resulting three-dimensional in the plate 20 Image of the hole channels 21 is then developed by a heat treatment and then etched out by treatment with dilute hydrofluoric acid.

Die Schablone für die Belichtung der auf photochemischem Wege herzustellenden Blende kann beispielsweise aus einem-für Röntgenstrahlen bzw. für ultraviolettes Licht transparenten Film durch Aufzeichnung oder Bedrucken mit für dieses Licht undurchlässiger Farbe erhalten werden.The template for the exposure of the photochemically produced Aperture can, for example, consist of a -for X-rays or for ultraviolet Light transparent film by recording or printing with for this light opaque paint can be obtained.

Das durch die erwähnte Farbschicht ausgesparte Muster, beispielsweise kleine Kreis- oder Polygonflächen (s. 21 in Fig. 4 und 5), stellt dann die Projektion der durch die Platte gehenden Lochkanäle dar. Man könnte aber als Muster auch Streifen u. a. wählen.The pattern left out by the mentioned color layer, for example small circular or polygonal areas (see 21 in Fig. 4 and 5), then represents the projection of the perforated channels going through the plate. However, stripes could also be used as a pattern i.a. Select.

Eine für das vorstehend beschriebene Verfahren geeignete Glasplatte besteht aus Si 0z mit ziemlich großer Beimengung von Blei, Barium oder einem anderen sich strahlenhemmend auswirkenden Bestandteil, ist weiter versehen mit einem Alkalioxyd, wie z. B: Kaliumoxyd, und enthält Spuren von Kupfer, Silber oder Gold, die die Platte lichtempfindlich machen. Als Beispiel, das keineswegs zwingend ist, sei folgende Zusammensetzung angegeben: StO.. .................. 30 Gewichtsprozent Pb0. Ba0 .. .... .. .. ... 50 , L i.,O .................. 10 K., O ................... 5 ,. Afz 0.. .................. 5 Ce O, .................. 0,03 " Ag ..,................ 0,02 " Um zu zeigen, wie stark die angegebenen Werte schwanken dürfen, sei erwähnt, daß beispielsweise der Si O,-Anteil um 50% des angegebenen Wertes variiert werden kann.A suitable for the method described above glass plate consists of Si 0z with a fairly large admixture of lead, barium or another radiation-inhibiting component, is further provided with an alkali oxide, such as. B: Potassium oxide, and contains traces of copper, silver or gold, which make the plate sensitive to light. As an example, which is by no means mandatory, the following composition is given: StO .. .................. 30 percent by weight Pb0. Ba0 .. .... .. .. ... 50, L i., O .................. 10 K., O ................... 5,. Afz 0 .. .................. 5 Ce O, .................. 0.03 " Ag .., ................ 0.02 " In order to show how much the stated values may fluctuate, it should be mentioned that, for example, the SiO, content can be varied by 50% of the stated value.

Auch der Blei- und Bariumoxydanteil oder beide können bis zu 65 Gewichtsprozent zugemengt werden. Ebenso können die Alkali- und Alutniniumoxydanteile beträchtlich verändert werden, wohingegen das Ce0, sogar vollständig wegfallen kann, wenngleich es die Lichtempfindlichkeit nicht unerheblich verbessert.The lead and barium oxide content or both can also be up to 65 percent by weight be added. Likewise, the alkali and aluminum oxide contents can be considerable can be changed, whereas the Ce0 can even be omitted completely, albeit it improves the photosensitivity not insignificantly.

Als Lichtquelle für die Belichtung der Glasplatte kann man z. B. einen Ouecksilber- oder Kohlelichtbogen verwenden. Bei dOer Belichtung muß die Platte 20 von der punktförmigen Lichtquelle genau den gleichen Abstand haben, wie er später bei der fertigen Blende gegenüber der Röntgenstrahlenquelle eingehalten wird. Die dreidimensionalen Bilder der späteren Lochkanäle 21 sind durch die Verwendung einer punktförmigen Lichtquelle alle nach eben diesem Punkt gerichtet.As a light source for the exposure of the glass plate you can, for. B. a Use a mercury or carbon arc. When exposed, the plate must 20 have exactly the same distance from the point light source as he will later is adhered to in the finished diaphragm with respect to the X-ray source. the three-dimensional images of the later hole channels 21 are obtained through the use of a point light source all directed towards this point.

Die nach der Belichtung folgende Wärmebehandlung besteht darin, daß man die Glasplatte etwa 1 Stunde einer Temperatur aussetzt, die zwischen der Ausglühtemperatur und der Erweichungstemperatur des Glases, beispielsweise bei 600° C, liegt.The heat treatment following the exposure consists in that the glass plate is exposed to a temperature between the annealing temperature for about 1 hour and the softening temperature of the glass, for example 600 ° C.

Dabei nehmen die belichteten Glasstellen ein milchiges Aussehen an, während die nicht belichteten Stellen transparent bleiben. Das Herauslösen der belichteten Glasteile geschieht in einer homogenen, etwa 5%igen Flußsäurelösung von 20° C, in die die Platte eingetaucht wird. Die Löslichkeit der belichteten auskristallisierten Glasteile ist dabei 50mal so groß als die der unbelichteten, d. h., das belichtete Glas löst sich ungefähr 105mal schneller als das unbelichtete.The exposed glass areas take on a milky appearance, while the unexposed areas remain transparent. Dissolving the exposed Glass parts happen in a homogeneous, about 5% hydrofluoric acid solution at 20 ° C, in which the plate is immersed. The solubility of the exposed crystallized Glass parts are 50 times larger than that of the unexposed, i.e. i.e., that exposed Glass dissolves about 105 times faster than the unexposed one.

Die durch das Herauslösen des belichteten Glases entstandenen Lochkanäle können dann mit einer rÖntgenstrahlendurchlässigen Füllmasse ausgefüllt werden oder auch leer bleiben.The hole channels created by removing the exposed glass can then be filled with a radiolucent filler or also stay empty.

Wenngleich es auch möglich ist, die Lochkanäle nicht ganz durchgehen zu lassen, was man erreichen kann, wenn man die Flußsäure nur von einer Seite her auf die Platte einwirken läßt (z. B. indem man die andere Seite vor dem Eintauchen in das Säurebad mit einer Schutzschicht bedeckt), ist die Ausführungsform von durchgehenden Lochkanälen zu bevorzugen. Schließlich kann man die fertige Platte auf ihrer Ober- und Unterseite mit einer strahlendurchlässigen Schutzschicht 23, beispielsweise Lack, starkem Papier, Pappe od. dgl., versehen, die gleichzeitig die Lochkanäle und damit gegebenenfalls das Füllmaterial abschließt.Although it is also possible not to go all the way through the perforated channels to let what can be achieved if you only use the hydrofluoric acid from one side Allowing it to act on the plate (e.g. by turning the other side before dipping in the acid bath covered with a protective layer), the embodiment is continuous Preferably perforated channels. Finally you can get the finished panel on their top and bottom with a radiolucent protective layer 23, For example, paint, strong paper, cardboard or the like. Provided that at the same time the perforated channels and thus optionally the filler material.

Zweckmäßig ist auch, über den unbelichteten Rand der Glasplatte 20 noch einen Metallrahmen 24 auf einer Unterlage 25 aus elastischem Material, z. B. Gummi, anzuordnen, wie in Fig. 3 dargestellt ist.It is also expedient to use the unexposed edge of the glass plate 20 nor a metal frame 24 on a base 25 made of elastic material, e.g. B. Rubber, to be arranged as shown in FIG.

Wie die Fig. 6 zeigt, kann man die Platte 20 zur Erzielung einer gewünschtenDicke auch aus mehreren Schichten 26 herstellen, die dann nachträglich aufeinandergelegt «erden und sich längs der Ebenen 27 berühren. Dabei muß bei der Herstellung der einzelnen Schichten dafür Sorge getragen werden, daß die Lochkanäle 21, die, wie erwähnt, gegebenenfalls mit einer Füllmasse 22 ausgefüllt sind, genau aufeinanderpassen, so daß, wie die Fig. 2 zeigt, die zusammengefügte Platte mit ihre Dicke durchlaufenden Lochkanälen versehen ist, deren verlängerte Achsen sich in einem Punkt schneiden.As shown in Figure 6, the plate 20 can be adjusted to achieve a desired thickness also produce from several layers 26, which are then subsequently placed one on top of the other «Earth and touch along the levels 27. In the production of the individual layers ensure that the perforated channels 21, such as mentioned, if necessary filled with a filling compound 22, fit exactly together, so that, as FIG. 2 shows, the joined plate is continuous with its thickness Hole channels is provided, the extended axes of which intersect at a point.

Wie aus der vorstehenden Beschreibung zu ersehen ist, gelingt es mit Hilfe des erfindungsgemäßen Verfahrens viel leichter und besser als auf dem bisher üblichen Wege, Schirmblenden herzustellen, deren für Röntgenstrahlen durchlässige und undurchlässige Teile genau vorgeschriebene Winkellagen besitzen. Auch gelangt man, abgesehen von der zusätzlich einfacheren und billigeren Herstellung, durch den gemäß der Erfindung vorgeschlagenen Weg zu einer viel feineren Schirmblendenstruktur. Selbstverständlich kann die vorgeschlagene Erfindung in mehreren Abwandlungen und Kombinationen verwirklicht werden, ohne daß man dabei von ihrem Grundgedanken abweicht.As can be seen from the description above, it succeeds with Using the method according to the invention much easier and better than on the previous one common ways of producing screen panels, which are transparent to X-rays and impermeable parts have precisely prescribed angular positions. Also got apart from the fact that it is also easier and cheaper to manufacture the route proposed according to the invention to a much finer screen structure. Of course, the proposed invention can in several modifications and Combinations can be realized without deviating from their basic idea.

Claims (7)

PATENTANSPRÜCHE: 1. S ekundärstrah.lenblende fürRöntgenauf nahmen, gekennzeichnet durch eine Scheibe aus an sich bekanntem. hinsichtlich seiner Löslichkeit in einer Säure durch Bestrahlung beeinflußbarem Glas (Photoglas), das jedoch einen Röntgenstrahlen absorbierenden Stoff enthält und in dem sich eine Vielzahl von feinen, alle auf einen Punkt gerichteten Kanälen befindet. PATENT CLAIMS: 1. Secondary ray aperture for X-ray exposures, characterized by a disc from known per se. in terms of its solubility in an acid that can be influenced by irradiation (photoglass), but one Contains X-ray absorbing material and in which a multitude of fine, all channels directed to a point are located. 2. Verfahren zur Herstellung einer Blende nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß eine Scheibe aus Röntgenstrahlen absorbierenden Photoglas seitens einer punktförmigen Strahlungsquelle, die sich in dem selben Abstand von der Scheibe befindet, wie sie die Antikathode der Röntgenröhre von der Sekundärstrahlenblende bei der Röntgenaufnahme besitzt, durch eine Maske hindurch bestrahlt wird und daß anschließend das Glas an den belichteten Stellen durch Atzen in einem Säurebad entfernt wird. 2. Method of manufacture a diaphragm according to claim 1, characterized in that a disc made of X-rays absorbing photoglass on the part of a point source of radiation, which is at the same distance from the disk as the anticathode of the X-ray tube from the secondary beam diaphragm during the X-ray exposure, through a mask is irradiated through and that then the glass at the exposed areas is removed by etching in an acid bath. 3. Verfahren nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet. daß die durch Atzung entstehenden Kanäle mit für Röntgenstrahlen durchlässigem Stoff gefüllt werden. 3. The method according to claim 2, characterized marked. that the channels created by etching are also used for X-rays permeable material. 4. Verfahren nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß die Maske so ausgebildet ist, daß nach dem Ätzen in der Scheibe möglichst eng benachbarte feine Lochkanäle entstehen. 4. The method according to claim 2, characterized in that that the mask is designed so that after the etching in the disc as narrow as possible neighboring fine perforated channels are created. 5. Verfahren nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß die punktförmige Lichtquelle senkrecht über der Mitte der Scheibe angeordnet ist. 5. The method according to claim 2, characterized in that that the point light source is arranged vertically above the center of the disc is. 6. Verfahren nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, daß die Maske Löcher in Form von Vielecken besitzt. 6. The method according to claim 4, characterized in that the mask has holes in the form of polygons. 7. Verfahren nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, daß die Maske Löcher in Form von Kreisen oder Ellipsen besitzt. In Betracht gezogene Druckschriften: Deutsche Patentschrift Nr. 284 371; schweizerische Patentschrift Nr. 182 195; »Industrial and Engineering Chemistry«, Januar 1953, S. 115 bis 118. Entgegengehaltene ältere Rechte: Deutsches Patent Nr. 966 890.7. The method according to claim 4, characterized in that the mask has holes in the form of circles or ellipses. Documents considered: German Patent No. 284 371; Swiss Patent No. 182 195; "Industrial and Engineering Chemistry", January 1953, pp. 115 to 118. Earlier rights cited: German Patent No. 966 890.