DE10209605A1 - Anordnung für die Korrektur von von einer Laserlichtquelle ausgehender Laserstrahlung sowie Verfahren zur Herstellung der Anordnung - Google Patents

Anordnung für die Korrektur von von einer Laserlichtquelle ausgehender Laserstrahlung sowie Verfahren zur Herstellung der Anordnung

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Abstract

Anordnung für die Korrektur von von einer Laserlichtquelle (1) ausgehender Laserstrahlung, umfassend eine Laserlichtquelle (1), die linienförmige Emissionsquellen (2) aufweist, die im Wesentlichen in mindestens einer Reihe in einer ersten Richtung (X) angeordnet sind, wobei weiterhin die im Wesentlichen in einer Reihe angeordneten Emissionsquellen (2) in einer zu der ersten Richtung (X) senkrechten Richtung (Y) zumindest teilweise zu der Reihe versetzt angeordnet sind und wobei weiterhin die Anordnung Korrekturmittel (6, 8, 10) umfasst, die die von der Laserlichtquelle (1) ausgehende Laserstrahlung derart korrigieren können, dass die durch die Versetzung der Emissionsquellen (2) zu der Reihe bewirkte räumliche Verzerrung der Laserstrahlung ausgeglichen wird, wobei die Korrekturmittel (10) als Plattenarray ausgeführt sind und wobei das Plattenarray eine Anzahl von Plattenelementen (11) umfasst, die aus im Wesentlichen planparallelen, für die verwendete Laserstrahlung transparenten Platten bestehen, wobei mindestens zwei der Plattenelemente (11) eine unterschiedliche Dicke aufweisen und dass die Korrekturmittel (10) derart in der von der Laserlichtquelle (1) ausgehenden Laserstrahlung angeordnet sind, dass die von mindestens zwei zueinander versetzten Emissionsquellen (2) ausgehenden Lichtstrahlen (3, 3') von zwei verschiedenen Plattenelementen (11) einen unterschiedlich starken Strahlenversatz erfahren, so dass die durch die Versetzung dieser Emissionsquellen (2) ...

Description

Die vorliegende Erfindung betrifft eine Anordnung für die Korrektur von von einer Laserlichtquelle ausgehender Laserstrahlung, umfassend eine Laserlichtquelle, die linienförmige Emissionsquellen aufweist, die im wesentlichen in mindestens einer Reihe in einer ersten Richtung angeordnet sind, wobei weiterhin die im wesentlichen in einer Reihe angeordneten Emissionsquellen in einer zu der ersten Richtung senkrechten Richtung zumindest teilweise zu der Reihe versetzt angeordnet sind, und wobei weiterhin die Anordnung Korrekturmittel umfasst, die die von der Laserlichtquelle ausgehende Laserstrahlung derart korrigieren können, dass die durch die Versetzung der Emissionsquellen zu der Reihe bewirkte räumliche Verzerrung der Laserstrahlung ausgeglichen wird. Weiterhin betrifft die vorliegende Erfindung ein Verfahren zur Herstellung dieser Anordnung.
Eine Anordnung sowie ein Verfahren der eingangs genannten Art sind aus dem US-Patent US 6,166,759 bekannt. Bei der darin beschriebenen Anordnung wird die bei Laserdiodenbarren in der Regel auftretende sogenannte "Smile"-Verzerrung, die im wesentlichen einer Verbiegung der Reihe von Emissionsquellen entspricht, korrigiert. Als Korrekturmittel wird dabei eine Glasfaser verwendet, die gleichzeitig als Kollimatorlinse wirkt, wobei die Glasfaser im wesentlichen parallel zu der Reihe der Emissionszentren und somit zu der ersten Richtung ausgerichtet ist. Mit Hilfe dieser Glasfaser wird somit auch gleichzeitig die Fast-Axis-Divergenz des von dem Laserdiodenbarren ausgehenden Laserlichts kollimiert. Die Glasfaser wird, um ihrer Korrekturfunktion nachkommen zu können, gezielt mittels eines extrem komplizierten mechanischen Biegeinstrumentes derart verbogen, dass das von den einzelnen zueinander versetzten Emissionszentren ausgehende Licht jeweils etwa mittig auf die dem Laserdiodenbarren zugewandte Querseite der Glasfaser auftrifft. Dadurch werden die durch die Glasfaser hindurchtretenden von den einzelnen Emissionsquellen ausgehenden Lichtstrahlen zwar in sich parallelisiert, weisen aber durchaus noch einen minimalen Strahlversatz gegeneinander auf. Als besonders nachteilig bei dieser aus dem Stand der Technik bekannten Anordnung erweist sich, dass das für die Verbiegung der Glasfaser verwendete Instrument relativ kompliziert aufgebaut ist, weil insbesondere die Glasfaser an einigen Stellen nur um wenige µm beziehungsweise Bruchteile von µm gegenüber anderen Stellen gezielt verbogen werden muss.
Aus dem US-Patent US 5,854,651 sind eine Anordnung sowie ein Verfahren der eingangs genannten Art bekannt, bei denen als Korrekturmittel unter anderem planparallele Plättchen verwendet werden. Dabei sind diese planparallelen Plättchen in Strahlrichtung hinter einer Kollimationslinse für die Fast-Axis und hinter Fokussierungslinsen für die Slow-Axis sowie weiterhin hinter einer weiteren Fokussierungslinse für die Fast-Axis angeordnet. Die planparallelen Plättchen sind entsprechend der vorher vermessenen "Smile"-Verzerrung zur optischen Achse gekippt. Als nachteilig hierbei erweist sich, dass zum einen für jedes dieser planparallelen Plättchen entsprechend dem vertikalen Versatz des zugeordneten Emissionszentrums des Laserdiodenbarrens ein exakter Verkippungswinkel gegenüber der optischen Achse eingestellt werden muss. Zum anderen ist es als besonders nachteilig anzusehen, dass dieser Winkel aufgrund des sehr exakt zu realisierenden Strahlversatzes ausgesprochen exakt gewählt werden muss. Dies lässt sich unter Umständen nur mit sehr großem Aufwand realisieren.
Das der vorliegenden Erfindung zugrundeliegende Problem ist dis Schaffung einer Anordnung sowie eines Verfahrens der eingangs genannten Art, die einfacher realisierbar sind.
Dies wird erfindungsgemäß hinsichtlich der Anordnung durch die kennzeichnenden Merkmale der Ansprüche 1 und 3 sowie hinsichtlich des Verfahrens durch die kennzeichnenden Merkmale des Anspruchs 14 erzielt.
Gemäß Anspruch 1 ist vorgesehen, dass die Korrekturmittel als Prismenarray ausgebildet sind. Ein derartiges Prismenarray ist einfacher herstellbar als die aus dem Stand der Technik bekannte verbogene Glasfaser.
Vorteilhafterweise kann hierbei das Prismenarray aus einzelnen Prismenelementen bestehen, die derart in der von der Laserlichtquelle ausgehenden Laserstrahlung angeordnet sind, dass die von mindestens zwei zueinander versetzten Emissionsquellen ausgehenden Lichtstrahlen auf unterschiedliche Prismenelemente auftreffen und an einer derer Prismenflächen derart unter einem unterschiedlichen Winkel abgelenkt werden, dass die durch die Versetzung dieser Emissionsquellen bewirkte Verzerrung korrigiert wird. Letztlich muss zur Herstellung eines derartigen Prismenarrays lediglich eine sich um genügend kleine Winkel unterscheidende Anzahl von Prismenelementen vorhanden sein, so dass nach entsprechender Analyse der "Smile"-Verzerrung die für die Korrektur passenden Elemente aneinander gefügt, insbesondere aneinander geklebt werden. Ein derartiges Prismenarray kann in Strahlrichtung hinter einer Zylinderlinse oder zylinderlinsenähnlichen Linse angeordnet werden, die als Kollimatorlinse der Fast-Axis-Divergenz dient.
Gemäß Anspruch 3 ist vorgesehen, dass die Korrekturmittel als Plattenarray ausgeführt sind und das Plattenarray eine Anzahl von Plattenelementen umfasst, die aus im wesentlichen planparallelen, für die verwendete Laserstrahlung transparenten Platten bestehen, wobei mindestens zwei der Plattenelemente eine unterschiedliche Dicke aufweisen und die Korrekturmittel derart in der von der Laserlichtquelle ausgehenden Laserstrahlung angeordnet sind, dass die von mindestens zwei zueinander versetzten Emissionsquellen ausgehenden Lichtstrahlen von zwei verschiedenen Plattenelementen einen unterschiedlich starken Strahlenversatz erfahren, so dass die durch die Versetzung dieser Emissionsquellen bewirkte Verzerrung ausgeglichen wird. Auch ein derartiges Plattenarray ist einfacher herstellbar als die aus dem Stand der Technik bekannte Glasfaser.
Vorteilhafterweise kann das Korrekturmittel unter einem vorgebbaren Winkel zur mittleren Ausbreitungsrichtung der durch sie hindurchtretenden Laserstrahlung angeordnet sein. Insbesondere kann die Normale auf einer Eintrittsfläche der Korrekturmittel unter dem vorgebbaren Winkel zu der mittleren Ausbreitungsrichtung der durch die Korrekturmittel hindurchtretenden Laserstrahlung angeordnet sein. Hierbei kann der Winkel nach Einbringung des als Korrekturmittel dienenden Plattenarrays in den Strahlengang gezielt verändert werden bis eine optimale Korrektur der "Smile"-Verzerrung erreicht ist. Dies bietet deutliche Vorteile gegenüber der US 5,854,651, weil bei der darin beschriebenen Anordnung der Winkel als einzig veränderbarer Parameter sehr exakt eingestellt werden muss.
Es besteht erfindungsgemäß die Möglichkeit, dass die Korrekturmittel als einstückiger monolithischer Block ausgebildet sind. Durch diese Ausbildung gestaltet sich die Fertigung der Korrekturmittel wesentlich einfacher, weil keine voneinander getrennt hergestellten Plättchen zueinander positioniert und miteinander verklebt werden müssen. Ein derartiges Plattenarray kann beispielsweise dadurch hergestellt werden, dass die von der Laserlichtquelle ausgehende Laserstrahlung nach Durchtritt durch eine Zylinderlinse oder eine zylinderähnliche Linse, deren Zylinderachsen im wesentlichen parallel zu der ersten Richtung ausgerichtet sind, in der sich auch die Reihe der Emissionsquellen erstreckt, hinsichtlich ihrer räumlichen Verteilung analysiert wird und daran anschließend entsprechend der Analyse die Dicken der einzelnen Plattenelemente gewählt werden.
Auch dieses Plattenarray kann hinter einer Zylinderlinse oder einer zylinderlinsenähnlichen Linse angeordnet sein, die das von der beispielsweise als Laserdiodenbarren ausgebildeten Laserlichtquelle ausgehende Licht hinsichtlich der Fast-Axis-Divergenz fokussiert.
Um die nach dem Durchgang durch die Zylinderlinse oder zylinderlinsenähnliche Linse und durch das Plattenarray fokussierte Laserstrahlung wieder in eine hinsichtlich der Fast-Axis parallele Strahlung zu überführen, kann auf der von der Zylinderlinse oder zylinderlinsenähnlichen Linse abgewandten Seite des als Plattenarrays ausgebildeten Korrekturmittels eine Konkavlinse angeordnet sein, die die hinsichtlich der zu der ersten Richtung senkrechten Richtung fokussierte Laserstrahlung derart bricht, dass diese als bezüglich zu der ersten Richtung senkrechten Richtung im wesentlichen parallele Laserstrahlung aus der Konkavlinse austritt. Diese dann parallele Laserstrahlung kann einfacher weiter verarbeitet werden, insbesondere auf eine Glasfaser abgebildet werden.
Als besonderer Vorteil der vorgenannten Anordnungen ist anzusehen, dass die Laserlichtquelle vor der Analyse der Laserstrahlung auf eine Kühlvorrichtung aufgebracht werden kann. In der Regel wird bei Laserdiodenbarren durch Aufschrauben auf eine beispielsweise als Kupferplatte ausgeführte Kühlvorrichtung die "Smile"-Verzerrung erst erzeugt beziehungsweise vergrößert. Die erfindungsgemäße Anordnung beziehungsweise das Verfahren zur Herstellung der erfindungsgemäßen Anordnung ermöglichen eine Analyse und Korrektur der "Smile"-Verzerrung nach fertiger Montage des Laserdiodenbarrens auf einer Kühlvorrichtung. Durch die erfindungsgemäße Anordnung werden somit auch die Verzerrungen korrigiert, die erst durch die Montage des Laserdiodenbarrens entstehen.
Bei den vorgenannten erfindungsgemäßen Anordnungen können jedem der Prismenelemente beziehungsweise jedem der Plattenelemente eine oder mehrere der Emissionsquellen zugeordnet sein. Die Anzahl der einem jedem der vorgenannten Elemente zugeordneten Emissionsquellen hängt natürlich zum einen vom Grad der Versetzung der einzelnen Emissionsquellen zueinander ab und zum anderen von der Genauigkeit, mit der die Korrektur durchgeführt werden soll. In der Regel wäre sicherlich die exakteste Korrektur genau dann gegeben, wenn für jede einzelne Emissionsquelle ein einzelnes der Prismenelemente oder Plattenelemente vorgesehen ist, das entsprechend der Versetzung dieser einzelnen Emissionsquelle gestaltet beziehungsweise angeordnet ist.
Weitere Merkmale und Vorteile der vorliegenden Erfindung werden deutlich anhand der nachfolgenden Beschreibung bevorzugter Ausführungsbeispiele unter Bezugnahme auf die beiliegenden Abbildungen. Darin zeigen
Fig. 1a eine schematische Ansicht auf eine Anzahl von Emissionsquellen eines Laserdiodenbarrens in einer idealen Anordnung;
Fig. 1b eine schematische Ansicht auf Emissionsquellen eines Laserdiodenbarrens in einer überzeichnet dargestellten fehlerhaften Anordnung;
Fig. 2a eine Seitenansicht einer aus dem Stand der Technik bekannten Kollimationseinrichtung mit einer Laserlichtquelle gemäß Fig. 1b;
Fig. 2b eine Ansicht gemäß dem Pfeil IIb in Fig. 2a;
Fig. 3 eine Seitenansicht auf eine Fokussierungsanordnung mit einer Laserlichtquelle gemäß Fig. 1b;
Fig. 4a eine perspektivische Ansicht einer erfindungsgemäßen Anordnung mit einer ersten Ausführungsform eines erfindungsgemäßen Korrekturmittels;
Fig. 4b eine Seitenansicht der Anordnung gemäß Fig. 5a;
Fig. 5a eine Seitenansicht eines zweiten erfindungsgemäßen Korrekturmittels;
Fig. 5b eine Ansicht gemäß dem Pfeil Vb in Fig. 5a;
Fig. 6a eine erfindungsgemäße Anordnung mit dem zweiten erfindungsgemäßen Korrekturmittel;
Fig. 6b eine Ansicht gemäß dem Pfeil VIb in Fig. 6a;
Fig. 7 eine Seitenansicht einer weiteren Ausführungsform einer erfindungsgemäßen Anordnung mit dem zweiten erfindungsgemäßen Korrekturmittel.
In den Fig. 1 bis Fig. 4 sowie in den Fig. 6 und Fig. 7 sind zur Verdeutlichung der Orientierung Koordinatensysteme eingezeichnet.
Aus Fig. 1a ist eine schematische Ansicht auf eine Laserlichtquelle 1 mit in einer Reihe angeordneten Emissionsquellen 2 abgebildet. Derartige Laserlichtquellen 1 sind in der Regel als Laserdiodenbarren ausgeführt. Dabei können die Dimensionen beispielsweise derart sein, dass die gesamte Breite des Laserdiodenbarrens in Richtung der abgebildeten Reihe etwa 10 mm beträgt, wohingegen die Breite in Reihenrichtung der einzelnen Emissionsquellen 2 etwa 200 µm beträgt. Die Proportionen sind hier somit nicht naturgetreu, sondern lediglich schematisch wiedergegeben, um die mit der im nachfolgenden noch näher beschriebenen "Smile"-Verzerrung zusammenhängenden Probleme zu verdeutlichen. Die Ausbreitung der Emissionsquellen 2 in einer Richtung senkrecht zur Reihenrichtung beträgt beispielsweise 1 µm.
In Fig. 1b sind Emissionsquellen 2 abgebildet, die nicht ideal angeordnet sind und somit in etwa das von einem Laserdiodenbarren ausgesandte Licht wiedergeben. Man sieht deutlich, dass die einzelnen Emissionsquellen 2 von einer Reihenanordnung abweichen. Diese Abweichung ist in Fig. 1b zur Verdeutlichung sehr drastisch dargestellt. Diese Abweichungen können sich in einem Größenordnungsbereich zwischen 0,1 µm bis 5 µm bewegen. Es soll noch einmal deutlich zum Ausdruck gebracht werden, dass die hier gegenüber der Höhe der Emissionsquellen 2 ausgesprochen großen Abweichungen lediglich zur Verdeutlichung in dieser Größe gewählt wurden.
Eine derartige Verzerrung des von dem Laserdiodenbarren ausgehenden Laserlichtes wird im allgemeinen als "Smile"-Verzerrung bezeichnet und kann zum Beispiel dadurch hervorgerufen beziehungsweise verstärkt werden, dass der Laserdiodenbarren mit entsprechenden Haltemitteln auf eine Unterlage aufgeschraubt wird, die beispielsweise aus einem Kupferblock zur Wärmeableitung besteht.
Aus Fig. 2 ist ersichtlich, dass die Kollimierung von Lichtstrahlen 3, 3', die von einer Laserlichtquelle 1 gemäß Fig. 1b ausgehen, Probleme mit sich bringt. In Fig. 2 ist mit dem Bezugszeichen 4 eine konvexe Zylinderlinse bezeichnet, die in dieser Anordnung als Kollimationslinse der Fast-Axis-Divergenz des von dem Laserdiodenbarren ausgehenden Laserlichtes dient. Aufgrund der Tatsache, dass einzelne Emissionsquellen 2 zueinander in Y-Richtung versetzt sind, ergeben sich nur für Lichtstrahlen 3, die von im wesentlichen auf der optischen Achse der Anordnung gemäß Fig. 2 liegenden Emissionsquellen 2 ausgehen, nach dem Durchtritt durch die Zylinderlinse 4 zu der optischen Achse und damit zur Z- Richtung parallele Strahlen. Lichtstrahlen 3', die beispielsweise zu der optischen Achse nach oben versetzt sind, verfassen die Zylinderlinse 4 unter einem Winkel zur optischen Achse beziehungsweise zur Z-Richtung. Die Abweichung der Lichtstrahlen 3, 3' voneinander ist zur Verdeutlichung übertrieben groß dargestellt. Die Abbildung von Laserstrahlung aus derartigen Lichtstrahlen 3, 3' beispielsweise auf eine Lichtleitfaser erweist sich als ausgesprochen schwierig beziehungsweise ohne entsprechende Korrekturmittel als sehr ineffektiv.
In Fig. 3 ist die Zylinderlinse 4, die in Fig. 2 zu Kollimierung diente, als Fokussierlinse ausgebildet, so dass die durch die Zylinderlinse 4 hindurchtretenden Strahlen in eine Brennebene fokussiert werden. Alternativ dazu kann der Übergang von Fig. 2a zu Fig. 3 auch dadurch erreicht werden, dass der Abstand zwischen der Zylinderlinse 4 und der Laserlichtquelle 1 verändert wird. Aufgrund der versetzten Anordnung einzelner Emissionsquellen 2 in Y-Richtung ergibt sich auch eine versetzte Anordnung der Fokuspunkte 5, 5' der von den unterschiedlichen Emissionsquellen 2 ausgehenden Lichtstrahlen 3, 3'.
Aus Fig. 4 ist eine erste erfindungsgemäße Anordnung ersichtlich, bei der ein als Prismenarray ausgeführtes Korrekturmittel 8 Verwendung findet. Bei dieser Anordnung kann zuerst das aus der Zylinderlinse 4 austretende Licht hinsichtlich seiner räumlichen Verteilung analysiert werden. Daran anschließend werden Prismenelemente 9 erstellt, die sich durch unterschiedliche Prismenwinkel unterscheiden. Daran anschließend werden diese Prismenelemente 9 zu dem Prismenarray zusammengefügt. Hierbei kann jeweils eines der Prismenelemente 9 einer oder mehreren der Emissionsquellen 2 zugeordnet werden. Das als Prismenarray ausgeführte Korrekturmittel 8 wird in Z-Richtung hinter der Zylinderlinse 4 angeordnet, wobei die Zylinderlinse 4 als Kollimationslinse angeordnet ist, so dass die aus der Zylinderlinse 4 austretenden Strahlen 3, 3' im wesentlichen in sich parallel sind. Diese in sich parallelen Strahlen 3, 3' werden in den einzelnen Prismenelementen 9 je nach Prismenwinkel mehr oder weniger stark abgelenkt. Die Positionierung des Prismenarrays in den Strahlengängen der aus der Zylinderlinse 4 austretenden Strahlen 3, 3' sollte derart gewählt werden, dass die zur Ablenkung verwendeten Prismenflächen etwa im Bereich der Schnittpunkte der Strahlen 3, 3' hinter der Zylinderlinse 4 angeordnet sind (siehe dazu auch Fig. 2a), so dass die abgelenkten Strahlen 3, 3' etwa an der gleichen Position das Prismenarray verlassen. Der vorgenannte Bereich ist unter anderem abhängig von der Brennweite der Zylinderlinse 4 und ist in Fig. 2a und Fig. 5b nur prinzipiell dargestellt. Aus Fig. 5b ist entnehmbar, dass nach dem Durchgang durch das als Prismenarray ausgeführte Korrekturmittel 8 alle von den unterschiedlichen Emissionsquellen 2 ausgehenden Strahlen 3, 3' parallel zueinander verlaufen und in Y-Richtung im wesentlichen gleich angeordnet sind.
In Fig. 6a ist eine zweite Ausführungsform einer erfindungsgemäßen Anordnung abgebildet, die eine zweite Ausführungsform eines Korrekturmittels 10 (siehe auch Fig. 5a und Fig. 5b) umfasst. Bei diesem Korrekturmittel 10 sind jeweils einer oder mehreren der Emissionsquellen 2 Plattenelemente 11 zugeordnet, die zu einem das Korrekturmittel 10 bildenden Plattenarray zusammengefasst sind. Die Plattenelemente 11 können beispielsweise aus planparallelen Plättchen eines transparenten Materials bestehen. In dem abgebildeten Ausführungsbeispiel sind die Plattenelemente 11 als einzelne Abschnitte eines einstückigen Plattenarrays ausgebildet. Die einzelnen Plattenelemente 11 weisen je nach zu korrigierendem Lichtstrahl 3, 3' eine geeignete Dicke auf. Aus Fig. 5a ist ersichtlich, dass bei schrägem Einfall in ein derartiges Plattenarray 10 Lichtstrahlen 3, 3', die durch unterschiedlich dicke Plattenelemente 11 hindurchtreten, einen unterschiedlich starken Strahlversatz erfahren.
Es kann beispielsweise vorgesehen sein, dass vor Fertigung des als Korrekturmittel 10 dienenden Plattenarrays das aus der Zylinderlinse 4 austretende Licht hinsichtlich seiner räumlichen Verteilung analysiert wird. Daran anschließend wird ein Plattenarray mit unterschiedlich dicken Plattenelementen 11 gefertigt, wobei die Dicke der einzelnen Plattenelemente 11 abhängig von dem entsprechenden Versatz in X-Richtung der Emissionsquellen 2 ist, deren Lichtstrahlen 3, 3' durch das entsprechende Plattenelement 11 hindurchtreten. Daran anschließend wird das als Korrekturmittel 10 dienende Plattenarray gemäß Fig. 6a und Fig. 6b in dem Strahlengang hinter der Zylinderlinse 4 angeordnet und unter einem Winkel α zur Y-Richtung gekippt.
Als besonders interessanter Vorteil der Erfindung erweist sich hierbei, dass der Winkel α nach Einbringung des als Korrekturmittel 10 dienenden Plattenarrays in den Strahlengang gezielt verändert werden kann bis eine optimale Korrektur der "Smile"-Verzerrung erreicht ist.
Aus Fig. 6a ist ersichtlich, dass das Korrekturmittel 10 in einer Anordnung eingebracht ist, bei der die Zylinderlinse 4 als Fokussierungslinse dient, so dass die Strahlen 3, 3' in eine Brennebene fokussiert werden. Da planparallele Platten einen Strahlversatz verursachen, können somit auch durch das als Plattenarray ausgeführte Korrekturmittel 10 Strahlversatze der von der Zylinderlinse 4 fokussierten Lichtstrahlen 3, 3' erzielt werden, so dass nach dem Durchtritt durch das Korrekturmittel 10 die Strahlen 3, 3' von unterschiedlichen Emissionszentren 2 hinsichtlich der Y-Richtung in der Brennebene zusammenfallen.
In Fig. 7 ist verdeutlicht, dass das durch das als Plattenarray ausgeführte Korrekturmittel 10 hindurchgefallene Licht vermittels einer beispielsweise als Zylinderlinse ausgebildeten Konkavlinse 12 in hinsichtlich der Fast-Axis beziehungsweise der Y-Richtung zur Z-Richtung paralleles Licht umgewandelt werden kann, so dass durch die aus Zylinderlinsen 4, Korrekturmittel 10 und Konkavlinsen 12 gebildete Anordnung eine Fast-Axis-Kollimierung mit gleichzeitiger "Smile"-Korrektur realisiert wird.
Die Zylinderlinse 4 kann natürlich in sämtlichen abgebildeten Ausführungsformen durch eine zylinderlinsenähnliche oder funktional gleichwirkende Linse ersetzt werden.

Claims (15)

1. Anordnung für die Korrektur von von einer Laserlichtquelle (1) ausgehender Laserstrahlung, umfassend eine Laserlichtquelle (1), die linienförmige Emissionsquellen (2) aufweist, die im wesentlichen in mindestens einer Reihe in einer ersten Richtung (X) angeordnet sind, wobei weiterhin die im wesentlichen in einer Reihe angeordneten Emissionsquellen (2) in einer zu der ersten Richtung (X) senkrechten Richtung (Y) zumindest teilweise zu der Reihe versetzt angeordnet sind, und wobei weiterhin die Anordnung Korrekturmittel (6, 8, 10) umfasst, die die von der Laserlichtquelle (1) ausgehende Laserstrahlung derart korrigieren können, dass die durch die Versetzung der Emissionsquellen (2) zu der Reihe bewirkte räumliche Verzerrung der Laserstrahlung ausgeglichen wird, dadurch gekennzeichnet, dass die Korrekturmittel (8) als Prismenarray ausgebildet sind.
2. Anordnung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass das Prismenarray aus einzelnen Prismenelementen (9) besteht, die derart in der von der Laserlichtquelle (1) ausgehenden Laserstrahlung angeordnet sind, dass die von mindestens zwei zueinander versetzten Emissionsquellen (2) ausgehenden Lichtstrahlen (3, 3') auf unterschiedliche Prismenelemente (9) auftreffen und an einer derer Prismenflächen derart unter einem unterschiedlichen Winkel abgelenkt werden, dass die durch die Versetzung dieser Emissionsquellen bewirkte Verzerrung korrigiert wird.
3. Anordnung nach dem Oberbegriff des Anspruchs 1, wobei die Korrekturmittel (10) als Plattenarray ausgeführt sind und wobei das Plattenarray eine Anzahl von Plattenelementen (11) umfasst, die aus im wesentlichen planparallelen, für die verwendete Laserstrahlung transparenten Platten bestehen, dadurch gekennzeichnet, dass mindestens zwei der Plattenelemente (11) eine unterschiedliche Dicke aufweisen und dass die Korrekturmittel (10) derart in der von der Laserlichtquelle (1) ausgehenden Laserstrahlung angeordnet sind, dass die von mindestens zwei zueinander versetzten Emissionsquellen (2) ausgehenden Lichtstrahlen (3, 3') von zwei verschiedenen Plattenelementen (11) einen unterschiedlich starken Strahlenversatz erfahren, so dass die durch die Versetzung dieser Emissionsquellen (2) bewirkte Verzerrung ausgeglichen wird.
4. Anordnung nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, dass das Korrekturmittel (10) unter einem vorgebbaren Winkel (α) zur mittleren Ausbreitungsrichtung der durch sie hindurchtretenden Laserstrahlung angeordnet ist.
5. Anordnung nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, dass die Normale auf einer Eintrittsfläche der Korrekturmittel (10) unter einem Winkel (α) zu der mittleren Ausbreitungsrichtung (Z) der durch die Korrekturmittel (10) hindurchtretenden Laserstrahlung angeordnet ist.
6. Anordnung nach einem der Ansprüche 3 bis 5, dadurch gekennzeichnet, dass die Korrekturmittel (10) als einstückiger monolitischer Block ausgebildet sind.
7. Anordnung nach einem der Ansprüche 1 bis 6, dadurch gekennzeichnet, dass zwischen den Korrekturmitteln (8, 10) und der Laserlichtquelle eine Zylinderlinse (4) oder zylinderlinsenähnliche Linse angeordnet ist, deren Zylinderachse sich im wesentlichen in der ersten Richtung (X) erstreckt.
8. Anordnung nach Anspruch 7, dadurch gekennzeichnet, dass die Zylinderlinse (4) oder die zylinderlinsenähnliche Linse eine Kollimierung der von der Laserlichtquelle (1) ausgehenden Laserstrahlung in einer zu der ersten Richtung (X) senkrechten Richtung (Y) bewirkt.
9. Anordnung nach Anspruch 7, dadurch gekennzeichnet, dass die Zylinderlinse (4) oder die zylinderlinsenähnliche Linse eine Fokussierung der von der Laserlichtquelle (1) ausgehenden Laserstrahlung in einer zu der ersten Richtung (X) senkrechten Richtung (Y) bewirkt.
10. Anordnung nach Anspruch 9, dadurch gekennzeichnet, dass auf der von der Zylinderlinse (4) oder der zylinderlinsenähnlichen Linse abgewandten Seite der als Plattenarray ausgebildeten Korrekturmittel (10) eine Konkavlinse (12) angeordnet ist, die die hinsichtlich der zu der ersten Richtung (X) senkrechten Richtung (Y) fokussierte Laserstrahlung derart bricht, dass diese als bezüglich zu der ersten Richtung (X) senkrechten Richtung (Y) im wesentlichen parallele Laserstrahlung aus der Konkavlinse (12) austritt.
11. Anordnung nach einem der Ansprüche 1 bis 5 oder 7 bis 10, dadurch gekennzeichnet, dass die Prismenelemente (9) oder die Plattenelemente (11) aneinander geklebt sind.
12. Anordnung nach einem der Ansprüche 1 bis 11, dadurch gekennzeichnet, dass jedem der Prismenelemente (9) beziehungsweise jedem der Plattenelemente (11) eine oder mehrere der Emissionsquellen (2) zugeordnet sind.
13. Anordnung nach einem der Ansprüche 1 bis 12, dadurch gekennzeichnet, dass die Laserlichtquelle (1) als Laserdiodenbarren ausgeführt ist.
14. Verfahren zur Herstellung einer Anordnung nach einem der Ansprüche 1 bis 13, gekennzeichnet durch die folgenden Verfahrensschritte:
  • - die von der Laserlichtquelle (1) ausgehende Laserstrahlung wird nach Durchtritt durch eine Zylinderlinse (4) oder eine zylinderähnliche Linse, deren Zylinderachsen im wesentlichen parallel zu der ersten Richtung (X) ausgerichtet sind, in der sich auch die Reihe der Emissionsquellen (2) erstreckt, hinsichtlich ihrer räumlichen Verteilung analysiert;
  • - entsprechend der Analyse werden die Prismenwinkel der einzelnen Prismenelemente (9) zueinander oder die Dicken der eibzelnen Plattenelemente (11) gewählt.
15. Verfahren nach Anspruch 14, dadurch gekennzeichnet, dass vor der Analyse der Laserstrahlung die Laserlichtquelle (1) auf eine Kühlvorrichtung aufgebracht wird.
DE10209605A 2001-04-07 2002-03-05 Anordnung für die Korrektur von von einer Laserlichtquelle ausgehender Laserstrahlung sowie Verfahren zur Herstellung der Anordnung Withdrawn DE10209605A1 (de)

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AT02730052T ATE331972T1 (de) 2001-04-07 2002-03-23 Anordnung für die korrektur von von einer laserlichtquelle ausgehender laserstrahlung sowie verfahren zur herstellung der anordnung
JP2002579872A JP2004525418A (ja) 2001-04-07 2002-03-23 レーザ光源から出るレーザ光線を修正するための装置ならびに該装置の製造方法
ES02730052T ES2268029T3 (es) 2001-04-07 2002-03-23 Disposicion para corregir una radiacion laser saliente de una fuente de luz laser y procedimiento para fabricar dicha disposicion.
DE50207383T DE50207383D1 (de) 2001-04-07 2002-03-23 Anordnung für die korrektur von von einer laserlichtquelle ausgehender laserstrahlung sowie verfahren zur herstellung der anordnung
PCT/EP2002/003283 WO2002082164A2 (de) 2001-04-07 2002-03-23 Anordnung für die korrektur von von einer laserlichtquelle ausgehender laserstrahlung sowie verfahren zur herstellung der anordnung
US10/471,600 US7075739B2 (en) 2001-04-07 2002-03-23 Assembly for correcting laser illumination emitted from a laser light source and method for producing said assembly
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Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE102013102599A1 (de) * 2013-03-14 2014-09-18 Limo Patentverwaltung Gmbh & Co. Kg Beleuchtungsvorrichtung
US9625727B2 (en) 2013-03-20 2017-04-18 LIMO PATENT VERWALTUNG GMBH & Co. KG. Device for homogenizing a laser beam
DE102016124408A1 (de) * 2016-12-14 2018-06-14 Lilas Gmbh Vorrichtung zur Ablenkung und/oder Modulation einer Laserstrahlung, insbesondere einer Mehrzahl von Laserstrahlen
CN113031042A (zh) * 2019-12-24 2021-06-25 清华大学 射线标定设备和方法

Cited By (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE102013102599A1 (de) * 2013-03-14 2014-09-18 Limo Patentverwaltung Gmbh & Co. Kg Beleuchtungsvorrichtung
US10025106B2 (en) 2013-03-14 2018-07-17 Limo Patentverwaltung Gmbh & Co. Kg Laser-diode bar lighting device
EP2972548B1 (de) * 2013-03-14 2019-09-18 LIMO GmbH Laserdiodenbarrenbeleuchtungsvorrichtung
US9625727B2 (en) 2013-03-20 2017-04-18 LIMO PATENT VERWALTUNG GMBH & Co. KG. Device for homogenizing a laser beam
DE102016124408A1 (de) * 2016-12-14 2018-06-14 Lilas Gmbh Vorrichtung zur Ablenkung und/oder Modulation einer Laserstrahlung, insbesondere einer Mehrzahl von Laserstrahlen
US10921582B2 (en) 2016-12-14 2021-02-16 Lilas Gmbh Apparatus for deflecting and/or modulating laser radiation
CN113031042A (zh) * 2019-12-24 2021-06-25 清华大学 射线标定设备和方法
CN113031042B (zh) * 2019-12-24 2024-01-26 清华大学 射线标定设备和方法

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